JP5177904B2 - 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力測定装置、入力測定装置 - Google Patents
誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力測定装置、入力測定装置 Download PDFInfo
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Description
本発明は、信号を生成する信号源のキャリブレーションに関する。
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１（特開平１１−３８０５４号公報）を参照）。
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。
なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２（国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット）を参照）。信号源にパワーメータを接続する場合、信号源とパワーメータとをケーブルを用いて接続することが広く行われている。
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Ｚ０）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。
なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２（国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット）を参照）。信号源にパワーメータを接続する場合、信号源とパワーメータとをケーブルを用いて接続することが広く行われている。
しかしながら、信号源とパワーメータとを接続するケーブルが理想的な特性をもたない場合、Ｅｒ１およびＥｒ２を誤って測定してしまうことになる。ただし、ケーブルの誤差要因を測定し、測定したＥｒ１およびＥｒ２の誤差を補正するならば、Ｅｒ１およびＥｒ２を正しく測定できる。しかし、ケーブルの誤差要因を測定することは多大な労力を要する。
そこで、本発明は、接続具（例えば、ケーブル、スイッチ）の誤差要因が既知であるか否かを問わず、接続具を信号源に接続した場合に、信号源の誤差要因を測定できるようにすることを課題とする。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定部と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定部と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録部と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定部の測定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出部とを備えるように構成される。
本発明によれば、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、接続具特性測定部が、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する。出力・反射比測定部が、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する。誤差要因記録部が、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する。誤差要因導出部が、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定部の測定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因記録部が、Ｅｉ１，Ｅｏ１と、Ｅｉ２×Ｅｏ２とを記録し、
（Ａ）Ｅｉ１，Ｅｏ１は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ｅｉ１：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Ｅｏ１：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ｅｉ２，Ｅｏ２は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ｅｉ２：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Ｅｏ２：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因導出部が、前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出する誤差要因比導出部と、導出されたＥｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値と、Ｅｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２とに基づきＥｉ２およびＥｏ２を導出する周波数トラッキング誤差要因導出部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因比導出部が、
｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜＝｜（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）｜
に基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出し、
Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２），Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）であり、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｒｘ１（１）：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｔｘ２（１）：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ２（１）：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｒｘ２（２）：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｔｘ１（２）：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ１（２）：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記接続具の特性の測定結果は、Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２）、Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）であり、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｒｘ１（１）：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ２（１）：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｒｘ２（２）：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ１（２）：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記出力・反射比測定部は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）との比Ｒ２１を測定し、かつ、Ｔｘ２（２）とＴｘ１（２）との比Ｒ１２を測定し、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｔｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｔｘ２（１）：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｔｘ１（２），Ｔｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｔｘ１（２）：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記接続具が、ケーブルおよびスイッチの一方または双方を含むようにしてもよい。
なお、本発明にかかる出力測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記第二信号生成部と、前記第二信号生成部が出力する第二信号を前記第二出力端子により反射される前に測定した結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記第二信号の測定結果を補正する測定結果補正部とを備えるように構成される。
なお、本発明にかかる入力測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記第二信号生成部と、を備えた入力測定装置であって、前記第二信号生成部は、前記第二出力端子から入力されてきた入力信号を測定する入力信号測定部を有し、前記入力測定装置は、さらに、前記入力信号測定部の測定結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記入力信号測定部の測定結果を補正する測定結果補正部を備えるように構成される。
なお、本発明にかかる誤差要因測定方法は、本発明にかかる誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、前記第二信号生成部は複数あり、ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する接続工程と、ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する測定工程と、を備え、全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記接続工程および前記測定工程を繰り返す誤差要因測定方法である。
なお、本発明にかかる誤差要因測定方法は、本発明にかかる誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、前記第二信号生成部は複数あり、ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する第一接続工程と、ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第一測定工程と、誤差要因を測定した前記第二信号生成部を前記第一信号生成部として、他の一つの前記第二信号生成部に、前記接続具を介して、接続する第二接続工程と、他の一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第二測定工程と、全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記第二接続工程および前記第二測定工程を繰り返す誤差要因測定方法である。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果
と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備えた誤差要因測定方法である。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記誤差要因測定処理は、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備えるプログラムである。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記誤差要因測定処理は、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備える記録媒体である。
本発明にかかる試験装置用モジュールは、本発明にかかる誤差要因測定装置を備える。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる出力測定装置を備え、前記第二信号が被測定物に与えられる。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる入力測定装置を備え、前記入力信号が被測定物から与えられる。
そこで、本発明は、接続具（例えば、ケーブル、スイッチ）の誤差要因が既知であるか否かを問わず、接続具を信号源に接続した場合に、信号源の誤差要因を測定できるようにすることを課題とする。
本発明にかかる誤差要因測定装置は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定部と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定部と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録部と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定部の測定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出部とを備えるように構成される。
本発明によれば、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、接続具特性測定部が、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する。出力・反射比測定部が、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する。誤差要因記録部が、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する。誤差要因導出部が、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定部の測定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因記録部が、Ｅｉ１，Ｅｏ１と、Ｅｉ２×Ｅｏ２とを記録し、
（Ａ）Ｅｉ１，Ｅｏ１は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ｅｉ１：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Ｅｏ１：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ｅｉ２，Ｅｏ２は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ｅｉ２：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Ｅｏ２：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因導出部が、前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出する誤差要因比導出部と、導出されたＥｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値と、Ｅｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２とに基づきＥｉ２およびＥｏ２を導出する周波数トラッキング誤差要因導出部とを有するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因比導出部が、
｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜＝｜（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）｜
に基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出し、
Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２），Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）であり、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｒｘ１（１）：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｔｘ２（１）：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ２（１）：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｒｘ２（２）：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｔｘ１（２）：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ１（２）：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記接続具の特性の測定結果は、Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２）、Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）であり、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｒｘ１（１）：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ２（１）：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｒｘ２（２）：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Ｒｘ１（２）：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記出力・反射比測定部は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）との比Ｒ２１を測定し、かつ、Ｔｘ２（２）とＴｘ１（２）との比Ｒ１２を測定し、
（Ａ）Ｔｘ１（１），Ｔｘ２（１）は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Ｔｘ１（１）：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Ｔｘ２（１）：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Ｔｘ１（２），Ｔｘ２（２）は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Ｔｘ２（２）：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Ｔｘ１（２）：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記接続具が、ケーブルおよびスイッチの一方または双方を含むようにしてもよい。
なお、本発明にかかる出力測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記第二信号生成部と、前記第二信号生成部が出力する第二信号を前記第二出力端子により反射される前に測定した結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記第二信号の測定結果を補正する測定結果補正部とを備えるように構成される。
なお、本発明にかかる入力測定装置は、本発明にかかる誤差要因測定装置と、前記第二信号生成部と、を備えた入力測定装置であって、前記第二信号生成部は、前記第二出力端子から入力されてきた入力信号を測定する入力信号測定部を有し、前記入力測定装置は、さらに、前記入力信号測定部の測定結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記入力信号測定部の測定結果を補正する測定結果補正部を備えるように構成される。
なお、本発明にかかる誤差要因測定方法は、本発明にかかる誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、前記第二信号生成部は複数あり、ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する接続工程と、ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する測定工程と、を備え、全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記接続工程および前記測定工程を繰り返す誤差要因測定方法である。
なお、本発明にかかる誤差要因測定方法は、本発明にかかる誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、前記第二信号生成部は複数あり、ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する第一接続工程と、ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第一測定工程と、誤差要因を測定した前記第二信号生成部を前記第一信号生成部として、他の一つの前記第二信号生成部に、前記接続具を介して、接続する第二接続工程と、他の一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第二測定工程と、全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記第二接続工程および前記第二測定工程を繰り返す誤差要因測定方法である。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果
と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備えた誤差要因測定方法である。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記誤差要因測定処理は、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備えるプログラムである。
本発明は、（１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記誤差要因測定処理は、前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備える記録媒体である。
本発明にかかる試験装置用モジュールは、本発明にかかる誤差要因測定装置を備える。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる出力測定装置を備え、前記第二信号が被測定物に与えられる。
本発明にかかる試験装置は、本発明にかかる入力測定装置を備え、前記入力信号が被測定物から与えられる。
第１図は、第一の実施形態の信号システムの構成を示す図である。
第２図は、第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフであり、第２図（ａ）は、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される場合のシグナルフローグラフであり、第２図（ｂ）は、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される場合のシグナルフローグラフである。
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置４０の構成を示す機能ブロック図である。
第４図は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方を説明するためのシグナルフローグラフであり、第４図（ａ）は、校正用具を接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフであり、第４図（ｂ）は、パワーメータを接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。
第５図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の一例を説明するための図である。
第６図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の他の一例を説明するための図
である。
第７図は、第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の構成を示す図である。
第８図は、第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図である。
第９図は、第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図である。
第１０図は、第七の実施形態にかかる信号システムの構成を示す図である。
第１１図は、第八の実施形態にかかる試験装置１１０の構成を示す図である。
第２図は、第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフであり、第２図（ａ）は、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される場合のシグナルフローグラフであり、第２図（ｂ）は、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される場合のシグナルフローグラフである。
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置４０の構成を示す機能ブロック図である。
第４図は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方を説明するためのシグナルフローグラフであり、第４図（ａ）は、校正用具を接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフであり、第４図（ｂ）は、パワーメータを接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。
第５図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の一例を説明するための図である。
第６図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の他の一例を説明するための図
である。
第７図は、第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の構成を示す図である。
第８図は、第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図である。
第９図は、第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図である。
第１０図は、第七の実施形態にかかる信号システムの構成を示す図である。
第１１図は、第八の実施形態にかかる試験装置１１０の構成を示す図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
第一の実施形態
第１図は、第一の実施形態の信号システムの構成を示す図である。信号システムは第一信号生成部１、第二信号生成部２、ケーブル（接続具）３０を有する。なお、第一信号生成部１および第二信号生成部２は誤差要因測定装置４０に接続されている。
第一信号生成部１は、第一信号を生成する第一信号源１０と、第一信号を出力する第一出力端子１９とを有する。第一信号源１０は、第一発振器１２、スイッチ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、ローカル信号源１７、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂを有する。
第一発振器１２は、第一信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。
スイッチ１３は、ブリッジ１４ａを第一発振器１２または終端抵抗に接続するためのスイッチである。
ブリッジ１４ａは、スイッチ１３により第一発振器１２と接続されると、第一発振器１２の出力（第一信号）を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号Ｌｏ１と乗算する。ミキサ１６ａの出力はアナログ信号である。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力（第一信号）のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、第一信号が第一出力端子１９から反射されてきたものを受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射されてきた第一信号とローカル信号Ｌｏ１とを乗算する。ミキサ１６ｂの出力はアナログ信号である。
ローカル信号源１７は、ローカル信号Ｌｏ１を出力し、ミキサ１６ａ、１６ｂに与える。
Ａ／Ｄコンバータ１８ａは、ミキサ１６ａの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力をＴｘ１という。
Ａ／Ｄコンバータ１８ｂは、ミキサ１６ｂの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力をＲｘ１という。
第二信号生成部２は、第二信号を生成する第二信号源２０と、第二信号を出力する第二出力端子２９とを有する。第二信号源２０は、第二発振器２２、スイッチ２３、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、ミキサ２６ａ、２６ｂ、ローカル信号源２７、Ａ／Ｄコンバータ２８ａ、２８ｂを有する。
第二発振器２２は、第二信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。
スイッチ２３は、ブリッジ２４ａを第二発振器２２または終端抵抗に接続するためのスイッチである。なお、スイッチ１３が第一発振器１２をブリッジ１４ａに接続している場合は、スイッチ２３がブリッジ２４ａを終端抵抗に接続する。この場合、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される。スイッチ１３がブリッジ１４ａを終端抵抗に接続している場合は、スイッチ２３がブリッジ２４ａを第二発振器２２に接続する。この場合、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される。
ブリッジ２４ａは、スイッチ２３により第二発振器２２と接続されると、第二発振器２２の出力（第二信号）を受け、二方向に分岐させる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号Ｌｏ２と乗算する。ミキサ２６ａの出力はアナログ信号である。
ブリッジ２４ｂは、ブリッジ２４ａの出力（第二信号）のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、第二信号が第二出力端子２９から反射されてきたものを受け、ミキサ２６ｂに与える。ミキサ２６ｂは、反射されてきた第二信号とローカル信号Ｌｏ２とを乗算する。ミキサ２６ｂの出力はアナログ信号である。
ローカル信号源２７は、ローカル信号Ｌｏ２を出力し、ミキサ２６ａ、２６ｂに与える。
Ａ／Ｄコンバータ２８ａは、ミキサ２６ａの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力をＴｘ２という。
Ａ／Ｄコンバータ２８ｂは、ミキサ２６ｂの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力をＲｘ２という。
ケーブル（接続具）３０は、第一出力端子１９と第二出力端子２９とを接続する。ケーブル３０の特性は既知である必要は無い。また、接続具は、必ずしもケーブルである必要は無い（第二の実施形態参照）。
第２図は、第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフである。ただし、第２図（ａ）は、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｂ）は、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される場合のシグナルフローグラフである。
第２図において、ケーブル３０の特性がＳパラメータＳ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２である。
第２図（ａ）を参照して、Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）は、第一信号生成部１から第二信号生成部２へ第一信号を出力した場合の第一信号の測定結果である。Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）はそれぞれ、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂの出力である。
Ｔｘ１（１）は、第一出力端子１９により反射される前に第一信号を測定した結果であるといえる。Ｒｘ１（１）は、第一信号が第一出力端子１９により反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｔｘ２（１）は、第一信号が第二信号生成部２の内部において反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｒｘ２（１）は、第一信号が第二出力端子２９に入射されたものを測定した結果であるといえる。
第２図（ｂ）を参照して、Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、第二信号生成部２から第一信号生成部１へ第二信号を出力した場合の第二信号の測定結果である。Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）はそれぞれ、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂの出力である。
Ｔｘ２（２）は、第二出力端子２９により反射される前に第二信号を測定した結果であるといえる。Ｒｘ２（２）は、第二信号が第二出力端子２９により反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｔｘ１（２）は、第二信号が第一信号生成部１の内部において反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｒｘ１（２）は、第二信号が第一出力端子１９に入射されたものを測定した結果であるといえる。
第２図において、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１は、第一信号生成部１の誤差要因である。Ｅｄ１は、第一信号生成部１の方向性に起因する誤差要因である。Ｅｓ１は、第一信号生成部１のソースマッチングに起因する誤差要因である。Ｅｉ１は、第一信号生成部１の周波数トラッキングに起因する出力方向（第一信号が出力される方向）の誤差要因である。Ｅｏ１は、第一信号生成部１の周波数トラッキングに起因する反射方向（第一信号が第一出力端子１９により反射される方向）の誤差要因である。
第２図において、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２は、第二信号生成部２の誤差要因である。Ｅｄ２は、第二信号生成部２の方向性に起因する誤差要因である。Ｅｓ２は、第二信号生成部２のソースマッチングに起因する誤差要因である。Ｅｉ２は、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する出力方向（第二信号が出力される方向）の誤差要因である。Ｅｏ２は、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する反射方向（第二信号が第二出力端子２９により反射される方向）の誤差要因である。
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置４０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置４０は、ケーブル測定部（接続具特性測定部）４２、出力・反射比測定部４４、誤差要因記録部４５、誤差要因比導出部４６、周波数トラッキング誤差要因導出部４８を備える。なお、誤差要因比導出部４６および周波数トラッキング誤差要因導出部４８が誤差要因導出部を構成する。
ケーブル測定部４２は、第一信号の測定結果Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）と、第二信号の測定結果Ｔｘ２（２），Ｒｘ１（２），Ｒｘ２（２）とに基づき、ケーブル３０の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２を測定する。Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２の測定結果をそれぞれ、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍと記載する。なお、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍをＳｉｊｍ（ただし、ｉ，ｊは１または２）と記載することがある。
なお、Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）との出力・反射比Ｒ２１を測定し、かつ、Ｔｘ２（２）とＴｘ１（２）との出力・反射比Ｒ１２を測定する。出力・反射比Ｒ２１，Ｒ１２の測定結果をそれぞれ、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍと記載する。なお、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍをＲｉｊｍ（ただし、ｉ，ｊは１または２）と記載することがある。
なお、Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
誤差要因記録部４５は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１と、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２×Ｅｏ２とを記録する。
なお、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方は周知であるが（例えば、特許文献１、２を参照）、ここで求め方を説明する。第４図は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方を説明するためのシグナルフローグラフである。
第一出力端子１９をケーブル３０に接続する前に、三種類の校正用具を接続する。第４図（ａ）は、校正用具を接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。第４図（ａ）を参照すると、下記の式が成立することがわかる。
Ｒｘ１／Ｔｘ１＝Ｅｄ１＋（Ｅｉ１・Ｅｏ１・Ｘ）／（１−Ｅｓ１・Ｘ） （１）
ただし、Ｘは、三種類の校正用具の負荷係数である。校正用具は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具が三種類接続されるため、Ｒｘ１とＴｘ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１・Ｅｏ１という三種類の変数である。なお、同様に、第二出力端子２９をケーブル３０に接続する前に、三種類の校正用具を接続すれば、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が求められる。
次に、第一出力端子１９をパワーメータに接続する（例えば、特許文献２を参照）。第４図（ｂ）は、パワーメータを接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。第４図（ｂ）を参照すると、下記の式が成立することがわかる。
Ｐ／Ｔｘ１＝Ｅｉ１／（１−Ｅｓ１・Ｅｐ） （２）
ただし、Ｐは、出力端子（測定用出力端子）１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果である。ここで、Ｅｓ１は既に取得しており、Ｅｐは測定可能なので、Ｅｉ１を求めることができる。Ｅｉ１×Ｅｏ１は既に取得しているので、Ｅｏ１もまた求めることができる。
誤差要因比導出部４６は、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍおよび出力・反射比の測定結果Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍに基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出する。なお、誤差要因比導出部４６は、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍをケーブル測定部４２から、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍを出力・反射比測定部４４から取得する。
Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比は、（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）または（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）である。ここで、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２とにおいて位相の同期がとれている場合は、ケーブル３０がＳ２１＝Ｓ１２という性質を有しているため、
（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）
＝（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ） （３）
となることが知られている。
しかし、ローカル信号源１７、２７は独立したものであるため、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２とにおいて位相の同期がとれていることは、一般的には、考えられない。この場合、
（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）
＝（Ｓ２１ｍ・ｅｊα−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ・ｅｊα）／（Ｓ１２ｍ・ｅｊβ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ・ｅｊβ）…（４）
となる。ただし、αは第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力されるときの、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２と位相差に比例する量である。βは第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力されるときの、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２と位相差に比例する量である。
よって、（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）の絶対値を｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜と表記すると、
｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜
＝｜（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）｜ （５）
である。なお、（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）の絶対値を｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜と表記すると、同様に、
｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜
＝｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜ （５−２）
となる。誤差要因比導出部４６は、式（５−２）の右辺に、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍおよびＲ２１ｍ，Ｒ１２ｍを代入して｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜を導出することができる。
周波数トラッキング誤差要因導出部４８は、導出されたＥｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値（例えば、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜）と、Ｅｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２とに基づきＥｉ２およびＥｏ２を導出する。導出原理としては、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜とＥｉ１，Ｅｏ１とから、｜Ｅｉ２／Ｅｏ２｜がわかる。｜Ｅｉ２／Ｅｏ２｜とＥｉ２×Ｅｏ２とからＥｉ２およびＥｏ２を導出できる。ただし、それに限定されず、例えば以下のような導出法をとる。
周波数トラッキング誤差要因導出部４８は、絶対値導出部４８ａ、各成分導出部４８ｂを有する。
絶対値導出部４８ａは、Ｅｉ２の絶対値｜Ｅｉ２｜を導出する。ただし、
｜Ｅｉ２｜
＝｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２ （６）
として、｜Ｅｉ２｜を導出する。なお、絶対値導出部４８ａは、Ｅｉ２Ｅｏ２、Ｅｉ１、Ｅｏ１を、誤差要因記録部４５から取得し、｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜を、誤差要因比導出部４６から取得する。
｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜＝｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｅｉ２Ｅｏ２Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ１Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｅｉ２／Ｅｉ１）２｜
である。よって、
｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２＝｜Ｅｉ１｜｜Ｅｉ２／Ｅｉ１｜＝｜Ｅｉ２｜
となる。
各成分導出部４８ｂは、｜Ｅｉ２｜およびＥｉ２・Ｅｏ２から、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出する。ただし、Ｅｉ２の位相は予め定めておくことで、Ｅｉ２の符号を決定し、｜Ｅｉ２｜からＥｉ２を求める。そして、Ｅｉ２・Ｅｏ２をＥｉ２で割れば、Ｅｏ２を導出できる。なお、各成分導出部４８ｂは、｜Ｅｉ２｜を絶対値導出部４８ａから取得し、Ｅｉ２・Ｅｏ２を誤差要因記録部４５から取得する。
なお、誤差要因比導出部４６および周波数トラッキング誤差要因導出部４８が構成する誤差要因導出部は、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍ、出力・反射比の測定結果Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍおよびＥｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２（誤差要因記録部４５の記録内容）に基づき、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出することになる。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
（１）第一信号生成部１から第二信号生成部２への第一信号の出力
まず、スイッチ１３により、第一発振器１２をブリッジ１４ａに接続する。さらに、スイッチ２３により、ブリッジ２４ａを終端抵抗に接続する。この状態で、第一発振器１２が第一信号を生成する。第一信号はスイッチ１３、ブリッジ１４ａを通り、一部はミキサ１６ａに与えられ、他はブリッジ１４ｂに与えられる。
ミキサ１６ａは、ローカル信号Ｌｏ１と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力がＴｘ１（１）となる。
ブリッジ１４ｂを通った第一信号は、第一出力端子１９に到達する。第一信号は、一部は第一出力端子１９により反射され、他は第一出力端子１９から出射される。第一出力端子１９により反射された第一信号は、ブリッジ１４ｂを通り、ミキサ１６ｂに与えられる。ミキサ１６ｂは、ローカル信号Ｌｏ１と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力がＲｘ１（１）となる。
第一出力端子１９から出射された第一信号はケーブル３０を通って、第二出力端子２９に与えられる。第二出力端子２９を通った第一信号は、ブリッジ２４ｂに与えられ、一部はミキサ２６ｂに与えられ、他はブリッジ２４ａに与えられる。
ミキサ２６ｂは、ローカル信号Ｌｏ２と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力がＲｘ２（１）となる。
ブリッジ２４ａを通った第一信号は、スイッチ２３を通り、終端抵抗により反射される。終端抵抗により反射された第一信号は、ブリッジ２４ａを通り、ミキサ２６ａに与えられる。ミキサ２６ａは、ローカル信号Ｌｏ２と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力がＴｘ２（１）となる。
Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１），Ｔｘ２（１）は、誤差要因測定装置４０のケーブル測定部４２および出力・反射比測定部４４に与えられる。
（２）第二信号生成部２から第一信号生成部１への第二信号の出力
まず、スイッチ１３により、ブリッジ１４ａを終端抵抗に接続する。さらに、スイッチ２３により、ブリッジ２４ａを第二発振器２２に接続する。この状態で、第二発振器２２が第二信号を生成する。第二信号はスイッチ２３、ブリッジ２４ａを通り、一部はミキサ２６ａに与えられ、他はブリッジ２４ｂに与えられる。
ミキサ２６ａは、ローカル信号Ｌｏ２と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力がＴｘ２（２）となる。
ブリッジ２４ｂを通った第二信号は、第二出力端子２９に到達する。第二信号は、一部は第二出力端子２９により反射され、他は第二出力端子２９から出射される。第二出力端子２９により反射された第二信号は、ブリッジ２４ｂを通り、ミキサ２６ｂに与えられる。ミキサ２６ｂは、ローカル信号Ｌｏ２と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力がＲｘ２（２）となる。
第二出力端子２９から出射された第二信号はケーブル３０を通って、第一出力端子１９に与えられる。第一出力端子１９を通った第二信号は、ブリッジ１４ｂに与えられ、一部はミキサ１６ｂに与えられ、他はブリッジ１４ａに与えられる。
ミキサ１６ｂは、ローカル信号Ｌｏ１と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力がＲｘ１（２）となる。
ブリッジ１４ａを通った第二信号は、スイッチ１３を通り、終端抵抗により反射される。終端抵抗により反射された第二信号は、ブリッジ１４ａを通り、ミキサ１６ａに与えられる。ミキサ１６ａは、ローカル信号Ｌｏ１と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力がＴｘ１（２）となる。
Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、誤差要因測定装置４０のケーブル測定部４２および出力・反射比測定部４４に与えられる。
（３）誤差要因測定装置４０によるＥｉ２およびＥｏ２の測定
ケーブル測定部４２は、Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）に基づき、ケーブル３０の特性Ｓ１１，Ｓ２１を測定し、測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍを出力する。なお、Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１）である。
ケーブル測定部４２は、Ｔｘ２（２），Ｒｘ１（２），Ｒｘ２（２）に基づき、ケーブル３０の特性Ｓ２２，Ｓ１２を測定し、測定結果Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを出力する。なお、Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）とに基づき、Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１）を出力する。出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（２）とＴｘ２（２）とに基づき、Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）を出力する。
誤差要因比導出部４６は、ケーブル測定部４２からＳ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを、出力・反射比測定部４４からＲ２１ｍ，Ｒ１２ｍを受け、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜を導出する。ただし、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜である。
絶対値導出部４８ａは、誤差要因記録部４５からＥｉ２Ｅｏ２、Ｅｉ１、Ｅｏ１を受け、誤差要因比導出部４６から｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜を受け、｜Ｅｉ２｜を求める。ただし、｜Ｅｉ２｜＝｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２である。
各成分導出部４８ｂは、絶対値導出部４８ａから｜Ｅｉ２｜を受け、誤差要因記録部４５からＥｉ２Ｅｏ２を受け、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出する。
第一の実施形態によれば、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができる。しかも、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを用いてＥｉ２およびＥｏ２を求めるものの、ケーブル３０の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２を用いてＥｉ２およびＥｏ２を求めるわけではない。よって、ケーブル３０の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２が不明であっても、誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができる。
第二の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部２が複数ある場合の測定法の一例である。
第５図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の一例を説明するための図である。
第５図（ａ）を参照して、ある一つの第二信号生成部２ａの第二出力端子２９ａを、スイッチ（接続具）３２を介して、第一信号生成部１の第一出力端子１９に接続する（「
接続工程」という）。そして、ある一つの第二信号生成部２ａの誤差要因を誤差要因測定装置４０（第５図において図示省略）により測定する（「測定工程」という）。測定の方法は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
第５図（ｂ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｂについて、接続工程および測定工程を行う。第５図（ｃ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｃについて、接続工程および測定工程を行う。第５図（ｄ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｄについて、接続工程および測定工程を行う。
このように全ての第二信号生成部２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を測定するまで、接続工程および測定工程を繰り返す。この場合、スイッチ（接続具）３２の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２が不明であっても、誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができることは、第一の実施形態と同様である。
第三の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部２が複数ある場合の測定法の他の一例である
。
第６図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の他の一例を説明するための図
である。
第６図（ａ）を参照して、ある一つの第二信号生成部２ａの第二出力端子２９ａを、ケーブル３０を介して、第一信号生成部１の第一出力端子１９に接続する（「第一接続工
程」という）。そして、ある一つの第二信号生成部２ａの誤差要因を誤差要因測定装置４０（第６図において図示省略）により測定する（「第一測定工程」という）。
第６図（ｂ）を参照して、誤差要因を測定した第二信号生成部２ａを第一信号生成部として、他の一つの第二信号生成部２ｂに、ケーブル３０を介して接続する（「第二接続工程」という）。そして、他の一つの第二信号生成部２ｂの誤差要因を誤差要因測定装置４０により測定する（「第二測定工程」という）。第二信号生成部２ａはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２が既知であり、第二信号生成部２ｂはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が既知であることから、第二信号生成部２ａを第一信号生成部１に、第二信号生成部２ｂを第二信号生成部２に置き換えれば、第一の実施形態と同様に第二信号生成部２ｂの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができることは理解されるであろう。
第６図（ｃ）を参照して、誤差要因を測定した第二信号生成部２ｂを第一信号生成部として、他の一つの第二信号生成部２ｃに、ケーブル３０を介して接続する（「第二接続工程」という）。そして、他の一つの第二信号生成部２ｃの誤差要因を誤差要因測定装置４０により測定する（「第二測定工程」という）。第二信号生成部２ｂはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２が既知であり、第二信号生成部２ｃはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が既知であることから、第二信号生成部２ｂを第一信号生成部１に、第二信号生成部２ｃを第二信号生成部２に置き換えれば、第一の実施形態と同様に第二信号生成部２ｃの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができることは理解されるであろう。
このように、全ての第二信号生成部２ａ、２ｂ、２ｃの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を測定するまで、第二接続工程および第二測定工程を繰り返す。
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態における第二信号生成部２が、さらに、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号を測定する第二入力信号測定部２１を有しているものである。
第７図は、第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の構成を示す図である。第二信号生成部２は、第二入力信号測定部２１、第二発振器２２、スイッチ２３、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、ミキサ２６ａ、２６ｂ、ローカル信号源２７、Ａ／Ｄコンバータ２８ａ、２８ｂを備える。
第二入力信号測定部２１、スイッチ２３以外は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
第二入力信号測定部２１は、ローカル信号源２１ａ、ミキサ２１ｂ、Ａ／Ｄコンバータ２１ｃを有する。第二入力信号測定部２１は、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号を測定する。
ローカル信号源２１ａは、入力信号測定用ローカル信号を出力する。ミキサ２１ｂは、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号と、入力信号測定用ローカル信号とを乗ずる。Ａ／Ｄコンバータ２１ｃは、ミキサ２１ｂの乗算結果（アナログ信号である）を、デジタル信号に変換する。Ａ／Ｄコンバータ２１ｃの出力ＳＡが入力信号の測定結果である。
スイッチ２３は、ブリッジ２４ａを第二発振器２２または第二入力信号測定部２１（のミキサ２１ｂ）に接続するためのスイッチである。スイッチ２３を第二入力信号測定部２１（のミキサ２１ｂ）に接続した場合、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号はブリッジ２４ｂ、２４ａ、スイッチ２３を通過して、ミキサ２１ｂに与えられる。
第五の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の出力を測定する例である。
第８図は、第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図である。出力測定装置は、誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２と、測定結果補正部１００とを備える。
誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２とは第一の実施形態と同様であり説明は省略する。ただし、誤差要因測定装置４０による第二信号生成部２の誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２の測定は終了しているものとする。さらに、第二信号生成部２はケーブル３０との接続を解かれ、誤差要因測定装置４０は、第二信号生成部２および第一信号生成部１との接続を解かれている。
測定結果補正部１００は、第二信号生成部２が出力する第二信号を第二出力端子２９により反射される前に測定した結果Ｔｘ２をＡ／Ｄコンバータ２８ａから受ける。測定結果補正部１００は、さらに、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２を受け、Ｅｓ２，Ｅｄ２も誤差要因記録部４５から受ける。測定結果補正部１００は、Ｅｓ２，Ｅｄ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２に基づき、第二信号の測定結果Ｔｘ２を補正して、第二信号の電力Ｐを求める。
第六の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部２への入力を測定する例である。
第９図は、第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図である。入力測定装置は、誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２と、測定結果補正部１００とを備える。
誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２とは第一の実施形態と同様であり説明は省略する。ただし、誤差要因測定装置４０による第二信号生成部２の誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２の測定は終了しているものとする。さらに、第二信号生成部２はケーブル３０との接続を解かれ、誤差要因測定装置４０は、第二信号生成部２および第一信号生成部１との接続を解かれている。
測定結果補正部１００は、入力信号測定部２１の測定結果ＳＡをＡ／Ｄコンバータ２１ｃからうける。測定結果補正部１００は、さらに、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２を受け、Ｅｓ２，Ｅｄ２も誤差要因記録部４５から受ける。測定結果補正部１００は、Ｅｓ２，Ｅｄ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２に基づき、入力信号の測定結果ＳＡを補正して、入力信号の電力Ｐを求める。
第七の実施形態
第七の実施形態は、第一信号生成部１と第二信号生成部２とが、複数の端子を有するスイッチＳＷ１、ＳＷ２により接続される場合の誤差要因の測定例を示すものである。
第１０図は、第七の実施形態にかかる信号システムの構成を示す図である。第七の実施形態にかかる信号システムは、第一信号生成部１、第二信号生成部２、スイッチ（接続具）ＳＷ１、ＳＷ２、ケーブル（接続具）３０を有する。
第一信号生成部１、第二信号生成部２は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。スイッチＳＷ１、ＳＷ２、ケーブル３０は接続具を構成する。
スイッチＳＷ１は、第一出力端子１９を端子Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１４のいずれかに接続するスイッチである。スイッチＳＷ２は、第二出力端子２９を端子Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４のいずれかに接続するスイッチである。ケーブル３０はスイッチＳＷ１とスイッチＳＷ２とを接続する。
第七の実施形態における誤差要因の測定方法を説明する。まず、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１１に接続する）を一体とみたときのＥｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１を求める。具体的には、端子Ｐ１１に、三種類の校正用具（開放、短絡および標準負荷Ｚ０：特許文献１を参照）およびパワーメータ（特許文献２を参照）を接続して求めることができる。なお、以下、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１をＥｉｊ１と表記する。
ここで、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１２に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１２と、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１３に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１３と、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１４に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１ ４とする。
Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１２）は時間によらず一定とみなしうる。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１３）は時間によらず一定とみなしうる。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１４）は時間によらず一定とみなしうる。ただし、Ｔ（Ｅｉｊ１）は、Ｅｉｊ１のＴパラメータであり、行列である。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１は、Ｔ（Ｅｉｊ１）の逆行列である。
そこで、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１２）、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１３）、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１４）を工場出荷時にでも求めておき、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１（＝Ｅｉｊ１）を代入して、Ｅｉｊ１Ｐ１２、Ｅｉｊ１Ｐ １３、Ｅｉｊ１Ｐ１４を求めることができる。
ここで、ケーブル３０により端子Ｐ１１と端子Ｐ２１とを接続する。このとき、ケーブル３０、スイッチＳＷ１、スイッチＳＷ２を、第一の実施形態における接続具（ケーブル３０）とみたてれば、第二信号生成部２のＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができる。これは、ケーブル３０により端子Ｐ１１と端子Ｐ２２とを接続した場合でも、端子Ｐ１１と端子Ｐ２３とを接続した場合でも、端子Ｐ１１と端子Ｐ２４とを接続した場合でも同様である。なお、以下、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２をＥｉｊ２と表記する。
また、スイッチＳＷ２の誤差要因をＱｉｊＰ２１（端子Ｐ２１について）、ＱｉｊＰ２ ２（端子Ｐ２２について）、ＱｉｊＰ２３（端子Ｐ２３について）、ＱｉｊＰ２４（端子Ｐ２４について）とすると、第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２１に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２１）となる。
同様に、第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２２に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２２）となる。第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２３に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２３）となる。第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２４に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２４）となる。
第八の実施形態
第八の実施形態は、出力測定装置および入力測定装置を用いて試験装置を構成した例である。
第１１図は、第八の実施形態にかかる試験装置１１０の構成を示す図である。第八の実施形態にかかる試験装置１１０は、第二信号生成部２、測定結果補正部１００ａ、１００ｂ、誤差要因測定装置４０を備える。
第二信号生成部２、測定結果補正部１００ａおよび誤差要因測定装置４０が第五の実施形態にかかる出力測定装置を構成する（第８図参照）。第二信号生成部２、測定結果補正部１００ｂおよび誤差要因測定装置４０が第六の実施形態にかかる入力測定装置を構成する（第９図参照）。
試験装置用モジュールが誤差要因測定装置４０を有する。
スイッチ２３が第二発振器２２をブリッジ２４ａに接続した場合は、第二信号が被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）に与えられる。第二信号の電力はＰ１である。測定結果補正部１００ａが、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２と、誤差要因測定装置４０に記録されたＥｓ２，Ｅｄ２とに基づき、第二信号の測定結果Ｔｘ２を補正して、第二信号の電力Ｐ１を求める。
スイッチ２３が第二入力信号測定部２１をブリッジ２４ａに接続した場合は、被測定物からの信号が第二出力端子２９に入力信号として与えられる（電力Ｐ２）。測定結果補正部１００ｂが、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２と、誤差要因測定装置４０に記録されたＥｓ２，Ｅｄ２とに基づき、入力信号測定部２１の測定結果ＳＡを補正して、入力信号の電力Ｐ２を求める。
試験装置１１０は、第二信号の電力Ｐ１および入力信号の電力Ｐ２に基づき、被測定物の試験を行うが、試験装置（テスタ）における試験自体は周知なので、試験自体についての詳細な説明は省略する。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因測定装置４０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
第一の実施形態
第１図は、第一の実施形態の信号システムの構成を示す図である。信号システムは第一信号生成部１、第二信号生成部２、ケーブル（接続具）３０を有する。なお、第一信号生成部１および第二信号生成部２は誤差要因測定装置４０に接続されている。
第一信号生成部１は、第一信号を生成する第一信号源１０と、第一信号を出力する第一出力端子１９とを有する。第一信号源１０は、第一発振器１２、スイッチ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、ローカル信号源１７、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂを有する。
第一発振器１２は、第一信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。
スイッチ１３は、ブリッジ１４ａを第一発振器１２または終端抵抗に接続するためのスイッチである。
ブリッジ１４ａは、スイッチ１３により第一発振器１２と接続されると、第一発振器１２の出力（第一信号）を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号Ｌｏ１と乗算する。ミキサ１６ａの出力はアナログ信号である。
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力（第一信号）のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、第一信号が第一出力端子１９から反射されてきたものを受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射されてきた第一信号とローカル信号Ｌｏ１とを乗算する。ミキサ１６ｂの出力はアナログ信号である。
ローカル信号源１７は、ローカル信号Ｌｏ１を出力し、ミキサ１６ａ、１６ｂに与える。
Ａ／Ｄコンバータ１８ａは、ミキサ１６ａの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力をＴｘ１という。
Ａ／Ｄコンバータ１８ｂは、ミキサ１６ｂの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力をＲｘ１という。
第二信号生成部２は、第二信号を生成する第二信号源２０と、第二信号を出力する第二出力端子２９とを有する。第二信号源２０は、第二発振器２２、スイッチ２３、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、ミキサ２６ａ、２６ｂ、ローカル信号源２７、Ａ／Ｄコンバータ２８ａ、２８ｂを有する。
第二発振器２２は、第二信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。
スイッチ２３は、ブリッジ２４ａを第二発振器２２または終端抵抗に接続するためのスイッチである。なお、スイッチ１３が第一発振器１２をブリッジ１４ａに接続している場合は、スイッチ２３がブリッジ２４ａを終端抵抗に接続する。この場合、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される。スイッチ１３がブリッジ１４ａを終端抵抗に接続している場合は、スイッチ２３がブリッジ２４ａを第二発振器２２に接続する。この場合、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される。
ブリッジ２４ａは、スイッチ２３により第二発振器２２と接続されると、第二発振器２２の出力（第二信号）を受け、二方向に分岐させる。ミキサ２６ａは、ブリッジ２４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号Ｌｏ２と乗算する。ミキサ２６ａの出力はアナログ信号である。
ブリッジ２４ｂは、ブリッジ２４ａの出力（第二信号）のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、第二信号が第二出力端子２９から反射されてきたものを受け、ミキサ２６ｂに与える。ミキサ２６ｂは、反射されてきた第二信号とローカル信号Ｌｏ２とを乗算する。ミキサ２６ｂの出力はアナログ信号である。
ローカル信号源２７は、ローカル信号Ｌｏ２を出力し、ミキサ２６ａ、２６ｂに与える。
Ａ／Ｄコンバータ２８ａは、ミキサ２６ａの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力をＴｘ２という。
Ａ／Ｄコンバータ２８ｂは、ミキサ２６ｂの出力するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力をＲｘ２という。
ケーブル（接続具）３０は、第一出力端子１９と第二出力端子２９とを接続する。ケーブル３０の特性は既知である必要は無い。また、接続具は、必ずしもケーブルである必要は無い（第二の実施形態参照）。
第２図は、第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフである。ただし、第２図（ａ）は、第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力される場合のシグナルフローグラフである。第２図（ｂ）は、第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力される場合のシグナルフローグラフである。
第２図において、ケーブル３０の特性がＳパラメータＳ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２である。
第２図（ａ）を参照して、Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）は、第一信号生成部１から第二信号生成部２へ第一信号を出力した場合の第一信号の測定結果である。Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｔｘ２（１），Ｒｘ２（１）はそれぞれ、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂの出力である。
Ｔｘ１（１）は、第一出力端子１９により反射される前に第一信号を測定した結果であるといえる。Ｒｘ１（１）は、第一信号が第一出力端子１９により反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｔｘ２（１）は、第一信号が第二信号生成部２の内部において反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｒｘ２（１）は、第一信号が第二出力端子２９に入射されたものを測定した結果であるといえる。
第２図（ｂ）を参照して、Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、第二信号生成部２から第一信号生成部１へ第二信号を出力した場合の第二信号の測定結果である。Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）はそれぞれ、Ａ／Ｄコンバータ１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂの出力である。
Ｔｘ２（２）は、第二出力端子２９により反射される前に第二信号を測定した結果であるといえる。Ｒｘ２（２）は、第二信号が第二出力端子２９により反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｔｘ１（２）は、第二信号が第一信号生成部１の内部において反射されたものを測定した結果であるといえる。Ｒｘ１（２）は、第二信号が第一出力端子１９に入射されたものを測定した結果であるといえる。
第２図において、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１は、第一信号生成部１の誤差要因である。Ｅｄ１は、第一信号生成部１の方向性に起因する誤差要因である。Ｅｓ１は、第一信号生成部１のソースマッチングに起因する誤差要因である。Ｅｉ１は、第一信号生成部１の周波数トラッキングに起因する出力方向（第一信号が出力される方向）の誤差要因である。Ｅｏ１は、第一信号生成部１の周波数トラッキングに起因する反射方向（第一信号が第一出力端子１９により反射される方向）の誤差要因である。
第２図において、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２は、第二信号生成部２の誤差要因である。Ｅｄ２は、第二信号生成部２の方向性に起因する誤差要因である。Ｅｓ２は、第二信号生成部２のソースマッチングに起因する誤差要因である。Ｅｉ２は、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する出力方向（第二信号が出力される方向）の誤差要因である。Ｅｏ２は、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する反射方向（第二信号が第二出力端子２９により反射される方向）の誤差要因である。
第３図は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置４０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置４０は、ケーブル測定部（接続具特性測定部）４２、出力・反射比測定部４４、誤差要因記録部４５、誤差要因比導出部４６、周波数トラッキング誤差要因導出部４８を備える。なお、誤差要因比導出部４６および周波数トラッキング誤差要因導出部４８が誤差要因導出部を構成する。
ケーブル測定部４２は、第一信号の測定結果Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）と、第二信号の測定結果Ｔｘ２（２），Ｒｘ１（２），Ｒｘ２（２）とに基づき、ケーブル３０の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２を測定する。Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２の測定結果をそれぞれ、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍと記載する。なお、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍをＳｉｊｍ（ただし、ｉ，ｊは１または２）と記載することがある。
なお、Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１），Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）との出力・反射比Ｒ２１を測定し、かつ、Ｔｘ２（２）とＴｘ１（２）との出力・反射比Ｒ１２を測定する。出力・反射比Ｒ２１，Ｒ１２の測定結果をそれぞれ、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍと記載する。なお、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍをＲｉｊｍ（ただし、ｉ，ｊは１または２）と記載することがある。
なお、Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１）、Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
誤差要因記録部４５は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１と、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２×Ｅｏ２とを記録する。
なお、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方は周知であるが（例えば、特許文献１、２を参照）、ここで求め方を説明する。第４図は、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１の求め方を説明するためのシグナルフローグラフである。
第一出力端子１９をケーブル３０に接続する前に、三種類の校正用具を接続する。第４図（ａ）は、校正用具を接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。第４図（ａ）を参照すると、下記の式が成立することがわかる。
Ｒｘ１／Ｔｘ１＝Ｅｄ１＋（Ｅｉ１・Ｅｏ１・Ｘ）／（１−Ｅｓ１・Ｘ） （１）
ただし、Ｘは、三種類の校正用具の負荷係数である。校正用具は、開放、短絡および標準負荷Ｚ０の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
ここで、校正用具が三種類接続されるため、Ｒｘ１とＴｘ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１・Ｅｏ１という三種類の変数である。なお、同様に、第二出力端子２９をケーブル３０に接続する前に、三種類の校正用具を接続すれば、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が求められる。
次に、第一出力端子１９をパワーメータに接続する（例えば、特許文献２を参照）。第４図（ｂ）は、パワーメータを接続した場合の第一信号生成部１のシグナルフローグラフである。第４図（ｂ）を参照すると、下記の式が成立することがわかる。
Ｐ／Ｔｘ１＝Ｅｉ１／（１−Ｅｓ１・Ｅｐ） （２）
ただし、Ｐは、出力端子（測定用出力端子）１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果である。ここで、Ｅｓ１は既に取得しており、Ｅｐは測定可能なので、Ｅｉ１を求めることができる。Ｅｉ１×Ｅｏ１は既に取得しているので、Ｅｏ１もまた求めることができる。
誤差要因比導出部４６は、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍおよび出力・反射比の測定結果Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍに基づき、Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値を導出する。なお、誤差要因比導出部４６は、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍをケーブル測定部４２から、Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍを出力・反射比測定部４４から取得する。
Ｅｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比は、（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）または（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）である。ここで、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２とにおいて位相の同期がとれている場合は、ケーブル３０がＳ２１＝Ｓ１２という性質を有しているため、
（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）
＝（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ） （３）
となることが知られている。
しかし、ローカル信号源１７、２７は独立したものであるため、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２とにおいて位相の同期がとれていることは、一般的には、考えられない。この場合、
（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）
＝（Ｓ２１ｍ・ｅｊα−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ・ｅｊα）／（Ｓ１２ｍ・ｅｊβ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ・ｅｊβ）…（４）
となる。ただし、αは第一信号が第一信号生成部１から第二信号生成部２へ出力されるときの、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２と位相差に比例する量である。βは第二信号が第二信号生成部２から第一信号生成部１へ出力されるときの、ローカル信号Ｌｏ１とローカル信号Ｌｏ２と位相差に比例する量である。
よって、（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）の絶対値を｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜と表記すると、
｜（Ｅｉ１Ｅｏ２）／（Ｅｉ２Ｅｏ１）｜
＝｜（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）／（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）｜ （５）
である。なお、（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）の絶対値を｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜と表記すると、同様に、
｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜
＝｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜ （５−２）
となる。誤差要因比導出部４６は、式（５−２）の右辺に、Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍおよびＲ２１ｍ，Ｒ１２ｍを代入して｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜を導出することができる。
周波数トラッキング誤差要因導出部４８は、導出されたＥｉ１Ｅｏ２とＥｉ２Ｅｏ１との比の絶対値（例えば、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜）と、Ｅｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２とに基づきＥｉ２およびＥｏ２を導出する。導出原理としては、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜とＥｉ１，Ｅｏ１とから、｜Ｅｉ２／Ｅｏ２｜がわかる。｜Ｅｉ２／Ｅｏ２｜とＥｉ２×Ｅｏ２とからＥｉ２およびＥｏ２を導出できる。ただし、それに限定されず、例えば以下のような導出法をとる。
周波数トラッキング誤差要因導出部４８は、絶対値導出部４８ａ、各成分導出部４８ｂを有する。
絶対値導出部４８ａは、Ｅｉ２の絶対値｜Ｅｉ２｜を導出する。ただし、
｜Ｅｉ２｜
＝｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２ （６）
として、｜Ｅｉ２｜を導出する。なお、絶対値導出部４８ａは、Ｅｉ２Ｅｏ２、Ｅｉ１、Ｅｏ１を、誤差要因記録部４５から取得し、｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜を、誤差要因比導出部４６から取得する。
｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜＝｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｅｉ２Ｅｏ２Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ１Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｅｉ２／Ｅｉ１）２｜
である。よって、
｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２＝｜Ｅｉ１｜｜Ｅｉ２／Ｅｉ１｜＝｜Ｅｉ２｜
となる。
各成分導出部４８ｂは、｜Ｅｉ２｜およびＥｉ２・Ｅｏ２から、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出する。ただし、Ｅｉ２の位相は予め定めておくことで、Ｅｉ２の符号を決定し、｜Ｅｉ２｜からＥｉ２を求める。そして、Ｅｉ２・Ｅｏ２をＥｉ２で割れば、Ｅｏ２を導出できる。なお、各成分導出部４８ｂは、｜Ｅｉ２｜を絶対値導出部４８ａから取得し、Ｅｉ２・Ｅｏ２を誤差要因記録部４５から取得する。
なお、誤差要因比導出部４６および周波数トラッキング誤差要因導出部４８が構成する誤差要因導出部は、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍ、出力・反射比の測定結果Ｒ２１ｍ，Ｒ１２ｍおよびＥｉ１，Ｅｏ１，Ｅｉ２×Ｅｏ２（誤差要因記録部４５の記録内容）に基づき、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出することになる。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
（１）第一信号生成部１から第二信号生成部２への第一信号の出力
まず、スイッチ１３により、第一発振器１２をブリッジ１４ａに接続する。さらに、スイッチ２３により、ブリッジ２４ａを終端抵抗に接続する。この状態で、第一発振器１２が第一信号を生成する。第一信号はスイッチ１３、ブリッジ１４ａを通り、一部はミキサ１６ａに与えられ、他はブリッジ１４ｂに与えられる。
ミキサ１６ａは、ローカル信号Ｌｏ１と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力がＴｘ１（１）となる。
ブリッジ１４ｂを通った第一信号は、第一出力端子１９に到達する。第一信号は、一部は第一出力端子１９により反射され、他は第一出力端子１９から出射される。第一出力端子１９により反射された第一信号は、ブリッジ１４ｂを通り、ミキサ１６ｂに与えられる。ミキサ１６ｂは、ローカル信号Ｌｏ１と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力がＲｘ１（１）となる。
第一出力端子１９から出射された第一信号はケーブル３０を通って、第二出力端子２９に与えられる。第二出力端子２９を通った第一信号は、ブリッジ２４ｂに与えられ、一部はミキサ２６ｂに与えられ、他はブリッジ２４ａに与えられる。
ミキサ２６ｂは、ローカル信号Ｌｏ２と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力がＲｘ２（１）となる。
ブリッジ２４ａを通った第一信号は、スイッチ２３を通り、終端抵抗により反射される。終端抵抗により反射された第一信号は、ブリッジ２４ａを通り、ミキサ２６ａに与えられる。ミキサ２６ａは、ローカル信号Ｌｏ２と第一信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力がＴｘ２（１）となる。
Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１），Ｔｘ２（１）は、誤差要因測定装置４０のケーブル測定部４２および出力・反射比測定部４４に与えられる。
（２）第二信号生成部２から第一信号生成部１への第二信号の出力
まず、スイッチ１３により、ブリッジ１４ａを終端抵抗に接続する。さらに、スイッチ２３により、ブリッジ２４ａを第二発振器２２に接続する。この状態で、第二発振器２２が第二信号を生成する。第二信号はスイッチ２３、ブリッジ２４ａを通り、一部はミキサ２６ａに与えられ、他はブリッジ２４ｂに与えられる。
ミキサ２６ａは、ローカル信号Ｌｏ２と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ａの出力がＴｘ２（２）となる。
ブリッジ２４ｂを通った第二信号は、第二出力端子２９に到達する。第二信号は、一部は第二出力端子２９により反射され、他は第二出力端子２９から出射される。第二出力端子２９により反射された第二信号は、ブリッジ２４ｂを通り、ミキサ２６ｂに与えられる。ミキサ２６ｂは、ローカル信号Ｌｏ２と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ２８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ２８ｂの出力がＲｘ２（２）となる。
第二出力端子２９から出射された第二信号はケーブル３０を通って、第一出力端子１９に与えられる。第一出力端子１９を通った第二信号は、ブリッジ１４ｂに与えられ、一部はミキサ１６ｂに与えられ、他はブリッジ１４ａに与えられる。
ミキサ１６ｂは、ローカル信号Ｌｏ１と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ｂに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ｂの出力がＲｘ１（２）となる。
ブリッジ１４ａを通った第二信号は、スイッチ１３を通り、終端抵抗により反射される。終端抵抗により反射された第二信号は、ブリッジ１４ａを通り、ミキサ１６ａに与えられる。ミキサ１６ａは、ローカル信号Ｌｏ１と第二信号とを乗じて、Ａ／Ｄコンバータ１８ａに与える。Ａ／Ｄコンバータ１８ａの出力がＴｘ１（２）となる。
Ｔｘ１（２），Ｒｘ１（２），Ｔｘ２（２），Ｒｘ２（２）は、誤差要因測定装置４０のケーブル測定部４２および出力・反射比測定部４４に与えられる。
（３）誤差要因測定装置４０によるＥｉ２およびＥｏ２の測定
ケーブル測定部４２は、Ｔｘ１（１），Ｒｘ１（１），Ｒｘ２（１）に基づき、ケーブル３０の特性Ｓ１１，Ｓ２１を測定し、測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍを出力する。なお、Ｓ１１ｍ＝Ｒｘ１（１）／Ｔｘ１（１）、Ｓ２１ｍ＝Ｒｘ２（１）／Ｔｘ１（１）である。
ケーブル測定部４２は、Ｔｘ２（２），Ｒｘ１（２），Ｒｘ２（２）に基づき、ケーブル３０の特性Ｓ２２，Ｓ１２を測定し、測定結果Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを出力する。なお、Ｓ２２ｍ＝Ｒｘ２（２）／Ｔｘ２（２），Ｓ１２ｍ＝Ｒｘ１（２）／Ｔｘ２（２）である。
出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（１）とＴｘ２（１）とに基づき、Ｒ２１ｍ＝Ｔｘ２（１）／Ｔｘ１（１）を出力する。出力・反射比測定部４４は、Ｔｘ１（２）とＴｘ２（２）とに基づき、Ｒ１２ｍ＝Ｔｘ１（２）／Ｔｘ２（２）を出力する。
誤差要因比導出部４６は、ケーブル測定部４２からＳ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを、出力・反射比測定部４４からＲ２１ｍ，Ｒ１２ｍを受け、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜を導出する。ただし、｜（Ｅｉ２Ｅｏ１）／（Ｅｉ１Ｅｏ２）｜＝｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜である。
絶対値導出部４８ａは、誤差要因記録部４５からＥｉ２Ｅｏ２、Ｅｉ１、Ｅｏ１を受け、誤差要因比導出部４６から｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜を受け、｜Ｅｉ２｜を求める。ただし、｜Ｅｉ２｜＝｜Ｅｉ１｜・（｜（Ｅｉ２Ｅｏ２）／（Ｅｉ１Ｅｏ１）｜・｜（Ｓ１２ｍ−Ｓ１１ｍＲ１２ｍ）／（Ｓ２１ｍ−Ｓ２２ｍＲ２１ｍ）｜）１／２である。
各成分導出部４８ｂは、絶対値導出部４８ａから｜Ｅｉ２｜を受け、誤差要因記録部４５からＥｉ２Ｅｏ２を受け、Ｅｉ２およびＥｏ２を導出する。
第一の実施形態によれば、第二信号生成部２の周波数トラッキングに起因する誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができる。しかも、ケーブル３０の特性の測定結果Ｓ１１ｍ，Ｓ２１ｍ，Ｓ２２ｍ，Ｓ１２ｍを用いてＥｉ２およびＥｏ２を求めるものの、ケーブル３０の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２を用いてＥｉ２およびＥｏ２を求めるわけではない。よって、ケーブル３０の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２が不明であっても、誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができる。
第二の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部２が複数ある場合の測定法の一例である。
第５図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の一例を説明するための図である。
第５図（ａ）を参照して、ある一つの第二信号生成部２ａの第二出力端子２９ａを、スイッチ（接続具）３２を介して、第一信号生成部１の第一出力端子１９に接続する（「
接続工程」という）。そして、ある一つの第二信号生成部２ａの誤差要因を誤差要因測定装置４０（第５図において図示省略）により測定する（「測定工程」という）。測定の方法は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
第５図（ｂ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｂについて、接続工程および測定工程を行う。第５図（ｃ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｃについて、接続工程および測定工程を行う。第５図（ｄ）を参照して、また他の第二信号生成部２ｄについて、接続工程および測定工程を行う。
このように全ての第二信号生成部２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を測定するまで、接続工程および測定工程を繰り返す。この場合、スイッチ（接続具）３２の真の特性Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ１２が不明であっても、誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２を求めることができることは、第一の実施形態と同様である。
第三の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部２が複数ある場合の測定法の他の一例である
。
第６図は、第二信号生成部２が四個ある場合の測定法の他の一例を説明するための図
である。
第６図（ａ）を参照して、ある一つの第二信号生成部２ａの第二出力端子２９ａを、ケーブル３０を介して、第一信号生成部１の第一出力端子１９に接続する（「第一接続工
程」という）。そして、ある一つの第二信号生成部２ａの誤差要因を誤差要因測定装置４０（第６図において図示省略）により測定する（「第一測定工程」という）。
第６図（ｂ）を参照して、誤差要因を測定した第二信号生成部２ａを第一信号生成部として、他の一つの第二信号生成部２ｂに、ケーブル３０を介して接続する（「第二接続工程」という）。そして、他の一つの第二信号生成部２ｂの誤差要因を誤差要因測定装置４０により測定する（「第二測定工程」という）。第二信号生成部２ａはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２が既知であり、第二信号生成部２ｂはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が既知であることから、第二信号生成部２ａを第一信号生成部１に、第二信号生成部２ｂを第二信号生成部２に置き換えれば、第一の実施形態と同様に第二信号生成部２ｂの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができることは理解されるであろう。
第６図（ｃ）を参照して、誤差要因を測定した第二信号生成部２ｂを第一信号生成部として、他の一つの第二信号生成部２ｃに、ケーブル３０を介して接続する（「第二接続工程」という）。そして、他の一つの第二信号生成部２ｃの誤差要因を誤差要因測定装置４０により測定する（「第二測定工程」という）。第二信号生成部２ｂはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２が既知であり、第二信号生成部２ｃはＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２・Ｅｏ２が既知であることから、第二信号生成部２ｂを第一信号生成部１に、第二信号生成部２ｃを第二信号生成部２に置き換えれば、第一の実施形態と同様に第二信号生成部２ｃの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができることは理解されるであろう。
このように、全ての第二信号生成部２ａ、２ｂ、２ｃの誤差要因Ｅｉ２，Ｅｏ２を測定するまで、第二接続工程および第二測定工程を繰り返す。
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態における第二信号生成部２が、さらに、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号を測定する第二入力信号測定部２１を有しているものである。
第７図は、第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の構成を示す図である。第二信号生成部２は、第二入力信号測定部２１、第二発振器２２、スイッチ２３、ブリッジ２４ａ、２４ｂ、ミキサ２６ａ、２６ｂ、ローカル信号源２７、Ａ／Ｄコンバータ２８ａ、２８ｂを備える。
第二入力信号測定部２１、スイッチ２３以外は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。
第二入力信号測定部２１は、ローカル信号源２１ａ、ミキサ２１ｂ、Ａ／Ｄコンバータ２１ｃを有する。第二入力信号測定部２１は、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号を測定する。
ローカル信号源２１ａは、入力信号測定用ローカル信号を出力する。ミキサ２１ｂは、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号と、入力信号測定用ローカル信号とを乗ずる。Ａ／Ｄコンバータ２１ｃは、ミキサ２１ｂの乗算結果（アナログ信号である）を、デジタル信号に変換する。Ａ／Ｄコンバータ２１ｃの出力ＳＡが入力信号の測定結果である。
スイッチ２３は、ブリッジ２４ａを第二発振器２２または第二入力信号測定部２１（のミキサ２１ｂ）に接続するためのスイッチである。スイッチ２３を第二入力信号測定部２１（のミキサ２１ｂ）に接続した場合、第二出力端子２９から入力されてきた入力信号はブリッジ２４ｂ、２４ａ、スイッチ２３を通過して、ミキサ２１ｂに与えられる。
第五の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部２の出力を測定する例である。
第８図は、第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図である。出力測定装置は、誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２と、測定結果補正部１００とを備える。
誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２とは第一の実施形態と同様であり説明は省略する。ただし、誤差要因測定装置４０による第二信号生成部２の誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２の測定は終了しているものとする。さらに、第二信号生成部２はケーブル３０との接続を解かれ、誤差要因測定装置４０は、第二信号生成部２および第一信号生成部１との接続を解かれている。
測定結果補正部１００は、第二信号生成部２が出力する第二信号を第二出力端子２９により反射される前に測定した結果Ｔｘ２をＡ／Ｄコンバータ２８ａから受ける。測定結果補正部１００は、さらに、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２を受け、Ｅｓ２，Ｅｄ２も誤差要因記録部４５から受ける。測定結果補正部１００は、Ｅｓ２，Ｅｄ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２に基づき、第二信号の測定結果Ｔｘ２を補正して、第二信号の電力Ｐを求める。
第六の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部２への入力を測定する例である。
第９図は、第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図である。入力測定装置は、誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２と、測定結果補正部１００とを備える。
誤差要因測定装置４０と、第二信号生成部２とは第一の実施形態と同様であり説明は省略する。ただし、誤差要因測定装置４０による第二信号生成部２の誤差要因Ｅｉ２およびＥｏ２の測定は終了しているものとする。さらに、第二信号生成部２はケーブル３０との接続を解かれ、誤差要因測定装置４０は、第二信号生成部２および第一信号生成部１との接続を解かれている。
測定結果補正部１００は、入力信号測定部２１の測定結果ＳＡをＡ／Ｄコンバータ２１ｃからうける。測定結果補正部１００は、さらに、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２を受け、Ｅｓ２，Ｅｄ２も誤差要因記録部４５から受ける。測定結果補正部１００は、Ｅｓ２，Ｅｄ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２に基づき、入力信号の測定結果ＳＡを補正して、入力信号の電力Ｐを求める。
第七の実施形態
第七の実施形態は、第一信号生成部１と第二信号生成部２とが、複数の端子を有するスイッチＳＷ１、ＳＷ２により接続される場合の誤差要因の測定例を示すものである。
第１０図は、第七の実施形態にかかる信号システムの構成を示す図である。第七の実施形態にかかる信号システムは、第一信号生成部１、第二信号生成部２、スイッチ（接続具）ＳＷ１、ＳＷ２、ケーブル（接続具）３０を有する。
第一信号生成部１、第二信号生成部２は第一の実施形態と同様であり説明を省略する。スイッチＳＷ１、ＳＷ２、ケーブル３０は接続具を構成する。
スイッチＳＷ１は、第一出力端子１９を端子Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１４のいずれかに接続するスイッチである。スイッチＳＷ２は、第二出力端子２９を端子Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４のいずれかに接続するスイッチである。ケーブル３０はスイッチＳＷ１とスイッチＳＷ２とを接続する。
第七の実施形態における誤差要因の測定方法を説明する。まず、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１１に接続する）を一体とみたときのＥｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１を求める。具体的には、端子Ｐ１１に、三種類の校正用具（開放、短絡および標準負荷Ｚ０：特許文献１を参照）およびパワーメータ（特許文献２を参照）を接続して求めることができる。なお、以下、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１をＥｉｊ１と表記する。
ここで、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１２に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１２と、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１３に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１３と、第一信号生成部１およびスイッチＳＷ１（ただし、第一出力端子１９を端子Ｐ１４に接続する）を一体とみたときの誤差要因をＥｉｊ１Ｐ１ ４とする。
Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１２）は時間によらず一定とみなしうる。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１３）は時間によらず一定とみなしうる。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１４）は時間によらず一定とみなしうる。ただし、Ｔ（Ｅｉｊ１）は、Ｅｉｊ１のＴパラメータであり、行列である。Ｔ（Ｅｉｊ１）−１は、Ｔ（Ｅｉｊ１）の逆行列である。
そこで、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１２）、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１３）、Ｔ（Ｅｉｊ１）−１Ｔ（Ｅｉｊ１Ｐ１４）を工場出荷時にでも求めておき、Ｅｄ１，Ｅｓ１，Ｅｉ１，Ｅｏ１（＝Ｅｉｊ１）を代入して、Ｅｉｊ１Ｐ１２、Ｅｉｊ１Ｐ １３、Ｅｉｊ１Ｐ１４を求めることができる。
ここで、ケーブル３０により端子Ｐ１１と端子Ｐ２１とを接続する。このとき、ケーブル３０、スイッチＳＷ１、スイッチＳＷ２を、第一の実施形態における接続具（ケーブル３０）とみたてれば、第二信号生成部２のＥｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２を求めることができる。これは、ケーブル３０により端子Ｐ１１と端子Ｐ２２とを接続した場合でも、端子Ｐ１１と端子Ｐ２３とを接続した場合でも、端子Ｐ１１と端子Ｐ２４とを接続した場合でも同様である。なお、以下、Ｅｄ２，Ｅｓ２，Ｅｉ２，Ｅｏ２をＥｉｊ２と表記する。
また、スイッチＳＷ２の誤差要因をＱｉｊＰ２１（端子Ｐ２１について）、ＱｉｊＰ２ ２（端子Ｐ２２について）、ＱｉｊＰ２３（端子Ｐ２３について）、ＱｉｊＰ２４（端子Ｐ２４について）とすると、第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２１に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２１）となる。
同様に、第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２２に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２２）となる。第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２３に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２３）となる。第二信号生成部２およびスイッチＳＷ２（ただし、第二出力端子２９を端子Ｐ２４に接続する）を一体とみたときの誤差要因はＴ（Ｅｉｊ２）Ｔ（ＱｉｊＰ２４）となる。
第八の実施形態
第八の実施形態は、出力測定装置および入力測定装置を用いて試験装置を構成した例である。
第１１図は、第八の実施形態にかかる試験装置１１０の構成を示す図である。第八の実施形態にかかる試験装置１１０は、第二信号生成部２、測定結果補正部１００ａ、１００ｂ、誤差要因測定装置４０を備える。
第二信号生成部２、測定結果補正部１００ａおよび誤差要因測定装置４０が第五の実施形態にかかる出力測定装置を構成する（第８図参照）。第二信号生成部２、測定結果補正部１００ｂおよび誤差要因測定装置４０が第六の実施形態にかかる入力測定装置を構成する（第９図参照）。
試験装置用モジュールが誤差要因測定装置４０を有する。
スイッチ２３が第二発振器２２をブリッジ２４ａに接続した場合は、第二信号が被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ Ｕｎｄｅｒ Ｔｅｓｔ）に与えられる。第二信号の電力はＰ１である。測定結果補正部１００ａが、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２と、誤差要因測定装置４０に記録されたＥｓ２，Ｅｄ２とに基づき、第二信号の測定結果Ｔｘ２を補正して、第二信号の電力Ｐ１を求める。
スイッチ２３が第二入力信号測定部２１をブリッジ２４ａに接続した場合は、被測定物からの信号が第二出力端子２９に入力信号として与えられる（電力Ｐ２）。測定結果補正部１００ｂが、誤差要因測定装置４０の測定したＥｉ２およびＥｏ２と、誤差要因測定装置４０に記録されたＥｓ２，Ｅｄ２とに基づき、入力信号測定部２１の測定結果ＳＡを補正して、入力信号の電力Ｐ２を求める。
試験装置１１０は、第二信号の電力Ｐ１および入力信号の電力Ｐ２に基づき、被測定物の試験を行うが、試験装置（テスタ）における試験自体は周知なので、試験自体についての詳細な説明は省略する。
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因測定装置４０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
Claims (15)
- （１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定部と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定部と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録部と、
前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定部の測定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出部と、
を備え、
前記誤差要因記録部は、Ei1, Eo1と、Ei2×Eo2とを記録し、
（Ａ）Ei1, Eo1は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ei1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ei2, Eo2は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
前記誤差要因導出部は、
前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ei1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値を導出する誤差要因比導出部と、
導出されたEi1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値と、Ei1, Eo1, Ei2×Eo2とに基づきEi2およびEo2を導出する周波数トラッキング誤差要因導出部と、
を有する誤差要因測定装置。 - 請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記誤差要因比導出部は、
|(Ei1Eo2)／(Ei2Eo1)|
= |(S21m−S22mR21m)／(S12m−S11mR12m)|
に基づき、Ei1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値を導出し、
S11m = Rx1(1)／Tx1(1)、
S21m = Rx2(1)／Tx1(1),
S22m = Rx2(2)／Tx2(2),
S12m = Rx1(2)／Tx2(2),
R21m = Tx2(1)／Tx1(1),
R12m = Tx1(2)／Tx2(2)
であり、
（Ａ）Tx1(1), Rx1(1), Tx2(1), Rx2(1)は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Tx1(1)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Rx1(1)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Tx2(1)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Rx2(1)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Tx1(2), Rx1(2), Tx2(2), Rx2(2)は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Rx2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Tx1(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果、
Rx1(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果である、
誤差要因測定装置。 - 請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記接続具の特性の測定結果は、Rx1(1)／Tx1(1)、Rx2(1)／Tx1(1)、Rx2(2)／Tx2(2)、Rx1(2)／Tx2(2)であり、
（Ａ）Tx1(1), Rx1(1), Rx2(1)は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Tx1(1)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Rx1(1)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを測定した結果、
Rx2(1)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Rx1(2), Tx2(2), Rx2(2)は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Rx2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを測定した結果、
Rx1(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定した結果である、
誤差要因測定装置。 - 請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記出力・反射比測定部は、Tx1(1)とTx2(1)との比R21を測定し、かつ、Tx2(2)とTx1(2)との比R12を測定し、
（Ａ）Tx1(1), Tx2(1)は、前記第一信号生成部から前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、
Tx1(1)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測定した結果、
Tx2(1)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果であり、
（Ｂ）Tx1(2), Tx2(2)は、前記第二信号生成部から前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測定した結果、
Tx1(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射されたものを測定した結果である、
誤差要因測定装置。 - 請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記接続具は、ケーブルおよびスイッチの一方または双方を含む、
誤差要因測定装置。 - 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記第二信号生成部と、
前記第二信号生成部が出力する第二信号を前記第二出力端子により反射される前に測定した結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記第二信号の測定結果を補正する測定結果補正部と、
を備えた出力測定装置。 - 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記第二信号生成部と、
を備えた入力測定装置であって、
前記第二信号生成部は、前記第二出力端子から入力されてきた入力信号を測定する入力信号測定部を有し、
前記入力測定装置は、さらに、前記入力信号測定部の測定結果と、前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、前記入力信号測定部の測定結果を補正する測定結果補正部を備えた入力測定装置。 - 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、
前記第二信号生成部は複数あり、
ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する接続工程と、
ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する測定工程と、
を備え、
全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記接続工程および前記測定工程を繰り返す誤差要因測定方法。 - 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、
前記第二信号生成部は複数あり、
ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、前記接続具を介して、前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する第一接続工程と、
ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第一測定工程と、
誤差要因を測定した前記第二信号生成部を前記第一信号生成部として、他の一つの前記第二信号生成部に、前記接続具を介して、接続する第二接続工程と、
他の一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置により測定する第二測定工程と、
全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、前記第二接続工程および前記第二測定工程を繰り返す誤差要因測定方法。 - （１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程と、
を備え、
前記誤差要因記録工程は、Ei1, Eo1と、Ei2×Eo2とを記録し、
（Ａ）Ei1, Eo1は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ei1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ei2, Eo2は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
前記誤差要因導出工程は、
前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ei1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値を導出する誤差要因比導出工程と、
導出されたEi1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値と、Ei1, Eo1, Ei2×Eo2とに基づきEi2およびEo2を導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を有する誤差要因測定方法。 - （１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記誤差要因測定処理は、
前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程と、
を備え、
前記誤差要因記録工程は、Ei1, Eo1と、Ei2×Eo2とを記録し、
（Ａ）Ei1, Eo1は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ei1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ei2, Eo2は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
前記誤差要因導出工程は、
前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ei1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値を導出する誤差要因比導出工程と、
導出されたEi1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値と、Ei1, Eo1, Ei2×Eo2とに基づきEi2およびEo2を導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を有するプログラム。 - （１）第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、（２）第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、（３）前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、を有する信号システムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、前記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記誤差要因測定処理は、
前記第一信号の測定結果と、前記第二信号の測定結果とに基づき、前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分と、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、前記出力・反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程と、
を備え、
前記誤差要因記録工程は、Ei1, Eo1と、Ei2×Eo2とを記録し、
（Ａ）Ei1, Eo1は、前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Ei1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo1：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
（Ｂ）Ei2, Eo2は、前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方向の誤差要因であり、
前記誤差要因導出工程は、
前記接続具の特性の測定結果および前記出力・反射比の測定結果に基づき、Ei1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値を導出する誤差要因比導出工程と、
導出されたEi1Eo2とEi2Eo1との比の絶対値と、Ei1, Eo1, Ei2×Eo2とに基づきEi2およびEo2を導出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、
を有する記録媒体。 - 請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を備えた試験装置用モジュール。
- 請求項６に記載の出力測定装置を備え、前記第二信号が被測定物に与えられる試験装置。
- 請求項７に記載の入力測定装置を備え、前記入力信号が被測定物から与えられる試験装置。
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