WO2009014073A1 - 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力測定装置、入力測定装置 - Google Patents

誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力測定装置、入力測定装置 Download PDF

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WO2009014073A1
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WO
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signal
error factor
measurement
generation unit
output terminal
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PCT/JP2008/062965
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English (en)
French (fr)
Inventor
Yoshikazu Nakayama
Original Assignee
Advantest Corporation
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R23/00—Arrangements for measuring frequencies; Arrangements for analysing frequency spectra
    • G01R23/16—Spectrum analysis; Fourier analysis

Definitions

  • the present invention relates to calibration of a signal source that generates a signal.
  • the signal is transmitted from the signal source to the receiver via the DUT.
  • This signal is received by the receiving unit.
  • the S-parameters and frequency characteristics of the DUT can be obtained.
  • measurement system errors occur in the measurement due to inconsistencies between the measurement system such as the signal source and the DUT.
  • the measurement system errors are, for example, E d: error caused by the direction of the bridge, E r: error caused by frequency tracking, and E s: error caused by source matching.
  • the error can be corrected as described in Patent Document 1.
  • Such correction is called calibration.
  • E r is expressed as the product of error E r 1 related to signal input and error E r 2 related to signal reflection.
  • E r 1 and E r 2 can be measured (for example, Patent Document 2 (International Publication No. 2 0 0 4/0 4 9 5 6 No. 4 brochure)).
  • the present invention can measure the error factor of the signal source when the connector is connected to the signal source regardless of whether the error factor of the connector (eg, cable, switch) is known. The challenge is to do so.
  • An error factor measurement device includes: (1) a first signal generation unit having a first signal source that generates a first signal; and a first output terminal that outputs the first signal; A second signal generator having a second signal source for generating two signals, a second output terminal for outputting the second signal, and (3) the first output terminal and the second output terminal.
  • An error factor measuring device for measuring an error factor in the second signal generation unit based on a measurement result of the first signal and the second signal in a signal system having: Based on the measurement result of one signal and the measurement result of the second signal, a connection device characteristic measurement unit that measures the characteristics of the connection device, and before the first signal is reflected by the first output terminal And the result of reflection in the second signal generator And the ratio of the measurement result before the second signal is reflected by the second output terminal to the measurement result of the one reflected in the first signal generation unit.
  • the product of each component of the error factor caused by the frequency tracking of the second signal generator and the component of the error factor caused by the frequency tracking of the first signal generator and the output / reflection ratio measuring unit Frequency tracking of the second signal generator based on the error factor recording unit to be recorded, the measurement result of the characteristics of the connector, the measurement result of the output / reflection ratio measurement unit, and the recorded content of the error factor recording unit And an error factor deriving unit for deriving each component of the error factor resulting from.
  • a first signal generation unit having a first signal source for generating a first signal and a first output terminal for outputting the first signal; (2) generating a second signal A second signal source having a second signal source, a second output terminal for outputting the second signal, and (3) a connector for connecting the first output terminal and the second output terminal;
  • An error factor measurement device for measuring an error factor in the second signal generation unit is provided based on the measurement results of the first signal and the second signal in the signal system having the following.
  • the connection device characteristic measurement unit measures the characteristics of the connection device based on the measurement result of the first signal and the measurement result of the second signal.
  • An output / reflection ratio measurement unit that compares a measurement result before the first signal is reflected by the first output terminal and a measurement result of the reflection of the first signal reflected inside the second signal generation unit; and A ratio between a measurement result before the second signal is reflected by the second output terminal and a measurement result of the signal reflected inside the first signal generation unit is measured.
  • An error factor recording unit records a product of each component of the error factor caused by frequency tracking of the first signal generation unit and each component of the error factor caused by frequency tracking of the second signal generation unit.
  • the error factor deriving unit is caused by frequency tracking of the second signal generating unit based on a measurement result of the characteristics of the connector, a measurement result of the output / reflection ratio measuring unit, and a recorded content of the error factor recording unit. Each component of the error factor is derived.
  • the error factor recording unit records Eil, Eol, and Ei2 X Eo2,
  • Eil is an error factor of the first signal generation unit
  • Eil an error factor in the output direction due to the frequency tracking of the first signal generator
  • Eol an error factor in the reflection direction due to the frequency tracking of the first signal generator
  • Eo2 It may be an error factor in the reflection direction caused by the frequency tracking of the second signal generation unit.
  • the error factor deriving unit calculates the absolute value of the ratio between EilEo2 and Ei2Eol based on the measurement result of the characteristics of the connector and the measurement result of the output and the reflection ratio.
  • An error factor ratio deriving unit to be derived, and an absolute value of the derived ratio between EilEo2 and Ei2Eol, and a frequency-to-talking error factor deriving unit for deriving Ei2 and Eo2 based on Eil, Eol, Ei2 X Eo2. May be.
  • the error factor ratio deriving unit the error factor ratio deriving unit
  • Txl (l), Rxl (l), Tx2 (l), Rx2 (l) are derived from the first signal generator.
  • Txl (l) As a result of measuring the first signal before being reflected by the first output terminal,
  • Rx2 (l) a result of measuring the first signal incident on the second output terminal
  • Txl (2), Rxl (2), Tx2 (2), Rx2 (2) is the second signal when the second signal is output from the second signal generator to the first signal generator. Signal measurement results,
  • the second signal may be the result of measuring the light incident on the first output terminal.
  • the error factor measurement device according to the present invention is such that the measurement results of the characteristics of the connector are Rxl (l) ZTxl (l), Rx2 (l) / Txl (l), Rx2 (2) ZTx2 (2) Rxl (2) Tx2 (2)
  • Txl (l), Rxl (l), R X 2 (1) are transmitted from the first signal generation unit to the second The measurement result of the first signal when the first signal is output to the signal generation unit,
  • Txl (l) the result of measuring the first signal before being reflected by the first output terminal
  • Rx2 (l) a result of measuring the first signal incident on the second output terminal
  • the second signal may be a result of measuring the incident signal on the first output terminal.
  • the output / reflection ratio measurement unit measures a ratio E21 of Txl (l) and Tx2 (l), and ⁇ 2 (2) and Txl (2) Measure the ratio R12,
  • Txl (l), Tx2 (l) are measurement results of the first signal when the first signal is output from the first signal generation unit to the second signal generation unit, and Txl ( l): As a result of measuring the first signal before being reflected by the first output terminal,
  • Tx2 (l) The first signal is reflected inside the second signal generator. Is the result of measuring
  • the second signal may be the result of measuring the reflection of the second signal inside the first signal generator.
  • the connection tool may include one or both of a cable and a switch.
  • the output measurement device according to the present invention includes an error factor measurement device according to the present invention, the second signal generation unit, and the second signal output from the second signal generation unit reflected by the second output terminal. And a measurement result correction unit that corrects the measurement result of the second signal based on the measurement result before the measurement and the measurement result of the error factor measurement device.
  • the input measurement device according to the present invention is an input measurement device including the error factor measurement device according to the present invention and the second signal generation unit, wherein the second signal generation unit includes the first signal generation unit.
  • An input signal measuring unit that measures an input signal input from the two output terminals, and the input measuring device further includes a measurement result of the input signal measuring unit and a measurement result of the error factor measuring device. And a measurement result correcting unit for correcting the measurement result of the input signal measuring unit.
  • the error factor measurement method according to the present invention is the same as the error factor according to the present invention.
  • An error factor measurement method using a factor measurement device wherein there are a plurality of the second signal generation units, and the second output terminal of one of the second signal generation units is connected to the first output terminal via the connector.
  • the error factor measurement method according to the present invention is an error factor measurement method using the error factor measurement device according to the present invention, wherein there are a plurality of the second signal generation units, and there is one second signal.
  • a first connection step of connecting the second output terminal of the generation unit to the first output terminal of the first signal generation unit via the connector; and an error factor of the one second signal generation unit The first measurement step of measuring the error factor by the error factor measuring device, and the second signal generation unit measuring the error factor as the first signal generation unit, the other second signal generation unit, A second connection step of connecting via a connector, a second measurement step of measuring an error factor of the other second signal generation unit by the error factor measurement device, and generation of all the second signals. Until the second error is measured And an error factor measurement method in which the second measurement step is repeated.
  • the present invention includes: (1) a first signal source that generates a first signal; a first signal generation unit that includes a first output terminal that outputs the first signal; and (2) a second signal that generates a second signal.
  • a second signal generation unit having a two-signal source and a second output terminal for outputting the second signal; and (3) a connector for connecting the first output terminal and the second output terminal.
  • the first signal in the signal system having And an error factor measurement method for measuring an error factor in the second signal generator based on the measurement result of the second signal, based on the measurement result of the first signal and the measurement result of the second signal.
  • a connecting device characteristic measuring step for measuring the characteristics of the connecting device, a measurement result before the first signal is reflected by the first output terminal, and reflection inside the second signal generation unit.
  • the product of the output / reflection ratio measurement step, each component of the error factor due to the frequency tracking of the first signal generation unit, and each component of the error factor due to the frequency tracking of the second signal generation unit And record Based on the difference factor recording step, the measurement result of the characteristics of the connector, the measurement result of the output / reflection ratio measurement step, and the recorded content of the error factor recording step, the frequency tracking of the second signal generator is performed.
  • the present invention includes: (1) a first signal source that generates a first signal; a first signal generation unit that includes a first output terminal that outputs the first signal; and (2) a first signal that generates a second signal.
  • a second signal generation unit having a two-signal source and a second output terminal for outputting the second signal; and (3) a connector for connecting the first output terminal and the second output terminal.
  • a program for causing a computer to execute an error factor measurement process for measuring an error factor in the second signal generator based on the measurement results of the first signal and the second signal in a signal system having The error factor measurement processing includes: a connector characteristic measuring step of measuring a characteristic of the connector based on the measurement result of the first signal and the measurement result of the second signal; and the first signal is the first signal Output terminal The ratio of the measurement result before being reflected by the second measurement signal to the measurement result of the light reflected inside the second signal generator, and the measurement result before the second signal is reflected by the second output terminal An output / reflection ratio measurement step for measuring a ratio of the reflection of the first signal generation unit to a measurement result, and components of error factors resulting from frequency tracking of the first signal generation unit; An error factor recording step for recording a product of each component of an error factor due to frequency tracking of the second signal generation unit, a measurement result of the characteristics of the connector, and a measurement result of the output / reflection ratio measurement step And an error factor deriving step for deriving each component
  • the present invention includes: (1) a first signal source that generates a first signal; a first signal generation unit that includes a first output terminal that outputs the first signal; and (2) a first signal that generates a second signal.
  • a second signal generation unit having a two-signal source and a second output terminal for outputting the second signal; and (3) a connector for connecting the first output terminal and the second output terminal.
  • the error factor measurement process is a connection medium that measures the characteristics of the connection device based on the measurement result of the first signal and the measurement result of the second signal.
  • Characteristic measurement step, and the first signal The ratio between the measurement result before being reflected by the first output terminal and the measurement result of what is reflected inside the second signal generation unit, and the second signal is reflected by the second output terminal.
  • Measurement results before the measurement and the first signal generator Output / reflectance ratio measurement process for measuring the ratio to the measurement result of the shot, each component of error factors due to frequency tracking of the first signal generator, and frequency tracking of the second signal generator Based on the error factor recording step of recording the product of each component of the error factor resulting from the measurement result of the characteristics of the connector, the measurement result of the output / reflection ratio measurement step, and the recorded content of the error factor recording step, An error factor deriving step for deriving each component of an error factor caused by frequency tracking of the second signal generation unit.
  • the module for a test apparatus according to the present invention includes the error factor measurement apparatus according to the present invention.
  • the test apparatus according to the present invention includes the output measuring apparatus according to the present invention, and the second signal is given to the object to be measured.
  • a test apparatus according to the present invention includes the input measurement apparatus according to the present invention, and the input signal is given from a device under test.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a signal system according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a signal flow graph of the signal system of the first embodiment, and FIG. 2 (a) shows a case where the first signal is output from the first signal generator 1 to the second signal generator 2.
  • Fig. 2 (b) shows the second signal output from the second signal generator 2 to the first signal generator 1. It is a signal graph when it is done.
  • FIG. 3 is a functional block diagram showing the configuration of the error factor measurement device 40 according to the first embodiment of the present invention.
  • Fig. 4 is a signal flow graph for explaining how to obtain Edl, Esl, Eil, Eol.
  • Fig. 4 (a) shows the signal flow of the first signal generator 1 when a calibration tool is connected.
  • FIG. 4 (b) is a signal flow graph of the first signal generator 1 when a parameter is connected.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining an example of a measurement method when there are four second signal generators 2.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining another example of the measurement method when there are four second signal generators 2.
  • FIG. 7 is a diagram showing a configuration of the second signal generation unit 2 according to the fourth embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the output measuring apparatus according to the fifth embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the input measuring apparatus according to the sixth embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a signal system according to the seventh embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram showing a configuration of a test apparatus 110 according to the eighth embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the signal system of the first embodiment.
  • the signal system includes a first signal generator 1, a second signal generator 2, and a cable (connector) 30.
  • the first signal generator 1 and the second signal generator 2 are connected to the error factor measuring device 40.
  • the first signal generation unit 1 includes a first signal source 10 that generates a first signal and a first output terminal 19 that outputs the first signal.
  • 1st signal source 1 0 is 1st oscillator 1 2, switch 1 3, bridge 1 4 a, 1 4 b, mixer 1 6 a, 1 6 b, singular signal source 1 7, A / D comparator It has I 8 a and 1 8 b.
  • the first oscillator 12 generates a first signal (for example, a high frequency signal).
  • the switch 13 is a switch for connecting the bridge 14 a to the first oscillator 12 2 or a terminating resistor.
  • the bridge 14 a receives the output (first signal) of the first oscillator 12 and branches it in two directions.
  • the mixer 16 a receives one of the outputs of the bridge 14 a and multiplies it with a local signal Lo 1 having a predetermined local frequency.
  • Mixer The output of 1 6 a is an analog signal.
  • Bridge 14b receives the other of the outputs (first signal) of bridge 14a and outputs it as it is. However, the first signal reflected from the first output terminal 19 is received and given to the mixer 16 b.
  • the mixer 16 b multiplies the reflected first signal by the local signal L o 1.
  • the output of the mixer 16 b is an analog signal.
  • the local signal source 17 outputs the local signal L o 1 and supplies it to the mixers 16 a N 16 b.
  • the A / D converter 18 a converts the analog output signal output from the mixer 16 a into a digital signal and outputs it.
  • the output of A // D converter 1 8 a is called T X 1.
  • the A / D converter 18 b converts the analog signal output from the mixer 16 b into a digital signal and outputs it.
  • the output of AZD converter 1 8 b is RX 1.
  • the second signal generation unit 2 includes a second signal source 20 that generates a second signal, and a second output terminal 29 that outputs a second signal.
  • the second signal source 20 is composed of the second oscillator 2 2, switch 2 3, bridges 24 a and 24 b, mixers 2 6 a and 2 6 b, local signal source 2 7, AZD converters 2 8 a and 2 8 b.
  • the second oscillator 2 2 generates a second signal (eg, a high frequency signal)
  • the switch 23 is a switch for connecting the bridge 24a to the second oscillator 22 or the terminating resistor.
  • switch 2 3 When switch 1 3 connects first oscillator 12 2 to bridge 14 a, switch 2 3 connects bridge 24 a to the terminating resistor. In this case, the first signal is output from the first signal generation unit 1 to the second signal generation unit 2. If switch 1 3 connects bridge 14 a to the terminating resistor, switch 2 3 connects bridge 2 4 a to second oscillator 2 2. In this case, the second signal is output from the second signal generator 2 to the first signal generator 1.
  • the bridge 24 a When the bridge 24 a is connected to the second oscillator 22 2 by the switch 23, it receives the output (second signal) of the second oscillator 22 and branches it in two directions.
  • the mixer 26 a receives one of the outputs of the bridge 24 a and multiplies it with a local signal L o 2 having a predetermined oral frequency.
  • the output of the mixer 2 6 a is an analog signal.
  • Bridge 2 4 b receives the other of the outputs (second signal) of bridge 2 4 a and outputs it as it is. However, the second signal received from the second output terminal 29 is received and given to the mixer 26 b.
  • the mixer 2 6 multiplies the reflected second signal by the oral signal L o 2.
  • the output of mixer 26 b is an analog signal.
  • the local signal source 2 7 outputs the local signal L o 2 and supplies it to the mixers 2 6 a and 2 6 b.
  • the A / D converter 28a converts the analog signal output from the mixer 26a into a digital signal and outputs it.
  • the output of AZD converter 28a is called TX 2.
  • the A / D converter 28 b converts the analog signal output from the mixer 26 b into a digital signal and outputs it.
  • the cable (connector) 30 connects the first output terminal 19 and the second output terminal 29. The characteristics of cable 30 need not be known. Further, the connection tool is not necessarily a cable (see the second embodiment).
  • FIG. 2 is a signal flow graph of the signal system of the first embodiment.
  • FIG. 2 (a) is a signal flow graph when the first signal is output from the first signal generation unit 1 to the second signal generation unit 2.
  • Txl (l), Rxl (l), Tx2 (l), and Rx2 (l) send the first signal from the first signal generator 1 to the second signal generator 2. This is the measurement result of the first signal when output.
  • Txl (l), Rxl (l), Tx2 (l), and Rx2 (l) are the outputs of the A / D converters 18 a, 18 b, 28 a, and 28 b, respectively.
  • Txl (l) can be said to be a result of measuring the first signal before being reflected by the first output terminal 19.
  • Rxl (l) can be said to be the result of measuring the first signal reflected by the first output terminal 19.
  • Tx2 (l) is a result of measuring the first signal reflected from the inside of the second signal generator 2.
  • Rx2 (l) can be said to be the result of measuring the incident of the first signal on the second output terminal 29.
  • Txl (2), Rxl (2), Tx2 (2), and Rx2 (2) send the second signal from the second signal generator 2 to the first signal generator 1. This is the measurement result of the second signal when output.
  • Txl (2), Rxl (2), Tx2 (2), and Rx2 (2) are the outputs of the A / D converters 18 a, 18 b, 28 a, and 28 b respectively.
  • Tx2 (2) can be said to be the result of measuring the second signal before being reflected by the second output terminal 29.
  • Rx2 (2) can be said to be the result of measuring the second signal reflected by the second output terminal 29.
  • Txl (2) can be said to be the result of measuring the second signal reflected from the inside of the first signal generation unit 1.
  • Rxl (2) can be said to be the result of measuring the incident of the second signal on the first output terminal 19.
  • Edl, Esl, Eil, and Eol are error factors of the first signal generator 1.
  • Edl is an error factor due to the directionality of the first signal generator 1.
  • Esl is an error factor due to the source matching of the first signal generator 1.
  • Eil is an error factor in the output direction (the direction in which the first signal is output) caused by the frequency tracking of the first signal generator 1.
  • Eol is an error factor of the reflection direction (the direction in which the first signal is reflected by the first output terminal 19) due to the frequency tracking of the first signal generation unit 1.
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are error factors of the second signal generator 2.
  • Ed2 is an error factor due to the directionality of the second signal generator 2.
  • Es2 is an error factor due to the source matching of the second signal generator 2.
  • Ei2 is an error factor in the output direction (the direction in which the second signal is output) caused by the frequency tracking of the second signal generator 2.
  • Eo2 is an error factor of the reflection direction (the direction in which the second signal is reflected by the second output terminal 29) due to the frequency tracking of the second signal generation unit 2.
  • FIG. 3 is a functional block diagram showing the configuration of the error factor measurement device 40 according to the first embodiment of the present invention.
  • Error factor measuring device 40 is a cable measuring unit (connector characteristic measuring unit) 4 2, output / reflection ratio measuring unit 4 4, error factor recording unit 4 5, error factor ratio deriving unit 4 6, frequency tracking error A factor deriving section 4 8 is provided.
  • the error factor ratio deriving unit 46 and the frequency tracking error factor deriving unit 48 constitute the error factor deriving unit.
  • the cable measurement unit 42 has the first signal measurement results Txl (l), Rxl (l), Rx2 (l) and the second signal measurement results Tx2 (2), Rxl (2), Rx2 (2) Based on the above, measure the characteristics Sll, S21, S22, and S12 of the cable 30.
  • the measurement results of Sll, S21, S22, and S12 are described as Slim, S21m, S22m, and Sl2m, respectively.
  • Slim, S21m, S22m, and S12m may be described as Sijm (where i and j are 1 or 2).
  • the output / reflection ratio measurement unit 4 4 measures the output / reflection ratio R 2 1 between Txl (l) and Tx2 (l), and the output / reflection ratio R12 between Tx2 (2) and Txl (2). Measure.
  • the measurement results of the output and reflection ratios R21 and 12 are written as R21m and R12m, respectively.
  • R21m and R12m may be written as Rijm (where i and j are 1 or 2).
  • FIG. 4 is a signal flow graph for explaining how to obtain Edl, Esl, Eil, and Eol. Connect the three types of calibration tools before connecting the first output terminal 1 9 to the cable 30.
  • FIG. 4 (a) is a signal flow graph of the first signal generator 1 when a calibration tool is connected. Referring to Fig. 4 (a), it can be seen that the following equation holds. .
  • X is the load factor for the three types of calibration tools.
  • the calibration tool is a well-known tool that realizes three states: open, short circuit, and standard load Z0 (see, for example, Patent Document 1).
  • the required variables are also three types of variables: Edl, Esl, Eil ⁇ Eol.
  • the first output terminal 19 is connected to the power meter (for example, see Patent Document 2).
  • FIG. 4 (b) is a signal flow graph of the first signal generator 1 when a parameter is connected. Referring to Fig. 4 (b), it can be seen that the following equation holds.
  • P is the result of measuring the signal output from the output terminal (measurement output terminal) 19 a with the power meter 64.
  • Esl since Esl has already been acquired and Ep can be measured, Eil can be obtained. Since Eil X Eol has already been acquired, Eol can also be requested.
  • the error factor ratio deriving unit 46 derives the absolute value of the ratio between EilEo2 and Ei2Eol based on the measurement results Slim, S21m, S22m, S12m of the cable 30 and the measurement results R21m, R12m of the output / reflection ratio. .
  • the error factor ratio deriving unit 46 acquires Slim, S21m, S22m, and S12m from the cable measuring unit 4 2, and H21m and R12m from the output / reflection ratio measuring unit 44.
  • the ratio of EilEo2 to Ei2Eol is (EilEo2) Z (Ei2Eol) or (Ei2Eol) / (EilEo2).
  • the cable 30 has the property of S21 2 S12. (EilEo2) / (Ei2Eol)
  • the error factor ratio deriving unit 4 6 substitutes Slim, S21m, S22m, Sl2m and R21m, Rl2m for the right side of Equation (5-2)
  • (Ei2Eol) / (EilEo2) i can be derived.
  • the frequency tracking error factor deriving section 48 derives Ei2 and Eo2 based on the absolute value of the derived ratio of EilEo2 and Ei2Eol (for example, Ei2Eol) / (EilEo2) l) and Eil, Eol, Ei2XEo2.
  • the derivation principle is
  • Ei2 and Eo2 can be derived from Ei2 / Eo2j and Ei2XEo2.
  • the frequency tracking error factor deriving unit 48 has an absolute value deriving unit 48a and each component deriving unit 48b.
  • Absolute value deriving unit 4 8 a is the absolute value of Ei2! Ei2
  • the absolute value deriving unit 4 8 a obtains Ei2Eo2, Eil, Eol from the error factor recording unit 45, and
  • Each component deriving unit 4 8 b obtains
  • the error factor derivation unit comprised of the error factor ratio deriving unit 46 and the frequency tracking error factor deriving unit 48 is the result of measuring the characteristics of the cable 30.Slim, S21m, S22m, S12m, output / reflection ratio Based on the measurement results R21m, R12m and Eil, Eol, Ei2 X Eo2 (contents recorded in error factor recording section 45), Ei2 and Eo2 are derived. Next, the operation of the first embodiment will be described.
  • the first oscillator 12 is connected to the bridge 14 a by the switch 13.
  • switch 2 3 connects bridge 2 4 a to the terminating resistor.
  • the first oscillator 12 generates a first signal.
  • the first signal passes through switch 13 and bridge 14 a, part of it is fed to mixer 16 a and the other is fed to bridge 14 b.
  • the mixer 16 a multiplies the local signal L o 1 and the first signal and supplies the result to the A / D converter 18 a.
  • a / D converter 1 8 A output is The first signal passing through the bridge 14 b that becomes Txl (l) reaches the first output terminal 19.
  • a part of the first signal is reflected by the first output terminal 19, and the other part is emitted from the first output terminal 19.
  • the first signal reflected by the first output terminal 19 passes through the bridge 14 b and is given to the mixer 16 b.
  • the mixer 16 b multiplies the oral signal L o 1 and the first signal and gives the result to the A / D comparator 18 b.
  • the output of AZD comparator 1 8 b becomes Rxld).
  • the first signal emitted from the first output terminal 19 is given to the second output terminal 29 through the cable 30.
  • the first signal passing through the second output terminal 29 is given to the bridge 24b, a part is given to the mixer 26b, and the other is given to the bridge 24a.
  • the mixer 26 b multiplies the local signal L o 2 and the first signal, and supplies the result to the A-node D converter 28 b.
  • the output of AZD converter 2 8 b becomes Rx2 (l).
  • the first signal passing through bridge 24a passes through switch 23 and is reflected by the terminating resistor.
  • the first signal reflected by the terminating resistor passes through the bridge 24a and is given to the mixer 26a.
  • the mixer 26 a multiplies the local signal L o 2 and the first signal and supplies the result to the A / D converter 28 a.
  • the output of A / D converter 2 8a becomes Tx2 (l).
  • Txl (l), Rxl (l), Rx2 (l), and Tx2 (l) are given to the cable measuring unit 42 and the output'reflection ratio measuring unit 44 of the error factor measuring device 40.
  • the output of AZD converter 2 8a becomes Tx2 (2).
  • the second signal passing through the bridge 24 b reaches the second output terminal 29. A part of the second signal is reflected by the second output terminal 29, and the other part is emitted from the second output terminal 29.
  • the second signal reflected by the second output terminal 29 passes through the bridge 24b and is given to the mixer 26b.
  • the mixer 26 b multiplies the local signal L o 2 and the second signal, and gives them to the AZD comparator 28 b.
  • the output of the AZD converter 28b is 11x2 (2).
  • the second signal emitted from the second output terminal 29 passes through the cable 30 and is given to the first output terminal 19.
  • the second signal passing through the first output terminal 19 is given to the bridge 14b, part is given to the mixer 16b, and the other is given to the bridge 14a.
  • the mixer 16 b multiplies the local signal L o 1 and the second signal and supplies the result to the AZ D converter 18 b.
  • AZD converter 1 8 b output is R l (2).
  • the second signal that passes through bridge 14a passes through switch 13 and is reflected by the terminating resistor.
  • the second signal reflected by the terminating resistor passes through bridge 14 a and is fed to mixer 16 a.
  • the mixer 16 a multiplies the local signal L ⁇ 1 and the second signal and supplies the result to the AZD converter 18 a.
  • the output of AZD comparator 1 8 a becomes Txl (2).
  • Txl (2), 11x1 (2), Tx2 (2), and Rx2 (2) are provided to the cable measurement unit 42 and the output / reflection ratio measurement unit 44 of the error factor measurement device 40.
  • the cable measuring unit 42 measures the characteristics Sll and S21 of the cable 30 based on Txl (l), Exl (l), Rx2 (l), and outputs the measurement results Slim and S21m.
  • Slim Rxl (l) -no Txl (l), S21m 2 Rx2 (l) ZTxl (l).
  • the cable measurement unit 42 measures the characteristics S22 and S12 of the cable 30 based on Tx2 (2), Rxl (2), and 1x2 (2), and outputs the measurement results S22m and Sl2m.
  • the output / reflection ratio measuring unit 44 outputs R21m 2 Tx2 (l) ZTxl (l) based on Txl (l) and Tx2 (l).
  • the error factor ratio deriving unit 46 receives the Sllm, S21m, S22m, Sl2i from the cable measuring unit 42 and the R2lm, Rl2m from the output / reflection ratio measuring unit 44, I (Ei2Eol) / (EilEo2)
  • I I (S12m-SlmlmR12m) / (S21m-S22mR21m) 1.
  • the absolute value deriving unit 4 8 a receives Ei2Eo2, Eil, Eol from the error factor recording unit 45, and receives
  • Ei2 1
  • Each component deriving unit 4 8 b receives
  • the error factors Ei2 and Eo2 caused by the frequency tracking of the second signal generation unit 2 can be obtained.
  • the measurement results of the characteristics of cable 30 are Ei2 and Eo2 obtained using Slim, S21m, S22m, and S12m, Ei2 and Eo2 are obtained using true characteristics Sll, S21, S22, and S12 of cable 30. is not. Therefore, even if the true characteristics Sll, S21, S22, and S12 of the cable 30 are unknown, the error factors Ei2 and Eo2 can be obtained.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining an example of a measurement method when there are four second signal generators 2.
  • the second output terminal 29a of one second signal generator 2a is connected to the first signal generator 1 via the switch (connector) 32. Connect to the first output terminal 19 (referred to as ⁇ connection process).
  • the error factor of one second signal generator 2a is measured by an error factor measuring device 40 (not shown in FIG. 5) (referred to as “measurement process”).
  • the measurement method is the same as that in the first embodiment, and a description thereof is omitted. Referring to FIG.
  • connection process and the measurement process are performed for the other second signal generation unit 2b.
  • the connection process and the measurement process are performed for the other second signal generator 2c.
  • the connection process and the measurement process are performed for the other second signal generator 2d. In this way, the connection process and the measurement process are repeated until the error factors Ei2 and Eo2 of all the second signal generation units 2a, 2b, 2c, and 2d are measured. In this case, even if the true characteristics Sll, S21, S22, S12 of the switch (connector) 3 2 are unknown, the error factors Ei2 and Eo2 can be obtained as in the first embodiment. is there.
  • Third embodiment Third embodiment
  • FIG. 6 is a diagram for explaining another example of the measurement method when there are four second signal generation units 2.
  • the second output terminal 29a of one second signal generator 2a is connected to the first output of the first signal generator 1 via the cable 3 Connect to terminal 19 (referred to as “first connection process”). Then, an error factor of one second signal generation unit 2a is measured by an error factor measurement device 40 (not shown in FIG. 6) (referred to as a ⁇ first measurement step). Referring to FIG. 6 (b), the second signal generation unit 2a that has measured the error factor is used as the first signal generation unit, and the other second signal generation unit 2b is connected to the other signal generation unit 2b via the cable 30. (Referred to as “second connection process”).
  • the error factor of the other second signal generation unit 2 b is measured by the error factor measurement device 40 (referred to as “second measurement process”).
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are known for the second signal generator 2a
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are known for the second signal generator 2b. If the second signal generator 2b is replaced with the second signal generator 2 in the first signal generator 1, the error factors Ei2 and Eo2 of the second signal generator 2b are obtained as in the first embodiment. You will understand that you can. Referring to FIG. 6 (c), the second signal generation unit 2b that has measured the error factor is used as the first signal generation unit, and the other signal generation unit 2c is connected to the second channel generation unit 2c. Connect through (referred to as "second connection process").
  • the error factor of the other second signal generation unit 2 c is measured by the error factor measurement device 40 (referred to as “second measurement process”).
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are known for the second signal generator 2b, and Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are known for the second signal generator 2c. If the second signal generator 2c is replaced with the second signal generator 2 in the first signal generator 1, the first implementation
  • the second signal generation unit 2 in the first embodiment further includes a second input signal measurement unit 21 that measures an input signal input from the second output terminal 29.
  • FIG. 7 is a diagram showing a configuration of the second signal generation unit 2 according to the fourth embodiment.
  • the second signal generator 2 includes the second input signal measuring unit 21, the second oscillator 2 2, the switch 2 3, the bridges 2 4 a and 2 4 b, the mixers 2 6 a and 2 6 b, and the local signal Source 27, A / D converters 2 8a, 2 8b. Except for the second input signal measuring section 21 and switch 23, they are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted.
  • the second input signal measuring unit 21 includes a local signal source 21a, a mixer 21b, and an A / D converter 21c.
  • the second input signal measuring unit 21 measures the input signal input from the second output terminal 29.
  • the local signal source 2 1 a outputs an input signal measuring local signal.
  • the mixer 2 1 b multiplies the input signal input from the second output terminal 29 by the input signal measurement local signal.
  • the A / D converter 2 1 c converts the multiplication result (analog signal) of the mixer 2 lb into a digital signal.
  • Output SA of A / D converter 2 1 c is the measurement result of the input signal.
  • the switch 23 is a switch for connecting the bridge 24 a to the second oscillator 22 2 or the second input signal measuring unit 21 (the mixer 21 b).
  • FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the output measuring apparatus according to the fifth embodiment.
  • the output measurement device includes an error factor measurement device 40, a second signal generation unit 2, and a measurement result correction unit 100.
  • the error factor measurement device 40 and the second signal generation unit 2 are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. However, the measurement of the error factors Ei2 and Eo2 of the second signal generation unit 2 by the error factor measurement device 40 has been completed. Further, the second signal generator 2 is disconnected from the cable 30, and the error factor measurement device 40 is disconnected from the second signal generator 2 and the first signal generator 1.
  • the measurement result correction unit 100 receives, from the AZD converter 28 a, the result Tx2 measured before the second signal output from the second signal generation unit 2 is reflected by the second output terminal 29.
  • the measurement result correction unit 100 further receives Ei2 and Eo2 measured by the error factor measurement device 40, and also receives Es2 and Ed2 from the error factor recording unit 45.
  • the measurement result correction unit 100 corrects the measurement result Tx2 of the second signal based on Es2, Ed2, Ei2, and Eo2, and obtains the power ⁇ of the second signal.
  • FIG. 9 is a diagram showing the configuration of the input measuring apparatus according to the sixth embodiment.
  • the input measurement device includes an error factor measurement device 40, a second signal generation unit 2, and a measurement result correction unit 100.
  • the error factor measurement device 40 and the second signal generator 2 are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. However, the measurement of the error factors Ei2 and ⁇ 2 of the second signal generator 2 by the error factor measuring device 40 has been completed. Further, the second signal generator 2 is disconnected from the cable 30, and the error factor measurement device 40 is disconnected from the second signal generator 2 and the first signal generator 1.
  • the measurement result correction unit 100 receives the measurement result SA of the input signal measurement unit 21 from the A / D converter 21c.
  • Corrected paper (fine 391)
  • the Ei2 and Eo2 measured by the error factor measuring device 40 are received, and Es2 and Ed2 are also received from the error factor recording unit 45.
  • the measurement result correcting unit 100 corrects the measurement result SA of the input signal based on Es2, Ed2, Ei2, and Eo2, and obtains the power P of the input signal. Seventh embodiment
  • the seventh embodiment shows a measurement example of an error factor when the first signal generation unit 1 and the second signal generation unit 2 are connected by switches SW1 and SW2 having a plurality of terminals.
  • FIG. 10 is a diagram showing the configuration of the signal system according to the seventh embodiment.
  • the signal system according to the seventh embodiment includes a first signal generation unit 1, a second signal generation unit 2, switches (connectors) SW 1 and SW 2, and cables (connectors) 30.
  • the first signal generation unit 1 and the second signal generation unit 2 are the same as those in the first embodiment, and a description thereof is omitted.
  • the switches SW1, SW2, and cable 30 constitute the connection tool.
  • the switch SW1 connects the first output terminal 19 to any one of the terminals Pll, P12, P13, and P14.
  • Switch SW2 connects the second output terminal 29 to any of terminals P21, P22, P23, and P24.
  • Cable 30 connects switch SW1 and switch SW2.
  • Ei; jl P12 is the error factor when the first signal generator 1 and the switch SW1 (where the first output terminal 19 is connected to the terminal P12) and the first signal generator 1 and Eijl P13 is the error factor when the switch SW1 (however, the first output terminal 1 9 is connected to the terminal P13), and the first signal generator 1 and switch SW1 (however, the first output terminal 1 Eijlp 14 is the error factor when 9 is connected to terminal P14.
  • T (Eijl) -iT (Eijlpi 2 ) is assumed to be constant regardless of time.
  • T (Eijl) -iT (Eijl P13 ) is assumed to be constant regardless of time.
  • T (Eijl) -iT (Eijl P14 ) can be regarded as constant regardless of time.
  • T (Eijl) is the T parameter of Eijl and is a matrix.
  • Eijlpi 2 , Eijl P 1 3 s Ei] 'lpi 4 can be obtained.
  • terminal P11 and terminal P21 are connected by cable 30.
  • switch SW1, and switch SW2 to the first
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 of the second signal generation unit 2 can be obtained. This is the same whether terminal P11 and terminal P22 are connected by cable 30, terminal P11 and terminal P23 are connected, or terminal P11 and terminal P24 are connected.
  • Ed2, Es2, Ei2, and Eo2 are written as Ei.
  • the error factor of switch SW2 is Qi; j P21 (for terminal P21), Qi 22 (for terminal P22), Qij P23 (terminal: for P23), Qij P24 (for terminal P24), the second signal generator 2 and the switch SW2 (however, the second output terminal 29 is connected to the terminal P21), the error factor is T (Eij2) T (Qij P2 i).
  • the second signal generation unit 2 and Suitsuchi SW2 (provided that the second output terminal 2 9 connected to the terminal P22) error factors when the viewed To integrally becomes T (Eij2) T (Qi 22 ).
  • the eighth embodiment is an example in which a test apparatus is configured using an output measurement apparatus and an input measurement apparatus.
  • FIG. 11 shows the configuration of the test apparatus 1 1 0 according to the eighth embodiment.
  • the test apparatus 110 according to the eighth embodiment includes a second signal generation unit 2, a measurement result correction unit 100a, 100b, and an error factor measurement device 40.
  • the second signal generation unit 2, the measurement result correction unit 100a, and the error factor measurement device 40 constitute the output measurement device according to the fifth embodiment (see FIG. 8).
  • the second signal generation unit 2, the measurement result correction unit 100b, and the error factor measurement device 40 constitute the input measurement device according to the sixth embodiment (see FIG. 9).
  • the test device module has an error factor measuring device 40.
  • the switch 2 3 When the switch 2 3 connects the second oscillator 2 2 to the bridge 2 4 a, the second signal is given to the device under test (DUT). The power of the second signal is P1.
  • the measurement result correction unit 1 00 0a measures the second signal based on Ei2 and Eo2 measured by the error factor measurement device 40 and Es2 and Ed2 recorded in the error factor measurement device 40. Result Tx2 is corrected and the second signal power P1 is obtained.
  • the switch 2 3 connects the second input signal measuring section 21 to the bridge 2 4 a, the signal from the object to be measured is given as an input signal to the second output terminal 29 (power: P2) .
  • the measurement result correction unit 1 0 0 b is connected to the input signal measurement unit 2 1 Correct the measurement result SA and calculate the power P2 of the input signal.
  • the test equipment 1 1 0 tests the device under test based on the power P2 of the second signal and the power P2 of the input signal, but since the test itself in the test equipment (tester) is well known, a detailed description of the test itself Is omitted. Moreover, said embodiment is realizable as follows.

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Abstract

　接続具を信号源に接続した場合に、信号源の誤差要因を測定するため、接続具の特性を測定する接続具特性測定部４２と、第一（第二）信号が第一（第二）出力端子により反射される前の測定結果と、第二（第一）信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力・反射比測定部４４と、第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分Ei1, Eo1 と、第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分の積Ei2・Eo2 とを記録する誤差要因記録部４５と、接続具の特性の測定結果、出力・反射比測定部の測定結果および誤差要因記録部の記録内容に基づき、第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出部４６、４８とを備える誤差要因測定装置４０。

Description

誤差要因測定装置、 方法、 プログラム、 記録媒体
および該装置を備えた出力測定装置、 入力測定装 *
技術分野
明 本発明は、 信号を生成する信号源のキヤリブレーションに関する。
書
背景技術
従来より、 被測定物 （DUT ： Device Under Test) の回路パラメ一 タ （例えば、 Sパラメータ） を測定することが行われている （例えば、 特許文献 1 (特開平 1 1一 3 8 0 54号公報） を参照）。
具体的には、 信号源から信号を DUTを介して受信部に送信する。 この信号は受信部により受信される。 受信部により受信された信号を 測定することにより DUTの Sパラメータや周波数特性を取得するこ とができる。
このとき、 信号源等の測定系と DUTとの不整合などにより測定に 測定系誤差が生ずる。 この測定系誤差は、 例えば E d ： ブリッジの方 向性に起因する誤差、 E r ：周波数トラッキングに起因する誤差、 E s ： ソースマッチングに起因する誤差、 である。 この場合は、 例えば特許文献 1に記载のようにして誤差を補正する ことができる。 このような補正をキャリブレーションという。 キヤリ ブレーシヨンについて概説する。 信号源に校正キットを接続し、 ォー プン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類の状 態を実現する。 このときの校正キットから反射された信号をプリッジ により取得して三種類の状態に対応した三種類の Sパラメータを求め る。三種類の Sパラメータから三種類の変数 E d、 E r、 E sを求め、 補正を行う。 なお、 E rは、 信号の入力に関する誤差 E r 1 と、 信号の反射に関 する誤差 E r 2との積として表される。 ここで、 信号源にパワーメー タを接続し、 パワーを測定することにより、 E r 1および E r 2を測 定することができる （例えば、 特許文献 2 (国際公開第 2 0 0 4 / 0 4 9 5 6 4号パンフレツ ト） を参照）。信号源にパワーメータを接続す る場合、 信号源とパワーメータとをケーブルを用いて接続することが 広く行われている。
発明の開示 しかしながら、 信号源とパワーメータとを接続するケーブルが理想 的な特性をもたない場合、 E r 1および E r 2を誤って測定してしま うことになる。 ただし、 ケーブルの誤差要因を測定し、 測定した E r 1および E r 2の誤差を捕正するならば、 £ 3： 1ぉょぴ£ 1 2を正し く測定できる。 しカゝし、 ケーブルの誤差要因を測定することは多大な 労力を要する そこで、 本発明は、 接続具 （例えば、 ケーブル、 スィッチ） の誤差 要因が既知であるか否かを問わず、接続具を信号源に接続した場合 、 信号源の誤差要因を測定できるようにすることを課題とする。 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 （ 1 )第一信号を生成する第一 信号源と、 前記第一信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号 生成部と、 （2 )第二信号を生成する第二信号源と、前記第二信号を出 力する第二出力端子とを有する第二信号生成部と、.（ 3 )前記第一出力 端子と前記第二出力端子とを接続する接続具と、 を有する信号システ ムにおける前記第一信号および前記第二信号の測定結果に基づき、 前 記第二信号生成部における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であ つて、 前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づ き、 前記接続具の特性を測定する接続具特性測定部と、 前記第一信号 が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号 生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記 第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、 前記 第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測 定する出力 ·反射比測定部と、 前記第一信号生成部の周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の各成分と、 前記第二信号生成部の周波数ト ラッキングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記 録部と、 前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定部の測 定結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、 前記第二信号 生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する 誤差要因導出部とを備えるように構成される。 本発明によれば、 （1 )第一信号を生成する第一信号源と、前記第一 信号を出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （2 )第二 信号を生成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子 とを有する第二信号生成部と、 （3 )前記第一出力端子と前記第二出力 端子とを接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一 信号および前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部に おける誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。 本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、 接続具特性測定部が、 前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前 記接続具の特性を測定する。 出力 ·反射比測定部が、 前記第一信号が 前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生 成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記第 二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第 一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比を測定 する。 誤差要因記録部が、 前記第一信号生成部の周波数トラッキング に起因する誤差要因の各成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッ キングに起因する誤差要因の各成分の積とを記録する。 誤差要因導出 部が、 前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定部の測定 結果および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、 前記第二信号生 成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する。 なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因記録部が、 Eil， Eolと、 Ei2 X Eo2とを記録し、
(A ) Eil, Eolは、 前記第一信号生成部の誤差要因であり、 Eil：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方 向の誤差要因、
Eol：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方 向の誤差要因であり、
( B ) Ei2, Eo2は、 前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方 向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方 向の誤差要因であるようにしてもよい。 なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記誤差要因導出部が、 前記接続具の特性の測定結果および前記出力，反射比の測定結果に基 づき、 EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値を導出する誤差要因比導出部 と、 導出された EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値と、 Eil, Eol, Ei2 X Eo2とに基づき Ei2および Eo2を導出する周波数トヲッキング誤差 要因導出部とを有するようにしてもよい。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記誤差要因比導出部 が、
| (EilEo2) / (Ei2Eol) | = \ (S21m一 S22mE21m) / (S l2m一
SllmR12m) |
に基づき、 EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値を導出し、
S lim = Rxl(l)/Txl(l)、 S21m = Rx2(l)//Txl(l), S22m = Rx2(2) /Tx2(2), S 12m = Rxl(2)/Tx2(2)， R21m = Tx2(l)/Txl(l), R12m = Txl(2)ZTx2(2)であり、
( A ) Txl(l), Rxl(l)， Tx2(l), Rx2(l)は、 前記第一信号生成部から 前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の 測定結果であり、
Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測 疋した結果、
Rxl(l)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Tx2(l)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果、
Rx2(l)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定 した結果であり、
( B ) Txl(2), Rxl(2), Tx2(2), Rx2(2)は、 前記第二信号生成部から 前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の 測定結果であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Rx2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Txl(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果、
Rxl(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定 した結果であるようにしてもよレ、。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記接続具の特性の測 定結果は、 Rxl(l)ZTxl(l)、 Rx2(l)/Txl(l)、 Rx2(2)ZTx2(2)、 Rxl(2) ズ Tx2(2)であり、
( A ) Txl(l), Rxl(l), RX2(1)は、 前記第一信号生成部から前記第二 信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果 であり、
Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測 定した結果、
Rxl(l)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Rx2(l)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定 した結果であり、
( B ) 11x1(2)， Tx2(2)， Rx2(2)は、 前記第二信号生成部から前記第一 信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果 であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Rx2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを 測定した結果、
11x1(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定 した結果であるようにしてもよい。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記出力 ·反射比測定 部は、 Txl(l)と Tx2(l)との比 E21 を測定し、 かつ、 Τχ2(2)と Txl(2) との比 R12を測定し、
( A ) Txl(l), Tx2(l)は、 前記第一信号生成部から前記第二信号生 成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、 Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測 定した結果、
Tx2(l)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果であり、
( B ) Txl(2)， Τχ2(2)は、 前記第二信号生成部から前記第一信号生 成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、 Τχ2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Txl(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果であるようにしてもよレ、。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記接続具が、 ケープ ルおよびスィツチの一方または双方を含むようにしてもよい。 なお、 本発明にかかる出力測定装置は、 本発明にかかる誤差要因測 定装置と、 前記第二信号生成部と、 前記第二信号生成部が出力する第 二信号を前記第二出力端子により反射される前に測定した結果と、 前 記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、 前記第二信号の測定結果 を補正する測定結果補正部とを備えるように構成される。 なお、 本発明にかかる入力測定装置は、 本発明にかかる誤差要因測 定装置と、 前記第二信号生成部と、 を備えた入力測定装置であって、 前記第二信号生成部は、 前記第二出力端子から入力されてきた入力信 号を測定する入力信号測定部を有し、 前記入力測定装置は、 さらに、 前記入力信号測定部の測定結果と、 前記誤差要因測定装置の測定結果 とに基づき、 前記入力信号測定部の測定結果を補正する測定結果補正 部を備えるように構成される。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定方法は、 本発明にかかる誤差要 因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、 前記第二信号生成部 は複数あり、 ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、 前記接続具を介して、 前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続 する接続工程と、 ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤 差要因測定装置により測定する測定工程と、 を備え、 全ての前記第二 信号生成部の誤差要因を測定するまで、 前記接続工程および前記測定 工程を線り返す誤差要因測定方法である。 ' なお、 本発明にかかる誤差要因測定方法は、 本発明にかかる誤差要 因測定装置を用いた誤差要因測定方法であって、 前記第二信号生成部 は複数あり、 ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、 前記接続具を介して、 前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続 する第一接続工程と、 ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前 記誤差要因測定装置により測定する第一測定工程と、 誤差要因を測定 した前記第二信号生成部を前記第一信号生成部として、 他の一つの前 記第二信号生成部に、前記接続具を介して、接続する第二接続工程と、 他の一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置に より測定する第二測定工程と、 全ての前記第二信号生成部の誤差要因 を測定するまで、 前記第二接続工程および前記第二測定工程を繰り返 す誤差要因測定方法である。 本発明は、 （1 )第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を 出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （ 2 )第二信号を 生成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有 する第二信号生成部と、 （3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子と を接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号お よび前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における 誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、 前記第一信号の測定 結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測 定する接続具特性測定工程と、 前記第一信号が前記第一出力端子によ り反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反 射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力 端子により反射される前の測定結果と、 前記第一信号生成部の内部に おいて反射されたものの測定結果との比を測定する出力 ·反射比測定 工程と、 前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要 因の各成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する 誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、， 前記接続具 の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定工程の測定結果おょぴ前記 誤差要因記録工程の記録内容に基づき、 前記第二信号生成部の周波数 トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出ェ 程とを備えた誤差要因測定方法である。 本発明は、 （ 1 )第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を 出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （ 2 )第二信号を 生成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有 する第二信号生成部と、 （3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子と を接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号お ょぴ前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における 誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるた めのプログラムであって、 前記誤差要因測定処理は、 前記第一信号の 測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性 を測定する接続具特性測定工程と、 前記第一信号が前記第一出力端子 により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部におい て反射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二 出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第一信号生成部の内 部において反射されたものの測定結果との比を測定する出力 ·反射比 測定工程と、 前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤 差要因の各成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因 する誤差要因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、 前記接 続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定工程の測定結果および 前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、 前記第二信号生成部の周 波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導 出工程とを備えるプログラムである。 本発明は、 （ 1 )第一信号を生成する第一信号源と、前記第一信号を 出力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （2 )第二信号を 生成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有 する第二信号生成部と、 （ 3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子と を接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号お ょぴ前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における 誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるた めのプログラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録 媒体であって、前記誤差要因測定処理は、前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測定する接 続具特性測定工程と、 前記第一信号が前記第一出力端子により反射さ れる前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反射された ものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力端子によ り反射される前の測定結果と、 前記第一信号生成部の内部において反 射されたものの測定結果との比を測定する出力 ·反射比測定工程と、 前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成 分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因 の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、 前記接続具の特性の 測定結果、 前記出力 ·反射比測定工程の測定結果および前記誤差要因 記録工程の記録内容に基づき、 前記第二信号生成部の周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要因導出工程とを備 える記録媒体である。 本発明にかかる試験装置用モジュールは、 本発明にかかる誤差要因 測定装置を備える。 本発明にかかる試験装置は、 本発明にかかる出力測定装置を備え、 前記第二信号が被測定物に与えられる。 本発明にかかる試験装置は、 本発明にかかる入力測定装置を備え、 前記入力信号が被測定物から与えられる。
図面の簡単な説明 第 1図は、 第一の実施形態の信号システムの構成を示す図である。 第 2図は、 第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフ であり、 第 2図 （a ) は、 第一信号が第一信号生成部 1から第二信号 生成部 2へ出力される場合のシグナルフローグラフであり、 第 2図 ( b ) は、 第二信号が第二信号生成部 2から第一信号生成部 1へ出力 される場合のシグナルフ口一グラフである。
第 3図は、 本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置 4 0 の構成を示す機能プロック図である。
第 4図は、 Edl， Esl, Eil, Eolの求め方を説明するためのシグナル フローグラフであり、 第 4図 （a ) は、 校正用具を接続した場合の第 一信号生成部 1のシグナルフローグラフであり、 第 4図 （b ) は、 パ ヮーメータを接続した場合の第一信号生成部 1のシグナルフローダラ フである。
第 5図は、 第二信号生成部 2が四個ある場合の測定法の一例を説明 するための図である。
第 6図は、 第二信号生成部 2が四個ある場合の測定法の他の一例を 説明するための図である。
第 7図は、 第四の実施形態にかかる第二信号生成部 2の構成を示す 図である。
第 8図は、 第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図で ある。
第 9図は、 第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図で ある。
第 1 0図は、 第七の実施形態にかかる信号ジステムの構成を示す図 である。
第 1 1図は、 第八の実施形態にかかる試験装置 1 1 0の構成を示す 図である。
訂正された用紙 (規則 1) 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。 第一の実施形態
第 1図は、 第一の実施形態の信号システムの構成を示す図である。 信号システムは第一信号生成部 1、 第二信号生成部 2、 ケーブル （接 続具） 3 0を有する。 なお、 第一信号生成部 1および第二信号生成部 2は誤差要因測定装置 4 0に接続されている。 第一信号生成部 1は、 第一信号を生成する第一信号源 1 0と、 第一 信号を出力する第一出力端子 1 9とを有する。 第一信号源 1 0は、 第 一発振器 1 2、 スィッチ 1 3、 ブリ ッジ 1 4 a、 1 4 b、 ミキサ 1 6 a、 1 6 b、 口一カル信号源 1 7、 A/Dコンパ一タ I 8 a、 1 8 b を有する。 第一発振器 1 2は、 第一信号 （例えば、 高周波数の信号） を生成す る。 スィ ッチ 1 3は、 ブリッジ 1 4 aを第一発振器 1 2または終端抵抗 に接続するためのスィツチである。 ブリ ッジ 1 4 aは、 スィ ッチ 1 3により第一発振器 1 2と接続され ると、 第一発振器 1 2の出力 （第一信号） を受け、 二方向に分岐させ る。 ミキサ 1 6 aは、 ブリッジ 1 4 aの出力のうちの一方を受け、 所 定のローカル周波数を有するローカル信号 L o 1 と乗算する。 ミキサ 1 6 aの出力はアナログ信号である。 ブリ ッジ 1 4 bは、 ブリッジ 1 4 aの出力 （第一信号） のうちの他 方を受け、 そのまま出力する。 ただし、 第一信号が第一出力端子 1 9 から反射されてきたものを受け、 ミキサ 1 6 bに与える。 ミキサ 1 6 bは、 反射されてきた第一信号とローカル信号 L o 1とを乗算する。 ミキサ 1 6 bの出力はアナログ信号である。 ローカル信号源 1 7は、 ローカル信号 L o 1を出力し、 ミキサ 1 6 a N 1 6 bに与える。
A/Dコンバータ 1 8 aは、 ミキサ 1 6 aの出力するアナ口グ信号 をデジタル信号に変換して出力する。 A//Dコンパータ 1 8 aの出力 を T X 1 という。
A/Dコンバ一タ 1 8 bは、 ミキサ 1 6 bの出力するアナ口グ信号 をデジタル信号に変換して出力する。 AZDコンバータ 1 8 bの出力 を R X 1 とレヽう。 第二信号生成部 2は、 第二信号を生成する第二信号源 2 0と、 第二 信罟を出力する第二出力端子 2 9とを有する。 第二信号源 2 0は、 第 二発振器 2 2、 スィッチ 2 3、 ブリ ッジ 24 a、 24 b、 ミキサ 2 6 a、 2 6 b、 ローカル信号源 2 7、 AZDコンバータ 2 8 a、 2 8 b を有する。 第二発振器 2 2は、 第二信号 （例えば、 高周波数の信号） を生成す る スィ ッチ 2 3は、 ブリ ッジ 2 4 aを第二発振器 2 2または終端抵抗 に接続するためのスィッチである。 なお、 スィッチ 1 3が第一発振器 1 2をブリッジ 1 4 aに接続している場合は、 スィ ッチ 2 3がブリ ッ ジ 2 4 aを終端抵抗に接続する。 この場合、 第一信号が第一信号生成 部 1から第二信号生成部 2へ出力される。 スィ ッチ 1 3がブリッジ 1 4 aを終端抵抗に接続している場合は、 スィッチ 2 3がブリ ッジ 2 4 aを第二発振器 2 2に接続する。 この場合、 第二信号が第二信号生成 部 2から第一信号生成部 1へ出力される。 ブリッジ 2 4 aは、 スィ ッチ 2 3により第二発振器 2 2と接続され ると、 第二発振器 2 2の出力 （第二信号） を受け、 二方向に分岐させ る。 ミキサ 2 6 aは、 ブリッジ 2 4 aの出力のうちの一方を受け、 所 定の口一カル周波数を有するローカル信号 L o 2と乗算する。 ミキサ 2 6 aの出力はアナログ信号である。 ブリッジ 2 4 bは、 ブリッジ 2 4 aの出力 （第二信号） のうちの他 方を受け、 そのまま出力する。 ただし、 第二信号が第二出力端子 2 9 から反射されてきたものを受け、 ミキサ 2 6 bに与える。 ミキサ 2 6 は、 反射されてきた第二信号と口一カル信号 L o 2とを乗算する。 ミキサ 2 6 bの出力はアナ グ信号である。 ローカル信号源 2 7は、 ローカル信号 L o 2を出力し、 ミキサ 2 6 a、 2 6 bに与える。 A/Dコンバータ 28 aは、 ミキサ 26 aの出力するアナログ信号 をデジタル信号に変換して出力する。 AZDコンバータ 28 aの出力 を T X 2という。 A/Dコンバータ 28 bは、 ミキサ 26 bの出力するアナログ信号 をデジタル信号に変換して出力する。 A/Dコンバータ 28 bの出力 を R X 2とレ、う。 ケーブル （接続具） 30は、 第一出力端子 1 9と第二出力端子 2 9 とを接続する。 ケーブル 3 0の特性は既知である必要は無い。 また、 接続具は、必ずしもケーブルである必要は無い（第二の実施形態参照）。 第 2図は、 第一の実施形態の信号システムのシグナルフローグラフ である。 ただし、 第 2図 （a) は、 第一信号が第一信号生成部 1から 第二信号生成部 2へ出力される場合のシグナルフローグラフである。 第 2図 （b) は、 第二信号が第二信号生成部 2から第一信号生成部 1 へ出力される場合のシグナルフローグラフである。 第 2図において、ケーブル 30の特性が Sパラメータ Sll， S21, S22 S12である。 第 2図 （a) を参照して、 Txl(l), Rxl(l), Tx2(l), Rx2(l)は、 第一 信号生成部 1から第二信号生成部 2へ第一信号を出力した場合の第一 信号の測定結果である。 Txl(l), Rxl(l), Tx2(l)， Rx2(l)はそれぞれ、 A/Dコンバータ 1 8 a、 1 8 b、 2 8 a、 2 8 bの出力である。 Txl(l)は、 第一出力端子 1 9により反射される前に第一信号を測定 した結果であるといえる。 Rxl(l)は、 第一信号が第一出力端子 1 9に より反射されたものを測定した結果であるといえる。 Tx2(l)は、 第一 信号が第二信号生成部 2の内部において反射されたものを測定した結 果であるといえる。 Rx2(l)は、 第一信号が第二出力端子 2 9に入射さ れたものを測定した結果であるといえる。 第 2図 （b ) を参照して、 Txl(2), Rxl(2)， Tx2(2), Rx2(2)は、 第二 信号生成部 2から第一信号生成部 1へ第二信号を出力した場合の第二 信号の測定結果である。 Txl(2), Rxl(2), Tx2(2), Rx2(2)はそれぞれ、 A/ Dコンバータ 1 8 a、 1 8 b、 2 8 a , 2 8 bの出力である。
Tx2(2)は、 第二出力端子 2 9により反射される前に第二信号を測定 した結果であるといえる。 Rx2(2)は、 第二信号が第二出力端子 2 9に より反射されたものを測定した結果であるといえる。 Txl(2)は、 第二 信号が第一信号生成部 1の内部において反射されたものを測定した結 果であるといえる。 Rxl(2)は、 第二信号が第一出力端子 1 9に入射さ れたものを測定した結果であるといえる。 第 2図において、 Edl， Esl， Eil, Eolは、 第一信号生成部 1の誤差 要因である。 Edlは、 第一信号生成部 1の方向性に起因する誤差要因 である。 Eslは、 第一信号生成部 1のソースマッチングに起因する誤 差要因である。 Eil は、 第一信号生成部 1の周波数トラッキングに起 因する出力方向 （第一信号が出力される方向） の誤差要因である。 Eol は、 第一信号生成部 1の周波数トラッキングに起因する反射方向 （第 —信号が第一出力端子 1 9により反射される方向）の誤差要因である。 第 2図において、 Ed2, Es2， Ei2, Eo2は、 第二信号生成部 2の誤差 要因である。 Ed2は、 第二信号生成部 2の方向性に起因する誤差要因 である。 Es2は、 第二信号生成部 2のソースマッチングに起因する誤 差要因である。 Ei2 は、 第二信号生成部 2の周波数トラッキングに起 因する出力方向 （第二信号が出力される方向） の誤差要因である。 Eo2 は、 第二信号生成部 2の周波数トラッキングに起因する反射方向 （第 二信号が第二出力端子 2 9により反射される方向）の誤差要因である。 第 3図は、 本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置 4 0 の構成を示す機能プロック図である。 誤差要因測定装置 4 0は、 ケー プル測定部 （接続具特性測定部） 4 2、 出力 ·反射比測定部 4 4、 誤 差要因記録部 4 5、 誤差要因比導出部 4 6、 周波数トラッキング誤差 要因導出部 4 8を備える。 なお、 誤差要因比導出部 4 6および周波数 トラッキング誤差要因導出部 4 8が誤差要因導出部を構成する。 ケーブル測定部 4 2は、第一信号の測定結果 Txl(l)， Rxl(l), Rx2(l) と、第二信号の測定結果 Tx2(2), Rxl(2), Rx2(2)とに基づき、ケーブル 3 0の特性 Sll, S21, S22, S12を測定する。 Sll, S21, S22, S12の測 定結果をそれぞれ、 Slim, S21m, S22m, Sl2m と記載する。 なお、 Slim, S21m, S22m, S12mを Sijm (ただし、 i，jは 1または 2 ) と記 載することがある。 なお、 Slim = Rxl(l)/Txl(l)、 S21m = Rx2(l)/Txl(l), S22m = Rx2(2)/Tx2(2), Sl2m = Rxl(2)/Tx2(2)である。 出力 ·反射比測定部 4 4は、 Txl(l)と Tx2(l)との出力 ·反射比 R21 を測定し、 かつ、 Tx2(2)と Txl(2)との出力 ·反射比 R12を測定する。 出力 ·反射比 R21, 12の測定結果をそれぞれ、 R21m， R12mと記載 する。 なお、 R21m, R12mを Rijm (ただし、 i,jは 1または 2 ) と記 載することがある。 なお、 R21m = Tx2(l)ノ Txl(l)、 R12m = Txl(2)/Tx2(2)である。 誤差要因記録部 4 5は、 Edl, Esl, Eil, Eolと、Ed2， Es2， Ei2 XEo2 とを記録する。 なお、 Edl, Esl, Eil， Eolの求め方は周知である力 S (例えば、 特許 文献 1、 2を参照）、ここで求め方を説明する。第 4図は、 Edl， Esl, Eil, Eolの求め方を説明するためのシグナルフローグラフである。 第一出力端子 1 9をケーブル 3 0に接続する前に、 三種類の校正用 具を接続する。 第 4図 （a ) は、 校正用具を接続した場合の第一信号 生成部 1のシグナルフローグラフである。第 4図（a )を参照すると、 下記の式が成立することがわかる。 .
Rxl/Txl = Edl+(Eil · Eol · X)/(l -Esl · X) ( 1 )
ただし、 Xは、 三種類の校正用具の負荷係数である。 校正用具は、 開放、 短絡および標準負荷 Z0 の三種類の状態を実現する周知のもの である （例えば、 特許文献 1を参照）。 ここで、 校正用具が三種類接続されるため、 Rxl と Txl との組み合 わせは三種類求められる。 よって、 求められる変数も Edl, Esl, Eil · Eol という三種類の変数である。 なお、 同様に、 第二出力端子 2 9を ケーブル 3 0に接続する前に、 三種類の校正用具を接続すれば、 Ed2, Es2， Ei2 · Eo2が求められる。 次に、 第一出力端子 1 9をパワーメータに接続する （例えば、 特許 文献 2を参照）。 第 4図 （b ) は、 パヮ一メータを接続した場合の第一 信号生成部 1のシグナルフローグラフである。 第 4図 （b ) を参照す ると、 下記の式が成立することがわかる。
P/Txl = Eil/ (1 -Esl - Ep) ( 2 )
ただし、 Pは、 出力端子 （測定用出力端子） 1 9 aから出力された 信号をパワーメータ 6 4により測定した結果である。 ここで、 Eslは 既に取得しており、Epは測定可能なので、 Eilを求めることができる。 Eil X Eolは既に取得しているので、 Eolもまた求めることができる。 誤差要因比導出部 4 6は、 ケーブル 3 0の特性の測定結果 Slim, S21m， S22m, S12mおよび出力 ·反射比の測定結果 R21m, R12mに 基づき、 EilEo2と Ei2Eolとの比の絶対値を導出する。 なお、 誤差要 因比導出部 4 6は、 Slim, S21m, S22m, S12mをケーブル測定部 4 2 から、 H21m, R12mを出力 ·反射比測定部 4 4から取得する。
EilEo2 と Ei2Eol との比は、 （EilEo2)Z(Ei2Eol)または（Ei2Eol) /(EilEo2)である。 ここで、 ローカル信号 L o 1 とローカル信号 L o 2とにおいて位相の同期がとれている場合は、 ケーブル 3 0が S21 二 S12という性質を有しているため、 (EilEo2)/(Ei2Eol)
= (S21m-S22mR21m)/(Sl2m-SllmR12m) ( 3 )
となることが知られている。 しかし、 ローカル信号源 1 7、 27は独立したものであるため、 口 一カル信号 L o 1 とローカル信号 L o 2とにおいて位相の同期がとれ ていることは、 一般的には、 考えられない。 この場合、
(EilEo2)/(Ei2Eol)
= (S21m · eia-S22mR21m · eia)/(S12m · — SllmR12m ' e ) … （4)
となる。 ただし、 ひは第一信号が第一信号生成部 1から第二信号生成 部 2へ出力されるときの、 ローカル信号 L o 1とローカル信号 L o 2 と位相差に比例する量である。 は第二信号が第二信号生成部 2から 第一信号生成部 1へ出力されるときの、 ローカル信号 L ο 1 とロー力 ル信号 L ο 2と位相差に比例する量である。 よって、 (EilEo2)/(Ei2Eol)の絶対値を |(EilEo2)//(Ei2Eol)lと表 記すると、
I (EilEo2)/(Ei2Eol) |
= I (S21m-S22mE21m)/(S12m-SllmR12m) | ( 5 )
である。 なお、 (Ei2Eol) / (EilEo2)の絶対値を I (Ei2Eol) / (EilEo2)|と表記すると、 同様に、
|(Ei2Eol)/(EilEo2)|
= I (S12m~SllmR12m)/(S21m-S22mR21m) | ( 5— 2 )
となる。 誤差要因比導出部 4 6は、 式 （5— 2) の右辺に、 Slim, S21m, S22m, Sl2m および R21m, Rl2m を代入して | (Ei2Eol)/ (EilEo2)iを導出することができる。 周波数トラッキング誤差要因導出部 4 8は、 導出された EilEo2 と Ei2Eolとの比の絶対値（例えば、 Ei2Eol)/(EilEo2)l)と、Eil， Eol, Ei2XEo2とに基づき Ei2および Eo2を導出する。導出原理としては、 |(Ei2Eol)//(EilEo2)| t Eil, Eol とから、 | Ei2ZEo2 Iがわかる。 ]Ei2/Eo2jと Ei2XEo2 とから Ei2および Eo2を導出できる。 ただ し、 それに限定されず、 例えば以下のような導出法をとる。 周波数トラッキング誤差要因導出部 4 8は、 絶対値導出部 4 8 a、 各成分導出部 4 8 bを有する。 絶対値導出部 4 8 aは、 Ei2の絶対値！Ei2|を導出する。 ただし、 |Ei2|
= |Eil[ · (((Ei2Eo2) （EilEol)( · | (S12m - SllmRl2m) / (S21m - S22mR21m)|)1'2 ( 6 )
として、 |Ei2iを導出する。なお、絶対値導出部 4 8 aは、 Ei2Eo2、 Eil、 Eolを、誤差要因記録部 4 5から取得し、 |(Sl2m— SllmRl2m) /(S21m— S22mR21m)lを、 誤差要因比導出部 4 6から取得する。
I (Ei2Eo2)/(EilEol) | · | (Sl2m- SllmRl2m)/(S21m- S22mR21m) |
= |(Ei2Eo2)/(EilEol)| · | (Ei2Eol)/(EilEo2) I
= I (Ei2Eo2Ei2Eol)/(EilEolEilEo2) | = | (Ei2/Eil)2 |
である。 よって、
I Eil I · (|(Ei2Eo2) / (EilEol) | · )(Sl2m - SllmRl2m) / (S21m - S22mR21m) j)1/2 = |Eil| I Ei2/Eil | = | Ei2 I となる, 各成分導出部 4 8 bは、 l Ei2 lおよぴ Ei2 · Eo2 から、 Ei2 および Eo2 を導出する。 ただし、 Ei2 の位相は予め定めておくことで、 Ei2 の符号を決定し、 l Ei2 |から Ei2を求める。 そして、 Ei2 · Eo2を Ei2 で割れば、 Eo2 を導出できる。 なお、 各成分導出部 4 8 bは、 | Ei2 | を絶対値導出部 4 8 aから取得し、 Ei2 · Eo2 を誤差要因記録部 4 5 から取得する。 . なお、 誤差要因比導出部 4 6および周波数トラッキング誤差要因導 出部 4 8が構成する誤差要因導出部は、 ケーブル 3 0の特性の測定結 果 Slim, S21m, S22m, S12m、 出力 ·反射比の測定結果 R21m， R12m および Eil， Eol, Ei2 X Eo2 (誤差要因記録部 4 5の記録内容） に基づ き、 Ei2および Eo2を導出することになる。 次に、 第一の実施形態の動作を説明する。
( 1 ) 第一信号生成部 1から第二信号生成部 2への第一信号の出力 まず、 スィッチ 1 3により、 第一発振器 1 2をブリッジ 1 4 aに接 続する。 さらに、 スィッチ 2 3により、 ブリ ッジ 2 4 aを終端抵抗に 接続する。 この状態で、 第一発振器 1 2が第一信号を生成する。 第一 信号はスィツチ 1 3、 ブリ ッジ 1 4 aを通り、 一部はミキサ 1 6 aに 与えられ、 他はプリ ッジ 1 4 bに与えられる。 ミキサ 1 6 aは、 ローカル信号 L o 1 と第一信号とを乗じて、 A / Dコンバータ 1 8 aに与える。 A / Dコンバータ 1 8 aの出力が Txl(l)となる ブリッジ 1 4 bを通った第一信号は、第一出力端子 1 9に到達する。 第一信号は、 一部は第一出力端子 1 9により反射され、 他は第一出力 端子 1 9から出射される。 第一出力端子 1 9により反射された第一信 号は、 ブリッジ 1 4 bを通り、 ミキサ 1 6 bに与えられる。 ミキサ 1 6 bは、 口一カル信号 L o 1 と第一信号とを乗じて、 A/Dコンパ一 タ 1 8 bに与える。 AZDコンパータ 1 8 bの出力が Rxld)となる。 第一出力端子 1 9から出射された第一信号はケーブル 30を通って、 第二出力端子 2 9に与えられる。 第二出力端子 29を通った第一信号 は、 ブリッジ 24 bに与えられ、 一部はミキサ 26 bに与えられ、 他 はブリ ッジ 24 aに与えられる。 ミキサ 26 bは、 ローカル信号 L o 2と第一信号とを乗じて、 Aノ Dコンバータ 2 8 bに与える。 AZDコンバータ 2 8 bの出力が Rx2(l)となる。 ブリッジ 24 aを通った第一信号は、 スィッチ 23を通り、 終端抵 抗により反射される。 終端抵抗により反射された第一信号は、 ブリツ ジ 24 aを通り、 ミキサ 2 6 aに与えられる。 ミキサ 26 aは、 ロー カル信号 L o 2と第一信号とを乗じて、 A/Dコンバータ 2 8 aに与 える。 A/Dコンバータ 2 8 aの出力が Tx2(l)となる。 Txl(l), Rxl(l), Rx2(l), Tx2(l)は、 誤差要因測定装置 40のケープ ル測定部 42および出力 '反射比測定部 44に与えられる。 ( 2 ) 第二信号生成部 2から第一信号生成部 1への第二信号の出力 まず、スィツチ 1 3により、ブリ ッジ 14 aを終端抵抗に接続する。 さらに、 スィッチ 23により、 ブリ ッジ 24 aを第二発振器 22に接 続する。 この状態で、 第二発振器 2 2が第二信号を生成する。 第二信 号はスィツチ 2 3、 ブリッジ 24 aを通り、 一部はミキサ 26 aに与 えられ、 他はブリッジ 24 bに与えられる。 ミキサ 26 aは、 ローカル信号 L o 2と第二信号とを乗じて、 A/ Dコンバータ 2 8 aに与える。 AZDコンバータ 2 8 aの出力が Tx2(2)となる。 ブリッジ 24 bを通った第二信号は、第二出力端子 2 9に到達する。 第二信号は、 一部は第二出力端子 2 9により反射され、 他は第二出力 端子 2 9から出射される。 第二出力端子 2 9により反射された第二信 号は、 ブリッジ 24 bを通り、 ミキサ 26 bに与えられる。 ミキサ 2 6 bは、 ローカル信号 L o 2と第二信号とを乗じて、 AZDコンパ一 タ 2 8 bに与える。 AZDコンバータ 28 bの出力が 11x2(2)となる。 第二出力端子 29から出射された第二信号はケ一ブル 30を通って、 第一出力端子 1 9に与えられる。 第一出力端子 1 9を通った第二信号 は、 ブリ ッジ 1 4 bに与えられ、 一部はミキサ 1 6 bに与えられ、 他 はブリ ッジ 1 4 aに与えられる。 ミキサ 1 6 bは、 ローカル信号 L o 1 と第二信号とを乗じて、 AZ Dコンバータ 1 8 bに与える。 AZDコンバータ 1 8 bの出力が R l(2)となる。 ブリ ッジ 1 4 aを通った第二信号は、 スィ ッチ 1 3を通り、 終端抵 抗により反射される。 終端抵抗により反射された第二信号は、 ブリ ツ ジ 1 4 aを通り、 ミキサ 1 6 aに与えられる。 ミキサ 1 6 aは、 ロー カル信号 L σ 1 と第二信号とを乗じて、 A Z Dコンバータ 1 8 aに与 える。 A Z Dコンパータ 1 8 aの出力が Txl(2)となる。
Txl(2), 11x1(2), Tx2(2), Rx2(2)は、 誤差要因測定装置 4 0のケ一ブ ル測定部 4 2および出力 ·反射比測定部 4 4に与えられる。
( 3 ) 誤差要因測定装置 4 0による Ei2および Eo2の測定
ケーブル測定部 4 2は、 Txl(l), Exl(l),： Rx2(l)に基づき、 ケ一ブル 3 0の特性 Sll， S21を測定し、 測定結果 Slim, S21mを出力する。 なお、 Slim = Rxl(l)ノ Txl(l)、 S21m二 Rx2(l)ZTxl(l)である。 ケーブル測定部 4 2は、 Tx2(2)， Rxl(2), 1 x2(2)に基づき、 ケーブル 3 0の特性 S22, S12を測定し、 測定結果 S22m， Sl2mを出力する。 なお、 S22m = Rx2(2)/Tx2(2), S12m = Rxl(2)ZTx2(2)である。 出力 ·反射比測定部 4 4は、 Txl(l)と Tx2(l)とに基づき、 R21m 二 Tx2(l)ZTxl(l)を出力する。 出力 ·反射比測定部 4 4は、 Txl(2)と Τχ2(2) とに基づき、 Rl2m = Txl(2)/Tx2(2) を出力する。 誤差要因比導出部 4 6は； ケーブル測定部 4 2から Sllm， S21m, S22m, Sl2i を、 出力 ·反射比測定部 4 4から R2lm， Rl2mを受け、 I (Ei2Eol) / (EilEo2) | を 導 出す る 。 た だ し 、 i (Ei2Eol) / (EilEo2) I = I (S12m- SllmR12m)/(S21m- S22mR21m) 1である。 絶対値導出部 4 8 aは、誤差要因記録部 4 5から Ei2Eo2、 Eil、 Eol を受け、 誤差要因比導出部 4 6から | (Sl2m— SllmR12m)/(S21m— S22mR21m) lを受け、 | Ei2 lを求める。 ただし、 1 Ei2 1 = | Eil | ·
( I (Ei2Eo2) / (EilEol) | . | (SI 2m - SllmR12m) / (S21m 一 S22mH21m) | )i/2である。
各成分導出部 4 8 bは、 絶対値導出部 4 8 aから | Ei2 |を受け、 誤 差要因記録部 4 5から Ei2Eo2を受け、 Ei2および Eo2を導出する。 第一の実施形態によれば、 第二信号生成部 2の周波数トラッキング に起因する誤差要因 Ei2および Eo2を求めることができる。 しかも、 ケーブル 3 0の特性の測定結果 Slim, S21m, S22m, S12mを用いて Ei2および Eo2を求めるものの、 ケーブル 3 0の真の特性 Sll, S21, S22, S12を用いて Ei2および Eo2を求めるわけではない。 よって、 ケーブル 3 0の真の特性 Sll, S21, S22, S12が不明であっても、 誤差 要因 Ei2および Eo2を求めることができる。 第二の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部 2が複数ある場合の測定法 の一例である。 第 5図は、 第二信号生成部 2が四個ある場合の測定法の一例を説明 するための図である。 第 5図 （a ) を参照して、 ある一つの第二信号生成部 2 aの第二出 力端子 2 9 aを、 スィツチ （接続具） 3 2を介して、 第一信号生成部 1の第一出力端子 1 9に接続する （Γ接続工程」 という）。 そして、 あ る一つの第二信号生成部 2 aの誤差要因を誤差要因測定装置 4 0 (第 5図において図示省略） により測定する （「測定工程」 という）。 測定 の方法は、 第一の実施形態と同様であり説明を省略する。 第 5図 （b ) を参照して、 また他の第二信号生成部 2 bについて、 - 接続工程および測定工程を行う。 第 5図 （c ) を参照して、 また他の 第二信号生成部 2 cについて、 接続工程および測定工程を行う。 第 5 図 （d ) を参照して、 また他の第二信号生成部 2 dについて、 接続ェ 程および測定工程を行う。 このように全ての第二信号生成部 2 a、 2 b、 2 c、 2 dの誤差要 因 Ei2および Eo2を測定するまで、接続工程および測定工程を繰り返 す。 この場合、 スィツチ （接続具） 3 2の真の特性 Sll， S21, S22, S12 が不明であっても、誤差要因 Ei2および Eo2を求めることができるこ とは、 第一の実施形態と同様である。 第三の実施形態
第一の実施形態における第二信号生成部 2が複数ある場合の測定法 の他の一例である。 . 第 6図は、 第二信号生成部 2が四個ある場合の測定法の他の一例を 説明するための図である。
訂正された用紙 (規則 91) 第 6図 （a ) を参照して、 ある一つの第二信号生成部 2 aの第二出 力端子 2 9 aを、 ケーブル 3 ひを介して、 第一信号生成部 1の第一出 力端子 1 9に接続する （「第一接続工程」 という）。 そして、 ある一つ の第二信号生成部 2 aの誤差要因を誤差要因測定装置 4 0 (第 6図に おいて図示省略） により測定する （Γ第一測定工程」 という）。 第 6図 （b ) を参照して、 誤差要因を測定した第二信号生成部 2 a を第一信号生成部として、 他の一つの第二信号生成部 2 bに、 ケープ ル 3 0を介して接続する （「第二接続工程」 という）。 そして、 他の一 つの第二信号生成部 2 bの誤差要因を誤差要因測定装置 4 0により測 定する （「第二測定工程」 という）。 第二信号生成部 2 aは Ed2, Es2, Ei2,Eo2 が既知であり、 第二信号生成部 2 bは Ed2， Es2, Ei2 · Eo2 が既知であることから、 第二信号生成部 2 aを第一信号生成部 1に、 第二信号生成部 2 bを第二信号生成部 2に置き換えれば、 第一の実施 形態と同様に第二信号生成部 2 bの誤差要因 Ei2,Eo2を求めることが できることは理解されるであろう。 第 6図 （c ) を参照して、 誤差要因を測定した第二信号生成部 2 b を第一信号生成部と して、 他の一つの第二信号生成部 2 cに、 ケープ ル 3 0を介して接続する （「第二接続工程」 という）。 そして、 他の一 つの第二信号生成部 2 cの誤差要因を誤差要因測定装置 4 0により測 定する （「第二測定工程」 という）。 第二信号生成部 2 bは Ed2， Es2, Ei2,Eo2 が既知であり、 第二信号生成部 2 cは Ed2， Es2， Ei2 · Eo2 が既知であることから、 第二信号生成部 2 bを第一信号生成部 1に、 第二信号生成部 2 cを第二信号生成部 2に置き換えれば、 第一の実施
訂 IEされた用紙 (規則 91) 形態と同様に第二信号生成部 2 cの誤差要因 Ei2，Eo2を求めることが できることは理解されるであろう。 このように、 全ての第二信号生成部 2 a、 2 b、 2 cの誤差要因 Ei2,Eo2 を測定するまで、 第二接続工程および第二測定工程を繰り返 す。 第四の実施形態
第四の実施形態は、 第一の実施形態における第二信号生成部 2が、 さらに、 第二出力端子 2 9から入力されてきた入力信号を測定する第 二入力信号測定部 2 1を有しているものである。 第 7図は、 第四の実施形態にかかる第二信号生成部 2の構成を示す 図である。 第二信号生成部 2は、 第二入力信号測定部 2 1、 第二発振 器 2 2、 スィッチ 2 3、 ブリ ッジ 2 4 a、 2 4 b、 ミキサ 2 6 a、 2 6 b、 ローカル信号源 2 7、 A / Dコンバータ 2 8 a、 2 8 bを備え る。 第二入力信号測定部 2 1、 スィッチ 2 3以外は第一の実施形態と同 様であり説明を省略する。 第二入力信号測定部 2 1は、ローカル信号源 2 1 a、ミキサ 2 1 b、 A / Dコンバータ 2 1 cを有する。 第二入力信号測定部 2 1は、 第二 出力端子 2 9から入力されてきた入力信号を測定する。 ローカル信号源 2 1 aは、入力信号測定用ローカル信号を出力する。 ミキサ 2 1 bは、 第二出力端子 2 9から入力されてきた入力信号と、 入力信号測定用ローカル信号とを乗ずる。 A/ Dコンバータ 2 1 cは、 ミキサ 2 l bの乗算結果 （アナログ信号である） を、 デジタル信号に 変換する。 A/ Dコンバータ 2 1 cの出力 SAが入力信号の測定結果 である。 スィ ッチ 2 3は、 プリ ッジ 2 4 aを第二発振器 2 2または第二入力 信号測定部 2 1 (のミキサ 2 1 b )に接続するためのスィツチである。 スィッチ 2 3を第二入力信号測定部 2 1 (のミキサ 2 l b ) に接続し た場合、 第二出力端子 2 9から入力されてきた入力信号はブリ ッジ 2 4 b、 2 4 a、スィ ッチ 2 3を通過して、 ミキサ 2 1 bに与えられる。 第五の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部 2の出力を測定する例であ る。 第 8図は、 第五の実施形態にかかる出力測定装置の構成を示す図で ある。 出力測定装置は、 誤差要因測定装置 4 0と、 第二信号生成部 2 と、 測定結果補正部 1 0 0とを備える。 誤差要因測定装置 4 0と、 第二信号生成部 2とは第一の実施形態と 同様であり説明は省略する。 ただし、 誤差要因測定装置 4 0による第 二信号生成部 2の誤差要因 Ei2および Eo2の測定は終了しているもの とする。さらに、第二信号生成部 2はケーブル 3 0との接続を解かれ、 誤差要因測定装置 4 0は、 第二信号生成部 2および第一信号生成部 1 との接続を解かれている。 測定結果補正部 1 0 0は、 第二信号生成部 2が出力する第二信号を 第二出力端子 2 9により反射される前に測定した結果 Tx2を A Z Dコ ンバータ 2 8 aから受ける。 測定結果補正部 1 0 0は、 さらに、 誤差 要因測定装置 4 0の測定した Ei2および Eo2を受け、 Es2， Ed2も誤 差要因記録部 4 5から受ける。 測定結果補正部 1 0 0は、 Es2, Ed2， Ei2, Eo2に基づき、 第二信号の測定結果 Tx2を補正して、 第二信号の 電力 Ρを求める。 第六の実施形態
第四の実施形態にかかる第二信号生成部 2への入力を測定する例で ある。 第 9図は、 第六の実施形態にかかる入力測定装置の構成を示す図で ある。 入力測定装置は、 誤差要因測定装置 4 0と、 第二信号生成部 2 と、 測定結果補正部 1 0 0とを備える。 誤差要因測定装置 4 0 と、 第二信号生成部 2とは第一の実施形態と 同様であり説明は省略する。 ただし、 誤差要因測定装置 4 0による第 二信号生成部 2の誤差要因 Ei2および Εο2の測定は終了しているもの とする。さらに、第二信号生成部 2はケーブル 3 0との接続を解かれ、 誤差要因測定装置 4 0は、 第二信号生成部 2および第一信号生成部 1 との接続を解かれている。 測定結果補正部 1 0 0は、 入力信号測定部 2 1の測定結果 SAを A / Dコンバータ 2 1 cからうける。測定結果補正部 1 0 0は、さらに、
訂正された用紙 (細 391》 誤差要因測定装置 4 0の測定した Ei2および Eo2を受け、 Es2, Ed2 も誤差要因記録部 4 5から受ける。 測定結果補正部 1 0 0は、 Es2， Ed2, Ei2, Eo2に基づき、入力信号の測定結果 SAを補正して、入力信 号の電力 Pを求める。 第七の実施形態
第七の実施形態は、 第一信号生成部 1と第二信号生成部 2とが、 複 数の端子を有するスィツチ SW1、 SW2 により接続される場合の誤差 要因の測定例を示すものである。 第 1 0図は、 第七の実施形態にかかる信号システムの構成を示す図 である。第七の実施形態にかかる信号システムは、第一信号生成部 1、 第二信号生成部 2、 スィ ッチ （接続具） SW1、 SW2、 ケーブル （接続 具） 3 0を有する。 第一信号生成部 1、 第二信号生成部 2は第一の実施形態と同様であ り説明を省略する。 スィ ッチ SW1、 SW2、 ケーブル 3 0は接続具を構 成する。
スィ ッチ SW1は、 第一出力端子 1 9を端子 Pll, P12， P13， P14の いずれかに接続するスィッチである。 スィッチ SW2 は、 第二出力端 子 2 9を端子 P21， P22， P23, P24のいずれかに接続するスィッチで ある。 ケーブル 3 0はスィツチ SW1 とスィッチ SW2 とを接続する。 第七の実施形態における誤差要因の測定方法を説明する。 まず、 第 一信号生成部 1およびスィ ッチ SW1 (ただし、 第一出力端子 1 9を端 子 Pllに接続する）を一体とみたときの Edl, Esl, Eil, Eolを求める。 具体的には、 端子 P11に、 三種類の校正用具 （開放、 短絡および標準 負荷 Z0 :特許文献 1を参照）およびパワーメータ （特許文献 2を参照） を接続して求めることができる。 なお、 以下、 Edl， Esl, Eil， Eolを Eijlと表記する。 ここで、 第一信号生成部 1およびスィッチ SW1 (ただし、 第一出力 端子 1 9を端子 P12 に接続する） を一体とみたときの誤差要因を Ei;jlP12 と、 第一信号生成部 1およびスィッチ SW1 (ただし、 第一出 力端子 1 9を端子 P13 に接続する） を一体とみたときの誤差要因を EijlP13 と、 第一信号生成部 1およびスィッチ SW1 (ただし、 第一出 力端子 1 9を端子 P14 に接続する） を一体とみたときの誤差要因を Eijlp14とする。 T(Eijl)-iT(Eijlpi2)は時間 に よ ら ず一定 と み な し う る 。 T(Eijl)-iT(EijlP13) は 時 間 に よ ら ず 一 定 と み な し う る 。 T(Eijl)-iT(EijlP14)は時間によらず一定とみなしうる。ただし、 T(Eijl) は、 Eijlの Tパラメータであり、 行列である。 T(Eijl) ·ιは、 T(Eijl) の逆行列である。 そこで、 T(Eijl) iT(Eijlpi2), T(Eijl) iT(Eijlpi3), T Eijl TiEijlpu) を工場出荷時にでも求めておき、 Edl, Esl, Eil, Eol(=Eijl)を代入し て、 Eijlpi2、 EijlP 13 s Ei]'lpi4を求めることができる。 ここで、 ケーブル 3 0により端子 P11 と端子 P21とを接続する。 こ のとき、 ケーブル 3 0、 スィッチ SW1、 スィッチ SW2を、 第一の実 施形態における接続具 （ケーブル 3 0 ) とみたてれば、 第二信号生成 部 2の Ed2, Es2, Ei2， Eo2を求めることができる。 これは、 ケーブル 3 0により端子 P11 と端子 P22 とを接続した場合でも、 端子 P11 と 端子 P23 とを接続した場合でも、 端子 P11 と端子 P24 とを接続した 場合でも同様である。 なお、 以下、 Ed2， Es2， Ei2, Eo2を Ei と表記 する。 また、スィツチ SW2の誤差要因を Qi;jP21 (端子 P21について）、 Qi 22 (端子 P22について）、 QijP23 (端子： P23について）、 QijP24 (端子 P24 について）とすると、第二信号生成部 2およびスィツチ SW2 (ただし、 第二出力端子 2 9を端子 P21に接続する） を一体とみたときの誤差要 因は T(Eij2)T(QijP2i)となる。 同様に、 第二信号生成部 2およびスィツチ SW2 (ただし、 第二出力 端子 2 9を端子 P22 に接続する） を一体とみたときの誤差要因は T(Eij2)T(Qi 22)となる。 第二信号生成部 2およびスィッチ SW2 (た だし、 第二出力端子 2 9を端子 P23に接続する） を一体とみたときの 誤差要因は T(Ei]'2)T(Qijp23)となる。第二信号生成部 2およびスィ ッチ SW2 (ただし、 第二出力端子 2 9を端子 P24に接続する） を一体とみ たときの誤差要因は T(Eij2)T(Qi;jP24)となる。 第八の実施形態
第八の実施形態は、 出力測定装置および入力測定装置を用いて試験 装置を構成した例である。 第 1 1図は、 第八の実施形態にかかる試験装置 1 1 0の構成を示す 図である。 第八の実施形態にかかる試験装置 1 1 0は、 第二信号生成 部 2、 測定結果補正部 1 0 0 a、 1 0 0 b、 誤差要因測定装置 4 0を 備える。 第二信号生成部 2、 測定結果補正部 1 0 0 aおよび誤差要因測定装 置 4 0が第五の実施形態にかかる出力測定装置を構成する （第 8図参 照）。第二信号生成部 2、測定結果補正部 1 0 0 bおよび誤差要因測定 装置 4 0が第六の実施形態にかかる入力測定装置を構成する （第 9図 参照）。 試験装置用モジュールが誤差要因測定装置 4 0を有する。 スィッチ 2 3が第二発振器 2 2をプリッジ 2 4 aに接続した場合は、 第二信号が被測定物（DUT： Device Under Test)に与えられる。第二信 号の電力は P1 である。 測定結果補正部 1 0 0 aが、 誤差要因測定装 置 4 0の測定した Ei2およぴ Eo2と、誤差要因測定装置 4 0に記録さ れた Es2, Ed2とに基づき、 第二信号の測定結果 Tx2を補正して、 第 二信号の電力 P1を求める。 スィッチ 2 3が第二入力信号測定部 2 1をブリ ッジ 2 4 aに接続し た場合は、 被測定物からの信号が第二出力端子 2 9に入力信号として 与えられる （電力； P2)。 測定結果捕正部 1 0 0 bが、 誤差要因測定装 置 4 0の測定した Ei2および Eo2と、誤差要因測定装置 4 0に記録さ れた Es2， Ed2とに基づき、入力信号測定部 2 1の測定結果 SAを補正 して、 入力信号の電力 P2を求める。 試験装置 1 1 0は、第二信号の電力 P1および入力信号の電力 P2に 基づき、 被測定物の試験を行うが、 試験装置 （テスタ） における試験 自体は周知なので、 試験自体についての詳細な説明は省略する。 また、 上記の実施形態は、 以下のようにして実現できる。 C P U、 ハードディスク、 メディア （フロッピー （登録商標） ディスク、 C D 一 R O Mなど） 読み取り装置を備えたコンピュータのメディァ読み取 り装置に、 上記の各部分 （例えば、 誤差要因測定装置 4 0 ) を実現す るプログラムを記録したメディアを読み取らせて、 ハードディスクに インス トールする。 このような方法でも、 上記の機能を実現できる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . ( 1 ) 第一信号を生成する第一信号源と、 前記第一信号を出力 する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （2 )第二信号を生成 する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有する 第二信号生成部と、 （ 3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子とを接 続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号および 前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における誤差 要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測定する接続具特性測定部と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結 果と、 前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果 との比を測定する出力 ·反射比測定部と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各 成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要 因の各成分の積とを記録する誤差要因記録部と、
前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定部の測定結果 および前記誤差要因記録部の記録内容に基づき、 前記第二信号生成部 の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤差要 因導出部と、
を備えた誤差要因測定装置。
2 . 請求項 1に記載の誤差要因測定装置であって、 前記誤差要因記録部は、 Eil， Eolと、 Ei2 X Eo2とを記録し、
( A ) Eil, Eolは、 前記第一信号生成部の誤差要因であり、
Eil：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方 向の誤差要因、
Eol：前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方 向の誤差要因であり、
( B ) Ei2, Eo2は、 前記第二信号生成部の誤差要因であり、
Ei2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する出力方 向の誤差要因、
Eo2：前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する反射方 向の誤差要因である、
誤差要因測定装置。
3 . 請求項 2に記載の誤差要因測定装置であって、
· 前記誤差要因導出部は、
前記接続具の特性の測定結果および前記出力 ·反射比の測定結果に 基づき、 EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値を導出する誤差要因比導出 部と、
導出された EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値と、 Eil， Eol, Ei2 X Eo2とに基づき Ei2および Eo2を導出する周波数トラッキング誤差要 因導出部と、
を有する誤差要因測定装置。
4 . 請求項 3に記載の誤差要因測定装置であって、
前記誤差要因比導出部は、
| (EilEo2)/(Ei2Eol) | = | (S21m- S22mR21m)/(S12m- SllmI l2m) |
に基づき、 EilEo2と Ei2Eol との比の絶対値を導出し、
Slim = Rxl(l)/Txl(l)、
S21m = Rx2(l)/Txl(l),
S22m = Rx2(2)/Tx2(2),
S12m = Rxl(2)/Tx2(2),
R21m = Tx2(l)/Txl(l),
R12m = Txl(2)/Tx2(2)
であり、
( A ) Txl(l), Rxl(l)， Tx2(l)， Rx2(l)は、 前記第一信号生成部から 前記第二信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の 測定結果であり、
Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号'を測 定した結果、
Rxl(l)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Tx2(l)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果、
Rx2(l)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定 した結果であり、
( B ) Txl(2), Rxl(2), Tx2(2), Rx2(2)は、 前記第二信号生成部から 前記第一信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の 測定結果であり、
Tx2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Rx2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Txl(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果、
Rxl(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定 した結果である、
誤差要因測定装置。
5 . 請求項 1に記載の誤差要因測定装置であって、
前記接続具の特性の測定結果は、 Rxl(l)ZTxl(l)、 Rx2(l)ZTxl(l)、 Rx2(2)/Tx2(2) , Rxl(2)/Tx2(2)であり、
( A ) Txl(l), HX1(1)， Rx2(l)は、 前記第一信号生成部から前記第二 信号生成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果 であり、
Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測 定した結果、
Rxl(l)：前記第一信号が前記第一出力端子により反射されたものを 測定した結果、
Rx2(l)：前記第一信号が前記第二出力端子に入射されたものを測定 した結果であり、
( B ) Rxl(2)， Tx2(2)， 11x2(2)は、 前記第二信号生成部から前記第一 信号生成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果 であり、
Τχ2(2) ··前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Κχ2(2)：前記第二信号が前記第二出力端子により反射されたものを 測定した結果、 Rxl(2)：前記第二信号が前記第一出力端子に入射されたものを測定 した結果である、
誤差要因測定装置。
6 . 請求項 1に記載の誤差要因測定装置であって、
前記出力 ·反射比測定部は、 Txl(l)と Tx2(l)との比 R21を測定し、 かつ、 Τχ2(2)と Τχ 1 (2)との比 R12を測定し、
( A ) Txl(l), Tx2(l)は、 前記第一信号生成部から前記第二信号生 成部へ前記第一信号を出力した場合の前記第一信号の測定結果であり、 Txl(l)：前記第一出力端子により反射される前に前記第一信号を測 定した結果、
Tx2(l)：前記第一信号が前記第二信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果であり、
( B ) Txl(2), Τχ2(2)は、 前記第二信号生成部から前記第一信号生 成部へ前記第二信号を出力した場合の前記第二信号の測定結果であり、
Τχ2(2)：前記第二出力端子により反射される前に前記第二信号を測 定した結果、
Txl(2)：前記第二信号が前記第一信号生成部の内部において反射さ れたものを測定した結果である、
誤差要因測定装顰。
7 . 請求項 1に記載の誤差要因測定装置であって、
前記接続具は、 ケーブルおよびスィツチの一方または双方を含む、 誤差要因測定装置。
8 . 請求項 1ないし 7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、 前記第二信号生成部と、
前記第二信号生成部が出力する第二信号を前記第二出力端子により 反射される前に測定した結果と、 前記誤差要因測定装置の測定結果と に基づき、 前記第二信号の測定結果を補正する測定結果補正部と、 を備えた出力測定装置。
9 . 請求項 1ないし 7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、 前記第二信号生成部と、
を備えた入力測定装置であって、
前記第二信号生成部は、 前記第二出力端子から入力されてきた入力 信号を測定する入力信号測定部を有し、
前記入力測定装置は、 さらに、 前記入力信号測定部の測定結果と、 前記誤差要因測定装置の測定結果とに基づき、 前記入力信号測定部の 測定結果を補正する測定結果補正部を備えた入力測定装置。
1 0 . 請求項 1ないし 7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を 用いた誤差要因測定方法であって、
前記第二信号生成部は複数あり、
ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、 前記接続具 を介して、 前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する接続ェ 程と、
ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置 により測定する測定工程と、
を備え、
全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、 前記接続ェ 程および前記測定工程を繰り返す誤差要因測定方法。
1 1 . 請求項 1ないし 7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を 用いた誤差要因測定方法であって、
前記第二信号生成部は複数あり、
ある一つの前記第二信号生成部の前記第二出力端子を、 前記接続具 を介して、 前記第一信号生成部の前記第一出力端子に接続する第一接 続工程と、
ある一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置 により測定する第一測定工程と、
誤差要因を測定した前記第二信号生成部を前記第一信号生成部とし て、 他の一つの前記第二信号生成部に、 前記接続具を介して、 接続す る第二接続工程と、 ·
他の一つの前記第二信号生成部の誤差要因を前記誤差要因測定装置 により測定する第二測定工程と、
全ての前記第二信号生成部の誤差要因を測定するまで、 前記第二接 続工程および前記第二測定工程を繰り返す誤差要因測定方法。
1 2 . ( 1 ) 第一信号を生成する第一信号源と、 前記第一信号を出 力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （ 2 )第二信号を生 成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有す る第二信号生成部と、 （ 3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子とを 接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号およ ぴ前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における誤 差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、 前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結 果と、 前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果 との比を測定する出力 ·反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各 成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要 因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定工程の測定結 果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、 前記第二信号生 成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤 差要因導出工程と、
を備えた誤差要因測定方法。
1 3 . ( 1 ) 第一信号を生成する第一信号源と、 前記第一信号を出 力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （2 )第二信号を生 成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有す る第二信号生成部と、 （ 3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子とを 接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号およ び前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における誤 差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるため のプログラムであって、
前記誤差要因測定処理は、
前記第一信号の測定結果と、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結 果と、 前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果 との比を測定する出力 ·反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各 成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要 因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ·反射比測定工程の測定結 果および前記誤差要因記録工程の記録内容に基づき、 前記第二信号生 成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤 差要因導出工程と、
を備えるプログラム。
1 4 . ( 1 ) 第一信号を生成する第一信号源と、 前記第一信号を出 力する第一出力端子とを有する第一信号生成部と、 （2 )第二信号を生 成する第二信号源と、 前記第二信号を出力する第二出力端子とを有す る第二信号生成部と、 （ 3 )前記第一出力端子と前記第二出力端子とを 接続する接続具と、 を有する信号システムにおける前記第一信号およ び前記第二信号の測定結果に基づき、 前記第二信号生成部における誤 差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるため のプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒 体であって、
前記誤差要因測定処理は、
前記第一信号の測定結果と,、 前記第二信号の測定結果とに基づき、 前記接続具の特性を測定する接続具特性測定工程と、
前記第一信号が前記第一出力端子により反射される前の測定結果と、 前記第二信号生成部の内部において反射されたものの測定結果との比、 および前記第二信号が前記第二出力端子により反射される前の測定結 果と、 前記第一信号生成部の内部において反射されたものの測定結果 との比を測定する出力 ·反射比測定工程と、
前記第一信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各 成分と、 前記第二信号生成部の周波数トラッキングに起因する誤差要 因の各成分の積とを記録する誤差要因記録工程と、
前記接続具の特性の測定結果、 前記出力 ，反射比測定工程の測定結 果および前記誤差要因 Ϊ3録ェ程の記録内容に基づき、 前記第二信号生 成部の周波数トラッキングに起因する誤差要因の各成分を導出する誤 差要因導出工程と、
を備える記録媒体。
1 5 . 請求項 1ないし 7のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置 を備えた試験装置用モジュール。
1 6 . 請求項 8に記載の出力測定装置を備え、 前記第二信号が被測 定物に与えられる試験装置。
1 7 . 請求項 9に記載の入力測定装置を備え、 前記入力信号が被測 定物から与えられる試験装置。
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