CN1853109A - 误差因子获取器件、方法、程序和记录介质 - Google Patents

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Abstract

通过减少校准配件连接和分离的次数来校准DUT(被测器件)电路参数的测量系统是可能的。一种误差因子获取器件包括：第一校准器(100)，连接到端口(18，28)，并且具有对网络分析器的端口(18，28)实现开路、短路和标准负载或使端口(18，28)短路的第一状态实现单元(120)；以及第二校准器(200)，连接到第一校准器(100)和DUT 400，并且具有对端口(18，28)实现开路、短路和标准负载的第二状态实现单元(220)。第一校准器(100)包括将端口(18，28)连接到第一状态实现单元(120)或第二校准器(200)的第一连接单元(110a，110b)，同时第二校准器(200)包括将端口(18，28)连接到第二状态实现单元(220)或DUT 400的第二连接单元(210)。

Description

误差因子获取器件、方法、程序和记录介质
技术领域
本发明涉及对被测器件计算和测量电路参数的基础上对误差因子的测量。
背景技术
通常，对被测器件(DUT)中进行电路参数(诸如S参数)测量(例如，参见专利文献1(日本公开专利公报(Kokai)号.H11-38054))。现在参照图16对根据现有技术被测器件(DUT)的电路参数的测量方法进行描述。
信号从信号源130通过DUT 400传送到接收单元140。该信号由接收单元140接收。通过对由接收单元140所接收到的信号进行测量，就有可能获得DUT400的S参数和频率特征。
在该情形中，由于诸如信号源130和DUT 400等的测量系统之间的失谐，在测量时会产生测量系统误差。
测量系统误差包括，例如Ed：由电桥的方向性所致的误差，Er：由频率跟踪所致的误差，还有Es：由源匹配所致的误差。图17示出了与信号源130相关联的信号流图表。RF IN表示从信号源130输入到DUT 400等的信号，S11m表示基于从DUT 400等反射的信号而获得的DUT 400等的S参数，以及S11a表示没有测量系统误差的DUT 400等的真实S参数。
在该情形中，例如，根据专利文献1，就有可能修正误差。以该方式所作出的修正可称之为校准。对校准将给出简短的描述。校准配件连接到信号源300以实现三种类型的状态：开路、短路和负载(标准负载Z0)。在这些状态中，从校准配件所反射的信号由电桥所获得，以获取对应于三种状态类型的三种类型的S参数(S11m)。从三种类型的S参数中获得三种类型的变量Ed、Er和Es。
但是，根据上述的现有技术，需要将三种类型的校准配件：开路、短路和负载(标准负载Z0)连接到信号源130或从其分离。对于一种类型的校准配件，连接/分离的操作次数是两次。结果，三种类型的校准配件的连接/分离操作次数是六。在校准之后，这样就会产生一个问题：校准配件的连接/分离次数增加，从而导致复杂的操作。
考虑前述的问题，本发明一目的是以较少的校准配件的连接/分离次数来校准被测器件的电路参数的测量系统。
发明内容
根据本发明一方面，获取被测器件以及具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口和接收信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子的误差因子获取器件，包括：包含有对于网络分析器的输出端口和接收端口可实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；包含有对于网络分析器的输出端口和接收端口可实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置，其中：第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；并且第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元。
根据如此构建的本发明，提供了一种获取被测器件和网络分析器之间的误差因子的误差因子获取器件。网络分析器具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口。误差因子获取器件包括第一校准装置和第二校准装置。第一校准装置包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元，并且被连接到输出端口和接收端口。第二校准装置包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元，并且被连接到第一校准装置和被测器件。第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元。第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元。
根据本发明的误差因子获取器件，第一状态实现单元可包括：实现开路状态的开路校准工具；实现短路状态的短路校准工具；实现标准负载状态的标准负载校准工具；使输出端口和接收端口短路的短路单元；将开路校准工具、短路校准工具、标准负载工具和短路单元中任意一个连接到输出端口的输出端口连接单元；以及将开路校准工具、短路校准工具、标准负载工具和短路单元中任意一个连接到接收端口的接收端口连接单元。
根据本发明的误差因子获取器件，第二状态实现单元可包括：实现开路状态的开路校准工具；实现短路状态的短路校准工具；实现标准负载状态的标准负载校准工具；将开路校准工具、短路校准工具、和标准负载工具中任意一个连接到网络分析器的校准工具连接单元。
根据本发明的误差因子获取器件，被测器件的端口数量可能大于网络分析器的端口的数量，并且误差因子获取器件可包括将第一校准装置的一端口连接到第二校准装置的任意一端口的支路连接单元。
根据本发明的误差因子获取器件，被测器件可能包括晶片以及与该晶片相接触的晶片探针，并且可连接到第二校准装置。
本发明的另一方面是通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，该误差因子获取方法包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤，以及基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤。
本发明的另一方面是通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)被测器件包括一晶片和与该晶片相接触的晶片探针，并且被连接到第二校准装置，该误差因子获取方法包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤；以及基于第一误差因子、第二误差因子和晶片探针的误差因子对晶片测量预定参数的晶片测量步骤。
本发明的另一方面是通过计算机对使用误差因子获取器件而获得误差因子进行误差因子获取处理的程序指令，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，误差因子获取处理包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤。
本发明的另一方面是通过计算机对使用误差因子获取器件而获得误差因子进行误差因子获取处理的程序指令，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)被测器件包括一晶片和该晶片相接触的晶片探针，并且被连接到第二校准装置，该误差因子获取处理包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤；以及基于第一误差因子、第二误差因子和晶片探针的误差因子对晶片测量预定参数的晶片测量步骤。
本发明的另一方面是具有通过计算机对使用误差因子获取器件而获得误差因子进行误差因子获取处理的程序指令的计算机可读介质，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，该方面包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，误差因子获取处理包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤。
本发明的另一方面是具有通过计算机对使用误差因子获取器件而获得误差因子进行误差因子获取处理的程序指令的计算机可读介质，该误差因子获取器件获得被测器件和具有信号输出单元、输出来自于信号输出单元的信号的输出端口以及接收该信号的接收端口的网络分析器之间的误差因子，该方面包括：(i)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且被连接到输出端口和接收端口的第一校准装置；以及(ii)包括有对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且被连接到第一校准装置和被测器件的第二校准装置；其中，(iii)第一校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)第二校准装置包括将输出端口和接收端口连接到第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)被测器件包括一晶片和该晶片相接触的晶片探针，并且被连接到第二校准装置，该误差因子获取处理包括：基于对网络分析器连接到第一状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号、从第一状态实现单元反射回到输出端口的信号以及由接收端口所接收到的信号测量预定参数来获取网络分析器和第一校准装置之间第一误差因子的第一误差因子获取步骤；基于网络分析器连接到第二状态实现单元之后，从输出端口输出之前的信号以及从第二状态实现单元反射回到输出端口的信号来获取被测器件和第一校准装置之间第二误差因子的第二误差因子获取步骤；以及基于第一误差因子、第二误差因子和晶片探针的误差因子对晶片测量预定参数的晶片测量步骤。
附图说明
图1是示出使用根据本发明第一实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图。
图2是示出网络分析器1的配置图；
图3是示出第一状态实现单元120的配置图；
图4是示出第二状态实现单元220的配置图；
图5示出当第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到第二校准器200，第二连接单元210将端口202连接到DUT 400时信号流图表，其中图5(a)是当端口18为输出端口、端口28为接收端口时的信号流图表，而图5(b)是当端口18为接收端口、端口28为输出端口时的信号流图表；
图6是示出第一实施例操作的流程图；
图7示出显示误差因子Edf、Erf和Esf(图7(a))和误差因子Edr、Err和Esr(图7(b))的信号流图表；
图8示出显示误差因子Etf和ELf(图8(a))和误差因子Etr和ELr(图8(b))的信号流图表；
图9示出显示误差因子A11、A12、A21和A22(图9(a))和误差因子B11、B12、B21和B22(图9(b))的信号流图表；
图10是示出使用根据本发明第二实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图；
图11是示出根据本发明第二实施例的第一校准器100的内部配置图；
图12是示出使用根据本发明第三实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图；
图13是示出九端口测试组合500的内部配置图；
图14是示出使用根据本发明第四实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图；
图15示出当第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到第二校准器200，以及第二连接单元210将端口202连接到晶片探针420时信号流图表，其中图15(a)是当端口18为输出端口、端口28为接收端口时的信号流图表，而图5(b)是当端口18为接收端口、端口28为输出端口时的信号流图表；
图16是解释根据现有技术的被测器件(DUT)的电路参数的测量方法图；以及
图17是与根据现有技术与信号源130相关的信号流图表。
具体实施例
参照附图对本发明的实施例进行描述。
第一实施例
图1是示出使用根据本发明第一实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图。测量系统具备网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200、缆线300和DUT 400。第一校准器100和第二校准器200构成了误差因子获取器件。
图2示出网络分析器1的配置。网络分析器1具备信号源10、接收部件20、测量系统误差因子记录单元30、电路参数测量单元40、测量系统误差因子获取单元50以及接收端测量系统误差因子记录单元70。
信号源10具备信号输出单元12、开关13、电桥14a和14b、接收器(RS)16a、接收器(TS)16b以及端口18。
信号输出单元12输出预定频率的输入信号。要注意该预定频率是可变的。
开关13是用作选择从信号输出单元12中输出的输入信号是从端口18还是从端口28中输出。开关13包括端子13a、13b和13c。端子13a连接到端口18，端子13b连接到接收装置20，而端子13c连接到信号输出单元12。如果端子13a和端子13c相连接，即开关13切换到端子13a的一侧，则输入信号从端口18中输出。如果端子13a和端子13b相连接，即开关13切换到端子13b的一侧，则输入信号从端口28中输出。
如果输入信号从端口28中输出，来自端口18的信号将会输入到信号源10。在该情形上，电桥14b将信号提供给接收器(TS)16b。
电桥14a将从信号输出单元12输出的信号提供给接收器(RS)16a。电桥14b将作为从端口18输出的输入信号的反射信号提供给接收器(TS)16b，并且然后被反射回。要注意电桥14a和14b可是功率分配器。其它稍后将要描述的电桥可由功率分配器所代替。
接收器(RS)16a测量通过电桥14a所接收到的信号的S参数。接收器(TS)16b测量通过电桥14b所接收到的信号的S参数。
端口18用作为输出该输入信号的端子。
接收装置20包括电桥24a和24b，接收器(TR)26a、接收器(RR)26b和端口28。
如果输入信号是从端口18中输出的，则电桥24a将从端口28输入的信号提供给接收器(TR)26a。接收器(TR)26a测量所接收到的信号的S参数。端口28用作为对接收装置20接收信号的端子。
如果开关13切换到端子13b的一侧，则由信号输出单元12所输出的输入信号通过开关13被传送到接收装置20。电桥24b将输入信号提供给接收器(RR)26b。电桥24a将作为从端口28输出的输入信号的反射信号提供给接收器(TR)26a，并且然后被反射回。
如果输入信号从端口(输出端口)18中输出，则端口(接收端口)28通过DUT 400接收信号。如果输入信号从端口(输出端口)28中输出，则端口(接收端口)18通过DUT 400接收信号。
接收器(TR)26a测量通过电桥24a所接收到的信号的S参数。接收器(RR)26b测量通过电桥24b所接收到的输入信号的S参数。
测量系统误差因子记录单元30记录下网络分析器1的测量系统的误差因子。测量系统的误差因子包括第一误差因子和第二误差因子。第一误差因子是网络分析器1和第一校准器100之间的误差因子。第二误差因子是DUT 400和第一校准器100之间的误差因子。第二误差因子主要是由缆线300所致的。
电路参数测量单元40基于下述情形测量DUT 400的真实S参数(没有测量系统误差因子的影响)：
(1)当输入信号是从端口18中输出时由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所测量的与DUT 400相关的数据(S参数)，
(2)当输入信号是从端口28中输出时由接收器(RR)26b、接收器(TR)26a和接收器(TS)16a所测量的与DUT400相关的数据(S参数)，以及
(3)由测量系统误差因子记录单元30所记录的测量系统误差因子。
测量系统误差因子50获取单元基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所得的测量结果来获得测量系统的误差因子。
接收端测量系统误差因子获取单元70基于由接收器(RR)26b、接收器(TR)26a和接收器(TS)16b所得的测量结果来获得测量系统的误差因子。
第一校准器100包括端口102、104、106和108，第一连接单元110a和110b以及第一状态实现单元120。
端口102连接到端口18。端口104连接到端口28。端口106连接到第二校准器200的端口202。端口108连接到第二校准器200的端口202。
第一连接单元110a连接到端口102、106和第一状态实现单元120。第一连接单元110a将端口102连接到端口106或第一状态实现单元120。因此第一连接单元110a将端口18连接到第二校准器200或第一状态实现单元120。要注意端口18用作输出端口(当信号从端口18中输出时)或者接收端口(当信号从端口28中输出时)。
第一连接单元110b连接到端口104和108以及第一状态实现单元120。第一连接单元110b将端口104连接到端口108或第一状态实现单元120。因此第一连接单元110b将端口28连接到第二校准器200或第一状态实现单元120。要注意端口28用作为接收端口(当信号从端口18中输出时)或者输出端口(当信号从端口28中输出时)。
第一状态实现单元120对端口18和28，即对输出端口和接收端口实现第一状态。第一状态实现单元120的配置如图3所示。第一状态实现单元120包括开路校准工具122op和123op、短路校准工具122s和123s，标准负载校准工具122L和123L，短路电路单元124以及端口连接单元126和128。
校准工具都是在日本公开专利公报(Kokai)号.H11-38054中所描述的能够实现三类状态；开路、短路和负载(标准负载Z0)的众所周知的校准工具。
开路校准工具122op对端口18实现开路状态。开路校准工具123op对端口28实现开路状态。短路校准工具122s对端口18实现短路状态。短路校准工具123s对端口28实现短路状态。标准负载校准工具122L对端口18实现标准负载状态。标准负载校准工具123L对端口28实现标准负载状态。
短路单元124用于将端口18和端口28彼此连接。
即，第一状态包括端口18的开路状态、短路状态和标准负载状态，端口28的开路状态、短路状态和标准负载状态，以及端口18和端口28彼此相连的状态。
端口连接单元126将开路校准工具122op、短路校准工具122s、标准负载校准工具122L以及短路单元124中任意一个连接到第一连接单元110a。端口连接单元126是一类开关。
端口连接单元128将开路校准工具123op、短路校准工具123s、标准负载校准工具123L和短路单元124中的任何一个连接到第一连接单元110b。端口连接单元128是一类开关。
第二校准器200包括端口202和204、第二连接单元210和第二状态实现单元220。
端口202连接到端口106(108)。端口204连接到DUT 400的端口402。
第二连接单元210连接到端口202和204以及第二状态实现单元220。第二连接单元210将端口202连接到端口204或第二状态实现单元220。
结果，当端口202通过第一连接单元110a(110b)连接到端口18(28)时，第二连接单元210将端口18(28)连接到DUT 400或第二状态实现单元220。
第二状态实现单元220对端口18(28)，即输出端口或接收端口实现第二状态。第二状态实现单元220的配置如图4所示。第二状态实现单元220包括开路校准工具222op、短路校准工具222s、标准负载校准工具222L以及校准工具连接单元224。
校准工具都是在日本公开专利公报(Kokai)号.H11-38054中所描述的能够实现三类状态；开路、短路和负载(标准负载Z0)的众所周知的校准工具。
开路校准工具222op对端口18(28)实现开路状态。短路校准工具222s对端口18(28)实现短路状态。标准校准工具222L对端口18(28)实现标准负载状态。
即，第二状态意味着端口18或28的开路状态、短路状态和标准负载状态。
校准工具连接单元224将开路校准工具222op、短路校准工具222s和标准负载校准工具222L中的任何一个连接到第二连接单元210。校准工具连接单元224是一类开关。
缆线300将第一校准器100的端口106(108)和第二校准器200的端口202彼此相连。
DUT 400包括端口402和404。DUT 400是要经历测量的对象(被测器件)，而网络分析器1的目的是测量DUT 400的真实S参数。
对第一实施例的操作给出描述。
图5包括当第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到第二校准器200，第二连接单元210将端口202连接到DUT 400时的信号流图表，要注意图5(a)是当端口18为输出端口、端口28为接收端口时的信号流图表，而图5(b)是当端口18为接收端口、端口28为输出端口时的信号流图表。
测量系统的误差因子包括第一误差因子和第二误差因子。参照图5(a)，第一误差因子包括Edf、Erf、Esf、Etf和Elf。第二误差因子包括A11、A12、A21、A22、B11、B12、B21和B22。要注意第一误差因子的后缀f是“forward”的缩写，意味着输入信号是从端口18提供给DUT 400的。此外，Ed表示由电桥的方向性所致的误差，Er表示由反射跟踪(reflection tracking)所致的误差，Es表示由源匹配所致的误差，Et表示由传输轨迹所致的误差，而EL表示由负载匹配所致的误差。
参照图5(b)，第一误差因子包括Edr、Err、Esr、Etr和ELr。第二误差因子包括A11、A12、A21、A22、B11、B12、B21和B22。要注意第一误差因子的后缀r是“reverse”的缩写，意味着输入信号是从端口28提供给DUT 400的。
由于存在测量系统误差因子，通过端口18和28对DUT 400的S参数进行测量的结果并非DUT 400的准确S参数(S11、S12、S21和S22)。为了针对该问题，通过测量第一误差因子和第二误差因子来获得DUT 400的准确的S参数。
图6是示出第一实施例的操作的流程图。
首先网络分析器1和第一状态实现单元120彼此相连。即，使得第一连接单元110a将端口18连接到第一状态实现单元120，并使得第一连接单元110b将端口28连接到第一状态实现单元120。
于是获得了第一误差因子(S12)。首先从端口18输出一信号。端口连接单元126通过第一连接单元110a将开路校准工具122op、短路校准工具122s和标准负载校准工具122L依次连接到端口18。在该情形中，测量系统误差因子获取单元50基于由接收器(RS)16a和接收器(TS)16b所测量的值而获得如图7所示的误差因子Edf、Erf和Esf，并且将其写入到测量系统误差因子记录单元30。端口连接单元126通过第一连接单元110a将短路单元124连接到端口18，并且同时，端口连接单元128通过第一连接单元110b将短路单元124连接到端口28。在该情形中，测量系统误差因子获取单元50基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所测量出的值而获得如图8(a)所示的误差因子Etf和ELf，并且将其写入测量系统误差因子记录单元30。
然后从端口28中输出一信号。端口连接单元128通过第一连接单元110b将开路校准工具123op、短路校准工具123s和标准负载校准工具123L依次连接到端口28。在该情形中，接收端的测量系统误差因子获取单元70基于由接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所测量的值而获得如图7(b)所示的误差因子Edr和Err和Esr，并且将其写入测量系统误差因子记录单元30。随后端口连接单元126通过第一连接单元110a将短路单元124连接到端口18，并且同时，端口连接单元128通过第一连接单元110b将短路单元124连接到端口28。在该情形中，接收端的测量系统误差因子获取单元70基于由接收器(TR)26a、接收器(RR)26b和接收器(TS)16b所测量出的值而获得如图8(b)所示的误差因子Etr和ELr，并且将其写入测量系统误差因子记录单元30。
以下列方式获得第一误差因子：
然后将网络分析器1和第二校准器200相连(S14)。即，使得第一连接单元110a将端口18连接到第二校准器200，并使得第一连接单元110b将端口28连接到第二校准器200。还进一步将网络分析器1和第二状态实现单元220相连(S16)。即，使得第二连接单元210通过第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到第二状态实现单元220。
随后获得第二误差因子(S18)。首先从端口18中输出一信号。校准工具连接单元224通过第二连接单元210将开路校准工具222op、短路校准工具222s和标准负载校准工具222L依次连接到端口18。在该情形中，测量系统误差因子获取单元50基于由接收器(RS)16a和接收器(TS)16b所测量出的值而获得如图9(a)所示的误差因子A11、A12、A21和A22，并且将其写入测量系统误差因子记录单元30。
从端口28中输出一信号。校准工具连接单元224通过第二连接单元210将开路校准工具222op、短路校准工具222s和标准负载校准工具222L依次连接到端口28。在该情形中，接收端的测量系统误差因子获取单元70基于由接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所测量出的值而获得如图9(b)所示的误差因子B11、B12、B21和B22，并且将其写入测量系统误差因子记录单元30。
以下列方式获得第二误差因子。
然后网络分析器1和DUT 400彼此相连。即，使得第二连接单元210通过第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到DUT 400的端口402(404)。
从端口18或28中输出一信号。并且电路参数测量单元40基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b、接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所测量的值而对DUT 400的S参数进行实际地测量(S22)。
实际测量出的值会受到测量系统误差因子的影响。电路参数测量单元40读出在测量系统误差因子记录单元30中记录的测量系统误差因子，将测量系统误差因子的影响从DUT 400的S参数的实际测量出的值上去除，并且测量出DUT 400的真实S参数(S24)。
根据第一实施例，并非将校准工具和DUT 400依次连接到网络分析器1的端口18和28以及从其分离，可通过操作第一连接单元110a、110b、第二连接单元210和端口连接单元126、128和224来对网络分析器1进行简易地校准。
第二实施例
第二实施例与第一实施例不同在于，网络分析器和DUT 400的端口数量分别增加到四。
图10是示出使用根据本发明第二实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图。测量系统具备网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200、缆线300和DUT 400。第一校准器100和第二校准器200构成误差因子获取器件。在下面的部分中相同的元件用图1中相同的标号标记，并不再对其进行说明。
网络分析器1具备端口18、28、38和48。其内部配置近似于第一实施例中的配置。从某一端口中输出的信号可由另一端口接收到。例如，从端口18中输出的信号可由端口28、38和48中任何一个接收到。此外，任何端口包括电桥14a和14b以及接收器16a和16b所对应的端口。
第一校准器100的内部配置如图11所示。第一校准器100包括端口101、102。103、104、105、106、107和108，第一连接单元110a、110b、110c和110d，第一状态实现单元120a、120b、120c和120d，以及开关S1、S2、S3、S4、S11、S12、S13和S14。
端口102连接到端口18。端口104连接到端口28。端口101连接到端口38。端口103连接到端口48。端口105、106、107和108分别连接到第二校准器200的端口202。
第一连接单元110a将端口102连接到端口106，开关S11或第一状态实现单元120a。第一连接单元110b将端口104连接到端口108、开关S12或第一状态实现单元120b。第一连接单元110c将端口101连接到端口105、开关S13或第一状态实现单元120c。第一连接单元110d将端口103连接到端口107、开关S14或第一状态实现单元120d。
第一状态实现单元120a连接到第一连接单元110a和开关S1。第一状态实现单元120b连接到第一连接单元110b和开关S2。第一状态实现单元120c连接到第一连接单元110c和开关S3。第一状态实现单元120d连接到第一连接单元110d和开关S4。第一状态实现单元120a、120b、120c和120d的内部配置与根据第一实施例的配置相同。
开关S1、S2、S3和S4连接到开关S11、S12、S13和S14。导通开关S1、S2、S3和S4中任何一个。如果开关S1导通，则开关S12、S13和S14中的任何一个导通。如果开关S2导通，则开关S11、S13和S14中的任意一个导通。如果开关S3导通，则开关S11、S12和S14中的任意一个导通。如果开关S4导通，则开关S11、S12和S13中的任意一个导通。
第二校准器200、缆线300以及DUT 400与第一实施例中的相同。要注意DUT400包括四个端口。
将对第二实施例的操作进行描述。第二实施例的操作基本与第一实施例相同，并且参照图6中的流程图给出描述。
首先将网络分析器1和第一状态实现单元120a、120b、120c和120d相连(S10)。即，使得第一连接单元110a将端口18连接到第一状态实现单元120a，使得第一连接单元110b将端口28连接到第一状态实现单元120b，使得第一连接单元110c将端口38连接到第一状态实现单元120c，并且使得第一连接单元110d将端口48连接到第一状态实现单元120d。
然后获得第一误差因子(S12)。该步骤基本与第一实施例相同。即，从端口18、28、38和48中分别输出信号。第一状态实现单元120a、120b、120c和120d的开路校准工具、短路校准工具以及标准负载校准工具依次连接到端口18、28、38和48。此外，端口18通过第一连接单元110a、第一状态实现单元120a、开关S1、开关S12和第一连接单元110b而连接到端口28。类似地，端口18连接到端口38和48，端口28连接到端口38和48，端口38连接到端口48。然后基于各个情形下的接收器所测量的值而获得第一误差因子。
然后将网络分析器1和第二校准器200相连(S14)。即，使得第一连接单元110a将端口18连接到第二校准器200，使得第一连接单元110b将端口28连接到第二校准器200，使得第一连接单元110c将端口38连接到第二校准器200，并且使得第一连接单元110d将端口48连接到第二校准器200。
进而将网络分析器1和第二状态实现单元220相连(S16)。即，使得第二连接单元210通过第一连接单元110a、110b、110c和110d将端口18、28、38和48分别连接到第二状态实现单元220。
然后获得第二误差因子(S18)。该步骤与第一实施例基本相同。即，从端口18、28、38和48中分别输出信号。第二状态实现单元220的开路校准工具、短路校准工具以及标准负载校准工具依次连接到端口18、28、38和48。然后基于各个情形下的接收器所测量的值而获得第二误差因子。
然后将网络分析器1和DUT 400相连(S20)。即，使得第二连接单元210分别通过第一连接单元110a、110b、110c和110d将端口18、28、38和48连接到DUT 400的各个端口上。
在该情形中，从端口18、28、38和48中任意一个输出信号，并且电路参数测量单元40基于接收器所测量的值来实际测量DUT 400的S参数(S22)。
实际测量的值受到测量系统的误差因子的影响。电路参数测量单元40读取在测量系统误差因子记录单元30中记录的测量系统误差因子，将测量系统误差因子的影响从实际测量的DUT400的S参数中去除，并且测量DUT 400的真实S参数(S24)。
根据第二实施例，即便是网络分析器1和DUT 400的数量分别增加到四，还是可以提供与第一实施例相同的效果。
第三实施例
根据第三实施例，DUT 400端口的数量(九)大于网络分析器1的端口数量(四)，并且第三实施例与第二实施例不同在于误差因子获取器件还具备九端口测试组(支路连接装置)500。
图12是示出使用根据本发明第三实施例的误差因子获取器件的测量系统的配置图。测量系统具备网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200、缆线300、DUT 400以及九端口测试组500。第一校准器100和第二校准器200构成误差因子获取器件。在下面的部分中，类似的元件用第二实施例中相同的标号表示，并且不再详细地描述。
网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200、缆线300以及DUT 400与第二实施例中的相同。
九端口测试组(支路连接装置)500包括端口502、504、506、508、512、514、516、518、520、522、524、526和528。端口502、504、506和508分别连接到端口106、108、105和107。端口512、514、516、518、520、522、524、526和528分别连接到端口202。
九端口测试组500的内部配置如图13所示。端口502要连接端口512或514。端口504要连接端口514或516。要注意当端口502连接到端口514时，则端口514要连接到端口516。端口506要连接到端口518、520或522。端口508要连接到端口524、526或528。在该方式中，第一校准器100的端口106、108、105和107分别连接到第二校准器200的端口202中的任何一个。
第三实施例的操作近似于第二实施例。但是，网络分析器1的端口18、28、38和48通过九端口测试组500连接到第二校准器200中的任何一个。
根据第三实施例，即便DUT 400的端口数量(九)大于网络分析器1的端口数量(四)，但还是提供了与第一实施例相同的效果。要注意即便是DUT 400的端口数量进一步增加，通过使用类似于九端口测试组500的测试头可取得相同效果。
第四实施例
第四实施例使用晶片410和晶片探针420来代替根据第一实施例的DUT 400。
图14是示出使用本发明第四实施例的误差因子获取器件的测量系统配置的图。测量系统具备网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200、缆线300、晶片410、以及晶片探针420。第一校准器100和第二校准器200构成了误差因子获取器件。要注意网络分析器1、第一校准器100、第二校准器200和缆线300是与第一实施例中的相同。
晶片410是要经过网络分析器1测量的对象。晶片探针420与晶片410相接触，并且通过端口402分别连接到各个第二校准器200。
图15示出当第一连接单元110a(110b)将端口18(28)连接到第二校准器200，以及第二连接单元210将端口202连接到晶片探针420时的信号流图表。要注意图15(a)是当端口18为输出端口、端口28为接收端口时的信号流图表，而图15(b)是当端口18为接收端口、端口28为输出端口时的信号流图表。
虽然图15所示的信号流图表几乎与第一实施例中的(参照图5)相同，但是不同点在于又添加了晶片探针420的误差因子P11、P12、P21和P22。晶片探针420是精密地生产出的，并且在电特征上具有细微的个体差异。因此，如果晶片探针420的误差因子P11、P12、P21和P22都预先记录在测量系统误差因子记录单元30中时，就有可能从DUT 400的实际测量S参数上将误差因子P11、P12、P21和P22的影响去除，藉此测量出DUT 400的真实S参数。
第四实施例的操作几乎与第一实施例的(参照图6)相同。要注意在测量系统误差因子记录单元30中记录的测量系统误差因子包括晶片探针420的误差因子P11、P12、P21和P22。结果，电路参数测量单元40读取在测量系统误差因子记录单元30中记录的测量系统误差因子(第一误差因子、第二误差因子以及误差因子P11、P12、P21和P22)，将测量系统误差因子的影响从DUT 400的实际测量S参数中去除，藉此测量DUT 400的真实S参数(S24)。
此外，还可以下面的方式来实现上述的实施例。即，计算机具备CPU、硬盘、以及介质(诸如floppy disk(注册商标)以及CD-ROM)阅读器，并且使得媒体阅读器读取记录了实现上述各个部分的程序的介质(诸如测量系统误差因子记录单元30、电路参数测量单元40、测量系统误差因子获取单元50以及接收端测量系统误差因子记录单元70)，藉此将程序安装在硬盘上。该方法也可以实现上述的功能。

Claims (11)

1.一种获取被测器件和网络分析器之间误差因子的误差因子获取器件，所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：
第一校准装置，包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元，并且连接到所述输出端口和接收端口；以及
第二校准装置，包括对网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元，并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件，其中：
所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；以及
所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或所述被测器件的第二连接单元。
2.如权利要求1所述的误差因子获取器件，其特征在于：
所述第一状态实现单元包括：
实现开路状态的开路校准工具；
实现短路状态的短路校准工具；
实现标准负载状态的标准负载校准工具；
使所述输出端口和接收端口短路的短路单元；
将所述开路校准工具、所述短路校准工具、所述标准负载校准工具以及所述短路单元中的任何一个连接到所述输出端口的输出端口连接单元；以及
将所述开路校准工具、所述短路校准工具、所述标准负载校准工具以及所述短路单元中的任何一个连接到所述接收端口的接收端口连接单元。
3.如权利要求1所述的误差因子获取器件，其特征在于：
所述第二状态实现单元包括：
实现开路状态的开路校准工具；
实现短路状态的短路校准工具；
实现标准负载状态的标准负载校准工具；以及
将所述开路校准工具、所述短路校准工具以及所述标准负载校准工具中的任一个连接到所述网络分析器的校准工具连接单元。
4.如权利要求1到3任意一项所述的误差因子获取器件，其特征在于，所述被测器件的端口数量大于所述网络分析器的端口数量；所述误差因子获取器件包括将所述第一校准装置的一端口连接到所述第二校准装置的任一个端口的支路连接装置。
5.如权利要求1到4任意一项所述的误差因子获取器件，其特征在于，所述被测器件包括晶片和与晶片相接触的晶片探针，并且连接到所述第二校准装置。
6.一种通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和所述接收端口；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到第所述一校准装置和所述被测器件；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；并且(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，所述误差因子获取方法包括：
第一误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；以及
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子。
7.一种通过使用误差因子获取器件来获得误差因子的误差因子获取方法，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和接收端口；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元；以及(v)所述被测器件包括一晶片和与所述晶片相接触的晶片探针，并且被连接到第二校准装置，所述误差因子获取方法包括：
第一误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回所述输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回所述输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子；以及
晶片测量步骤，基于所述第一误差因子、第二误差因子以及所述晶片探针的误差因子来对晶片测量预定的参数。
8.一种通过计算机执行使用误差因子获取器件获取误差因子的误差因子获取过程的指令程序，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和接收端口；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，所述误差因子获取过程包括：
第一误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回所述输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；以及
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回所述输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子。
9.一种通过计算机执行使用误差因子获取器件获取误差因子的误差因子获取过程的指令程序，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和接收端口；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或是第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)所述被测器件包括一晶片和与所述晶片相接触的晶片探针，并且被连接到所述第二校准装置，所述误差因子获取过程包括：
第一误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回所述输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回所述输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子；以及
晶片测量步骤，基于第一误差因子、第二误差因子和晶片探针的误差因子，对晶片测量预定参数。
10.一种具有通过计算机执行使用误差因子获取器件获取误差因子的误差因子获取过程的指令程序的计算机可读介质，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和接收端口；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件的第二校准装置；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；以及(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，所述误差因子获取过程包括：
第一误差因子获取步骤，基于在网络分析器一连接到所述第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回所述输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；以及
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回所述输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子。
11.一种具有通过计算机执行使用误差因子获取器件获取误差因子的误差因子获取过程的指令程序的计算机可读介质，所述误差因子获取器件获取被测器件和网络分析器之间的误差因子，其中所述网络分析器具有信号输出单元、输出所述信号输出单元所提供信号的输出端口、以及接收所述信号的接收端口，所述误差因子获取器件包括：(i)第一校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第一状态的第一状态实现单元、并且连接到所述输出端口和接收端口第一校准装置；以及(ii)第二校准装置，包括对所述网络分析器的输出端口和接收端口实现第二状态的第二状态实现单元、并且连接到所述第一校准装置和所述被测器件的第二校准装置；其中：(iii)所述第一校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第一状态实现单元或所述第二校准装置的第一连接单元；(iv)所述第二校准装置包括将所述输出端口和接收端口连接到所述第二状态实现单元或被测器件的第二连接单元，以及(v)所述被测器件包括一晶片和与所述晶片相接触的晶片探针，并且连接到所述第二校准装置，所述误差因子获取过程包括：
第一误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第一状态实现单元时对从所述输出端口输出之前的信号、从所述第一状态实现单元反射回所述输出端口的信号、以及由所述接收端口接收到的信号所测量的预定参数，来获取所述网络分析器和所述第一校准装置之间的第一误差因子；
第二误差因子获取步骤，基于在所述网络分析器一连接到所述第二状态实现单元时从所述输出端口输出之前的信号以及从所述第二状态实现单元反射回到所述输出端口的信号，来获取所述被测器件和所述第一校准装置之间的第二误差因子；以及
晶片测量步骤，基于第一误差因子、第二误差因子和晶片探针的误差因子，对晶片测量预定参数。
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