JP2000162257A - マルチポ―トデバイス解析装置及び解析方法 - Google Patents

マルチポ―トデバイス解析装置及び解析方法

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JP2000162257A
JP2000162257A JP11047696A JP4769699A JP2000162257A JP 2000162257 A JP2000162257 A JP 2000162257A JP 11047696 A JP11047696 A JP 11047696A JP 4769699 A JP4769699 A JP 4769699A JP 2000162257 A JP2000162257 A JP 2000162257A
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multiport
network analyzer
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Kiwa Nakayama
喜和 中山
Norihide Abiko
典秀 安彦
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Advantest Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response

Abstract

(57)【要約】 【課題】 3個以上の入出力端子を有したマルチポート
デバイスの特性を解析するためのマルチポートデバイス
解析装置。 【解決手段】 このマルチポートデバイス解析装置は、
一方のポートから試験信号を送出し、他方ののポートか
ら入力信号を受信するように構成され、被試験デバイス
の特性をベクトル値で解析するネットワークアナライザ
と、そのネットワークアナライザの上記ポートに接続さ
れ、内部のスイッチにより、ネットワークアナライザの
それらポートを3個以上のポートに変換するマルチポー
トテストセットとを有し、被試験マルチポートデバイス
をそのマルチポートテストセットに変換器を介さずに接
続して、そのデバイスの特性データをベクトル値で解析
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は3個以上の入出力端
子を有したマルチポートデバイスの特性を解析するため
のマルチポートデバイス解析装置および方法に関し、特
に平衡(バランス)入出力端子を有するマルチポートデ
バイスや入出力インピーダンスの異なるマルチポートデ
バイスを、既存の不平衡(アンバランス)2ポート型ネ
ットワークアナライザと不平衡3ポート以上のマルチポ
ートテストセットを用いて解析することができるマルチ
ポートデバイス解析装置および方法に関する。
【0002】
【従来の技術】各種通信システムに用いる通信装置や通
信部品の特性解析には、ネットワークアナライザを用い
ることが多い。ネットワークアナライザは通信システム
に用いている例えば高周波部品(被試験デバイス)等に
掃引周波数信号を与えて、その周波数応答を見ることに
より、その被試験デバイスの伝達関数や反射特性、ある
いは群遅延等の各種試験パラメータを得ている。
【0003】ネットワークアナライザは、通常1個の入
力ポートと1個の出力ポートの計2ポートで構成されて
おり、入力ポートから被試験デバイスに掃引周波数信号
(試験信号)を与え、出力ポートは被試験デバイスの応
答出力信号を受信する。ネットワークアナライザの入力
ポートと出力ポートは、スイッチ操作により切り換える
ことができるように構成されている場合が多い。そのよ
うなネットワークアナライザの概略構成例を図5のブロ
ック図により示す。
【0004】図5のネットワークアナライザの構成と動
作を簡単に説明する。ネットワークアナライザ10は、
2個の入出力ポートP1とP2を有し、それらがブリッ
ジ(または方向性結合器)11と12にそれぞれ接続さ
れている。ブリッジ11と12は信号分離回路として機
能する。ブリッジ11および12にはスイッチ13によ
り選択されたいずれか一方に、信号源15からの試験信
号が与えられ、選択された側のポートP1またはP2か
ら、被試験デバイスに試験信号が与えられるようにされ
る。信号源15からの試験信号は基準信号としてネット
ワークアナライザ内部にも与えられる。
【0005】すなわちこの基準信号とブリッジからの入
力信号は、それぞれの周波数変換器17、18、19に
与えられて、低周波数の信号に変換される。周波数変換
された入力信号と基準信号は、それぞれ対応するAD変
換器21、22、23によりデジタル信号に変換され
る。これらのデジタル信号は、デジタル信号処理プロセ
ッサ(DSP)25により信号処理されて、伝達関数、
スキャッタリングパラメータ、群遅延等のデータが求め
られる。これらの特性データはシステム全体の動作を統
括するCPU28の制御のもとに、表示器29により各
種のフォーマットで表示される。
【0006】ところで、被試験デバイスである通信部品
等には、2端子のみならず、3端子や4端子等の構成を
有するものがある(以下必要に応じて「マルチポートデ
バイス」という)。このようなマルチポートデバイス
を、2ポートのネットワークアナライザで特性解析する
には、図6(A)に示すように、被試験デバイス30の
端子のいずれかを特性インピーダンスで終端して測定を
行うことができる。
【0007】しかしこの構成では、さまざまな不都合を
伴うため、図6(B)に示すような、マルチポートテス
トセットを用いた構成が用いられる。マルチポートテス
トセットは、2ポートのネットワークアナライザとマル
チポートデバイスの間に備えられ、マルチポートデバイ
スの特性解析を正確かつ容易に行うことを目的としてい
る。このようなマルチポートテストセット20とネット
ワークアナライザ10、およびマルチポートデバイス3
0の接続関係は図6(B)のようになる。この例ではマ
ルチポートテストセット20は4個の入出力ポートQ1
〜Q4を有している。
【0008】上記のような高周波帯のネットワークアナ
ライザやマルチポートテストセットでは、各ポートは不
平衡(アンバランス)となっており、入出力インピーダ
ンスも50オーム(あるいは75オーム)の固定となっ
ている。また従来の被試験デバイスは、アンバランス且
つインピーダンス50オームの構成がほとんどであっ
た。
【0009】しかし半導体技術の進歩や通信システムの
複雑高度化にともない、最近のマルチポートデバイスに
は、平衡(バランス)出力構成でインピーダンス150
オームのような、従来の被試験デバイスとは、構成を異
にするものが現れている。そのようなマルチポートデバ
イス40の概略構成例を図7の回路図に示す。この例で
は、入力端子T1はアンバランス型でインピーダンスは
50オームとなっており、出力端子T2とT3間はバラ
ンス型でインピーダンスは150オームとなっている。
【0010】従来技術において、このようなバランス型
でインピーダンスの比較的高いマルチポートデバイス
を、アンバランス型でインピーダンスの低いネットワー
クアナライザやマルチポートテストセットにより試験す
るためには、図8のような構成により行っている。すな
わち、被試験デバイス40にバランス・アンバランス変
換器42を接続して、被試験デバイスのバランス出力を
アンバランスに変換している。変換器42の入力端子T
4とT5間はバランス型の150Ωになっており、被試
験デバイスの出力端子T2とT3にそれぞれ接続され
る。変換器42の出力端子T6はアンバランス型の50
Ωになっている。したがって、入力端子T1と出力端子
T6をネットワークアナライザに接続することにより被
試験デバイスの特性を求めている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】この変換器を用いた従
来の測定方法では、測定結果にはバランス・アンバラン
ス変換器42の特性が含まれることとなり、被試験デバ
イス40のみの真の測定値を得ることができない。ま
た、変換器42を使用しているため、例えば図8におけ
る構成では、被試験デバイスの入力端子T1と変換器の
出力端子T6、およびそれらの2端子間の特性は測定す
ることはできるが、それ以外の端子に関してはその特性
を知ることができない。
【0012】例えば、被試験デバイスのバランス出力の
各端子T2やT3の特性を得ることはできない。またバ
ランス・アンバランス変換器42は被試験デバイスの出
力インピーダンスをマルチポートテストセット20やネ
ットワークアナライザ10のインピーダンスに変換する
機能を有することが必要であるので、被試験デバイスの
インピーダンス値に応じて各種の変換器を用意する必要
が生じる。
【0013】したがって、本発明の目的は、従来の一般
的な被試験部品等と異なる入出力端子構造やインピーダ
ンスを有するマルチポートデバイスの被試験デバイスを
正確に測定することができるマルチポートデバイス解析
装置と方法を提供することにある。本発明の他の目的
は、バランス・アンバランス変換器を用いずに、バラン
ス出力を有する被試験マルチポートデバイスを測定する
ことができるマルチポートデバイス解析装置と方法を提
供することにある。
【0014】本発明のさらに他の目的は、アンバランス
入出力ポートを有するマルチポートテストセットやネッ
トワークアナライザを用いて、バランスポートを有する
マルチポートデバイスを測定することができるマルチポ
ートデバイス解析装置と方法を提供することにある。本
発明のさらに他の目的は、所定のインピーダンスに設定
された入出力ポートを有するマルチポートテストセット
やネットワークアナライザを用いて、そのインピーダン
スと異なるインピーダンスを有するマルチポートデバイ
スを測定することができるマルチポートデバイス解析装
置と方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明のマルチポートデ
バイス解析装置では、3個以上の端子を有するマルチポ
ートデバイスを試験するために、一方のポートから試験
信号を送出し、他方のポートから入力信号を受信するよ
うに構成され、被試験デバイスの特性をベクトル値で解
析するネットワークアナライザと、そのネットワークア
ナライザの上記ポートに接続され、内部のスイッチによ
り、ネットワークアナライザのそれらのポートを3個以
上のポートに変換するマルチポートテストセットとを有
し、被試験マルチポートデバイスをこのマルチポートテ
ストセットに直接的に変換器を介さずに接続して、その
デバイスの特性データをベクトル値で解析することを特
徴とする。
【0016】さらに本発明のマルチポートデバイス解析
装置では、そのネットワークアナライザとマルチポート
テストセットが接続された状態で且つ被試験マルチポー
トデバイスを接続するケーブルを含めた校正(キャリブ
レーション)を行い、それにより得られた誤差補正値を
ネットワークアナライザに記憶し、被試験マルチポート
デバイスをそのマルチポートテストセットに変換器を介
さずに接続して、そのデバイスの特性ベクトルデータを
求め、上記誤差補正値を適用してその特性ベクトルデー
タの誤差補正を実施して、そのデバイスの解析をする。
【0017】さらに本発明のマルチポートデバイス解析
装置では、被試験マルチポートデバイスの各端子におけ
る特性ベクトルデータを求め、その各端子のベクトルデ
ータを任意のインピーダンス値に対応するデータに変換
して、そのデバイスの解析をする。またその被試験デバ
イスの各アンバランス端子における特性ベクトルデータ
を求め、その各アンバランス端子のベクトルデータを任
意の2端子間のバランス端子データに変換して、そのデ
バイスの特性解析をする。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面を参照して
説明する。図1は本発明のマルチポートデバイス解析装
置により図7に示すようなマルチポートデバイスを測定
する際の概略構成例を示すブロック図である。この場合
において、ネットワークアナライザ10とマルチポート
テストセット50の各入出力ポートはアンバランス型で
あり、そのインピーダンスは例えば50オームであるも
のとする。それに対し、被試験部品であるマルチポート
デバイス40はアンバランス入力とバランス出力の形態
であり、出力インピーダンスは150Ωであるものとす
る。
【0019】図6(B)の例と同様に、本発明において
図1に示すように、2ポートP1、P2のネットワーク
アナライザにマルチポートテストセット50を接続し
て、3個以上の入出力ポートQ1〜Q4を構成する。被
試験マルチポートデバイス40は、マルチポートテスト
セット50の入出力ポートに直接的(変換器を介さず)
に接続され、この状態で各種データがネットワークアナ
ライザ10により求められる。マルチポートテストセッ
ト50は、この例では2個のスイッチを内蔵しており、
それぞれがネットワークアナライザ10からの制御信号
Sにより個別に制御される。また、ネットワークアナラ
イザの一方のポートは信号源出力ポートであり、他方の
ポートは信号入力ポートになっている。ネットワークア
ナライザは図5の構成例で示すように、この信号源出力
ポートと信号入力ポートとを逆に切り替えることができ
る。
【0020】被試験マルチポートデバイスの測定に先だ
って、測定システム全体としての校正(キャリブレーシ
ョン)をして誤差補正を行うことが望ましい。このため
には、例えば被試験デバイスに接続するケーブルの先端
にオープン、ショート、あるいは特性インピーダンスで
の終端等の設定をして、それぞれの状態で各スキャッタ
リング(S)パラメータのベクトル値を求め、その値を
誤差補正値としてネットワークアナライザ内のメモリ
(図示せず)に格納する。
【0021】次に被試験部品であるマルチポートデバイ
ス40を各ケーブルに接続する。被試験マルチポートデ
バイス40の入力端子T1にはマルチポートテストセッ
ト50のポートQ2を経てネットワークアナライザのポ
ートP1から入力信号が与えられる。被試験デバイス4
0のバランス出力端子T2はマルチポートテストセット
50のポートQ3を経て、ネットワークアナライザの入
力ポートP2に接続される。被試験デバイス40の他方
のバランス出力端子T3は、マルチポートテストセット
50により、所定のインピーダンス値である抵抗50オ
ームに終端される。
【0022】この状態でネットワークアナライザ10に
より、伝達関数や各スキャッタリング(S)パラメータ
が測定される。またスイッチSW2の切り替えにより、
バランス出力端子T2が終端抵抗50オームに接続さ
れ、バランス出力端子T3がマルチポートテストセット
のポートQ4を経て、ネットワークアナライザの入力ポ
ートP2に接続される。この状態でネットワークアナラ
イザ10により、伝達関数や各Sパラメータが測定され
る。
【0023】これらの測定値は絶対値のみならず位相を
含めたベクトル値として測定され、それらがメモリ(図
示せず)に記憶され、図5のDSP25あるいはCPU
28により信号処理される。先に求めた誤差補正値を用
いて、測定ベクトル値の補正が行われる。DSP等によ
る信号処理のうち、本発明に特有なものはインピーダン
ス変換処理とアンバランス・バランス変換処理である。
【0024】インピーダンス変換処理は、上記の構成に
より得られた測定値を異なるインピーダンス系での測定
値に変換する計算処理である。上記のようにネットワー
クアナライザ10とマルチポートテストセット50は、
50オーム系のインピーダンスで構成されており、被試
験デバイス40の出力インピーダンスは150Ωであ
る。したがって、上記構成で得られた測定値はインピー
ダンス不整合の状態で得られたものである。この測定値
をインピーダンスが整合していた場合、すなわちマルチ
ポートテストセットとネットワークアナライザのインピ
ーダンスが、150オームであったと仮定した場合の特
性測定値に変換する。この変換処理の結果はディスプレ
イ上に表示される。
【0025】アンバランス・バランス変換処理は、上記
の構成により得られた測定値を、バランス出力での測定
値に変換する計算処理である。上記のようにネットワー
クアナライザ10とマルチポートテストセット50の各
ポートはアンバランス型となっており、被試験デバイス
の出力はバランス型となっている。したがって、上記構
成で得られた測定値を、バランス型出力端子から得られ
るべき測定値、すなわち被試験マルチポートデバイス4
0の出力端子T2とT3との両端間で得られるべき測定
値に演算による変換処理を行う。この変換処理の結果は
ディスプレイ上に表示される。
【0026】図2は本発明のマルチポートデバイス解析
装置による測定プロセスを示すフローチャートである。
ステップ1ではネットワークアナライザ、マルチポート
テストセットおよび測定用ケーブル等を含めた測定シス
テム全体のキャリブレーションを行う。これにより得ら
れた誤差測定値は、ネットワークアナライザのメモリに
格納され、実際の測定データが得られた際にその測定デ
ータを補正する。ステップ2では被試験マルチポートデ
バイスを図1の構成により特性測定し、ベクトルデータ
を得る。代表的なベクトル測定データ例としては、Sパ
ラメータがあり、このデータをネットワークアナライザ
のメモリに格納し、上記誤差補正値を用いて誤差補正を
行う。
【0027】誤差補正された測定データは、ステップ3
において、インピーダンス変換処理が行われる。これに
より50オーム系のシステムで求めた測定データを、被
試験マルチポートデバイスのインピーダンスにマッチし
たデータに変換する。さらにステップ4において、アン
バランス・バランス変換処理が行われる。これにより被
試験デバイスの出力端子をアンバランスで接続して得ら
れた測定データを、本来の被試験マルチポートデバイス
のバランス端子間での出力特性データに変換する。イン
ピーダンス変換処理とアンバランス・バランス変換処理
の先行順はいずれでもよい。この変換処理により得られ
たデータをステップ5においてネットワークアナライザ
で表示する。
【0028】上述したインピーダンス変換処理とアンバ
ランス・バランス変換処理をより具体的に説明する。図
3および図4はこれらの変換処理の概念を示す回路図で
ある。図3において被試験マルチポートデバイス40a
にはポート数変換回路60やマッチング回路62が接続
された形となっているが、これらの付加回路は物理的な
ものではなく、変換演算の概念を示す仮想的回路であ
る。同様に図4において被試験マルチポートデバイス4
0bにはポート数変換回路60aと60bが接続された
形となっているが、これらの付加回路は物理的なもので
はなく、変換演算の概念を示す仮想的回路である。図4
の例は、被試験マルチポートデバイス40bの入力端子
と出力端子の双方ともにバランス型となっている場合を
示す。
【0029】インピーダンス変換処理の一例を次に示
す。上述の例のように、図3の被試験デバイス40aの
入力端子T1は50オームの不平衡、出力端子T2とT
3間は150Ωの平衡であり、それぞれの端子における
Sパラメータを50オーム不平衡のテストセット50と
ネットワークアナライザ10で測定する場合を想定す
る。この場合、その測定されたSパラメータを、出力端
子T2とT3のそれぞれのインピーダンスを75Ω不平
衡にしたときのSパラメータに変換する。その変換処理
をした場合、その出力端子T2とT3の両端子間のイン
ピダンスは、150Ωのバランスと等価になる。
【0030】一般に、あるnポート回路網について、規
格化インピーダンスがZ1、Z2、…、…、Znである
ときのSパラメータの行列をSとし、規格化インピーダ
ンスが、Z1”、Z2”、…、…、Zn”であるときの
Sパラメータの行列をS”とすると、S”は[数1]の
式によって計算される。
【0031】
【数1】
【0032】[数1]の式において、A、B、C及びD
は、[数2]のような行列であり、また、Iは単位行列
である。
【0033】
【数2】
【0034】したがって、上記の関係式において、測定
値としてのSパラメータを行列Sにあてはめ、変換前の
インピーダンスZ1、Z2、…、…、Znと変換後のイ
ンピーダンスZ1”、Z2”、…、…、Zn”を代入す
ると、インピーダンス変換後のSパラメータS”が得ら
れる。図3の例では、Z1、Z2、Z3のそれぞれを5
0オームとし、Z1”を50オーム、Z2”とZ3”を
それぞれ75オームとしてSパラメータS”を計算す
る。これにより、出力インピーダンス150オームにお
けるSパラメータが得られたことによる。以上が本発明
によるインピーダンス変換処理の一例である。
【0035】本発明によるバランス・アンバランス変換
処理の一例を以下に説明する。図3や図4に示すよう
に、被試験デバイス40aあるいは40bのバランス端
子をアンバランスに変換することは、仮想的なポート数
変換回路60,60a,60b、により、ポート数を変
換することに相当する。例えば図3の於ける被試験デバ
イス40aのポート数は3であり、これをポート数変換
回路60により、全体としてポート数を2に変換するこ
とになる。この場合、3ポートの被試験デバイス40a
のSパラメータの行列(上述の例ではこのときの規格化
インピーダンスはZ1=50オーム、Z2=75オー
ム、Z3=75オームである)は[数3]のようにあら
わせる。
【0036】
【数3】
【0037】このような3ポートの回路網を2ポートの
回路網にしたときのSパラメータ(上述の例ではこのと
きの規格化インピーダンスZ1=50オーム、Z2+Z
3=150オーム、)は[数4]のようになる。
【0038】
【数4】
【0039】[数4]の行列式におけるS11”、S1
2”、S21”、S22”はそれぞれ[数5]に示す数
式となる。
【0040】
【数5】
【0041】[数5]の各式を用いることにより、3ポ
ートの回路網が2ポートの回路網に変換される。したが
って、例えば図3において端子T1と端子T4間のSパ
ラメータを求めたことになる。上述したように、この場
合のポート数変換回路60は計算式を導くための仮想的
な回路であることに注意されたい。またここでは特に説
明しないが、マッチング回路62も仮想的なものであ
り、インピーダンスマッチングを計算上で行うための概
念を現している。
【0042】図4における例では、被試験マルチポート
デバイス40bは4ポート回路網となっており、そのた
めにポート数変換回路が入力側と出力側とにそれぞれ設
けられている。この場合のインピーダンス変換処理やバ
ランス・アンバランス変換処理は、数式がより複雑にな
ることを除き、上記の図3の例と基本的に同じである。
【0043】
【発明の効果】以上のように、本発明のマルチポートデ
バイス解析装置によれば、従来の一般的な被試験部品等
と異なる入出力端子構造やインピーダンスを有するマル
チポートの被試験デバイスを正確に測定することができ
る。また、従来のバランス・アンバランス変換器を用い
ずに、バランス出力を有する被試験マルチポートデバイ
スを測定することができる。さらに、アンバランス入出
力ポートを有するマルチポートテストセットやネットワ
ークアナライザを用いて、バランス端子を有するマルチ
ポートデバイスを測定することができる。
【0044】本発明のマルチポートデバイス解析装置に
よれば、所定のインピーダンスに設定された入出力ポー
トを有するマルチポートテストセットやネットワークア
ナライザを用いて、そのインピーダンスと異なるインピ
ーダンスを有するマルチポートデバイスを測定すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のマルチポートデバイス解析装置により
図7に示すようなマルチポートデバイスを測定する際の
概略構成例を示すブロック図である。
【図2】本発明のマルチボードデバイス解析装置による
測定プロセスを示すフローチャートである。
【図3】本発明によるインピーダンス変換やバランス・
アンバランス変換等の演算処理の概念を示す回路図であ
る。
【図4】本発明によるインピーダンス変換やバランス・
アンバランス変換等の演算処理の概念を示す回路図であ
る。
【図5】2ポート入出力を有する一般的なネットワーク
アナライザの概略構成例のブロック図である。
【図6】図6(A)はマルチポートデバイスを2ポート
のネットワークアナライザで測定するための概略構成を
示すブロック図である。図6(B)はマルチポートデバ
イスを測定するためのマルチポートテストセットと図5
のネットワークアナライザを組み合わせた場合の概略構
成を示すブロック図である。
【図7】本発明のマルチポートデバイス解析装置により
測定するマルチポートデバイスの構成例を示す回路図で
ある。
【図8】従来技術において、図7に示すマルチポートデ
バイスを変換器を用いて測定する場合の構成を示す回路
図である。
【符号の説明】
10 ネットワークアナライザ 11、12 ブリッジ 13 スイッチ(SW) 15 信号源 17、18、19 周波数変換器 21、22、23 アナログ/デジタル変換器(A/
D) 25 デジタル信号処理プロセッサ(DSP) 28 CPU 29 表示器(ディスプレイ) 30、40、 マルチポートデバイス(被測定デバイ
ス) 40a、40b マルチポートデバイス(被測定デバ
イス) 42 変換器 50 マルチポートテストセット 60、60a、60b ポート数変換回路 62 マッチング回路 P1、P2、Q1〜Q4、T1〜T6 端子(ポー
ト)

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 3個以上の端子を有するマルチポートデ
    バイスを試験するためのマルチポートデバイス解析装置
    において、 一方のポートから試験信号を送出し、他方のポートから
    入力信号を受信するように構成され、被試験デバイスの
    特性をベクトル値で解析するネットワークアナライザ
    と、 そのネットワークアナライザの上記ポートに接続され、
    内部のスイッチにより、ネットワークアナライザのそれ
    らポートを3個以上のポートに変換するマルチポートテ
    ストセットとを有し、 被試験マルチポートデバイスをそのマルチポートテスト
    セットに直接的に接続して、そのデバイスの特性データ
    をベクトル値で解析することを特徴とするマルチポート
    デバイス解析装置。
  2. 【請求項2】 上記ネットワークアナライザとマルチポ
    ートテストセットが接続された状態で且つ被試験マルチ
    ポートデバイスを接続するケーブルを含めたキャリブレ
    ーションを行い、それにより得られた誤差補正値をネッ
    トワークアナライザに記憶し、被試験マルチポートデバ
    イスをそのマルチポートテストセットに直接的に接続し
    て、そのデバイスの特性ベクトルデータを求め、上記誤
    差補正値を適用してその特性ベクトルデータの誤差補正
    を実施して、そのデバイスの解析をすることを特徴とす
    る請求項1のマルチポートデバイス解析装置。
  3. 【請求項3】 そのデバイスの各端子における特性のベ
    クトルデータを求め、その各端子のベクトルデータを任
    意のインピーダンス値に対応するデータに変換して、そ
    のデバイスの解析をすることを特徴とする請求項1に記
    載のマルチポートデバイス解析装置。
  4. 【請求項4】 そのデバイスの各アンバランス端子にお
    ける特性ベクトルデータを求め、その各アンバランス端
    子のベクトルデータを任意の2端子間のバランス端子デ
    ータに変換して、そのデバイスの解析をすることを特徴
    とする請求項1に記載のマルチポートデバイス解析装
    置。
  5. 【請求項5】 そのデバイスの各アンバランス端子にお
    ける特性のベクトルデータを求め、その各端子のベクト
    ルデータを任意のインピーダンス値に対応するデータに
    変換し、かつそのデバイスの各アンバランス端子におけ
    る特性ベクトルデータを、その各アンバランス端子のベ
    クトルデータを任意の2端子間のバランス端子データに
    変換して、そのデバイスの解析をすることを特徴とする
    請求項1に記載のマルチポートデバイス解析装置。
  6. 【請求項6】 3個以上の端子を有するマルチポートデ
    バイスを試験するためのマルチポートデバイス解析装置
    において、 一方のポートから試験信号を送出し、他方のポートから
    入力信号を受信するように構成され、被試験デバイスの
    特性をベクトル値で解析するネットワークアナライザ
    と、 そのネットワークアナライザの上記ポートに接続され、
    内部のスイッチにより、ネットワークアナライザのそれ
    らのポートを3個以上のポートに変換するマルチポート
    テストセットとを有し、 被試験マルチポートデバイスをそのマルチポートテスト
    セットに変換器を介さずに直接的に接続して、そのデバ
    イスの各端子における特性のベクトルデータを求め、そ
    の各端子のベクトルデータを任意のインピーダンス値に
    対応するデータに変換して、そのデバイスの解析をする
    ことを特徴とするマルチポートデバイス解析装置。
  7. 【請求項7】 3個以上の端子を有するマルチポートデ
    バイスを試験するためのマルチポートデバイス解析装置
    において、 一方のポートから試験信号を送出し、他方のポートから
    入力信号を受信するように構成され、被試験デバイスの
    特性をベクトル値で解析するネットワークアナライザ
    と、 そのネットワークアナライザの上記ポートに接続され、
    内部のスイッチにより、ネットワークアナライザのそれ
    らポートを3個以上のポートに変換するマルチポートテ
    ストセットとを有し、 被試験マルチポートデバイスをそのマルチポートテスト
    セットに変換器を介さずに直接的に接続して、そのデバ
    イスの各端子における特性ベクトルデータを求め、その
    各端子のベクトルデータを任意の2端子間のデータに変
    換して、そのデバイスの解析をすることを特徴とするマ
    ルチポートデバイス解析装置。
  8. 【請求項8】 3個以上の端子を有するマルチポートデ
    バイスを試験するための、以下のステップよりなるマル
    チポートデバイス解析方法:一方のポートから試験信号
    を送出し、他方のポートから入力信号を受信するように
    構成され、被試験デバイスの特性をベクトル値で解析す
    るネットワークアナライザを備え、 そのネットワークアナライザの上記ポートに接続され、
    内部のスイッチにより、ネットワークアナライザのそれ
    らポートを3個以上のポートに変換するマルチポートテ
    ストセットを備え、 そのネットワークアナライザとマルチポートテストセッ
    トを接続し且つ被試験マルチポートデバイスを接続する
    ケーブルをマルチポートテストセットに接続し、 所定の項目についてキャリブレーションを行い、それに
    より得られた誤差補正値をネットワークアナライザに記
    憶し、 被試験マルチポートデバイスをそのマルチポートテスト
    セットに上記接続ケーブルを通して直接的に接続して、
    そのデバイスの特性ベクトルデータを求め、 上記誤差補正値を適用してその特性ベクトルデータの誤
    差補正を実施して、そのデバイスの解析をする。
  9. 【請求項9】 そのデバイスの各端子に於ける特性のベ
    クトルデータを求め、その各端子のベクトルデータを任
    意のインピーダンス値に対応するデータに変換して、そ
    のデバイスの解析をするステップをさらに含む請求項8
    に記載のマルチポートデバイス解析方法。
  10. 【請求項10】 そのデバイスの各アンバランス端子に
    おける特性ベクトルデータを求め、その各アンバランス
    端子のベクトルデータを任意の2端子間のバランス端子
    データに変換して、そのデバイスの解析をするステップ
    を含む請求項8に記載のマルチポートデバイス解析方
    法。
  11. 【請求項11】 そのデバイスの各アンバランス端子に
    おける特性のベクトルデータを求め、その各端子のベク
    トルデータを任意のインピーダンス値に対応するデータ
    に変換し、かつそのデバイスの各アンバランス端子にお
    ける特性ベクトルデータを、その各アンバランス端子の
    ベクトルデータを任意の2端子間のバランス端子データ
    に変換して、そのデバイスの解析をするステップをさら
    に有する請求項8に記載のマルチポートデバイス解析方
    法。
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