WO2005029102A1 - 誤差要因取得用装置、方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents

Abstract

　被測定物の回路パラメータの測定系の校正を、校正キットの着脱の回数を減らして行なうことができるようにする。ネットワークアナライザ１のポート１８、２８について開放、短絡、標準負荷を実現し、またはポート１８と２８とを短絡する第一状態実現部１２０を有し、ポート１８、２８に接続された第一校正器１００と、ポート１８、２８について開放、短絡、標準負荷を実現する第二状態実現部２２０を有し、第一校正器１００とＤＵＴ４００とに接続された第二校正器２００とを備え、第一校正器１００は、ポート１８、２８を、第一状態実現部１２０あるいは第二校正器２００のいずれかに接続する第一接続部１１０ａ、１１０ｂを有し、第二校正器２００は、ポート１８、２８を、第二状態実現部２２０あるいはＤＵＴ４００のいずれかに接続する第二接続部２１０を有する。

Description

誤差要因取得用装置、 方法、 プログラムおよび記録媒体

技術分野

本発明は、 被測定物の回路パラメ一夕を演算計測する際の誤差要因 の測定に関する。 明

背景技術 細

従来より、 被測定物 （D U T ： Device Under Test)の回路パラメ一 夕（例えば、 Sパラメ一夕）を測定することが行われている（例えば、 特許文献 1 (特開平 1 1一 38054号公報） を参照）。従来技術にか かる被測定物 （DUT) の回路パラメ一夕の測定法を図 16を参照し て説明する。

信号源 130から信号を DUT 400を介して受信部 140に送信 する。 この信号は受信部 140により受信される。 受信部 140によ り受信された信号を測定することにより DUT 400の Sパラメ一夕 や周波数特性を取得することができる。

このとき、 信号源 130等の測定系と DUT 400との不整合など により測定に測定系誤差が生ずる。 この測定系誤差は、 例えば Ed ： ブリッジの方向性に起因する誤差、 E r ：周波数トラッキングに起因 する誤差、 E s ： ソースマッチングに起因する誤差、 である。 信号源 130に関するシグナルフロ一グラフを図 17に示す。 ： RF INは、 信 号源 130から DUT 400等に入力する信号、 S 1 1mは DUT 4 0 0等から反射されてきた信号から求められた D U T 4 0 0等の Sパ ラメ一夕、 S 1 1 aは測定系誤差の無い真の D U T 4 0 0等の Sパラ メータである。 この場合は、 例えば特許文献 1に記載のようにして誤差を補正する ことができる。 このような補正をキャリブレーションという。 キヤリ ブレ一シヨンについて概説する。信号源 1 3 0に校正キヅ トを接続し、 オープン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類 の状態を実現する。 このときの校正キッ 卜から反射された信号をプリ ッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類の Sパラメ一夕 ( S 1 1 m )を求める。三種類の Sパラメ一夕から三種類の変数 E d、 E r . E sを求める。 しかしながら、上記のような従来技術においては、信号源 1 3 0に、 オープン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) といった 三種類の校正キットを着脱しなければならない。着脱の動作の回数は、 一種類の校正キッ トにつき二回 （着ける、 外す） である。 よって、 三 種類の校正キッ トの着脱の動作の回数は六回ということになる。 この ように、 校正にあたっては、 校正キッ トの着脱の回数が増えて煩雑で あるという問題が生じる。 そこで、 本発明は、 被測定物の回路パラメ一夕の測定系の校正を、 校正キッ トの着脱の回数を減らして行なうことができるようにするこ とを課題とする。 発明の開示

本発明による誤差要因取得用装置の一態様によれば、 信号出力部、 信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を 受ける受信ポートを備えるネッ トワークアナライザと、 被測定物との 間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 ネッ ト ワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態 を実現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接 続された第一校正手段と、 ネットワークアナライザの出力ポートまた は受信ポ一トについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段と、 を備え、 第 一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部ある いは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 第二校正 手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実現部あるいは被 測定物のいずれかに接続する第二接続部を有するように構成される。 上記のように構成された発明によれば、ネッ トワークアナライザと、 被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置が提 供される。 ネッ トワークアナライザは、 信号出力部、 信号出力部から の信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受ける受信ポー トを備える。 誤差要因取得用装置は、 第一校正手段、 第二校正手段を 備える。 第一校正手段は、 ネッ トヮ一クアナライザの出力ポートおよ び受信ポートについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接続されている。 第二校正手段は、 ネ ッ トワークアナライザの出力ポートまたは受信ポートについて第二の 状態を実現する第二状態実現部を有し、 第一校正手段と被測定物とに 接続されている。 第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続 部を有する。 第二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二 状態実現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有す る。 上記本発明による誤差要因取得用装置によれば、第一状態実現部は、 開放の状態を実現する開放校正用具と、 短絡の状態を実現する短絡校 正用具と、 標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、 出力ポー トと受信ポートとを短絡する短絡部と、出力ポ一トに、開放校正用具、 短絡校正用具、 標準負荷校正用具および短絡部の内のいずれか一つを 接続する出力ポート接続部と、 受信ポートに、 開放校正用具、 短絡校 正用具、 標準負荷校正用具および短絡部の内のいずれか一つを接続す る受信ポート接続部とを有するように構成できる。 上記本発明による誤差要因取得用装置によれば、第二状態実現部は、 開放の状態を実現する開放校正用具と、 短絡の状態を実現する短絡校 正用具と、 標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、 ネッ トヮ ークアナライザに、 開放校正用具、 短絡校正用具および標準負荷校正 用具の内のいずれか一つを接続する校正用具接続部とを有するように 構成できる。

上記本発明による誤差要因取得用装置によれば、 ネッ トワークアナ ライザの有するポートの個数よりも、 被測定物の有するポ一トの個数 の方が大きく、 第一校正手段の有するポートを、 第二校正手段の有す るポートのいずれかに接続する分岐接続手段を備えたように構成でき る o 上記本発明による誤差要因取得用装置によれば、 被測定物は、 ゥェ ハと、 ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプローブとを 有するように構成できる。 本発明による誤差要因取得方法の一態様によれば、 信号出力部、 信 号出力部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受 ける受信ポートを備えるネッ トワークアナライザと、 被測定物との間 の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネッ トワークアナライザの出力ポートおよび受信ポ一トについて第一の状 態を実現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに 接続された第一校正手段と、 （ 2 )ネヅ トワークアナライザの出力ポ一 トまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を 有し、第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、 ( 3 ) '第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実 現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、

( 4 ) 第二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実 現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤 差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法で あって、ネッ トワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号、 第一状態実現部から出力ポート に反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測 定された所定のパラメ一夕に基づき、 ネッ トワークアナライザと第一 校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、 ネッ トワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、 出力ポ ートから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに 反射されてきた信号に基づき、 被測定物と第一校正手段との間の第二 誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程とを備えるように構成され

本発明による誤差要因取得方法の他の態様によれば、 信号出力部、 信号出力部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を 受ける受信ポートを備えるネッ トワークアナライザと、 被測定物との 間の誤差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネ ヅ トワークアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の 状態を実現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポート に接続された第一校正手段と、 （ 2 )ネッ トワークアナライザの出力ポ 一トまたは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部 を有し、 第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備 え、 （ 3 )第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態 実現部あるいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 ( 4 ) 第二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実 現部あるいは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 ) 被測定物は、 ウェハと、 ウェハに接触し第二校正手段に接続されるゥ ェハプローブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を 取得する誤差要因取得方法であって、 ネッ トワークアナライザを第一 状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号、 第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポー トに受信された信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 ネッ トワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得 する第一誤差要因取得工程と、 ネッ トワークアナライザを第二状態実 現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号および第 二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 被測定 物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得 工程と、 第一誤差要因、 第二誤差要因およびウェハプローブの誤差要 因に基づきウェハの所定のパラメ一夕を測定するウェハ測定工程とを 備えるように構成される。

本発明によるプログラムの一態様によれば、 信号出力部、 信号出力 部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受ける受 信ポートを備えるネットワークアナライザと、 被測定物との間の誤差 要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネッ トヮー クアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実 現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接続さ れた第一校正手段と、 （ 2 )ネッ トワークアナライザの出力ポートまた は受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、 （ 3 ) 第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部あ るいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 （ 4 )第 二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実現部ある いは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤差要因取 得用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンビュ —夕に実行させるためのプログラムであって、 ネヅトワークアナライ ザを第一状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前 の信号、 第一状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および 受信ポ一トに受信された信号について測定された所定のパラメ一夕に 基づき、 ネッ トワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要 因を取得する第一誤差要因取得処理と、 ネッ トワークアナライザを第 二状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号 および第二状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要 因取得処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。 本発明によるプログラムの他の態様によれば、 信号出力部、 信号出 力部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受ける 受信ポートを備えるネットワークアナライザと、 被測定物との間の誤 差要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネッ トヮ ークアナライザの出力ポートおよび受信ポ一トについて第一の状態を 実現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接続 された第一校正手段と、 （2 )ネッ トワークアナライザの出力ポートま たは受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、 （ 3 ) 第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部あ るいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 （ 4 )第 二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実現部ある いは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 )被測定物 は、 ウェハと、 ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプロ 一ブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する 誤差要因取得処理をコンピュー夕に実行させるためのプログラムであ つて、 ネッ トワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号、 第一状態実現部から出力ポート に反射されてきた信号および受信ポートに受信された信号について測 定された所定のパラメ一夕に基づき、 ネッ トワークアナライザと第一 校正手段との間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、 ネットワークアナライザを第二状態実現部に接続したときに、 出力ポ —トから出力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに 反射されてきた信号に基づき、 被測定物と第一校正手段との間の第二 誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、 第一誤差要因、 第二誤 差要因およびウェハプローブの誤差要因に基づきゥヱハの所定のパラ メ一夕を測定するウェハ測定処理とをコンピュータに実行させるため のプログラムである。

本発明による記録媒体の一態様によれば、 信号出力部、 信号出力部 からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受ける受信 ポートを備えるネッ トワークアナライザと、 被測定物との間の誤差要 因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネッ トワーク アナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現 する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接続され た第一校正手段と、 ( 2 )ネッ トワークアナライザの出力ポートまたは 受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 第 一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、 （ 3 )第 一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部ある いは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 （4 )第二 校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実現部あるい は被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤差要因取得 用装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンビユー 夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読 み取り可能な記録媒体であって、 ネッ トワークアナライザを第一状態 実現部に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号、 第一 状態実現部から出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに 受信された信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 ネッ トワークアナライザと第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得処理と、 ネッ トワークアナライザを第二状態実現部 に接続したときに、 出力ポートから出力される前の信号および第二状 態実現部から出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 被測定物と 第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理 とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ

—夕によって読み取り可能な記録媒体である。 本発明による記録媒体の他の態様によれば、 信号出力部、 信号出力 部からの信号を出力するための出力ポート、 および、 信号を受ける受 信ポートを備えるネッ トワークアナライザと、 被測定物との間の誤差 要因を取得するための誤差要因取得用装置であって、 （ 1 )ネッ トヮ一 クアナライザの出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実 現する第一状態実現部を有し、 出力ポートおよび受信ポートに接続さ れた第一校正手段と、 （ 2 )ネヅ トワークアナライザの出力ポートまた は受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 第一校正手段と被測定物とに接続された第二校正手段とを備え、 （ 3 ) 第一校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第一状態実現部あ るいは第二校正手段のいずれかに接続する第一接続部を有し、 （ 4 )第 二校正手段は、 出力ポートおよび受信ポートを、 第二状態実現部ある いは被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 )被測定物 は、 ウェハと、 ウェハに接触し第二校正手段に接続されるウェハプロ 一ブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得する 誤差要因取得処理をコンピュータに実行きせるためのプログラムを記 録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、 ネッ トワークアナライザを第一状態実現部に接続したときに、 出力ポ一ト から出力される前の信号、 第一状態実現部から出力ポートに反射され てきた信号および受信ポートに受信された信号について測定された所 定のパラメ一夕に基づき、 ネットワークアナライザと第一校正手段と の間の第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、 ネッ トヮ一 クアナライザを第二状態実現部に接続したときに、 出力ポートから出 力される前の信号および第二状態実現部から出力ポートに反射されて きた信号に基づき、 被測定物と第一校正手段との間の第二誤差要因を 取得する第二誤差要因取得処理と、 第一誤差要因、 第二誤差要因およ びウェハプローブの誤差要因に基づきウェハの所定のパラメ一夕を測 定するウェハ測定処理とをコンピュータに実行させるためのプログラ ムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。

図面の簡単な説明

図 1は、 本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使 用される測定系の構成を示す図である。

図 2は、 ネッ トワークアナライザ 1の構成を示す図である。

図 3は、 第一状態実現部 1 2 0の構成を示す図である。

図 4は、 第二状態実現部 2 2 0の構成を示す図である。

図 5は、 第一接続部 1 1 0 a ( 1 1 0 b ) が、 ポート 1 8 ( 2 8 ) を、 第二校正器 2 0 0に接続し、 しかも、 第二接続部 2 1 0が、 ポー ト 2 0 2を D U T 4 0 0に接続しているときのシグナルフローグラフ であり、 ポート 1 8を出力ポート、 ポ一ト 2 8を受信ポートとした場 合 （図 5 ( a ))、 ポート 1 8を受信ポート、 ポート 2 8を出力ポート とした場合 （図 5 ( b ) ) を示す。 図 6は、 第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。

図 7は、 誤差要因 E df、 E r f E s f (図 7 (a))、 誤差要因

E d T r r_s E s r (図 7 (b)) を示すシグナルフローグラフで ある。

図 8は、 誤差要因 E t f、 E L f (図 8 (a))、 誤差要因 E t r、 E L r (図 8 (b)) を示すシグナルフローグラフである。

図 9は、 誤差要因 A 1 1、 A 1 2、 A2 1、 A 22 (図 9 (a))、 誤差要因 B 1 1、 B 12、 B 2 1、 B 22 (図 9 (b)) を示すシグナ フレフ口一グラフである。

図 10は、 本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。

図 1 1は、 本発明の第二の実施形態にかかる第一校正器 100の内 部構成を示す図である。

図 12は、 本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。

図 13は、 9ポートテス トセッ ト 500の内部構成を示す図である。 図 14は、 本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。

図 15は、 第一接続部 1 10 a ( 1 10 b ) が、 ポート 18 ( 28 ) を、 第二校正器 200に接続し、 しかも、 第二接続部 2 10が、 ポ一 ト 202をウェハプローブ 420に接続しているときのシグナルフロ 一グラフであり、 ポート 1 8を出力ポート、 ポート 28を受信ポート とした場合 （図 15 (a))、 ポート 18を受信ポート、 ポート 28を 出力ポートとした場合 （図 15 (b)) を示す。

図 16は、 従来技術にかかる被測定物 （DUT) の回路パラメ一夕 の測定法を説明するための図である。 図 1 7は、 従来技術にかかる信号源 1 3 0に関するシグナルフロー グラフである。

発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。 第一の実施形態

図 1は、 本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が使 用される測定系の構成を示す図である。 測定系は、 ネッ トワークアナ ライザ 1、 第一校正器 1 0 0、 第二校正器 2 0 0、 ケーブル 3 0 0、 D U T 4 0 0を備える。 第一校正器 1 0 0および第二校正器 2 0 0が 誤差要因取得用装置を構成する。 ネッ トワークアナライザ 1の構成を図 2に示す。 ネッ トワークアナ ライザ 1は、信号源 1 0、受信手段 2 0、測定系誤差要因記録部 3 0、 回路パラメ一夕測定部 4 0、 測定系誤差要因取得部 5 0、 受信側測定 系誤差要因記録部 7 0を備える。 信号源 1 0は、 信号出力部 1 2、 スィッチ 1 3、 ブリッジ 1 4 a、 1 4 b、 レシーバ （ Ιί S ) 1 6 a、 レシーバ （ T S ) 1 6 b、 ポート 1 8を有する。 信号出力部 1 2は、 所定の周波数の入力信号を出力する。 なお、 定の周波数は変更可能である。 スィツチ 1 3は、 信号出力部 1 2の出力する入力信号をポート 1 8 から出力するか、 ポート 2 8から出力するかを選択するためのスィッ チである。 スイッチ 1 3は、 端子 1 3 a、 1 3 b、 1 3 cを有する。 端子 1 3 aはポート 1 8に、 端子 1 3 bは受信手段 2 0に、 端子 1 3 cは信号出力部 1 2に接続されている。 端子 1 3 aと端子 1 3 cとを 接続する、 すなわちスィッチ 1 3を端子 1 3 aの側にすれば入力信号 をポート 1 8から出力することになる。 端子 1 3 aと端子 1 3 bとを 接続する、 すなわちスイッチ 1 3を端子 1 3 bの側にすれば入力信号 をポ一ト 2 8から出力することになる。 なお、 入力信号がポート 2 8から出力される場合は、 ポート 1 8か ら信号が信号源 1 0に入力されることになる。 ここで、 プリヅジ 1 4 bは、 この信号をレシ一バ （T S) 1 6 bに供給する。 プリッジ 14 aは、 信号出力部 1 2から出力された信号をレシーバ (R S) 1 6 aに供給する。 プリヅジ 1 4 bは、 入力信号がポート 1 8から出力され、 さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ (T S) 1 6 bに供給する。 なお、 プリヅジ 14 a、 14 bはパヮ一スプ リツ夕でもよい。 以後において説明する、 その他のプリヅジについて もパワースプリツ夕で代用可能である。 レシーバ （R S) 1 6 aは、 ブリッジ 14 aを介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。 レシ一バ （T S) 1 6 bは、 ブリッジ 14 bを介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。 ポート 1 8は、 入力信号を出力するための端子である。 受信手段 2 0は、 ブリッジ 24 a、 2 4 b、 レシーバ （TR) 2 6 a、 レシ一バ （RR) 2 6 b, ポ一ト 2 8を有する。 入力信号をポート 1 8から出力する場合、 ブリッジ 24 aは、 ポー ト 2 8から入力された信号をレシーバ （TR) 2 6 aに供給する。 レ シ一バ (TR) 2 6 aは、 受信信号の Sパラメ一夕を測定する。 ポ一 ト 2 8は、 受信手段 2 0が信号を受けるための端子である。 スィッチ 1 3を端子 1 3 bの側にすれば、 信号出力部 1 2の出力す る入力信号がスィツチ 1 3を介して受信手段 2 0に送られる。 プリッ ジ 24 bは、 この入力信号をレシーバ （RR) 2 6 bに供給する。 プ リッジ 24 aは、 入力信号がポ一ト 2 8から出力されさらに反射して 戻ってきた信号をレシーバ （TR) 2 6 aに供給する。 ポート （出力ポート） 1 8から入力信号が出力された場合、 ポート (受信ポート） 2 8が DUT 400を介して信号を受ける。ポ一ト（出 力ポート） 2 8から入力信号が出力された場合、 ポート （受信ポート） 1 8が DUT 40 0を介して信号を受ける。 レシ一バ （TR) 2 6 aは、 ブリッジ 24 aを介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。 レシーバ (RR) 2 6 bは、 プリヅジ 24 bを介して受けた入力信号の Sパラメ一夕を測定する。 測定系誤差要因記録部 3 0は、 ネッ トワークアナライザ 1の測定系 の誤差要因を記録する。 測定系の誤差要因は、 第一誤差要因、 第二誤 差要因がある。 第一誤差要因は、 ネッ トワークアナライザ 1と第一校 正器 1 0 0との間の誤差要因である。 第二誤差要因は、 DUT 40 0 と第一校正器 1 0 0との間の誤差要因である。 第二誤差要因は、 主に ケーブル 3 0 0に起因する誤差要因である。 回路パラメ一夕測定部 40は、

( 1 ) 入力信号をポート 1 8から出力する場合のレシ一バ （R S) 1

6 a、 レシーバ ( T S ) 1 6 b、 レシーバ （TR) 2 6 &の011 4

00に関する測定デ一夕 （Sパラメ一夕）、

(2) 入力信号をポート 2 8から出力する場合のレシーバ （RR) 2

6 b、 レシーバ （TR) 2 6 a_s レシーバ （T S) 1 6 bの DUT 4

00に関する測定デ一夕 （Sパラメ一夕）、

( 3) 測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因、 とに基づき、 DUT 40 0の真の（測定系誤差要因の影響を排除した） Sパラメ一夕を測定する。 測定系誤差要因取得部 5 0は、 レシーバ （R S) 1 6 a、 レシーバ (T S) 1 6 bおよびレシーバ （TR) 2 6 aの測定結果に基づき測 定系の誤差要因を取得する。 受信側測定系誤差要因取得部 7 0は、 レシーバ （RR) 2 6 b, レ シ一バ （TR) 2 6 a、 レシーバ （T S) 1 6 bおよび信号出力取得 部 62の測定結果に基づき測定系の誤差要因を取得する。 第一校正器 1 0 0は、 ポート 1 02、 1 04、 1 0 6、 1 08、 接続部 1 1 0 a、 1 1 0 b、 第一状態実現部 1 2 0を有する。 ポート 1 0 2は、 ポート 1 8に接続されている。 ポート 1 0 4は、 ポート 2 8に接続されている。 ポート 1 0 6は、 第二校正器 2 0 0の ポート 2 0 2に接続されている。 ポート 1 0 8は、 第二校正器 2 0 0 のポート 2 0 2に接続されている。 第一接続部 1 1· 0 aは、 ポート 1 0 2、 1 0 6および第一状態実現 部 1 2 0に接続されている。第一接続部 1 1 0 aは、ポート 1 0 2を、 ポート 1 0 6あるいは第一状態実現部 1 2 0に接続する。 よって、 第 一接続部 1 1 0 aは、 ポート 1 8を、 第二校正器 2 0 0あるいは第一 状態実現部 1 2 0に接続する。 なお、 ポート 1 8は出力ポート （ポ一 ト 1 8から信号が出力される場合） あるいは受信ポート （ポート 2 8 から信号が出力される場合） である。 第一接続部 1 1 0 bは、 ポート 1 0 4、 1 0 8および第一状態実現 部 1 2 0に接続されている。第一接続部 1 1 O bは、ポート 1 0 4を、 ポート 1 0 8あるいは第一状態実現部 1 2 0に接続する。 よって、 第 一接続部 1 1 0 bは、 ポート 2 8を、 第二校正器 2 0 0あるいは第一 状態実現部 1 2 0に接続する。 なお、 ポート 2 8は受信ポート （ポー ト 1 8から信号が出力される場合） あるいは出力ポート （ポート 2 8 から信号が出力される場合） である。 第一状態実現部 1 2 0は、 ポート 1 8および 2 8について、 すなわ ち出力ポートおよび受信ポートについて第一の状態を実現する。 第一 状態実現部 1 2 0の構成を図 3に示す。 第一状態実現部 1 2 0は、 開 放校正用具 1 2 2 o p、 1 2 3 0 p、 短絡校正用具 1 2 2 s、 1 2 3 s、 標準負荷校正用具 1 2 2 L、 1 2 3 L _s 短絡部 1 2 4、 ポート接 続部 1 2 6、 1 2 8を有する。 校正用具は、 特開平 1 1 一 3 8 0 5 4号公報に記載のようにオーブ ン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類の状態 を実現する周知のものである。 開放校正用具 1 2 2 o pは、 ポート 1 8について、 開放の状態を実 現する。 開放校正用具 1 2 3 o pは、 ポート 2 8について、 開放の状 態を実現する。 短絡校正用具 1 2 2 sは、 ポート 1 8について、 短絡 の状態を実現する。 短絡校正用具 1 2 3 sは、 ポート 2 8について、 短絡の状態を実現する。 標準負荷校正用具 1 2 2 Lは、 ポート 1 8に 'ついて、 標準負荷の状態を実現する。 標準負荷校正用具 1 2 3 Lは、 ポート 2 8について、 標準負荷の状態を実現する。 短絡部 1 2 4は、 ポート 1 8およびポート 2 8を接続するためのも のである。 すなわち、 第一の状態とは、 ポート 1 8について、 開放、 短絡およ び標準負荷の状態、 ポート 2 8について、 開放、 短絡および標準負荷 の状態およびポート 1 8とポート 2 8とを接続する状態を意味する。 ポート接続部 1 2 6は、 第一接続部 1 1 0 aに、 開放校正用具 1 2 2 o p、 短絡校正用具 1 2 2 s、 標準負荷校正用具 1 2 2 L、 短絡部 1 2 4の内のいずれか一つを接続する。 ポ一ト接続部 1 2 6は、 一種 のスィツチである。 ポート接続部 128は、 第一接続部 1 10 bに、 開放校正用具 12 3 op、 短絡校正用具 123 s、 標準負荷校正用具 123 L、 短絡部 124の内のいずれか一つを接続する。 ポート接続部 128は、 一種 のスイッチである。 第二校正器 200は、 ポート 2 02、 204、 第二接続部 2 10、 第二状態実現部 220を有する。 ポート 202は、 ポート 106 ( 108 ) に接続されている。 ポー ト 204は、 DUT 400のポ一ト 402に接続されている。 第二接続部 2 10は、 ポート 202、 204および第二状態実現部 220に接続されている。 第二接続部 2 10は、 ポート 202を、 ポ —ト 204あるいは第二状態実現部 220に接続する。 よって、 ポート 202が第一接続部 1 10 a ( 1 1 0 b) を介して ポート 1 8 (28) に接続されている場合は、 第二接続部 2 10は、 ポート 1 8 (28) を、 DUT 400あるいは第二状態実現部 220 に接続する。 第二状態実現部 220は、 ポート 18 (28) について、 すなわち 出力ポートあるいは受信ポートについて第二の状態を実現する。 第二 状態実現部 220の構成を図 4に示す。 第二状態実現部 220は、 開 放校正用具 2220 p、 短絡校正用具 222 s、 標準負荷校正用具 2 22 L、 校正用具接続部 224を有する。 校正用具は、特開平 1 1— 3 8 0 54号に記載のようにオープン（開 放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類の状態を実現 する周知のものである。 開放校正用具 2 2 2 0 pは、 ポート 1 8 ( 2 8 ) について、 開放の 状態を実現する。 短絡校正用具 2 2 2 sは、 ポート 1 8 ( 2 8) につ いて、 短絡の状態を実現する。 標準負荷校正用具 2 2 2 Lは、 ポート 1 8 ( 2 8 ) について、 標準負荷の状態を実現する。 すなわち、第二の状態とは、ポート 1 8または 2 8についての開放、 短絡および標準負荷の状態を意味する。 校正用具接続部 2 24は、 第二接続部 2 1 0に、 開放校正用具 2 2 2 o p、 短絡校正用具 22 2 s、 標準負荷校正用具 2 2 2 Lの内のい ずれか一つを接続する。 校正用具接続部 2 24は、 一種のスィツチで ある。 ケ一ブル 3 0 0は、 第一校正器 1 0 0のポ一ト 1 0 6 ( 1 0 8 ) と 第二校正器 20 0のポート 2 02とを接続する。

0111400は、ポ一ト 40 2、 404を有する。 D U T 40 0は、 被測定物 （ device under test) であり、 DUT 4 00の真の Sパラメ 一夕を測定することが、 ネッ トワークアナライザ 1の目的である。 次に、 第一の実施形態の動作を説明する。 図 5は、 第一接続部 1 1 0 a ( 1 10 b ) が、 ポート 18 ( 28 ) を、 第二校正器 200に接続し、 しかも、 第二接続部 2 10が、 ポー ト 202を DUT 400に接続しているときのシグナルフローグラフ である。 ただし、 図 5 (a) は、 ポート 18を出力ポート、 ポート 2 8を受信ポートとした場合のシグナルフローグラフ、 図 5 (b) は、 ポート 18を受信ポート、 ポート 28を出力ポートとした場合のシグ ナルフ口一グラフである。 測定系の誤差要因は、第一誤差要因、第二誤差要因がある。図 5 (a) を参照して、 第一誤差要因は、 E df、 E r f, E s f、 E t f、 E Lfである。 第二誤差要因は、 A l l、 A12、 A2 1、 A 22, B 11、 B 12s B 2 1、 B 22である。 なお、 第一誤差要因における 末尾の f は、 forwardの略であり、 入力信号をポート 18から DUT 400に与えることを意味する。 また、 E d ： ブリッジの方向性に起 因する誤差、 E r ：反射トラヅキングに起因する誤差、 E s ： ソース マッチングに起因する誤差、 E t：伝送トラッキングに起因する誤差、 E L ： ロードマッチングに起因する誤差である。 図 5 (b)を参照して、 第一誤差要因は、 Ed r、 E r r_s E s r、 Et r、 EL rである。 第二誤差要因は、 A l l、 A 12、 A2 1、 A22、 B l i B 12、 B 2 1、 B 22である。 なお、 第一誤差要 因における末尾の は、 reverse の略であり、 入力信号をポート 28 から DUT400に与えることを意味する。

DUT 400の Sパラメ一夕をポート 18、 28を介して測定した 結果は、 測定系の誤差要因があるため、 DUT 400の正確な Sパラ メータ （S l l、 S 12、 S 21、 S 22 ) とはならない。 そこで、 第一誤差要因および第二誤差要因を測定しておくことで、 DUT 40 0の正確な Sパラメ一夕を求める。 図 6は、 第一の実施形態の動作を示すフローチャートである。 まず、 ネッ トワークアナライザ 1と第一状態実現部 120とを接続 する（S 10)。すなわち、第一接続部 1 10 aにより、ポート 18を、 第一状態実現部 120に接続し、 第一接続部 1 10 bにより、 ポート 28を、 第一状態実現部 120に接続する。 次に、 第一誤差要因を取得する （S 1 2)。 まず、 ポート 18から信 号を出力する。ポート接続部 126は、第一接続部 1 10. aを介して、 ポート 18に、 開放校正用具 122 o pを接続し、 次いで、 短絡校正 用具 122 sを接続し、 そして、 標準負荷校正用具 122 Lを接続す る。 このときの、 レシーバ （RS) 1 6 aおよびレシーバ （T S) 1 6 bの測定値から、 測定系誤差要因取得部 50が、 図 7 (a) に示す 誤差要因 Edf、 E rf, E s f を求め、 測定系誤差要因記録部 30 に書き込む。 次に、 ポート接続部 126は、 第一接続部 1 10 aを介 して、 ポート 18に短絡部 124を接続し、 ポ一ト接続部 128も、 第一接続部 1 1 O bを介して、ポート 28に短絡部 124を接続する。 このときの、 レシーバ (R S) 1 6 a、 レシーバ （T S) 1 6 bおよ びレシーバ （TR) 26 aの測定値から、 測定系誤差要因取得部 50 が、 図 8 (a) に示す誤差要因 E t f、 EL f を求め、 測定系誤差要 因記録部 30に書き込む。 次に、 ポート 2 8から信号を出力する。 ポート接続部 1 2 8は、 第 一接続部 1 1 0 bを介して、 ポート 2 8に、 開放校正用具 1 2 3 o p を接続し、 次いで、 短絡校正用具 1 2 3 sを接続し、 そして、 標準負 荷校正用具 1 2 3 Lを接続する。 このときの、 レシーバ （TR) 2 6 aおよびレシーバ （RR) 2 6 bの測定値から、 受信側測定系誤差要 因取得部 7 0が、 図 7 (b) に示す誤差要因 E d r、 E r r _s E S T を求め、 測定系誤差要因記録部 3 0に書き込む。 次に、 ポート接続部 1 2 6は、 第一接続部 1 1 0 aを介して、 ポート 1 8に短絡部 1 2 4 を接続し、 ポート接続部 1 2 8も、 第一接続部 1 1 O bを介して、 ポ —ト 2 8に短絡部 1 2 4を接続する。 このときの、 レシーバ （TR) 2 6 aおよびレシ一バ （R R) 2 6 bおよびレシーバ （ T S ) 1 6 b の測定値から、 受信側測定系誤差要因取得部 7 0が、 図 8 (b) に示 す誤差要因 E t r、 E L rを求め、 測定系誤差要因記録部 3 0に書き 込む。 このようにして、 第一誤差要因を取得できる。 そして、 ネットワークアナライザ 1と第二校正器 2 0 0とを接続す る （S 1 4)。 すなわち、 第一接続部 1 1 0 aにより、 ポート 1 8を、 第二校正器 2 0 0に接続し、 第一接続部 1 1 0 bにより、 ポート 2 8 を、 第二校正器 2 0 0に接続する。 さらに、 ネヅ トワークアナライザ 1と第二状態実現部 2 2 0とを接続する （S 1 6 )。 すなわち、 第二接 続部 2 1 0により、 第一接続部 1 1 0 a ( 1 1 0 b) を介して、 ポー ト 1 8 ( 2 8 ) を、 第二状態実現部 2 2 0に接続する。 次に、 第二誤差要因を取得する （S 1 8)。 まず、 ポート 18から信 号を出力する。校正用具接続部 224は、第二接続部 2 10を介して、 ポート 1 8に、 開放校正用具 222 opを接続し、 次いで、 短絡校正 用具 222 sを接続し、 そして、 標準負荷校正用具 222 Lを接続す る。 このときの、 レシーバ (R S ) 1 6 aおよびレシーバ （T S) 1 6 bの測定値から、 測定系誤差要因取得部 50が、 図 9 (a) に示す 誤差要因 A 1 1、 A 12、 A2 1、 A 22を求め、 測定系誤差要因記 録部 30に書き込む。 次に、 ポート 28から信号を出力する。 校正用具接続部 224は、 第二接続部 2 10を介して、 ポート 28に、 開放校正用具 222 o p を接続し、 次いで、 短絡校正用具 222 sを接続し、 そして、 標準負 荷校正用具 222 Lを接続する。 このときの、 レシーバ (T R) 2 6 aおよびレシーバ （RR) 26 bの測定値から、 受信側測定系誤差要 因取得部 70が、 図 9 (b)に示す誤差要因 B 1 1、 B 12、 B 2 1、 B 22を求め、 測定系誤差要因記録 30に書き込む。 このようにして、 第二誤差要因を取得できる。 そして、ネッ トワークアナライザ 1と DUT400とを接続する（S 20)。 すなわち、 第二接続部 2 10により、 第一接続部 1 10 a ( 1 10 b) を介して、 ポ一ト 18 (28) を、 DUT400のポート 4 02 ( 404) に接続する。 ここで、ポート 18あるいは 28から信号を出力して、 レシーバ（R S) 16 a、 レシーバ （T S) 1 6 b、 レシーバ （TR) 26 aおよ びレシーバ (RR) 26 bの測定値から、 回路パラメ一夕測定部 40 が、 DUT 400の Sパラメ一夕を実測する （S 22)。 この実測値は、 測定系の誤差要因の影響を受けている。 そこで、 回 路パラメ一夕測定部 40が、 測定系誤差要因記録部 30に記録された 測定系誤差要因を読み出し、 実測された DUT 400の Sパラメ一夕 から、 測定系誤差要因の影響を取り除き、 0111400の真の3パラ メータを測定する （S 24)。 第一の実施形態によれば、ネッ トワークアナライザ 1のポート 1 8、 28に、 校正用具および DUT 400を次々に接続しては外していく かわりに、 第一接続部 1 10 a、 1 10 b, 第二接続部 2 10、 ポー ト接続部 126、 128s 224を操作するだけで、 ネッ トワークァ ナライザ 1の校正を行なうことができる。 第二の実施形態

第二の実施形態は、 第一の実施形態におけるネッ トワークアナライ ザ 1および D U T 400のポートをそれそれ 4個にした点が第一の実 施形態と異なる。 図 10は、 本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。 測定系は、 ネッ トワークァ ナライザ 1、第一校正器 100、第二校正器 200、ケーブル 300、 DUT400を備える。 第一校正器 100および第二校正器 200が 誤差要因取得用装置を構成する。 以下、 第一の実施形態と同様な部分 は同一の番号を付して説明を省略する。 ネッ トワークアナライザ 1は、 ポート 1 8、 2 8、 3 8、 48を備 える。 内部構成は第一の実施形態とほぼ同様である。 あるポートから 出力された信号は、 その他のポートのいずれでも受信可能である。 例 えば、 ポート 1 8から出力された信号は、 ポート 2 8、 3 8、 48の いずれでも受信可能である。 また、 いずれのポートにも、 ブリッジ 1 4 a、 14 bs レシ一バ 1 6 a、 1 6 bに相当するものがある。 第一校正器 1 00の内部構成を図 1 1に示す。第一校正器 1 0 0は、 ポート 1 0 1、 1 0 2、 1 03、 1 04、 1 0 5、 1 0 6、 1 07、 1 08、 第一接続部 1 1 0 a、 1 1 0 b 1 1 0 c、 1 1 0 d、 第一 状態実現部 1 2 0 a、 1 2 0 b、 1 2 0 c、 1 2 0 d、スイッチ S l、 S 2、 S 3、 S 4、 S l l、 S 1 2、 S 1 3、 S 14を有する。 ポート 1 02は、 ポート 1 8に接続されている。 ポート 1 04は、 ポート 2 8に接続されている。 ポート 1 0 1は、 ポート 38に接続さ れている。 ポート 1 0 3は、 ポート 48に接続されている。 ポ一ト 1 0 5、 1 0 6、 1 0 7、 1 0 8は、 第二校正器 2 0 0のポート 2 0 2 に接続されている。 第一接続部 1 1 0 aは、 ポート 1 02を、 ポート 1 0 6、 スイッチ S 1 1あるいは第一状態実現部 1 2 0 aに接続する。 第一接続部 1 1 0 bは、 ポート 1 04を、 ポート 1 0 8、 スィッチ S 1 2あるいは第 一状態実現部 1 2 0 bに接続する。 第一接続部 1 1 0 cは、 ポート 1 0 1を、 ポート 1 0 5、 スイッチ S 1 3あるいは第一状態実現部 1 2 0 cに接続する。 第一接続部 1 1 0 dは、 ポート 1 0 3を、 ポート 1 07、 スィヅチ S 14あるいは第一状態実現部 120 dに接続する。 第一状態実現部 1 20 aは、 第一接続部 1 10 aおよびスィッチ S 1に接続されている。 第一状態実現部 120 bは、 第一接続部 1 1 0 bおよびスィッチ S 2に接続されている。第一状態実現部 12 0 cは、 第一接続部 1 1 0 cおよびスィツチ S 3に接続されている。 第一状態 実現部 120 dは、 第一接続部 1 10 dおよびスイッチ S 4に接続さ れている。 第一状態実現部 120 a、 120 b、 120 c、 120 d の内部構成は第一の実施形態と同様である。 スィッチ S l、 S 2、 S 3、 S 4は、 スィッチ S l l、 S 12、 S 13、 S 14に接続されている。 スイッチ S 1、 S 2、 S 3、 S 4は いずれか一つが ONにされる。 スイッチ S 1が ONにされているとき は、スイッチ S 12、 S 13、 S 14のいずれか一つが ONにされる。 スィッチ S 2が ONにされているときは、 スィッチ S l l、 S 13、 S 14のいずれか一つが 0 Nにされる。 スイッチ S 3が ONにされて いるときは、 スィッチ S 1 1、 S 12、 S 14のいずれか一つが ON にされる。スィッチ S 4が ONにされているときは、スィッチ S 1 1、 S 12s S 13のいずれか一つが ONにされる。 第二校正器 200、 ケーブル 300および D U T 400は、 第一の 実施形態と同様である。 ただし、 DUT 400には 4個のポートがあ る。 次に、第二の実施形態の動作を説明する。第二の実施形態の動作は、 第一の実施形態の動作とほぼ同様であり、 図 6のフローチャートを参 照して説明する。 まず、 ネッ トワークアナライザ 1と第一状態実現部 1 2 0 a、 1 2 0 b、 1 2 0 c、 1 20 dとを接続する （ S 1 0 )。 すなわち、 第一接 続部 1 1 0 aにより、 ポート 1 8を、 第一状態実現部 1 2 0 aに接続 し、 第一接続部 1 1 0 bにより、 ポート 2 8を、 第一状態実現部 1 2 O bに接続し、 第一接続部 1 1 0 cにより、 ポート 3 8を、 第一状態 実現部 1 2 0 cに接続し、第一接続部 1 1 0 dにより、ポート 48を、 第一状態実現部 1 2 0 dに接続する。 次に、 第一誤差要因を取得する （S 1 2 )。 これは、 第一の実施形態 とほぼ同様である。 すなわち、 ポート 1 8、 2 8、 3 8、 48から信 号を出力する。 そして、 ポート 1 8、 2 8、 3 8、 48に、 第一状態 実現部 1 2 0 a、 1 2 0 b、 1 2 0 c、 1 2 0 dの開放校正用具、 短 絡校正用具および標準負荷校正用具を次々に接続する。 また、 ポート 1 8を、 ポート 2 8に、 第一接続部 1 1 0 a、 第一状態実現部.1 2 0 a、 スィッチ S I、 スイッチ S 1 2、 第一接続部 1 1 0 bを介して接 続する。 同様に、 ポート 1 8をポート 3 8、 48に、 ポート 2 8をポ —ト 3 8、 4 8に、 ポート 38をポート 48に接続する。 そして、 そ のときのレシーバの測定値に基づき、 第一誤差要因を取得する。 そして、 ネッ トワークアナライザ 1と第二校正器 2 00とを接続す る （S 1 4)。 すなわち、 第一接続部 1 1 0 aにより、 ポート 1 8を、 第二校正器 2 0 0に接続し、 第一接続部 1 1 0 bにより、 ポート 2 8 を、 第二校正器 20 0に接続し、 第一接続部 1 1 0 cにより、 ポート 3 8を、 第二校正器 200に接続し、 第一接続部 1 1 0 dにより、 ポ ート 48を、 第二校正器 200に接続する。 さらに、 ネッ トワークアナライザ 1と第二状態実現部 220とを接 続する （S 1 6)。 すなわち、 第二接続部 2 10により、 第一接続部 1 10 a、 1 10 b、 1 10 c、 1 10 dを介して、 ポ一ト 18、 28、 38、 48を、 第二状態実現部 220に接続する。 次に、 第二誤差要因を取得する （S 18)。 これは、 第一の実施形態 とほぼ同様である。 すなわち、 ポ一ト 18、 28、 38、 48から信 号を出力する。 そして、 ポート 18、 28、 38、 48に、 第二状態 実現部 220の開放校正用具、 短絡校正用具および標準負荷校正用具 を次々に接続する。 そして、 そのときのレシーバの測定値に基づき、 第二誤差要因を取得する。 そして、ネッ トワークアナライザ 1と DUT400とを接続する（S 20)。 すなわち、 第二接続部 2 10により、 第一接続部 1 1 0 a、 1 10 b、 1 10 c、 1 10 dを介して、 ポ一ト 18、 28、 38、 4 8を、 D UT 400の各ポートに接続する。 ここで、 ポート 18、 28、 38、 48のいずれから信号を出力し て、 レシーバの測定値から、 回路パラメ一夕測定部 40が、 DUT 4 00の Sパラメ一夕を実測する （S 22)。 この実測値は、 測定系の誤差要因の影響を受けている。 そこで、 回 路パラメ一夕測定部 40が、 測定系誤差要因記録部 30に記録された 測定系誤差要因を読み出し、 実測された DUT 400の Sパラメ一夕 から、 測定系誤差要因の影響を取り除き、 DUT 40 0の真の Sパラ メ一夕を測定する （ S 24 )。 第二の実施形態によれば、 ネッ トワークアナライザ 1および DUT 40 0のポートをそれそれ 4個にしてもなお、 第一の実施形態と同様 の効果を得られる。 第三の実施形態

第三の実施形態は、 ネッ トワークアナライザ 1のポートの個数 （ 4 個） よりも、 DUT 400のポ一トの個数 （ 9個） の方が大きいため に、 誤差要因取得用装置が 9ポートテス トセッ ト （分岐接続手段） 5 00をさらに備えた点が第二の実施形態と異なる。 図 12は、 本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。 測定系は、 ネッ トワークァ ナライザ 1、第一校正器 1 0 0、第二校正器 2 00、ケーブル 3 0 0、 DUT 40 0、 9ポートテス トセッ ト 5 0 0を備える。 第一校正器 1 00および第二校正器 2 0 0が誤差要因取得用装置を構成する。以下、 第二の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。 ネットワークアナライザ 1、第一校正器 1 0 0、第二校正器 2 00、 ケーブル 300、 DUT 400は第二の実施形態と同様である。

9ポートテストセッ ト （分岐接続手段） 5 00は、 ポート 5 02、 5 04、 5 0 6、 5 0 8、 5 1 2、 5 14、 5 1 6、 5 1 8、 5 2 0、 5 2 2、 5 24、 5 2 6、 5 2 8を有する。 ポート 5 0 2、 5 04、 5 0 6、 5 08はそれそれ、 ポ一ト 1 0 6、 1 0 8、 1 0 5、 1 0 7 に接続されている。ポ一ト 5 1 2、 5 1 4、 5 1 6、 5 1 8、 5 2 0、 5 2 2、 5 24、 5 2 6、 5 2 8はそれそれ、 ポート 2 0 2に接続さ れている。

9ポートテストセッ ト 5 0 0の内部構成を図 1 3に示す。 ポ一ト 5 02は、 ポート 5 1 2または 5 1 4に接続される。 ポート 5 04は、 ポート 5 14または 5 1 6に接続される。 ただし、 ポート 5 0 2がポ —ト 5 14に接続されている場合は、 ポート 5 1 4はポ一ト 5 1 6に 接続される。 ポート 5 0 6は、 ポート 5 1 8、 5 2 0または 5 2 2に 接続される。 ポート 5 08は、 ポート 5 24、 5 2 6または 5 2 8に 接続される。 このようにして、 第一校正器 1 00の有するポ一ト 1 0 6、 1 08、 1 0 5、 1 0 7が第二校正器 2 0 0のポート 2 02のい ずれかに接続される。 第三の実施形態の動作は、 第二の実施形態とほぼ同様である。 ただ し、 9ポートテストセッ ト 5 00を用いて、 ネッ トワークアナライザ 1のポート 1 8、 2 8、 3 8、 48を第二校正器 20 0のいずれかに 接続する点が異なる。 第三の実施形態によれば、 ネッ トワークアナライザ 1のポートの個 数 （ 4個） よりも、 DUT 400のポ一トの個数 （ 9個） の方が大き くてもなお、 第一の実施形態と同様の効果を得られる。 なお、 DUT 400のポ一トの個数がさらに大きくなつても、 9ポ一トテストセヅ ト 5 0 0に類似のテストヘッ ドを用いれば、 同様の効果を奏する。 第四の実施形態

第四の実施形態は、第一の実施形態における D U T 4 0 0にかえて、 ウェハ 4 1 0、 ウェハプローブ 4 2 0を使用している。 図 1 4は、 本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因取得用装置が 使用される測定系の構成を示す図である。 測定系は、 ネッ トワークァ ナライザ 1、第一校正器 1 0 0、第二校正器 2 0 0、ケーブル 3 0 0、 ウェハ 4 1 0、 ウェハプローブ 4 2 0を備える。 第一校正器 1 0 0お よび第二校正器 2 0 0が誤差要因取得用装置を構成する。 なお、 ネッ トワークアナライザ 1、 第一校正器 1 0 0、 第二校正器 2 0 0、 ケ一 ブル 3 0 0は第一の実施形態と同様である。 ウェハ 4 1 0は、 ネッ トワークアナライザ 1が測定の目的としてい るものである。 ウェハプロ一ブ 4 2 0は、 ウェハ 4 1 0に接触させる ものであり、 ポート 4 2 2を介して、 第二校正器 2 0 0に接続されて いる。 図 1 5は、 第一接続部 1 1 0 a ( 1 1 0 b ) が、 ポート 1 8 ( 2 8 ) を、 第二校正器 2 0 0に接続し、 しかも、 第二接続部 2 1 0が、 ポ一 ト 2 0 2をウェハプローブ 4 2 0に接続しているときのシグナルフロ —グラフである。ただし、 図 1 5 ( a )は、 ポート 1 8を出力ポート、 ポート 2 8を受信ポートとした場合のシグナルフロ一グラフ、 図 1 5 ( b ) は、 ポート 1 8を受信ポート、 ポート 2 8を出力ポートとした 場合のシグナルフローグラフである。 図 1 5に示すシグナルフローグラフは、第一の実施形態（図 5参照） とほぼ同様であるが、 ウェハプローブ 420の誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 22がさらに付加される点が異なる。 ウェハプロ一プ 420は、 精巧に作成されており、 電気的特性に関する個体差が少な い。 よって、 ウェハプローブ 420の誤差要因 P 1 1、 P 12、 P 2 1、 P 22を、 前もって、 測定系誤差要因記録部 30に記録しておけ ば、 実測された DUT 400の Sパラメ一夕から、 誤差要因 P 1 1、 P 12、 P 2 1、 P 22の影響を取り除き、 DUT 400の真の Sパ ラメ一夕を測定することができる。 第四の実施形態の動作は第一の実施形態とほぼ同様である （図 6参 照）。ただし、測定系誤差要因記録部 30に記録された測定系誤差要因 には、 ウェハプローブ 420の誤差要因 P 1 1、 P 12、 P 2 1、 P 22も含まれる。 よって、 回路パラメ一夕測定部 40が、 測定系誤差 要因記録部 30に記録された測定系誤差要因 （第一誤差要因、 第二誤 差要因および誤差要因 P 1 1、 P 12、 P 2 1、 P 22)を読み出し、 実測された DUT 400の Sパラメ一夕から、 測定系誤差要因の影響 を取り除き、 DUT 400の真の Sパラメ一夕を測定する （S 24) ことになる。 また、 上記の実施形態は、 以下のようにして実現できる。 CPU、 ハードディスク、 メディア （フロ ッピ一 （登録商標） ディスク、 CD 一； ROMなど） 読み取り装置を備えたコンピュータのメディァ読み取 り装置に、 上記の各部分 （例えば、 測定系誤差要因記録部 30、 回路 パラメ一夕測定部 40、 測定系誤差要因取得部 50、 受信側測定系誤 差要因記録部 70) を実現するプログラムを記録したメディアを読み 取らせて 、一ドディスクにインストールする。このような方法でも、 上記の機能を実現できる

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出力 ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トワーク アナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差 要因取得用装置であって、

前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポートおよび前記受信ポー トについて第一の状態を実現する第一状態実現部を有し、 前記出力ポ ートおよび前記受信ポートに接続された第一校正手段と、

前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポ一トまたは前記受信ポー トについて第二の状態を実現する第二状態実現部を有し、 前記第一校 正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手段と、

を備え、

前記第一校正手段は、 前記出力ポートおよび前記受信ポートを、 前 記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれかに接続する第 一接続部を有し、

前記第二校正手段は、 前記出力ポートおよび前記受信ポートを、 前 記第二状態実現部あるいは前記被測定物のいずれかに接続する第二接 続部を有する、

誤差要因取得用装置。

2 . 請求項 1に記載の誤差要因取得用装置であって、

前記第一状態実現部は、

開放の状態を実現する開放校正用具と、

短絡の状態を実現する短絡校正用具と、

標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、 前記出力ポートと前記受信ポートとを短絡する短絡部と、

前記出力ポートに、 前記開放校正用具、 前記短絡校正用具、 前記標 準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する出力 ポ一ト接続部と、

前記受信ポートに、 前記開放校正用具、 前記短絡校正用具、 前記標 準負荷校正用具および前記短絡部の内のいずれか一つを接続する受信 ポート接続部と、

を有する誤差要因取得用装置。

3 . 請求項 1に記載の誤差要因取得用装置であって、

前記第二状態実現部は、

開放の状態を実現する開放校正用具と、

短絡の状態を実現する短絡校正用具と、

標準負荷の状態を実現する標準負荷校正用具と、

前記ネッ トワークアナライザに、 前記開放校正用具、 前記短絡校正 用具および前記標準負荷校正用具の内のいずれか一つを接続する校正 用具接続部と、

を有する誤差要因取得用装置。

4 . 請求項 1ないし 3のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置 であって、

前記ネッ トワークアナライザの有するポートの個数よりも、 前記被 測定物の有するポートの個数の方が大きく、

前記第一校正手段の有するポートを、 前記第二校正手段の有するポ —トのいずれかに接続する分岐接続手段を備えた誤差要因取得用装置。

5 . 請求項 1ないし 4のいずれか一項に記載の誤差要因取得用装置 であって、

前記被測定物は、 ウェハと、 前記ウェハに接触し前記第二校正手段 に接続されるウェハプローブとを有する、

誤差要因取得用装置。

6 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出力 ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トワーク アナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差 要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネッ トワークアナライザの前記出 力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状 態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された 第一校正手段と、 （ 2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポート または前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部 を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手 段とを備え、 （ 3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受 信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれ かに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出力 ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記被 測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤差要因取得用装 置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得方法であって、

前記ネッ トワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネッ トヮ ークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得工程と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得工程と、

を備えた誤差要因取得方法。

7 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出力 ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トワーク アナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差 要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネヅ トワークアナライザの前記出 力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状 態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された 第一校正手段と、 （ 2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポート または前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部 を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手 段とを備え、 （3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受 信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれ かに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出力 ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記被 測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 )前記被測定物は、 ウェハと、 前記ゥヱハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハ プローブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得 する誤差要因取得方法であって、

前記ネットワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネッ トヮ ークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得工程と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポ一トに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得工程と、

前記第一誤差要因、 前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの 誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメ一夕を測定するウェハ測 定工程と、

を備えた誤差要因取得方法。

8 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出力 ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トワーク アナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差 要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネッ トワークアナライザの前記出 力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状 態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された 第一校正手段と、 （ 2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポート または前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部 を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手 段とを備え、 （ 3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受 信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれ かに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出力 ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記被 測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤差要因取得用装 置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータに 実行させるためのプログラムであって、

前記ネッ トワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネッ トヮ ークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得処理と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得処理と、

をコンピュータに実行させるためのプログラム。

9 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出力 ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トワーク アナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤差 要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネッ トワークアナライザの前記出 力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一状 態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続された 第一校正手段と、 （ 2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポート または前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現部 を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正手 段とを備え、 （ 3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記受 信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいずれ かに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出力 ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記被 測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 )前記被測定物は、 ウェハと、 前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるウェハ プローブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を取得 する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログラム であって、

前記ネッ トワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネッ トヮ —クアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得処理と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得処理と、

前記第一誤差要因、 前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの 誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメ一夕を測定するウェハ測 定処理と、

をコンピュータに実行させるためのプログラム。

1 0 . 信号出力部、 前記信号出力部.からの信号を出力するための出 力ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トヮ一 クアナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤 差要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネッ トワークアナライザの前記 出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一 状態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続され た第一校正手段と、 （ 2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポー トまたは前記受信ポ一トについて第二の状態を実現する第二状態実現 部を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正 手段とを備え、 （ 3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記 受信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいず れかに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出 力ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記 被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有する、 誤差要因取得用 装置を使用して誤差要因を取得する誤差要因取得処理をコンピュータ に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み 取り可能な記録媒体であって、

前記ネッ トヮ一クアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネッ トヮ ークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得処理と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得処理と、

をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンビュ 一夕によつて読み取り可能な記録媒体。

1 1 . 信号出力部、 前記信号出力部からの信号を出力するための出 力ポート、 および、 前記信号を受ける受信ポートを備えるネッ トヮー クアナライザと、 前記被測定物との間の誤差要因を取得するための誤 差要因取得用装置であって、 （ 1 )前記ネッ トワークアナライザの前記 出力ポートおよび前記受信ポートについて第一の状態を実現する第一 状態実現部を有し、 前記出力ポートおよび前記受信ポートに接続され た第一校正手段と、 （2 )前記ネッ トワークアナライザの前記出力ポー トまたは前記受信ポートについて第二の状態を実現する第二状態実現 部を有し、 前記第一校正手段と前記被測定物とに接続された第二校正 手段とを備え、 （ 3 )前記第一校正手段は、前記出力ポートおよび前記 受信ポートを、 前記第一状態実現部あるいは前記第二校正手段のいず れかに接続する第一接続部を有し、 （4 )前記第二校正手段は、前記出 力ポートおよび前記受信ポートを、 前記第二状態実現部あるいは前記 被測定物のいずれかに接続する第二接続部を有し、 （ 5 )前記被測定物 は、 ゥヱハと、 前記ウェハに接触し前記第二校正手段に接続されるゥ ェハプローブとを有する、 誤差要因取得用装置を使用して誤差要因を 取得する誤差要因取得処理をコンピュータに実行させるためのプログ ラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であつ て、

前記ネッ トワークアナライザを前記第一状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号、 前記第一状態実現部か ら前記出力ポートに反射されてきた信号および受信ポートに受信され た信号について測定された所定のパラメ一夕に基づき、 前記ネヅ トヮ ークアナライザと前記第一校正手段との間の第一誤差要因を取得する 第一誤差要因取得処理と、

前記ネッ トワークアナライザを前記第二状態実現部に接続したとき に、 前記出力ポートから出力される前の信号および前記第二状態実現 部から前記出力ポートに反射されてきた信号に基づき、 前記被測定物 と前記第一校正手段との間の第二誤差要因を取得する第二誤差要因取 得^!理と、

前記第一誤差要因、 前記第二誤差要因および前記ウェハプローブの 誤差要因に基づき前記ウェハの所定のパラメ一夕を測定するウェハ測 定処理と、

をコンピュー夕に実行させるためのプログラムを記録したコンビュ —夕によって読み取り可能な記録媒体。