JPH10293153A - インピーダンス整合回路 - Google Patents

インピーダンス整合回路

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JPH10293153A
JPH10293153A JP9116296A JP11629697A JPH10293153A JP H10293153 A JPH10293153 A JP H10293153A JP 9116296 A JP9116296 A JP 9116296A JP 11629697 A JP11629697 A JP 11629697A JP H10293153 A JPH10293153 A JP H10293153A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
impedance
dut
output
coaxial line
impedance matching
Prior art date
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Pending
Application number
JP9116296A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nagata
孝弘 永田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 DUTの直流試験時の測定精度を低下させる
ことなく、高精度なタイミング試験を行うことができる
インピーダンス整合回路を提供すること。 【解決手段】 ICテスタのドライバ1の出力端とコン
パレータ2の入力端とを同軸線3の一端に接続し、同軸
線3の他端にDUT5を接続するとともに、同軸線3の
DUT5側の外部導体端子にDUT5の出力インピーダ
ンスと同軸線3のインピーダンスとの差分の抵抗値を有
するインピーダンス整合抵抗4を直列に接続し、DUT
5の出力モード時には、同軸線3から見たDUT5の出
力インピーダンスが同軸線3のインピーダンスとインピ
ーダンス整合抵抗4の抵抗値との和となって、DUT5
の出力インピーダンスと同軸線3のインピーダンスとの
整合がとれ、同軸線3を通して反射のないDUT5の出
力波形をコンパレータ2に伝送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ICテスタにお
ける被測定デバイス(以下、DUTという)のタイミン
グ試験において、DUTの出力インピーダンスとICテ
スタの伝送ラインである同軸線のインピーダンスの整合
をとることにより、DUTの出力波形のインピーダンス
不整合に起因する反射によるリンギングをなくして、測
定精度を高めるインピーダンス整合回路に関する。
【0002】
【従来の技術】ICテスタのピンエレクトロニクス回路
において、DUT直流試験を行う場合に、従来図2に示
すようなピンエレクトロニクス回路を用いて行われてい
る。図2の例は、リンギング防止回路を備えていない場
合の例を示すものであり、図2において、図示しないI
Cテスタ側のドライバ1とDUT5間に同軸線3を接続
するとともに、ドライバ1の出力端側において、同軸線
3にICテスタのコンパレータ2の入力端が接続されて
いる。
【0003】この構成において、DUT5が入力モード
の場合には、ドライバ1の出力電圧が同軸線3を通して
DUT5に印加されるが、このとき、同軸線3のインピ
ーダンスがドライバ1の出力インピーダンスと整合をと
っているために、反射のない電圧波形がDUT5に伝送
される。したがって、DUT5の入力端においてリンギ
ングが生じない。
【0004】次に、DUT5が出力モードになると、D
UT5の出力電圧波形は同軸線3を通ってコンパレータ
2に伝送されるが、このとき、DUT5の出力インピー
ダンスが同軸線3のインピーダンスより低いと、インピ
ーダンス不整合によりDUT5の出力端側で反射が起こ
り、コンパレータ2の入力端側ではDUT5の出力電圧
波形には、リンギングが発生し、DUT5の高精度なタ
イミング試験を行うことが困難になる。
【0005】そこで、このようなインピーダンス不整合
によるリンギングの発生を防止するために、従来、図3
に示すようなインピーダンス整合回路が提案されてい
る。図3の場合には、図2の回路構成に新たにインピー
ダンス整合抵抗6を設けたものであり、このインピーダ
ンス整合抵抗6は同軸線3の内部導体端子とDUT5の
出力端との間に直列に接続されている。その他の構成は
図2と同様であり、図2と同一部分には、同一符号を付
して構成の重複説明を避ける。
【0006】図3において、DUT5が入力モードの場
合には、ドライバ1の出力電圧波形は同軸線3を通って
DUT5に印加されるが、このとき、同軸線3のインピ
ーダンスはドライバ1の出力インピーダンスと整合をと
っているので、歪みのない波形がDUT5に伝送され
る。
【0007】次に、DUT5が出力モードの場合には、
DUT5の出力インピーダンスが同軸線3のインピーダ
ンスより低い場合であっても、DUT5の出力端と同軸
線3の内部導体端子との間にインピーダンス整合抵抗6
が直列に接続されており、このインピーダンス整合抵抗
6の抵抗値はDUT5の出力インピーダンスと同軸線3
のインピーダンスとの差分とすることにより、DUT5
の出力インピーダンスと同軸線3のインピーダンスの整
合がとれ、反射のない電圧波形をコンパレータ2に同軸
線3を通して伝送することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図3の従来の
インピーダンス整合回路の場合には、DUT5の直流試
験を行う際に、インピーダンス整合抵抗6に負荷電流に
よる電圧降下が生じ、そのために、高精度な直流試験を
行うことができないという課題があった。
【0009】この発明は、DUTの直流試験の測定精度
を低下させることなく、DUTの出力インピーダンスと
ICテスタの同軸線とのインピーダンスの整合がとれ、
インピーダンス不整合による反射を防止し、DUTの高
精度なタイミング試験を行うことができるインピーダン
ス整合回路を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明のインピーダンス整合回路は、被測定デバ
イス5に試験用の信号を印加するICテスタのドライバ
1と、被測定デバイス5から出力された信号を判定する
前記ICテスタのコンパレータ2と、ドライバ1の出力
端およびコンパレータ2の入力端と被測定デバイス5の
出力端との間に接続され、ドライバ1から出力された電
圧を被測定デバイス5に伝送するとともに、被測定デバ
イス5から出力された被測定用の電圧をコンパレータ2
に伝送する同軸線3と、被測定デバイス5のタイミング
試験時にドライバ1の出力インピーダンスと同軸線3の
インピーダンスより被測定デバイス5の出力インピーダ
ンスが低い場合に同軸線3の被測定デバイス5側の外部
導体端子に直列に接続されたインピーダンス整合抵抗4
とを備える。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、この発明のインピーダンス
整合回路の実施の形態について図面を参照して説明す
る。図1はこの発明の一実施の形態の構成を示すブロッ
ク図である。図1において、構成の説明に際して、図3
と同一部分には、同一符号を付して重複説明を避ける。
【0012】図1では、ICテスタのドライバ1、コン
パレータ2、DUT5、同軸線3はそれぞれ図3と同じ
である。インピーダンス整合抵抗4はDUT5の出力イ
ンピーダンスが同軸線3のインピーダンスよりも低い場
合に、同軸線3のDUT5側の外部導体端子に直列に接
続されるようになっており、その抵抗値は同軸線3のイ
ンピーダンスとDUT5の出力インピーダンスとの差分
の値が選定されている。その他の構成は図3と同様であ
る。
【0013】次に、以上のように構成されたこの一実施
の形態の動作について、まずDUT5が入力モードの場
合から説明する。この場合は、ドライバ1から出力され
る出力電圧波形は同軸線3を通ってDUT5に印加され
る。このとき、同軸線3のインピーダンスはドライバ1
の出力インピーダンスと整合をとっているため、反射の
ない電圧波形がDUT5に印加される。
【0014】次に、DUT5の出力モードの場合につい
て説明する。この場合、DUT5の出力インピーダンス
が同軸線3のインピーダンスよりも低いと、同軸線3の
DUT5側の外部導体端子にインピーダンス整合抵抗4
を直列に接続することにより、同軸線3から見たDUT
5の出力インピーダンスは、本来DUT5のもっている
出力インピーダンスとインピーダンス整合抵抗4の抵抗
値との和になる。
【0015】したがって、このとき、インピーダンス整
合抵抗4の抵抗値を同軸線3のインピーダンスとDUT
5の出力インピーダンスとの差分の値に選定することに
より、DUT5の出力インピーダンスと同軸線3とのイ
ンピーダンスの整合がとれ、反射のない電圧波形をコン
パレータ2に同軸線3を通して伝送することができる。
【0016】また、DUT5の直流試験の場合、同軸線
3の内部導体端子には、インピーダンス整合抵抗4が接
続されていないために、直流負荷試験電流による出力電
圧降下も発生せず、高精度な直流試験を行うことができ
る。
【0017】
【発明の効果】この発明のインピーダンス整合回路によ
れば、DUTの出力インピーダンスが同軸線のインピー
ダンスよりも低い場合に、同軸線の外部導体端子にイン
ピーダンス整合抵抗を直列に接続するようにしたので、
同軸線とDUTの出力インピーダンスとの整合がとれ、
したがって反射によるリンギングのない電圧波形を同軸
線を通してDUTからICテスタのコンパレータに伝送
するこができ、直流試験時の電圧降下による測定精度の
低下もなく、高精度なタイミング試験を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のインピーダンス整合回路に一実施の
形態の構成を示すブロック図である。
【図2】従来のリンギング防止回路のないICテスタの
ピンエレクトロニクス回路の構成を示すブロック図であ
る。
【図3】従来のインピーダンス整合回路構成を示すブロ
ック図である。
【符号の説明】
1 ドライバ 2 コンパレータ 3 同軸線 4 インピーダンス整合抵抗 5 DUT

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定デバイス(5) に試験用の信号を印
    加するICテスタのドライバ(1) と、 前記被測定デバイス(5) から出力された信号を判定する
    前記ICテスタのコンパレータ(2) と、 前記ドライバ(1) の出力端および前記コンパレータ(2)
    の入力端と前記被測定デバイス(5) の出力端との間に接
    続され、前記ドライバ(1) から出力された電圧を前記被
    測定デバイス(5) に伝送するとともに、前記被測定デバ
    イス(5) から出力された被測定用の電圧を前記コンパレ
    ータ(2) に伝送する同軸線(3) と、 前記被測定デバイス(5) のタイミング試験時に前記ドラ
    イバ(1) の出力インピーダンスと前記同軸線(3) のイン
    ピーダンスより前記被測定デバイス(5) の出力インピー
    ダンスが低い場合に前記同軸線(3) の前記被測定デバイ
    ス(5) 側の外部導体端子に直列に接続されたインピーダ
    ンス整合抵抗(4) と、を備えることを特徴とするインピ
    ーダンス整合回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のインピーダンス整合回路
    において、 前記インピーダンス整合抵抗(4) は前記同軸線(3) のイ
    ンピーダンスと前記被測定デバイス(5) の出力インピー
    ダンスの差分の抵抗値が選定されることを特徴とするイ
    ンピーダンス整合回路。
JP9116296A 1997-04-18 1997-04-18 インピーダンス整合回路 Pending JPH10293153A (ja)

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JP9116296A JPH10293153A (ja) 1997-04-18 1997-04-18 インピーダンス整合回路

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JP9116296A JPH10293153A (ja) 1997-04-18 1997-04-18 インピーダンス整合回路

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JPH10293153A true JPH10293153A (ja) 1998-11-04

Family

ID=14683521

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9116296A Pending JPH10293153A (ja) 1997-04-18 1997-04-18 インピーダンス整合回路

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JP (1) JPH10293153A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009069147A (ja) * 2007-09-17 2009-04-02 Toppoly Optoelectronics Corp 計測システムと方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009069147A (ja) * 2007-09-17 2009-04-02 Toppoly Optoelectronics Corp 計測システムと方法

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