KR100939980B1 - 피시험 디바이스에 대한 파워 소스로써의 파라미터 측정유닛의 사용 - Google Patents
피시험 디바이스에 대한 파워 소스로써의 파라미터 측정유닛의 사용 Download PDFInfo
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 49
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/30—Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
- G01R31/3004—Current or voltage test
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
- G01R31/2836—Fault-finding or characterising
- G01R31/2839—Fault-finding or characterising using signal generators, power supplies or circuit analysers
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Claims (20)
- 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치로서,복수의 파라미터 측정 유닛을 포함하고, 상기 복수의 파라미터 측정 유닛의 각각은 상기 피시험 디바이스에 파워를 공급하기 위한 전류 소스로서 또는 센싱 디바이스로서 동작하도록 구성될 수 있고,상기 복수의 파라미터 측정 유닛은,상기 디바이스에서의 전압을 센싱하도록 구성되어 있고 또한 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에서의 전압을 태핑하는 센스 경로를 포함하는 제1 파라미터 측정 유닛; 및전류 소스로서 동작하도록 구성되어 있는 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛을 포함하고,상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛은, 조정된 출력 전류를 제공하는 제1 모드 및 조정된 출력 전압을 제공하는 제2 모드에서 동작가능하고, 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 경유하여 전압을 수신하고, 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 경유하여 수신된 상기 전압에 기초하여 공급되는 출력 전류를 상기 피시험 디바이스의 파워 핀으로 제공하는 것을 특징으로 하는, 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛은,전류 소스로서 동작하도록 구성되어 있고, 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에 전류를 출력하고 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 경유하여 전압을 수신하는 제2 드라이버를 포함하는 제2 파라미터 측정 유닛; 및전류 소스로서 동작하도록 구성되어 있고, 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에 전류를 출력하고 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 경유하여 전압을 수신하는 제3 드라이버를 포함하는 제3 파라미터 측정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제1 파라미터 측정 유닛의 센스 경로가 상기 제2 및 제3 드라이버의 입력부로 연결되는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛은,전류 소스로서 동작하도록 구성되어 있고, 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에 전류를 출력하고 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 경유하여 수신된 전압 및 외부 전압 모두를 입력으로서 수신하는 제4 드라이버를 포함하는, 제4 파라미터 측정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제2 파라미터 측정 유닛 및 상기 제3 파라미터 측정 유닛은 각각 피드백 경로를 포함하고, 상기 제2 파라미터 측정 유닛의 피드백 경로는 상기 제2 드라이버에 입력을 제공하고, 상기 제3 파라미터 측정 유닛의 피드백 경로는 상기 제3 드라이버에 입력을 제공하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 5 항에 있어서, 상기 제2 파라미터 측정 유닛의 상기 피드백 경로는 상기 피시험 디바이스와 상기 제2 드라이버 사이의 전압을 태핑하고, 상기 제3 파라미터 측정 유닛의 상기 피드백 경로는 상기 피시험 디바이스와 상기 제3 드라이버 사이의 전압을 태핑하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1 파라미터 측정 유닛은, 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 전류 소스로서 동작하도록 인에이블하는 상기 제1 파라미터 측정 유닛의 기능부를 디스에이블 함으로써, 상기 디바이스에서의 전류를 센싱하도록 구성된 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 전류 소스로서 동작하도록 인에이블하는 상기 제1 파라미터 측정 유닛의 기능부는 드라이버를 포함하고, 상기 드라이버를 디스에이블시키는 것은 상기 드라이버를 3상태로 하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 장치는 상기 피시험 디바이스에 의해 수행되는 기능을 테스트하기 위한 자동 테스트 장비를 포함하고,상기 자동 테스트 장비는, 상기 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위해 상기 복수의 파라미터 측정 유닛 외의 파워 서플라이를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛을 전기적으로 연결하는 공통 신호 경로를 더 포함하고,상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛은 상기 공통 신호 경로를 통해 신호를 수신하도록 구성되고, 상기 신호는 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 유닛의 전류 출력들을 제어하여 상기 전류 출력들이 미리 정한 값이 되도록 하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 전류 출력들이 서로 동일한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제1 파라미터 측정 유닛이 상기 공통 신호 경로에 전기적으로 연결되고, 상기 제1 파라미터 측정 유닛이 상기 신호를 상기 공통 신호 경로로 제공하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 신호는 상기 디바이스의 파워 핀에서의 전압에 의존하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛의 각각은, 상기 적어도 두 개의 추가 파라미터 측정 유닛이 상기 디바이스의 파워 핀에 전류를 공급할 때 디스에이블되는 전압 센스 경로를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 장치.
- 피시험 디바이스에 전류를 제공하는 방법으로서,제1 파라미터 측정 유닛의 출력 경로를 통해 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에서의 제1 전압을 감지하기 위해 상기 제1 파라미터 측정 유닛을 구성하는 단계;제2 파라미터 측정 유닛에 의해 피시험 디바이스에 제공된 출력 전류를 센싱하는 단계로서, 상기 제2 파라미터 측정 유닛은 상기 제1 전압에 기초하여 출력 전류를 생성하는, 상기 단계;복수의 파라미터 측정 유닛에 대한 입력으로서 상기 출력 전류에 대응하는 전압을 제공하는 단계;상기 대응하는 전압에 의존하는, 상기 복수의 파라미터 유닛의 각각으로부터의 전류를 출력하는 단계; 및상기 피시험 디바이스에 파워를 공급하기 위해 상기 복수의 파라미터 측정 유닛으로부터의 전류를 상기 피시험 디바이스의 파워 핀에서 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 전류를 제공하는 방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 복수의 파라미터 측정 유닛은 상기 제1 및 제2 파라미터 측정 유닛과는 별개인 파라미터 측정 유닛인 것을 특징으로 하는 피시험 디바이스에 전류를 제공하는 방법.
- 피시험 디바이스에 파워를 제공하기 위한 전류 소스로서 동작하도록 구성가능한 장치에 있어서,조정된 출력 전류를 제공하는 제1 모드 및 조정된 출력 전압을 제공하는 제2 모드에서 동작가능하고, 상기 제1 모드 또는 상기 제2 모드에서 상기 디바이스의 파워 핀에 전류를 제공하도록 구성된 제1 파라미터 측정 유닛;상기 디바이스의 파워 핀에서 상기 제1 파라미터 측정 유닛으로부터의 전류를 제2 파라미터 측정 유닛으로부터의 전류와 더하기 위해, 조정된 출력 전류를 제공하는 상기 제1 모드 및 조정된 출력 전압을 제공하는 상기 제2 모드에서 동작가능하고, 상기 제1 모드 또는 상기 제2 모드에서 상기 디바이스의 파워 핀에 전류를 제공하도록 구성된 상기 제2 파라미터 측정 유닛; 및상기 제1 파라미터 측정 유닛으로의 입력이 되는 전압을 상기 디바이스에서 센싱하도록 구성된 제3 파라미터 측정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 장치는 상기 피시험 디바이스에 의해 수행되는 기능을 테스트하기 위한 자동 테스트 장비를 포함하고, 상기 자동 테스트 장비는 상기 피시험 디바이스에 파워를 공급하기 위해 제1, 제2, 및 제3 파라미터 측정 유닛 외의 파워 서플라이를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 디바이스의 파워 핀에서 상기 제1 파라미터 측정 유닛 및 제2 파라미터 측정 유닛으로부터의 전류를 제4 파라미터 측정 유닛으로부터의 전류와 더하기 위해, 상기 디바이스에 전류를 제공하도록 구성된 상기 제4 파라미터 측정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/016,352 US7403030B2 (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Using parametric measurement units as a source of power for a device under test |
US11/016,352 | 2004-12-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070073975A KR20070073975A (ko) | 2007-07-10 |
KR100939980B1 true KR100939980B1 (ko) | 2010-02-03 |
Family
ID=36588608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077013634A KR100939980B1 (ko) | 2004-12-17 | 2005-12-16 | 피시험 디바이스에 대한 파워 소스로써의 파라미터 측정유닛의 사용 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7403030B2 (ko) |
EP (1) | EP1825280A2 (ko) |
JP (1) | JP4689681B2 (ko) |
KR (1) | KR100939980B1 (ko) |
CN (1) | CN100593121C (ko) |
WO (1) | WO2006066112A2 (ko) |
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CN100593121C (zh) | 2010-03-03 |
CN101080640A (zh) | 2007-11-28 |
WO2006066112A3 (en) | 2006-08-17 |
EP1825280A2 (en) | 2007-08-29 |
US7403030B2 (en) | 2008-07-22 |
US20060132163A1 (en) | 2006-06-22 |
JP2008524598A (ja) | 2008-07-10 |
KR20070073975A (ko) | 2007-07-10 |
JP4689681B2 (ja) | 2011-05-25 |
WO2006066112A2 (en) | 2006-06-22 |
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