JP4188396B2 - 誤差要因判定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたスイッチ分岐信号源のキャリブレーションに関する。

従来より、被測定物（ＤＵＴ：Device
Under Test）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１を参照）。

具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。

このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。

この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。

なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２を参照）。

このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用することができる。なお、スイッチ分岐信号源とは、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたものである。このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用した場合、複数のポートの各々について、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現し、さらに必要があればパワーメータも接続することになる。

ここで、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓの測定を被測定物の回路パラメータを測定する度に行うとすれば、煩雑である。そこで、ある時に測定したＥｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを記録しておき、被測定物の回路パラメータを測定する度に、記録しておいたＥｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを用いて補正を行うことが要望されている。

特開平１１−３８０５４号公報 国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット

しかしながら、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを測定した時点から、被測定物の回路パラメータを測定する時点までの間に、測定系の経時変化および故障などが生じる可能性がある。測定系の経時変化および故障などにより、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓが測定した時点から変化することがある。この場合、記録しておいたＥｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを用いて補正を行っても、正確な補正を行えない。

被測定物の回路パラメータを測定する時点で、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓが、測定した時点から変化しているか否かは、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを実際に測定すれば判明する。しかし、この場合は、Ｅｄ、Ｅｒ１、Ｅｒ２およびＥｓを実際に測定する煩雑さを回避することができない。

そこで、本発明は、スイッチ分岐信号源などの信号生成システムのキャリブレーションを簡易に行うことを課題とする。

本発明にかかる誤差要因判定装置は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録手段と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出手段と、導出された前記反射係数と、前記反射係数の真値とに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定手段とを備えるように構成される。

上記のように構成された誤差要因判定装置によれば、誤差要因記録手段が、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する。反射係数導出手段が、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記出力端子の反射係数を導出する。真偽判定手段が、導出された前記反射係数と、前記反射係数の真値とに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する。

本発明にかかる誤差要因判定装置は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録手段と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出手段と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定手段と、を備え、前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものであるように構成される。

上記のように構成された誤差要因判定装置によれば、誤差要因記録手段が、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する。反射係数導出手段が、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する。真偽判定手段が、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する。なお、前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである。

本発明にかかる誤差要因判定装置は、信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録手段と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出手段と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定手段とを備えるように構成される。

上記のように構成された誤差要因判定装置によれば、誤差要因記録手段が、信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する。反射係数導出手段が、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について前記出力端子の反射係数を導出する。真偽判定手段が、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記信号の測定結果が、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果とを有するようにしてもよい。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記出力端子に校正用具が接続された状態で前記信号が測定され、前記校正用具は、開放、短絡、標準負荷および任意の負荷のうちのいずれかの状態を実現するものであるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記信号生成システムが、前記信号を増幅する増幅器を有し、前記誤差要因判定装置が、前記増幅器の増幅率を記録する増幅率記録手段と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記信号のパワーとに基づいて前記増幅率を導出する増幅率導出手段と、記録された前記増幅率と、導出された前記増幅率とに基づき、記録された前記増幅率の真偽を判定する増幅率真偽判定手段とを備えるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記真偽判定手段が、記録された前記誤差要因の真偽の判定結果に基づき、前記誤差要因の測定の勧告または前記信号生成システムの故障の報告を行うようにしてもよい。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記複数の出力端子が同じ型式であり、前記複数の出力端子が無接続状態で前記信号が測定されるようにしてもよい。

なお、本発明にかかる誤差要因判定装置は、前記複数の出力端子に同じ校正用具が接続された状態で前記信号が測定され、前記校正用具は、開放、短絡、標準負荷および任意の負荷のうちのいずれかの状態を実現するものであるようにしてもよい。

本発明にかかる出力補正装置は、本発明にかかる誤差要因判定装置と、前記真偽判定手段により真であると判定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構成される。

本発明にかかる反射係数測定装置は、本発明にかかる誤差要因判定装置と、前記出力端子に被測定物が接続された状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記真偽判定手段により真であると判定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録工程と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録工程により記録された前記誤差要因とに基づき、前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出工程と、導出された前記反射係数と、前記反射係数の真値とに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定工程とを備えた誤差要因判定方法である。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録工程と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録工程により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出工程と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定工程と、を備え、前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである誤差要因判定方法である。

本発明は、信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録工程と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録工程により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出工程と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定工程とを備えた誤差要因判定方法である。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数と、前記反射係数の真値とに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものであるプログラムである。

本発明は、信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数と、前記反射係数の真値とに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。

本発明は、信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである記録媒体である。

本発明は、信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。

第一の実施形態
図１は、第一の実施形態にかかる信号生成システム１００の構成を示す図である。信号生成システム１００は、信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、出力端子１９ａを有する。

信号生成部１２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。アンプ（増幅器）１３は、信号生成部１２により生成された信号を増幅する。

ブリッジ１４ａは、アンプ１３の出力を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ａの出力が、信号生成システム１００における誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。

ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、信号が出力側から反射されてきたもの（「反射信号」という）を受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ｂの出力が、反射信号を測定した結果といえる。反射信号は、信号が出力側から反射されてきたものであるため、反射信号の測定結果は、信号の測定結果であるともいえる。

出力端子１９ａから信号が出力される。ここで、出力端子１９ａの出力のＳパラメータをａ１、出力が出力端子１９ａに反射されてきたもののＳパラメータをｂ１とする。

図２は、第一の実施形態にかかる信号生成システム１００のシグナルフローグラフである。

図２において、信号生成部１２の出力をＳＧ、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、図２に示すように、Ｒ１＝ＳＧ×Ｌとなる、ただし、Ｌ（Ｓパラメータ）は、アンプ１３の増幅率である。

図２を参照して、信号生成システム１００には誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。

図３は、第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因判定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、誤差要因記録部２２、増幅率導出部２３、反射係数導出部２４、増幅率記録部２５、真値入力部２６、真偽判定部２８、増幅率真偽判定部２９を備える。

端子２１ａは、信号生成システム１００のミキサ１６ａに接続される端子である。端子２１ｂは、信号生成システム１００のミキサ１６ｂに接続される端子である。

誤差要因記録部２２は、信号生成システム１００の誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを記録する。ここで、誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを、誤差要因Eijaと表記する（ただし、i = 1または2、j = 1または2）。

増幅率導出部２３は、出力端子１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１と、信号のパワーＳＧとに基づき、Ｌ＝Ｒ１／ＳＧとして、増幅率Ｌを導出する。なお、信号のパワーＳＧの値が、増幅率導出部２３に、誤差要因判定装置２０の外部から与えられる。また、端子２１ａを介して、信号の測定結果Ｒ１が、増幅率導出部２３に与えられる。

増幅率記録部２５は、アンプ１３の増幅率を記録する。

真値入力部２６は、出力端子１９ａの反射係数の真値Xtを入力する。なお、出力端子１９ａの反射係数の真値Xtは、信号の測定の前から既に知られているものとする。

真偽判定部２８は、反射係数導出部２４により導出された反射係数Xmと、反射係数の真値Xtとに基づき、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定する。具体的には、XmとXtとが一致する場合は、誤差要因Eijaを真であると判定する。真偽判定部２８は、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合、誤差要因Eijaの測定の勧告または信号生成システム１００の故障の報告を行う。例えば、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合でも、XmとXtとの差が所定の範囲内であれば、信号生成システム１００の経時変化と判断し、誤差要因Eijaの測定の勧告を行う。また、例えば、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合であって、XmとXtとの差が所定の範囲を超えていれば、信号生成システム１００の故障と判断し、その旨の報告を行う。

なお、XmとXtとが一致する場合とは、Xm = Xtである場合を意味する。しかし、Xm
= Xtでなくても、XmとXtとの差が許容できる範囲内であれば、XmとXtとが一致するものとみなす。

増幅率真偽判定部２９は、増幅率記録部２５に記録された増幅率と、増幅率導出部２３により導出された増幅率とに基づき、記録された増幅率の真偽を判定する。記録された増幅率と、導出された増幅率とが一致する（等しい）場合は、増幅率記録部２５に記録された増幅率を真であると判定する。増幅率真偽判定部２９は、記録された増幅率を偽であると判定した場合、記録された増幅率の測定の勧告または信号生成システム１００の故障の報告を行う。例えば、記録された増幅率を偽であると判定した場合でも、両者の差が所定の範囲内であれば、信号生成システム１００の経時変化と判断し、増幅率の測定の勧告を行う（あるいは、導出された増幅率を増幅率記録部２５に記録することも考えられる）。また、例えば、記録された増幅率を偽であると判定した場合であって、両者の差が所定の範囲を超えていれば、信号生成システム１００の故障と判断し、その旨の報告を行う。

なお、記録された増幅率が、導出された増幅率と等しくなくても、両者の差が許容できる範囲内であれば、記録された増幅率と、導出された増幅率とが一致するものとみなす。

反射係数導出部２４は、端子２１ａ、２１ｂを介して、信号生成システム１００の出力端子１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を受ける。

図４を参照して、端子２１ａ、２１ｂが、どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。図４を参照して、出力端子１９ａから信号が出力されており、出力端子１９ａに校正用具６２（開放、短絡、標準負荷および任意の負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（誤差要因Eijaが生じる前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。なお、図４に示す例においては、校正用具６２を出力端子１９ａに接続することとなっているが、出力端子１９ａに何も接続しない（無接続状態）ことも考えられる。無接続状態は、校正用具６２を接続する場合よりも、実現が容易であるため、むしろ、無接続状態とすることが好ましい。なお、無接続状態においては、反射による位相の変化が０である。

また、校正用具６２（短絡）は、短絡状態（反射係数１：全反射）を実現することをいう。この場合、反射による位相の変化が１８０度である。校正用具６２（標準負荷）は、反射係数０の状態を実現する標準負荷を校正用具６２が有していることをいう。校正用具６２（任意の負荷）は、インピーダンスマッチングがとれないような任意の負荷を校正用具６２が有していることをいう。

さらに、反射係数導出部２４は、上記のような信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaとに基づき、出力端子１９ａの反射係数Xmを導出する。

次に、第一の実施形態の動作を、図２２、図２３のフローチャートを参照して説明する。図２２は、第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。図２３は、第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。

まず、校正用具６２を信号生成システム１００の出力端子１９ａに取り付ける（Ｓ１０）。また、信号生成システム１００のミキサ１６ａを誤差要因判定装置２０の端子２１ａに、信号生成システム１００のミキサ１６ｂを誤差要因判定装置２０の端子２１ｂに接続する。

図４は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図４においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijaが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ１２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図５は、図４に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図５において、下記の式（１）が成立する。

Ｒ２／Ｒ１=Ｅ１１ａ＋（Ｅ２１ａ・Ｅ１２ａ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ａ・Ｘ） （１）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡、標準負荷Z0および任意の負荷の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。

式（１）をＸについて解くと、下記の式（２）が得られる。

Ｘ＝１／（Ｅ２２ａ＋（（Ｅ２１ａ・Ｅ１２ａ）／（Ｒ２／Ｒ１−Ｅ１１ａ）） （２）
反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ１４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xmである。導出された反射係数Xmは、本来、反射係数Xの真値Xtに一致するはずである。もし、XmとXtとが一致しないのであれば、誤差要因Eijaが誤っていることが考えられる。すなわち、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが、信号の測定時点における信号生成システム１００の誤差要因Eijaと一致していないということである。このような現象は、例えば、信号生成システム１００の経時変化または故障により発生するものと考えられる。

導出された反射係数Xmは、真偽判定部２８に与えられる。また、真偽判定部２８には、出力端子１９ａの反射係数Xの真値Xtが、真値入力部２６を介して与えられる。真偽判定部２８は、導出された反射係数Xmと、真値Xtとを比較する（Ｓ１６）。

真偽判定部２８の動作を、図２３のフローチャートを参照して説明する。

真偽判定部２８は、導出された反射係数Xmと、反射係数の真値Xtとが一致するか否かを判定する（Ｓ１６０）。XmとXtとが一致するならば（Ｓ１６０、Ｙｅｓ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが真であると判定する（Ｓ１６１）。

XmとXtとが一致しないならば（Ｓ１６０、Ｎｏ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが偽であると判定する（Ｓ１６２）。

ここで、XmとXtとが一致しない場合でも、XmとXtとの差が所定の範囲内であれば（Ｓ１６４、Ｙｅｓ）、真偽判定部２８は、信号生成システム１００の経時変化と判断し、誤差要因Eijaの測定の勧告を行う（Ｓ１６６）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、誤差要因のEijaの測定を勧告するメッセージ（例えば、「キャリブレーションを行ってください」）を表示させる。

XmとXtとが一致しない場合であって、XmとXtとの差が所定の範囲内でなければ（Ｓ１６４、Ｎｏ）、真偽判定部２８は、信号生成システム１００の故障と判断し、その旨の報告を行う（Ｓ１６８）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、メッセージ（例えば、「信号生成システムが故障しています」）を表示させる。

なお、増幅率記録部２５に記録されたアンプ１３の増幅率の真偽の判定の動作を説明する。

校正用具６２の取り付け（Ｓ１０）、Ｒ１、Ｒ２の測定（Ｓ１２）は上記の動作と同様である。その後、信号のパワーＳＧおよび測定されたＲ１が増幅率導出部２３に与えられる。増幅率導出部２３は、Ｌ＝Ｒ１／ＳＧとして、増幅率Ｌを導出する。そして、増幅率真偽判定部２９は、増幅率記録部２５に記録された増幅率と、増幅率導出部２３により導出された増幅率とに基づき、記録された増幅率の真偽を判定する。

第一の実施形態によれば、出力端子１９ａに反射係数が既知の校正用具６２を接続する、または、出力端子１９ａに何も接続しない（無接続状態）（ただし、無接続状態における出力端子１９ａの反射係数が既知であるとする）状態で、Ｒ１およびＲ２の測定を行えば、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できる。

すなわち、出力端子１９ａにおいて、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続して、誤差要因Eijaを測定しなくても、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できるため、誤差要因Eijaの真偽の判定が容易である。

誤差要因Eijaが真であると判定されれば、信号生成システム１００の誤差要因として、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを利用できる。誤差要因Eijaの測定が不要であるので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

また、誤差要因Eijaが偽であると判定されれば、信号生成システム１００の誤差要因を測定する必要が生じる場合がある。しかし、被測定物の回路パラメータを測定する度に誤差要因の測定を行う必要が無いので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

第二の実施形態
第二の実施形態は、信号源１１０と、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄと、をスイッチ１８で接続したスイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０に関する実施形態である。なお、第二の実施形態においては、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々における反射係数が、信号の測定の前から既に知られている必要は無い。ただし、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々における反射係数が一致している（反射係数の値が等しい）必要がある。

以下、第一の実施形態と同様な部分は、同一の番号を付して説明を省略する。

図６は、第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。スイッチ分岐信号源１０は、信号源１１０、スイッチ１８、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを有する。

信号源１１０は、信号を生成するためのものである。信号源１１０は、信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂを有する。信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂは、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

スイッチ１８は、信号源１１０に接続され、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれかから信号を出力させるものである。

出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄは、そのいずれかが、スイッチ１８により、信号源１１０に接続される。そして、信号源１１０に接続された出力端子から信号が出力される。

ここで、出力端子１９ａから信号が出力される場合の、出力端子１９ａの出力のＳパラメータをａ１、出力が出力端子１９ａに反射されてきたもののＳパラメータをｂ１とする。

出力端子１９ｂから信号が出力される場合の、出力端子１９ｂの出力のＳパラメータをａ２、出力が出力端子１９ｂに反射されてきたもののＳパラメータをｂ２とする。

出力端子１９ｃから信号が出力される場合の、出力端子１９ｃの出力のＳパラメータをａ３、出力が出力端子１９ｃに反射されてきたもののＳパラメータをｂ３とする。

出力端子１９ｄから信号が出力される場合の、出力端子１９ｄの出力のＳパラメータをａ４、出力が出力端子１９ｄに反射されてきたもののＳパラメータをｂ４とする。

図７は、第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。図７（ａ）は、信号源１１０を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。図７（ｂ）は、信号源１１０を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。図７（ｃ）は、信号源１１０を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。図７（ｄ）は、信号源１１０を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。

図７において、信号生成部１２の出力をＳＧ、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、図７に示すように、Ｒ１＝ＳＧ×Ｌとなる、ただし、Ｌ（Ｓパラメータ）は、アンプ１３の増幅率である。

図７（ａ）を参照して、信号源１１０を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを、第一ポート誤差要因という。

図７（ｂ）を参照して、信号源１１０を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂを、第二ポート誤差要因という。

図７（ｃ）を参照して、信号源１１０を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃを、第三ポート誤差要因という。

図７（ｄ）を参照して、信号源１１０を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄを、第四ポート誤差要因という。

図８は、第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因判定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、誤差要因記録部２２、増幅率導出部２３、反射係数導出部２４、増幅率記録部２５、真偽判定部２８、増幅率真偽判定部２９を備える。

端子２１ａ、２１ｂ、増幅率導出部２３、増幅率記録部２５および増幅率真偽判定部２９は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

誤差要因記録部２２は、スイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０の誤差要因である、第一ポート誤差要因Eija、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを記録する。

反射係数導出部２４は、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdとに基づき、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々の反射係数Xam, Xbm, XcmおよびXdmを導出する。ただし、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２は、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々の反射係数が一致した状態で得られたものである。

具体的には、反射係数導出部２４は、出力端子１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaに基づき、出力端子１９ａの反射係数Xamを導出する（図９参照）。

反射係数導出部２４は、出力端子１９ｂから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijbに基づき、出力端子１９ｂの反射係数Xbmを導出する（図１０参照）。

反射係数導出部２４は、出力端子１９ｃから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijcに基づき、出力端子１９ｃの反射係数Xcmを導出する（図１１参照）。

反射係数導出部２４は、出力端子１９ｄから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijdに基づき、出力端子１９ｄの反射係数Xdmを導出する（図１２参照）。

図９、図１０、図１１および図１２を参照すると、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々には、同一の校正用具６２が接続されている。これにより、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々の反射係数が一致した状態を実現できる。なお、校正用具６２は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

また、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄが同じ型式である場合は、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを無接続状態にしても、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々の反射係数が一致した状態を実現できる。なお、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄが同じ型式ということは、同じ反射係数を有するということである。

なお、図１３は、図９、図１０、図１１および図１２に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図（図１３（ａ）、図１３（ｂ）、図１３（ｃ）、図１３（ｄ））である。

真偽判定部２８は、反射係数導出部２４により導出された反射係数Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致するか否かに基づき、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの真偽を判定する。

具体的には、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致する場合は、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdを真であると判定する。真偽判定部２８は、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdを偽であると判定した場合、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの測定の勧告またはスイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０の故障の報告を行う。

例えば、誤差要因Eija, Eijb,
EijcおよびEijdを偽であると判定した場合でも、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差が所定の範囲内であれば、スイッチ分岐信号源１０の経時変化と判断し、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの測定の勧告を行う。

また、例えば、誤差要因Eija, Eijb,
EijcおよびEijdを偽であると判定した場合であって、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差が所定の範囲を超えていれば、スイッチ分岐信号源１０の故障と判断し、その旨の報告を行う。

なお、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致する場合とは、Xam = Xbm = Xcm = Xdmである場合を意味する。しかし、Xam = Xbm = Xcm = Xdmでなくても、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差が許容できる範囲内であれば、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致するものとみなす。ただし、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差とは、Xam, Xbm, XcmおよびXdmの最大値と最小値との差である。

次に、第二の実施形態の動作を、図２４、図２５のフローチャートを参照して説明する。図２４は、第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。図２５は、第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。

まず、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の、ある出力端子（例えば、出力端子１９ａ）に取り付ける（Ｓ２０）。また、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因判定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因判定装置２０の端子２１ｂに接続する。さらに、スイッチ１８が、信号源１１０と出力端子１９ａとを接続する。

図９は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図９においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijaが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ２２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１３（ａ）は、図９に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１３（ａ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ２４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xamである。

その後、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの全てに校正用具６２を取り付けるまで（Ｓ２５、Ｙｅｓ）、別の出力端子に校正用具６２に取り付ける（Ｓ２６）。

例えば、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｂに取り付ける（Ｓ２６）。さらに、スイッチ１８が、信号源１１０と出力端子１９ｂとを接続する。

図１０は、校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図１０においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijbが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ｂから出力された信号（ａ２）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ２）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ２）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijbが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ２２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１３（ｂ）は、図１０に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１３（ｂ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijbを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ２４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xbmである。

さらに、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｃに取り付ける（Ｓ２６）。さらに、スイッチ１８が、信号源１１０と出力端子１９ｃとを接続する。

図１１は、校正用具６２を出力端子１９ｃに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図１１においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijcが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ｃから出力された信号（ａ３）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ３）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ３）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijcが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ２２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１３（ｃ）は、図１１に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１３（ｃ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijcを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ２４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xcmである。

さらに、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄに取り付ける（Ｓ２６）。さらに、スイッチ１８が、信号源１１０と出力端子１９ｄとを接続する。

図１２は、校正用具６２を出力端子１９ｄに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図１２においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijdが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ｄから出力された信号（ａ４）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ４）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ４）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijdが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ２２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１３（ｄ）は、図１２に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１３（ｄ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijdを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ２４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xdmである。

このようにして、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの全てに校正用具６２を取り付けると（Ｓ２５、Ｙｅｓ）、導出された反射係数Xam, Xbm, XcmおよびXdmの比較が真偽判定部２８により行われる（Ｓ２８）。

なお、真偽判定部２８には、導出された反射係数Xam, Xbm, XcmおよびXdmが与えられる。

信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２は、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの各々の反射係数が一致した状態で得られたものである。よって、導出された反射係数Xam, Xbm, XcmおよびXdmは、本来、複数の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの反射係数の真値Xtに一致するはずである。よって、Xam, Xbm, XcmおよびXdmは一致する（Xam = Xbm = Xcm = Xdm）はずである。

もし、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致しないのであれば、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdが誤っていることが考えられる。すなわち、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija,
Eijb, EijcおよびEijdが、信号の測定時点におけるスイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０の誤差要因Eija,
Eijb, EijcおよびEijdと一致していないということである。このような現象は、例えば、スイッチ分岐信号源１０の経時変化または故障により発生するものと考えられる。

よって、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致するか否かに基づき、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの真偽を判定できる。

なお、反射係数の真値Xtが、信号測定の前に既に知られているならば、XamがXtに一致するか否か、XbmがXtに一致するか否か、XcmがXtに一致するか否か、XdmがXtに一致するか否かによっても、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb,
EijcおよびEijdの真偽を判定できる。スイッチ分岐信号源１０に、第一の実施形態の発想を適用すれば、このようになる。

第二の実施形態においては、反射係数の真値Xtがわからなくてもよい点が、第一の実施形態と異なる。

真偽判定部２８の動作を、図２５のフローチャートを参照して説明する。

真偽判定部２８は、導出された反射係数Xam,
Xbm, XcmおよびXdmが一致するか否かを判定する（Ｓ２８０）。Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致するならば（Ｓ２８０、Ｙｅｓ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdが真であると判定する（Ｓ２８１）。

Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致しないならば（Ｓ２８０、Ｎｏ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdが偽であると判定する（Ｓ２８２）。

ここで、Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致しない場合でも、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差が所定の範囲内であれば（Ｓ２８４、Ｙｅｓ）、真偽判定部２８は、スイッチ分岐信号源１０の経時変化と判断し、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの測定の勧告を行う（Ｓ２８６）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、誤差要因のEija, Eijb, EijcおよびEijdの測定を勧告するメッセージ（例えば、「キャリブレーションを行ってください」）を表示させる。

Xam, Xbm, XcmおよびXdmが一致しない場合であって、Xam, Xbm, XcmおよびXdm間の差が所定の範囲内でなければ（Ｓ２８４、Ｎｏ）、真偽判定部２８は、スイッチ分岐信号源１０の故障と判断し、その旨の報告を行う（Ｓ２８８）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、メッセージ（例えば、「信号生成システムが故障しています」）を表示させる。

なお、増幅率記録部２５に記録されたアンプ１３の増幅率の真偽の判定の動作を説明する。

校正用具６２の取り付け（Ｓ２０、Ｓ２６）、Ｒ１、Ｒ２の測定（Ｓ２２）は上記の動作と同様である。その後、信号のパワーＳＧおよび測定されたＲ１が増幅率導出部２３に与えられる。増幅率導出部２３は、Ｌ＝Ｒ１／ＳＧとして、増幅率Ｌを導出する。そして、増幅率真偽判定部２９は、増幅率記録部２５に記録された増幅率と、増幅率導出部２３により導出された増幅率とに基づき、記録された増幅率の真偽を判定する。

第二の実施形態によれば、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに同一の校正用具６２を接続する、または、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄに何も接続しない（無接続状態）（ただし、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの反射係数が一致しているものとする）状態で、Ｒ１およびＲ２の測定を行えば、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの真偽を判定できる。しかも、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄの反射係数の真値Xtがわからなくても判定可能である。

すなわち、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄにおいて、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続して、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdを測定しなくても、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの真偽を判定できるため、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの真偽の判定が容易である。

誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdが真であると判定されれば、スイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０の誤差要因として、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdを利用できる。誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdの測定が不要であるので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

また、誤差要因Eija, Eijb, EijcおよびEijdが偽であると判定されれば、スイッチ分岐信号源（信号生成システム）１０の誤差要因を測定する必要が生じる場合がある。しかし、被測定物の回路パラメータを測定する度に誤差要因の測定を行う必要が無いので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

第三の実施形態
第三の実施形態は、第一の実施形態における信号生成システム１００の信号生成部１２が、複数（信号生成部１２ａ、１２ｂ）設けられたものに関する実施形態である。なお、第三の実施形態においては、出力端子１９ａにおける反射係数が、信号の測定の前から既に知られている必要は無い。

図１４は、第三の実施形態にかかる信号生成システム１００の構成を示す図である。信号生成システム１００は、スイッチ１１、信号生成部１２ａ、１２ｂ、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、出力端子１９ａを有する。

以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。

複数の信号生成部１２ａ、１２ｂの各々は、信号生成部１２と同様なものである。信号生成部１２ａの出力をＳＧ１、信号生成部１２ｂの出力をＳＧ２とする。

スイッチ１１は、信号生成部１２ａ、１２ｂのいずれかをアンプ１３に接続する。よって、信号生成部１２ａが生成した信号、または信号生成部１２ｂが生成した信号が、アンプ１３に与えられる。

アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂ、出力端子１９ａは、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。なお、出力端子１９ａは、第一の実施形態と同様に、単一の出力端子である。

図１５は、第三の実施形態にかかる信号生成システム１００のシグナルフローグラフである。

図１５において、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、図１５（ａ）に示すように、Ｒ１＝ＳＧ１×Ｌ１となる。さらに、図１５（ｂ）に示すように、Ｒ１＝ＳＧ２×Ｌ２となる。ただし、Ｌ１、Ｌ２（Ｓパラメータ）は、アンプ１３の増幅率である。信号生成部１２ａ、１２ｂの生成する信号の周波数の相違などにより、アンプ１３の増幅率が異なった値（Ｌ１、Ｌ２）をとる。

図１５を参照して、信号生成システム１００には誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。

図１６は、第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因判定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、誤差要因記録部２２、増幅率導出部２３、反射係数導出部２４、増幅率記録部２５、真偽判定部２８、増幅率真偽判定部２９を備える。

端子２１ａ、２１ｂおよび誤差要因記録部２２は、第一の実施形態と同様であり説明を省略する。

増幅率導出部２３は、出力端子１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１と、信号のパワーＳＧ１、ＳＧ２とに基づき、Ｌ１＝Ｒ１／ＳＧ１、Ｌ２＝Ｒ１／ＳＧ２として、増幅率Ｌ１、Ｌ２を導出する。なお、信号のパワーＳＧ１、ＳＧ２の値が、増幅率導出部２３に、誤差要因判定装置２０の外部から与えられる。また、端子２１ａを介して、信号の測定結果Ｒ１が、増幅率導出部２３に与えられる。

増幅率記録部２５は、アンプ１３の増幅率Ｌ１、Ｌ２を記録する。

増幅率真偽判定部２９は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。

反射係数導出部２４は、端子２１ａ、２１ｂを介して、信号生成システム１００の出力端子１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を受ける。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２から誤差要因Eijaを読み出す。しかも、反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因Eijaとに基づき、出力端子１９ａの反射係数Xm1, Xm2を導出する。ただし、Xm1は、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続したときに導出されるものである（図１７、図１９参照）。また、Xm2は、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続したときに導出されるものである（図１８、図１９参照）。すなわち、反射係数導出部２４は、信号生成部１２ａ、１２ｂの各々について、出力端子１９ａの反射係数Xm1, Xm2を導出する。

なお、図１９は、図１７および図１８に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図（図１９（ａ）、図１９（ｂ））である。

また、図１７および図１８においては校正用具６２を出力端子１９ａに取り付ける例を図示している。しかし、出力端子１９ａに何も接続しない（無接続状態）ことも考えられる。無接続状態は、校正用具６２を接続する場合よりも、実現が容易であるため、むしろ、無接続状態とすることが好ましい。なお、無接続状態においては、反射による位相の変化が０である。校正用具６２は、第一の実施形態と同様であるため、説明を省略する。

ただし、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａの状態と、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａの状態とは同じものでなければならない。

例えば、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａに、校正用具６２を接続したとする。この場合、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａにも、校正用具６２（または校正用具６２と同一の反射係数を有する校正用具）を接続することになる。

例えば、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａに何も接続しなかったとする。この場合、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続したときの出力端子１９ａにも、何も接続しないことになる。

真偽判定部２８は、反射係数導出部２４により導出された反射係数Xm1およびXm2が一致するか否かに基づき、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定する。

具体的には、Xm1およびXm2が一致する場合は、誤差要因Eijaを真であると判定する。真偽判定部２８は、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合、誤差要因Eijaの測定の勧告または信号生成システム１００の故障の報告を行う。

例えば、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合でも、Xm1とXm2との差が所定の範囲内であれば、信号生成システム１００の経時変化と判断し、誤差要因Eijaの測定の勧告を行う。

また、例えば、誤差要因Eijaを偽であると判定した場合であって、Xm1とXm2との差が所定の範囲を超えていれば、信号生成システム１００の故障と判断し、その旨の報告を行う。

なお、Xm1およびXm2が一致する場合とは、Xm1 = Xm2である場合を意味する。しかし、Xm1
= Xm2でなくても、Xm1とXm2との差が許容できる範囲内であれば、Xm1およびXm2が一致するものとみなす。

次に、第三の実施形態の動作を、図２６、図２７のフローチャートを参照して説明する。図２６は、第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。図２７は、第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。

まず、校正用具６２を信号生成システム１００の、出力端子１９ａに取り付ける（Ｓ３０）。また、信号生成システム１００のミキサ１６ａを誤差要因判定装置２０の端子２１ａに、信号生成システム１００のミキサ１６ｂを誤差要因判定装置２０の端子２１ｂに接続する。

さらに、スイッチ１１が、ある信号生成部（例えば、信号生成部１２ａ）をアンプ１３に接続する（Ｓ３１）。

図１７は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続した状態を示す図である。なお、図１７においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijaが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ３２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１９（ａ）は、図１７に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１９（ａ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ３４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xm1である。

その後、信号生成部１２ａ、１２ｂの全てをアンプ１３に接続するまで（Ｓ３５、Ｙｅｓ）、別の信号生成部をアンプ１３に接続する（Ｓ３６）。

例えば、スイッチ１１が、別の信号生成部（例えば、信号生成部１２ｂ）をアンプ１３に接続する。

図１８は、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続した状態を示す図である。なお、図１８においては、誤差要因判定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、反射係数導出部２４以外は図示省略する。Ｒ１は、誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。Ｒ１およびＲ２は、信号の測定結果である。

ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。

また、誤差要因Eijaが生じる前の信号が、ブリッジ１４ａに与えられる。ブリッジ１４ａに与えられた信号は、ミキサ１６ａに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ａの出力がＲ１である。

このようにして、Ｒ１、Ｒ２が測定される（Ｓ３２）。

測定されたＲ１、Ｒ２が反射係数導出部２４に与えられる。

図１９（ｂ）は、図１８に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図１９（ｂ）において、上記の式（１）が成立する。ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。式（１）をＸについて解くと、上記の式（２）が得られる。

反射係数導出部２４は、信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２を式（２）に代入する。さらに、反射係数導出部２４は、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを読み出して、式（２）に代入する。これにより、反射係数導出部２４は、校正用具６２の負荷係数、すなわち出力端子１９ａの反射係数Xを導出する（Ｓ３４）。

導出された反射係数Xは、前述のとおり、Xm2である。

このようにして、信号生成部１２ａ、１２ｂの全てをアンプ１３に接続すると（Ｓ３５、Ｙｅｓ）、導出された反射係数Xm1およびXm2の比較が真偽判定部２８により行われる（Ｓ３８）。

なお、真偽判定部２８には、導出された反射係数Xm1およびXm2が与えられる。

信号の測定結果Ｒ１、Ｒ２は、単一の出力端子１９ａについて得られたものである。よって、導出された反射係数Xm1およびXm2は、本来、出力端子１９ａの真値Xtに一致するはずである。よって、Xm1およびXm2は一致する（Xm1 = Xm2）はずである。

もし、Xm1およびXm2が一致しないのであれば、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが誤っていることが考えられる。すなわち、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが、信号の測定時点における信号生成システム１００の誤差要因Eijaと一致していないということである。このような現象は、例えば、信号生成システム１００の経時変化または故障により発生するものと考えられる。

よって、Xm1およびXm2が一致するか否かに基づき、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できる。

なお、反射係数の真値Xtが、信号測定の前に既に知られているならば、Xm1がXtに一致するか否か、Xm2がXtに一致するか否かによっても、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できる。第三の実施形態にかかる信号生成システム１００に、第一の実施形態の発想を適用すれば、このようになる。

第三の実施形態においては、反射係数の真値Xtがわからなくてもよい点が、第一の実施形態と異なる。

真偽判定部２８の動作を、図２７のフローチャートを参照して説明する。

真偽判定部２８は、導出された反射係数Xm1およびXm2が一致するか否かを判定する（Ｓ３８０）。Xm1およびXm2が一致するならば（Ｓ３８０、Ｙｅｓ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが真であると判定する（Ｓ３８１）。

Xm1およびXm2が一致しないならば（Ｓ３８０、Ｎｏ）、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaが偽であると判定する（Ｓ３８２）。

ここで、Xm1およびXm2が一致しない場合でも、Xm1とXm2との差が所定の範囲内であれば（Ｓ３８４、Ｙｅｓ）、真偽判定部２８は、信号生成システム１００の経時変化と判断し、誤差要因Eijaの測定の勧告を行う（Ｓ３８６）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、誤差要因のEijaの測定を勧告するメッセージ（例えば、「キャリブレーションを行ってください」）を表示させる。

Xm1およびXm2が一致しない場合であって、Xm1とXm2との差が所定の範囲内でなければ（Ｓ３８４、Ｎｏ）、真偽判定部２８は、信号生成システム１００の故障と判断し、その旨の報告を行う（Ｓ３８８）。例えば、誤差要因判定装置２０の表示器（図示省略）に、メッセージ（例えば、「信号生成システムが故障しています」）を表示させる。

なお、増幅率記録部２５に記録されたアンプ１３の増幅率の真偽の判定の動作を説明する。

校正用具６２の取り付け（Ｓ３０）、信号生成部の接続（Ｓ３１、Ｓ３６）、Ｒ１、Ｒ２の測定（Ｓ３２）は上記の動作と同様である。その後、信号のパワーＳＧ１、ＳＧ２および測定されたＲ１が増幅率導出部２３に与えられる。増幅率導出部２３は、Ｌ１＝Ｒ１／ＳＧ１として、増幅率Ｌ１を導出し、Ｌ２＝Ｒ１／ＳＧ２として、増幅率Ｌ２を導出する。そして、増幅率真偽判定部２９は、増幅率記録部２５に記録された増幅率と、増幅率導出部２３により導出された増幅率とに基づき、記録された増幅率の真偽を判定する。

第三の実施形態によれば、出力端子１９ａに校正用具６２を接続する、または、出力端子１９ａに何も接続しない（無接続状態）状態で、Ｒ１およびＲ２の測定を行えば、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できる。しかも、出力端子１９ａ、の反射係数の真値Xtがわからなくても判定可能である。

すなわち、出力端子１９ａにおいて、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現し、さらにパワーメータも接続して、誤差要因Eijaを測定しなくても、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaの真偽を判定できるため、誤差要因Eijaの真偽の判定が容易である。

誤差要因Eijaが真であると判定されれば、信号生成システム１００の誤差要因として、誤差要因記録部２２に記録された誤差要因Eijaを利用できる。誤差要因Eijaの測定が不要であるので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

また、誤差要因Eijaが偽であると判定されれば、信号生成システム１００の誤差要因を測定する必要が生じる場合がある。しかし、被測定物の回路パラメータを測定する度に誤差要因の測定を行う必要が無いので、キャリブレーションにかかる労力を軽減できる。

なお、誤差要因判定装置２０の使用の態様の例を説明する。

図２０は、出力補正装置１に誤差要因判定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。

第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄから信号を出力しようとしたとする。さらに、この信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、アンプ１３のゲインを調整する必要がある。

出力補正装置１は、誤差要因判定装置２０、信号パワー調整部３０を備える。誤差要因判定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、誤差要因判定装置２０は、第四ポート誤差要因Eijdを誤差要因記録部２２から読み出して、信号パワー調整部３０に与える。なお、第四ポート誤差要因Eijdは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

信号パワー調整部３０は、誤差要因判定装置２０から与えられた第四ポート誤差要因Eijdに基づき、信号のパワーを調整する。例えば、信号パワー調整部３０は、アンプ１３のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。かかる調整により、出力端子１９ｄから出力される信号のパワーを目標値にあわせることができる。

なお、出力端子１９ａから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因判定装置２０から第一ポート誤差要因Eijaを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因判定装置２０から与えられた第一ポート誤差要因Eijaに基づき、信号のパワーを調整する。誤差要因判定装置２０は、第一ポート誤差要因Eijaを誤差要因記録部２２から読み出して、信号パワー調整部３０に与える。なお、第一ポート誤差要因Eijaは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

なお、出力端子１９ｂから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因判定装置２０から第二ポート誤差要因Eijbを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因判定装置２０から与えられた第二ポート誤差要因Eijbに基づき、信号のパワーを調整する。誤差要因判定装置２０は、第二ポート誤差要因Eijbを誤差要因記録部２２から読み出して、信号パワー調整部３０に与える。なお、第二ポート誤差要因Eijbは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

なお、出力端子１９ｃから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因判定装置２０から第三ポート誤差要因Eijcを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因判定装置２０から与えられた第三ポート誤差要因Eijcに基づき、信号のパワーを調整する。誤差要因判定装置２０は、第三ポート誤差要因Eijcを誤差要因記録部２２から読み出して、信号パワー調整部３０に与える。なお、第三ポート誤差要因Eijcは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０のかわりに、第一の実施形態および第三の実施形態にかかる信号生成システム１００の出力する信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第一ポート誤差要因Eijaの影響を考慮して、アンプ１３のゲインを調整する必要がある。そのような場合も、出力補正装置１の構成は、上記と同様である。信号パワー調整部３０は、誤差要因判定装置２０から与えられた第一ポート誤差要因Eijaに基づき、信号のパワーを調整する。誤差要因判定装置２０は、第一ポート誤差要因Eijaを誤差要因記録部２２から読み出して、信号パワー調整部３０に与える。なお、第一ポート誤差要因Eijaは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

図２１は、反射係数測定装置２に誤差要因判定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。

スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄに被測定物（DUT : Device Under
Test）６６を接続し、被測定物６６の反射係数を測定しようとしたとする。被測定物６６の反射係数は、Ｒ１およびＲ２から求めることができる。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。

反射係数測定装置２は、誤差要因判定装置２０、反射係数測定部４０を備える。誤差要因判定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、誤差要因判定装置２０は、第四ポート誤差要因Eijdを誤差要因記録部２２から読み出して、反射係数測定部４０に与える。なお、第四ポート誤差要因Eijdは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

反射係数測定部４０は、第四ポート誤差要因Eijdの生ずる前に信号を測定した結果Ｒ１と、信号が被測定物６６により反射されたものを測定した結果Ｒ２（信号が被測定物６６により反射されたものは、スイッチ１８、ブリッジ１４ｂを介してミキサ１６ｂに与えられる）と、誤差要因判定装置２０から与えられた第四ポート誤差要因Eijdとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。

なお、出力端子１９ａに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因判定装置２０から第一ポート誤差要因Eijaを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因判定装置２０から与えられた第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。誤差要因判定装置２０は、第一ポート誤差要因Eijaを誤差要因記録部２２から読み出して、反射係数測定部４０に与える。なお、第一ポート誤差要因Eijaは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

なお、出力端子１９ｂに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因判定装置２０から第二ポート誤差要因Eijbを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因判定装置２０から与えられた第二ポート誤差要因Eijbとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。誤差要因判定装置２０は、第二ポート誤差要因Eijbを誤差要因記録部２２から読み出して、反射係数測定部４０に与える。なお、第二ポート誤差要因Eijbは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

なお、出力端子１９ｃに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因判定装置２０から第三ポート誤差要因Eijcを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因判定装置２０から与えられた第三ポート誤差要因Eijcとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。誤差要因判定装置２０は、第三ポート誤差要因Eijcを誤差要因記録部２２から読み出して、反射係数測定部４０に与える。なお、第三ポート誤差要因Eijcは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０のかわりに、第一の実施形態および第三の実施形態にかかる信号生成システム１００の出力端子１９ａに被測定物（DUT : Device Under Test）６６を接続し、被測定物６６の反射係数を測定しようとしたとする。ここで、第一ポート誤差要因Eijaの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。そのような場合も、反射係数測定装置２の構成は、上記と同様である。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因判定装置２０から与えられた第一ポート誤差要因Eijaに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。誤差要因判定装置２０は、第一ポート誤差要因Eijaを誤差要因記録部２２から読み出して、反射係数測定部４０に与える。なお、第一ポート誤差要因Eijaは、真偽判定部２８により真であると判定されているものとする。

なお、上記の実施形態においては、信号生成システム１００が一個（第一および第三の実施形態）、スイッチ分岐信号源１０が一個（第二の実施形態）だけある例を記載した。しかし、信号生成システム１００が二個以上あっても、上記の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０を、信号生成システム１００の各々に接続して、使用できる。スイッチ分岐信号源１０が二個以上あっても、上記の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０を、スイッチ分岐信号源１０の各々に接続して、使用できる。

また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因判定装置２０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。

第一の実施形態にかかる信号生成システム１００の構成を示す図である。 第一の実施形態にかかる信号生成システム１００のシグナルフローグラフである。 第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。 校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。 図４に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。 第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。 第二の実施形態にかかるスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。 第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。 校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。 校正用具６２を出力端子１９ｂに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。 校正用具６２を出力端子１９ｃに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。 校正用具６２を出力端子１９ｄに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。 図９、図１０、図１１および図１２に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図（図１３（ａ）、図１３（ｂ）、図１３（ｃ）、図１３（ｄ））である。 第三の実施形態にかかる信号生成システム１００の構成を示す図である。 第三の実施形態にかかる信号生成システム１００のシグナルフローグラフである。 第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。 校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに、信号生成部１２ａをアンプ１３に接続した状態を示す図である。 校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに、信号生成部１２ｂをアンプ１３に接続した状態を示す図である。 図１７および図１８に示す状態の誤差要因判定装置２０をシグナルフローグラフで表した図（図１９（ａ）、図１９（ｂ））である。 出力補正装置１に誤差要因判定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。 反射係数測定装置２に誤差要因判定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。 第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。 第一の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。 第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。 第二の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。 第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の動作を示すフローチャートである。 第三の実施形態にかかる誤差要因判定装置２０の真偽判定部２８の動作を示すフローチャートである。

符号の説明

１０ スイッチ分岐信号源（信号生成システム）
１１ スイッチ
１００ 信号生成システム
１１０ 信号源
１２、１２ａ、１２ｂ 信号生成部
１３ アンプ
１４ａ、１４ｂ ブリッジ
１６ａ、１６ｂ ミキサ
１８ スイッチ
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ 出力端子
Eija （第一ポート）誤差要因 (i = 1,2 j = 1,2)
Eijb 第二ポート誤差要因 (i = 1,2 j = 1,2)
Eijc 第三ポート誤差要因 (i = 1,2 j = 1,2)
Eijd 第四ポート誤差要因 (i = 1,2 j = 1,2)
２０ 誤差要因判定装置
２２ 誤差要因記録部
２３ 増幅率導出部
２４ 反射係数導出部
２５ 増幅率記録部
２６ 真値入力部
２８ 真偽判定部
２９ 増幅率真偽判定部
Xm 導出された反射係数
Xam 導出された出力端子１９ａの反射係数
Xbm 導出された出力端子１９ｂの反射係数
Xcm 導出された出力端子１９ｃの反射係数
Xdm 導出された出力端子１９ｄの反射係数
Xm1, Xm2 導出された出力端子１９ａの反射係数
Xt 反射係数の真値

Claims (16)

1. 信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録手段と、
   前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記誤差要因による誤差が補正された前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出手段と、
   導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定手段と、
   を備え、
   前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである、
   誤差要因判定装置。
2. 信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録手段と、
   前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録手段に記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について、前記誤差要因による誤差が補正された前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出手段と、
   導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定手段と、
   を備えた誤差要因判定装置。
3. 請求項１または２に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記信号の測定結果は、
   前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、
   前記信号が反射されたものを測定した結果と、
   を有する、
   誤差要因判定装置。
4. 請求項１または２に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記出力端子に校正用具が接続された状態で前記信号が測定され、
   前記校正用具は、開放、短絡、標準負荷および任意の負荷のうちのいずれかの状態を実現するものである、
   誤差要因判定装置。
5. 請求項１または２に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記信号生成システムが、前記信号を増幅する増幅器を有し、
   前記誤差要因判定装置が、
   前記増幅器の増幅率を記録する増幅率記録手段と、
   前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記信号のパワーとに基づいて前記増幅率を導出する増幅率導出手段と、
   記録された前記増幅率と、導出された前記増幅率とに基づき、記録された前記増幅率の真偽を判定する増幅率真偽判定手段と、
   を備えた誤差要因判定装置。
6. 請求項１または２に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記真偽判定手段が、記録された前記誤差要因の真偽の判定結果に基づき、前記誤差要因の測定の勧告または前記信号生成システムの故障の報告を行う、
   誤差要因判定装置。
7. 請求項１に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記複数の出力端子が同じ型式であり、
   前記複数の出力端子が無接続状態で前記信号が測定される、
   誤差要因判定装置。
8. 請求項１に記載の誤差要因判定装置であって、
   前記複数の出力端子に同じ校正用具が接続された状態で前記信号が測定され、
   前記校正用具は、開放、短絡、標準負荷および任意の負荷のうちのいずれかの状態を実現するものである、
   誤差要因判定装置。
9. 請求項１ないし８のいずれか一項に記載の誤差要因判定装置と、
   前記真偽判定手段により真であると判定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
   を備えた出力補正装置。
10. 請求項１ないし８のいずれか一項に記載の誤差要因判定装置と、
    前記出力端子に被測定物が接続された状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記真偽判定手段により真であると判定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段と、
    を備えた反射係数測定装置。
11. 信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録工程と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録工程により記録された前記誤差要因とに基づき、前記誤差要因による誤差が補正された前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出工程と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定工程と、
    を備え、
    前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである、
    誤差要因判定方法。
12. 信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録工程と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録工程により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について、前記誤差要因による誤差が補正された前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出工程と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定工程と、
    を備えた誤差要因判定方法。
13. 信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記誤差要因による誤差が補正された前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出処理と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
    前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである、
    プログラム。
14. 信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について、前記誤差要因による誤差が補正された前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラム。
15. 信号を生成する信号生成部と、前記信号を出力する複数の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記誤差要因による誤差が補正された前記複数の出力端子の各々の反射係数を導出する反射係数導出処理と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、
    前記信号の測定結果は、前記複数の出力端子の各々の反射係数が一致した状態で得られたものである、
    記録媒体。
16. 信号を生成する複数の信号生成部と、前記信号を出力する単一の出力端子とを有する信号生成システムにおける誤差要因を記録する誤差要因記録処理と、
    前記出力端子から前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果と、前記誤差要因記録処理により記録された前記誤差要因とに基づき、前記複数の信号生成部の各々について、前記誤差要因による誤差が補正された前記出力端子の反射係数を導出する反射係数導出処理と、
    導出された前記反射係数が一致するか否かに基づき、記録された前記誤差要因の真偽を判定する真偽判定処理と、
    をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。

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