JP4002940B1 - 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 - Google Patents

誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 Download PDF

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Abstract

【課題】スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行う。
【解決手段】信号の測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源の測定用出力端子についての誤差要因である第一ポート誤差要因Eijaを取得する第一ポート誤差要因取得部22と、スイッチにおける誤差要因であるスイッチ部分誤差要因Qija、Qijb、Qijc、Qijdを記録するスイッチ部分誤差要因記録部24と、スイッチ部分誤差要因のうちの測定用出力端子に関するものQijaと、第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、信号源における誤差要因である信号源誤差要因Pijを取得する信号源誤差要因取得部28aと、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの測定用出力端子以外の出力端子に関するものQijbとに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを導出する第二ポート誤差要因導出部28bとを備えた誤差要因測定装置20。
【選択図】図5

Description

本発明は、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたスイッチ分岐信号源のキャリブレーションに関する。
従来より、被測定物(DUT:Device
Under Test)の回路パラメータ(例えば、Sパラメータ)を測定することが行われている(例えば、特許文献1を参照)。
具体的には、信号源から信号をDUTを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりDUTのSパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とDUTとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばEd:ブリッジの方向性に起因する誤差、Er:周波数トラッキングに起因する誤差、Es:ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献1に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン(開放)、ショート(短絡)、ロード(標準負荷Z0)の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のSパラメータを求める。三種類のSパラメータから三種類の変数Ed、Er、Esを求め、補正を行う。
なお、Erは、信号の入力に関する誤差Er1と、信号の反射に関する誤差Er2との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Er1およびEr2を測定することができる(例えば、特許文献2を参照)。
このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用することができる。なお、スイッチ分岐信号源とは、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたものである。このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用した場合、複数のポートの各々について、オープン(開放)、ショート(短絡)、ロード(標準負荷Z0)の三種類の状態を実現し、さらに必要があればパワーメータも接続することになる。
特開平11−38054号公報 国際公開第2004/049564号パンフレット
しかしながら、スイッチ分岐信号源の複数のポートの各々について、上記の三種類の状態(さらに必要があればパワーメータも接続する)を実現しなければならないため、多大な労力をキャリブレーションに費やすことになる。
そこで、本発明は、スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行うことを課題とする。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録手段と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、を備えるように構成される。
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、第一誤差要因取得手段が、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する。単一端子系誤差要因記録手段が、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する。第二誤差要因取得手段が、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源における前記誤差要因である信号源誤差要因を取得する信号源誤差要因取得部と、前記信号源誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号源が、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、前記単一端子系は、前記接続系を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器における前記誤差要因である増幅器誤差要因を取得する増幅器誤差要因取得部と、前記増幅器誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記信号源を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、両者の関係を取得する関係取得部と、前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録手段と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、を備えるように構成される。
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、第一誤差要因取得手段が、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する。関係記録手段が、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する。第二誤差要因取得手段が、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記信号源を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号の測定結果が、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記測定用出力端子に校正用具が接続された状態で、前記信号が測定され、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号の測定結果が、さらに、前記測定用出力端子から出力されたものを測定した結果を有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる出力補正装置は、上記のような誤差要因測定装置と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構成される。
なお、本発明にかかる反射係数測定装置は、上記のような誤差要因測定装置と、前記出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録工程と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、を備えた誤差要因測定方法である。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録工程と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、を備えた誤差要因測定方法である。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
図1は、第一の実施形態のスイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。スイッチ分岐信号源10は、信号源100、スイッチ18、出力端子19a、19b、19c、19dを有する。
信号源100は、信号を生成するためのものである。信号源100は、信号生成部12、アンプ13、ブリッジ14a、14b、ミキサ16a、16bを有する。
信号生成部12は、信号(例えば、高周波数の信号)を生成する。アンプ13は、信号生成部12により生成された信号を増幅する。
ブリッジ14aは、アンプ13の出力を受け、二方向に分岐させる。ミキサ16aは、ブリッジ14aの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ16aの出力が、信号源100における誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。
ブリッジ14bは、ブリッジ14aの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、信号が出力側から反射されてきたもの(「反射信号」という)を受け、ミキサ16bに与える。ミキサ16bは、反射信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ16bの出力が、反射信号を測定した結果といえる。
スイッチ18は、信号源100に接続され、出力端子19a、19b、19c、19dのいずれかから信号を出力させるものである。
出力端子19a、19b、19c、19dは、そのいずれかが、スイッチ18により、信号源100に接続される。そして、信号源100に接続された出力端子から信号が出力される。
ここで、出力端子19aから信号が出力される場合の、出力端子19aの出力のSパラメータをa1、出力が出力端子19aに反射されてきたもののSパラメータをb1とする。
出力端子19bから信号が出力される場合の、出力端子19bの出力のSパラメータをa2、出力が出力端子19bに反射されてきたもののSパラメータをb2とする。
出力端子19cから信号が出力される場合の、出力端子19cの出力のSパラメータをa3、出力が出力端子19cに反射されてきたもののSパラメータをb3とする。
出力端子19dから信号が出力される場合の、出力端子19dの出力のSパラメータをa4、出力が出力端子19dに反射されてきたもののSパラメータをb4とする。
図2は、第一の実施形態のスイッチ分岐信号源10のシグナルフローグラフである。図2(a)は、信号源100を出力端子19aに接続した場合のシグナルフローグラフである。図2(b)は、信号源100を出力端子19bに接続した場合のシグナルフローグラフである。図2(c)は、信号源100を出力端子19cに接続した場合のシグナルフローグラフである。図2(d)は、信号源100を出力端子19dに接続した場合のシグナルフローグラフである。
図2において、信号生成部12の出力をSG、ミキサ16aの出力をR1、ミキサ16bの出力をR2と表記する。また、図2に示すように、R1=SG×Lとなる、ただし、L(Sパラメータ)は、アンプ13により生じる誤差要因である。
図2(a)を参照して、信号源100を出力端子19aに接続した場合は、誤差要因E11a、E12a、E21a、E22a(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因E11a、E12a、E21a、E22aを、第一ポート誤差要因という。
図2(b)を参照して、信号源100を出力端子19bに接続した場合は、誤差要因E11b、E12b、E21b、E22b(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因E11b、E12b、E21b、E22bを、第二ポート誤差要因という。
図2(c)を参照して、信号源100を出力端子19cに接続した場合は、誤差要因E11c、E12c、E21c、E22c(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因E11c、E12c、E21c、E22cを、第三ポート誤差要因という。
図2(d)を参照して、信号源100を出力端子19dに接続した場合は、誤差要因E11d、E12d、E21d、E22d(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因E11d、E12d、E21d、E22dを、第四ポート誤差要因という。
図3は、第一の実施形態の信号源100が端子15を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。端子15は、信号源100をスイッチ18に接続するための端子である。なお、端子15の出力をa5、端子15の出力が端子15に反射されてきたものをb5とする。
図4は、第一の実施形態において、端子15を仮想した場合のスイッチ分岐信号源10のシグナルフローグラフである。図4(a)は、信号源100を出力端子19aに接続した場合のシグナルフローグラフである。図4(b)は、信号源100を出力端子19bに接続した場合のシグナルフローグラフである。図4(c)は、信号源100を出力端子19cに接続した場合のシグナルフローグラフである。図4(d)は、信号源100を出力端子19dに接続した場合のシグナルフローグラフである。
なお、図10は、信号源100を出力端子に接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。図10(a)は、信号源100を出力端子19aに接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。図10(b)は、信号源100を出力端子19bに接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。図10(c)は、信号源100を出力端子19cに接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。図10(d)は、信号源100を出力端子19dに接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。
図4を参照すると、信号源100を出力端子19a、19a、19a、19dのいずれに接続しても、共通した誤差要因P11、P12、P21、P22が発生していることがわかる。誤差要因P11、P12、P21、P22は、信号源100における誤差要因であり、信号源誤差要因という。信号源誤差要因P11、P12、P21、P22は、温度および時間が変化すると、値が変化しやすいSパラメータである。
図4(a)を参照して、信号源100を出力端子19aに接続した場合は、誤差要因Q11a、Q12a、Q21a、Q22a(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因Q11a、Q12a、Q21a、Q22aは、信号源100を出力端子19aに接続した場合のスイッチ18の誤差要因であり、第一スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源100を出力端子19aに接続した場合のスイッチ18とは、より詳細には、図10(a)を参照して、スイッチ18における、信号源100(の端子15)と、ある一つの出力端子19aとを接続するスイッチ部分18aである。
図4(b)を参照して、信号源100を出力端子19bに接続した場合は、誤差要因Q11b、Q12b、Q21b、Q22b(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因Q11b、Q12b、Q21b、Q22bは、信号源100を出力端子19bに接続した場合のスイッチ18の誤差要因であり、第二スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源100を出力端子19bに接続した場合のスイッチ18とは、より詳細には、図10(b)を参照して、スイッチ18における、信号源100(の端子15)と、ある一つの出力端子19bとを接続するスイッチ部分18bである。
図4(c)を参照して、信号源100を出力端子19cに接続した場合は、誤差要因Q11c、Q12c、Q21c、Q22c(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因Q11c、Q12c、Q21c、Q22cは、信号源100を出力端子19cに接続した場合のスイッチ18の誤差要因であり、第三スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源100を出力端子19cに接続した場合のスイッチ18とは、より詳細には、図10(c)を参照して、スイッチ18における、信号源100(の端子15)と、ある一つの出力端子19cとを接続するスイッチ部分18cである。
図4(d)を参照して、信号源100を出力端子19dに接続した場合は、誤差要因Q11d、Q12d、Q21d、Q22d(Sパラメータ)が発生していることがわかる。誤差要因Q11d、Q12d、Q21d、Q22dは、信号源100を出力端子19dに接続した場合のスイッチ18の誤差要因であり、第四スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源100を出力端子19dに接続した場合のスイッチ18とは、より詳細には、図10(d)を参照して、スイッチ18における、信号源100(の端子15)と、ある一つの出力端子19dとを接続するスイッチ部分18dである。
ここで、スイッチ分岐信号源10の一部分であって、しかも、出力端子19a、19a、19a、19dのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、スイッチ部分18a、18b、18c、18dは、単一端子系である。第一スイッチ部分誤差要因、第二スイッチ部分誤差要因、第三スイッチ部分誤差要因および第四スイッチ部分誤差要因は、それぞれ、単一端子系であるスイッチ部分18a、18b、18c、18dの誤差要因なので、単一端子系誤差要因である。
図2(a)および図4(a)を参照すると、信号源誤差要因P11、P12、P21、P22と、第一スイッチ部分誤差要因Q11a、Q12a、Q21a、Q22aとを合成したものが、第一ポート誤差要因E11a、E12a、E21a、E22aとなることがわかる。
これらの誤差要因は全てSパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第一ポート誤差要因Eija(ただし、i=1または2、j=1または2)をTパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qija)、T(Eija)とする。
図2(b)および図4(b)を参照すると、信号源誤差要因P11、P12、P21、P22と、第二スイッチ部分誤差要因Q11b、Q12b、Q21b、Q22bとを合成したものが、第二ポート誤差要因E11b、E12b、E21b、E22bとなることがわかる。
これらの誤差要因は全てSパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第二ポート誤差要因Eijb(ただし、i=1または2、j=1または2)をTパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijb)、T(Eijb)とする。
図2(c)および図4(c)を参照すると、信号源誤差要因P11、P12、P21、P22と、第三スイッチ部分誤差要因Q11c、Q12c、Q21c、Q22cとを合成したものが、第三ポート誤差要因E11c、E12c、E21c、E22cとなることがわかる。
これらの誤差要因は全てSパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第三スイッチ部分誤差要因Qijc、第三ポート誤差要因Eijc(ただし、i=1または2、j=1または2)をTパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijc)、T(Eijc)とする。
図2(d)および図4(d)を参照すると、信号源誤差要因P11、P12、P21、P22と、第四スイッチ部分誤差要因Q11d、Q12d、Q21d、Q22dとを合成したものが、第四ポート誤差要因E11d、E12d、E21d、E22dとなることがわかる。
これらの誤差要因は全てSパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第四スイッチ部分誤差要因Qijd、第四ポート誤差要因Eijd(ただし、i=1または2、j=1または2)をTパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijd)、T(Eijd)とする。
すると、下記の式(1)、(2)、(3)、(4)が成立する。
T(Eija) = T(Pij)・T(Qija) (1)
T(Eijb) = T(Pij)・T(Qijb) (2)
T(Eijc) = T(Pij)・T(Qijc) (3)
T(Eijd) = T(Pij)・T(Qijd) (4)
なお、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第三スイッチ部分誤差要因Qijcおよび第四スイッチ部分誤差要因Qijdは、温度および時間が変化しても、信号源誤差要因Pijに比べると、値が一定に保たれるとみなしうるSパラメータである。
図5は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置20は、端子21a、21b、21c、第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22、スイッチ部分誤差要因記録部(単一端子系誤差要因記録手段)24、信号源誤差要因取得部28a、第二ポート誤差要因導出部28b、第三ポート誤差要因導出部28c、第四ポート誤差要因導出部28dを備える。
端子21aは、スイッチ分岐信号源10のミキサ16aに接続される端子である。端子21bは、スイッチ分岐信号源10のミキサ16bに接続される端子である。端子21cは、スイッチ分岐信号源10の出力端子19a、19b、19c、19dのいずれかに接続されたパワーメータ(詳細は後述する)の測定結果を受ける端子である。
第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22は、端子21a、21b、21cを介して、スイッチ分岐信号源10の出力端子(測定用出力端子)19aから信号が出力されている状態における信号の測定結果を受ける。
図6および図8を参照して、端子21a、21b、21cが、どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。図6を参照して、出力端子(測定用出力端子)19aに校正用具62(開放、短絡および標準負荷)が接続されている状態で、端子21a、21bは、それぞれ、信号(第一ポート誤差要因Eijaが生じる前のものであり、信号が校正用具62により反射される前のもの)、反射信号(信号が校正用具62により反射されたもの)の測定結果を受ける。図8を参照して、出力端子(測定用出力端子)19aにパワーメータ64が接続されている状態で、端子21a、21cは、それぞれ、信号(第一ポート誤差要因Eijaが生じる前のもの)、信号(出力端子19aから出力されたもの)の測定結果を受ける。
さらに、第一ポート誤差要因取得部22は、上記のような信号の測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源10の出力端子19aについての誤差要因である第一ポート誤差要因E11a、E12a、E21a、E22aを取得する。取得された第一ポート誤差要因Eija(ただし、i=1または2、j=1または2)は、誤差要因測定装置20の外部に出力され、しかも、信号源誤差要因取得部28aにも与えられる。
スイッチ部分誤差要因記録部(単一端子系誤差要因記録手段)24は、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第三スイッチ部分誤差要因Qijcおよび第四スイッチ部分誤差要因Qijdを記録する。例えば、スイッチ部分誤差要因記録部24は、Qija、Qijb、QijcおよびQijdをTパラメータとして記録する。すなわち、スイッチ部分誤差要因記録部24は、例えば、T(Qija)、T(Qijb)、T(Qijc)、T(Qijd)を記録する。なお、スイッチ部分誤差要因は、スイッチ18を工場から出荷する時に測定しておき、スイッチ部分誤差要因記録部24に記録させておくことができる。また、スイッチ部分誤差要因記録部24は、Qija、Qijb、QijcおよびQijdをSパラメータとして記録してもよい。
信号源誤差要因取得部28aは、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一スイッチ部分誤差要因Qija)と、第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、信号源誤差要因Pijを取得する。
例えば、信号源誤差要因取得部28aは、以下のようにして、信号源誤差要因Pijを取得する。まず、第一ポート誤差要因Eijaを第一ポート誤差要因取得部22から受け、Tパラメータに変換する。これにより、T(Eija)が取得できる。また、T(Qija)をスイッチ部分誤差要因記録部24から受ける。ここで、式(1)をT(Pij)について解くと、下記の式(5)が得られる。
T(Pij) = T(Eija)・T(Qija)-1 (5)
ただし、T()-1の演算は逆行列を意味する。例えば、T(Qija)-1は、T(Qija)の逆行列を意味する。
よって、信号源誤差要因取得部28aは、T(Eija)およびT(Qija)を式(5)に代入して、T(Pij)(信号源誤差要因をTパラメータで表現したもの)を取得できる。
なお、信号源誤差要因取得部28aが信号源誤差要因Pijを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。Tパラメータを用いて説明を行ったのは、説明の便宜を図るためである。むしろ、信号源誤差要因Pij(Sパラメータ)を、第一ポート誤差要因Eija(Sパラメータ)と第一スイッチ部分誤差要因Qija(Sパラメータ)とにより表した式により、Tパラメータを利用せずに信号源誤差要因Pijを取得することの方が好ましい。
第二ポート誤差要因導出部28bは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19bに関するもの(第二スイッチ部分誤差要因Qijb)とに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを導出する。導出された第二ポート誤差要因Eijbは、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
例えば、第二ポート誤差要因導出部28bは、以下のようにして、第二ポート誤差要因Eijbを取得する。まず、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を受け、T(Qijb)をスイッチ部分誤差要因記録部24から受ける。さらに、第二ポート誤差要因導出部28bは、T(Pij)およびT(Qijb)を、式(2)に代入し、T(Eijb)を得る。最後に、T(Eijb)をSパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijbを得る。
なお、第二ポート誤差要因導出部28bが第二ポート誤差要因Eijbを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。第二ポート誤差要因Eijb(Sパラメータ)を、信号源誤差要因Pij(Sパラメータ)と第二スイッチ部分誤差要因Qijb(Sパラメータ)とにより表した式により、Tパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijbを取得してもよい。
第三ポート誤差要因導出部28cは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19cに関するもの(第三スイッチ部分誤差要因Qijc)とに基づき、第三ポート誤差要因Eijcを導出する。導出された第三ポート誤差要因Eijcは、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
例えば、第三ポート誤差要因導出部28cは、以下のようにして、第三ポート誤差要因Eijcを取得する。まず、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を受け、T(Qijc)をスイッチ部分誤差要因記録部24から受ける。さらに、第三ポート誤差要因導出部28cは、T(Pij)およびT(Qijc)を、式(3)に代入し、T(Eijc)を得る。最後に、T(Eijc)をSパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijcを得る。
なお、第三ポート誤差要因導出部28cが第三ポート誤差要因Eijcを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。第三ポート誤差要因Eijc(Sパラメータ)を、信号源誤差要因Pij(Sパラメータ)と第三スイッチ部分誤差要因Qijc(Sパラメータ)とにより表した式により、Tパラメータを利用せずに第三ポート誤差要因Eijcを取得してもよい。
第四ポート誤差要因導出部28dは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19dに関するもの(第四スイッチ部分誤差要因Qijd)とに基づき、第四ポート誤差要因Eijdを導出する。導出された第四ポート誤差要因Eijdは、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
例えば、第四ポート誤差要因導出部28dは、以下のようにして、第四ポート誤差要因Eijdを取得する。まず、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を受け、T(Qijd)をスイッチ部分誤差要因記録部24から受ける。さらに、第四ポート誤差要因導出部28bは、T(Pij)およびT(Qijd)を、式(4)に代入し、T(Eijd)を得る。最後に、T(Eijd)をSパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijdを得る。
なお、第四ポート誤差要因導出部28dが第四ポート誤差要因Eijdを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。第四ポート誤差要因Eijd(Sパラメータ)を、信号源誤差要因Pij(Sパラメータ)と第四スイッチ部分誤差要因Qijd(Sパラメータ)とにより表した式により、Tパラメータを利用せずに第四ポート誤差要因Eijdを取得してもよい。
ここで、スイッチ分岐信号源10の出力端子のうちのいずれか一つ(測定用出力端子)から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源10の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源10の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
すると、測定用出力端子は出力端子19aということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eijaということになる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdとなる。
また、信号源誤差要因取得部28aおよび第二ポート誤差要因導出部28bが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijbに基づいて第二誤差要因(第二ポート誤差要因Eijb)を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、信号源誤差要因取得部28aおよび第三ポート誤差要因導出部28cが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijcに基づいて第三誤差要因(第三ポート誤差要因Eijc)を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、信号源誤差要因取得部28aおよび第四ポート誤差要因導出部28dが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijdに基づいて第四誤差要因(第二ポート誤差要因Eijd)を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
次に、本発明の第一の実施形態の動作を説明する。
まず、校正用具62をスイッチ分岐信号源10の出力端子(測定用出力端子)19aに、スイッチ分岐信号源10のミキサ16aを誤差要因測定装置20の端子21aに、スイッチ分岐信号源10のミキサ16bを誤差要因測定装置20の端子21bに接続する。
図6は、第一の実施形態において、校正用具62を出力端子19aに、ミキサ16a、16bを、端子21a、21bに接続した状態を示す図である。なお、図6においては、誤差要因測定装置20の端子21a、21b、21c、第一ポート誤差要因取得部22以外は図示省略する。
図7は、図6に示す状態の誤差要因測定装置20をシグナルフローグラフで表した図である。R1は、第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。R2は、反射信号の測定結果である。ただし、反射信号は、出力端子19aから出力された信号(a1)が校正用具62により反射されたもの(b1)である。また、校正用具62により反射された信号(b1)が、スイッチ18を介して、ブリッジ14bに与えられる。ブリッジ14bに与えられた反射信号は、ミキサ16bに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ16bの出力がR2である。図7において、L=1とすると、下記の式(6)が成立する。
R2/R1=E11a+(E21a・E12a・X)/(1−E22a・X) (6)
ただし、Xは、校正用具62の負荷係数である。校正用具62は、開放、短絡および標準負荷Z0の三種類の状態を実現する周知のものである(例えば、特許文献1を参照)。
ここで、校正用具62が三種類接続されるため、R2とR1との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もE11a、E22a、E12a×E21aという三種類の変数である。このようにして、第一ポート誤差要因取得部22は、E11a、E22a、E12a×E21aを取得する。
すなわち、第一ポート誤差要因取得部22は、出力端子19aに校正用具62が接続された状態で、出力端子(測定用出力端子)19aから信号が出力されている状態における信号の測定結果(R1:第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果、R2:反射信号の測定結果)を端子21a、端子21bを介して受け、スイッチ分岐信号源10の出力端子(測定用出力端子)19aについての誤差要因E11a、E22a、E12a×E21aを取得する。
なお、E21a=1とすれば、E12aが取得できるので、パワーメータ64による測定は不要である。
次に、パワーメータ64をスイッチ分岐信号源10の出力端子19aに、スイッチ分岐信号源10のミキサ16aを誤差要因測定装置20の端子21aに接続する。
図8は、第一の実施形態において、パワーメータ64を出力端子19aに、ミキサ16aを端子21aに接続した状態を示す図である。なお、図8においては、誤差要因測定装置20の端子21a、21b、21c、第一ポート誤差要因取得部22以外は図示省略する。
図9は、図8に示す状態の誤差要因測定装置20をシグナルフローグラフで表した図である。図9において、L=1とすると、下記の式(7)が成立する。
P/R1=E21a/(1−E22a・Ep) (7)
ただし、Pは、出力端子(測定用出力端子)19aから出力された信号をパワーメータ64により測定した結果である。ここで、E22aは既に取得しており、Epは測定可能なので、E21aを求めることができる。E12a×E21aは既に取得しているので、E12aもまた求めることができる。このようにして、第一ポート誤差要因取得部22は、E11a、E22a、E12a、E21aを取得する。
すなわち、第一ポート誤差要因取得部22は、出力端子(測定用出力端子)19aから信号が出力されている状態における信号の測定結果(R1:第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果、P:出力端子(測定用出力端子)19aから出力された信号をパワーメータ64により測定した結果)を端子21a、端子21cを介して受け、スイッチ分岐信号源10の出力端子(測定用出力端子)19aについての誤差要因E11a、E22a、E12a、E21aを取得する。
図5に戻り、信号源誤差要因取得部28aが、第一ポート誤差要因取得部22から第一ポート誤差要因Eijaを受け、スイッチ部分誤差要因記録部24から第一スイッチ部分誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Qija)を受ける。さらに、信号源誤差要因取得部28aは、EijaとT(Qija)とに基づき、信号源誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Pij)を取得する(式(5)参照)。
第二ポート誤差要因導出部28bは、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部24から第二スイッチ部分誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Qijb)を受ける。さらに、第二ポート誤差要因導出部28bは、T(Pij)とT(Qijb)とに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを取得する(式(2)参照)。
第三ポート誤差要因導出部28cは、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部24から第三スイッチ部分誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Qijc)を受ける。さらに、第三ポート誤差要因導出部28cは、T(Pij)とT(Qijc)とに基づき、第三ポート誤差要因Eijcを取得する(式(3)参照)。
第四ポート誤差要因導出部28dは、信号源誤差要因取得部28aからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部24から第四スイッチ部分誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Qijd)を受ける。さらに、第四ポート誤差要因導出部28dは、T(Pij)とT(Qijd)とに基づき、第四ポート誤差要因Eijdを取得する(式(4)参照)。
本発明の第一の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを取得するためには、信号の測定を出力端子(測定用出力端子)19aについてのみ行えばよい。他の出力端子19b、19c、19dについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源10のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態における端子15を、アンプ13とブリッジ14aとの間に移動させたものである。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
スイッチ分岐信号源10の構成(図1参照)およびシグナルフローグラフ(図2参照)は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
図11は、第二の実施形態の信号源100が端子15を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。信号源100は、信号生成部12、アンプ13からなる部分信号源100aを有する。さらに、信号源100は、ブリッジ14a、14bからなる接続系100bを有する。接続系100bは、部分信号源100aのアンプ13と、スイッチ18とを接続する。端子15は、部分信号源100aのアンプ13を、接続系100bのブリッジ14aに接続するための端子である。なお、端子15の出力をa5、端子15の出力が端子15に反射されてきたものをb5とする。
第二の実施形態において、端子15を仮想した場合のスイッチ分岐信号源10のシグナルフローグラフは、図2と同様である。ここで、アンプ13により生じる誤差要因Lを、増幅器誤差要因という。
また、スイッチ分岐信号源10の一部分であって、しかも、出力端子19a、19a、19a、19dのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、部分信号源100aよりも出力端子寄りの部分、すなわち、接続系100bおよびスイッチ部分18aが単一端子系を構成する。同様に、接続系100bおよびスイッチ部分18bと、接続系100bおよびスイッチ部分18cと、接続系100bおよびスイッチ部分18dとが単一端子系を構成する。
なお、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18a)の誤差要因は、図2(a)を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。単一端子系はアンプ13を含まないので、単一端子系の誤差要因は増幅器誤差要因Lを含まない。同様に、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18b)の誤差要因は、図2(b)を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18c)の誤差要因は、図2(c)を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18d)の誤差要因は、図2(d)を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。
図12は、本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置20は、端子21a、21b、21c、第一ポート全誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)23、単一端子系誤差要因記録部25、増幅器誤差要因取得部27a、第二ポート全誤差要因導出部27b、第三ポート全誤差要因導出部27c、第四ポート全誤差要因導出部27dを備える。
端子21a、21b、21cは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
第一ポート全誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)23が受ける信号は、第一の実施形態にかかる第一ポート誤差要因取得部22が受ける信号と同じである。ただし、第一ポート全誤差要因取得部23が取得する誤差要因は、第一ポート誤差要因取得部22が取得する第一ポート誤差要因Eijaではない。第一ポート全誤差要因取得部23が取得する誤差要因は、第一ポート誤差要因Eijaの他に増幅器誤差要因Lにも関するものであり、信号源100およびスイッチ部分18aにかかわる全体的なものである。第一ポート全誤差要因取得部23が取得する誤差要因を、第一ポート全誤差要因という。図2(a)を参照して、第一ポート全誤差要因をTパラメータで表現すると、L・T(Eija)となる。第一ポート全誤差要因取得部23が取得した第一ポート全誤差要因L・T(Eija)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
単一端子系誤差要因記録部25は、第一ポート誤差要因Eija、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを記録する。例えば、単一端子系誤差要因記録部25は、Eija、Eijb、EijcおよびEijdをTパラメータとして記録する。すなわち、単一端子系誤差要因記録部25は、例えば、T(Eija)、T(Eijb)、T(Eijc)、T(Eijd)を記録する。なお、単一端子系誤差要因記録は、スイッチ分岐信号源10を工場から出荷する時に測定しておき、単一端子系誤差要因記録部25に記録させておくことができる。また、単一端子系誤差要因記録部25は、Eija、Eijb、EijcおよびEijdをSパラメータとして記録してもよい。
増幅器誤差要因取得部27aは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija)と、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)とに基づき、増幅器誤差要因Lを取得する。第一ポート誤差要因EijaをTパラメータで表すと、T(Eija)となる。よって、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)と、第一ポート誤差要因T(Eija)とに基づき、(L・T(Eija))・T(Eija)-1として(T(Eija)-1は、第一ポート誤差要因T(Eija)から導出できる)、増幅器誤差要因Lを取得する。
なお、増幅器誤差要因取得部27aが増幅器誤差要因Lを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。Tパラメータを用いて説明を行ったのは、説明の便宜を図るためである。むしろ、増幅器誤差要因L(Sパラメータ)を、第一ポート誤差要因Eija(Sパラメータ)と第一ポート全誤差要因L・T(Eija)をSパラメータで表したものとにより表した式により、Tパラメータを利用せずに増幅器誤差要因Lを取得することの方が好ましい。
第二ポート全誤差要因導出部27bは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19bに関するもの(第二ポート誤差要因Eijb)とに基づき、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)を導出する。導出された第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
第三ポート全誤差要因導出部27cは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19cに関するもの(第三ポート誤差要因Eijc)とに基づき、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)を導出する。導出された第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
第四ポート全誤差要因導出部27dは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19dに関するもの(第四ポート誤差要因Eijd)とに基づき、第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を導出する。導出された第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
なお、第二ポート全誤差要因導出部27bなどが第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)などを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)(Sパラメータ)などを、増幅器誤差要因L(Sパラメータ)と第二ポート誤差要因Eijb(Sパラメータ)などとにより表した式により、Tパラメータを利用せずに第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)などを取得するほうが好ましい。
ここで、スイッチ分岐信号源10の出力端子のうちのいずれか一つ(測定用出力端子)から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源10の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源10の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
すると、測定用出力端子は出力端子19aということになる。第一誤差要因は、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)および第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)となる。
また、増幅器誤差要因取得部27aおよび第二ポート全誤差要因導出部27bが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijb)に基づいて第二誤差要因(第二ポート全誤差要因L・T(Eijb))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、増幅器誤差要因取得部27aおよび第三ポート全誤差要因導出部27cが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijc)に基づいて第三誤差要因(第三ポート全誤差要因L・T(Eijc))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、増幅器誤差要因取得部27aおよび第四ポート全誤差要因導出部27dが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijd)に基づいて第四誤差要因(第四ポート全誤差要因L・T(Eijd))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
端子21a、21b、21cを介してのR1、R2、Pの取得は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する(図6〜図9を参照)。
図12を参照して、増幅器誤差要因取得部27aが、第一ポート全誤差要因取得部23から第一ポート全誤差要因L・T(Eija)を受け、単一端子系誤差要因記録部25から第一ポート誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Eija)を受ける。さらに、増幅器誤差要因取得部27aは、L・T(Eija)とT(Eija)とに基づき、増幅器誤差要因Lを取得する。
第二ポート全誤差要因導出部27bは、増幅器誤差要因取得部27aからLを、単一端子系誤差要因記録部25から第二ポート誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Eijb)を受ける。さらに、第二ポート全誤差要因導出部27bは、LとT(Eijb)とに基づき、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)を取得する。
第三ポート全誤差要因導出部27cは、増幅器誤差要因取得部27aからLを、単一端子系誤差要因記録部25から第三ポート誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Eijc)を受ける。さらに、第三ポート全誤差要因導出部27cは、LとT(Eijc)とに基づき、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)を取得する。
第四ポート全誤差要因導出部27dは、増幅器誤差要因取得部27aからLを、単一端子系誤差要因記録部25から第四ポート誤差要因(をTパラメータで表現したもの)T(Eijd)を受ける。さらに、第四ポート全誤差要因導出部27dは、LとT(Eijd)とに基づき、第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を取得する。
本発明の第二の実施形態によれば、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)および第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を取得するためには、信号の測定を出力端子(測定用出力端子)19aについてのみ行えばよい。他の出力端子19b、19c、19dについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源10のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
第三の実施形態
第三の実施形態は、出力端子(測定用出力端子)19aに関する誤差要因(第一ポート誤差要因Eija)と、出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子に関する誤差要因(第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcまたは第四ポート誤差要因Eijd)との関係(T(Eija)-1・T(Eijb)など)を用いて、誤差要因を測定するものである。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
スイッチ分岐信号源10の構成(図1参照)およびシグナルフローグラフ(図2参照)は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
スイッチ分岐信号源10の一部分であって、しかも、出力端子19a、19a、19a、19dのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、信号源100およびスイッチ部分18aが単一端子系を構成する。同様に、信号源100およびスイッチ部分18bと、信号源100およびスイッチ部分18cと、信号源100およびスイッチ部分18dとが単一端子系を構成する。
なお、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18a)の誤差要因は、図2(a)を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。同様に、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18b)の誤差要因は、図2(b)を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18c)の誤差要因は、図2(c)を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18d)の誤差要因は、図2(d)を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。なお、L=1と仮定している。
図13は、本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置20は、端子21a、21b、21c、第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22、単一端子系誤差要因記録部25、第二ポート関係取得部26b、第三ポート関係取得部26c、第四ポート関係取得部26d、第二ポート誤差要因導出部29b、第三ポート誤差要因導出部29c、第四ポート誤差要因導出部29dを備える。
端子21a、21b、21cは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、第一ポート誤差要因取得部22が取得する第一ポート誤差要因Eijaを、Eija(t=t1)と表記する。Eija(t=t1)とは、第一ポート誤差要因Eijaを測定した時間tがt1であるということを意味している。ただし、t1>0であるとする。
単一端子系誤差要因記録部25は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、単一端子系誤差要因記録部25が記録する第一ポート誤差要因Eija、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを、それぞれ、Eija(t=0),
Eijb(t=0), Eijc(t=0), Eijd(t=0)と表記する。Eija(t=0)とは、第一ポート誤差要因Eijaを測定した時間tが0であるということを意味している。
例えば、時間t=t1が、誤差要因測定装置20を使用して誤差要因を測定する時点である。例えば、時間t=0が、誤差要因測定装置20を、誤差要因測定装置20を生産した工場から出荷した時点である。
第二ポート関係取得部26bは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19bに関するもの(第二ポート誤差要因Eijb(t=0))とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijb)である(ただし、t=0)。
第三ポート関係取得部26cは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19cに関するもの(第三ポート誤差要因Eijc(t=0))とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijc)である(ただし、t=0)。
第四ポート関係取得部26dは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19dに関するもの(第四ポート誤差要因Eijd(t=0))とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijd)である(ただし、t=0)。
第二ポート誤差要因導出部29bは、第一ポート誤差要因取得部22が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第二ポート関係取得部26bが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijb)(ただし、t=0)とに基づき、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijb)) = T(Eijb)としてT(Eijb)を求め、T(Eijb)をSパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をTパラメータで表したものである。また、導出された第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
なお、T(Eija)はt=t1に関するものである一方で、T(Eija)-1・T(Eijb)はt=0に関するものである。しかし、T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。よって、T(Eija)(t=t1)・(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijb)(t=0)) = T(Eija)(t=t1)・(T(Eija)-1(t=t1)・T(Eijb)(t=t1)) = T(Eijb)(t=t1)である。
T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる、すなわち、T(Eija)-1(t=0)・T(Eijb)(t=0) = T(Eija)-1(t=t1)・T(Eijb)(t=t1)ということは下記のように証明される。
式(1)より、T(Pij) = T(Eija)・T(Qija) -1であり、
式(2)より、T(Pij) = T(Eijb)・T(Qijb) -1である。
よって、T(Eija)・T(Qija) -1 = T(Eijb)・T(Qijb)-1である。
よって、T(Eija)-1・T(Eijb) = T(Qija) -1・T(Qijb)となる。ここで、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijbは、値が一定に保たれるとみなしうるSパラメータであるため、T(Qija) -1・T(Qijb)も値が一定に保たれるとみなしうる。よって、T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。なお、T(Eija)-1・T(Eijc)およびT(Eija)-1・T(Eijd)も、同様に、時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。
第三ポート誤差要因導出部29cは、第一ポート誤差要因取得部22が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第三ポート関係取得部26cが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijc)(ただし、t=0)とに基づき、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijc)) = T(Eijc)としてT(Eijc)を求め、T(Eijc)をSパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をTパラメータで表したものである。また、導出された第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
第四ポート誤差要因導出部29dは、第一ポート誤差要因取得部22が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第四ポート関係取得部26dが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijd)(ただし、t=0)とに基づき、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijd)) = T(Eijd)としてT(Eijd)を求め、T(Eijd)をSパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をTパラメータで表したものである。また、導出された第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)は、誤差要因測定装置20の外部に出力される。
なお、第二ポート誤差要因導出部29bなどが第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得する際には、必ずしもTパラメータを利用しなくてよい。第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)(Sパラメータ)などを、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と関係T(Eija)-1・T(Eijd)をSパラメータにより表した式により、Tパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得するほうが好ましい。
ここで、スイッチ分岐信号源10の出力端子のうちのいずれか一つ(測定用出力端子)から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源10の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源10の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
すると、測定用出力端子は出力端子19aということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)となる。
また、第二ポート関係取得部26bおよび第二ポート誤差要因導出部29bが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijb(t=0)に基づいて第二誤差要因(第二ポート誤差要因Eijb(t=t1))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、第三ポート関係取得部26cおよび第三ポート誤差要因導出部29cが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijc(t=0)に基づいて第二誤差要因(第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、第四ポート関係取得部26dおよび第四ポート誤差要因導出部29dが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijd(t=0)に基づいて第二誤差要因(第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
端子21a、21b、21cを介してのR1、R2、Pの取得は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する(図6〜図9を参照)。
図13を参照して、第二ポート関係取得部26bが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijb(t=0)を単一端子系誤差要因記録部25から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijb)を取得する。
第三ポート関係取得部26cが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijc(t=0)を単一端子系誤差要因記録部25から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijc)を取得する。
第四ポート関係取得部26dが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijd(t=0)を単一端子系誤差要因記録部25から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijd)を取得する。
第二ポート誤差要因導出部29bは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部22から受け、第二ポート関係取得部26bから関係T(Eija)-1・T(Eijb)を受ける。第二ポート誤差要因導出部29bは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijb)に基づき、第二ポート誤差要因Eijb(t=1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijb)) = T(Eijb)としてT(Eijb)を求め、T(Eijb)をSパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を取得する。
第三ポート誤差要因導出部29cは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部22から受け、第三ポート関係取得部26cから関係T(Eija)-1・T(Eijc)を受ける。第三ポート誤差要因導出部29cは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijc)に基づき、第三ポート誤差要因Eijc(t=1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijc)) = T(Eijc)としてT(Eijc)を求め、T(Eijc)をSパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を取得する。
第四ポート誤差要因導出部29dは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部22から受け、第四ポート関係取得部26dから関係T(Eija)-1・T(Eijd)を受ける。第四ポート誤差要因導出部29dは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijd)に基づき、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijd)) = T(Eijd)としてT(Eijd)を求め、T(Eijd)をSパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得する。
本発明の第三の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得するためには、信号の測定を出力端子(測定用出力端子)19aについてのみ行えばよい。他の出力端子19b、19c、19dについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源10のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
第四の実施形態
第四の実施形態は、第三の実施形態における第二ポート関係取得部26b、第三ポート関係取得部26cおよび第四ポート関係取得部26dが取得した関係と同じものを、予め記録した関係記録部201を有する点が第三の実施形態と異なる。以下、第一の実施形態または第三の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
スイッチ分岐信号源10の構成(図1参照)およびシグナルフローグラフ(図2参照)は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
スイッチ分岐信号源10の一部分であって、しかも、出力端子19a、19a、19a、19dのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、信号源100およびスイッチ部分18aが単一端子系を構成する。同様に、信号源100およびスイッチ部分18bと、信号源100およびスイッチ部分18cと、信号源100およびスイッチ部分18dとが単一端子系を構成する。
なお、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18a)の誤差要因は、図2(a)を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。同様に、単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18b)の誤差要因は、図2(b)を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18c)の誤差要因は、図2(c)を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系(接続系100bおよびスイッチ部分18d)の誤差要因は、図2(d)を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。なお、L=1と仮定している。
図14は、本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置20は、端子21a、21b、21c、第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22、関係記録部201、第二ポート誤差要因導出部29b、第三ポート誤差要因導出部29c、第四ポート誤差要因導出部29dを備える。
端子21a、21b、21cは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)22は、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。
関係記録部201は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19bに関するもの(第二ポート誤差要因Eijb(t=0))との関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijb)である(ただし、t=0)。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
関係記録部201は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19cに関するもの(第三ポート誤差要因Eijc(t=0))とに基づき、両者の関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijc)である(ただし、t=0)。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
関係記録部201は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一ポート誤差要因Eija(t=0))と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19dに関するもの(第四ポート誤差要因Eijd(t=0))とに基づき、両者の関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijd)である(ただし、t=0)。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
第二ポート誤差要因導出部29b、第三ポート誤差要因導出部29cおよび第四ポート誤差要因導出部29dは、第三の実施形態と同様である。ただし、第二ポート誤差要因導出部29bは、関係T(Eija)-1・T(Eijb)を、関係記録部201から読み出す。第三ポート誤差要因導出部29cは、関係T(Eija)-1・T(Eijc)を、関係記録部201から読み出す。第四ポート誤差要因導出部29dは、関係T(Eija)-1・T(Eijd)を、関係記録部201から読み出す。
なお、関係記録部201が記録する関係T(Eija)-1・T(Eijb)は、第三の実施形態で説明したように、T(Qija)-1・T(Qijb)に等しい。同様に、関係記録部201が記録する関係T(Eija)-1・T(Eijc)、関係T(Eija)-1・T(Eijd)は、それぞれT(Qija) -1・T(Qijc)、T(Qija) -1・T(Qijd)に等しい。よって、関係記録部201は、T(Qija)-1・T(Qijb)、T(Qija) -1・T(Qijc)、T(Qija) -1・T(Qijd)を記録しているとも考えられる。
T(Qija)-1・T(Qijb)は、スイッチ部分18aの誤差要因(第一スイッチ部分誤差要因)Qijaと、スイッチ部分18bの誤差要因(第二スイッチ部分誤差要因)Qijbとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分18a、18bを単一端子系と考えれば、QijaとQijbとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一スイッチ部分誤差要因Qija)と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19bに関するもの(第二スイッチ部分誤差要因Qijb)との関係といえる。
T(Qija)-1・T(Qijc)は、スイッチ部分18aの誤差要因(第一スイッチ部分誤差要因)Qijaと、スイッチ部分18cの誤差要因(第三スイッチ部分誤差要因)Qijcとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分18a、18cを単一端子系と考えれば、QijaとQijcとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一スイッチ部分誤差要因Qija)と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19cに関するもの(第三スイッチ部分誤差要因Qijc)との関係といえる。
T(Qija)-1・T(Qijd)は、スイッチ部分18aの誤差要因(第一スイッチ部分誤差要因)Qijaと、スイッチ部分18dの誤差要因(第四スイッチ部分誤差要因)Qijdとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分18a、18dを単一端子系と考えれば、QijaとQijdとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19aに関するもの(第一スイッチ部分誤差要因Qija)と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子(測定用出力端子)19a以外の出力端子である出力端子19dに関するもの(第四スイッチ部分誤差要因Qijd)との関係といえる。
なお、Tパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得するほうが好ましいことは第三の実施形態と同様である。
また、第三の実施形態と同様に、測定用出力端子は出力端子19aということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)となる。
また、第二ポート誤差要因導出部29bが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijb)に基づいて第二誤差要因(第二ポート誤差要因Eijb(t=t1))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、第三ポート誤差要因導出部29cが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijc)に基づいて第二誤差要因(第三ポート誤差要因Eijc(t=t1))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
また、第四ポート誤差要因導出部29dが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijd)に基づいて第二誤差要因(第四ポート誤差要因Eijd(t=t1))を取得しているといえる(第二誤差要因取得手段)。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
第四の実施形態の動作は、第三の実施形態の動作とほぼ同様である。ただし、第二ポート誤差要因導出部29b、第三ポート誤差要因導出部29cおよび第四ポート誤差要因導出部29dが、関係T(Eija)-1・T(Eijb)、関係T(Eija)-1・T(Eijc)、関係T(Eija)-1・T(Eijd)を、関係記録部201から読み出す点が第三の実施形態の動作と異なる。
本発明の第四の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得するためには、信号の測定を出力端子(測定用出力端子)19aについてのみ行えばよい。他の出力端子19b、19c、19dについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源10のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
なお、誤差要因測定装置20の使用の態様の例を説明する。
図15は、出力補正装置1に誤差要因測定装置20を使用した場合の、出力補正装置1の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源10の出力端子19dから信号を出力しようとしたとする。さらに、この信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、アンプ13のゲインを調整する必要がある。
出力補正装置1は、誤差要因測定装置20、信号パワー調整部30を備える。誤差要因測定装置20の詳細はすでに説明したとおりであるが、信号パワー調整部30に第四ポート誤差要因Eijdを与える。信号パワー調整部30は、誤差要因測定装置20により測定された第四ポート誤差要因Eijdに基づき、信号のパワーを調整する。例えば、信号パワー調整部30は、アンプ13のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。かかる調整により、出力端子19dから出力される信号のパワーを目標値にあわせることができる。
なお、出力端子19aから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置20から第一ポート誤差要因Eijaを信号パワー調整部30に与えればよい。信号パワー調整部30は、誤差要因測定装置20により測定された第一ポート誤差要因Eijaに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子19bから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置20から第二ポート誤差要因Eijbを信号パワー調整部30に与えればよい。信号パワー調整部30は、誤差要因測定装置20により測定された第二ポート誤差要因Eijbに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子19cから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置20から第三ポート誤差要因Eijcを信号パワー調整部30に与えればよい。信号パワー調整部30は、誤差要因測定装置20により測定された第三ポート誤差要因Eijcに基づき、信号のパワーを調整する。
図16は、反射係数測定装置2に誤差要因測定装置20を使用した場合の、反射係数測定装置2の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源10の出力端子19dに被測定物(DUT : Device Under
Test)66を接続し、被測定物66の反射係数を測定しようとしたとする。被測定物66の反射係数は、R1およびR2から求めることができる。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。
反射係数測定装置2は、誤差要因測定装置20、反射係数測定部40を備える。誤差要因測定装置20の詳細はすでに説明したとおりであるが、反射係数測定部40に第四ポート誤差要因Eijdを与える。反射係数測定部40は、第四ポート誤差要因Eijdの生ずる前であり、信号が被測定物66により反射される前の信号を測定した結果R1と、信号が被測定物66により反射されたものを測定した結果R2(信号が被測定物66により反射されたものは、スイッチ18、ブリッジ14bを介してミキサ16bに与えられる)と、誤差要因測定装置20により測定された第四ポート誤差要因Eijdとに基づき、被測定物66の反射係数を測定する。
なお、出力端子19aに接続された被測定物66の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置20から第一ポート誤差要因Eijaを反射係数測定部40に与えればよい。反射係数測定部40は、R1、R2と、誤差要因測定装置20により測定された第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、被測定物66の反射係数を測定する。
なお、出力端子19bに接続された被測定物66の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置20から第二ポート誤差要因Eijbを反射係数測定部40に与えればよい。反射係数測定部40は、R1、R2と、誤差要因測定装置20により測定された第二ポート誤差要因Eijbとに基づき、被測定物66の反射係数を測定する。
なお、出力端子19cに接続された被測定物66の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置20から第三ポート誤差要因Eijcを反射係数測定部40に与えればよい。反射係数測定部40は、R1、R2と、誤差要因測定装置20により測定された第三ポート誤差要因Eijcとに基づき、被測定物66の反射係数を測定する。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。CPU、ハードディスク、メディア(フロッピー(登録商標)ディスク、CD−ROMなど)読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分(例えば、誤差要因測定装置20)を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
第一の実施形態のスイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。 第一の実施形態のスイッチ分岐信号源10のシグナルフローグラフである。 第一の実施形態の信号源100が端子15を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。 第一の実施形態において、端子15を仮想した場合のスイッチ分岐信号源10のシグナルフローグラフである。 本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。 第一の実施形態において、校正用具62を出力端子19aに、ミキサ16a、16bを、端子21a、21bに接続した状態を示す図である。 図6に示す状態の誤差要因測定装置20をシグナルフローグラフで表した図である。 第一の実施形態において、パワーメータ64を出力端子19aに、ミキサ16aを端子21aに接続した状態を示す図である。 図8に示す状態の誤差要因測定装置20をシグナルフローグラフで表した図である。 信号源100を出力端子に接続した場合のスイッチ18の内部を示す図である。 第二の実施形態の信号源100が端子15を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源10の構成を示す図である。 本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。 本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因測定装置20の構成を示す機能ブロック図である。 出力補正装置1に誤差要因測定装置20を使用した場合の、出力補正装置1の構成の例を示す図である。 反射係数測定装置2に誤差要因測定装置20を使用した場合の、反射係数測定装置2の構成の例を示す図である。
符号の説明
10 スイッチ分岐信号源
100 信号源
18 スイッチ
19a 出力端子(測定用出力端子)
19a、19b、19c、19d 出力端子
20 誤差要因測定装置
22 第一ポート誤差要因取得部(第一誤差要因取得手段)
24 スイッチ部分誤差要因記録部
28a 信号源誤差要因取得部
28b 第二ポート誤差要因導出部
28c 第三ポート誤差要因導出部
28d 第四ポート誤差要因導出部
1 出力補正装置
30 信号パワー調整部
2 反射係数測定装置
40 反射係数測定部
62 校正用具
64 パワーメータ
66 被測定物
E11a、E12a、E21a、E22a 第一ポート誤差要因
E11b、E12b、E21b、E22b 第二ポート誤差要因
E11c、E12c、E21c、E22c 第三ポート誤差要因
E11d、E12d、E21d、E22d 第四ポート誤差要因
P11、P12、P21、P22 信号源誤差要因
Q11a、Q12a、Q21a、Q22a 第一スイッチ部分誤差要因
Q11b、Q12b、Q21b、Q22b 第二スイッチ部分誤差要因
Q11c、Q12c、Q21c、Q22c 第三スイッチ部分誤差要因
Q11d、Q12d、Q21d、Q22d 第四スイッチ部分誤差要因

Claims (19)

  1. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得手段と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録手段と、
    前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする)を取得する信号源誤差要因取得手段と、
    前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出手段と、
    を備え、
    T(Eija) =
    T(Pij)・T(Qija) および
    T(Eijx) =
    T(Pij)・T(Qijx) が成立する(ただし、iおよびjは1または2である)
    誤差要因測定装置。
  2. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
    前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
    前記誤差要因測定装置は、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得手段と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録手段と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因(Tパラメータで表記したものをLとする)を取得する増幅器誤差要因取得手段と、
    前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出手段と、
    を備え、iおよびjは1または2である誤差要因測定装置。
  3. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得手段と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録手段と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)とに基づき、両者の関係を取得する関係取得手段と、
    前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定装置。
  4. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得手段と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録手段と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定装置。
  5. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得手段と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録手段と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija) -1 (t=0)・T(Qijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定装置。
  6. 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置であって、
    前記測定用出力端子に校正用具が接続された状態で、前記信号が測定され、
    前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである、
    誤差要因測定装置。
  7. 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置であって、
    前記信号の測定結果は、さらに、
    前記測定用出力端子から出力されたものを測定した結果を有する、
    誤差要因測定装置。
  8. 請求項1ないし7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
    前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
    を備えた出力補正装置。
  9. 請求項1ないし7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
    前記出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段と、
    を備えた反射係数測定装置。
  10. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得工程と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録工程と、
    前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする)を取得する信号源誤差要因取得工程と、
    前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出工程と、
    を備え、
    T(Eija) =
    T(Pij)・T(Qija) および
    T(Eijx) =
    T(Pij)・T(Qijx) が成立する(ただし、iおよびjは1または2である)
    誤差要因測定方法。
  11. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
    前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
    前記誤差要因測定方法は、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得工程と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録工程と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因(Tパラメータで表記したものをLとする)を取得する増幅器誤差要因取得工程と、
    前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出工程と、
    を備え、iおよびjは1または2である誤差要因測定方法。
  12. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得工程と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録工程と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)とに基づき、両者の関係を取得する関係取得工程と、
    前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定方法。
  13. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得工程と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録工程と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定方法。
  14. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得工程と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録工程と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
    を備え、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija) -1 (t=0)・T(Qijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    誤差要因測定方法。
  15. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得処理と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録処理と、
    前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする)を取得する信号源誤差要因取得処理と、
    前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
    T(Eija) =
    T(Pij)・T(Qija) および
    T(Eijx) =
    T(Pij)・T(Qijx) が成立する(ただし、iおよびjは1または2である)
    プログラム。
  16. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
    前記誤差要因測定方法は、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする)を取得する第一誤差要因取得処理と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録処理と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする)と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因(Tパラメータで表記したものをLとする)を取得する増幅器誤差要因取得処理と、
    前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする)とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする)を導出する第二誤差要因導出処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、iおよびjは1または2であるプログラム。
  17. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得処理と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録処理と、
    前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)とに基づき、両者の関係を取得する関係取得処理と、
    前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    プログラム。
  18. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得処理と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録処理と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija) -1 (t=0)・T(Eijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    プログラム。
  19. 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
    前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする)所定の時間t1(ただし、t1>0)において取得する第一誤差要因取得処理と、
    前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする)と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの(Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする)との関係を記録する関係記録処理と、
    前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因(Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする)所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
    T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija) -1 (t=0)・T(Qijx)(t=0)) (ただし、iおよびjは1または2である)が成立する
    プログラム。
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