JP5121075B2 - 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 - Google Patents
誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 Download PDFInfo
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Description
本発明は、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたスイッチ分岐信号源のキャリブレーションに関する。
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１（特開平１１−３８０５４号公報）を参照）。
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。
なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２（国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット）を参照）。
このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用することができる。なお、スイッチ分岐信号源とは、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたものである。このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用した場合、複数のポートの各々について、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続することになる。
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。
なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２（国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット）を参照）。
このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用することができる。なお、スイッチ分岐信号源とは、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたものである。このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用した場合、複数のポートの各々について、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続することになる。
しかしながら、スイッチ分岐信号源の複数のポートの各々について、上記の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続しなければならないため、多大な労力をキャリブレーションに費やすことになる。
そこで、本発明は、スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行うことを課題とする。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録部と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録部と、前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出部と、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出部と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するように構成される。
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
基準誤差要因成分記録部は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する。導出誤差要因積記録部は、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する。誤差要因比導出部は、前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する。周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における誤差要因の、前記スイッチ分岐信号源の方向性に起因する成分および前記スイッチ分岐信号源のソースマッチングに起因する成分を記録する誤差要因記録部を備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記基準誤差要因成分記録部に記録された前記基準出力方向成分および前記基準入力方向成分が、前記所定出力端子から出力されたものを測定した結果と、前記所定出力端子に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果および前記信号が反射されたものを測定した結果と、に基づき導出されたものであり、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積が、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果とに基づき導出されたものであり、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
本発明にかかる出力補正装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構成される。
本発明にかかる反射係数測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記複数の出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する誤差要因測定方法である。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記誤差要因測定処理は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するプログラムである。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記誤差要因測定処理は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する記録媒体である。
本発明にかかる試験装置用モジュールは、本発明にかかる誤差要因測定装置を備える。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる出力補正装置を備え、前記信号が被測定物に与えられるように構成される。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる反射係数測定装置を備え、被測定物を試験するように構成される。
そこで、本発明は、スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行うことを課題とする。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録部と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録部と、前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出部と、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出部と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するように構成される。
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
基準誤差要因成分記録部は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する。導出誤差要因積記録部は、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する。誤差要因比導出部は、前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する。周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における誤差要因の、前記スイッチ分岐信号源の方向性に起因する成分および前記スイッチ分岐信号源のソースマッチングに起因する成分を記録する誤差要因記録部を備えるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記基準誤差要因成分記録部に記録された前記基準出力方向成分および前記基準入力方向成分が、前記所定出力端子から出力されたものを測定した結果と、前記所定出力端子に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果および前記信号が反射されたものを測定した結果と、に基づき導出されたものであり、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積が、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果とに基づき導出されたものであり、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
本発明にかかる出力補正装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構成される。
本発明にかかる反射係数測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記複数の出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する誤差要因測定方法である。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記誤差要因測定処理は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するプログラムである。
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記誤差要因測定処理は、前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、を備え、前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する記録媒体である。
本発明にかかる試験装置用モジュールは、本発明にかかる誤差要因測定装置を備える。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる出力補正装置を備え、前記信号が被測定物に与えられるように構成される。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる反射係数測定装置を備え、被測定物を試験するように構成される。
第１図は、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
第２図は、スイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
第３図は、信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
第４図は、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
第５図は、本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
第６図は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。
第７図は、第６図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
第８図は、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。
第９図は、第８図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
第１０図は、校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。
第１１図は、出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
第１２図は、反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
第２図は、スイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
第３図は、信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
第４図は、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
第５図は、本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
第６図は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。
第７図は、第６図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
第８図は、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。
第９図は、第８図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
第１０図は、校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。
第１１図は、出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
第１２図は、反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
第１図は、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。スイッチ分岐信号源１０は、信号源１００、スイッチ１８、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを有する。
信号源１００は、信号を生成するためのものである。信号源１００は、信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂを有する。
信号生成部１２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。アンプ１３は、信号生成部１２により生成された信号を増幅する。
ブリッジ１４ａは、アンプ１３の出力を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ａの出力が、信号源１００における誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、信号が出力側から反射されてきたもの（「反射信号」という）を受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ｂの出力が、反射信号を測定した結果といえる。
スイッチ１８は、信号源１００に接続され、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれかから信号を出力させるものである。
出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄは、そのいずれかが、スイッチ１８により、信号源１００に接続される。そして、信号源１００に接続された出力端子から信号が出力される。
ここで、出力端子１９ａから信号が出力される場合の、出力端子１９ａの出力のＳパラメータをａ１、出力が出力端子１９ａに反射されてきたもののＳパラメータをｂ１とする。
出力端子１９ｂから信号が出力される場合の、出力端子１９ｂの出力のＳパラメータをａ２、出力が出力端子１９ｂに反射されてきたもののＳパラメータをｂ２とする。
出力端子１９ｃから信号が出力される場合の、出力端子１９ｃの出力のＳパラメータをａ３、出力が出力端子１９ｃに反射されてきたもののＳパラメータをｂ３とする。
出力端子１９ｄから信号が出力される場合の、出力端子１９ｄの出力のＳパラメータをａ４、出力が出力端子１９ｄに反射されてきたもののＳパラメータをｂ４とする。
第２図は、スイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。第２図（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
第２図において、信号生成部１２の出力をＳＧ、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、第２図に示すように、Ｒ１＝ＳＧ×Ｌとなる、ただし、Ｌ（Ｓパラメータ）は、アンプ１３により生じる誤差要因である。
第２図（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを、第一ポート誤差要因という。
第２図（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂを、第二ポート誤差要因という。
第２図（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃを、第三ポート誤差要因という。
第２図（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄを、第四ポート誤差要因という。
第３図は、信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。端子１５は、信号源１００をスイッチ１８に接続するための端子である。なお、端子１５の出力をａ５、端子１５の出力が端子１５に反射されてきたものをｂ５とする。
第４図は、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。第４図（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
第４図を参照すると、信号源１００を出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれに接続しても、共通した誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２が発生していることがわかる。誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、信号源１００における誤差要因であり、信号源誤差要因という。信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、温度および時間が変化しても、一定の値を有するＳパラメータである。
第４図（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａは、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第一スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂは、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第二スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃは、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第三スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄは、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第四スイッチ部分誤差要因という。
第２図（ａ）および第４図（ａ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第一スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａとを合成したものが、第一ポート誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａとなることがわかる。
具体的には、下記の式（１）〜（４）のように第一ポート誤差要因が表される。
Ｅ１１ａ＝Ｐ１１＋Ｐ２１Ｐ１２Ｑ１１ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ）（１）
Ｅ２１ａ＝Ｐ２１Ｑ２１ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ） （２）
Ｅ１２ａ＝Ｐ１２Ｑ１２ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ） （３）
Ｅ２２ａ＝Ｑ２２ａ＋Ｑ２１ａＱ１２ａＰ２２／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ）
（４）
第２図（ｂ）および第４図（ｂ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第二スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂとを合成したものが、第二ポート誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂとなることがわかる。第二ポート誤差要因もまた、添え字のａをｂに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第２図（ｃ）および第４図（ｃ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第三スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃとを合成したものが、第三ポート誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃとなることがわかる。第三ポート誤差要因もまた、添え字のａをｃに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第２図（ｄ）および第４図（ｄ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第四スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄとを合成したものが、第四ポート誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄとなることがわかる。第四ポート誤差要因もまた、添え字のａをｄに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第５図は、本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３、基準誤差要因成分記録部２４、導出誤差要因積記録部２５、誤差要因比導出部２６、周波数トラッキング誤差要因導出部２８を備える。
端子２１ａは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａに接続される端子である。端子２１ｂは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂに接続される端子である。端子２１ｃは、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ａに接続されたパワーメータ（詳細は後述する）の測定結果を受ける端子である。
ポート誤差要因取得部２２は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃを介して、スイッチ分岐信号源１０の出力端子（所定出力端子）１９ａおよび所定出力端子以外の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果を受ける。
第６図、第８図および第１０図を参照して、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃが、どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。
第６図を参照して、所定出力端子１９ａに校正用具６２（開放、短絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第６図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａを取得し、ポート誤差要因記録部２３に記録させる。なお、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａは、所定出力端子１９ａを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ａは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ａは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。
第８図を参照して、所定出力端子１９ａにパワーメータ６４が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｃは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、信号（所定出力端子１９ａから出力されたもの）の測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第８図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｃを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得し、基準誤差要因成分記録部２４に記録させる。なお、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａは、所定出力端子１９ａを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ２１ａは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）である。また、Ｅ１２ａは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）である。
第１０図を参照して、所定出力端子以外の出力端子１９ｂに校正用具６２（開放、短絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。なお、所定出力端子以外の出力端子１９ｃに校正用具６２が接続されている状態においても、同様に測定結果を受ける。また、所定出力端子以外の出力端子１９ｄに校正用具６２が接続されている状態においても、同様に測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第１０図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを取得し、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂは出力端子１９ｂを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｂは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｂは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｂは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｂは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子以外の出力端子１９ｃに校正用具６２が接続されている状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを取得し、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃは出力端子１９ｃを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｃは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｃは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｃは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｃは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子以外の出力端子１９ｄに校正用具６２が接続されている状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを取得し、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄは出力端子１９ｄを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｄは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｄは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｄは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｄは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
ポート誤差要因記録部２３は、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々を信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０における誤差要因の、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分Ｅ１１ａ、Ｅ１１ｂ、Ｅ１１ｃ、Ｅ１１ｄおよびスイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分Ｅ２２ａ、Ｅ２２ｂ、Ｅ２２ｃ、Ｅ２２ｄを記録する。
基準誤差要因成分記録部２４は、基準出力方向成分Ｅ２１ａと基準入力方向成分Ｅ１２ａとを記録する。さらに、基準誤差要因成分記録部２４は、Ｅ２１ａ、Ｅ１２ａを、ポート誤差要因記録部２３に書き込む。
導出誤差要因積記録部２５は、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを記録する。Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄは導出入力方向成分であり、Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄは導出出力方向成分である。よって、導出誤差要因積記録部２５は、導出入力方向成分と導出出力方向成分との積（「誤差要因積」という）を記録する。
誤差要因比導出部２６は、基準誤差要因成分記録部２４の記録内容に基づき、基準出力方向成分Ｅ２１ａと基準入力方向成分Ｅ１２ａとの比である誤差要因比を導出する。例えば、誤差要因比はＥ２１ａ／Ｅ１２ａである。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積と、誤差要因比導出部２６により導出された誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａとに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄと導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄとを導出する。
ここで、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａは、導出出力方向成分と導出入力方向成分との比Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄと等しいものとする。すなわち、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄである。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、誤差要因積Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）に基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出する。Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ＝Ａ、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）＝Ｂとする。すると、Ｅ２１ｂ＝（Ａ×Ｂ）１／２、Ｅ１２ｂ＝（Ａ／Ｂ）１／２として、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出できる。導出出力方向成分Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄも、同様に導出できる。
なお、導出された導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄはポート誤差要因記録部２３に記録される。これにより、ポート誤差要因記録部２３には、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａ、第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが記録されることになる。
Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄであることを以下に証明する。
まず、スイッチ１８は相反性を有するので、Ｑ２１ａ＝Ｑ１２ａである。また、式（２）、式（３）より、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｐ２１Ｑ２１ａ／（Ｐ１２Ｑ１２ａ）である。ここで、Ｑ２１ａ＝Ｑ１２ａであることから、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｐ２１／Ｐ１２となる。
第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄについても同様に、Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｐ２１／Ｐ１２、Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｐ２１／Ｐ１２、Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ＝Ｐ２１／Ｐ１２が成立する。
よって、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ（＝Ｐ２１／Ｐ１２）である。
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。
まず、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因測定装置２０の端子２１ｂに接続する。
第６図は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、第６図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３以外は図示省略する。
第７図は、第６図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。Ｒ１は、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。第７図において、Ｌ＝１とすると、下記の式（５）が成立する。
Ｒ２／Ｒ１＝Ｅ１１ａ＋（Ｅ２１ａ・Ｅ１２ａ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ａ・Ｘ）
（５）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具６２が三種類接続されるため、Ｒ２とＲ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａという三種類の変数である。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。取得されたＥ１１ａ、Ｅ２２ａは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。
すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ａに校正用具６２が接続された状態で、出力端子（測定用出力端子）１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、スイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａについての誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。
次に、パワーメータ６４をスイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに接続する。
第８図は、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。なお、第８図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、基準誤差要因成分記録部２４以外は図示省略する。
第９図は、第８図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。第９図において、Ｌ＝１とすると、下記の式（６）が成立する。
Ｐ／Ｒ１＝Ｅ２１ａ／（１−Ｅ２２ａ・Ｅｐ） （６）
ただし、Ｐは、所定出力端子１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果である。ここで、Ｅ２２ａは既に取得しており、Ｅｐは測定可能なので、Ｅ２１ａを求めることができる。Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａは既に取得しているので、Ｅ１２ａもまた求めることができる。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得する。取得されたＥ１２ａ、Ｅ２１ａは基準誤差要因成分記録部２４に記録される。
すなわち、第一ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子１９ａから信号が出力されたものを測定した結果Ｐに基づき基準出力方向成分Ｅ２１ａ、基準入力方向成分Ｅ１２ａを導出するといえる。しかも、第一ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子１９ａに校正用具６２が接続された状態の信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）に基づき導出されたＥ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａに基づき基準出力方向成分Ｅ２１ａ、基準入力方向成分Ｅ１２ａを導出するといえる。
さらに、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｂに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因測定装置２０の端子２１ｂに接続する。
第１０図は、校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、第１０図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３、導出誤差要因積記録部２５以外は図示省略する。
第１０図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表したものは、第７図と同様であるため、図示を省略する。第１０図を参照して、以下の式（７）が成立する。
Ｒ２／Ｒ１＝Ｅ１１ｂ＋（Ｅ２１ｂ・Ｅ１２ｂ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ｂ・Ｘ）
（７）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具６２が三種類接続されるため、Ｒ２とＲ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂという三種類の変数である。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを取得する。取得されたＥ１１ｂ、Ｅ２２ｂは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｂ×Ｅ２１ｂは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。
すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｂに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｂから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｂについての誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ（誤差要因積）を導出する。
さらに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続したままで、校正用具６２を出力端子１９ｃに接続する。ポート誤差要因取得部２２は、上記と同様に、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを取得する。取得されたＥ１１ｃ、Ｅ２２ｃは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｃ×Ｅ２１ｃは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｃに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｃから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｃについての誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃ（誤差要因積）を導出する。
さらに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続したままで、校正用具６２を出力端子１９ｄに接続する。ポート誤差要因取得部２２は、上記と同様に、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを取得する。取得されたＥ１１ｄ、Ｅ２２ｄは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｄ×Ｅ２１ｄは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｄに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄについての誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄ（誤差要因積）を導出する。
誤差要因比導出部２６は、基準誤差要因成分記録部２４の記録内容に基づき、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｃ、導出入力方向成分Ｅ１２ｃを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｄを導出する。
導出された導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄはポート誤差要因記録部２３に記録される。ポート誤差要因記録部２３には、すでにＥ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄが記録されている。よって、ポート誤差要因記録部２３には、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａ、第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが記録されることになる。
本発明の実施形態によれば、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄを導出するために、パワーメータ６４を出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに接続する必要が無い。パワーメータ６４を接続する必要があるのは所定出力端子１９ａのみである。すなわち、パワーメータ６４を出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに接続しなくてすむため、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
なお、誤差要因測定装置２０の使用の態様の例を説明する。
第１１図は、出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄから信号を出力しようとしたとする。さらに、この信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの影響を考慮して、アンプ１３のゲインを調整する必要がある。
出力補正装置１は、誤差要因測定装置２０、信号パワー調整部３０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、信号パワー調整部３０に、ポート誤差要因記録部２３に記録された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄを与える。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄに基づき、信号のパワーを調整する。例えば、信号パワー調整部３０は、アンプ１３のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。かかる調整により、出力端子１９ｄから出力される信号のパワーを目標値にあわせることができる。
なお、出力端子１９ａから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第一ポート誤差要因Ｅｉｊａを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Ｅｉｊａに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子１９ｂから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子１９ｃから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃに基づき、信号のパワーを調整する。
ここで、テスタ（試験装置）７０が、出力補正装置１およびスイッチ分岐信号源１０を有するようにして、出力端子（例えば、出力端子１９ｄ）から出力される信号を被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６に与えるようにしてもよい。この際、誤差要因測定装置２０を有する試験装置用モジュールをテスタ７０に設けるようにしてもよい。
第１２図は、反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄに被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６を接続し、被測定物６６の反射係数を測定しようとしたとする。被測定物６６の反射係数は、Ｒ１およびＲ２から求めることができる。ここで、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。
反射係数測定装置２は、誤差要因測定装置２０、反射係数測定部４０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、反射係数測定部４０に、ポート誤差要因記録部２３に記録された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄを与える。反射係数測定部４０は、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの生ずる前に信号を測定した結果Ｒ１と、信号が被測定物６６により反射されたものを測定した結果Ｒ２（信号が被測定物６６により反射されたものは、スイッチ１８、ブリッジ１４ｂを介してミキサ１６ｂに与えられる）と、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ａに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第一ポート誤差要因Ｅｉｊａを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Ｅｉｊａとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ｂに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ｃに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
ここで、テスタ（試験装置）７０が、反射係数測定装置２およびスイッチ分岐信号源１０を有するようにして、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６を試験する（試験法は周知なので説明を省略する）ようにしてもよい。この際、誤差要因測定装置２０を有する試験装置用モジュールをテスタ７０に設けるようにしてもよい。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因測定装置２０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
第１図は、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。スイッチ分岐信号源１０は、信号源１００、スイッチ１８、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを有する。
信号源１００は、信号を生成するためのものである。信号源１００は、信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂを有する。
信号生成部１２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。アンプ１３は、信号生成部１２により生成された信号を増幅する。
ブリッジ１４ａは、アンプ１３の出力を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ａの出力が、信号源１００における誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、信号が出力側から反射されてきたもの（「反射信号」という）を受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ｂの出力が、反射信号を測定した結果といえる。
スイッチ１８は、信号源１００に接続され、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれかから信号を出力させるものである。
出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄは、そのいずれかが、スイッチ１８により、信号源１００に接続される。そして、信号源１００に接続された出力端子から信号が出力される。
ここで、出力端子１９ａから信号が出力される場合の、出力端子１９ａの出力のＳパラメータをａ１、出力が出力端子１９ａに反射されてきたもののＳパラメータをｂ１とする。
出力端子１９ｂから信号が出力される場合の、出力端子１９ｂの出力のＳパラメータをａ２、出力が出力端子１９ｂに反射されてきたもののＳパラメータをｂ２とする。
出力端子１９ｃから信号が出力される場合の、出力端子１９ｃの出力のＳパラメータをａ３、出力が出力端子１９ｃに反射されてきたもののＳパラメータをｂ３とする。
出力端子１９ｄから信号が出力される場合の、出力端子１９ｄの出力のＳパラメータをａ４、出力が出力端子１９ｄに反射されてきたもののＳパラメータをｂ４とする。
第２図は、スイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。第２図（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
第２図において、信号生成部１２の出力をＳＧ、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、第２図に示すように、Ｒ１＝ＳＧ×Ｌとなる、ただし、Ｌ（Ｓパラメータ）は、アンプ１３により生じる誤差要因である。
第２図（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを、第一ポート誤差要因という。
第２図（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂを、第二ポート誤差要因という。
第２図（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃを、第三ポート誤差要因という。
第２図（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄを、第四ポート誤差要因という。
第３図は、信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。端子１５は、信号源１００をスイッチ１８に接続するための端子である。なお、端子１５の出力をａ５、端子１５の出力が端子１５に反射されてきたものをｂ５とする。
第４図は、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。第４図（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。第４図（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
第４図を参照すると、信号源１００を出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれに接続しても、共通した誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２が発生していることがわかる。誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、信号源１００における誤差要因であり、信号源誤差要因という。信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、温度および時間が変化しても、一定の値を有するＳパラメータである。
第４図（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａは、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第一スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂは、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第二スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃは、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第三スイッチ部分誤差要因という。
第４図（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄは、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第四スイッチ部分誤差要因という。
第２図（ａ）および第４図（ａ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第一スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａとを合成したものが、第一ポート誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａとなることがわかる。
具体的には、下記の式（１）〜（４）のように第一ポート誤差要因が表される。
Ｅ１１ａ＝Ｐ１１＋Ｐ２１Ｐ１２Ｑ１１ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ）（１）
Ｅ２１ａ＝Ｐ２１Ｑ２１ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ） （２）
Ｅ１２ａ＝Ｐ１２Ｑ１２ａ／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ） （３）
Ｅ２２ａ＝Ｑ２２ａ＋Ｑ２１ａＱ１２ａＰ２２／（１−Ｐ２２Ｑ１１ａ）
（４）
第２図（ｂ）および第４図（ｂ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第二スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂとを合成したものが、第二ポート誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂとなることがわかる。第二ポート誤差要因もまた、添え字のａをｂに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第２図（ｃ）および第４図（ｃ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第三スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃとを合成したものが、第三ポート誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃとなることがわかる。第三ポート誤差要因もまた、添え字のａをｃに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第２図（ｄ）および第４図（ｄ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第四スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄとを合成したものが、第四ポート誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄとなることがわかる。第四ポート誤差要因もまた、添え字のａをｄに変えれば、上記の式（１）〜（４）のように表される。
第５図は、本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３、基準誤差要因成分記録部２４、導出誤差要因積記録部２５、誤差要因比導出部２６、周波数トラッキング誤差要因導出部２８を備える。
端子２１ａは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａに接続される端子である。端子２１ｂは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂに接続される端子である。端子２１ｃは、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ａに接続されたパワーメータ（詳細は後述する）の測定結果を受ける端子である。
ポート誤差要因取得部２２は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃを介して、スイッチ分岐信号源１０の出力端子（所定出力端子）１９ａおよび所定出力端子以外の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果を受ける。
第６図、第８図および第１０図を参照して、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃが、どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。
第６図を参照して、所定出力端子１９ａに校正用具６２（開放、短絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第６図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａを取得し、ポート誤差要因記録部２３に記録させる。なお、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａは、所定出力端子１９ａを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ａは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ａは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。
第８図を参照して、所定出力端子１９ａにパワーメータ６４が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｃは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、信号（所定出力端子１９ａから出力されたもの）の測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第８図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｃを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得し、基準誤差要因成分記録部２４に記録させる。なお、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａは、所定出力端子１９ａを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ２１ａは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）である。また、Ｅ１２ａは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）である。
第１０図を参照して、所定出力端子以外の出力端子１９ｂに校正用具６２（開放、短絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。なお、所定出力端子以外の出力端子１９ｃに校正用具６２が接続されている状態においても、同様に測定結果を受ける。また、所定出力端子以外の出力端子１９ｄに校正用具６２が接続されている状態においても、同様に測定結果を受ける。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、第１０図に示すような状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを取得し、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂは出力端子１９ｂを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｂは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｂは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｂは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｂは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子以外の出力端子１９ｃに校正用具６２が接続されている状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを取得し、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃは出力端子１９ｃを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｃは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｃは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｃは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｃは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
さらに、ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子以外の出力端子１９ｄに校正用具６２が接続されている状態で端子２１ａ、２１ｂを介して得た測定結果に基づき、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを取得し、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄをポート誤差要因記録部２３に記録させ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを導出誤差要因積記録部２５に記録させる。なお、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄは出力端子１９ｄを信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因の成分である。Ｅ１１ｄは、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分である。Ｅ２２ｄは、スイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分である。Ｅ１２ｄは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）である。Ｅ２１ｄは、スイッチ分岐信号源１０における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）である。
ポート誤差要因記録部２３は、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々を信号源１００に接続したときのスイッチ分岐信号源１０における誤差要因の、スイッチ分岐信号源１０の方向性に起因する成分Ｅ１１ａ、Ｅ１１ｂ、Ｅ１１ｃ、Ｅ１１ｄおよびスイッチ分岐信号源１０のソースマッチングに起因する成分Ｅ２２ａ、Ｅ２２ｂ、Ｅ２２ｃ、Ｅ２２ｄを記録する。
基準誤差要因成分記録部２４は、基準出力方向成分Ｅ２１ａと基準入力方向成分Ｅ１２ａとを記録する。さらに、基準誤差要因成分記録部２４は、Ｅ２１ａ、Ｅ１２ａを、ポート誤差要因記録部２３に書き込む。
導出誤差要因積記録部２５は、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを記録する。Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄは導出入力方向成分であり、Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄは導出出力方向成分である。よって、導出誤差要因積記録部２５は、導出入力方向成分と導出出力方向成分との積（「誤差要因積」という）を記録する。
誤差要因比導出部２６は、基準誤差要因成分記録部２４の記録内容に基づき、基準出力方向成分Ｅ２１ａと基準入力方向成分Ｅ１２ａとの比である誤差要因比を導出する。例えば、誤差要因比はＥ２１ａ／Ｅ１２ａである。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積と、誤差要因比導出部２６により導出された誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａとに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄと導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄとを導出する。
ここで、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａは、導出出力方向成分と導出入力方向成分との比Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄと等しいものとする。すなわち、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄである。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、誤差要因積Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）に基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出する。Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ＝Ａ、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）＝Ｂとする。すると、Ｅ２１ｂ＝（Ａ×Ｂ）１／２、Ｅ１２ｂ＝（Ａ／Ｂ）１／２として、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出できる。導出出力方向成分Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄも、同様に導出できる。
なお、導出された導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄはポート誤差要因記録部２３に記録される。これにより、ポート誤差要因記録部２３には、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａ、第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが記録されることになる。
Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄであることを以下に証明する。
まず、スイッチ１８は相反性を有するので、Ｑ２１ａ＝Ｑ１２ａである。また、式（２）、式（３）より、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｐ２１Ｑ２１ａ／（Ｐ１２Ｑ１２ａ）である。ここで、Ｑ２１ａ＝Ｑ１２ａであることから、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｐ２１／Ｐ１２となる。
第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄについても同様に、Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｐ２１／Ｐ１２、Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｐ２１／Ｐ１２、Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ＝Ｐ２１／Ｐ１２が成立する。
よって、Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ（＝Ｐ２１／Ｐ１２）である。
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。
まず、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因測定装置２０の端子２１ｂに接続する。
第６図は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、第６図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３以外は図示省略する。
第７図は、第６図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。Ｒ１は、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。第７図において、Ｌ＝１とすると、下記の式（５）が成立する。
Ｒ２／Ｒ１＝Ｅ１１ａ＋（Ｅ２１ａ・Ｅ１２ａ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ａ・Ｘ）
（５）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具６２が三種類接続されるため、Ｒ２とＲ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａという三種類の変数である。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。取得されたＥ１１ａ、Ｅ２２ａは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。
すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ａに校正用具６２が接続された状態で、出力端子（測定用出力端子）１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、スイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａについての誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。
次に、パワーメータ６４をスイッチ分岐信号源１０の所定出力端子１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに接続する。
第８図は、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。なお、第８図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、基準誤差要因成分記録部２４以外は図示省略する。
第９図は、第８図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。第９図において、Ｌ＝１とすると、下記の式（６）が成立する。
Ｐ／Ｒ１＝Ｅ２１ａ／（１−Ｅ２２ａ・Ｅｐ） （６）
ただし、Ｐは、所定出力端子１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果である。ここで、Ｅ２２ａは既に取得しており、Ｅｐは測定可能なので、Ｅ２１ａを求めることができる。Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａは既に取得しているので、Ｅ１２ａもまた求めることができる。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得する。取得されたＥ１２ａ、Ｅ２１ａは基準誤差要因成分記録部２４に記録される。
すなわち、第一ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子１９ａから信号が出力されたものを測定した結果Ｐに基づき基準出力方向成分Ｅ２１ａ、基準入力方向成分Ｅ１２ａを導出するといえる。しかも、第一ポート誤差要因取得部２２は、所定出力端子１９ａに校正用具６２が接続された状態の信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Ｅｉｊａが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）に基づき導出されたＥ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａに基づき基準出力方向成分Ｅ２１ａ、基準入力方向成分Ｅ１２ａを導出するといえる。
さらに、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｂに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因測定装置２０の端子２１ｂに接続する。
第１０図は、校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、第１０図においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、ポート誤差要因取得部２２、ポート誤差要因記録部２３、導出誤差要因積記録部２５以外は図示省略する。
第１０図に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表したものは、第７図と同様であるため、図示を省略する。第１０図を参照して、以下の式（７）が成立する。
Ｒ２／Ｒ１＝Ｅ１１ｂ＋（Ｅ２１ｂ・Ｅ１２ｂ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ｂ・Ｘ）
（７）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具６２が三種類接続されるため、Ｒ２とＲ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂという三種類の変数である。このようにして、ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂを取得する。取得されたＥ１１ｂ、Ｅ２２ｂは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｂ×Ｅ２１ｂは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。
すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｂに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｂから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｂについての誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂ（誤差要因積）を導出する。
さらに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続したままで、校正用具６２を出力端子１９ｃに接続する。ポート誤差要因取得部２２は、上記と同様に、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃを取得する。取得されたＥ１１ｃ、Ｅ２２ｃは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｃ×Ｅ２１ｃは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｃに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｃから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｃについての誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃ（誤差要因積）を導出する。
さらに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続したままで、校正用具６２を出力端子１９ｄに接続する。ポート誤差要因取得部２２は、上記と同様に、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄを取得する。取得されたＥ１１ｄ、Ｅ２２ｄは、ポート誤差要因記録部２３に記録される。取得されたＥ１２ｄ×Ｅ２１ｄは、導出誤差要因積記録部２５に記録される。すなわち、ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ｄに校正用具６２が接続された状態で、出力端子１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、かかる測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄについての誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄ、Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄ（誤差要因積）を導出する。
誤差要因比導出部２６は、基準誤差要因成分記録部２４の記録内容に基づき、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｂ×Ｅ２１ｂと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｂ／Ｅ１２ｂ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｃ×Ｅ２１ｃと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｃ／Ｅ１２ｃ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｃ、導出入力方向成分Ｅ１２ｃを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部２８は、導出誤差要因積記録部２５に記録された誤差要因積Ｅ１２ｄ×Ｅ２１ｄと、誤差要因比Ｅ２１ａ／Ｅ１２ａ（＝Ｅ２１ｄ／Ｅ１２ｄ）とに基づき、導出出力方向成分Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｄを導出する。
導出された導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄはポート誤差要因記録部２３に記録される。ポート誤差要因記録部２３には、すでにＥ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１１ｂ、Ｅ２２ｂ、Ｅ１１ｃ、Ｅ２２ｃ、Ｅ１１ｄ、Ｅ２２ｄが記録されている。よって、ポート誤差要因記録部２３には、第一ポート誤差要因Ｅｉｊａ、第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂ、第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃ、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄが記録されることになる。
本発明の実施形態によれば、導出出力方向成分Ｅ２１ｂ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２１ｄ、導出入力方向成分Ｅ１２ｂ、Ｅ１２ｃ、Ｅ１２ｄを導出するために、パワーメータ６４を出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに接続する必要が無い。パワーメータ６４を接続する必要があるのは所定出力端子１９ａのみである。すなわち、パワーメータ６４を出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに接続しなくてすむため、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
なお、誤差要因測定装置２０の使用の態様の例を説明する。
第１１図は、出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄから信号を出力しようとしたとする。さらに、この信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの影響を考慮して、アンプ１３のゲインを調整する必要がある。
出力補正装置１は、誤差要因測定装置２０、信号パワー調整部３０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、信号パワー調整部３０に、ポート誤差要因記録部２３に記録された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄを与える。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄに基づき、信号のパワーを調整する。例えば、信号パワー調整部３０は、アンプ１３のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。かかる調整により、出力端子１９ｄから出力される信号のパワーを目標値にあわせることができる。
なお、出力端子１９ａから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第一ポート誤差要因Ｅｉｊａを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Ｅｉｊａに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子１９ｂから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂに基づき、信号のパワーを調整する。
なお、出力端子１９ｃから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃに基づき、信号のパワーを調整する。
ここで、テスタ（試験装置）７０が、出力補正装置１およびスイッチ分岐信号源１０を有するようにして、出力端子（例えば、出力端子１９ｄ）から出力される信号を被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６に与えるようにしてもよい。この際、誤差要因測定装置２０を有する試験装置用モジュールをテスタ７０に設けるようにしてもよい。
第１２図は、反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄに被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６を接続し、被測定物６６の反射係数を測定しようとしたとする。被測定物６６の反射係数は、Ｒ１およびＲ２から求めることができる。ここで、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。
反射係数測定装置２は、誤差要因測定装置２０、反射係数測定部４０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、反射係数測定部４０に、ポート誤差要因記録部２３に記録された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄを与える。反射係数測定部４０は、第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄの生ずる前に信号を測定した結果Ｒ１と、信号が被測定物６６により反射されたものを測定した結果Ｒ２（信号が被測定物６６により反射されたものは、スイッチ１８、ブリッジ１４ｂを介してミキサ１６ｂに与えられる）と、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Ｅｉｊｄとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ａに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第一ポート誤差要因Ｅｉｊａを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Ｅｉｊａとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ｂに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Ｅｉｊｂとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
なお、出力端子１９ｃに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０のポート誤差要因記録部２３から第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Ｅｉｊｃとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
ここで、テスタ（試験装置）７０が、反射係数測定装置２およびスイッチ分岐信号源１０を有するようにして、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）６６を試験する（試験法は周知なので説明を省略する）ようにしてもよい。この際、誤差要因測定装置２０を有する試験装置用モジュールをテスタ７０に設けるようにしてもよい。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因測定装置２０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
Claims (12)
- 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録部と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録部と、
前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出部と、
前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出部と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、
誤差要因測定装置。 - 請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における誤差要因の、前記スイッチ分岐信号源の方向性に起因する成分および前記スイッチ分岐信号源のソースマッチングに起因する成分を記録する誤差要因記録部、
を備える誤差要因測定装置。 - 請求項１または２に記載の誤差要因測定装置であって、
前記基準誤差要因成分記録部に記録された前記基準出力方向成分および前記基準入力方向成分は、
前記所定出力端子から出力されたものを測定した結果と、
前記所定出力端子に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果および前記信号が反射されたものを測定した結果と、
に基づき導出されたものであり、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである、
誤差要因測定装置。 - 請求項１または２に記載の誤差要因測定装置であって、
前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積は、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々に校正用具が接続された状態で、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果とに基づき導出されたものであり、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである、
誤差要因測定装置。 - 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
を備えた出力補正装置。 - 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記複数の出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段と、
を備えた反射係数測定装置。 - 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、
誤差要因測定方法。 - 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記誤差要因測定処理は、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、
プログラム。 - 信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記誤差要因測定処理は、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」という）および入力方向の成分（「基準入力方向成分」という）を記録する基準誤差要因成分記録工程と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スイッチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」という）と、入力方向の成分（「導出入力方向成分」という）との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、前記誤差要因比が、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、
記録媒体。 - 請求項１ないし４のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を備えた試験装置用モジュール。
- 請求項５に記載の出力補正装置を備え、前記信号が被測定物に与えられる試験装置。
- 請求項６に記載の反射係数測定装置を備え、被測定物を試験するための試験装置。
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