CN109564261B - 结合由自动测试设备的通道所流出的电流 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种示例性测试系统，所述测试系统包括：多个通道，其中所述多个通道中的每个被配置为供应电压以及流出电流；和电路系统，所述电路系统结合由所述多个通道流出的电流，以产生经结合的电流，用于在单一通道上输出到受测装置(DUT)，其中所述多个通道中的每个包括负载分担电阻器以控制所述通道对所述经结合的电流的贡献。

Description

结合由自动测试设备的通道所流出的电流
技术领域
本说明书整体涉及结合由自动测试设备的多个通道所流出的电流以产生经结合的电流，用于输出到受测装置。
背景技术
自动测试设备(ATE)是指用于测试装置的自动化(通常是计算机驱动的)系统。ATE所测试的装置通常被称为受测装置(DUT)。ATE一般包括计算机系统以及一个或多个测试仪器或具有对应功能的单一装置。ATE能够向DUT提供测试信号，从DUT接收响应信号，并且转送这些响应信号以供处理，以确定DUT是否满足测试合格性。例如，在一些实施方式中，ATE可能够将电压供应至DUT并且使电流流出至DUT。
发明内容
示例性测试系统包括：多个通道，其中多个通道中的每个被配置为供应电压以及流出电流；和电路系统，其结合由多个通道所流出的电流以产生经结合的电流，用于在单一通道上输出到受测装置(DUT)。多个通道中的每个可包括负载分担电阻器，以控制通道对经结合的电流的贡献。示例性测试系统可单独或结合地包括下列特征中的一个或多个。
多个通道可包括主通道和从属通道，其中主通道是单一通道，其中主通道包括第一供应线(force line)和第一感测线，并且其中主通道在第一供应线上包括第一负载分担电阻器并且在第一供应线与第一感测线之间经历电压降。电路系统可包括：检测器电路，其检测电压降；和阻抗电路，其可被配置为将基于该经检测的电压降的电压引入至从属通道中。从属通道可包括：第二供应线，该第二供应线包括第二负载分担电阻器；和第二感测线，该第二感测线包括阻抗电路，其中第二供应线连接至第一供应线以向主通道提供电流。检测器电路可包括仪器放大器，该仪器放大器具有：第一输入，该第一输入连接至第一供应线；和第二输入，该第二输入连接至第一感测线，其中第一负载分担电阻器连接在第一输入与DUT之间。阻抗电路可包括可变电阻器。
每个通道的负载分担电阻器可具有相等的电阻。不同通道的负载分担电阻器可具有不同的电阻。每个通道的负载分担电阻器可控制每个通道对经结合的电流的贡献，使得每个通道对经结合的电流的贡献是相等的或具有指定的百分比或量。多个通道可被配置为当在单一通道上输出经结合的电流时以供应电压模式(force voltage mode)操作。
多个通道可包括主通道和多个从属通道，其中主通道是单一通道，其中主通道包括第一供应线和第一感测线，并且其中主通道在第一供应线上包括第一负载分担电阻器并且在第一供应线与第一感测线之间经历电压降。电路系统可包括：检测器电路，其被配置为检测电压降；和阻抗电路，其包括在多个从属通道中的每个中，并且其可被配置为将基于经检测的电压降的电压引入至多个从属通道中的每个中。
示例性方法包括：在测试电子器件与受测装置(DUT)之间的通道上的供应线与感测线之间检测电压降，其中该通道是主通道并且在供应线上具有负载分担电阻器；将基于电压降的电压引入至多个从属通道中，其中多个从属通道中的每个具有包含负载分担电阻器的供应线，并且其中每个供应线的负载分担电阻器控制从对应的供应线输出的电流的量；以及结合来自多个从属通道的电流与来自主通道的电流，以产生经结合的电流，用于输出到DUT。示例性方法可单独或结合地包括下列特征中的一个或多个。
电压降可由仪器放大器跨主通道的负载分担电阻器和供应接触电阻来检测，该仪器放大器接收来自供应线的输入以及来自感测线的输入，其中仪器放大器输出基于电压降的信号，并且其中引入至多个从属通道中的电压基于该信号。主通道的负载分担电阻器可具有与多个从属通道中的每个的负载分担电阻器相同的电阻。主通道的或多个从属通道的至少一个负载分担电阻器可具有不同于主通道的或多个从属通道的至少一个其他负载分担电阻器的电阻。多个从属通道中的每个可具有感测线，并且电压可被引入至多个从属通道中的每个的感测线。引入至从属通道中的每个的电压可与在主通道中所检测的电压降相同。
示例性测试设备可包括：主通道，该主通道供应电压并且使电流流出至受测装置(DUT)；和装置，该装置用于结合多个从属通道的电流与来自主通道的电流，以产生经结合的电流，用于沿着主通道输出到DUT。示例性测试设备可包括下列特征中的一个或多个。
主通道和多个从属通道中的每个可具有供应线和感测线，其中每个感测线具有负载分担电阻器以影响通道电流输出，并且其中每个感测线可基于主通道上的电压降来配置。用于结合电流的装置可包括：仪器放大器，以基于来自主通道的供应线和感测线的输入而检测主通道上的电压降；以及每个感测线上的阻抗电路，该阻抗电路可基于所检测的电压降来配置。来自主通道的电流以及多个从属通道的电流中的每个可具有相同值。
可结合包括在本发明内容部分中的本说明书中所描述的特征中的任何两个或更多个，以形成在本文中未具体描述的实施方式。
本文所描述的测试系统和技术，或其部分可实施为计算机程序产品/由计算机程序产品控制，该计算机程序产品包括指令，该等指令存储于一个或多个非暂时性机器可读存储介质上，并且可在一个或多个处理装置上执行以控制(例如，协调)本文所描述的操作。本文所描述的测试系统和技术或其部分可实施为设备、方法或电子系统，它们可包括一个或多个处理装置以及存储器，以存储可执行指令来实施各种操作。
在附图与下文描述中阐述一个或多个实施方式的细节。经由描述和附图，且经由权利要求书，其他特征和优点将显而易见。
附图说明
图1是测试仪器的一部分的示例性实施方式的框图，该部分被配置为结合由ATE的多个通道流出的电流，以产生经结合的电流，用于输出到DUT。
图2是由图1中所示的测试仪器的部分所执行的示例性过程的流程图。
图3是ATE的示例性组件的框图。
不同图中类似的参考数字指示类似的元件。
具体实施方式
为了测试组件，制造商通常使用ATE(或“测试器”)。响应于测试程序集(TPS)中的指令，一些ATE自动生成待施加至受测装置(DUT)的输入信号，并且监控输出信号。ATE比较输出信号与预期响应，以确定DUT是否有缺陷。ATE一般包括计算机系统以及一个或多个测试仪器或具有对应功能的单一装置。在一些情况下，测试仪器供应电压并使电流流出至DUT作为测试协议的一部分。
可使用ATE测试的装置的示例包括但不限于电子装置，包括电路和电子器件、计算机硬件和软件、计算机存储器(例如，动态随机存取存储器)、数字照相机传感器等。
在一些实施方式中，在操作期间，ATE中的电路系统(诸如引脚电子器件(PE))被配置为供应电压并使电流流出或流入至DUT。在一些实施方式中，当供应电压时，ATE具有有限量的电流流出及流入容量。在一些情况下，DUT的测试必要条件可需要多于ATE能够供给的电流。本文所述的是示例性测试仪器，该测试仪器是ATE的一部分，并且其被配置为以供应电压模式结合或连接多个测试仪器或测试仪器通道以将经结合的电流递送至DUT。通过以此方式结合电流，测试仪器可在单一通道上流出更多电流。在一些实施方式中，每个通道可如本文所述被配置为提供相同量的电流，或者每个通道可如本文所述被配置为提供不同量的电流。可稳定地结合任何适当数目的通道。
在一些实施方式中，结合来自不同来源的电流的示例性测试仪器(或简单地说，仪器)采用主-从属通道配置。例如，仪器可具有供应/感测对输出通道，该输出通道可在仪器的高侧或低侧。感测线调整供应线中所谓的开尔文损失。开尔文损失可归因于例如路径中的接触电阻或附加电阻，如在负载分担电阻器(RSHARE)中。本文所述的示例性仪器使用主通道中的开尔文损失控制一个或多个从属通道中的阻抗。阻抗结合每个从属通道中的负载分担电阻器(RSHARE)平衡通道电流输出，在一些情况下，控制电流，使得从每个通道输出相等的电流，这取决于每个通道中负载分担电阻器的大小。示例性测试仪器可以此方式结合任何适当数目的通道，这取决于DUT所需的电流以及每个通道的电流流出容量。
图1示出测试仪器5的一部分的示例性实施方式，该部分被配置为结合来自ATE的多个通道的电流，以产生经结合的电流，用于在单一通道上输出。在一些实施方式中，测试仪器5是浮动电压-电流(VI)仪器，其具有低供应线和低感测线以及高供应线和高感测线。在一些实施方式中，本文所述的技术可在浮动VI仪器的高侧或低侧、或在基于地面的VI仪器上使用。
示例性仪器5包括多个通道7、8、9，其中的每个可被配置为以供应电压模式供应电压并且流出电流。在此示例中，示出三个通道；然而，可使用任何适当数目的通道，如本文所述。在此示例中，多个通道包括主通道7和从属通道8、9。测试仪器中的任何适当的通道可被配置为主通道或从属通道。
主通道7是单一通道，并且包括供应线10和感测线11。主通道7还包括在供应线10上的负载分担电阻器(RSHARE)12。在操作期间(例如，在供应电压模式期间)，主通道7在供应线10与感测线11之间经历电压降。该电压降是上文所述的开尔文下降。在图1的示例中，电压降部分地由供应接触电阻产生，该供应接触电阻表示为主通道中的电阻器14(RCONTACT)。每个从属通道8、9也组成单一通道，并且每个从属通道也包括供应线(“FORCE”)和感测线(“SENSE”)。就此而言，在一些实施方式中，例如，使用开关或编程以改变本文所述的电路配置，从属通道可被配置为主通道且反之亦然。
如上文所指出，在采用本文所述的技术的测试仪器中可使用任何适当数目的通道。例如，可存在主通道和多个从属通道，如图所示。可存在单一主通道和单一从属通道。可存在多个主通道，其中的每个与单一从属通道一起操作。可存在多个主通道，其中的每个与多个从属通道一起操作。
在图1的示例中，DUT 15的测试协议需要多于单独主通道7能够流出的电流。因此，仪器5被配置为结合来自主通道7的电流与来自从属通道8、9中的每个的电流，以经由主通道7输出至DUT。为了平衡并且因此控制每个通道所提供的电流，仪器5包括电路系统17以结合多个通道所流出的电流，以产生经结合的电流，用于输出到DUT。如图1中所示，多个通道中的每个(包括主通道7和从属通道8、9)包括负载分担电阻器(RSHARE)，该负载分担电阻器被配置为借助于其电阻值控制相应通道对经结合的电流的贡献。在一些实施方式中，负载分担电阻器各自具有相同的电阻值，并且在一些实施方式中，不同通道的负载分担电阻器具有不同的值。例如，负载分担电阻器12、负载分担电阻器18、和负载分担电阻器19可各自具有相同电阻值，或这些电阻器的任何两者、或所有三者可具有不同电阻值。
在负载分担电阻器具有相同电阻值的实施方式中，每个通道对总共经结合的电流的电流贡献可为相同的。在负载分担电阻器具有不同电阻值的实施方式中，每个通道对总共经结合的电流的电流贡献可与通道的对应负载分担电阻器的电阻成比例。例如，在从属通道8所具有的负载分担电阻器是主通道7和从属通道9中的每个的负载分担电阻器的电阻的两倍的实施方式中，则从属通道8对总共经结合的电流的贡献可为主通道7和从属通道9中的每个的电流贡献的一半。
在一些实施方式中，电路系统17包括检测器电路21(INA)，以检测跨主通道7的开尔文电压降。开尔文电压降由检测器电路跨主通道的负载分担电阻器12(RSHARE)和主通道的供应接触电阻14(RCONTACT)来检测，该检测器电路接收来自供应线10的输入23以及来自感测线11的输入24。检测器电路生成并且输出基于电压降的信号。引入至从属通道的电压基于该信号输出。
更具体而言，在一些实施方式中，检测器电路包括(或者是)仪器放大器或类似功能的电路系统，其具有连接至供应线10的第一输入23以及连接至感测线11的第二输入24。如图1中所示，RSHARE和RCONTACT在第一输入23与DUT 15之间。检测器电路21检测沿着主通道的开尔文电压降，并且输出基于该开尔文电压降的信号。在一些实施方式中，信号代表开尔文电压降。该信号用于控制连接在从属通道中的每个的感测线上的阻抗电路(例如，通道8的阻抗电路28(X1)以及通道9的阻抗电路29(X1))。阻抗电路各自可以是(或包括)所具有的阻抗基于仪器放大器所输出的信号30而变化的电路系统。因此，每个阻抗电路可被配置为向其对应从属通道中引入阻抗，并且因此引入针对给定电流的电压降，该电压降基于主通道的经检测的开尔文电压。在一些实施方式中，每个阻抗电路包括(或者是)所具有的电阻基于经检测的开尔文电压而变化的可变电阻器(如仪器放大器所输出的信号所代表的)。然而，在一些实施方式中，可使用可变阻抗电路系统而非可变电阻器。
参见图2，在操作32中，仪器放大器检测(34)主通道7的供应线10和感测线11上的适当点之间的电压降(开尔文电压)。基于来自仪器放大器(检测器电路21)的输出信号，通过控制每个从属通道的阻抗电路的阻抗(例如，电阻)，将经检测的电压降引入至从属通道8和9中的每个中。更具体而言，从属通道的阻抗电路由仪器放大器的信号输出来控制，以向多个从属通道中的每个中引入(35)一定量电阻，这将针对来自该通道的电流输出产生主通道的开尔文电压降。结果，主通道的电条件实质上在每个从属通道中复制。该方法不限于可变阻抗，并且相同效应可通过使用与从属通道的感测线串联的固定电阻器来实现，并且可跨固定电阻器应用与主通道的开尔文损失成比例的可变电流源，以复制主通道的条件。最终效应是通过可实现的任何控制方式来在从属通道上复制主通道开尔文条件。
每个从属通道具有负载分担电阻器(RSHARE)，如图所示，该负载分担电阻器连接在从属通道的供应线与感测线的交叉点与该从属通道与主通道的电连接点38之间。每个从属通道的负载分担电阻器(例如，18、19)和阻抗电路(例如，28、29)影响(例如，借助于其值来控制)对应从属通道到主通道的输出电流。来自每个(例如，一个或多个)从属通道的输出电流与来自主通道的电流结合(36)，以产生输出到DUT的经结合的电流。到DUT的此经结合的电流输出穿过主通道至DUT上的单个引脚或一组引脚，视情况而定。所以，在图1的示例中，经结合的电流为I1+I2+I3，其中I1代表来自主通道的电流，并且I2和I3分别代表来自从属通道8和9的电流。
如所指出，每个从属通道的负载分担电阻器(例如，18)和阻抗电路(例如，28)影响来自每个从属通道的输出电流。在一些实施方式中，每个从属通道操作相同；因此，仅描述单一从属通道8。在从属通道8中，电流从电流/电压源38流出并且在供应线上输出。在点40处，电流分成穿过RSHARE并且与其他电流(即I2)结合的一部分以及反向穿过感测线的一部分。沿着每个路径流动的电流的量由阻抗电路28和RSHARE 18控制。因为阻抗电路经控制以产生与主通道相同的开尔文电压降，所以如果从属通道的负载分担电阻器(18)与主通道7的负载分担电阻器(12)相同，则其电流将相同；即，来自主通道的I1等于来自从属通道的I2。如所指出，不同RSHARE或其他参数可改变这些电流的值，包括电流的绝对值或其相对于彼此的值。
在图1的示例中，每个电压/电流源38、39、41连接至DUT中的公共接地(COM)。在一些实施方式中，接地配置可与示例中所示的不同。图1的示例性电路系统可包括在单一ATE配置的一部分的单一测试仪器中，或者图1的示例性电路系统可包括在一个或多个不同ATE配置的一部分的不同测试仪器中。例如，相同ATE上的相同测试仪器的多个通道可如图1中所示来结合；相同ATE上的不同测试仪器的多个通道可如图1中所示来结合；并且/或者不同ATE上的不同测试仪器的多个通道可如图1中所示来结合。
图3示出可实施图1的电路系统的一般ATE配置。然而，应强调，图1的电路系统不限于任何特定ATE配置，包括图3的配置，并且该电路系统可并入至任何适当的ATE或非ATE系统中。
参见图3，用于测试DUT 58的示例性ATE系统50(诸如本文所述的那些ATE系统)包括测试器(或“测试仪器”)52。DUT 58可接合至DIB 60。
测试器52可包括许多通道，它们可如图1中所示来连接。为控制测试器52，系统50包括通过固线连接56与测试器52接合的计算机系统54。在示例性操作中，计算机系统54向测试器52发送命令以启动执行例程和功能，以便测试DUT 58。该控制可包括如图1中配置通道。此类执行测试例程可启动生成测试信号并且将测试信号传输至DUT58，并且从DUT收集响应。可由系统50测试各种类型的DUT。在一些实施方式中，DUT可以是任何适当半导体或其他装置，诸如集成电路(IC)芯片(例如，存储器芯片、微处理器、模数转换器、数模转换器等)或其他装置。
为提供测试信号并且从DUT收集响应，测试器52连接至到DUT58的内部电路系统的接口。例如，DUT可插入至DIB 61的插座中，其包含到DUT与测试器之间的电连接的接口。导体60(例如，一个或多个传导路径)连接至接口并且用于将测试信号(例如，开关或DC测试信号等)递送至DUT 58的内部电路系统。导体60还响应于测试器52所提供的测试信号而感测信号。例如，电压信号或电流信号可在引脚62处响应于测试信号而感测，并且通过导体60发送至测试器52以供分析。此类单端口测试可还在DUT 58中所包括的其他引脚上执行。例如，测试器52可向其他引脚提供测试信号并且通过导体(其递送所提供的信号)收集反射回来的相关联的信号。通过收集经反射的信号，引脚的输入阻抗可连同其他单端口测试量一起表征。在其他测试情境中，数字信号可通过导体60发送至引脚62以供在DUT 58上存储数字值。一旦经存储，DUT 58可被访问以检索经存储的数字值并且通过导体60将该数字值发送至测试器52。经检索的数字值随后可被识别以确定固有值是否存储在DUT 58上。
连同执行单端口测量一起，双端口或多端口测试可还由测试器52执行。例如，电压信号可通过导体60以供应电压模式注入至引脚62中，并且可从DUT 58的一个或多个其他引脚收集响应信号。此响应信号可被提供至测试器52以确定量，诸如增益响应、相位响应、以及其他通量测量量。可还执行其他测试。基于所需测试，测试器52可在供应电压模式期间使电流流出至DUT，如本文所述。
虽然本说明书描述与“测试”和“测试系统”相关的示例性实施方式，但本文所描述的电路系统和方法可用于任何适当系统中，并且不限于测试系统或本文所描述的示例性测试系统。
可使用硬件或硬件和软件的组合来实施如本文所描述而执行的测试。例如，像本文所描述的测试系统的测试系统可包括位于各种点处的各种控制器和/或处理装置。中央计算机可协调各种控制器或处理装置中的操作。中央计算机、控制器和处理装置可执行各种软件例程来实现对测试和校准的控制和协调。
可至少部分地使用一个或多个计算机程序产品来控制测试，该一个或多个计算机程序产品例如为有形地体现在一个或多个信息载体(诸如一个或多个非暂时性机器可读介质)中的一个或多个计算机程序，该一个或多个计算机程序用于由一或多个数据处理设备(例如，可编程处理器、计算机、多个计算机和/或可编程逻辑组件)执行或用以控制该一个或多个数据处理设备的操作。
计算机程序可用包括编译或解译语言的任何形式的编程语言撰写，并且该计算机程序可以任何形式部署，包括作为单独程序或作为模块、组件、子程序或适用于计算环境中的其他单元。可将计算机程序部署成在一台计算机或多台计算机上执行，多台计算机处于一个站点或分散在多个站点并且通过网络互连。
与实施全部或部分的测试和校准相关联的动作可通过一个或多个可编程处理器来执行，该可编程处理器执行一个或多个计算机程序，以执行本文所描述的功能。全部或部分的测试和校准可使用专用逻辑电路系统来实施，例如，FPGA(现场可编程门阵列)和/或ASIC(专用集成电路)。
举例来说，适用于执行计算机程序的处理器包括通用和专用微处理器、以及任何种类数字计算机的任何一个或多个处理器。一般而言，处理器将接收来自只读存储区或随机存取存储区或两者的指令与数据。计算机(包括服务器)的元件包括用于执行指令的一个或多个处理器以及用于存储指令与数据的一个或多个存储区装置。一般而言，计算机将还包括一个或多个机器可读存储介质，或在操作上耦合以接收来自一个或多个机器可读存储介质的数据，或将数据传送至一个或多个机器可读存储介质，或以上两者，该一个或多个机器可读存储介质为诸如用于存储数据的大容量PCB(例如，磁盘、磁光盘或光盘)。适用于体现计算机程序指令和数据的机器可读存储介质包括所有形式的非易失性存储区，举例来说，包括：半导体存储区装置，例如EPROM、EEPROM和快闪存储区装置；磁盘，例如，内部硬盘或可移除磁盘；磁光盘；以及CD-ROM和DVD-ROM光盘。
如本文所使用的任何“电气连接”可暗含直接物理连接或包括有线或无线中间组件但仍然允许电信号(包括无线信号)在连接的组件之间流动的连接。除非另外说明，否则无论词语“电气”是否用来修饰“连接”，电信号流过的本文所提及的涉及电路系统的任何“连接”是电气连接，而不一定是直接物理连接。
本文所述的不同实施方式的元件可结合，以形成在上文未具体阐述的其他实施方案。在不负面影响其操作的情况下，元件可不列入本文所述的结构中。此外，各种分开的元件可结合至一个或多个单独元件中，以执行本文所述的功能。

Claims (18)

1.一种测试系统，包括：
多个通道，所述多个通道中的每个被配置为供应电压以及流出电流；和
电路系统，所述电路系统结合由所述多个通道流出的电流，以产生经结合的电流，用于在单一通道上输出到受测装置，
其中所述多个通道中的每个包括负载分担电阻器以控制通道对所述经结合的电流的贡献，
其中所述多个通道中的至少一个通道包括阻抗电路，所述阻抗电路具有可基于跨单一通道的电压降来控制的阻抗，以影响所述多个通道中的所述至少一个通道对所述经结合的电流的贡献，
其中所述多个通道包括主通道和从属通道，所述主通道是所述单一通道，所述主通道包括第一供应线和第一感测线，所述主通道进一步在所述第一供应线上包括第一负载分担电阻器并且在所述第一供应线与所述第一感测线之间经历电压降，
其中所述电路包括检测器电路，以检测所述电压降，以及
其中所述阻抗电路可被配置为将与经检测的电压降匹配的电压引入至所述从属通道中。
2.根据权利要求1所述的测试系统，其中所述从属通道包括第二供应线，所述第二供应线包括第二负载分担电阻器；和第二感测线，所述第二感测线包括所述阻抗电路；所述第二供应线连接至所述第一供应线以向所述主通道提供电流。
3.根据权利要求1所述的测试系统，其中每个通道的所述负载分担电阻器具有相等的电阻。
4.根据权利要求1所述的测试系统，其中不同通道的负载分担电阻器具有不同的电阻。
5.根据权利要求1所述的测试系统，其中每个通道的所述负载分担电阻器控制每个通道对所述经结合的电流的所述贡献，使得每个通道对所述经结合的电流的所述贡献是相等的或具有指定的百分比或量。
6.根据权利要求1所述的测试系统，其中所述多个通道被配置为当在所述单一通道上输出所述经结合的电流时以供应电压模式操作。
7.根据权利要求1所述的测试系统，其中所述多个通道包括多个从属通道，以及
其中，所述阻抗电路的实例包括在所述多个从属通道中的每个中，并且所述阻抗电路可被配置为将基于所述经检测的电压降的电压引入至所述多个从属通道中的每个中。
8.一种测试系统，包括：
多个通道，所述多个通道中的每个被配置为供应电压以及流出电流；和
电路系统，所述电路系统结合由所述多个通道流出的电流，以产生经结合的电流，用于在单一通道上输出到受测装置，所述多个通道中的每个包括负载分担电阻器以控制通道对所述经结合的电流的贡献，
其中所述多个通道包括主通道和从属通道，所述主通道是所述单一通道，所述主通道包括第一供应线和第一感测线，所述主通道在所述第一供应线上包括第一负载分担电阻器并且在所述第一供应线与所述第一感测线之间经历电压降；
其中所述电路系统包括：
检测器电路，所述检测器电路检测所述电压降；和
阻抗电路，所述阻抗电路可被配置为将基于经检测的电压降的电压引入至所述从属通道中，
其中所述检测器电路包括仪器放大器，所述仪器放大器具有：第一输入，所述第一输入连接至所述第一供应线；和第二输入，所述第二输入连接至第一感测线，所述第一负载分担电阻器连接在所述第一输入与所述受测装置之间。
9.根据权利要求8所述的测试系统，其中所述阻抗电路包括能够变换的电阻器。
10.一种测试方法，包括：
在测试电子器件与受测装置之间的通道上的供应线与感测线之间检测电压降，所述通道是主通道并且在所述供应线上具有负载分担电阻器；
在一个或多个从属通道的每个的感测线中，基于所述电压降配置阻抗电路，以产生导致所述一个或多个从属通道上的电压降的阻抗，所述阻抗基于在所述主通道上所检测的所述电压降，所述一个或多个从属通道中的每个具有包含负载分担电阻器的供应线，每个供应线的所述负载分担电阻器控制从对应的供应线输出的电流的量；以及
结合来自所述多个从属通道的电流与来自所述主通道的电流，以产生经结合的电流，用于输出到所述受测装置。
11.根据权利要求10所述的测试方法，其中所述主通道的所述负载分担电阻器具有与所述多个从属通道中的每个的负载分担电阻器相同的电阻。
12.根据权利要求10所述的测试方法，其中所述主通道或所述多个从属通道的至少一个负载分担电阻器具有不同于所述主通道的或所述多个从属通道的至少一个其他负载分担电阻器的电阻。
13.根据权利要求10所述的测试方法，其中所述多个从属通道中的每个具有感测线，并且所述电压被引入至所述多个从属通道中的每个的所述感测线。
14.根据权利要求10所述的测试方法，引入至所述从属通道中的每个的所述电压与在所述主通道中所检测的所述电压降相同。
15.一种测试方法，包括：
在测试电子器件与受测装置之间的通道上的供应线与感测线之间检测电压降，所述通道是主通道并且在所述供应线上具有负载分担电阻器；
将基于所述电压降的电压引入至多个从属通道中，所述多个从属通道中的每个具有包含负载分担电阻器的供应线，每个供应线的所述负载分担电阻器控制从对应的供应线输出的电流的量；以及
结合来自所述多个从属通道的电流与来自所述主通道的电流，以产生经结合的电流，用于输出到所述受测装置，
其中所述电压降由仪器放大器跨所述主通道的所述负载分担电阻器和供应接触电阻来检测，所述仪器放大器接收来自所述供应线的输入以及来自所述感测线的输入，所述仪器放大器输出基于所述电压降的信号，引入至所述多个从属通道中的所述电压基于所述信号。
16.一种测试设备，包括：
主通道，所述主通道供应电压并且使电流流出至受测装置；和
装置，所述装置用于结合多个从属通道的电流与来自所述主通道的所述电流，以产生经结合的电流，用于沿着所述主通道输出到所述受测装置，
其中所述主通道和所述多个从属通道中的每个具有供应线和感测线，每个供应线具有负载分担电阻器以影响通道电流输出，并且所述感测线的至少一个可被配置为具有基于所述主通道上的电压降的阻抗，所述阻抗用于影响电流输出。
17.根据权利要求16所述的测试设备，其中来自所述主通道的所述电流以及所述多个从属通道的所述电流中的每个具有相同值。
18.一种测试设备，包括：
主通道，所述主通道供应电压并且使电流流出至受测装置；和
装置，所述装置用于结合多个从属通道的电流与来自所述主通道的所述电流，以产生经结合的电流，用于沿着所述主通道输出到所述受测装置，
其中所述主通道和所述多个从属通道中的每个具有供应线和感测线，每个供应线具有负载分担电阻器以影响通道电流输出，并且每个感测线可被配置为基于所述主通道上的电压降，并且
其中用于结合电流的所述装置包括：仪器放大器，所述仪器放大器以基于来自所述主通道的所述供应线和所述感测线的输入而检测所述主通道上的所述电压降；以及每个感测线上的阻抗电路，所述阻抗电路基于所检测的所述电压降来配置。
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