JP4624944B2 - 集積回路をテストするための自動テスト装置内で使用するピンエレクトロニクス - Google Patents

Description

本発明は、集積回路をテストする自動テスト装置で使用するように構成されたピンエレクトロニクスに関する。

自動テスト装置（ＡＴＥ）は、集積回路（ＩＣ）などの電子部品をテストするために使用される。通常、ＩＣ ＡＴＥは、被測定物（ＤＵＴ）のそれぞれのピンに関連づけられたいくつかのチャネルを備える。チャネルは、信号を生成しＤＵＴの関連づけられたピンで測定するピンエレクトロニクスを含む。各ピンエレクトロニクスは信号を生成するために、ピンエレクトロニクスに接続されたテストプロセッサが決定したデジタルデータストリームを生成することができるドライバ回路を備える。通常、いくつかのチャネルがいわゆるチャネルモジュールに組み合わされ、チャネルモジュールは、電気消費による熱を除去するためにヒートシンクに装着されるか、空気で冷却される。各チャネルモジュールは、１台または複数のテストプロセッサとＡＴＥを制御するコンピュータの間で通信を可能にするインタフェース回路上で接続される。

ＤＵＴ入力ピンの入力漏れ電流などのＤＵＴの種々のパラメータを測定するために、ＡＴＥはさらに１台または複数のパラメータ測定ユニット（ＰＭＵ）(parametric measurement unit)を含むことができる。パラメータ測定中には、ピンエレクトロニクスは測定モードまたはＰＭＵモードへ切替えられる。ＰＭＵモードでは、ピンエレクトロニクスのドライバ回路は無効になり、ＤＵＴのテスト入力ピンから切断される。ついで、ＰＭＵのスイッチをいれ、テスト入力ピンと接続し、ピンに定電圧を印加するか、定電流を駆動する。ＰＭＵは、定電圧によって駆動されるテスト入力ピンに流れる電流を測定するか、または、定電流が生成する入力ピンの電圧を測定する。測定された電流または電圧はそれぞれ、テスト入力ピンの入力漏れまたは電圧安定性のパラメータである。パラメータの測定には、ＤＵＴの入力ピンにおいて高い精度の電圧または電流が必要である。したがって各ＰＭＵは、実質的に定電圧および定電流を生成するために、ドライバ回路の電源とは別の電源から電力供給を受ける。

本発明の目的は、集積回路をテストする自動テスト装置で使用するように構成された、改善されたピンエレクトロニクスを提供することである。この目的は独立項によって解決される。好ましい実施形態は、従属項によって示される。

本発明の基本的な考えは、ピンエレクトロニクスのフィードバック回路とドライバ回路を使用することによって、ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に定電圧または定電流を強制することである。フィードバック回路は電圧を提供し、ドライバ回路は電圧を増幅しついでＤＵＴの入力ピンに供給する。ＰＭＵが生成した電圧とは対照的に、別の電源は必要ではない。したがって、ピンエレクトロニクスの最大電力消費量は低減され、低レベルで維持される。したがって、電力の変動も低く、温度の安定性が増す。これにより、測定精度が高まる。

本発明の実施形態によれば、集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）で使用するように構成されたピンエレクトロニクスが提供される。このピンエレクトロニクスは、データソースから入力信号を受信する入力と、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンに接続された出力からとを有するドライバ回路と、ＤＵＴの入力ピンにおいて入力電圧または電流を受け取る少なくとも１つの入力と、出力とを有するフィードバック回路であって、ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に定電圧または定電流を強制する電圧を提供するように構成されたフィードバック回路と、ドライバ回路の入力をデータソースまたはフィードバック回路の出力に選択に接続するスイッチング手段とを備える。ピンエレクトロニクスの信頼性を高め、集積回路として実装できるように、たとえばスイッチング手段はＭＯＳＦＥＴまたはバイポーラトランジスタなどのトランジスタによって実装してもよい。

１実施形態では、ドライバ回路は、第１の電圧Ｖ１を受けとるための第１の入力、第２の電圧Ｖ２を受けとるための第２の入力、および、ドライバ回路の出力を第１と第２の入力の間でトグルする(toggling)ためにテストプロセッサからデジタルデータストリームを受信するデータ入力とを備える。スイッチング手段は、ドライバ回路の第１の入力を第１の電圧Ｖ１に接続すること、またはフィードバック回路の出力に接続することを選択的に行うことができる。

フィードバック回路は、ＤＵＴの入力ピンにおける電圧を実質的に定電圧に調整してＤＵＴの入力ピンに入る入力電流を測定する強制電圧モード、または、ＤＵＴの入力ピンに流れる電流を実質的に定電流に調整してＤＵＴの入力ピンにおける電圧を測定する強制電流モードのいずれかで動作するように構成することができる。

好ましい実施形態では、フィードバック回路は第２のスイッチング手段と調整回路を備え、調整回路の出力はフィードバック回路の出力に接続され、調整回路の入力は第２のスイッチング手段によってフィードバック回路の第１の制御入力または第２の制御入力のいずれかに接続することができる。調整回路により、フィードバック回路の出力電圧を実質的に一定に維持することが可能になる。

特に調整回路は、第２のスイッチング手段上で第１の制御入力または第２の制御入力のいずれかから受け取った電圧を既定の電圧ＶＳＥＴと比較し、フィードバック回路の出力において制御電圧または電流を生成するための第１の増幅器を備えていてもよい。

フィードバック回路が強制電流モードで動作しているとき、フィードバック回路の出力電圧範囲を制限するために、ＤＵＴの入力ピンにおける電圧に関連するフィードバック回路の最大出力電圧と最小出力電圧を設定するように調整回路をプログラミングすることができる。したがってフィードバック回路は、異なる入力電圧要件を有するＤＵＴに適応させることができる。

好ましい実施形態では、抵抗器はドライバ回路の出力とＤＵＴの入力ピンの間で切り替えることができ、抵抗器の電圧低下を増幅する第２の増幅器を備えることができる。第２の増幅器の出力は、フィードバック回路の第１の制御入力に接続される。抵抗器はＤＵＴの入力ピンに流れる電流を電圧にマッピング(map)する。電流を実質的に一定の値で維持するために、この電圧を増幅し、フィードバック回路の調整回路の入力電圧として使用することができる。

フィードバック回路は少なくとも２つの出力電流範囲を備え、ドライバ回路はもっとも高い出力電流の範囲内でフィードバック回路のバッファとして使用される。

別の実施形態によれば、本発明は、集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）で使用するように構成されたチャネルボードに関する。このチャネルボードは、少なくとも１つのチャネルについて、本発明の任意の実施形態のピンエレクトロニクスを備える。

別の実施形態によれば、本発明は、被測定物（ＤＵＴ）のそれぞれのピンに関連づけられた複数のチャネルを伴う自動テスト装置（ＡＴＥ）に関し、各チャネルは本発明の任意の実施形態のピンエレクトロニクスを含む。

本発明の１実施形態によれば、集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）内で使用するように構成されたピンエレクトロニクスで、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンにおいてパラメータ測定を行う方法が提供され、データソースからの入力信号を受信する入力と、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンと接続された出力とを有するドライバ回路と、ＤＵＴの入力ピンにおける入力電圧または電流を受け取る少なくとも１つの入力と、出力とを有するフィードバック回路であって、ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に定電圧または定電流を強制するために電圧を提供するように構成されたフィードバック回路と、ドライバ回路の入力をデータソースまたはフィードバック回路の出力に選択的に接続するスイッチング手段とを備え、この方法は、フィードバック回路が提供する電圧を受け取るためにドライバ回路の入力をフィードバック回路の出力に接続するステップと、ＤＵＴの入力ピンにおいて電圧または電流を強制(force)するためにドライバ回路の出力をＤＵＴの入力ピンに接続するステップと、ＤＵＴの入力ピンにおける電圧を測定するかまたはＤＵＴの入力ピンに流れる電流を測定するステップとを含む。

本方法の実施形態はさらに、フィードバック回路によってＤＵＴの入力ピンにおける電圧を受け取るかまたはＤＵＴの入力ピンに流れる電流を受け取るステップと、ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に定電圧を強制するかまたはＤＵＴの入力ピンに流れる実質的に定電流を強制するために、ＤＵＴの入力ピンにおいて受けとった電圧またはＤＵＴの入力ピンに流れる受け取った電流に依存してフィードバック回路の出力電圧を調整するステップとを含む。

本発明の実施形態は、１つまたは複数の適切なソフトウェアプログラムによって部分的または完全に具体化またはサポートされる。このソフトウェアプログラムは任意の種類のデータキャリアに記憶されるかまたは他の方法によってデータキャリアが提供することができ、任意の適切なデータ処理ユニットの中かまたはデータ処理ユニットによって実行できる。好ましくは、ソフトウェアプログラムまたはルーチンは、本発明の実施形態によるピンエレクトロニクスを制御するコンピュータに適用される。

本発明の実施形態の他の目的および多くの付随する利点は、実施形態に関する次の詳細な説明を付随する図面（複数可）と共に参照することにより容易によりよく理解されるであろう。実質的または機能的に等しいまたは同様な機能は同じ参照符号（複数可）によって参照する。

図１は、ドライバ回路１２、第１の入力１４、第２の入力１６、第３の入力１８、出力２４を含むピンエレクトロニクス１０の回路を示す。ドライバ回路１２は、入力側と出力側の望ましくない相互作用を防ぐために入力側を出力側から分離する一種のバッファである。図１に示すように、ドライバ回路１２は、ＤＵＴ２２の入力ピン２０などの負荷を駆動するように構成される。特に、ドライバ回路１２は入力において信号を増幅する。ＡＴＥ環境での用途に適合させるために、ドライバ回路１２は、異なるＤＵＴの入力ピンを刺激し異なる入力特性に対処するために必要な出力電圧と電流範囲を有する。特にドライバ回路は、５０オーム特性インピーダンスで制御されたインピーダンス伝送線上で高速信号を駆動できるように、高出力電流機能を有していてもよい。このため、ドライバ回路１２は、ＤＵＴの入力ピンのパラメータ測定を行うために使用する出力電圧または電流のバッファとしても使用することができる。これについては後述する。図１では、ドライバ回路１２のスイッチはバッファリングスイッチ、すなわち、入力ピン１４における信号の制御下で入力１６と１８のいずれかを出力２４に接続し、入力ピン１６と１８における入力信号をバッファして、出力２４を入力１６と１８から分離するスイッチとして理解される。たとえば、ドライバ回路１２により、弱い電流駆動機能を有する電源を強い電流駆動機能を有する電源に変形する。したがって、高出力電流を駆動できないＰＭＵでＤＵＴの入力ピンのパラメータ測定を行い、ＤＵＴの低インピーダンス入力ピンにおいて一定の出力電圧を生成することができる。

第２の入力１６は、第１のスイッチング手段２８によって、第１の電圧レベルＶ１を生成する第１の電源に接続することができる。第３の入力１８は、第１の電圧レベルＶ１より大きな第２の電圧レベルＶ２を生成する第２の電源４８と接続する。電圧レベルＶ１とＶ２は、ＤＵＴ２２の入力ピン２０の刺激信号の異なるレベルを表す電圧レベルを表す。

第１の入力１４は第３のスイッチング手段２９により、テストプロセッサから受信されＤＵＴ２２の入力ピン２０を刺激する刺激パターンを表すたとえばデータストリームなどのデジタル信号か、または、第２の入力１６を出力２４に接続して第２の入力１６における任意の信号を出力２４にルーティングするようにドライバ回路１２のスイッチをトグルするスイッチ信号に対応する第３の電源５０のいずれかに接続することができる。

第２の入力１６は、第１のスイッチング手段２８によって、ピンエレクトロニクス１０に含まれるフィードバック回路２６の出力３０に接続することができる。第２の入力１６の代わりに、第１の入力１８も、第１のスイッチング手段２８によってフィードバック回路２６の出力３０と接続することができる。したがって、フィードバック回路２６の出力３０を必ずしもドライバ回路１２の低レベル入力に接続する必要はない。

フィードバック回路２６は、第１の増幅器３８と、既定の電圧レベルＶＳＥＴを生成し第１の増幅器３８の正の入力に接続されてフィードバック回路２６の出力３０において電圧または電流を調整する第４の電源５２とを含む調整回路３２を備える。電圧レベルＶＳＥＴは、フィードバック回路２６が強制した電圧（強制電圧モードにおいて。次の説明を参照のこと）または電流（強制電流モードにおいて。次の説明を参照のこと）を定義する。第１の増幅器３８の負の入力は、第２のスイッチング手段４２によって、フィードバック回路２６の第１の制御入力３４または第２の制御入力４０のいずれかと接続することができる。第１の制御入力３４は第２の増幅器４４の出力と接続される。第２の増幅器４４もＰＭＵの一部であってもよく、ドライバ回路１２の出力２４とＤＵＴ２２の入力ピン２０の間に接続された抵抗器３６での電圧低下を増幅する。第２の制御入力４０はＤＵＴ２２の入力ピン２０に直接接続される。第２のスイッチング手段４２は第１の位置で、第２の制御入力４０を第１の増幅器３８の負の入力と接続し、第１の制御入力３４を機器に接続可能なフィードバック回路２６の測定出力３１と接続し、出力３１において電圧（図示せず）を測定するように構成される。測定される電圧は、ＤＵＴ２２の入力ピン２０の電圧、または抵抗器３６の増幅された電圧低下のいずれかである。後者の場合では、出力３１の測定電圧は、ＤＵＴ２２の入力ピン２０に流れる電流に対応する。第２のスイッチング位置では、第２のスイッチング手段４２は第２の制御入力４０を測定出力３１に接続し、第１の制御入力３４を第１の増幅器３８の負の入力に接続する。

次に、図１のピンエレクトロニクス１０の機能を詳述する。

ピンエレクトロニクス１０は３つの異なるモードで動作することができる。第１のモードまたは高速モードでは、ピンエレクトロニクス１０はＤＵＴ２２の入力ピン２０を刺激するテストプロセッサ（図１には図示せず）からのデータストリームの形態で入力信号を受信する。これは、ＤＵＴ２２のデジタル入力ピンが、テストプロセッサが生成する所定のパターンによって刺激されるテストモードである。このモードでは、ＡＴＥはＤＵＴ２２の所定の出力または入力／出力ピンで受信された値を、期待される値と比較し、正しい機能挙動についてＤＵＴ２２をテストする。高速モードまたはテストモードではフィードバック回路２６は無効であり、したがって、第１のスイッチング手段２８はドライバ回路１２の第２の入力１６を第１の電源と接続する。さらに、ドライバ回路１２の第１の入力１４は第３のスイッチング手段２９によってテストプロセッサからの刺激信号またはデータストリームにそれぞれ接続される。

図２に示す強制電圧モードと呼ばれる第２のモードでは、ドライバ回路１２はフィードバック回路２６の電圧バッファとして使用される。このモードはフィードバック回路２６が有効な測定モードである。第１のスイッチング手段２８は、ＰＭＵ２６の出力３０をドライバ回路１２の第２の入力１６に接続する。ドライバ回路１２の第１の入力１４は第３のスイッチング手段２９によって第３の電源５０に接続され、ドライバ回路１２は第２の入力１６において電圧をバッファする。したがってフィードバック回路２６の出力３０における電圧はＤＵＴ２２の入力ピン２０にバッファされる。第２の制御入力４０と第２のスイッチング手段４２上で、ＤＵＴ２２の入力ピン２０における電圧は第１の増幅器３８の負の入力に供給されてフィードバックを実装し、ＤＵＴ２２の入力ピン２０における電圧をほぼ一定の値に維持する。フィードバック回路２６の出力３０における電圧は抵抗器３６上の電圧低下に依存する。図２では、このモードで実装されたフィードバックループは太線で強調されている。このモードでは、調整回路３２はＤＵＴ２２の入力ピン２０において電圧を実質的に一定の電圧に強制する。これにより、入力電流の測定、特にＤＵＴ２２の入力ピン２０への入力漏れ電流の測定が可能になる。この入力電流は抵抗器３６上で電圧低下を生成する。電圧低下は第２の増幅器４４によって増幅され、第２のスイッチング手段４２上でフィードバック回路２６の測定出力３１に供給される。

次に、ピンエレクトロニクス１０の強制電流モードと呼ばれる第３のモードを、図３を参照して説明する。またこのモードは、フィードバック回路２６が有効な測定モードである。このモードでは、第２のスイッチング手段４２は図１と図２に示すモードとは対照的にトグルされ、第２の増幅器４４の出力における電圧は第１の増幅器３８の負の入力に供給され、フィードバック回路２６を強制して、抵抗器３６を介してＤＵＴ２２の入力ピン２０に流れる実質的な定電流を生成する。ここでも太線は実装されたフィードバックループを強調する。このモードでは、ＤＵＴ２２の入力ピン２０における電圧を測定することができる。したがって、入力ピン２０の電圧は第２のスイッチング手段４２上でフィードバック回路２６の測定出力３１に供給される。

両方の測定モードにおいて、フィードバック回路はいくつかの異なる出力電流範囲を有していてもよいことに注意されたい。好ましくは、ドライバ回路１２はもっとも高い出力電流を伴うフィードバック回路の範囲内でバッファとして使用される。このため、フィードバック回路２６の電力消費はドライバ回路１２をバッファとして使用しないときよりも少ない。特に、フィードバック回路２６はもっとも高い電流範囲におけるパラメータ測定に必要な高電流を駆動することのできる出力ドライバを必要としない。さらに、両方の測定モードでフィードバックを実装することにより、もっとも高い出力電流範囲においてピンエレクトロニクスのドライバ回路をバッファとして使用することによって、電力消費と、フィードバック回路の温度の変動を招く電力の変動を大幅に低減することができる。これにより、ピンエレクトロニクス１０、または少なくともその一部を集積回路内で実装することができる。

図４は、ＤＵＴ２２のいくつかのピン２０をテストするいくつかのチャネル１０４を備えたＡＴＥ１０２を示す。ＡＴＥ１０２は、複数のピンエレクトロニクス１０を含む１つまたは複数のチャネルボード１００を備える。たとえばチャネルボードは、８つのチャネルモジュールに分割される６４のデジタルＡＴＥチャネルを備えていてもよい。チャネルモジュールのうちの４つは、ピンエレクトロニクスを効率的に冷やすために、ヒートシンクの２つの相対する面の各々に装着される。各チャネルモジュールは、チャネルボードの一部であるテストプロセッサと、ＡＴＥを制御するコンピュータの間の通信を可能にするインタフェースモジュールに対する接続を有していてもよい。チャネルモジュールの相対する端のリレーモジュールは、ＡＴＥのピンラインを、ＤＵＴボードのスプリング接点に終末するケーブルアセンブリにルーティングする。

図４に示すように、ピンエレクトロニクス１０はテストするＤＵＴ２２のピン２０ごとに備えられる。チャネルボード１００のピンエレクトロニクス１０は、コントローラ１０８によって制御されるテストプロセッサから刺激信号と制御信号をチャネルインタフェース上で受信する。コントローラ１０８は、ケーブル１０４上でコントローラ１０８をピンエレクトロニクス１０に接続するインタフェースカード１０６上でテストプロセッサからデータを送受信するワークステーションであってよい。コントローラ１０８は、刺激信号と制御信号の生成を制御するテストプロセッサとインタフェースするＡＴＥ１０２の中央データ処理ユニットである。コントローラ１０８は、ＡＴＥ１０２に接続されたディスプレイ１１０上に表示されたＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェース）が制御してもよい。

またコントローラ１０８は、上述したピンエレクトロニクス１０の異なるモードを制御するように構成されたソフトウェアを含む。特に、コントローラ１０８は、テストモードでピンエレクトロニクス１０をスイッチングする、ＤＵＴ２２の入力ピン２０を刺激しＤＵＴ２２の出力ピンにおいて信号を受信する、ＤＵＴ２２の正しい機能をテストするために受信した信号を期待される値と比較するなどのテストシーケンスを実行するように、ソフトウェアによってプログラミングすることができる。さらに、テストコンピュータ１０８はピンエレクトロニクス１０を上述の測定モードに切替えて、ＤＵＴ２２のパラメータ測定を行うことができる。

また、以下に本発明の各実施態様の例を示す。

［実施態様１］
集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）内で使用するように構成されたピンエレクトロニクス（１０）であって、データソースから入力信号を受信する入力（１４、１６、１８）と、被測定物（ＤＵＴ）（２２）の入力ピン（２０）に接続された出力（２４）とを有するドライバ回路（１２）と、ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において入力電圧または電流を受けとめる少なくとも１つの入力（３４、４０）と、出力（３０）とを有するフィードバック回路（２６）であって、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において実質的に一定な電圧または電流を強制するように電圧を提供するように構成されたフィードバック回路（２６）と、前記ドライバ回路（１２）の入力（１４、１６、１８）に、入力信号を提供すること、または前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）を提供することを選択的に提供するスイッチング手段（２８、２９）とを備える、ピンエレクトロニクス（１０）。

[実施態様２］
前記ドライバ回路（１２）は、第１の電圧Ｖ１を受け取る第１の入力（１６）と、第２の電圧Ｖ２を受け取る第２の入力（１８）と、前記第１の入力と第２の入力（１６、１８）の間で前記ドライバ回路（１２）の出力（２４）をトグルするテストプロセッサからのデジタルデータストリームを受信するデータ入力（１４）とを備え、前記スイッチング手段（２８）は、前記ドライバ回路（１２）の第１の入力と第２の入力（１６、１８）のうち１つを前記第１の電圧Ｖ１と前記第２の電圧Ｖ２のうち１つか、前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）に選択的に接続する、実施態様１に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様３］
前記フィードバック回路（２６）は、前記フィードバック回路（２６）が、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において電圧を実質的に定電圧に調整し、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）への入力電流を測定する強制電圧モードと、前記フィードバック回路（２６）が、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）に流れる電流をほぼ定電流に調整し、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において電圧を測定する強制電流モードのいずれかで動作するように構成される、実施態様１または２のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様４］
前記フィードバック回路（２６）は、第２のスイッチング手段（４２）と調整回路（３２）とを備え、前記調整回路（３２）の出力は前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）に接続され、前記調整回路（３２）の入力は前記第２のスイッチング手段（４２）によって前記フィードバック回路（２６）の第１の制御入力（３４）または第２の制御入力（４０）のいずれかに接続することのできる、実施態様３に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様５］
前記調整回路（３２）は、前記第１の制御入力または前記第２の制御入力（３４、４０）のいずれかから前記第２のスイッチング手段（４２）上で受け取った電圧を、既定の電圧ＶＳＥＴと比較し、前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）において制御電圧または電流を生成する第１の増幅器（３８）を備える、実施態様４に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様６］
前記フィードバック回路（２６）が強制電流モードで動作している時に、前記調整回路（３２）は、前記フィードバック回路（２６）の出力電圧範囲を限定するために前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）の電圧に関連する前記フィードバック回路（２６）の最大出力電圧と最小出力電圧とを設定するようにプログラミング可能である、実施態様４または５に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様７］
前記ドライバ回路（１２）の出力（２４）と前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）の間に接続される抵抗器（３６）と、前記抵抗器上（３６）の電圧低下を増幅する第２の増幅器（４４）であって該第２の増幅器（４４）の出力は前記フィードバック回路（３２）の第１の制御入力（３４）に接続される、第２の増幅器（４４）とを備える、実施態様４から６のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様８］
前記フィードバック回路（２６）は、少なくとも２つの出力電流範囲を備え、前記ドライバ回路（１０）は、もっとも高い出力電流を伴う範囲で前記フィードバック回路（３２）のバッファとして使用される、実施態様１から７のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。

[実施態様９］
集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）（１０２）内で使用するように構成されたチャネルボード（１００）であって、少なくとも１つのチャネル（１０４）について、前記実施態様１から８のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス（１０）を備える、チャネルボード（１００）。

[実施態様１０］
被測定物（ＤＵＴ）（２０）のそれぞれのピン（２２）に関連づけられた複数のチャネル（１０４）を伴う自動テスト装置（ＡＴＥ）（１０２）であって、前記各チャネル（１０４）は実施態様１から８のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス（１０）を含む、自動テスト装置（１０２）。

[実施態様１１］
集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）で使用するように構成されたピンエレクトロニクス（１０）で、被測定物（ＤＵＴ）（２２）の入力ピン（２０）においてパラメータ測定を行う方法であって、データソースからの入力信号を受信する入力（１４、１６、１８）と、被測定物（ＤＵＴ）（２２）の入力ピン（２０）に接続された出力（２４）とを有するドライバ回路（１２）と、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において入力電圧または電流を受け取る少なくとも１つの入力（３４、４０）と、出力（３０）とを有するフィードバック回路（２６）であって、前記フィードバック回路（２６）は、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において実質的に定電圧または定電流を強制するために電圧を提供するように構成されたフィードバック回路（２６）と、前記ドライバ回路（１２）の入力（１４、１６、１８）に、入力信号、または前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）を、次のステップで選択的に提供するスイッチング手段（２８、２９）とを備え、該ステップは、第１のモードでは、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）において既定の電圧を強制するために前記フィードバック回路（２６）が提供する電圧を受け取るように、前記ドライバ回路（１２）に、前記フィードバック回路（２６）の出力（３０）を提供するように、前記スイッチング手段をスイッチングするステップと、第２のモードでは、前記ＤＵＴ（２２）の入力ピン（２０）に前記入力データを駆動するために前記ドライバ回路に入力信号を提供するように前記スイッチング手段をスイッチングするステップである、方法。

[実施態様１２］
好ましくはデータキャリア上に記憶され、コンピュータなどのデータ処理システム上で実行される時、実施態様１１の方法を行うソフトウェアプログラムまたは製品。

高速テストモードで動作している、本発明によるピンエレクトロニクスの１実施形態を示す図である。 強制電圧モードで動作する図１のピンエレクトロニクスを示す図である。 強制電流モードで動作する図１のピンエレクトロニクスを示す図である。 本発明によるピンエレクトロニクスの１実施形態を備える、本発明によるＡＴＥの１実施形態を示す図である。

符号の説明

１０ ピンエレクトロニクス
１２ ドライバ回路
１４ 第１の入力
１６ 第２の入力
１８ 第３の入力
２０ 入力ピン
２２ ＤＵＴ
２４ 出力
２６ フィードバック回路
２８ 第１のスイッチング手段
２９ 第３のスイッチング手段
３０ 出力
３１ 測定出力
３２ 調整回路
３４ 第１の制御入力
３６ 抵抗器
３８ 第１の増幅器
４０ 第２の制御入力
４２ 第２のスイッチング手段
４４ 第２の増幅器
４８ 第１の電源
５０ 第３の電源
５２ 第４の電源
１００ チャネルボード
１０２ ＡＴＥ
１０４ チャネル
１０８ コントローラ
１１０ ディスプレイ

Claims (12)

1. 集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）内で使用するように構成されたピンエレクトロニクスであって、
   データソースから入力信号を受信する入力と、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンに接続された出力とを有するドライバ回路と、
   ＤＵＴの入力ピンにおいて入力電圧または電流を受けとめる少なくとも１つの入力と、出力とを有するフィードバック回路であって、前記ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に一定な電圧または電流を強制するように電圧を提供するように構成されたフィードバック回路と、
   前記ドライバ回路の入力に、入力信号を提供すること、または前記フィードバック回路の出力を提供することを選択的に提供するスイッチング手段とを備える、ピンエレクトロニクス。
2. 前記ドライバ回路は、第１の電圧Ｖ１を受け取る第１の入力と、第２の電圧Ｖ２を受け取る第２の入力と、前記第１の入力と第２の入力の間で前記ドライバ回路の出力をトグルするテストプロセッサからのデジタルデータストリームを受信するデータ入力とを備え、
   前記スイッチング手段は、前記ドライバ回路の第１の入力を前記第１の電圧Ｖ１か、前記フィードバック回路の出力に選択的に接続する、請求項１に記載のピンエレクトロニクス。
3. 前記フィードバック回路は、
   前記フィードバック回路が、前記ＤＵＴの入力ピンにおいて電圧を実質的に定電圧に調整し、前記ＤＵＴの入力ピンへの入力電流を測定する強制電圧モードと、
   前記フィードバック回路が、前記ＤＵＴの入力ピンに流れる電流をほぼ定電流に調整し、前記ＤＵＴの入力ピンにおいて電圧を測定する強制電流モードのいずれかで動作するように構成される、請求項１または２のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。
4. 前記フィードバック回路は、第２のスイッチング手段と調整回路とを備え、前記調整回路の出力は前記フィードバック回路の出力に接続され、前記調整回路の入力は前記第２のスイッチング手段によって前記フィードバック回路の第１の制御入力または第２の制御入力のいずれかに接続することのできる、請求項３に記載のピンエレクトロニクス。
5. 前記調整回路は、前記第１の制御入力または前記第２の制御入力のいずれかから前記第２のスイッチング手段上で受け取った電圧を、既定の電圧ＶＳＥＴと比較し、前記フィードバック回路の出力において制御電圧または電流を生成する第１の増幅器を備える、請求項４に記載のピンエレクトロニクス。
6. 前記フィードバック回路が強制電流モードで動作している時に、前記調整回路は、前記フィードバック回路の出力電圧範囲を限定するために前記ＤＵＴの入力ピンの電圧に関連する前記フィードバック回路の最大出力電圧と最小出力電圧とを設定するようにプログラミング可能である、請求項４または５に記載のピンエレクトロニクス。
7. 前記ドライバ回路の出力と前記ＤＵＴの入力ピンの間に接続される抵抗器と、前記抵抗器上の電圧低下を増幅する第２の増幅器であって該第２の増幅器の出力は前記フィードバック回路の第１の制御入力に接続される、第２の増幅器とを備える、請求項４から６のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。
8. 前記フィードバック回路は、少なくとも２つの出力電流範囲を備え、前記ドライバ回路は、もっとも高い出力電流を伴う範囲で前記フィードバック回路のバッファとして使用される、請求項１から７のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクス。
9. 集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）内で使用するように構成されたチャネルボードであって、少なくとも１つのチャネルについて、前記請求項１から８のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクスを備える、チャネルボード。
10. 被測定物（ＤＵＴ）のそれぞれのピンに関連づけられた複数のチャネルを伴う自動テスト装置（ＡＴＥ）であって、前記各チャネルは請求項１から８のいずれか一項に記載のピンエレクトロニクスを含む、自動テスト装置。
11. 集積回路（ＩＣ）をテストする自動テスト装置（ＡＴＥ）で使用するように構成されたピンエレクトロニクスで、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンにおいてパラメータ測定を行う方法であって、
    データソースからの入力信号を受信する入力と、被測定物（ＤＵＴ）の入力ピンに接続された出力とを有するドライバ回路と、
    前記ＤＵＴの入力ピンにおいて入力電圧または電流を受け取る少なくとも１つの入力と、出力とを有するフィードバック回路であって、前記フィードバック回路は、前記ＤＵＴの入力ピンにおいて実質的に定電圧または定電流を強制するために電圧を提供するように構成されたフィードバック回路と、
    前記ドライバ回路の入力に、入力信号、または前記フィードバック回路の出力を、次のステップで選択的に提供するスイッチング手段とを備え、該ステップは、
    第１のモードでは、前記ＤＵＴの入力ピンにおいて既定の電圧を強制するために前記フィードバック回路が提供する電圧を受け取るように、前記ドライバ回路に、前記フィードバック回路の出力を提供するように、前記スイッチング手段をスイッチングするステップと、
    第２のモードでは、前記ＤＵＴの入力ピンに前記入力データを駆動するために前記ドライバ回路に入力信号を提供するように前記スイッチング手段をスイッチングするステップである、方法。
12. データキャリア上に記憶され、コンピュータなどのデータ処理システム上で実行される時、請求項１１の方法を行うソフトウェアプログラムまたは製品。
    

Images