WO2004049564A1

WO2004049564A1 - 電力供給装置、方法、プログラム、記録媒体、ネットワークアナライザおよびスペクトラムアナライザ

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Publication number: WO2004049564A1
Application number: PCT/JP2003/014716
Authority: WO
Inventors: Masato Haruta; Yoshikazu Nakayama
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2002-11-27
Filing date: 2003-11-19
Publication date: 2004-06-10
Also published as: JPWO2004049564A1; JP4475520B2; DE10393797T5; US20050289392A1; US7302351B2

Abstract

信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性インピーダンスと異なる場合においても、正確な電力を負荷に印加できるようにする。　負荷２に印加される電力は、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）、負荷２の負荷係数Ｘおよび入力信号ＲのＳパラメータによって表すことができる。よって、目標入力信号決定部７０により、負荷２に印加したい所望の電力、測定系誤差要因（Ｅｒ１、Ｅｓ）および負荷２の負荷係数Ｘに基づき、入力信号ＲのＳパラメータの目標値を決定することができる。さらに、入力信号レベル制御部８０が、この目標値を入力信号ＲのＳパラメータがとるように、入力信号のレベルを制御する。これは、増幅率可変アンプ１３の増幅率を変化させることにより行う。よって、インピーダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。

Description

明細書電力供給装置、方法、プログラム、記録媒体、ネッ 1、ワークアナライザおよびスぺクトラムアナライザ技術分野

本発明は、負荷への電力の印加に関する。背景技術

従来より、ネットワークアナライザ、スぺクトラムアナライザ等において信号源から負荷に電力を印加することが行われている（例えば、特許文献 1 (特開平 1 1— 3 8 0 5 4号公報）参照）。信号源と負荷とは伝送線路により結合されている。ここで、信号源の出力インピーダンス、負荷のィンピーダンスおよび伝送線路の特性ィンピーダンスが存在する。信号源の出カインピ一ダンスおょぴ負荷のィンビ一ダンスが伝送線路の特性ィンピーダンスと一致する場合は、正確な電力を負荷に印加することができる。しかしながら、信号源の出カインピーダンスおよび負荷のィンピーダンスが伝送線路の特性ィンピーダンスと異なる場合が多い。このような場合は、正確な電力を負荷に印加することができない。しかも、信号源の出カインピーダンスが伝送線路の特性ィンピ一ダンスと一致するような信号源を製造することは困難である。よって、正確な電力を負荷に印加することができないことが多い。そこで、本発明は、信号源の出力インピーダンスおよび負荷のインピーダンスが伝送線路の特性ィンピーダンスと異なる場合においても、正確な電力を負荷に印加できるようにすることを課題とする。発明の開示 '

本発明の電力供給装置によれば、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のべクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のべクトル電圧を測定する負荷測定手段と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定手段と、入力信号に関する所定のぺクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御手段とを備えるように構成される。負荷に印加される電力は、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧おょぴ入力信号に関する所定のべクトル電圧によって表すことができる。よって、目標値決定手段により、負荷に印加したい所望の電力、測定系誤差要因および負荷に関する所定のべクトル電圧に基づき、入力信号に関する所定のベクトル電圧の目標値を決定することができる。さらに、入力信号レベル制御手段が、この目標値を入力信号に関する所定のべクトル電圧がとるように、入力信号のレベルを制御する。よって、ィンピ一ダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。さらに、上記本発明の電力供給装置によれば、反射信号測定手段は、電力供給装置に接続された校正用具から入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定し、校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように構成される < また、上記本発明の電力供給装置によれば、所定のベクトル電圧は Sパラメ一夕あるいはパワーであるように構成される。さらに、本発明のネットワークアナライザまたはスペクトラムアナライザは上記電力供給装置を備えて構成される。本発明の他の一態様によれば、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給方法であって、入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定工程と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、入力信号測定工程、反射信号測定工程および信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定工程および反射信号測定工程の測定結果とに基づき負荷に関する所定のぺクトル電圧を測定する負荷測定工程と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定工程と、入力信号に関する所定のべクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御工程とを備えるように構成される。本発明の他の一態様は、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであつて、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のべクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、入力信号に関する所定のべクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレべルを制御する入力信号レベル制御処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。本発明の他の一態様は、接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、入力信号が反射された反射信号に関する所定のベクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、入力信号に関する所定のベクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、入力信号測定手段、反射信号測定手段および信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、測定系誤差要因と、負荷が接続された時の入力信号測定手段および反射信号測定手段の測定結果とに基づき負荷に関する所定のべクトル電圧を測定する負荷測定処理と、測定系誤差要因、負荷に関する所定のベクトル電圧および所望の電力に基づき、入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、入力信号に関する所定のべクトル電圧が目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理とをコンビユー夕に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の実施の形態に係る電力供給装置 1の構成を示したブロック図である。

図 2は、図 1に示す状態をシグナルフローグラフで表現した図である。

図 3は、測定系誤差要因取得部 5 0の構成を示すプロック図である。図 4は、信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態を示すプロック図（図 4 ( a ))、校正用具 4の外観を示す図（図 4 ( b ) 〜（ e ) ) である。図 5は、信号源 1 0に校正用具 4が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現した図である。

図 6は、信号源 1 0およびパワーメータ用端子 6 0にパワーメ一夕 6が接続されている状態を示す図である。

図 7は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。図 8は、測定系誤差要因の測定の際の動作を示すフローチャートである。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図 1は、本発明の形態に係る電力供給装置 1の構成を示したプロック図である。電力供給装置 1には、負荷（Load) 2が接続されている。電力供給装置 1は、負荷 2に電力 P Lを供給する。負荷 2は入力端子 2 aを有する。電力供給装置 1は、信号源 1 0、測定系誤差要因記録部 3 0、負荷係数測定部 4 0、測定系誤差要因取得部 5 0、パヮ一メータ用端子 6 0、信号出力取得部 6 2、目標入力信号決定部 7 0、入力信号制御部 8 0を備える。信号源 1 0は、負荷 2に信号を供給する。信号源 1 0は、信号出力部 1 2、増幅率可変アンプ 1 3、ブリッジ 1 4 a、 1 4 b、レシ一バ ( R S ) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S ) 1 6 b (反射信号測定手段）、出力端子 1 8を有する。信号出力部 12は、入力信号を出力する。入力信号は、例えば、電圧が正弦波をとる信号である。増幅率可変アンプ 13は、信号出力部 12が出力した入力信号の振幅を変化させる。なお、増幅率可変アンプ 13の出力振幅と入力振幅との比（増幅率）は可変である。増幅率可変アンプ 13の増幅率は、入力信号制御部 80により制御される。プリヅジ 14 aは、信号出力部 12から出力された信号をレシーバ (RS) 16 aに供給する。ブリッジ 14 aが供給する信号は、信号源 10による測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。ブリッジ 14 bは、入力信号が出力端子 18から出力され、さらに反射して戻ってきた反射信号をレシーバ（T S) 16 bに供給する。なお、ブリッジ 14 a、 14 bはパワースプリッ夕あるいはカプラでもよい。レシーバ（R S) 16 a (入力信号測定手段）は、プリヅジ 14 a を介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（R S) 1 6 aは、信号源 10による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関する Sパラメ一夕を測定する。レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）は、ブリッジ 14 b を介して受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（T S) 16 bは、反射信号に関する Sパラメ一夕を測定する。出力端子 18は、入力信号を出力するための端子である。測定系誤差要因記録部 30は、電力供給装置 1の測定系誤差要因を記録する。測定系誤差要因は、 E d (ブリッジの方向性に起因する誤差）、 E r 1、 E r 2 (周波数トラッキングに起因する誤差）、 E s (ソ —スマッチングに起因する誤差）、 E tがある。図 1に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図 2に示す。 Xは電力供給装置 1 に接続される負荷 2等の負荷係数である。負荷係数測定部 40は、電力供給装置 1に負荷 2が接続された時のレシーバ（R S) 16 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）、の測定データ（Sパラメ一夕）と、測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因とに基づき、負荷 2に関する負荷係数 Xを測定する。ただし、レシーバ（RS) 16 a (入力信号測定手段）の測定データは R、レシーバ (T S) 16 b (反射信号測定手段）の測定データは Tである（図 2参照）。負荷係数測定部 40は、下記の数式に従って負荷 2の負荷係数 Xを測定する。

【数 1】

測定系誤差要因取得部 50は、レシーバ ( S) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）、および信号出力取得部 62の測定結果に基づき測定系誤差要因（E d、E r 1、 E r 2、 E s ) を取得する。測定系誤差要因の取得にあたっては、信号源 10に校正用具 4、パワーメ一夕 6を順々に接続していく。測定系誤差要因取得部 50の構成を図 3に示す。測定系誤差要因取得部 50は、切替器 52、第一測定系誤差要因取得部 54、第二測定系誤差要因取得部 56を有する。切替器 52は、レシーバ (RS) 16 a (入力信号測定手段）およびレシーバ（TS) 1 6 b (反射信号測定手段）から測定データ（例えば Sパラメ一夕）を受け、信号源 10に接続されるものの種類に応じ、これらの信号を、第一測定系誤差要因取得部 54および第二測定系誤差要因取得部 56のいずれか一つに出力する。すなわち、切替器 52は、信号源 10に校正用具 4が接続されている時は第一測定系誤差要因取得部 54に、信号源 10にパワーメータ 6が接続されている時は第二測定系誤差要因取得部 5 6に、レシーバ

(RS) 16 aおよびレシーバ（T S) 16 bから受けた測定デ一夕

(例えば Sパラメ一夕）を出力する。第一測定系誤差要因取得部 54は、信号源 10に校正用具 4が接続されている時に、レシーバ（RS) 16 aおよびレシ一バ（ T S ) 1 6 bの測定デ一夕を受け、 Ed、 E s、 E r 1 · E r 2 (E r lと E r 2との積）を取得する。信号源 10に校正用具 4が接続されている状態を図 4 (a) に示す。校正用具 4の端子 4 aと信号源 10の出力端子 18とが接続されている。なお、ネヅトワークアナライザ 1の信号源 10以外の部分は図 4 (a) においては省略している。校正用具 4は、特開平 1 1— 38054号に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷 Z0) の三種類の状態を実現する周知のものである。校正用具 4の外観は図 4 (b) に示すようなものであり、校正用具 4は、コネクタ 4 a、本体 4bを有する。図 4 ( c ) はオープン素子で端末 4 cは開放されているが浮遊容量 Cが存在する。図 4 (d) はショート素子で端末 4 dは短絡されている。図 4 (e) はロード素子で端末 4 eは標準負荷（インピーダンス） Z0で終端されている。信号源 10に校正用具 4が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現すれば図 2に示すようになる。ここで、レシーバ（RS) 16 aの測定データは R、レシーバ (T S) 16 bの測定デ一夕は T である。 Xが、校正用具 4の負荷係数となる。 Rと Tとの関係は、下記の数式の通りである

【数 2】

T ErlErl-X

R 1-EsX ここで、校正用具 4が三種類接続されるため、 Rと Tとの組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数も E d、 E s、 E r 1 · E r 2という三種類の変数である。第二測定系誤差要因取得部 56は、信号源 10およびパワーメータ用端子 60にパワーメ一夕 6が接続されている時に、レシーバ（R S ) 16 aの測定データ、 Ed、 E s、 E r l ' E r 2 (第一測定系誤差要因取得部 54の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 6 2の出力（パワー P) を受け、 E r l、 Ε Γ 2を取得する。信号源 10およびパワーメ一夕用端子 60にパワーメ一夕 6が接続されている状態を図 5に示す。なお、ネットワークアナライザ 1の信号源 10およびパワーメ一夕用端子 60以外の部分は図 6においては省略している。パワーメータ 6の端子 6 aは信号源 10の出力端子 1 8に接続されている。パワーメータ 6の端子 6 bはパワーメ一夕用端子 60に接続されている。パワーメータ 6は、端子 6 aを介して受けた信号のパワーを測定する。信号出力取得部 62はパワーメータ用端子 60および端子 6 bを介して、パワー： Pを取得し、第二測定系誤差要因取得部 56に出力する。信号源 10およびパワーメ一夕用端子 60にパワーメ一夕 6が接続されている状態をシグナルフロ一グラフで表現したものを図 6に示す < ここで、レシーバ ( S ) 16 aの測定データは R、パワーメ一夕 6 の測定デ一夕は: Pである。図 6から明らかなように、 Pは入力信号に関するべクトル電圧であり、測定系誤差要因が生じた後に取得されたものである。 Rと Pとの関係は、下記の数式の通りである

【数 3】

P Erl

R 1-EsEp

で、 E sは既知、 Epは測定可能なので、 E r lを求めることができる。 E r 1 · Ε r 2は既知なので、 E r 2もまた求めることができる。このように、 E r 1 · E r 2から、シグナルフロ一グラフ（図 6参照）においては互いに逆向きの E r 1、 E r 2を求めることができる。いわば、 E r 1 · E r 2において一体となっていた E r lおよび E r 2を分離できる。第一測定系誤差要因取得部 5 4は、レシーバ (R S ) 1 6 a (入力信号測定手段）およびレシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）の測定デ一夕を受け、 E d、 E s、 E r l ' E r 2を取得する。第二測定系誤差要因取得部 5 6は、レシーバ（R S) 1 6 a (入力信号測定手段）および信号出力取得部 6 2の測定データを受け、 E r l、 E r 2を取得する。よって、第一測定系誤差要因取得部 5 4および第二測定系誤差要因取得部 5 6は、レシーバ（R S) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 1 6 b (反射信号測定手段）および信号出力取得部 6 2の測定デ一夕に基づき測定系誤差要因（E d、 E s、 E r 1、 E r 2 ) を取得する。パワーメータ用端子 6 0は、'パワーメ一夕 6の端子 6 bに接続される。信号出力取得部 6 2は、パワーメータ用端子 6 0および端子 6 b を介して、パワー Pを取得し、第二測定系誤差要因取得部 5 6に出力する。パワー Pは、信号源 1 0による測定系誤差要因の影響の生じた後に取得される信号といえる。目標入力信号決定部 7 0は、測定系誤差要因（E d、 E s、： E r 1、 E r 2：)、負荷 2の負荷係数 Xおよび負荷 2に印加する所望の電力 P L の目標値に基づき、入力信号 Rの Sパラメ一夕の目標値を決定する。負荷 2に印加する電力 P Lは、下記の数式のように表される【数 4】

Erl

PL = a R

- EsX

よって、入力信号 Rの Sパラメ一夕は、下記の数式のように表される

【数 5】

よって、上記の数式に電力 P Lの目標値および、 E r l、 E s , X を代入すれば、入力信号 Rの Sパラメ一夕の目標値が求められる。入力信号 Rの Sパラメ一夕がこの目標値になるようにすれば、電力 P L も目標値になる。入力信号制御部 8 0は、入力信号 Rの Sパラメ一夕が目標入力信号決定部 7 0により求められた目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する。入力信号制御部 8 0は、増幅率可変アンプ 1 3の増幅率を変化させることにより、入力信号のレベルを制御する。次に、本発明の実施形態の動作を説明する。図 7は、本発明の実施形態の動作を示すフローチヤ一トである。まず、電力供給装置 1は、測定系誤差要因（E d、 E s_N E r 1、 E r 2 ) を測定する（S 10 )。測定された測定系誤差要因は、測定系誤差要因記録部 30に記録される。測定系誤差要因の測定の際の動作を図 8のフローチャートを参照して説明する。まず、信号源 10に三種類の校正用具 4を接続する。信号出力部 1 2は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 1 6 aが測定する。入力信号は、出力端子 18を介して校正用具 4に入力される。そして、校正用具 4から反射された反射信号を.レシーバ（T S) 16 bが測定する。第一測定系誤差要因取得部 54はレシーバ（R S) 1 6 aおよびレシ一バ (T S) 16 bの測定デ一夕を受け、 E d、 E s、 E r l ' E r 2 (E r lと E r 2との積）を取得する（ S 1 0 2)。次に、信号源 10およびパワーメータ用端子 60にパワーメータ 6 を接続する。信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 16 aが測定する。入力信号は、出力端子 1 8および端子 6 aを介してパワーメータ 6に入力される。パワーメー夕 6は、この入力信号のパワー Pを測定する。そして、信号出力取得部 62はパワーメータ用端子 60および端子 6 bを介して、パワー P を取得し、第二測定系誤差要因取得部 5 6に出力する。第二測定系誤差要因取得部 56は、レシーバ（RS) 16 aの測定データ、 Ed、 E s、 E r 1 · E r 2 (第一測定系誤差要因取得部 54の取得した測定系誤差要因）、および信号出力取得部 62の出力（パワー P)を受け、 E r l、 E r 2を取得する（S 104)。ここで、図 7に戻り、電力供給装置 1には負荷 2が接続され（図 1 参照）、入力信号 Rの Sパラメ一夕、反射信号 Tの Sパラメ一夕が実測される（S 20)。すなわち、信号出力部 12は入力信号を出力する。このときの入力信号をレシーバ（RS) 16 aが測定する。この測定により得られたデ一夕が Rである。入力信号は、出力端子 18を介して DUT 2に入力される。そして、. DUT 2から反射された反射信号をレシーバ（TS) 16 bが測定する。この測定により得られたデ一夕が Tである。次に、負荷係数測定部 40が負荷 2の負荷係数 Xを決定する（S 3 0 )。すなわち、電力供給装置 1に負荷 2が接続された時のレシーバ（R S) 1 6 a (入力信号測定手段）、レシーバ（T S) 16 b (反射信号測定手段）、の測定デ一夕（Sパラメ一夕）と、測定系誤差要因記録部 30の記録する測定系誤差要因とに基づき、負荷 2の負荷係数 Xを測疋 3 'る。そして、目標入力信号決定部 70が、測定系誤差要因（E d、 E s、 E r I E r 2),負荷 2の負荷係数 Xおよび負荷 2に印加する電力 P Lの目標値に基づき、入力信号 Rの Sパラメ一夕の目標値を決定する ( S 40 )。

• 最後に、入力信号制御部 80が、入力信号 Rの Sパラメ一夕が目標入力信号決定部 70により求められた目標値をとるように、入力信号のレベルを制御する。（ S 5 0 )。本発明の実施形態によれば、負荷に印加される電力 P Lは、測定系誤差要因（E r 1、 E s )、負荷 2の負荷係数 Xおよび入力信号 Rの S パラメ一夕によって表すことができる（数 4参照）。よって、目標入力信号決定部 7 0により、負荷 2に印加したい所望の電力、測定系誤差要因（E r 1、 E s ) および負荷 2の負荷係数 Xに基づき、入力信号 Rの Sパラメ一夕の目標値を決定することができる（数 5参照）。さらに、入力信号レベル制御部 8 0が、この目標値を入力信号 Rの Sパラメータがとるように、入力信号のレベルを制御する。これは、増幅率可変アンプ 1 3の増幅率を変化させることにより行う。よって、インピーダンスが整合しているか否かに関わらず、負荷に所望の電力を印加することができる。なお、上記の実施形態において、 C P U、ハードディスク、メディァ（フロッピ一ディスク、 C D— R O Mなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディァ読み取り装置に、上記の各部分を実現するプログラムを記録したメディァを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、電力供給装置 1を実現できる。

Claims

請求の範囲

1 . 接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、

前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のべクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、

前記入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段と、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得手段と、

前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のべクトル電圧を測定する負荷測定手段と、

前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のべクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定手段と、

前記入力信号に関する所定のぺクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御手段と、を備えた電力供給装置。

2 . 請求項 1に記載の電力供給装置であって、

前記反射信号測定手段は、前記電力供給装置に接続された校正用具から前記入力信号が反射された前記反射信号に関する所定のぺクトル電圧を測定し、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである電力供給装置。

3 . 請求項 1または 2に記載の電力供給装置であって、

前記所定のべクトル電圧は Sパラメ一夕あるいはパワーである電力供給装置。 '

4 . 請求項 1乃至 3のいずれか一項に記載の電力供給装置を備えるネヅトワークアナライザ。

5 . 請求項 1乃至 3のいずれか一項に記載の電力供給装置を備えるスぺクトラムアナライザ。

6 . 接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給方法であって、入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定工程と、

前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のぺクトル電圧を測定する反射信号測定工程と、

前記入力信号に関する所定のぺクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得工程と、

前記入力信号測定工程、前記反射信号測定工程および前記信号出力取得工程の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得工程と、

前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定工程および前記反射信号測定工程の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定工程と、前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のぺクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定工程と、

前記入力信号に関する所定のベクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレペルを制御する入力信号レベル制御工程と、を備えた電力供給方法。

7 . 接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のぺクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のべクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンビユー夕に実行させるためのプログラムであって、

前記入力信号測定手段、前記反射信号測定手段および前記信号出力取得手段の測定結果に基づき、測定系誤差要因を取得する測定系誤差要因取得処理と、

前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のべクトル電圧を測定する負荷測定処理と、

前記測定系誤差要因、前記負荷に関する所定のべクトル電圧および前記所望の電力に基づき、前記入力信号に関する所定のべクトル電圧の目標値を決定する目標値決定処理と、

前記入力信号に関する所定のべクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理と、をコンピュー夕に実行させるためのプログラム。

8 . 接続された負荷に所望の電力を供給する電力供給装置であって、入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、前記入力信号が反射された反射信号に関する所定のべクトル電圧を測定する反射信号測定手段と、前記入力信号に関する所定のべクトル電圧を、測定系誤差要因の生じた後に取得する信号出力取得手段とを有する電力供給装置における電力供給処理をコンピュー夕に実行させるためのプログラムを記録したコンビユー夕によって読み取り可能な記録媒体であつて、

前記測定系誤差要因と、前記負荷が接続された時の前記入力信号測定手段および前記反射信号測定手段の測定結果とに基づき前記負荷に関する所定のベクトル電圧を測定する負荷測定処理と、

前記入力信号に関する所定のべクトル電圧が前記目標値をとるように、前記入力信号のレベルを制御する入力信号レベル制御処理と、をコンビュ一夕に実行させるためのプログラムを記録したコンビュ —夕によつて読み取り可能な記録媒体。