JP2007285890A - ネットワークアナライザの再校正方法、および、ネットワークアナライザ - Google Patents

Abstract

【課題】測定値を保持することなく、効率的に再校正できる技術を提供する。
【解決手段】
標準器の回路パラメータを測定し、前記測定された回路パラメータに関連する誤差係数の種類を特定し、前記測定された回路パラメータを用いて、前記特定された種類の誤差係数を計算することにより、校正されたネットワークアナライザを再校正する。また、前記計算に必要な回路パラメータのうち、前記測定された回路パラメータ以外の回路パラメータを、前記回路パラメータの理論値と前記校正により得られた誤差係数とを用いて再現する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ネットワークアナライザの校正技術に係り、特に再校正技術に関する。

被測定物の網特性を表す回路パラメータを測定する装置であるネットワークアナライザ、または、ネットワークアナライザを含む測定システムは、システマティック誤差係数を測定値から除去できるように、被測定物を測定する前に、校正が施される。ネットワークアナライザの校正方法は、一般に、レスポンス校正法、１ポート校正法、ＴＲＬ校正法、および、フルＮポート校正法などがある。フルＮポート校正法は、システマティック誤差係数の主要因の全て考慮するため、最も正確な結果を得ることができる。なお、Ｎは、校正対象の測定ポートの数である。

一般的なフルＮポート校正方法は、オープン標準器、ショート標準器、ロード標準器、および、スルー標準器を用いて実施される（特許文献１を参照）。校正工程において、これらの標準器が、校正対象の測定ポートのそれぞれに、あるいは、測定ポート間のそれぞれに接続され、各接続時における回路パラメータが測定される。従来、フルＮポート校正方法に限らず、校正失敗や校正キット変更などの理由により再校正する場合に、校正の全工程を最初からやり直していた。ちなみに、フル４ポート校正の場合、校正の全工程における、標準器の取り付けおよび取り外しの合計回数は、４８回（＝４×３×２＋_４Ｃ_２×２×２）にも及ぶ。また、同校正の全工程における測定工程数は、１８工程（４×３＋_４Ｃ_２）にも及ぶ。これらの着脱作業および測定作業の完全なやり直しは、多大な時間と労力を要する。

そこで、校正作業中に、補正された測定値を表示し且つ操作者が所望するパラメータだけを再測定できるようにした校正方法が提案されている（特許文献２を参照）。

特開平０８−０４３４６３号公報（第２頁） 特開２００３−２９４８２０号公報（第４頁、図５） 特開２００５−０９１１９４号公報（第４頁、図５）

この提案されている方法では、再測定を可能にするために、校正作業が完了するまで、標準器の測定値の全てが保持される。従って、測定ポート数や測定点数が増加すると、保持すべき測定値の個数が増大し、その結果、大容量のメモリが必要とされるようになる。また、この提案されている方法では、校正作業が完了すると、保持していた標準器の測定値が全て破棄される。したがって、校正完了後の再校正では、古典的な校正方法と同様に、最初から全行程をやり直す必要がある。標準器の測定値を保持し続けようとすると、やはり、大量のメモリが必要となる。

本発明は、測定値を保持することなく、従来よりも効率的に再校正できる技術を提供することを目的とする。本発明は、上記の目的を達成するべく、新たな再校正方法と、該方法の実施に必要なネットワークアナライザを提供する。すなわち、本第一の発明は、校正されたネットワークアナライザを再校正する方法であって、標準器の回路パラメータを測定するステップと、前記測定された回路パラメータに関連する誤差係数の種類を特定するステップと、前記測定された回路パラメータを用いて、前記特定された種類の誤差係数を計算するステップとを含むものである。

また、本第二の発明は、前記第一の発明の方法において、前記計算に必要な回路パラメータのうち、前記測定された回路パラメータ以外の回路パラメータを、前記回路パラメータの理論値と前記校正により得られた誤差係数とを用いて再現するステップを含むことを特徴とするものである。

さらに、本第三の発明は、前記第一の発明または前記第二の発明の方法において、前記計算により得られた誤差係数の値を、前記校正により得られた誤差係数に上書きするステップを含むことを特徴とするものである。

またさらに、本第四の発明は、校正により得られた誤差係数と、前記校正により得られた誤差係数のうち前記校正の後に得られた標準器の測定値を用いて再計算された誤差係数とに基づいて測定値を補正するネットワークアナライザである。

また、本第五の発明は、本第四の発明のネットワークアナライザにおいて、前記再計算に必要な測定値のうち、前記校正後に得られた測定値以外の測定値が、その測定値に対応する理論値と前記校正により得られた誤差係数とを用いて再現されることを特徴とするものである。

さらに、本第六の発明は、本第四の発明または本第五の発明のネットワークアナライザにおいて、前記再計算により得られた誤差係数の値が前記校正により得られた誤差係数に上書きされた場合に、前記上書きされた誤差係数に基づいて測定値を補正することを特徴とするものである。

本発明によれば、校正時の測定値を保持するためメモリが不要となる。また、本発明によれば、校正完了後の再校正にあたり、所望の標準器の測定値だけを再取得すればよくなり、標準器の着脱作業および測定作業の全てを最初からやり直す必要がなくなる。さらに、本発明によれば、異なる２以上の校正キットに属する標準器を用いて校正することが容易になる。例えば、ネットワークアナライザを電子校正キットで校正した後に、他の校正キットのスルー標準器を用いて同ネットワークアナライザを再校正することができる。

本発明の実施の形態を、添付の図面を参照しながら、以下に説明する。本発明の実施形態は、ネットワークアナライザ１０である。まず始めにネットワークアナライザ１０の構成について説明し、その次にネットワークアナライザ１０の再校正方法について説明する。ここで、図１を参照する。図１は、ネットワークアナライザ１０の概略構成を示すブロック図である。

ネットワークアナライザ１０は、図示しない被測定物を接続するための測定ポート１，２，３および４と、測定部２００と、プロセッサ３００と、記憶部４００と、表示部５００と、入出力インタフェース６００とを備える。

測定部２００は、測定ポート１，２，３および４に接続されている。測定部２００は、信号源２１０と、スイッチ２２０を有する。信号源２１０は、図示しない被測定物に印加するための測定信号（刺激信号）を発生する装置である。スイッチ２２０は、測定ポート１，２，３および４のいずれか１つを選択し、選択した測定ポートを信号源２１０の出力端に電気的に接続する装置である。なお、スイッチ２２０において選択されなかった測定ポートは、反射防止のために終端される。また、測定部２００は、方向性結合器２３１，２３２，２３３，２３４，２４１，２４２，２４３および２４４と、リファレンス・レシーバ２５１，２５２，２５３，２５４，２６１，２６２，２６３および２６４を備える。以降、リファレンス・レシーバを単にレシーバと称する。

方向性結合器２３１は、スイッチ２２０と測定ポート１との間に配置され、測定ポート１からスイッチ２２０へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２５１は、方向性結合器２３１に接続され、測定ポート１における入力信号電力を測定する装置である。方向性結合器２４１は、スイッチ２２０と測定ポート１との間に配置され、スイッチ２２０から測定ポート１へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２６１は、方向性結合器２４１に接続され、測定ポート１における出力信号電力を測定する装置である。なお、測定ポートにおける入力信号とは、当該測定ポートにおいて、ネットワークアナライザ１０の外部からネットワークアナライザ１０へ入力される信号である。また、測定ポートにおける出力信号とは、当該測定ポートにおいて、ネットワークアナライザ１０からネットワークアナライザ１０の外部へ出力される信号である。

方向性結合器２３２は、スイッチ２２０と測定ポート２との間に配置され、測定ポート２からスイッチ２２０へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２５２は、方向性結合器２３２に接続され、測定ポート２における入力信号電力を測定する装置である。方向性結合器２４２は、スイッチ２２０と測定ポート２との間に配置され、スイッチ２２０から測定ポート２へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２６２は、方向性結合器２４２に接続され、測定ポート２における出力信号電力を測定する装置である。

方向性結合器２３３は、スイッチ２２０と測定ポート３との間に配置され、測定ポート３からスイッチ２２０へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２５３は、方向性結合器２３３に接続され、測定ポート３における入力信号電力を測定する装置である。方向性結合器２４３は、スイッチ２２０と測定ポート３との間に配置され、スイッチ２２０から測定ポート３へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２６３は、方向性結合器２４３に接続され、測定ポート３における出力信号電力を測定する装置である。

方向性結合器２３４は、スイッチ２２０と測定ポート４との間に配置され、測定ポート４からスイッチ２２０へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２５４は、方向性結合器２３４に接続され、測定ポート４における入出力信号電力を測定する装置である。方向性結合器２４４は、スイッチ２２０と測定ポート４との間に配置され、スイッチ２２０から測定ポート４へ向かう信号の一部を取り出す装置である。レシーバ２６４は、方向性結合器２４４に接続され、測定ポート４における出力信号電力を測定する装置である。

プロセッサ３００は、プログラムを実行することにより、ネットワークアナライザ１０の各構成要素を制御し、また、各種演算処理を行う装置である。プロセッサ３００は、例えば、ＣＰＵ、ＤＳＰ、ＲＩＳＣ、または、それらのいずれかをコアとして含むＡＳＩＣやＦＰＧＡなどで構成される。記憶部４００は、プログラムコードやデータを格納するための装置である。記憶部４００は、例えば、ＤＲＡＭのような半導体メモリ、ハードディスクドライブなどで構成される。表示部５００は、図示しない表示画面を有し、該表示画面を通じて、ネットワークアナライザ１０の操作者に、測定結果や設定情報などの各種情報を提供する装置である。入出力インタフェース６００は、ネットワークアナライザ１０とネットワークアナライザ１０の外部との間のデータのやりとりを仲介する装置である。入出力インタフェース６００は、例えば、キーボード、マウス、バーニャノブ、ボタン、ＵＳＢインタフェース、ＬＡＮインタフェース、ＰＣＭＣＩＡインタフェースであり、これらの他に、フロプティカルディスクドライブ、ＣＤ／ＤＶＤドライブなどのリムーバブルメディアドライブも含みうる。以上が、ネットワークアナライザ１０の構成についての説明である。

次に、ネットワークアナライザ１０における再校正の手順について説明する。本実施形態では、ネットワークアナライザ１０をフル４ポート校正した後、さらにネットワークアナライザ１０を部分的に再校正する手順について説明する。

まず、再校正の前提条件として、何らかの校正が少なくとも一度実施されている。本実施形態では、再校正前にフル４ポート校正されているので、方向性誤差係数Ｅｄ、アイソレーション誤差係数Ｅｘ、ソース・マッチ誤差係数Ｅｓ、ロード・マッチ誤差係数Ｅｌ、反射トラッキング誤差係数Ｅｒ、伝送トラッキング誤差係数Ｅｔが求められている。言うまでもないが、これらの誤差係数は、各標準器のＳパラメータ測定値から計算により求められる。なお、これらの誤差係数は、測定値を補正するための係数として用いられ、単に誤差、または、誤差項、校正係数もしくは補正係数と称されることもある。さて、方向性誤差係数Ｅｄ、ソース・マッチ誤差係数Ｅｓ、および、反射トラッキング誤差係数Ｅｒは、スティミュラス・ポート毎に存在する。また、アイソレーション誤差係数Ｅｘ、ロード・マッチ誤差係数Ｅｌ、伝送トラッキング誤差係数Ｅｔは、スティミュラス・ポートとレスポンス・ポートとの組み合わせ毎に存在する。つまり、全部で４８種類の誤差係数が存在する。なお、スティミュラス・ポートは、測定信号が出力される測定ポートである。また、レスポンス・ポートは、測定信号を受信する測定ポートである。誤差係数は、測定周波数点ごとに求められ、誤差係数の種類ごとに数値配列として記憶部４００に格納されている。誤差係数を求めるために記憶部４００内に格納されていたＳパラメータ測定値は、校正完了時に全て破棄されており、残存していない。

以上のような状態にあるネットワークアナライザ１０を再校正する手順について、図１および図２を参照しながら、以下に説明する。図２は、フル４ポート校正の再校正の手順を示すフローチャートである。以下の各工程は、プロセッサ３００自身が処理することにより、または、プロセッサ３００の制御によりネットワークアナライザ１０内の構成要素が単独もしくは共同で処理することにより、実施されるものである。なお、プロセッサ３００は、記憶部４００に格納されるプログラムを実行することにより、上記の処理または制御を行う。

まず、ステップＳ１０において、所望の標準器に関する所望のＳパラメータを測定する。測定対象のＳパラメータは、特開平８−６２３１６号公報に記載の技術などにより測定が省略されたＳパラメータ、または、再校正が必要と予想される誤差係数に関するＳパラメータなどである。これら測定対象のＳパラメータは、例えば、表示部５００で示される測定結果などに基づいて、ネットワークアナライザ１０の操作者により決定される。その場合、ネットワークアナライザ１０の操作者は、入出力インタフェース６００を通じて、測定対象のＳパラメータを指定または選択する。Ｓパラメータは、測定部２００により測定周波数点毎に測定され、得られた測定結果は数値配列の形式で記憶部４００に格納される。

次に、ステップＳ２０において、再計算すべき誤差係数の種類を特定する。再計算すべき誤差係数の種類の特定は、表１を参照することにより行われる。表１は、後述の式１〜式６に基づいて作成されたものであり、表形式のデータとして記憶部４００に格納されている。なお、当業者であれば、表形式のデータを参照する代わりに、プログラム中の条件判断命令を用いて同様の処理を実現することも容易であろう。

表１に記されているＳパラメータや誤差係数は、フル４ポート校正において周知のものであるが、念のため、それらを以下に簡単に説明する。Ｓパラメータの下付文字のうち右側の数字は、スティミュラス・ポートの番号を示している。また、Ｓパラメータの下付文字のうち左側の数字は、レスポンス・ポートの番号を示している。誤差係数Ｅｄ_ｉ，Ｅｓ_ｉ，Ｅｒ_ｉは、測定ポートｉに関する誤差係数である。また、誤差係数Ｅｘ_ｊｉ，Ｅｌ_ｊｉ，Ｅｔ_ｊｉは、測定ポートｉと測定ポートｊとの対に関する誤差係数である。なお、測定ポートの番号ｉは、スティミュラス・ポートの番号である。また、測定ポートの番号ｊは、レスポンス・ポートの番号である。なお、誤差係数Ｅｄ_ｉ，Ｅｓ_ｉ，Ｅｒ_ｉについてのレスポンス・ポートの番号は、スティミュラス・ポートの番号と同じである。

さて、表１は、測定ポートに接続される標準器の種類と測定するＳパラメータの種類との組み合わせと、誤差係数との関係を示している。以下に、表１の見方を例示する。例えば、表１によれば、測定ポート１にオープン標準器が接続されている状態でＳ_１１を測定する時、その測定結果であるＳ_１１Ｍｏが、誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１に影響を及ぼすことが分かる。逆に言えば、それらの誤差係数を求める際に、それぞれ、Ｓ_１１Ｍｏが利用されているということである。従って、測定ポート１にオープン標準器が接続されている状態でＳ_１１を測定すると、誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１が再計算の対象となる。なお、反射測定において、オープン標準器、ショート標準器またはロード標準器が接続される測定ポートの番号は、Ｓパラメータの下付数字で特定されるので、表１中では明示されていない。

また、表１によれば、測定ポート１にスルー標準器が接続されている状態でＳ_１１を測定すると、誤差係数Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１のいずれかが再計算の対象となる。誤差係数Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１のいずれであるかは、スルー標準器が接続される測定ポートの対により決定される。測定ポートの対は、表１中のスルー標準器の列に記されている。例えば、スルー標準器が測定ポート１と測定ポート４との間に接続されている状態でＳ_１１を測定すると、誤差係数Ｅｌ_４１が再計算の対象となる。

さらに、表１によれば、測定ポート１と測定ポート２との間にスルー標準器が接続されている状態でＳ_２１を測定すると、誤差係数Ｅｔ_２１が再計算の対象となる。なお、スルー標準器が接続される測定ポートの番号は、Ｓパラメータの下付数字で特定されるので、表１中では明示されていない。

またさらに、表１によれば、校正対象の全測定ポートにアイソレーション標準器が接続されている状態でＳ_２３を測定すると、誤差係数Ｅｘ_２３およびＥｔ_２３が再計算の対象となる。なお、アイソレーション標準器は、校正対象の全測定ポートを個別に無反射終端する標準器であって、実際には、校正対象の全測定ポートのそれぞれに同時に接続されるロード標準器で代用される。なお、表１中の「アイソレーション測定」は、アイソレーション標準器が接続されている状態における伝送測定である。

次に、ステップＳ３０において、ステップＳ２０で特定された種類の誤差係数を再計算する。各誤差係数の計算は、以下の式１〜式６を用いて、プロセッサ３００により行われる。ここで、測定ポートｉにおけるショート標準器、オープン標準器、および、ロード標準器の測定値を、Ｓ_ｉｉＭｓ，Ｓ_ｉｉＭｏ，および，Ｓ_ｉｉＭｌとする。また、それらの測定値に対応する理論値を、Ｓ_ｉｉＡｓ，Ｓ_ｉｉＡｏ，Ｓ_ｉｉＡｌとする。理論値は、校正キットの定義値または理想標準器の特性値から得られるものである。例えば、理想スルー標準器の場合、Ｓ_ｉｉＡｔ＝Ｓ_ｊｊＡｔ＝０、Ｓ_ｉｊＡｔ＝Ｓ_ｊｉＡｔ＝１、である。なお、Ｓパラメータ記号中の”Ｍ”および”Ａ”に後続するアルファベットは、測定ポートｉに接続される標準器の種類を示している。具体的には、”ｓ”がショート標準器を、”ｏ”がオープン標準器を、”ｌ”がロード標準器を、それぞれ意味する。また、測定ポートｉから測定ポートｊへのクロストークを、Ｓ_ｊｉＭ_ｉｓｏｌ、とする。さらに、測定ポートｉと測定ポートｊとの間に接続されたスルー標準器の測定値を、Ｓ_ｉｉＭｔ，Ｓ_ｉｊＭｔ，Ｓ_ｊｉＭｔ，Ｓ_ｊｊＭｔ、とする。また、それらの測定値に対応する理論値を、Ｓ_ｉｉＡｔ、Ｓ_ｉｊＡｔ、Ｓ_ｊｉＡｔ、Ｓ_ｊｊＡｔ、とする。ｉ，ｊは、既に述べたとおり、レスポンス・ポートおよびスティミュラス・ポートの番号である。

ただし、

なお、式６に式５を代入すると、Ｅｔの計算式からＥｌを取り除くことができる。つまり、Ｅｔの計算においてＥｌが不要となる。

ところで、ステップ１０において、測定ポート１にオープン標準器を接続し、Ｓ_１１のみを再測定した場合、ステップ２０では、誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１を再計算することになる。誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１の計算は、表２によれば、オープン標準器以外の標準器の測定値も必要とする。しかし、オープン標準器以外の標準器は、測定されていない。なお、表２は、表１と同様に、式１〜式６に基づいて作成されたものである。

本ステップ（Ｓ３０）では、誤差係数の計算に必要な標準器の測定値のうち、ステップ１０で測定されていない値を、標準器の理論値と事前の校正で得られている誤差係数とに基づいて、計算により再現する。誤差係数は理論値と測定値とについての関数であるから、測定値を理論値と誤差係数とについての逆関数として表現できる。本ステップでは、プロセッサ３００が当該逆関数を用いて理論値および誤差係数から仮想の測定値を求める。以降、計算により求められる仮想の測定値には、実測により得られた値と区別するために、末尾に”ｖ”を付す。また、事前の校正により既に得られている誤差係数の値には、再計算により新たに得られる誤差係数の値と区別するために、末尾に”ｏｌｄ”を付す。一方、新たな計算により得られる誤差係数の値には、末尾に”ｎｅｗ”を付す。

まず、式５および式６のそれぞれを変形すると、スルー標準器の仮想測定値Ｓ_ｉｉＭｔｖおよびＳ_ｊｉＭｔｖを求める式７および式８を得ることができる。

次に、オープン標準器、ショート標準器およびロード標準器の仮想測定値Ｓ_ｉｉＭｏｖ，Ｓ_ｉｉＭｓｖおよびＳ_ｉｉＭｌｖを求める。これらの仮想測定値を求める式は、図３に示される１ポート誤差モデルのシグナル・フローから導出することができる。

前述の例を引用すると、ステップ１０において、測定ポート１にオープン標準器を接続し、Ｓ_１１のみを再測定した場合、ステップ２０では、誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１を再計算することになる。従来技術によれば、これらの誤差係数の計算には、オープン標準器、ショート標準器、ロード標準器およびスルー標準器の実測値が必要とされた。しかし、式１０および式１１を用いることにより、オープン標準器の測定値Ｓ_１１のみから、新たな誤差係数Ｅｓ_１ｎｅｗ，Ｅｄ_１ｎｅｗ，Ｅｒ_１ｎｅｗを算出することができる。また、式７および式８を用いることにより、新たな誤差係数Ｅｓ_１ｎｅｗ，Ｅｄ_１ｎｅｗ，Ｅｒ_１ｎｅｗから、新たな誤差係数Ｅｌ_２１ｎｅｗ，Ｅｌ_３１ｎｅｗ，Ｅｌ_４１ｎｅｗ，Ｅｔ_２１ｎｅｗ，Ｅｔ_３１ｎｅｗ，Ｅｔ_４１ｎｅｗを算出することができる。

最後に、ステップＳ４０において、誤差係数の上書きを行う。具体的には、測定値の補正のために記憶部４００に格納されている誤差係数に、再計算により新たに得られた誤差係数値を上書きする。例えば、測定ポート１にオープン標準器を接続し、Ｓ_１１のみを再測定した場合、新たな誤差係数値Ｅｓ_１ｎｅｗ，Ｅｄ_１ｎｅｗ，Ｅｒ_１ｎｅｗ，Ｅｌ_２１ｎｅｗ，Ｅｌ_３１ｎｅｗ，Ｅｌ_４１ｎｅｗ，Ｅｔ_２１ｎｅｗ，Ｅｔ_３１ｎｅｗ，Ｅｔ_４１ｎｅｗが得られる。これらの新たな値を、記憶部４００に格納されている誤差係数Ｅｓ_１，Ｅｄ_１，Ｅｒ_１，Ｅｌ_２１，Ｅｌ_３１，Ｅｌ_４１，Ｅｔ_２１，Ｅｔ_３１，Ｅｔ_４１に上書きする。一方、上書きされない誤差係数は、校正時に得られた値のままである（図４）。

そして、図２のフローチャートには示していないが、ステップ４０実施後、ネットワークアナライザ１０は、補正機能が有効である間、上書き後の誤差係数（図４）を用いて測定値を補正する。

さて、本実施形態において、プロセッサ３００が実施しているステップＳ２０〜Ｓ４０の処理は、ネットワークアナライザ１０に外部接続されるコンピュータが実施するようにしてもよい。

また、本実施形態において、校正時と再校正時のそれぞれにおいて使用される標準器が、同じ物であるか異なる物であるか詳述していない。それは、本発明が標準器の同一性を要求しないからである。従って、例えば、ネットワークアナライザを電子校正キットでフルＮポート校正した後に、他の校正キットのスルー標準器を用いて同ネットワークアナライザを再校正することができる。

さらに、本実施形態において、４ポートのネットワークアナライザにおけるフル４ポート校正の再校正方法について説明した。しかし、本発明は、１以上のポートを有するネットワークアナライザの再校正に適用可能である。また、他の校正方法に対しても適用可能である。すなわち、あらゆる校正方法において、表１のような、計算すべき誤差係数を特定するための表が作成でき、測定した回路パラメータに関連する誤差係数のみを計算するだけで再校正を行うことができる。また、既に得られている誤差係数と標準器の理論値とから仮想測定値を求めることができる。

本発明の第一の実施形態であるネットワークアナライザ１０の構成を示すブロック図である。 ネットワークアナライザ１０における再校正の手順を示すフローチャートである。 １ポート誤差モデルのシグナル・フローである。 記憶部４００に格納される誤差係数値を示す図である。

符号の説明

１，２，３，４ 測定ポート
２００ 測定部
２１０ 信号源
２２０ スイッチ
２３１，２３２，２３３，２３４ 方向性結合器
２４１，２４２，２４３，２４４ 方向性結合器
２５１，２５２，２５３，２５４ リファレンス・レシーバ
２６１，２６２，２６３，２６４ リファレンス・レシーバ
４００ 記憶部
５００ 表示部
６００ 入出力インタフェース

Claims (6)

1. 校正されたネットワークアナライザを再校正する方法であって、
   標準器の回路パラメータを測定するステップと、
   前記測定された回路パラメータに関連する誤差係数の種類を特定するステップと、
   前記測定された回路パラメータを用いて、前記特定された種類の誤差係数を計算するステップと、
   を含む再校正方法。
2. 前記計算に必要な回路パラメータのうち、前記測定された回路パラメータ以外の回路パラメータを、前記回路パラメータの理論値と前記校正により得られた誤差係数とを用いて再現するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の再校正方法。
3. 前記計算により得られた誤差係数の値を、前記校正により得られた誤差係数に上書きするステップを含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の再校正方法。
4. 校正により得られた誤差係数と、前記校正により得られた誤差係数のうち前記校正の後に得られた標準器の測定値を用いて再計算された誤差係数とに基づいて測定値を補正するネットワークアナライザ。
5. 前記再計算に必要な測定値のうち、前記校正後に得られた測定値以外の測定値が、その測定値に対応する理論値と前記校正により得られた誤差係数とを用いて再現されることを特徴とする請求項４に記載のネットワークアナライザ。
6. 前記再計算により得られた誤差係数の値が前記校正により得られた誤差係数に上書きされた場合に、前記上書きされた誤差係数に基づいて測定値を補正することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のネットワークアナライザ。
   

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