JP2001153904A - ネットワークアナライザ、ネットワーク解析方法および記録媒体 - Google Patents
ネットワークアナライザ、ネットワーク解析方法および記録媒体Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被計測物の各種の回路パラメータを簡便に求
められるネットワークアナライザを提供する。 【解決手段】 被計測物２０のＳパラメータを計測する
生データ計測部１３と、被計測物２０の測定の際に生ず
る測定系誤差要因を求める測定系誤差要因計測部１４
と、インピーダンスとＳパラメータから測定系誤差要因
を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を示す
パラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演算部
１５と、測定系誤差要因とパラメータ変換要因とを合成
した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算部１７と、
Ｓパラメータと拡張誤差要因とからインピーダンスを求
める被計測物演算部１８と、を備えたので、フィクスチ
ャが不要であり、しかも拡張誤差要因を予め求めておく
ため、簡便かであり演算速度も向上する。
められるネットワークアナライザを提供する。 【解決手段】 被計測物２０のＳパラメータを計測する
生データ計測部１３と、被計測物２０の測定の際に生ず
る測定系誤差要因を求める測定系誤差要因計測部１４
と、インピーダンスとＳパラメータから測定系誤差要因
を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を示す
パラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演算部
１５と、測定系誤差要因とパラメータ変換要因とを合成
した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算部１７と、
Ｓパラメータと拡張誤差要因とからインピーダンスを求
める被計測物演算部１８と、を備えたので、フィクスチ
ャが不要であり、しかも拡張誤差要因を予め求めておく
ため、簡便かであり演算速度も向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被計測物の回路パ
ラメータを演算計測するネットワークアナライザに関す
る。
ラメータを演算計測するネットワークアナライザに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、被計測物（ＤＵＴ：Device Under
Test）の各種回路パラメータ、例えば任意の規格化イ
ンピーダンスでのＳパラメータ、整合回路を付加したと
きのＳパラメータ、回路インピーダンス等を計測するた
めには２つの方法がある。
Test）の各種回路パラメータ、例えば任意の規格化イ
ンピーダンスでのＳパラメータ、整合回路を付加したと
きのＳパラメータ、回路インピーダンス等を計測するた
めには２つの方法がある。
【０００３】第一の方法は、被計測物にフィクスチャを
接続し所望の回路パラメータを直接測定できるようにす
るものである。図１０に被計測物にフィクスチャを接続
したときのシステム構成を示す。図１０に示すように、
第一の方法においては、被計測物１００にフィクスチャ
１２０を接続し、被計測物１００およびフィクスチャ１
２０の全体をネットワークアナライザ２００で計測して
いる。
接続し所望の回路パラメータを直接測定できるようにす
るものである。図１０に被計測物にフィクスチャを接続
したときのシステム構成を示す。図１０に示すように、
第一の方法においては、被計測物１００にフィクスチャ
１２０を接続し、被計測物１００およびフィクスチャ１
２０の全体をネットワークアナライザ２００で計測して
いる。
【０００４】この場合、フィクスチャ１２０によって被
計測物１００の回路パラメータは変わる。そこで、任意
の条件下での回路パラメータを得ようとすれば、任意の
条件を有するフィクスチャ１２０を製造し、被計測物１
００に接続して計測する。例えば、１０種類の条件につ
いて回路パラメータを得ようとすれば、１０個のフィク
スチャ１２０を製造し、１個ずつ被計測物１００に接続
して合計１０回の計測を行うことになる。
計測物１００の回路パラメータは変わる。そこで、任意
の条件下での回路パラメータを得ようとすれば、任意の
条件を有するフィクスチャ１２０を製造し、被計測物１
００に接続して計測する。例えば、１０種類の条件につ
いて回路パラメータを得ようとすれば、１０個のフィク
スチャ１２０を製造し、１個ずつ被計測物１００に接続
して合計１０回の計測を行うことになる。
【０００５】第二の方法は、以下の通りである。すなわ
ち、被計測物の生データ（例えばＳパラメータ）を計測
する。その後、所望の回路パラメータと生データとの関
係式に、計測された生データを代入して所望の回路パラ
メータを求める。
ち、被計測物の生データ（例えばＳパラメータ）を計測
する。その後、所望の回路パラメータと生データとの関
係式に、計測された生データを代入して所望の回路パラ
メータを求める。
【０００６】被計測物のインピーダンスを計測する例を
挙げて、第二の方法を説明する。まず、インピーダンス
Ｚは図１１に示す式のように表現される。ただし、Ｅｄ
は主にブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒは主に周
波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓは主にソースマ
ッチングに起因する誤差である。
挙げて、第二の方法を説明する。まず、インピーダンス
Ｚは図１１に示す式のように表現される。ただし、Ｅｄ
は主にブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒは主に周
波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓは主にソースマ
ッチングに起因する誤差である。
【０００７】なお、図１１の式をシグナルフローグラフ
で表現すると、図１２のようになる。Ｓ１１が計測され
る生データであり、これを図１１の式に代入すれば、イ
ンピーダンスＺが求められる。
で表現すると、図１２のようになる。Ｓ１１が計測され
る生データであり、これを図１１の式に代入すれば、イ
ンピーダンスＺが求められる。
【０００８】第二の方法は、フィクスチャを製造するこ
とが困難あるいは原理的に不可能な場合に有効である。
例えば、図１２に示すような場合、右辺の中央部分をフ
ィクスチャとして製造できれば第一の方法でもインピー
ダンスを求めることができる。しかし、このようなフィ
クスチャを製造することは原理的に不可能である。そこ
で、第二の方法によりインピーダンスを求める。
とが困難あるいは原理的に不可能な場合に有効である。
例えば、図１２に示すような場合、右辺の中央部分をフ
ィクスチャとして製造できれば第一の方法でもインピー
ダンスを求めることができる。しかし、このようなフィ
クスチャを製造することは原理的に不可能である。そこ
で、第二の方法によりインピーダンスを求める。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第一の
方法においては、以下のような欠点がある。まず、フィ
クスチャを多種類製造するのは煩雑であり、計測を度々
繰り返すことも煩雑である。また、理想的な特性をもつ
フィクスチャを製造することも困難である。さらに、同
一目的のフィクスチャを複数製造する場合には、均一の
特性で製造することも困難である。さらにまた、計測し
たい回路パラメータによっては原理的にフィクスチャの
製造が不可能な場合もある。
方法においては、以下のような欠点がある。まず、フィ
クスチャを多種類製造するのは煩雑であり、計測を度々
繰り返すことも煩雑である。また、理想的な特性をもつ
フィクスチャを製造することも困難である。さらに、同
一目的のフィクスチャを複数製造する場合には、均一の
特性で製造することも困難である。さらにまた、計測し
たい回路パラメータによっては原理的にフィクスチャの
製造が不可能な場合もある。
【００１０】一方、第二の方法においては、フィクスチ
ャの製造にかかわる上記のような問題を解消しやすい。
しかし、演算に時間がかかるためトータルの計測時間が
長くなる。
ャの製造にかかわる上記のような問題を解消しやすい。
しかし、演算に時間がかかるためトータルの計測時間が
長くなる。
【００１１】そこで、本発明は、被計測物の各種の回路
パラメータを簡便に求められるネットワークアナライザ
を提供することを課題とする。
パラメータを簡便に求められるネットワークアナライザ
を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題に鑑み、請求項
１に記載の発明は、被計測物の回路パラメータを演算す
るネットワークアナライザにおいて、被計測物の生デー
タを計測する生データ計測手段と、被計測物の測定の際
に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤差要因計測手
段と、回路パラメータと生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を示すパ
ラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演算手段
と、生データと測定系誤差要因とから測定系誤差要因除
去データを求める真値生データ演算手段と、測定系誤差
要因除去データとパラメータ変換要因とから回路パラメ
ータを求める被計測物演算手段と、を備えるように構成
される。
１に記載の発明は、被計測物の回路パラメータを演算す
るネットワークアナライザにおいて、被計測物の生デー
タを計測する生データ計測手段と、被計測物の測定の際
に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤差要因計測手
段と、回路パラメータと生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を示すパ
ラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演算手段
と、生データと測定系誤差要因とから測定系誤差要因除
去データを求める真値生データ演算手段と、測定系誤差
要因除去データとパラメータ変換要因とから回路パラメ
ータを求める被計測物演算手段と、を備えるように構成
される。
【００１３】なお、ここでいう生データとは、ネットワ
ークアナライザによって直接計測されるデータである。
生データは例えば、Ｓパラメータである。測定系誤差要
因とは、例えばブリッジの方向性に起因する誤差、周波
数トラッキングに起因する誤差、ソースマッチングに起
因する誤差などである。回路パラメータは例えばインピ
ーダンスである。パラメータ変換要因は例えば、Ｓパラ
メータとインピーダンスとの関係である。
ークアナライザによって直接計測されるデータである。
生データは例えば、Ｓパラメータである。測定系誤差要
因とは、例えばブリッジの方向性に起因する誤差、周波
数トラッキングに起因する誤差、ソースマッチングに起
因する誤差などである。回路パラメータは例えばインピ
ーダンスである。パラメータ変換要因は例えば、Ｓパラ
メータとインピーダンスとの関係である。
【００１４】生データ、測定系誤差要因、パラメータ変
換要因とから回路パラメータが求められる。よって、フ
ィクスチャを製造せずとも、フィクスチャを取り替えて
何度も計測しなくても、被計測物に回路パラメータを接
続したときの回路パラメータを演算できるため、簡便に
回路パラメータを演算できる。
換要因とから回路パラメータが求められる。よって、フ
ィクスチャを製造せずとも、フィクスチャを取り替えて
何度も計測しなくても、被計測物に回路パラメータを接
続したときの回路パラメータを演算できるため、簡便に
回路パラメータを演算できる。
【００１５】上記課題に鑑み、請求項２に記載の発明
は、請求項１に記載の発明であって、計測手段は生デー
タを測定系誤差要因除去データとみなすものである。
は、請求項１に記載の発明であって、計測手段は生デー
タを測定系誤差要因除去データとみなすものである。
【００１６】測定系誤差要因が無視できるような場合
は、被計測物の生データを計測し、そのまま測定系誤差
要因除去データとしてあつかってもよい。
は、被計測物の生データを計測し、そのまま測定系誤差
要因除去データとしてあつかってもよい。
【００１７】上記課題に鑑み、請求項３に記載の発明
は、被計測物の回路パラメータを演算するネットワーク
アナライザにおいて、被計測物の生データを計測する生
データ計測手段と、被計測物の測定の際に生ずる測定系
誤差要因を求める測定系誤差要因計測手段と、回路パラ
メータと生データから測定系誤差要因を取り除いた測定
系誤差要因除去データとの関係を示すパラメータ変換要
因を求めるパラメータ変換要因演算手段と、測定系誤差
要因とパラメータ変換要因とを合成した拡張誤差要因を
求める拡張誤差要因演算手段と、生データと拡張誤差要
因とから回路パラメータを求める被計測物演算手段と、
を備えるように構成される。
は、被計測物の回路パラメータを演算するネットワーク
アナライザにおいて、被計測物の生データを計測する生
データ計測手段と、被計測物の測定の際に生ずる測定系
誤差要因を求める測定系誤差要因計測手段と、回路パラ
メータと生データから測定系誤差要因を取り除いた測定
系誤差要因除去データとの関係を示すパラメータ変換要
因を求めるパラメータ変換要因演算手段と、測定系誤差
要因とパラメータ変換要因とを合成した拡張誤差要因を
求める拡張誤差要因演算手段と、生データと拡張誤差要
因とから回路パラメータを求める被計測物演算手段と、
を備えるように構成される。
【００１８】生データ、測定系誤差要因、パラメータ変
換要因とから回路パラメータが求められる。よって、フ
ィクスチャを製造せずとも、フィクスチャを取り替えて
何度も計測しなくても、被計測物にフィクスチャを接続
したときの回路パラメータを演算できるため、簡便に回
路パラメータを演算できる。
換要因とから回路パラメータが求められる。よって、フ
ィクスチャを製造せずとも、フィクスチャを取り替えて
何度も計測しなくても、被計測物にフィクスチャを接続
したときの回路パラメータを演算できるため、簡便に回
路パラメータを演算できる。
【００１９】しかも、拡張誤差要因演算手段が測定系誤
差要因、パラメータ変換要因とを合成して拡張誤差要因
を求めておくため、演算速度が向上する。
差要因、パラメータ変換要因とを合成して拡張誤差要因
を求めておくため、演算速度が向上する。
【００２０】上記課題に鑑み、請求項４に記載の発明
は、請求項１から３のいずれか１項に記載の発明であっ
て、パラメータ変換要因を記録するパラメータ変換要因
記録手段を備えるように構成される。
は、請求項１から３のいずれか１項に記載の発明であっ
て、パラメータ変換要因を記録するパラメータ変換要因
記録手段を備えるように構成される。
【００２１】請求項５に記載の発明は、請求項１から３
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
はインピーダンスである。
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
はインピーダンスである。
【００２２】請求項６に記載の発明は、請求項１から３
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は任意の規格化インピーダンスでのＳパラメータであ
る。
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は任意の規格化インピーダンスでのＳパラメータであ
る。
【００２３】請求項７に記載の発明は、請求項１から３
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は整合回路を付加したときのＳパラメータである。
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は整合回路を付加したときのＳパラメータである。
【００２４】請求項８に記載の発明は、請求項１から３
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は回路アドミタンスである。
のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメータ
は回路アドミタンスである。
【００２５】請求項９に記載の発明は、被計測物の回路
パラメータを演算するネットワーク解析方法において、
被計測物の生データを計測する生データ計測工程と、被
計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定
系誤差要因計測工程と、回路パラメータと生データから
測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データ
との関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ
変換要因演算工程と、生データと測定系誤差要因とから
測定系誤差要因除去データを求める真値生データ演算工
程と、測定系誤差要因除去データとパラメータ変換要因
とから回路パラメータを求める被計測物演算工程と、を
備えるように構成される。
パラメータを演算するネットワーク解析方法において、
被計測物の生データを計測する生データ計測工程と、被
計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定
系誤差要因計測工程と、回路パラメータと生データから
測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データ
との関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ
変換要因演算工程と、生データと測定系誤差要因とから
測定系誤差要因除去データを求める真値生データ演算工
程と、測定系誤差要因除去データとパラメータ変換要因
とから回路パラメータを求める被計測物演算工程と、を
備えるように構成される。
【００２６】請求項１０に記載の発明は、請求項９に記
載の発明であって、計測工程は生データを測定系誤差要
因除去データとみなすものである。
載の発明であって、計測工程は生データを測定系誤差要
因除去データとみなすものである。
【００２７】請求項１１に記載の発明は、被計測物の回
路パラメータを演算するネットワーク解析方法におい
て、被計測物の生データを計測する生データ計測工程
と、被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求め
る測定系誤差要因計測工程と、回路パラメータと生デー
タから測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去
データとの関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラ
メータ変換要因演算工程と、測定系誤差要因とパラメー
タ変換要因とを合成した拡張誤差要因を求める拡張誤差
要因演算工程と、生データと拡張誤差要因とから回路パ
ラメータを求める被計測物演算工程と、を備えるように
構成される。
路パラメータを演算するネットワーク解析方法におい
て、被計測物の生データを計測する生データ計測工程
と、被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求め
る測定系誤差要因計測工程と、回路パラメータと生デー
タから測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去
データとの関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラ
メータ変換要因演算工程と、測定系誤差要因とパラメー
タ変換要因とを合成した拡張誤差要因を求める拡張誤差
要因演算工程と、生データと拡張誤差要因とから回路パ
ラメータを求める被計測物演算工程と、を備えるように
構成される。
【００２８】請求項１２に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の発明であって、パラメータ
変換要因を記録するパラメータ変換要因記録工程を備え
るように構成される。
１１のいずれか一項に記載の発明であって、パラメータ
変換要因を記録するパラメータ変換要因記録工程を備え
るように構成される。
【００２９】請求項１３に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータはインピーダンスである。
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータはインピーダンスである。
【００３０】請求項１４に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは任意の規格化インピーダンスでのＳパラメータで
ある。
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは任意の規格化インピーダンスでのＳパラメータで
ある。
【００３１】請求項１５に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは整合回路を付加したときのＳパラメータである。
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは整合回路を付加したときのＳパラメータである。
【００３２】請求項１６に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは回路アドミタンスである。
１１のいずれか一項に記載の発明であって、回路パラメ
ータは回路アドミタンスである。
【００３３】請求項１７に記載の発明は、被計測物の回
路パラメータを演算するネットワーク解析処理をコンピ
ュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピ
ュータによって読み取り可能な記録媒体であって、被計
測物の生データを計測する生データ計測処理と、被計測
物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤
差要因計測処理と、回路パラメータと生データから測定
系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの
関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換
要因演算処理と、生データと測定系誤差要因とから測定
系誤差要因除去データを求める真値生データ演算処理
と、測定系誤差要因除去データとパラメータ変換要因と
から回路パラメータを求める被計測物演算処理と、を備
えた記録媒体である。
路パラメータを演算するネットワーク解析処理をコンピ
ュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピ
ュータによって読み取り可能な記録媒体であって、被計
測物の生データを計測する生データ計測処理と、被計測
物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤
差要因計測処理と、回路パラメータと生データから測定
系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの
関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換
要因演算処理と、生データと測定系誤差要因とから測定
系誤差要因除去データを求める真値生データ演算処理
と、測定系誤差要因除去データとパラメータ変換要因と
から回路パラメータを求める被計測物演算処理と、を備
えた記録媒体である。
【００３４】請求項１８に記載の発明は、請求項９に記
載の発明であって、計測処理は生データを測定系誤差要
因除去データとみなす記録媒体である。
載の発明であって、計測処理は生データを測定系誤差要
因除去データとみなす記録媒体である。
【００３５】請求項１９に記載の発明は、被計測物の回
路パラメータを演算するネットワーク解析処理をコンピ
ュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピ
ュータによって読み取り可能な記録媒体であって、被計
測物の生データを計測する生データ計測処理と、被計測
物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤
差要因計測処理と、回路パラメータと生データから測定
系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの
関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換
要因演算処理と、測定系誤差要因とパラメータ変換要因
とを合成した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算処
理と、生データと拡張誤差要因とから回路パラメータを
求める被計測物演算処理と、を備えた記録媒体である。
路パラメータを演算するネットワーク解析処理をコンピ
ュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピ
ュータによって読み取り可能な記録媒体であって、被計
測物の生データを計測する生データ計測処理と、被計測
物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測定系誤
差要因計測処理と、回路パラメータと生データから測定
系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの
関係を示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換
要因演算処理と、測定系誤差要因とパラメータ変換要因
とを合成した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算処
理と、生データと拡張誤差要因とから回路パラメータを
求める被計測物演算処理と、を備えた記録媒体である。
【００３６】請求項２０に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載のパラメータ変換要因を記録
するパラメータ変換要因記録処理を備えた記録媒体であ
る。
１１のいずれか一項に記載のパラメータ変換要因を記録
するパラメータ変換要因記録処理を備えた記録媒体であ
る。
【００３７】請求項２１に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータはインピー
ダンスである記録媒体である。
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータはインピー
ダンスである記録媒体である。
【００３８】請求項２２に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは任意の規
格化インピーダンスでのＳパラメータである記録媒体で
ある。
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは任意の規
格化インピーダンスでのＳパラメータである記録媒体で
ある。
【００３９】請求項２３に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは整合回路
を付加したときのＳパラメータである記録媒体である。
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは整合回路
を付加したときのＳパラメータである記録媒体である。
【００４０】請求項２４に記載の発明は、請求項８から
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは回路アド
ミタンスである記録媒体である。
１１のいずれか一項に記載の回路パラメータは回路アド
ミタンスである記録媒体である。
【００４１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００４２】第１の実施形態まず、本発明の第１の実施
の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を説明す
る。図１は、第１の実施の形態に係るネットワークアナ
ライザ１の構成を示したブロック図である。
の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を説明す
る。図１は、第１の実施の形態に係るネットワークアナ
ライザ１の構成を示したブロック図である。
【００４３】ネットワークアナライザ１は、計測器１
２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１４、
パラメータ変換要因演算部１５、真値生データ演算部１
６、被計測物演算部１８、パラメータ変換要因記録部１
９を備える。
２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１４、
パラメータ変換要因演算部１５、真値生データ演算部１
６、被計測物演算部１８、パラメータ変換要因記録部１
９を備える。
【００４４】計測部１２は被計測物２０と接続され、被
計測物２０からデータを取得する。生データ計測部１３
は、計測部１２による誤差を含んだ生データを計測す
る。測定系誤差要因計測部１４は、計測部１２による測
定系誤差を測定する。第１の実施形態では、生データは
Ｓパラメータ、測定系誤差はＥｄ：ブリッジの方向性に
起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤
差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差を想定して
いる。
計測物２０からデータを取得する。生データ計測部１３
は、計測部１２による誤差を含んだ生データを計測す
る。測定系誤差要因計測部１４は、計測部１２による測
定系誤差を測定する。第１の実施形態では、生データは
Ｓパラメータ、測定系誤差はＥｄ：ブリッジの方向性に
起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤
差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差を想定して
いる。
【００４５】Ｓパラメータに関するデータを取得する場
合の計測部１２は特開平１１−３８０５４号に記載のも
のを用いることができ、その構成を図２に示す。信号源
１２ａは信号を発するもので、一般に掃引発振器を用い
る。受信部１２ｂ、１２ｄは、受信信号をミキサで受け
て低周波に変換し、アナログ／デジタル変換（Ａ／Ｄ）
をし、直交検波を行って実数値Ｒと虚数値Ｘを求め１つ
の複素数として測定する。受信部１２ｃは信号源１２ａ
からの送信信号を測定する。これら３つの受信部１２
ｂ、ｃ、ｄは信号源１２ａから出力される周波数の信号
を検波するように同期されている。
合の計測部１２は特開平１１−３８０５４号に記載のも
のを用いることができ、その構成を図２に示す。信号源
１２ａは信号を発するもので、一般に掃引発振器を用い
る。受信部１２ｂ、１２ｄは、受信信号をミキサで受け
て低周波に変換し、アナログ／デジタル変換（Ａ／Ｄ）
をし、直交検波を行って実数値Ｒと虚数値Ｘを求め１つ
の複素数として測定する。受信部１２ｃは信号源１２ａ
からの送信信号を測定する。これら３つの受信部１２
ｂ、ｃ、ｄは信号源１２ａから出力される周波数の信号
を検波するように同期されている。
【００４６】パワースプリッタ１２ｅは信号源１２ａか
らの信号を分離するもので、一方の信号はＲＦスイッチ
１２ｆを経て被計測物２０に与え、他方の信号は受信部
１２ｃに与えている。ＲＦスイッチ１２ｆは信号源１２
ａからの出力信号を端子１２ｉから出力したり、端子１
２ｊから出力したりするためのものである。１２ｇと１
２ｈは端子１２ｉ又は端子１２ｊからの応答信号を取り
出すブリッジ若しくは方向性結合器である。
らの信号を分離するもので、一方の信号はＲＦスイッチ
１２ｆを経て被計測物２０に与え、他方の信号は受信部
１２ｃに与えている。ＲＦスイッチ１２ｆは信号源１２
ａからの出力信号を端子１２ｉから出力したり、端子１
２ｊから出力したりするためのものである。１２ｇと１
２ｈは端子１２ｉ又は端子１２ｊからの応答信号を取り
出すブリッジ若しくは方向性結合器である。
【００４７】真値生データ演算部１６は、生データから
測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データ
を求める。なお、第１の実施形態では、測定系誤差要因
除去データは、Ｓパラメータから測定系誤差要因Ｅｄ、
Ｅｒ、Ｅｓを取り除くことになる。
測定系誤差要因を取り除いた測定系誤差要因除去データ
を求める。なお、第１の実施形態では、測定系誤差要因
除去データは、Ｓパラメータから測定系誤差要因Ｅｄ、
Ｅｒ、Ｅｓを取り除くことになる。
【００４８】パラメータ変換要因演算部１５は、回路パ
ラメータと測定系誤差要因除去データとの関係を示すパ
ラメータ変換要因を求める。第１の実施形態では、回路
パラメータとしてインピーダンスＺを想定している。す
なわち、インピーダンスＺとＳパラメータ（Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓが除去されている）との関係を演算する。
ラメータと測定系誤差要因除去データとの関係を示すパ
ラメータ変換要因を求める。第１の実施形態では、回路
パラメータとしてインピーダンスＺを想定している。す
なわち、インピーダンスＺとＳパラメータ（Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓが除去されている）との関係を演算する。
【００４９】被計測物演算部１８は、測定系誤差要因除
去データとパラメータ変換要因とから回路パラメータを
求める。第１の実施形態では、Ｓパラメータ（Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓが除去されている）とパラメータ変換要因とか
らインピーダンスＺを求める。なお、この演算結果は不
図示の表示装置により表示される。
去データとパラメータ変換要因とから回路パラメータを
求める。第１の実施形態では、Ｓパラメータ（Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓが除去されている）とパラメータ変換要因とか
らインピーダンスＺを求める。なお、この演算結果は不
図示の表示装置により表示される。
【００５０】パラメータ変換要因記録部１９は、パラメ
ータ変換要因の演算のためのデータを記録するものであ
る。パラメータ変換要因記録部１９には、パラメータ変
換要因の演算のためのデータを入力できる。一般的に、
各種の回路パラメータ相互の変換のための式（例えば、
Ｓパラメータとインピーダンスとの変換の式）は周知で
あり、このような式が記録されている。
ータ変換要因の演算のためのデータを記録するものであ
る。パラメータ変換要因記録部１９には、パラメータ変
換要因の演算のためのデータを入力できる。一般的に、
各種の回路パラメータ相互の変換のための式（例えば、
Ｓパラメータとインピーダンスとの変換の式）は周知で
あり、このような式が記録されている。
【００５１】なお、上記の機能はプログラムでも実装可
能である。このプログラムはコンピュータが読み取り可
能なフレキシブルディスクまたはＣＤ−ＲＯＭに記録さ
れ、ネットワークアナライザ１の図示省略したメディア
読取装置により読み取られ、図示省略したハードディス
クにインストールされる。
能である。このプログラムはコンピュータが読み取り可
能なフレキシブルディスクまたはＣＤ−ＲＯＭに記録さ
れ、ネットワークアナライザ１の図示省略したメディア
読取装置により読み取られ、図示省略したハードディス
クにインストールされる。
【００５２】次に、本発明の第１の実施形態の動作を説
明する。図３はネットワークアナライザ１の動作手順を
示したフローチャ−トである。まず、計測部１２は被計
測物２０からデータを取得する。このデータから、生デ
ータ計測部１３が生データであるＳパラメータ（Ｂ／
Ａ）（図４左側参照）を計測し、測定系誤差要因計測部
１４が測定系誤差要因である、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを計測
する（Step１０）。
明する。図３はネットワークアナライザ１の動作手順を
示したフローチャ−トである。まず、計測部１２は被計
測物２０からデータを取得する。このデータから、生デ
ータ計測部１３が生データであるＳパラメータ（Ｂ／
Ａ）（図４左側参照）を計測し、測定系誤差要因計測部
１４が測定系誤差要因である、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを計測
する（Step１０）。
【００５３】測定系誤差要因であるＥｄ、Ｅｒ、Ｅｓの
計測法は、特開平１１−３８０５４号に記載があり、図
５を参照して説明する。図５（Ａ）はネットワーク・ア
ナライザで被計測物２０の反射特性を測定する測定系で
ある。信号源１２ａからの信号を被計測物２０に与え、
その反射波をブリッジ１２ｇ、ｈで取り出し受信部１２
ｂで測定する。
計測法は、特開平１１−３８０５４号に記載があり、図
５を参照して説明する。図５（Ａ）はネットワーク・ア
ナライザで被計測物２０の反射特性を測定する測定系で
ある。信号源１２ａからの信号を被計測物２０に与え、
その反射波をブリッジ１２ｇ、ｈで取り出し受信部１２
ｂで測定する。
【００５４】図５（Ｂ）にこの場合の測定誤差要因を示
す。つまり、測定系の方向性と周波数トラッキングとソ
ース・マッチに主に起因する誤差である。方向性の誤差
とは、被計測物２０に向かう入射信号と被計測物２０か
らの反射信号とをブリッジ１２ｇ、ｈで分離しなければ
ならないが、測定値Ｓ11ｍには順方向からのリーケー
ジ、つまり漏れ信号が含まれており、これによる誤差で
ある。周波数トラッキングによる誤差とは、測定系の周
波数レスポンスの誤差である。ソース・マッチによる誤
差とは、信号源側のインピーダンスと測定システム系の
インピーダンスの整合が取れていない場合に、被計測物
２０で反射した信号が信号源１２ａ側で再び反射して被
計測物２０に戻り、再反射する。この再反射による誤差
である。
す。つまり、測定系の方向性と周波数トラッキングとソ
ース・マッチに主に起因する誤差である。方向性の誤差
とは、被計測物２０に向かう入射信号と被計測物２０か
らの反射信号とをブリッジ１２ｇ、ｈで分離しなければ
ならないが、測定値Ｓ11ｍには順方向からのリーケー
ジ、つまり漏れ信号が含まれており、これによる誤差で
ある。周波数トラッキングによる誤差とは、測定系の周
波数レスポンスの誤差である。ソース・マッチによる誤
差とは、信号源側のインピーダンスと測定システム系の
インピーダンスの整合が取れていない場合に、被計測物
２０で反射した信号が信号源１２ａ側で再び反射して被
計測物２０に戻り、再反射する。この再反射による誤差
である。
【００５５】これらを含めて１ポートの反射特性測定の
誤差モデルは、図５（Ｃ）のようになる。ここでＳ11ｍ
は測定値、Ｓ11ａは真値、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓは誤差要因
である。この誤差モデルを、説明は省略するがシグナル
・フローグラフで解いてＳ11ｍを求めると、図５（Ｄ）
で表現できる。変形して真値Ｓ11ａを求めると、図５
（Ｅ）で表現できる。ここで未知数は、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅ
ｓの３つであるから、特性が既知の３つの標準デバイス
を用いればこれらの未知数を求めることができる。
誤差モデルは、図５（Ｃ）のようになる。ここでＳ11ｍ
は測定値、Ｓ11ａは真値、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓは誤差要因
である。この誤差モデルを、説明は省略するがシグナル
・フローグラフで解いてＳ11ｍを求めると、図５（Ｄ）
で表現できる。変形して真値Ｓ11ａを求めると、図５
（Ｅ）で表現できる。ここで未知数は、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅ
ｓの３つであるから、特性が既知の３つの標準デバイス
を用いればこれらの未知数を求めることができる。
【００５６】即ち、オープン（解放）、ショート（短
絡）及びロード（標準負荷Ｚｏ）の３つの状態をつく
り、それぞれのときのＳ11ｍの測定値ｆ(short)、ｆ(op
en)及びｆ(load)の値を記録しておき、その値を用いて
計算すると、被計測物２０の真の反射係数Ｓ11ａを求め
ることができる。これをキャリブレーションという。つ
まり、キャリブレーションとは測定系の持つ誤差を予め
測定しておき、演算でその影響を取り除くことである。
絡）及びロード（標準負荷Ｚｏ）の３つの状態をつく
り、それぞれのときのＳ11ｍの測定値ｆ(short)、ｆ(op
en)及びｆ(load)の値を記録しておき、その値を用いて
計算すると、被計測物２０の真の反射係数Ｓ11ａを求め
ることができる。これをキャリブレーションという。つ
まり、キャリブレーションとは測定系の持つ誤差を予め
測定しておき、演算でその影響を取り除くことである。
【００５７】なお、誤差要因が無視できるような場合、
すなわち、Ｅｄ＝１、Ｅｒ＝０、Ｅｓ＝１とみなせるよ
うな場合は、Ｓ11ｍ（測定値）をＳ11ａ（真の値）とみ
なすことも可能である。
すなわち、Ｅｄ＝１、Ｅｒ＝０、Ｅｓ＝１とみなせるよ
うな場合は、Ｓ11ｍ（測定値）をＳ11ａ（真の値）とみ
なすことも可能である。
【００５８】図３に戻り、生データ計測部１３が出力す
る生データであるＳパラメータ（Ｂ／Ａ）および測定系
誤差要因計測部１４が出力する測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓから真値生データ計測部１６は、真の反射係数
Ｓ１１ａを求める（Step１２）。これは、図５（Ｅ）の
式を用いて可能である。
る生データであるＳパラメータ（Ｂ／Ａ）および測定系
誤差要因計測部１４が出力する測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅ
ｒ、Ｅｓから真値生データ計測部１６は、真の反射係数
Ｓ１１ａを求める（Step１２）。これは、図５（Ｅ）の
式を用いて可能である。
【００５９】次に、パラメータ変換要因演算部１５が、
パラメータ変換要因経過後の入出力をパラメータ変換要
因経過前の入出力で表現する（Step１４）。この際、パ
ラメータ変換要因記録部１９からパラメータ変換要因を
読み出して用いる。図６に、この演算の一例を示す。パ
ラメータ変換要因記録部１９から読み出したシグナルフ
ローグラフに相当するデータをパラメータ変換要因演算
部１５が使用して、パラメータ変換要因を経過する前の
入出力である真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）で、経過
後の入出力であるインピーダンスＺ（Ｆ／Ｅ）を表現し
ている（図６参照）。
パラメータ変換要因経過後の入出力をパラメータ変換要
因経過前の入出力で表現する（Step１４）。この際、パ
ラメータ変換要因記録部１９からパラメータ変換要因を
読み出して用いる。図６に、この演算の一例を示す。パ
ラメータ変換要因記録部１９から読み出したシグナルフ
ローグラフに相当するデータをパラメータ変換要因演算
部１５が使用して、パラメータ変換要因を経過する前の
入出力である真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）で、経過
後の入出力であるインピーダンスＺ（Ｆ／Ｅ）を表現し
ている（図６参照）。
【００６０】図３に戻り、被計測物演算部１８が、パラ
メータ変換要因演算部１５の出力と真値生データ計測部
１６の出力する真の反射係数Ｓ１１ａとからパラメータ
変換要因に真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）がかかった
ときのパラメータ変換要因経過後の入出力を真の反射係
数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）で表現する（Step１６）。具体例
を図４右側および図６によって説明する。図６のよう
に、真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）（パラメータ変換
要因経過前）によりインピーダンスＺ（Ｆ／Ｅ）（パラ
メータ変換要因経過後）が表されている。Ｄ／Ｃが真の
反射係数Ｓ１１ａであることは図４から明らかである。
よって、真の反射係数Ｓ１１ａによりインピーダンスＺ
を求められる。
メータ変換要因演算部１５の出力と真値生データ計測部
１６の出力する真の反射係数Ｓ１１ａとからパラメータ
変換要因に真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）がかかった
ときのパラメータ変換要因経過後の入出力を真の反射係
数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）で表現する（Step１６）。具体例
を図４右側および図６によって説明する。図６のよう
に、真の反射係数Ｓ１１ａ（Ｄ／Ｃ）（パラメータ変換
要因経過前）によりインピーダンスＺ（Ｆ／Ｅ）（パラ
メータ変換要因経過後）が表されている。Ｄ／Ｃが真の
反射係数Ｓ１１ａであることは図４から明らかである。
よって、真の反射係数Ｓ１１ａによりインピーダンスＺ
を求められる。
【００６１】本発明の第１の実施形態によれば、計測部
１２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１４
にてＥｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、Ｓ１１ａを計測してしまえば、
Ｚ０を色々な値に変更したときのインピーダンスＺを求
められるため、簡便に回路パラメータを演算できる。
１２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１４
にてＥｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、Ｓ１１ａを計測してしまえば、
Ｚ０を色々な値に変更したときのインピーダンスＺを求
められるため、簡便に回路パラメータを演算できる。
【００６２】なお、第１の実施形態においては、回路パ
ラメータとしてインピーダンスＺを想定しているが、任
意の規格化インピーダンスでのＳパラメータ、整合回路
を付加したときのＳパラメータ、回路アドミタンスなど
であってもよい。生データであるＳパラメータから測定
系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを除去したものと、任意の
規格化インピーダンスでのＳパラメータ等との関係は周
知であるため、特に説明しない。また、生データとして
Ｓパラメータ（測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを含
む）を想定したが、これも他の回路パラメータ（インピ
ーダンスなど）でもよい。
ラメータとしてインピーダンスＺを想定しているが、任
意の規格化インピーダンスでのＳパラメータ、整合回路
を付加したときのＳパラメータ、回路アドミタンスなど
であってもよい。生データであるＳパラメータから測定
系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを除去したものと、任意の
規格化インピーダンスでのＳパラメータ等との関係は周
知であるため、特に説明しない。また、生データとして
Ｓパラメータ（測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを含
む）を想定したが、これも他の回路パラメータ（インピ
ーダンスなど）でもよい。
【００６３】このように、生データ、回路パラメータに
は色々なものがあるが、生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データと、回路パラメー
タとの関係は周知であり説明を省略する。
は色々なものがあるが、生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データと、回路パラメー
タとの関係は周知であり説明を省略する。
【００６４】第２の実施形態第２の実施形態において
は、ネットワークアナライザ１が、真値生データ演算部
１６のかわりに、拡張誤差要因演算部１７を備えるとい
う点で第１の実施形態と異なる。図７は、第２の実施の
形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブ
ロック図である。第１の実施形態と同様な部分は第１の
実施形態と同様な番号を付して説明を省略する。
は、ネットワークアナライザ１が、真値生データ演算部
１６のかわりに、拡張誤差要因演算部１７を備えるとい
う点で第１の実施形態と異なる。図７は、第２の実施の
形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブ
ロック図である。第１の実施形態と同様な部分は第１の
実施形態と同様な番号を付して説明を省略する。
【００６５】拡張誤差要因演算部１７は、測定系誤差要
因演算部１４により求められた測定系誤差要因とパラメ
ータ変換要因演算部１５により求められたパラメータ変
換要因とを合成した拡張誤差要因を演算する。すなわ
ち、測定系誤差要因とパラメータ変換要因とを合成した
ものを、新たな測定系誤差要因とするものである。
因演算部１４により求められた測定系誤差要因とパラメ
ータ変換要因演算部１５により求められたパラメータ変
換要因とを合成した拡張誤差要因を演算する。すなわ
ち、測定系誤差要因とパラメータ変換要因とを合成した
ものを、新たな測定系誤差要因とするものである。
【００６６】なお、上記の機能はプログラムでも実装可
能である。このプログラムはコンピュータが読み取り可
能なフレキシブルディスクまたはＣＤ−ＲＯＭに記録さ
れ、ネットワークアナライザ１の図示省略したメディア
読取装置により読み取られ、図示省略したハードディス
クにインストールされる。
能である。このプログラムはコンピュータが読み取り可
能なフレキシブルディスクまたはＣＤ−ＲＯＭに記録さ
れ、ネットワークアナライザ１の図示省略したメディア
読取装置により読み取られ、図示省略したハードディス
クにインストールされる。
【００６７】次に、第２の実施形態の動作を説明する。
図８はネットワークアナライザ１の動作手順を示したフ
ローチャ−トである。まず、計測部１２、生データ計測
部１３、測定系誤差要因計測部１４は第１の実施形態同
様に被計測物２０の生データ（Ｂ／Ａ）および測定系誤
差要因であるＥｄ、Ｅｒ、Ｅｓを計測し、（図９参照）
を計測する（Step１０）。
図８はネットワークアナライザ１の動作手順を示したフ
ローチャ−トである。まず、計測部１２、生データ計測
部１３、測定系誤差要因計測部１４は第１の実施形態同
様に被計測物２０の生データ（Ｂ／Ａ）および測定系誤
差要因であるＥｄ、Ｅｒ、Ｅｓを計測し、（図９参照）
を計測する（Step１０）。
【００６８】次に、拡張誤差要因演算部１７は、拡張誤
差要因とパラメータ変換要因とを合成したものを、新た
な誤差要因すなわち拡張誤差要因とする（Step１３）。
拡張誤差要因演算部１７の動作を図９を用いて説明す
る。
差要因とパラメータ変換要因とを合成したものを、新た
な誤差要因すなわち拡張誤差要因とする（Step１３）。
拡張誤差要因演算部１７の動作を図９を用いて説明す
る。
【００６９】測定系誤差要因と被計測物２０とは、図９
左側にあるように、誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓと反射係
数Ｓ１１ａの組み合わせで表現でき、図９中央の表現形
式を経て、図９右側にあるように、インピーダンスＺと
拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ” の組み合わせで
表現できる。拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”はＺ
０と測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓから求められるの
で、拡張誤差要因演算部１７は、拡張誤差要因Ｅｄ”、
Ｅｒ”、Ｅｓ”を求める。
左側にあるように、誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓと反射係
数Ｓ１１ａの組み合わせで表現でき、図９中央の表現形
式を経て、図９右側にあるように、インピーダンスＺと
拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ” の組み合わせで
表現できる。拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”はＺ
０と測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓから求められるの
で、拡張誤差要因演算部１７は、拡張誤差要因Ｅｄ”、
Ｅｒ”、Ｅｓ”を求める。
【００７０】最後に、図８に戻り、被計測物演算部１８
が、計測部１２と生データ計測部１３により計測された
生データ（Ｂ／Ａ）と、拡張誤差要因演算部１７により
演算された拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”から、
被計測物２０の回路パラメータ（第２の実施形態におい
てはインピーダンスＺ）を演算する（Step１８）。
が、計測部１２と生データ計測部１３により計測された
生データ（Ｂ／Ａ）と、拡張誤差要因演算部１７により
演算された拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”から、
被計測物２０の回路パラメータ（第２の実施形態におい
てはインピーダンスＺ）を演算する（Step１８）。
【００７１】図９において、入出力（Ｂ／Ａ）と拡張誤
差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”を用いて、インピーダン
スＺ（Ｆ／Ｅ）を求められる。
差要因Ｅｄ”、Ｅｒ”、Ｅｓ”を用いて、インピーダン
スＺ（Ｆ／Ｅ）を求められる。
【００７２】本発明の第２の実施形態によっても、計測
部１２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１
４にて入出力（Ｂ／Ａ）、測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、
Ｅｓを計測してしまえば、Ｚ０を色々な値に変更したと
きのインピーダンスＺを求めるために、フィクスチャを
製造せずとも、フィクスチャを取り替えて何度も計測し
なくてもよいため簡便に回路パラメータを演算できる。
部１２、生データ計測部１３、測定系誤差要因計測部１
４にて入出力（Ｂ／Ａ）、測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、
Ｅｓを計測してしまえば、Ｚ０を色々な値に変更したと
きのインピーダンスＺを求めるために、フィクスチャを
製造せずとも、フィクスチャを取り替えて何度も計測し
なくてもよいため簡便に回路パラメータを演算できる。
【００７３】しかも、予め拡張誤差要因Ｅｄ”、Ｅ
ｒ”、Ｅｓ”を求めておくため、演算を高速にできる。
ｒ”、Ｅｓ”を求めておくため、演算を高速にできる。
【００７４】なお、第２の実施形態においては、回路パ
ラメータとしてインピーダンスＺを想定しているが、任
意の規格化インピーダンスでのＳパラメータ、整合回路
を付加したときのＳパラメータ、回路アドミタンスなど
であってもよい。生データであるＳパラメータから測定
系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを除去したものと、任意の
規格化インピーダンスでのＳパラメータ等との関係は周
知であるため、特に説明しない。また、生データとして
Ｓパラメータ（測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを含
む）を想定したが、これも他の回路パラメータ（インピ
ーダンスなど）でもよい。
ラメータとしてインピーダンスＺを想定しているが、任
意の規格化インピーダンスでのＳパラメータ、整合回路
を付加したときのＳパラメータ、回路アドミタンスなど
であってもよい。生データであるＳパラメータから測定
系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを除去したものと、任意の
規格化インピーダンスでのＳパラメータ等との関係は周
知であるため、特に説明しない。また、生データとして
Ｓパラメータ（測定系誤差要因Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを含
む）を想定したが、これも他の回路パラメータ（インピ
ーダンスなど）でもよい。
【００７５】このように、生データ、回路パラメータに
は色々なものがあるが、生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データと、回路パラメー
タとの関係は周知であり説明を省略する。
は色々なものがあるが、生データから測定系誤差要因を
取り除いた測定系誤差要因除去データと、回路パラメー
タとの関係は周知であり説明を省略する。
【００７６】
【発明の効果】本発明によれば、フィクスチャを製造せ
ずとも、フィクスチャを取り替えて何度も計測しなくて
も、被計測物の回路パラメータを演算できるため、簡便
に回路パラメータを演算できる。
ずとも、フィクスチャを取り替えて何度も計測しなくて
も、被計測物の回路パラメータを演算できるため、簡便
に回路パラメータを演算できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るネットワーク
アナライザ１の構成を示したブロック図である。
アナライザ１の構成を示したブロック図である。
【図２】Ｓパラメータを計測する場合の計測部１２の構
成を示す回路図である。
成を示す回路図である。
【図３】ネットワークアナライザ１の動作手順を示した
フローチャ−トである。
フローチャ−トである。
【図４】被計測物２０を等価変換したシグナルフローグ
ラフである。
ラフである。
【図５】測定系誤差要因である、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓの計
測法を示す図である。
測法を示す図である。
【図６】パラメータ変換要因経過後の入出力をパラメー
タ変換要因経過前の入出力で表現する方法の説明図であ
る。
タ変換要因経過前の入出力で表現する方法の説明図であ
る。
【図７】第２の実施の形態に係るネットワークアナライ
ザ１の構成を示したブロック図である。
ザ１の構成を示したブロック図である。
【図８】ネットワークアナライザ１の動作手順を示した
フローチャ−トである。
フローチャ−トである。
【図９】被計測物２０を等価変換したシグナルフローグ
ラフである。
ラフである。
【図１０】従来の被計測物にフィクスチャを付加したと
きの回路パラメータを計測するときの構成を示すブロッ
ク図である。
きの回路パラメータを計測するときの構成を示すブロッ
ク図である。
【図１１】インピーダンスＺを求めるための式である。
【図１２】インピーダンスＺを求めるための式をシグナ
ルフローグラフで表現したものである。
ルフローグラフで表現したものである。
１ ネットワークアナライザ １２ 計測部 １３ 生データ計測部 １４ 測定系誤差要因演算部 １５ パラメータ変換要因演算部 １６ 真値生データ演算部 １７ 拡張誤差要因演算部 １８ 被計測物演算部 １９ パラメータ変換要因記録部 ２０ 被計測物
Claims (24)
- 【請求項１】被計測物の回路パラメータを演算するネッ
トワークアナライザにおいて、 被計測物の生データを計測する生データ計測手段と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測手段と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算手段と、 前記生データと前記測定系誤差要因とから前記測定系誤
差要因除去データを求める真値生データ演算手段と、 前記測定系誤差要因除去データと前記パラメータ変換要
因とから前記回路パラメータを求める被計測物演算手段
と、 を備えたネットワークアナライザ。 - 【請求項２】前記計測手段は前記生データを前記測定系
誤差要因除去データとみなす請求項１に記載のネットワ
ークアナライザ。 - 【請求項３】被計測物の回路パラメータを演算するネッ
トワークアナライザにおいて、 被計測物の生データを計測する生データ計測手段と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測手段と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算手段と、 前記測定系誤差要因と前記パラメータ変換要因とを合成
した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算手段と、 前記生データと前記拡張誤差要因とから前記回路パラメ
ータを求める被計測物演算手段と、 を備えたネットワークアナライザ。 - 【請求項４】前記パラメータ変換要因を記録するパラメ
ータ変換要因記録手段を備えた請求項１から３のいずれ
か１項に記載のネットワークアナライザ。 - 【請求項５】前記回路パラメータはインピーダンスであ
る請求項１から３のいずれか１項に記載のネットワーク
アナライザ。 - 【請求項６】前記回路パラメータは任意の規格化インピ
ーダンスでのＳパラメータである請求項１から３のいず
れか１項に記載のネットワークアナライザ。 - 【請求項７】前記回路パラメータは整合回路を付加した
ときのＳパラメータである請求項１から３のいずれか１
項に記載のネットワークアナライザ。 - 【請求項８】前記回路パラメータは回路アドミタンスで
ある請求項１から３のいずれか１項に記載のネットワー
クアナライザ。 - 【請求項９】被計測物の回路パラメータを演算するネッ
トワーク解析方法において、 被計測物の生データを計測する生データ計測工程と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測工程と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算工程と、 前記生データと前記測定系誤差要因とから前記測定系誤
差要因除去データを求める真値生データ演算工程と、 前記測定系誤差要因除去データと前記パラメータ変換要
因とから前記回路パラメータを求める被計測物演算工程
と、 を備えたネットワーク解析方法。 - 【請求項１０】前記計測工程は前記生データを前記測定
系誤差要因除去データとみなす請求項９に記載のネット
ワーク解析方法。 - 【請求項１１】被計測物の回路パラメータを演算するネ
ットワーク解析方法において、 被計測物の生データを計測する生データ計測工程と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測工程と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算工程と、 前記測定系誤差要因と前記パラメータ変換要因とを合成
した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算工程と、 前記生データと前記拡張誤差要因とから前記回路パラメ
ータを求める被計測物演算工程と、 を備えたネットワーク解析方法。 - 【請求項１２】前記パラメータ変換要因を記録するパラ
メータ変換要因記録工程を備えた請求項８から１１のい
ずれか一項に記載のネットワーク解析方法。 - 【請求項１３】前記回路パラメータはインピーダンスで
ある請求項８から１１のいずれか一項に記載のネットワ
ーク解析方法。 - 【請求項１４】前記回路パラメータは任意の規格化イン
ピーダンスでのＳパラメータである請求項８から１１の
いずれか一項に記載のネットワーク解析方法。 - 【請求項１５】前記回路パラメータは整合回路を付加し
たときのＳパラメータである請求項８から１１のいずれ
か一項に記載のネットワーク解析方法。 - 【請求項１６】前記回路パラメータは回路アドミタンス
である請求項８から１１のいずれか一項に記載のネット
ワーク解析方法。 - 【請求項１７】被計測物の回路パラメータを演算するネ
ットワーク解析処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可
能な記録媒体であって、 被計測物の生データを計測する生データ計測処理と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測処理と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算処理と、 前記生データと前記測定系誤差要因とから前記測定系誤
差要因除去データを求める真値生データ演算処理と、 前記測定系誤差要因除去データと前記パラメータ変換要
因とから前記回路パラメータを求める被計測物演算処理
と、 を備えた記録媒体。 - 【請求項１８】前記計測処理は前記生データを前記測定
系誤差要因除去データとみなす請求項９に記載の記録媒
体。 - 【請求項１９】被計測物の回路パラメータを演算するネ
ットワーク解析処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可
能な記録媒体であって、 被計測物の生データを計測する生データ計測処理と、 被計測物の測定の際に生ずる測定系誤差要因を求める測
定系誤差要因計測処理と、 前記回路パラメータと前記生データから前記測定系誤差
要因を取り除いた測定系誤差要因除去データとの関係を
示すパラメータ変換要因を求めるパラメータ変換要因演
算処理と、 前記測定系誤差要因と前記パラメータ変換要因とを合成
した拡張誤差要因を求める拡張誤差要因演算処理と、 前記生データと前記拡張誤差要因とから前記回路パラメ
ータを求める被計測物演算処理と、 を備えた記録媒体。 - 【請求項２０】前記パラメータ変換要因を記録するパラ
メータ変換要因記録処理を備えた請求項８から１１のい
ずれか一項に記載の記録媒体。 - 【請求項２１】前記回路パラメータはインピーダンスで
ある請求項８から１１のいずれか一項に記載の記録媒
体。 - 【請求項２２】前記回路パラメータは任意の規格化イン
ピーダンスでのＳパラメータである請求項８から１１の
いずれか一項に記載の記録媒体。 - 【請求項２３】前記回路パラメータは整合回路を付加し
たときのＳパラメータである請求項８から１１のいずれ
か一項に記載の記録媒体。 - 【請求項２４】前記回路パラメータは回路アドミタンス
である請求項８から１１のいずれか一項に記載の記録媒
体。
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2000
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