WO2009014072A1 - 誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 - Google Patents

誤差要因測定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置 Download PDF

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derived
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output
signal source
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Yoshikazu Nakayama
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Advantest Corporation
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    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836—Fault-finding or characterising
    • G01R31/2839—Fault-finding or characterising using signal generators, power supplies or circuit analysers
    • G01R31/2841—Signal generators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
    • G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references

Definitions

  • Error factor measuring device method, program, recording medium, output correcting device including the device, reflection coefficient measuring device
  • the present invention relates to calibration of a switch branch signal source that combines a signal source that generates a signal and a switch that outputs the generated signal to any of a plurality of ports.
  • a circuit parameter (for example, S parameter) of a device under test (DUT) has been measured (for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. H11-1138). 5 No. 4)).
  • the signal is transmitted from the signal source to the receiver via the DUT. This signal is received by the receiving unit.
  • the S-parameters and frequency characteristics of the DUT can be obtained.
  • measurement system errors occur in the measurement due to inconsistencies between the measurement system such as the signal source and the DUT.
  • This measurement system error is, for example, E d: Bridge Error due to directionality, E r: error due to frequency tracking, E s: error due to source matching.
  • the error can be corrected as described in Patent Document 1.
  • Such correction is called calibration.
  • Outline the carrier break. Connect the calibration kit to the signal source and realize three types of states: open (open), short (short-circuit), and load (standard load Z0).
  • the signal reflected from the calibration kit at this time is acquired by a probe, and three types of s-parameters corresponding to the three types of states are obtained. Find three types of variables E d, E r, and E s from the three types of S-parameters and perform correction.
  • E r is expressed as the product of error E r 1 related to signal input and error E r 2 related to signal reflection.
  • the switch branch signal source is a combination of a signal source that generates a signal and a switch that outputs the generated signal to one of a plurality of ports.
  • An error factor measurement apparatus includes an error factor for measuring an error factor in a switch branch signal source having a signal source that generates a signal and a switch that outputs the signal from any one of a plurality of output terminals.
  • a measuring device which is an output direction component of an error factor due to frequency tracking in the switch branch signal source (“reference”) when a predetermined output terminal that is one of the plurality of output terminals is connected to the signal source.
  • a reference error factor component recording unit that records a component in the output direction and a component in the input direction (referred to as a “reference input direction component”), and each of the plurality of output terminals other than the predetermined output terminal as the signal source.
  • the derived output direction component and the derived input direction component are derived.
  • an error factor measurement device for measuring an error factor in a switch branch signal source having a signal source for generating a signal and a switch for outputting the signal from any of a plurality of output terminals.
  • the reference error factor component recording unit is configured to output an error factor in the output direction due to frequency tracking in the switch branch signal source when a predetermined output terminal that is one of the plurality of output terminals is connected to the signal source. Record the minute (referred to as “reference output direction component”) and the input direction component (referred to as “reference input direction component”).
  • the derived error factor product recording unit is a component in an output direction of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source when each of the plurality of output terminals other than the predetermined output terminal is connected to the signal source.
  • the error factor ratio deriving unit derives an error factor ratio that is a ratio of the reference output direction component and the reference input direction component based on the recording content of the reference error factor component recording unit.
  • the frequency tracking error factor deriving unit based on the error factor product recorded in the derived error factor product recording unit and the error factor ratio derived by the error factor ratio deriving unit, the derived output direction component and the A derived input direction component is derived.
  • the frequency tracking error factor deriving unit is configured to determine whether the error factor ratio is the derived output direction component.
  • the derived output direction component and the derived input direction component are derived as being equal to the ratio of the minute and the derived input direction component.
  • the error factor measurement device according to the present invention is a component caused by the directionality of the switch branch signal source of the error factor in the switch branch signal source when each of the plurality of output terminals is connected to the signal source.
  • the error factor measurement device according to the present invention is a result of measuring the reference output direction component and the reference input direction component recorded in the reference error factor component recording unit, which are output from the predetermined output terminal.
  • the calibration tool may realize three types of states: open, short circuit and standard load.
  • the error factor measurement device the error factor product recorded in the derived error factor product recording unit is connected to each of the plurality of output terminals other than the predetermined output terminal. In this state, the calibration tool is released based on the result of measuring the signal before the error factor occurs and the result of measuring the reflected signal. It may be possible to realize three types of standard load conditions.
  • An output correction device comprises: the error factor measurement device according to the present invention; and a signal power adjustment unit that adjusts the power of the signal based on the error factor measured by the error factor measurement device.
  • the reflection coefficient measuring apparatus includes: the error factor measuring apparatus according to the present invention; and a measured object connected to any one of the plurality of output terminals, before the error factor is generated. Reflection coefficient measuring means for measuring the reflection coefficient of the object to be measured based on the result of measuring the signal, the result of measuring the reflected signal, and the error factor measured by the error factor measuring device It is comprised so that.
  • the present invention is an error factor measurement method for measuring an error factor in a switch branch signal source having a signal source for generating a signal and a switch for outputting the signal from any of a plurality of output terminals.
  • a reference error factor component recording step (referred to as “reference input direction component”), and when each of the plurality of output terminals other than the predetermined output terminal is connected to the signal source.
  • the component of the output direction of the error factor due to frequency tracking in the switch branch signal source (referred to as “derived output direction component”) and the component of the input direction
  • a derived error factor product recording step for recording an error factor product that is a product of the minutes (referred to as “derived input direction component”), and based on the recorded contents of the reference error factor component recording step, the reference output direction component and the reference Error factor ratio to derive the error factor ratio that is the ratio with the input direction component
  • the derived output direction component and the derived input direction component based on the error factor product recorded by the derivation step, the error factor product recorded by the derivation error factor product recording step, and the error factor ratio derived by the error factor ratio derivation step
  • An error factor measurement method for deriving the derived output direction component and the derived input direction component executes, in a computer, an error factor measurement process for measuring an error factor in a switch branch signal source having a signal source for generating a signal and a switch for outputting the signal from any of a plurality of output terminals.
  • the error factor measurement process is caused by frequency tracking in the switch branch signal source when a predetermined output terminal which is one of the plurality of output terminals is connected to the signal source.
  • a reference error factor component recording step for recording an output direction component (referred to as a “reference output direction component”) and an input direction component (referred to as a “reference input direction component”), and other than the predetermined output terminal An error requirement due to frequency tracking in the switch branch signal source when each of the plurality of output terminals is connected to the signal source.
  • a derived error factor product recording step for recording an error factor product that is a product of an output direction component (referred to as “derived output direction component”) and an input direction component (referred to as “derived input direction component”);
  • An error factor ratio deriving step for deriving an error factor ratio, which is a ratio of the reference output direction component and the reference input direction component, based on the recorded contents of the quasi-error factor component recording step, and recording by the derived error factor product recording step And the error factor product derived by the error factor ratio deriving step.
  • a frequency tracking error factor deriving step for deriving the derived output direction component and the derived input direction component based on a ratio, and the frequency tracking error factor deriving step includes the error factor ratio being the derived output.
  • the present invention executes, in a computer, an error factor measurement process for measuring an error factor in a switch branch signal source having a signal source for generating a signal and a switch for outputting the signal from any of a plurality of output terminals.
  • a computer-readable recording medium storing a program for causing the error factor measurement processing to be performed when the predetermined output terminal, which is one of the plurality of output terminals, is connected to the signal source.
  • a reference error factor component recording unit that records the component in the output direction (referred to as “reference output direction component”) and the component in the input direction (referred to as “reference input direction component”) due to frequency tracking in the switch branch signal source. And the switch when each of the plurality of output terminals other than the predetermined output terminal is connected to the signal source.
  • the error factor product which is the product of the component in the output direction (referred to as the “derived output direction component”) and the component in the input direction (referred to as the “derived input direction component”) due to frequency tracking in the multi-signal source Derived error factor product recording step for recording and an error factor ratio derivation for deriving an error factor ratio that is a ratio of the reference output direction component and the reference input direction component based on the recorded contents of the reference error factor component recording step A derived output direction component and a derived input direction component based on the error factor product recorded by the step, the derived error factor product recording step, and the error factor ratio derived by the error factor ratio deriving step.
  • the module for a test apparatus according to the present invention includes the error factor measurement apparatus according to the present invention.
  • a test apparatus according to the present invention includes an output correction apparatus according to the present invention, and is configured such that the signal is supplied to a device under test.
  • a test apparatus according to the present invention includes a reflection coefficient measurement apparatus according to the present invention, and is configured to test an object to be measured.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a switch branch signal source 1 °.
  • FIG. 2 is a signal flow graph of the switch branch signal source 10.
  • FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the switch branch signal source 10 when it is assumed that the signal source 100 has a terminal 15.
  • FIG. 4 is a signal reflow graph of the switch branch signal source 10 when the terminal 15 is assumed.
  • FIG. 5 is a functional block diagram showing the configuration of the error factor measurement device 20 according to the embodiment of the present invention.
  • Fig. 6 shows the calibration tool 6 2 to the output terminal 1 9 a and the mixers 1 6 a, 1 6 It is a figure which shows the state which connected b to terminal 2 1 a, 2 1 b.
  • FIG. 7 is a signal flow graph showing the error factor measurement device 20 in the state shown in FIG.
  • FIG. 8 is a diagram showing a state in which the monometer 64 is connected to the output terminal 19 a and the mixer 16 a is connected to the terminal 21 a.
  • FIG. 9 is a signal flow graph showing the error factor measurement device 20 in the state shown in FIG.
  • FIG. 10 is a diagram showing a state in which the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 b and the mixers 16 a and 16 b are connected to the terminals 2 1 a and 2 1.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the configuration of the output correction device 1 when the error factor measurement device 20 is used for the output correction device 1.
  • FIG. 12 is a diagram showing an example of the configuration of the reflection coefficient measurement device 2 when the error factor measurement device 20 is used as the reflection coefficient measurement device 2. '
  • FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the switch branch signal source 10.
  • the switch branch signal source 10 has a signal source 100, a switch 18, and output terminals 19a, 19b, 19c, 19d.
  • the signal source 1 0 0 is for generating a signal.
  • the signal source 100 has a signal generator 12, an amplifier 13, bridges 14 a and 14 b, and mixers 16 a and 16 b.
  • the signal generator 1 2 generates a signal (for example, a high frequency signal).
  • the amplifier 13 amplifies the signal generated by the signal generation unit 12.
  • the bridge 14 a receives the output of the amplifier 13 and branches it in two directions.
  • the mixer 16 a receives one of the outputs of the bridge 14 a and multiplies it with a local signal having a predetermined local frequency. However, local signals are not shown. It can be said that the output of the mixer 16 a measured the signal before the error source in the signal source 1 0 0 occurred.
  • Bridge 14b receives the other output of bridge 14a and outputs it as it is. However, the signal reflected from the output side (referred to as “reflected signal”) is received and given to mixer 16 b.
  • the mixer 1 6 b multiplies the reflected signal and the local signal. However, local signals are not shown. It can be said that the output of the mixer 16 b is the result of measuring the reflected signal.
  • the switch 18 is connected to the signal source 100 and outputs a signal from any of the output terminals 19a, 19b, 19c, 19d. Any one of the output terminals 1 9 a, 1 9 b, 1 9 c, and 19 d is connected to the signal source 1 0 0 by the switch 1 8. Then, a signal is output from an output terminal connected to the signal source 100.
  • the S parameter of the output of the output terminal 1 9 a is a 1
  • the S parameter of the output reflected to the output terminal 1 9 a is b 1 To do.
  • FIG. 2 is a signal flow graph of the switch branch signal source 10.
  • FIG. 2 (a) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19a.
  • FIG. 2 (b) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19b.
  • Fig. 2 (c) is a signal flow graph when signal source 1 0 0 is connected to output terminal 1 9 c.
  • FIG. 2 (d) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19d.
  • the output of the signal generator 12 is denoted as SG
  • the output of the mixer 16a is denoted as Rl
  • the output of the mixer 16b is denoted as R2.
  • R 1-S GX L where L (S parameter) is an error factor caused by amplifier 13.
  • Error factors E lib, E 1 2 b, E 2 1 b, and E 2 2 b are called second port error factors.
  • error factors E 1 1 c, E 1 2 c, E 2 1 c, E 2 2 c It can be seen that (S parameter) occurs.
  • Error factors E 1 1 c, E 1 2 c, E 2 1 c, E 2 2 c are labeled as third port error factors. Referring to Fig.
  • FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the switch branch signal source 10 when it is assumed that the signal source 100 has a terminal 15.
  • Terminal 15 is a terminal for connecting signal source 1 0 0 to switch 1 8.
  • the output of terminal 15 is a5, and the output of terminal 15 is reflected by terminal 15 is b5.
  • FIG. 4 is a signal flow graph of the switch branch signal source 10 when the terminal 15 is assumed.
  • FIG. 4 (a) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19a.
  • FIG. 4 (b) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19b.
  • FIG. 4 (c) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19c.
  • FIG. 4 (d) is a signal flow graph when the signal source 100 is connected to the output terminal 19d.
  • Error factors P 11, P 12, P 21, and P 22 are error factors in the signal source 100 and are called signal source error factors.
  • the signal source error factors Pll, P12, P21, and P22 are S parameters having a constant value even if the temperature and time change. Referring to Fig. 4 (a), when signal source 1 0 0 is connected to output terminal 1 9 a, error factors Q 1 1 a, Q 1 2 a, Q 2 1 a, Q 2 2 a It can be seen that (S parameter) occurs. Error factors Q 1 1 a, Q 1 2 a, Q 2 1 a, Q 2 2 a are the error factors of switch 18 when signal source 1 0 0 is connected to output terminal 1 9 a. One switch partial error factor. Referring to Fig.
  • Error factors Q 1 1 c, Q 1 2 c, Q 2 1 c, Q 2 2 c are error factors for switch 1 8 when signal source 1 0 0 is connected to output terminal 1 9 c This is called the third switch partial error factor.
  • error factors Q lld, Q 1 2 d, Q 2 1 d, Q 2 2 d S It can be seen that (parameter) is generated.
  • Error factors Q 1 1 d, Q 1 2 d, Q 2 1 d, Q 2 2 d are the error factors of switch 18 when signal source 1 0 0 is connected to output terminal 1 9 d. This is called the four switch partial error factor.
  • the signal source error factors P11, P12, P21, P22, and the first switch partial error factor Q11a , Q 1 2 a, Q 2 1 a, and Q 2 2 a are combined into the first port error factors E lla, E 1 2 a, E 2 1 a, E 2 2 a .
  • the first port error factor is expressed by the following equations (1) to (4). Is represented.
  • E lla P ll + P 2 1 P 1 2 Q lla / (l ⁇ P 22 Q lla) (1)
  • E 2 1 a P 2 1 Q 2 1 a / (l— P 2 2 Q lla) (2 )
  • signal source error factors P 11, P 12, P 21, P 22 2 and second switch partial error factor Q 1 1 b, Q 1 2 b, Q 2 1 b, Q 2 2 b are combined into 2nd port error factors E llb, E 1 2 b, E 2 1 b, E 2 2 b
  • the second port error factor can also be expressed by the above equations (1) to (4) if the subscript a is changed to b. Referring to Fig. 2 (c) and Fig.
  • FIG. 5 is a functional block diagram showing the configuration of the error factor measurement device 20 according to the embodiment of the present invention.
  • Error factor measuring device 20 has terminals 2 1 a, 2 1 b, 2 1 c, port error factor acquisition unit 2 2, port error factor recording unit 2 3, reference error factor component recording unit 24, derived error factor product A recording unit 25, an error factor ratio deriving unit 26, and a frequency tracking error factor deriving unit 28 are provided.
  • Terminal 2 1 a is a terminal connected to mixer 16 a of switch branch signal source 10.
  • the terminal 2 1 b is a terminal connected to the mixer 16 b of the switch branch signal source 10.
  • Terminal 21c is a terminal that receives the measurement result of a power meter (details will be described later) connected to output terminal 19a of switch branch signal source 10a.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 is connected to terminals other than the output terminal (predetermined output terminal) 19a and the predetermined output terminal of the switch branch signal source 10 via terminals 2 1a, 2 1b, 2 1c. Receives signal measurement results when signals are output from output terminals 1 9 b, 1 9 c, 1 9 d. With reference to FIG. 6, FIG. 8, and FIG. 10, the outline of the measurement results received by the terminals 2 1 a, 2 1 b 2 1 c will be described. Referring to FIG.
  • terminals 2 1 a and 2 1 b are connected to the signal ( Receive the measurement results of the reflected signal (the signal reflected by the calibration tool 62) before the first port error factor Eija occurs). Furthermore, the port error factor acquisition unit 2 2 acquires E 1 la and E 2 2 a based on the measurement results obtained through the terminals 2 1 a and 2 1 b in the state shown in FIG. The error factor recording section 2 3 is recorded. E 1 1 a and E 2 2 a are error factor components of the switch branch signal source 10 when the predetermined output terminal 19 a is connected to the signal source 100.
  • E 1 1 a is a component resulting from the directionality of the switch branch signal source 1 0.
  • E 2 2 a is a component resulting from source matching of the switch branch signal source 10.
  • the terminals 21a and 21c are respectively connected to the signal (first port error factor Eija is Receive the measurement result of the signal (output from the specified output terminal 19 a).
  • the port error factor acquisition unit 2 2 acquires E 1 2 a and E 2 la based on the measurement result obtained through the terminals 2 1 a and 2 1 c in the state shown in FIG. Record in the reference error factor component recording unit 24.
  • E 1 2 a and E 2 1 a are error factor components of the switch branch signal source 10 when the predetermined output terminal 19 a is connected to the signal source 100.
  • E 2 1 a is the error due to frequency tracking in the switch branch signal source 10 This is the factor component in the output direction (referred to as “reference output component”).
  • E 1 2 a is an input direction component (referred to as “reference input direction component”) of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source 10. Referring to Fig.
  • the terminals 2 1 a and 2 1 b Each receives the measurement results of the signal (before the first port error factor Eija occurs) and the reflected signal (the signal reflected by the calibration tool 62).
  • the measurement result is similarly received even when the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 c other than the predetermined output terminal.
  • the measurement result is similarly received even when the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 d other than the predetermined output terminal.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 is based on the measurement results obtained via the terminals 2 1 a and 2 1 b in the state shown in Fig.
  • E 1 1 b, E 2 2 b, E 1 2 b XE 2 1 b is acquired, E llb and E 2 2 b are recorded in the port error factor recording unit 23, and E 1 2 b XE 2 1 b is recorded in the derived error factor product recording unit 25 .
  • E llb, E 2 2 b, E 1 2 b, and E 2 1 b are error factor components of the switch branch signal source 10 when the output terminal 19 is connected to the signal source 10 0.
  • E llb is a component caused by the directionality of the switch branch signal source 10.
  • E 2 2 b is a component resulting from source matching of the switch branch signal source 10.
  • E 1 2 b is a component in the input direction (referred to as “derived input direction component”) of an error factor resulting from frequency tracking in the switch branch signal source 10.
  • E 2 1 b is due to frequency tracking in switch branch signal source 10 This is the component in the output direction of the error factor (referred to as the “derived output direction component”).
  • the port error factor acquisition unit 2 2 uses the measurement results obtained via the terminals 2 1 a and 2 1 b with the calibration tool 62 connected to the output terminals 19 c other than the predetermined output terminals.
  • E llc, E 2 2 c, E 1 2 c XE 2 1 c are obtained, and E llc, E 2 2 c are recorded in the port error factor recording unit 2 3, and E 1 2 c XE 2 1 c is recorded. Record in the derived error factor product recording section 25.
  • Ellc, E 2 2 c, E 1 2 c, and E 2 1 c are error factor components of the switch branch signal source 10 when the output terminal 19 c is connected to the signal source 10 0.
  • E 1 1 c is a component due to the directionality of the switch branch signal source 10.
  • E 2 2 c is a component resulting from source matching of the switch branch signal source 10.
  • E 1 2 c is a component in the input direction of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source 10 (referred to as “derived input direction component”).
  • E 2 1 c is an output direction component (referred to as “derived output direction component”) of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source 10.
  • the port error factor acquisition unit 22 receives the measurement result obtained through the terminals 2 1 a and 2 1 b in a state where the calibration tool 62 is connected to the output terminal 19 d other than the predetermined output terminal.
  • E lld, E 2 2 d, E 1 2 d XE 2 I d are obtained, and E lld, E 2 2 d are recorded in the port error factor recording unit 2 3, and E 1 2 d XE 2 1 d is recorded.
  • E lld, E 2 2 d, E 1 2 d, E 2 1 d are error factor components of the switch branch signal source 10 when the output terminal 19 d is connected to the signal source 10 0.
  • E lld is a component due to the directionality of the switch branch signal source 10.
  • E 2 2 d is the source of switch branch signal source 1 0 It is a component resulting from matching.
  • E 12 d is a component in the input direction of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source 10 (referred to as “derived input direction component”).
  • E 2 1 d is an output direction component (referred to as “derived output direction component”) of an error factor caused by frequency tracking in the switch branch signal source 10.
  • the port error factor recording unit 2 3 is an error factor of the switch branch signal source 10 when each of the output terminals 19a, 19b, 19c, 19d is connected to the signal source 100.
  • Component E 1 1 a due to switch branch signal source 1 0, E llb, E llc, E lld and component E 2 2 a due to source matching of switch branch signal source 10 Record E 2 2 b, E 2 2 c, and E 2 2 d.
  • the reference error factor component recording unit 24 records the reference output direction component E 2 1 a and the reference input direction component E 1 2 a. Further, the reference error factor component recording unit 24 writes E 2 1 a and E 1 2 a into the port error factor recording unit 23.
  • the derived error factor product recording unit 25 records E 1 2 b XE 2 1 b, E 1 2 c XE 2 1 c, and E 1 2 d XE 2 1 d.
  • E 1 2 b, E 1 2 c, and E l 2 d are derived input direction components
  • E 2 1 b, E 2 1 c, and E 2 1 d are derived output direction components. Therefore, the derived error factor product recording unit 25 records the product of the derived input direction component and the derived output direction component (referred to as “error factor product”).
  • the error factor ratio deriving unit 26 is the recorded content of the standard error factor component recording unit 24.
  • the error factor ratio which is the ratio of the reference output direction component E 2 1 a and the reference input direction component E 1 2 a is derived.
  • the error factor ratio is E 2 la E 1 2 a.
  • the frequency tracking error factor deriving unit 2 8 includes the error factor product recorded in the derived error factor product recording unit 25 and the error factor ratio E 2 1 a / E 1 2 derived by the error factor ratio deriving unit 26. Based on a, derived output direction components E 2 1 b, E 2 1 c, E 2 1 d and derived input direction components E 1 2 b, E 1 2 c, E 1 2 d are derived.
  • the output direction component E 2 1 b and the derived input direction component E 1 2 b are derived.
  • E 1 2 b XE 2 1 b A
  • Directional components E 2 1 c, E 2 1 d, derived input direction components E 1 2 c, E l 2 d can be derived in the same way, and derived derived output direction components E 2 1 b, E 2 lc, E 2 1 d,
  • the derived input direction components E 1 2 b, E 1 2 c, and E 1 2 d are recorded in the port error factor recording unit 23.
  • the port error factor recording unit 23 records the first port error factor Eija, the second port error factor Eijb, the third port error factor Eijc, and the fourth port error factor Eiid.
  • Source 1 0 mixer 1 6 b error required Figure 6 shows the connection of calibration tool 6 2 to output terminal 1 9 a, mixers 1 6 a and 1 6 b to terminals 2 1 a and 2 1 b It is a figure which shows the state which carried out.
  • FIG. 6 the components other than the terminals 2 1 a, 2 1 b, 2 1 c of the error factor measurement device 20, the port error factor acquisition unit 2 2, and the port error factor recording unit 23 are not shown.
  • FIG. 7 is a signal flow graph showing the error factor measurement device 20 in the state shown in FIG.
  • R 1 is the measurement result of the signal before the first port error factor Eija occurs.
  • R 2 is the measurement result of the reflected signal.
  • the reflected signal is the signal (b 1) of the signal (a 1) output from the output terminal 19 a reflected by the calibration tool 62.
  • the signal (b 1) reflected by the calibration tool 6 2 is applied to the bridge 14 b through the force S and the switch 18.
  • the reflected signal given to bridge 14b is fed to mixer 16b and multiplied with the local signal.
  • the output of mixer 1 6 b is R 2.
  • L l
  • the following equation (5) holds.
  • R 2 / R 1 E 1 1 a + (E 2 1 aE 1 2 aX) / (1-E 2 2 aX)
  • X is the load factor of the calibration tool 62.
  • the calibration tool 62 is a well-known one that realizes three states of open, short circuit, and standard load Z0 (see, for example, Patent Document 1).
  • the required variables are also three types of variables: E 1 1 a, E 2 2 a, E 1 2 a XE 2 1 a.
  • the port error factor acquisition unit 22 acquires Ella, E 2 2 a, and E 1 2 a XE 2 1 a.
  • the acquired Ella and E 2 2 a are recorded in the point error factor recording unit 23.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 is a signal in a state in which a signal is output from the output terminal (measurement output terminal) 1 9 a while the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 a.
  • R 1 Signal measurement result before the first port error factor Ei] 'a occurs
  • R 2 Reflection signal measurement result
  • the error factors E lla, E 2 2 a, E 1 2 a XE 2 1 a for the predetermined output terminal 1 9 a of the branch signal source 10 are acquired.
  • FIG. 8 is a diagram showing a state in which the power meter 64 is connected to the output terminal 19a and the mixer 16a is connected to the terminal 21a.
  • the components other than the terminals 2 1 a, 2 1, 2 1 c of the error factor measurement device 20, the port error factor acquisition unit 2 2, and the reference error factor component recording unit 24 are not shown.
  • the first port error factor acquisition unit 2 2 measures the signal output from the predetermined output terminal 19 a based on the result P, and the reference output direction component E 2 1 a and the reference input direction component E 1 2 It can be said that a is derived. Moreover, the first port error factor acquisition unit 2 2 obtains the measurement result of the signal with the calibration tool 6 2 connected to the predetermined output terminal 19 a (R 1: the signal before the first port error factor Eija occurs) Measurement result, R 2: Measurement result of reflected signal) E 2 2 a, E 1 2 a derived based on XE 2 1 a, reference output direction component E 2 1 a, reference input direction component E 1 2 a It can be said that In addition, the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 b of the switch branch signal source 10, the mixer 16 6 a of the switch branch signal source 10 is connected to the terminal 2 1 a of the error factor measuring device 2 0, and the switch branch signal source 1 Connect the mixer 1 6 b of 0 to the terminal 2 1
  • FIG. 10 is a diagram showing a state in which the calibration tool 6 2 is connected to the output terminal 19 b and the mixers 16 a and 16 are connected to the terminals 2 1 & and 2 1 b.
  • terminals 2 1 a, 2 1 b, 2 1 c of error factor measurement device 20, port error factor acquisition unit 2 2, port error factor recording unit 2 3, derived error factor product The parts other than the recording unit 25 are not shown.
  • An error factor measurement device 20 in the state shown in FIG. 10 represented by a signal flow graph is the same as FIG. 7, and is not shown. Referring to Fig. 10, the following equation (7) is established.
  • R 2 / R 1 E 1 1 b + (E 2 1 bE 1 2 bX) / (1-E 22 bX)
  • X is the load factor of the calibration tool 62.
  • the calibration tool 62 is a well-known one that realizes three states of open, short circuit, and standard load Z0 (see, for example, Patent Document 1).
  • the required variables are also three types of variables: E li, E 2 2 b, E 1 2 b XE 2 1 b.
  • the port error factor acquisition unit 22 acquires E llb, E 2 2 b, and E 1 2 b XE 2 1 b.
  • the acquired E lib and E 2 2 b are recorded in the port error factor recording unit 23.
  • the acquired E 1 2 b XE 2 1 b is recorded in the derived error factor product recording unit 25.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 is connected to the output terminal 1 9 b for calibration.
  • Signal measurement result when signal is output from output terminal 19 b with component 62 connected (R 1: Measurement of signal before second port error factor Ei] 'b occurs Result
  • R 2 reflected signal measurement result) via terminal 2 1 a and terminal 2 lb, and based on this measurement result, error factor E 1 for output terminal 1 9 b of switch branch signal source 1 0 1 b, E 2 2 b, E 1 2 b XE 2 1 b (Error factor product) is derived.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 acquires Ellc, E 2 2 c, and E 1 2 c XE 2 1 c as described above.
  • the acquired E 1 1 c and E 2 2 c are recorded in the point error factor recording unit 23.
  • the acquired E 1 2 c XE 2 1 c is recorded in the derived error factor product recording unit 25. That is, the port error factor acquisition unit 2 2 has a signal measurement result (R 1) in a state where a signal is output from the output terminal 19 c with the calibration tool 62 connected to the output terminal 19 c.
  • the port error factor acquisition unit 2 2 has a signal measurement result (R 1) in a state where a signal is output from the output terminal 19 d while the calibration tool 62 is connected to the output terminal 19 d.
  • R 1 The measurement result of the signal before the fourth port error factor Ei] 'd occurs
  • R 2 The reflection signal measurement result
  • E lld, E 2 2 d, E 1 2 d XE 2 1 d error factor product
  • the error factor ratio deriving unit 26 derives the error factor ratio E 2 1 a / E 1 2 a based on the recorded contents of the reference error factor component recording unit 24.
  • the port error factor recording section 23 records the first port error factor Eija, the second port error factor Ei] 'b, the third port error factor Ei; jc, and the fourth port error factor Eijd. Become.
  • derived output direction components E 2 1 b, E 2 1 c, E 2 1 d, and derived input direction components E 1 2 b, E 1 2 c, E 1 2 d are derived. Therefore, it is not necessary to connect the power meter 64 to the output terminals 1 9 b, 19 c, 19 d.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an example of the configuration of the output correction device 1 when the error factor measurement device 20 is used as the output correction device 1. Assume that an attempt is made to output a signal from output terminal 19 d of switch branch signal source 10. Suppose further that the power of this signal is set to the target value. Here, it is necessary to adjust the gain of the amplifier 13 in consideration of the influence of the fourth port error factor Eijd.
  • the output correction device 1 includes an error factor measurement device 20 and a signal power adjustment unit 30.
  • the details of the error factor measuring device 20 are as described above, but the fourth port error factor Ei] 'd recorded in the port error factor recording unit 23 is given to the signal power adjustment unit 30.
  • the signal power adjustment unit 30 adjusts the signal power based on the fourth port error factor Eijd measured by the error factor measurement device 20. For example, the signal power adjustment unit 30 adjusts the signal power by adjusting the gain of the amplifier 13. With this adjustment, the power of the signal output from the output terminal 19 d can be adjusted to the target value.
  • the signal power adjustment of the first port error factor Eija from the port error factor recording unit 23 of the error factor measurement device 20 is performed. This may be given to part 30.
  • the signal power adjustment unit 30 adjusts the power of the signal based on the first port error factor Eija measured by the error factor measurement device 20.
  • adjust the signal power of the second port error factor Eijb from the port error factor recording unit 2 3 of the error factor measurement device 20 is adjusted. This may be given to part 30.
  • the signal power adjustment unit 30 adjusts the signal power based on the second port error factor Eijb measured by the error factor measurement device 20.
  • the third port error factor Eijc from the port error factor recording unit 2 3 of the error factor measuring device 20 is adjusted to the signal power. This may be given to part 30.
  • the signal power adjustment unit 30 adjusts the signal power based on the third port error factor Eijc measured by the error factor measurement device 20.
  • the tester (test device) 70 has the output correction device 1 and the switch branch signal source 10 0 so that the signal output from the output terminal (for example, the output terminal 19 d) is measured.
  • (DUT: Device Under Test) 6 6 may be provided.
  • a test device module having the error factor measurement device 20 may be provided in the tester 70.
  • the reflection coefficient measurement device 2 includes an error factor measurement device 20 and a reflection coefficient measurement unit 40. The details of the error factor measurement device 20 are as described above, but the fourth port error factor Eijd recorded in the port error factor recording unit 23 is given to the reflection coefficient measurement unit 40.
  • the reflection coefficient measurement unit 40 measures the result R 1 of the signal measured before the fourth port error factor Eijd occurs and the result R 2 of the signal reflected by the measured object 66 (the signal is measured). What is reflected by the fixed object 6 6 is given to the mixer 16 b via the switch 18 and the bridge 14 b) and the error factor measuring device 20 Based on the measured fourth port error factor Eijd, the reflection coefficient of the object to be measured 66 is measured. In order to measure the reflection coefficient of the DUT 6 6 connected to the output terminal 19 a, the first port error factor Eija is reflected from the port error factor recording unit 2 3 of the error factor measuring device 20. Give it to the coefficient measurement unit 40.
  • the reflection coefficient measurement unit 40 measures the reflection coefficient of the object to be measured 66 based on R 1, R 2 and the first port error factor Eija measured by the error factor measurement device 20. In order to measure the reflection coefficient of the object to be measured 66 connected to the output terminal 19 b, the second port error factor Eijb is reflected from the port error factor recording unit 23 of the error factor measuring device 20. What is necessary is just to give to the coefficient measurement part 40.
  • the reflection coefficient measurement unit 40 measures the reflection coefficient of the object to be measured 66 based on R 1 and R 2 and the second port error factor Eijb measured by the error factor measurement device 20.
  • the third port error factor Eijc is reflected from the port error factor recording unit 23 of the error factor measuring device 20. What is necessary is just to give to the coefficient measurement part 40.
  • the reflection coefficient measurement unit 40 measures the reflection coefficient of the object to be measured 66 based on R 1 and R 2 and the third port error factor Eijc measured by the error factor measurement device 20.
  • the tester (test device) 70 has the reflection coefficient measuring device 2 and the switch branch signal source 10 so that the device under test (DUT: Device Under Test) 6 6 may be tested (the test method is well known and will not be described).
  • a test device module having an error factor measuring device 20 may be provided in the tester 70.
  • said embodiment is realizable as follows.
  • a program that implements each of the above parts for example, error factor measuring device 20) in a media reader of a computer equipped with a reader. Read the recorded media and install it on the hard disk.
  • Such a method can also realize the above functions.

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Abstract

　信号源とスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置20は、所定出力端子を信号源に接続したときの周波数トラッキング誤差要因の各成分E12a, E21aを記録する基準誤差要因成分記録部24と、所定出力端子以外の複数の出力端子の各々を信号源に接続したときの周波数トラッキング誤差要因の各成分の積である誤差要因積E12b×E21bを記録する導出誤差要因積記録部25と、誤差要因比E21a/E12aを導出する誤差要因比導出部26と、誤差要因積と誤差要因比とに基づきE12b, E21bを導出する周波数トラッキング誤差要因導出部28とを備え、E21a/E12a = E21b/E12bとする。

Description

誤差要因測定装置、 方法、 プログラム、 記録媒体および 該装置を備えた出力補正装置、 反射係数測定装置
技術分野 本発明は、 信号を生成する信号源と、 生成された信号を複数のポー トのいずれかに出力するスィツチとを組み合わせたスィツチ分岐信号 源のキャリブレーショ ンに関する。 ·
背景技術 従来より、 被測定物 （D U T ： Device Under Test) の回路パラメ一 タ （例えば、 Sパラメータ） を測定することが行われている （例えば、 特許文献 1 (特開平 1 1一 3 8 0 5 4号公報） を参照）。 具体的には、 信号源から信号を D U Tを介して受信部に送信する。 この信号は受信部により受信される。 受信部により受信された信号を 測定することにより D U Tの Sパラメータや周波数特性を取得するこ とができる。 このとき、 信号源等の測定系と D U Tとの不整合などにより測定に 測定系誤差が生ずる。 この測定系誤差は、 例えば E d ： ブリッジの方 向性に起因する誤差、 E r ：周波数トラッキングに起因する誤差、 E s ： ソースマッチングに起因する誤差、 である。 この場合は、 例えば特許文献 1に記載のようにして誤差を補正する ことができる。 このような補正をキャリブレーションという。 キヤリ ブレーシヨンについて概説する。 信号源に校正キットを接続し、 ォー プン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類の状 態を実現する。 このときの校正キッ トから反射された信号をプリッジ により取得して三種類の状態に対応した三種類の sパラメータを求め る。三種類の Sパラメータから三種類の変数 E d、 E r、 E sを求め、 補正を行う。 なお、 E rは、 信号の入力に関する誤差 E r 1 と、 信号の反射に関 する誤差 E r 2との積として表される。 ここで、 信号源にパワーメー タを接続し、 パワーを測定することにより、 £ ]： 1ぉょぴ£で 2を測 定することができる （例えば、 特許文献 2 (国際公開第 2 0 0 4ノ 0 4 9 5 6 4号パンフレッ ト） を参照）。 このようなキャ リブレーションを、 スィツチ分岐信号源に適用する ことができる。 なお、 スィ ッチ分岐信号源とは、 信号を生成する信号 源と、 生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスィツチ とを組み合わせたものである。 このようなキャリブレーショ ンを、 ス イッチ分岐信号源に適用した場合、 複数のポートの各々について、 ォ ープン （開放）、 ショート （短絡）、 ロード （標準負荷 Z0) の三種類の 状態を実現し、 さらにパワーメータも接続することになる。 発明の開示 しかしながら、スィツチ分岐信号源の複数のポートの各々について、 上記の三種類の状態を実現し、 さらにパワーメータも接続しなければ ならないため、多大な労力をキヤリブレ一ショ ンに費やすことになる。 そこで、 本発明は、 スィッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡 易に行うことを課題とする。 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 信号を生成する信号源と、 複 数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスィツチとを有す るスイツチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置 であって、 前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を 前記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数 トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成 分」 という） および入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を 記録する基準誤差要因成分記録部と、 前記所定出力端子以外の前記複 数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐 信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の 成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方向の成分 （「導出入力 方向成分」 という） との積である誤差要因積を記録する導出誤差要因 積記録部と、 前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、 前記 基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を 導出する誤差要因比導出部と、 前記導出誤差要因積記録部に記録され た前記誤差要因積と、 前記誤差要因比導出部により導出された前記誤 差要因比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分 とを導出する周波数トラッキング誤差要因導出部と、 を備え、 前記周 波数トラッキング誤差要因導出部は、 前記誤差要因比が、 前記導出出 力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、 前記 導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するように構成さ れる。 本発明によれば、 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいず れかから前記信号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号 源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。 基準誤差要因成分記録部は、 前記複数の出力端子のいづれか一つで ある所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐信 号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成 分 （「基準出力方向成分」 という） および入力方向の成分 （「基準入力 方向成分」 という） を記録する。 導出誤差要因積記録部は、 前記所定 出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したと きの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する 誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方 向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である誤差要因積を記 録する。 誤差要因比導出部は、 前記基準誤差要因成分記録部の記録内 容に基づき、 前記基準出力方向成分と前記基準入力方向成分との比で ある誤差要因比を導出する。 周波数トラッキング誤差要因導出部は、 前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、 前記誤差 要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導出 出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。 前記周波数トラ ッキング誤差要因導出部は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方向成 分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、 前記導出出力 方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記複数の出力端子の 各々を前記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における 誤差要因の、 前記スィツチ分岐信号源の方向性に起因する成分および 前記スィッチ分岐信号源のソースマッチングに起因する成分を記録す る誤差要因記録部を備えるようにしてもよい。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記基準誤差要因成分 記録部に記録された前記基準出力方向成分および前記基準入力方向成 分が、 前記所定出力端子から出力されたものを測定した結果と、 前記 所定出力端子に校正用具が接続された状態で、 前記誤差要因の生ずる 前に前記信号を測定した結果および前記信号が反射されたものを測定 した結果と、に基づき導出されたものであり、前記校正用具は、開放、 短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにして もよい。 なお、 本発明にかかる誤差要因測定装置は、 前記導出誤差要因積記 録部に記録された前記誤差要因積が、 前記所定出力端子以外の前記複 数の出力端子の各々に校正用具が接続された状態で、 前記誤差要因の 生ずる前に前記信号を測定した結果と、 前記信号が反射されたものを 測定した結果とに基づき導出されたものであり、 前記校正用具は、 開 放、 短絡おょぴ標準負荷の三種類の状態を実現するものであるように してもよい。 本発明にかかる出力補正装置は、 本発明にかかる誤差要因測定装置 と、 前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、 前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構 成される。 本発明にかかる反射係数測定装置は、 本発明にかかる誤差要因測定 装置と、 前記複数の出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続 された状態において、 前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した 結果と、 前記信号が反射されたものを測定した結果と、 前記誤差要因 測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、 前記被測定物の 反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。 本発明は、 信号を生成する'信号源と、 複数の出力端子のいずれかか ら前記信号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源にお ける誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、 前記複数の出力 端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したとき の前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤 差要因の出力方向の成分 （「基準出力方向成分」 という） および入力方 向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する基準誤差要因成分 記録工程と、 前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前 記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数ト ラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成 分」 という） と、 入力方向の成分 (「導出入力方向成分」 という） との 積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、 前記基準 誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力方向成分と 前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比 導出工程と、 前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差 要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比 とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出 する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、 を備え、 前記周波数ト ラッキング誤差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方 向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、 前記導出 出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する誤差要因測定方法 である。 本発明は、 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかか ら前記信号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源にお ける誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させ るためのプログラムであって、 前記誤差要因測定処理は、 前記複数の 出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続した ときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因す る誤差要因の出力方向の成分 （「基準出力方向成分」 という） およぴ入 力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する基準誤差要因 成分記録工程と、 前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々 を前記信号源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波 数トラッキングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向 成分」 という） と、 入力方向の成分 (「導出入力方向成分」 という） と の積である誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、 前記基 準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力方向成分 と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因 比導出工程と、 前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤 差要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された'前記誤差要因 比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導 出する周波数トラッキング誤差要因導出工程と、 を備え、 前記周波数 トラッキング誤差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力 方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとして、 前記導 出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出するプログラムであ る。 本発明は、 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかか ら前記信号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源にお ける誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させ るためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な 記録媒体であって、 前記誤差要因測定処理は、 前記複数の出力端子の いづれか一つである所定出力端子を前記信号源に接続したときの前記 スィツチ分岐信号源における周波数トラッキングに起因する誤差要因 の出力方向の成分 （「基準出力方向成分」 という） および入力方向の成 分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する基準誤差要因成分記録ェ 程と、 前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号 源に接続したときの前記スイツチ分岐信号源における周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「導出出力方向成分」 とい う） と、 入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である 誤差要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、 前記基準誤差要因 成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力方向成分と前記基準 入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤差要因比導出工程 と、前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数ト ラッキング誤差要因導出工程と、 を備え、 前記周波数トラッキング誤 差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方向成分と前記 導出入力方向成分との比に等しいものとして、 前記導出出力方向成分 と前記導出入力方向成分とを導出する記録媒体である。 本発明にかかる試験装置用モジュールは、 本発明にかかる誤差要因 測定装置を備える。 本発明にかかる試験装置は、 本発明にかかる出力補正装置を備え、 前記信号が被測定物に与えられるように構成される。 本発明にかかる試験装置は、 本発明にかかる反射係数測定装置を備 え、 被測定物を試験するように構成される。
図面の簡単な説明 第 1図は、 スィ ッチ分岐信号源 1 ◦の構成を示す図である。
第 2図は、スィツチ分岐信号源 1 0のシグナルフローグラフである。 第 3図は、 信号源 1 0 0が端子 1 5を有すると仮想した場合の、 ス イッチ分岐信号源 1 0の構成を示す図である。
第 4図は、 端子 1 5を仮想した場合のスィツチ分岐信号源 1 0のシ グナノレフローグラフである。
第 5図は、 .本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置 2 0の構成 を示す機能ブロック図である。
第 6図は、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 aに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 bを、 端子 2 1 a、 2 1 bに接続した状態を示す図である。
第 7図は、 第 6図に示す状態の誤差要因測定装置 2 0をシグナルフ ローグラフで表した図である。
第 8図は、 ノ ヮ一メータ 6 4を出力端子 1 9 aに、 ミキサ 1 6 aを 端子 2 1 aに接続した状態を示す図である。
第 9図は、 第 8図に示す状態の誤差要因測定装置 2 0をシグナルフ ローグラフで表した図である。
第 1 0図は、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 bに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 bを、 端子 2 1 a、 2 1 に接続した状態を示す図である。
第 1 1図は、 出力補正装置 1に誤差要因測定装置 2 0を使用した場 合の、 出力捕正装置 1の構成の例を示す図である。
第 1 2図は、 反射係数測定装置 2に誤差要因測定装置 2 0を使用し た場合の、 反射係数測定装置 2の構成の例を示す図である。 '
発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。 第 1図は、 スィ ッチ分岐信号源 1 0の構成を示す図である。 スイツ チ分岐信号源 1 0は、信号源 1 0 0、スィ ッチ 1 8、出力端子 1 9 a、 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dを有する。 信号源 1 0 0は、 信号を生成するためのものである。 信号源 1 0 0 は、 信号生成部 1 2、 ァンプ 1 3、 ブリ ッジ 1 4 a、 1 4 b , ミキサ 1 6 a、 1 6 bを有する。 信号生成部 1 2は、 信号 （例えば、 高周波数の信号） を生成する。 アンプ 1 3は、 信号生成部 1 2により生成された信号を増幅する。 ブリッジ 1 4 aは、アンプ 1 3の出力を受け、二方向に分岐させる。 ミキサ 1 6 aは、 ブリッジ 1 4 aの出力のうちの一方を受け、 所定の ローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。 ただし、 ローカル 信号は図示省略する。 ミキサ 1 6 aの出力が、 信号源 1 0 0における 誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。 ブリッジ 1 4 bは、 ブリ ッジ 1 4 aの出力のうちの他方を受け、 そ のまま出力する。 ただし、 信号が出力側から反射されてきたもの （「反 射信号」 という） を受け、 ミキサ 1 6 bに与える。 ミキサ 1 6 bは、 反射信号とローカル信号とを乗算する。 ただし、 ローカル信号は図示 省略する。ミキサ 1 6 bの出力が、反射信号を測定した結果といえる。 スィッチ 1 8は、 信号源 1 0 0に接続され、 出力端子 1 9 a、 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dのいずれかから信号を出力させるものである。 出力端子 1 9 a、 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dは、 そのいずれかが、 ス イッチ 1 8により、 信号源 1 0 0に接続される。 そして、 信号源 1 0 0に接続された出力端子から信号が出力される。 ここで、 出力端子 1 9 aから信号が出力される場合の、 出力端子 1 9 aの出力の Sパラメータを a 1、 出力が出力端子 1 9 aに反射され てきたものの Sパラメータを b 1 とする。 出力端子 1 9 bから信号が出力される場合の、 出力端子 1 9 bの出 力の Sパラメータを a 2、 出力が出力端子 1 9 bに反射されてきたも のの Sパラメータを b 2とする。 出力端子 1 9 cから信号が出力される場合の、 出力端子 1 9 cの出 力の Sパラメータを a 3、 出力が出力端子 1 9 cに反射されてきたも のの Sパラメータを b 3 とする。 出力端子 1 9 dから信号が出力される場合の、 出力端子 1 9 dの出 力の Sパラメータを a 4、 出力が出力端子 1 9 dに反射されてきたも のの Sパラメータを b 4とする。 第 2図は、スイツチ分岐信号源 1 0のシグナルフローグラフである。 第 2図 （a) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 aに接続した場合のシ グナルフローグラフである。 第 2図 （b) は、 信号源 1 0 0を出力端 子 1 9 bに接続した場合のシグナルフローグラフである。 第 2図 （ c) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 cに接続した場合のシグナルフロー グラフである。 第 2図 （ d) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 dに接 続した場合のシグナルフローグラフである。 第 2図において、 信号生成部 1 2の出力を S G、 ミキサ 1 6 aの出 力を R l、 ミキサ 1 6 bの出力を R 2と表記する。 また、 第 2図に示 すように、 R 1 - S GX Lとなる、 ただし、 L ( Sパラメータ） は、 アンプ 1 3により生じる誤差要因である。 第 2図 （a) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 aに接続し た場合は、 誤差要因 E 1 1 a、 E 1 2 a、 E 2 1 a、 E 2 2 a (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 E 1 1 a、 E 1 2 a、 E 2 1 a、 E 2 2 aを、 第一ポート誤差要因とレヽう。 第 2図 （b) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 bに接続し た場合は、 誤差要因 E l i b , E 1 2 b、 E 2 1 b、 E 2 2 b (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 E l i b , E 1 2 b、 E 2 1 b、 E 2 2 bを、 第二ポート誤差要因という。 第 2図 （c ) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 cに接続し た場合は、 誤差要因 E 1 1 c、 E 1 2 c、 E 2 1 c、 E 2 2 c (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 E 1 1 c、 E 1 2 c、 E 2 1 c、 E 2 2 cを、 第三ポート誤差要因とレヽう。 第 2図 （d) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 dに接続し た場合は、 誤差要因 E l i d, E 1 2 d、 E 2 1 d、 E 2 2 d (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 E 1 1 d、 E 1 2 d、 E 2 1 d、 E 2 2 dを、 第四ポート誤差要因という。 第 3図は、 信号源 1 0 0が端子 1 5を有すると仮想した場合の、 ス イッチ分岐信号源 1 0の構成を示す図である。 端子 1 5は、 信号源 1 0 0をスィッチ 1 8に接続するための端子である。 なお、 端子 1 5の 出力を a 5、 端子 1 5の出力が端子 1 5に反射されてきたものを b 5 とする。 ' 第 4図は、 端子 1 5を仮想した場合のスィツチ分岐信号源 1 0のシ グナルフローグラフである。 第 4図 （a ) は、 信号源 1 0 0を出力端 子 1 9 aに接続した場合のシグナルフローグラフである。第 4図 (b ) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 bに接続した場合のシグナルフロー グラフである。 第 4図 （c ) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 cに接 続した場合のシグナルフローグラフである。 第 4図 （d) は、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 dに接続した場合のシグナルフローグラフであ る。 第 4図を参照すると、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 a、 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dのいずれに接続しても、 共通した誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2が発生していることがわかる。 誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2は、 信号源 1 0 0における誤差要因であり、 信号源誤差要因という。 信号源誤差要因 P l l、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2は、 温度および時間が変化しても、 一定の値を有する Sパラメ一 タである。 第 4図 （a ) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 aに接続し た場合は、 誤差要因 Q 1 1 a、 Q 1 2 a、 Q 2 1 a、 Q 2 2 a (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 Q 1 1 a、 Q 1 2 a、 Q 2 1 a、 Q 2 2 aは、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 aに接続し た場合のスィツチ 1 8の誤差要因であり、 第一スィツチ部分誤差要因 とレヽう。 第 4図 （b) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 bに接続し た場合は、 誤差要因 Q l l b、 Q 1 2 b、 Q 2 1 b、 Q 2 2 b (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 Q l i b , Q 1 2 b、 Q 2 1 b、 Q 2 2 bは、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 bに接続し た場合のスィツチ 1 8の誤差要因であり、 第二スィツチ部分誤差要因 とレヽう。 第 4図 （c ) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 cに接続し た場合は、 誤差要因 Q 1 1 c、 Q 1 2 c、 Q 2 1 c、 Q 2 2 c (Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 Q 1 1 c , Q 1 2 c、 Q 2 1 c、 Q 2 2 cは、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 cに接続し た場合のスィ ッチ 1 8の誤差要因であり、 第三スィ ッチ部分誤差要因 という。 第 4図 （d) を参照して、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 dに接続し た場合は、 誤差要因 Q l l d、 Q 1 2 d、 Q 2 1 d、 Q 2 2 d ( Sパ ラメータ） が発生していることがわかる。 誤差要因 Q 1 1 d、 Q 1 2 d、 Q 2 1 d、 Q 2 2 dは、 信号源 1 0 0を出力端子 1 9 dに接続し た場合のスィツチ 1 8の誤差要因であり、 第四スィツチ部分誤差要因 という。 第 2図 （a ) およぴ第 4図 （a ) を参照すると、 信号源誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2と、 第一スィツチ部分誤差要因 Q 1 1 a、 Q 1 2 a、 Q 2 1 a、 Q 2 2 a とを合成したものが、 第一ポート 誤差要因 E l l a、 E 1 2 a、 E 2 1 a、 E 2 2 aとなることがわか る。 具体的には、 下記の式 （1 ) 〜 （4) のように第一ポート誤差要因 が表される。
E l l a =P l l + P 2 1 P 1 2 Q l l a / ( l ~P 22 Q l l a) ( 1) E 2 1 a =P 2 1 Q 2 1 a/ (l— P 2 2 Q l l a) (2)
E 1 2 a =P 1 2 Q 1 2 a / (l -P 2 2 Q l l a) (3)
E 2 2 a =Q 22 a +Q 2 1 a Q 1 2 a P 22/ (l -P 2 2 Q l l a)
(4) 第 2図 （b) および第 4図 （b) を参照すると、 信号源誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2と、 第二スィツチ部分誤差要因 Q 1 1 b、 Q 1 2 b、 Q 2 1 b、 Q 2 2 bとを合成したものが、 第二ポート 誤差要因 E l l b、 E 1 2 b、 E 2 1 b、 E 2 2 bとなることがわか る。 第二ポート誤差要因もまた、 添え字の aを bに変えれば、 上記の 式 （ 1 ) 〜 （4) のように表される。 第 2図 （c) および第 4図 （c) を参照すると、 信号源誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2と、 第三スィツチ部分誤差要因 Q 1 1 c、 Q 1 2 c、 Q 2 1 c、 Q 2 2 c とを合成したものが、 第三ポート 誤差要因 E l l c、 E 1 2 c、 E 2 1 c、 E 2 2 cとなることがわか る。 第三ポート誤差要因もまた、 添え字の aを cに変えれば、 上記の 式 （1 ) 〜 （4) のように表される。 第 2図 （d) および第 4図 （d) を参照すると、 信号源誤差要因 P 1 1、 P 1 2、 P 2 1、 P 2 2と、 第四スィツチ部分誤差要因 Q 1 1 d、 Q 1 2 d、 Q 2 1 d、 Q 2 2 dとを合成したものが、 第四ポート 誤差要因 E l l d、 E 1 2 d、 E 2 1 d、 E 2 2 dとなることがわか る。 第四ポート誤差要因もまた、 添え字の aを dに変えれば、 上記の 式 （ 1 ) 〜 （4 ) のように表される。 第 5図は、 本発明の実施形態にかかる誤差要因測定装置 2 0の構成 を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置 2 0は、端子 2 1 a、 2 1 b、 2 1 c、 ポート誤差要因取得部 2 2、 ポート誤差要因記録部 2 3、 基準誤差要因成分記録部 2 4、 導出誤差要因積記録部 2 5、 誤 差要因比導出部 2 6、 周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8を備え る。 端子 2 1 aは、 スィツチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 aに接続され る端子である。 端子 2 1 bは、 スィツチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 bに接続される端子である。 端子 2 1 cは、 スィ ッチ分岐信号源 1 0 の出力端子 1 9 aに接続されたパワーメータ （詳細は後述する） の測 定結果を受ける端子である。 ポート誤差要因取得部 2 2は、 端子 2 1 a、 2 1 b、 2 1 cを介し て、 スィッチ分岐信号源 1 0の出力端子 （所定出力端子） 1 9 aおよ び所定出力端子以外の出力端子 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dから信号が出 力されている状態における信号の測定結果を受ける。 第 6図、 第 8図および第 1 0図を参照して、 端子 2 1 a、 2 1 b 2 1 cが、 どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。 第 6図を参照して、 所定出力端子 1 9 aに校正用具 6 2 (開放、 短 絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子 2 1 a、 2 1 bは、 それぞれ、 信号 （第一ポート誤差要因 Eijaが生じる前のもの）、 反射 信号 （信号が校正用具 6 2により反射されたもの） の測定結果を受け る。 さらに、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 第 6図に示すような状態で 端子 2 1 a、 2 1 bを介して得た測定結果に基づき、 E l l a、 E 2 2 aを取得し、 ポート誤差要因記録部 2 3に記録させる。 なお、 E 1 1 a、 E 2 2 aは、 所定出力端子 1 9 aを信号源 1 0 0に接続したと きのスィツチ分岐信号源 1 0の誤差要因の成分である。 E 1 1 aは、 スィツチ分岐信号源 1 0 の方向性に起因する成分である。 E 2 2 aは、 スィツチ分岐信号源 1 0のソースマッチングに起因する成分である。 第 8図を参照して、 所定出力端子 1 9 aにパワーメータ 6 4が接続 されている状態で、 端子 2 1 a、 2 1 cは、 それぞれ、 信号 （第一ポ 一ト誤差要因 Eijaが生じる前のもの）、 信号 （所定出力端子 1 9 aか ら出力されたもの） の測定結果を受ける。 さらに、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 第 8図に示すような状態で 端子 2 1 a、 2 1 cを介して得た測定結果に基づき、 E 1 2 a、 E 2 l aを取得し、 基準誤差要因成分記録部 2 4に記録させる。 なお、 E 1 2 a、 E 2 1 aは、 所定出力端子 1 9 aを信号源 1 0 0に接続した ときのスィツチ分岐信号源 1 0の誤差要因の成分である。 E 2 1 aは、 スィツチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差 要因の出力方向の成分 （「基準出力方向成分」 という） である。 また、 E 1 2 aは、 スィツチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに 起因する誤差要因の入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） で ある。 第 1 0図を参照して、 所定出力端子以外の出力端子 1 9 bに校正用 具 6 2 (開放、 短絡および標準負荷） が接続されている状態で、 端子 2 1 a、 2 1 bは、 それぞれ、 信号 （第一ポート誤差要因 Eijaが生じ る前のもの）、 反射信号 （信号が校正用具 6 2により反射されたもの） の測定結果を受ける。 なお、 所定出力端子以外の出力端子 1 9 cに校 正用具 6 2が接続されている状態においても、 同様に測定結果を受け る。 また、 所定出力端子以外の出力端子 1 9 dに校正用具 6 2が接続 されている状態においても、 同様に測定結果を受ける。 さらに、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 第 1 0図に示すような状態 で端子 2 1 a、 2 1 bを介して得た測定結果に基づき、 E 1 1 b、 E 2 2 b、 E 1 2 b XE 2 1 bを取得し、 E l l b、 E 2 2 bをポート 誤差要因記録部 2 3に記録させ、 E 1 2 b XE 2 1 bを導出誤差要因 積記録部 2 5に記録させる。 なお、 E l l b、 E 2 2 b、 E 1 2 b、 E 2 1 bは出力端子 1 9 を信号源 1 0 0に接続したときのスィツチ 分岐信号源 1 0の誤差要因の成分である。 E l l bは、 スィ ッチ分岐 信号源 1 0の方向性に起因'する成分である。 E 2 2 bは、 スィ ッチ分 岐信号源 1 0のソースマッチングに起因する成分である。 E 1 2 bは、 スィツチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差 要因の入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） である。 E 2 1 bは、 スィツチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに起因す る誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） である。 さらに、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 所定出力端子以外の出力端 子 1 9 cに校正用具 6 2が接続されている状態で端子 2 1 a、 2 1 b を介して得た測定結果に基づき、 E l l c、 E 2 2 c、 E 1 2 c X E 2 1 cを取得し、 E l l c、 E 2 2 cをポート誤差要因記録部 2 3に 記録させ、 E 1 2 c XE 2 1 cを導出誤差要因積記録部 2 5に記録さ せる。 なお、 E l l c、 E 2 2 c、 E 1 2 c、 E 2 1 cは出力端子 1 9 cを信号源 1 0 0に接続したときのスィッチ分岐信号源 1 0の誤差 要因の成分である。 E 1 1 cは、 スィッチ分岐信号源 1 0の方向性に 起因する成分である。 E 2 2 cは、 スィ ッチ分岐信号源 1 0のソース マッチングに起因する成分である。 E 1 2 cは、 スィッチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成 分 （「導出入力方向成分」 という） である。 E 2 1 cは、 スィツチ分岐 信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方 向の成分 （「導出出力方向成分」 という） である。 さらに、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 所定出力端子以外の出力端 子 1 9 dに校正用具 6 2が接続されている状態で端子 2 1 a、 2 1 b を介して得た測定結果に基づき、 E l l d、 E 2 2 d、 E 1 2 d X E 2 I dを取得し、 E l l d、 E 2 2 dをポート誤差要因記録部 2 3に 記録させ、 E 1 2 d XE 2 1 dを導出誤差要因積記録部 2 5に記録さ せる。 なお、 E l l d、 E 2 2 d、 E 1 2 d、 E 2 1 dは出力端子 1 9 dを信号源 1 0 0に接続したときのスィツチ分岐信号源 1 0の誤差 要因の成分である。 E l l dは、 スィ ッチ分岐信号源 1 0の方向性に 起因する成分である。 E 2 2 dは、 スィ ッチ分岐信号源 1 0のソース マッチングに起因する成分である。 E 1 2 dは、 スィ ッチ分岐信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差要因の入力方向の成 分 （「導出入力方向成分」 という） である。 E 2 1 dは、 スィツチ分岐 信号源 1 0における周波数トラッキングに起因する誤差要因の出力方 向の成分 （「導出出力方向成分」 という） である。 ポート誤差要因記録部 2 3は、 出力端子 1 9 a、 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dの各々を信号源 1 0 0に接続したときのスィツチ分岐信号源 1 0における誤差要因の、 スィ ッチ分岐信号源 1 0の方向性に起因する 成分 E 1 1 a、 E l l b、 E l l c、 E l l dおよぴスィツチ分岐信 号源 1 0のソースマッチングに起因する成分 E 2 2 a、 E 2 2 b、 E 2 2 c、 E 2 2 dを記録する。 基準誤差要因成分記録部 24は、 基準出力方向成分 E 2 1 aと基準 入力方向成分 E 1 2 aとを記録する。 さらに、 基準誤差要因成分記録 部 2 4は、 E 2 1 a、 E 1 2 aを、 ポート誤差要因記録部 2 3に書き 込む。 導出誤差要因積記録部 2 5は、 E 1 2 b XE 2 1 b、 E 1 2 c X E 2 1 c、 E 1 2 d XE 2 1 dを記録する。 E 1 2 b、 E 1 2 c、 E l 2 dは導出入力方向成分であり、 E 2 1 b、 E 2 1 c、 E 2 1 dは導 出出力方向成分である。 よって、 導出誤差要因積記録部 2 5は、 導出 入力方向成分と導出出力方向成分との積 （「誤差要因積」 という） を記 録する。 誤差要因比導出部 2 6は、 基準誤差要因成分記録部 24の記録内容 に基づき、 基準出力方向成分 E 2 1 a と基準入力方向成分 E 1 2 aと の比である誤差要因比を導出する。 例えば、 誤差要因比は E 2 l a E 1 2 aである。 周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8は、 導出誤差要因積記録部 2 5に記録された誤差要因積と、 誤差要因比導出部 2 6により導出さ れた誤差要因比 E 2 1 a /E 1 2 aとに基づき、 導出出力方向成分 E 2 1 b、 E 2 1 c、 E 2 1 dと導出入力方向成分 E 1 2 b、 E 1 2 c、 E 1 2 dとを導出する。 ここで、 誤差要因比 E 2 1 aZE 1 2 aは、 導出出力方向成分と導 出入力方向成分との比 E 2 1 b /E 1 2 b、 E 2 1 c/E 1 2 c、 E 2 1 dZE 1 2 dと等しいものとする。 すなわち、 E 2 l a /E l 2 a = E 2 1 b/E l 2 b = E 2 1 c ZE 1 2 c = E 2 1 d/E l 2 d である。 周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8は、 誤差要因積 E 1 2 b X E 2 1 b、 誤差要因比 E 2 1 a/E 1 2 a (=E 2 1 b/E 1 2 b) に基づき、 導出出力方向成分 E 2 1 b、 導出入力方向成分 E 1 2 bを 導出する。 E 1 2 b XE 2 1 b =A、 E 2 1 a /E 1 2 a (= E 2 1 b/E 1 2 b) =Bとする。 すると、 E 2 1 b = (A X B) "2、 E l 2 b = (A/B) i として、 導出出力方向成分 E 2 1 b、 導出入力方 向成分 E 1 2 bを導出できる。導出出力方向成分 E 2 1 c、E 2 1 d、 導出入力方向成分 E 1 2 c、 E l 2 dも、 同様に導出できる。 なお、導出された導出出力方向成分 E 2 1 b、 E 2 l c、 E 2 1 d、 導出入力方向成分 E 1 2 b、 E 1 2 c、 E 1 2 dはポート誤差要因記 録部 2 3に記録される。これにより、ポート誤差要因記録部 2 3には、 第一ポート誤差要因 Eija、 第二ポート誤差要因 Eijb、 第三ポート誤差 要因 Eijc、 第四ポート誤差要因 Eiidが記録されることになる。
E 2 1 a /E l 2 a =E 2 1 b /E l 2 b = E 2 1 c /E 1 2 c
E 2 1 d/E 1 2 dであることを以下に証明する まず、 スィッチ 1 8は相反性を有するので、 Q 2 1 a =Q 1 2 aで ある。 また、 式 （2)、 式 （3 ) より、 E 2 1 a / E 1 2 a = P 2 1 Q
2 1 aノ (P 1 2 Q 1 2 a ) である。 ここで、 Q 2 1 a =Q 1 2 aで あることから、 E 2 1 a /E 1 2 a = P 2 1 /P 1 2となる 第二ポート誤差要因 Eijb、 第三ポート誤差要因 Eijc、 第四ポート誤 差要因 Eijdについても同様に、 E 2 1 b /E 1 2 b = P 2 l /P 1 2、 E 2 1 c /E l 2 c = P 2 1 / P 1 2 , E 2 1 d/E 1 2 d = P 2 1
/P 1 2が成立する。 よって、 E 2 1 a /E l 2 a = E 2 1 b /E l 2 b = E 2 1 c /E 1 2 c = E 2 1 d/E 1 2 d (= P 2 l /P 1 2 ) である。 次に、 本発明の実施形態の動作を説明する。 まず、 校正用具 6 2をスィツチ分岐信号源 1 0の所定出力端子 1 9 aに、 スィッチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 aを誤差要因測定装置 2 0の端子 2 1 aに、 スィツチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 bを誤差要 因測定装置 2 0の端子 2 1 bに接続する 第 6図は、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 aに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 bを、 端子 2 1 a、 2 1 bに接続した状態を示す図である。 なお、 第 6図においては、 誤差要因測定装置 2 0の端子 2 1 a、 2 1 b、 2 1 c、 ポート誤差要因取得部 2 2、 ポート誤差要因記録部 2 3以外は図 示省略する。 第 7図は、 第 6図に示す状態の誤差要因測定装置 2 0をシグナルフ ローグラフで表した図である。 R 1は、 第一ポート誤差要因 Eijaが生 じる前の信号の測定結果である。 R 2は、反射信号の測定結果である。 ただし、 反射信号は、 出力端子 1 9 aから出力された信号 （a 1 ) が 校正用具 6 2により反射されたもの （b 1 ) である。 また、 校正用具 6 2により反射された信号 （b 1 ) 力 S、 スィッチ 1 8を介して、 プリ ッジ 1 4 bに与えられる。 ブリッジ 1 4 bに与えられた反射信号は、 ミキサ 1 6 bに与えられ、 ローカル信号と乗算される。 ミキサ 1 6 b の出力が R 2である。第 7図において、 L=l とすると、下記の式（5) が成立する。 R 2/R 1=E 1 1 a + (E 2 1 a · E 1 2 a · X) / ( 1 - E 2 2 a · X)
(5) ただし、 Xは、 校正用具 6 2の負荷係数である。 校正用具 6 2は、 開放、 短絡および標準負荷 Z0 の三種類の状態を実現する周知のもの である （例えば、 特許文献 1を参照）。 ここで、 校正用具 6 2が三種類接続されるため、 R 2と R 1 との組 み合わせは三種類求められる。 よって、 求められる変数も E 1 1 a、 E 2 2 a、 E 1 2 a X E 2 1 aという三種類の変数である。 このよう にして、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 E l l a、 E 2 2 a、 E 1 2 a X E 2 1 aを取得する。 取得された E l l a、 E 2 2 aは、 ポ一ト 誤差要因記録部 2 3に記録される。 すなわち、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 出力端子 1 9 aに校正用 具 6 2が接続された状態で、 出力端子 （測定用出力端子） 1 9 aから 信号が出力されている状態における信号の測定結果 （R 1 ：第一ポー ト誤差要因 Ei]'aが生じる前の信号の測定結果、 R 2 ：反射信号の測定 結果） を端子 2 1 a、 端子 2 l bを介して受け、 スィッチ分岐信号源 1 0の所定出力端子 1 9 aについての誤差要因 E l l a、 E 2 2 a、 E 1 2 a X E 2 1 aを取得する。 次に、 パワーメータ 6 4をスィツチ分岐信号源 1 0の所定出力端子 1 9 aに、 スィッチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 aを誤差要因測定装 置 2 0の端子 2 1 aに接続する。 第 8図は、 パワーメータ 6 4を出力端子 1 9 aに、 ミキサ 1 6 aを 端子 2 1 aに接続した状態を示す図である。なお、第 8図においては、 誤差要因測定装置 2 0の端子 2 1 a、 2 1 , 2 1 c、 ポート誤差要 因取得部 2 2、 基準誤差要因成分記録部 24以外は図示省略する。 第 9図は、 第 8図に示す状態の誤差要因測定装置 2 0をシグナルフ ローグラフで表した図である。 第 9図において、 L=l とすると、 下 記の式 （6) が成立する
• P/R l=E 2 1 a / ( l ~E 2 2 a · Ε ρ) ( 6 ) ただし、 Ρは、 所定出力端子 1 9 aから出力された信号をパワーメ ータ 6 4により測定した結果である。 ここで、 E 2 2 aは既に取得し ており、 E pは測定可能なので、 E 2 1 aを求めることができる。 E 1 2 a X E 2 1 aは既に取得しているので、 E 1 2 aもまた求めるこ とができる。 このようにして、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 E 1 1 a、 E 2 2 a、 E 1 2 a、 E 2 1 aを取得する。取得された E 1 2 a、 E 2 1 aは基準誤差要因成分記録部 24に記録される。 すなわち、 第一ポート誤差要因取得部 2 2は、 所定出力端子 1 9 a から信号が出力されたものを測定した結果 Pに基づき基準出力方向成 分 E 2 1 a、基準入力方向成分 E 1 2 aを導出するといえる。しかも、 第一ポート誤差要因取得部 2 2は、 所定出力端子 1 9 aに校正用具 6 2が接続された状態の信号の測定結果 （R 1 ： 第一ポート誤差要因 Eijaが生じる前の信号の測定結果、 R 2 ：反射信号の測定結果） に基 づき導出された E 2 2 a、 E 1 2 a XE 2 1 aに基づき基準出力方向 成分 E 2 1 a、 基準入力方向成分 E 1 2 aを導出するといえる。 さらに、 校正用具 6 2をスィツチ分岐信号源 1 0の出力端子 1 9 b に、 スィツチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 aを誤差要因測定装置 2 0 の端子 2 1 aに、 スィツチ分岐信号源 1 0のミキサ 1 6 bを誤差要因 測定装置 20の端子 2 1 bに接続する。 第 1 0図は、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 bに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 を、 端子2 1 &、 2 1 bに接続した状態を示す図である。 なお、 第 1 0図においては、 誤差要因測定装置 2 0の端子 2 1 a、 2 1 b、 2 1 c、 ポート誤差要因取得部 2 2、 ポート誤差要因記録部 2 3、 導 出誤差要因積記録部 2 5以外は図示省略する。 第 1 0図に示す状態の誤差要因測定装置 2 0をシグナルフローダラ フで表したものは、 第 7図と同様であるため、 図示を省略する。 第 1 0図を参照して、 以下の式 （7) が成立する。
R 2/R 1 =E 1 1 b + (E 2 1 b · E 1 2 b · X) / ( 1 - E 22 b · X)
(7) ただし、 Xは、 校正用具 6 2の負荷係数である。 校正用具 6 2は、 開放、 短絡および標準負荷 Z0 の三種類の状態を実現する周知のもの である （例えば、 特許文献 1を参照）。 ここで、 校正用具 6 2が三種類接続されるため、 R 2と R 1 との組 み合わせは三種類求められる。 よって、 求められる変数も E l i , E 2 2 b、 E 1 2 b XE 2 1 bという三種類の変数である。 このよう にして、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 E l l b、 E 2 2 b、 E 1 2 b X E 2 1 bを取得する。 取得された E l i b , E 2 2 bは、 ポート 誤差要因記録部 2 3に記録される。取得された E 1 2 b XE 2 1 bは、 導出誤差要因積記録部 2 5に記録される。 すなわち、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 出力端子 1 9 bに校正用 具 6 2が接続された状態で、 出力端子 1 9 bから信号が出力されてい る状態における信号の測定結果（R 1 ：第二ポート誤差要因 Ei]'bが生 じる前の信号の測定結果、 R 2 ：反射信号の測定結果）を端子 2 1 a、 端子 2 l bを介して受け、 かかる測定結果に基づき、 スィッチ分岐信 号源 1 0の出力端子 1 9 bについての誤差要因 E 1 1 b、 E 2 2 b、 E 1 2 b XE 2 1 b (誤差要因積） を導出する。 さらに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 bを、 端子 2 1 a、 2 1 bに接続した ままで、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 cに接続する。 ポート誤差要因 取得部 2 2は、 上記と同様に、 E l l c、 E 2 2 c、 E 1 2 c X E 2 1 cを取得する。 取得された E 1 1 c、 E 2 2 cは、 ポ一ト誤差要因 記録部 2 3に記録される。 取得された E 1 2 c X E 2 1 cは、 導出誤 差要因積記録部 2 5に記録される。 すなわち、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 出力端子 1 9 cに校正用具 6 2が接続された状態で、 出力端 子 1 9 cから信号が出力されている状態における信号の測定結果 （R 1 ：第三ポート誤差要因 Eijcが生じる前の信号の測定結果、 R 2 :反 射信号の測定結果） を端子 2 1 a、 端子 2 l bを介して受け、 かかる 測定結果に基づき、 スィツチ分岐信号源 1 0の出力端子 1 9 cについ ての誤差要因 E l l c、 E 2 2 c、 E 1 2 c XE 2 1 c (誤差要因積） を導出する。 さらに、 ミキサ 1 6 a、 1 6 bを、 端子 2 1 a、 2 1 bに接続した ままで、 校正用具 6 2を出力端子 1 9 dに接続する。 ポート誤差要因 取得部 2 2は、 上記と同様に、 E l l d、 E 2 2 d、 E 1 2 d X E 2 I dを取得する。 取得された E l i d, E 2 2 dは、 ポート誤差要因 記録部 2 3に記録される。 取得された E 1 2 d XE 2 1 dは、 導出誤 008062964
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差要因積記録部 2 5に記録される。 すなわち、 ポート誤差要因取得部 2 2は、 出力端子 1 9 dに校正用具 6 2が接続された状態で、 出力端 子 1 9 dから信号が出力されている状態における信号の測定結果 （R 1 ：第四ポート誤差要因 Ei]'dが生じる前の信号の測定結果、 R 2 ：反 射信号の測定結果） を端子 2 1 a、 端子 2 l bを介して受け、 かかる 測定結果に基づき、 スィッチ分岐信号源 1 0の出力端子 1 9 dについ ての誤差要因 E l l d、 E 2 2 d、 E 1 2 d XE 2 1 d (誤差要因積） を導出する。
誤差要因比導出部 2 6は、 基準誤差要因成分記録部 24の記録内容 に基づき、 誤差要因比 E 2 1 a /E 1 2 aを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8は、 導出誤差要因積記録部 2 5に記録された誤差要因積 E 1 2 b XE 2 1 bと、 誤差要因比 E 2 1 a /E 1 2 a (= E 2 1 /E 1 2 b) とに基づき、 導出出力方向 成分 E 2 1 b、 導出入力方向成分 E 1 2 bを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8は、 導出誤差要因積記録部 2 5に^録された誤差要因積 E 1 2 c XE 2 1 c と、 誤差要因比 E 2 1 a /E 1 2 a (=E 2 1 c/E 1 2 c) とに基づき、 導出出力方向 成分 E 2 1 c , 導出入力方向成分 E 1 2 cを導出する。
周波数トラッキング誤差要因導出部 2 8は、 導出誤差要因積記録部 2 5に記録された誤差要因積 E 1 2 d XE 2 1 dと、 誤差要因比 E 2 1 a /E 1 2 a (=E 2 1 d/E 1 2 d) とに基づき、 導出出力方向 成分 E 2 1 d、 導出入力方向成分 E 1 2 dを導出する。 導出された導出出力方向成分 E 2 1 b、 E 2 1 c、 E 2 1 d、 導出 入力方向成分 E 1 2 b、 E 1 2 c、 E 1 2 dはポート誤差要因記録部 2 3に記録される。ポート誤差要因記録部 2 3には、すでに E 1 1 a、 E 2 2 a , E l l b、 E 2 2 b、 E l l c、 E 2 2 c、 E l l d、 E 2 2 dが記録されている。 よって、 ポート誤差要因記録部 2 3には、 第一ポート誤差要因 Eija、 第二ポート誤差要因 Ei]'b、 第三ポート誤差 要因 Ei;jc、 第四ポート誤差要因 Eijdが記録されることになる。 本発明の実施形態によれば、導出出力方向成分 E 2 1 b、E 2 1 c、 E 2 1 d、 導出入力方向成分 E 1 2 b、 E 1 2 c、 E 1 2 dを導出す るために、 パワーメータ 6 4を出力端子 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dに接 続する必要が無い。 パワーメータ 6 4を接続する必要があるのは所定 出力端子 1 9 aのみである。 すなわち、 パワーメータ 6 4を出力端子 1 9 b、 1 9 c、 1 9 dに接続しなくてすむため、 スィッチ分岐信号 源 1 0のキャリブレーションを簡易に行うことができる。 なお、 誤差要因測定装置 2 0の使用の態様の例を説明する。 第 1 1図は、 出力捕正装置 1に誤差要因測定装置 2 0を使用した場 合の、 出力捕正装置 1の構成の例を ^示す図である。 スィツチ分岐信号源 1 0の出力端子 1 9 dから信号を出力しようと したとする。 さらに、 この信号のパワーを目標値にあわせようとした とする。 ここで、 第四ポート誤差要因 Eijdの影響を考慮して、 アンプ 1 3のゲインを調整する必要がある。 出力補正装置 1は、 誤差要因測定装置 2 0、 信号パワー調整部 3 0 を備える。 誤差要因測定装置 2 0の詳細はすでに説明したとおりであ るが、 信号パワー調整部 3 0に、 ポート誤差要因記録部 2 3に記録さ れた第四ポート誤差要因 Ei]'dを与える。 信号パワー調整部 3 0は、誤 差要因測定装置 2 0により測定された第四ポート誤差要因 Eijd に基 づき、 信号のパワーを調整する。 例えば、 信号パワー調整部 3 0は、 アンプ 1 3のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。 かかる調整により、 出力端子 1 9 dから出力される信号のパワーを目 標値にあわせることができる。 なお、 出力端子 1 9 aから出力される信号のパワーを目標値にあわ せるためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第一ポート誤差要因 Eijaを信号パワー調整部 3 0に与えればよい。 信号パワー調整部 3 0は、 誤差要因測定装置 2 0により測定された第 —ポート誤差要因 Eijaに基づき、 信号のパワーを調整する。 なお、 出力端子 1 9 bから出力される信号のパワーを目標値にあわ せるためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第二ポート誤差要因 Eijbを信号パワー調整部 3 0に与えればよい。 信号パワー調整部 3 0は、 誤差要因測定装置 2 0により測定された第 二ポート誤差要因 Eijbに基づき、 信号のパワーを調整する。 なお、 出力端子 1 9 cから出力される信号のパワーを目標値にあわ せるためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第三ポート誤差要因 Eijcを信号パワー調整部 3 0に与えればよい。 信号パワー調整部 3 0は、 誤差要因測定装置 2 0により測定された第 三ポート誤差要因 Eijcに基づき、 信号のパワーを調整する。 ここで、 テスタ （試験装置） 7 0が、 出力補正装置 1およびスイツ チ分岐信号源 1 0を有するようにして、 出力端子 （例えば、 出力端子 1 9 d ) から出力される信号を被測定物 （DUT： Device Under Test) 6 6に与えるようにしてもよい。 この際、 誤差要因測定装置 2 0を有 する試験装置用モジュールをテスタ 7 0に設けるようにしてもよい。 第 1 2図は、 反射係数測定装置 2に誤差要因測定装置 2 0を使用し た場合の、 反射係数測定装置 2の構成の例を示す図である。 スィツチ分岐信号源 1 0 の出力端子 1 9 dに被測定物 （DUT ： Device Under Test) 6 6を接続し、被測定物 6 6の反射係数を測定し ようとしたとする。 被測定物 6 6の反射係数は、 R 1および R 2から 求めることができる。 ここで、 第四ポート誤差要因 Eijdの影響を考盧 して、 反射係数を求める必要がある。 反射係数測定装置 2は、 誤差要因測定装置 2 0、 反射係数測定部 4 0を備える。 誤差要因測定装置 2 0の詳細はすでに説明したとおりで あるが、 反射係数測定部 4 0に、 ポート誤差要因記録部 2 3に記録さ れた第四ポート誤差要因 Eijdを与える。 反射係数測定部 4 0は、第四 ポート誤差要因 Eijdの生ずる前に信号を測定した結果 R 1と、信号が 被測定物 6 6により反射されたものを測定した結果 R 2 (信号が被測 定物 6 6により反射されたものは、 スィッチ 1 8、 ブリ ッジ 1 4 bを 介してミキサ 1 6 bに与えられる） と、 誤差要因測定装置 2 0により 測定された第四ポート誤差要因 Eijdとに基づき、被測定物 6 6の反射 係数を測定する。 なお、 出力端子 1 9 aに接続された被測定物 6 6の反射係数を測定 するためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第一ポート誤差要因 Eijaを反射係数測定部 4 0に与えればよレ、。反 射係数測定部 4 0は、 R l、 R 2と、 誤差要因測定装置 2 0により測 定された第一ポート誤差要因 Eijaとに基づき、被測定物 6 6の反射係 数を測定する。 なお、 出力端子 1 9 bに接続された被測定物 6 6の反射係数を測定 するためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第二ポート誤差要因 Eijbを反射係数測定部 4 0に与えればよい。反 射係数測定部 4 0は、 R 1、 R 2と、 誤差要因測定装置 2 0により測 定された第二ポート誤差要因 Eijbとに基づき、被測定物 6 6の反射係 数を測定する。 なお、 出力端子 1 9 cに接続された被測定物 6 6の反射係数を測定 するためには、 誤差要因測定装置 2 0のポート誤差要因記録部 2 3か ら第三ポート誤差要因 Eijcを反射係数測定部 4 0に与えればよい。反 射係数測定部 4 0は、 R l、 R 2と、 誤差要因測定装置 2 0により測 定された第三ポート誤差要因 Eijcとに基づき、被測定物 6 6の反射係 数を測定する。 ここで、 テスタ （試験装置） 7 0が、 反射係数測定装置 2およびス ィツチ分岐信号源 1 0を有するようにして、 被測定物 （DUT： Device Under Test) 6 6を試験する （試験法は周知なので説明を省略する） ようにしてもよい。 この際、 誤差要因測定装置 2 0を有する試験装置 用モジュールをテスタ 7 0に設けるようにしてもよレ、。 また、 上記の実施形態は、 以下のようにして実現できる。 C P U、 ハードディスク、 メディア （フロッピー （登録商標） ディスク、 C D 一 R O Mなど） 読み取り装置を備えたコンピュータのメディァ読み取 り装置に、 上記の各部分 （例えば、 誤差要因測定装置 2 0 ) を実現す るプログラムを記録したメディアを読み取らせて、 ハードディスクに インス トールする。 このような方法でも、 上記の機能を実現できる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかから前記信 号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源における誤差 要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号 源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」 とい う） および入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する 基準誤差要因成分記録部と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に 接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキング に起因する誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である誤差 要因積を記録する導出誤差要因積記録部と、
前記基準誤差要因成分記録部の記録内容に基づき、 前記基準出力方 向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する誤 差要因比導出部と、
前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積と、 前記誤 差要因比導出部により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導 出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数トラツキ ング誤差要因導出部と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出部は、 前記誤差要因比が、 前 記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものとし て、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、 誤差要因測定装置
2 . 請求項 1に記載の誤差要因測定装置であって、
前記複数の出力端子の各々を前記信号源に接続したときの前記スィ ツチ分岐信号源における誤差要因の、 前記スィ ッチ分岐信号源の方向 性に起因する成分および前記スィツチ分岐信号源のソースマッチング に起因する成分を記録する誤差要因記録部、
を備える誤差要因測定装置。
3 . 請求項 1または 2に記載の誤差要因測定装置であって、
前記基準誤差要因成分記録部に記録された前記基準出力方向成分お よび前記基準入力方向成分は、
前記所定出力端子から出力されたものを測定した結果と、 前記所定出力端子に校正用具が接続された状態で、 前記誤差要因の 生ずる前に前記信号を測定した結果および前記信号が反射されたもの を測定した結果と、
に基づき導出されたものであり、 .
前記校正用具は、 開放、 短絡および標準負荷の三種類の状態を実現 するものである、
誤差要因測定装置。
4 . 請求項 1または 2に記載の誤差要因測定装置であって、
前記導出誤差要因積記録部に記録された前記誤差要因積は、 前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々に校正用具が接 続された状態で、 前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果 と、 前記信号が反射されたものを測定した結果とに基づき導出された ものであり、
前記校正用具は、 開放、 短絡および標準負荷の三種類の状態を実現 するものである、
.誤差要因測定装置。
5 . 請求項 1ないし 4のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、 前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、 前 記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
を備えた出力補正装置。
6 . 請求項 1ないし 4のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、 前記複数の出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された 状態において、前記誤差要因の生ずる前に前記信号を測定した結果と、 前記信号が反射されたものを測定した結果と、 前記誤差要因測定装置 により測定された前記誤差.要因とに基づき、 前記被測定物の反射係数 を測定する反射係数測定手段と、
を備えた反射係数測定装置。
7 . 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかから前記信 号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源における誤差 要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号 源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」 とい う） および入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する 基準誤差要因成分記録工程と、 前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に 接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキング に起因する誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である誤差 要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力 方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する 誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数ト ラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものと して、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、 誤差要因測定方法。
8 . 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかから前記信 号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源における誤差 要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるための プログラムであって、
前記誤差要因測定処理は、
前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号 源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」 とい う） および入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する 基準誤差要因成分記録工程と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に 接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキング に起因する誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である誤差 要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力 方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する 誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数ト ラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものと して、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、 プログラム。
9 . 信号を生成する信号源と、 複数の出力端子のいずれかから前記信 号を出力させるスィツチとを有するスィツチ分岐信号源における誤差 要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるための プログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体 であって、
前記誤差要因測定処理は、 前記複数の出力端子のいづれか一つである所定出力端子を前記信号 源に接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラツキ ングに起因する誤差要因の出力方向の成分（「基準出力方向成分」 とい う） および入力方向の成分 （「基準入力方向成分」 という） を記録する 基準誤差要因成分記録工程と、
前記所定出力端子以外の前記複数の出力端子の各々を前記信号源に 接続したときの前記スィツチ分岐信号源における周波数トラッキング に起因する誤差要因の出力方向の成分 （「導出出力方向成分」 という） と、 入力方向の成分 （「導出入力方向成分」 という） との積である誤差 要因積を記録する導出誤差要因積記録工程と、
前記基準誤差要因成分記録工程の記録内容に基づき、 前記基準出力 方向成分と前記基準入力方向成分との比である誤差要因比を導出する 誤差要因比導出工程と、
前記導出誤差要因積記録工程により記録された前記誤差要因積と、 前記誤差要因比導出工程により導出された前記誤差要因比とに基づき、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する周波数ト ラッキング誤差要因導出工程と、
を備え、
前記周波数トラッキング誤差要因導出工程は、 前記誤差要因比が、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分との比に等しいものと して、 前記導出出力方向成分と前記導出入力方向成分とを導出する、 ' 記録媒体。
1 0 . 請求項 1ないし 4のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置を 備えた試験装置用モジュール。
1 1. 請求項 5に記載の出力補正装置を備え、 前記信号が被測定物に 与えられる試験装置。
1 2. 請求項 6に記載の反射係数測定装置を備え、 被測定物を試験す るための試験装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015511712A (ja) * 2012-03-28 2015-04-20 ローゼンベルガー ホーフフレクベンツテクニーク ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー 周波数ドメインでの校正を伴う時間ドメイン測定方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4188396B2 (ja) * 2006-08-31 2008-11-26 株式会社アドバンテスト 誤差要因判定装置、方法、プログラム、記録媒体および該装置を備えた出力補正装置、反射係数測定装置
JP5521807B2 (ja) * 2010-06-16 2014-06-18 富士通株式会社 障害原因推定装置、障害原因推定プログラム及び障害原因推定方法
CN104254777B (zh) * 2011-12-05 2016-08-24 伯乐实验室公司 重组脱酰胺化麦醇溶蛋白抗原

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1138054A (ja) * 1997-07-18 1999-02-12 Advantest Corp ネットワーク・アナライザのキャリブレーション方法
JPH11118853A (ja) * 1997-08-26 1999-04-30 Hewlett Packard Co <Hp> ネットワークアナライザの自動較正
WO2003087856A1 (fr) * 2002-04-17 2003-10-23 Advantest Corporation Analyseur de reseau, procede d'analyse de reseau, correcteur automatique, procede de correction, programme, et support d'enregistrement
WO2004049564A1 (ja) * 2002-11-27 2004-06-10 Advantest Corporation 電力供給装置、方法、プログラム、記録媒体、ネットワークアナライザおよびスペクトラムアナライザ
WO2008026711A1 (fr) * 2006-08-30 2008-03-06 Advantest Corporation Dispositif de détermination d'éléments, procédé, programme, support d'enregistrement et dispositif de mesure

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3911254A1 (de) * 1989-04-07 1990-10-11 Eul Hermann Josef Dipl Ing Verfahren zur etablierung der komplexen messfaehigkeit homodyner netzwerkanalysevorrichtungen
US6188968B1 (en) 1998-05-18 2001-02-13 Agilent Technologies Inc. Removing effects of adapters present during vector network analyzer calibration
DE10106254B4 (de) * 2001-02-10 2006-12-07 Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Fehlerkorrektur durch De-embedding von Streuparametern, Netzwerkanalysator und Schaltmodul
JP2005172728A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Agilent Technol Inc ネットワーク・アナライザにおける校正の検証方法、該検証方法を実施するための機能手段を備えるネットワークアナライザ、該検証方法を実施するためのプログラム

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1138054A (ja) * 1997-07-18 1999-02-12 Advantest Corp ネットワーク・アナライザのキャリブレーション方法
JPH11118853A (ja) * 1997-08-26 1999-04-30 Hewlett Packard Co <Hp> ネットワークアナライザの自動較正
WO2003087856A1 (fr) * 2002-04-17 2003-10-23 Advantest Corporation Analyseur de reseau, procede d'analyse de reseau, correcteur automatique, procede de correction, programme, et support d'enregistrement
WO2004049564A1 (ja) * 2002-11-27 2004-06-10 Advantest Corporation 電力供給装置、方法、プログラム、記録媒体、ネットワークアナライザおよびスペクトラムアナライザ
WO2008026711A1 (fr) * 2006-08-30 2008-03-06 Advantest Corporation Dispositif de détermination d'éléments, procédé, programme, support d'enregistrement et dispositif de mesure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015511712A (ja) * 2012-03-28 2015-04-20 ローゼンベルガー ホーフフレクベンツテクニーク ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー 周波数ドメインでの校正を伴う時間ドメイン測定方法

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