JP2011106819A - 電子部品の電気特性測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象の電子部品に近い特性を持つ少なくとも1つの補正データ取得試料以外の補正データ取得試料について基準測定治具と第1の測定治具とで電気特性を測定した結果61,62,64,65,66と、測定対象の電子部品に近い特性を持つ補正データ取得試料について第2の測定治具と基準測定治具とで測定した結果73とに基づいて、第2の試験測定治具で測定した結果から基準測定治具で測定した電気特性を算出する数式80の相対補正係数を決定する。電子部品を第2の試験測定治具で測定し、相対補正係数を用いて、基準測定治具で測定した電気特性を算出する。
【選択図】図6
Description
1.CALの差
2.ケーブルの曲げなどの差
3.コネクタ接続再現性
4.特性選別治具再設置による差
5.複数測定することによる特性選別治具の経時変化
[DUT] バンドパスフィルタ
[補正法] 漏洩誤差を考慮した相対補正法(2ポート、全ての漏洩信号パスモデル化)
[標準試料] OPEN、SHORT、LOAD、ATT10dB、ATT20dB、DUTの計6つ
[基準治具] 手動測定治具
[試験治具] 特性選別用測定
[測定器] R3860A(ADVANTEST)
[測定周波数] 50MHz〜6.08GHz (1600点)
1.特性選別測定治具の個体差による誤差
2.CALの差
3.ケーブルの曲げなどの差
4.コネクタ接続再現性
添え字tは、転置行列である。
I2は2×2の単位行列である。以下、Inは、n×nの単位行列と定義する。
20x 漏洩信号
21,21a 端子
30,30a 試験測定治具
30x 漏洩信号
31,31a 端子
32,32a 相対補正アダプタ
52 表示部
54 操作部
56 測定部(測定手段)
58 制御部
60 記憶部(記憶手段)
62 演算部(相対補正係数決定手段、電気特性推定手段)
64 インターフェース部
Claims (10)
- 任意のnポートを有する電子部品について、第1の試験測定治具とよく似た特性をもつ第2の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、電子部品の電気特性測定誤差の補正方法であって、
互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第1のステップと、
前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料の全部とそれぞれ同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及び当該一部の前記第1の補正データ取得試料以外の前記第1の補正データ取得試料について、前記第1の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第2のステップと、
前記電子部品に近い特性を持つ少なくとも1個の第4の補正データ取得試料について、前記第2の試験測定治具に実装した状態と、前記基準測定治具に実装した状態とで、それぞれ電気特性を測定する第3のステップと、
前記第1及び第2のステップにおいて前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した結果と、前記第3のステップにおいて前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した結果とに基づいて、同一の電子部品について前記第2の試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式の係数である相対補正係数を決定する第4のステップと、
任意の電子部品について、前記第2の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第5のステップと、
前記第5のステップで測定した結果から、前記第4のステップで決定した前記相対補正係数を用いて、前記第5のステップにおいて前記第2の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する第6のステップと、
を備えたことを特徴とする、電子部品の電気特性測定誤差の補正方法。 - 前記第4のステップにおいて、前記第1及び第2のステップにおいて測定した結果のうち前記電子部品に近い特性を持つ前記第1乃至第3の補正データ取得試料以外の前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した結果と、前記第3のステップにおいて前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した結果とに基づいて、前記相対補正係数を決定することを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の電気特性測定誤差の補正方法。
- 前記第2の測定治具は、特性が経時変化した前記第1の測定治具であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の電子部品の電気特性測定誤差の補正方法。
- 任意のnポートを有する電子部品について、第1の試験測定系とよく似た特性をもつ第2の試験測定系で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、電子部品の電気特性測定誤差の補正方法であって、
互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定系で電気特性を測定する第1のステップと、
前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料の全部とそれぞれ同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及び当該一部の前記第1の補正データ取得試料以外の前記第1の補正データ取得試料について、前記第1の試験測定系で電気特性を測定する第2のステップと、
前記電子部品に近い特性を持つ少なくとも1個の第4の補正データ取得試料について、前記第2の試験測定系と、前記基準測定系とで、それぞれ電気特性を測定する第3のステップと、
前記第1及び第2のステップにおいて前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した結果と、前記第3のステップにおいて前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した結果とに基づいて、同一の電子部品について前記第2の試験測定系で測定した電気特性の測定値と前記基準測定系で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式の係数である相対補正係数を決定する第4のステップと、
任意の電子部品について、前記第2の試験測定系で電気特性を測定する第5のステップと、
前記第5のステップで測定した結果から、前記第4のステップで決定した前記相対補正係数を用いて、前記第5のステップにおいて前記第2の試験測定系で電気特性を測定した前記電子部品について前記基準測定系で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する第6のステップと、
を備えたことを特徴とする、電子部品の電気特性測定誤差の補正方法。 - 前記第4のステップにおいて、前記第1及び第2のステップにおいて測定した結果のうち前記電子部品に近い特性を持つ前記第1乃至第3の補正データ取得試料以外の前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した結果と、前記第3のステップにおいて前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した結果とに基づいて、前記相対補正係数を決定することを特徴とする、請求項4に記載の電子部品の電気特性測定誤差の補正方法。
- 任意のnポートを有する電子部品について、第1の試験測定治具とよく似た特性をもつ第2の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
電子部品を前記第2の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する測定手段と、
(a)互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第1の測定データと、(b)前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料の全部とそれぞれ同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及び当該一部の前記第1の補正データ取得試料以外の前記第1の補正データ取得試料について、前記第1の試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第2の測定データと、(c)前記電子部品に近い特性を持つ少なくとも1個の第4の補正データ取得試料について、前記第2の試験測定治具に実装した状態と、前記基準測定治具に実装した状態とで、それぞれ電気特性を測定した第3の測定データとを格納する、記憶手段と、
前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した前記第1及び第2の測定データと、前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した前記第3の測定データとに基づいて、同一の電子部品について前記第2の試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式の係数である相対補正係数を決定する、相対補正係数決定手段と、
任意の電子部品について、前記測定手段で測定して得られた測定値から、前記相対補正係数決定手段が決定した前記相対補正係数を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電気特性推定手段と、
を備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。 - 前記相対補正係数決定手段は、前記第1及び第2の測定データのうち前記電子部品に近い特性を持つ前記第1乃至第3の補正データ取得試料以外の前記第1乃至第3の補正データ取得試料についての測定データと、前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した前記第3の測定データとに基づいて、前記相対補正係数を決定することを特徴とする、請求項6に記載の電子部品特性測定装置。
- 前記第2の測定治具は、特性が経時変化した前記第1の測定治具であることを特徴とする、請求項6又は7に記載の電子部品特性測定装置。
- 任意のnポートを有する電子部品について、第1の試験測定系とよく似た特性をもつ第2の試験測定系で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記第2の試験測定系で電気特性を測定する測定手段と、
(a)互いに異なる電気特性を有する少なくとも3個の第1の補正データ取得試料について、前記基準測定系で電気特性を測定した第1の測定データと、(b)前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料、前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料の全部とそれぞれ同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも3個の第2の補正データ取得試料、又は前記少なくとも3個の第1の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも1個の第3の補正データ取得試料及び当該一部の前記第1の補正データ取得試料以外の前記第1の補正データ取得試料について、前記第1の試験測定系で電気特性を測定した第2の測定データと、(c)前記電子部品に近い特性を持つ少なくとも1個の第4の補正データ取得試料について、前記第2の試験測定系と、前記基準測定系とで、それぞれ電気特性を測定した第3の測定データとを格納する、記憶手段と、
前記第1乃至第3の補正データ取得試料について測定した前記第1及び第2の測定データと、前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した前記第3の測定データとに基づいて、同一の電子部品について前記第2の試験測定系で測定した電気特性の測定値と前記基準測定系で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式の係数である相対補正係数を決定する、相対補正係数決定手段と、
任意の電子部品について、前記測定手段により前記第2の試験測定系で測定した結果から、前記相対補正係数決定手段が決定した前記相対補正係数を用いて、当該電子部品について前記基準測定系で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電気特性推定手段と、
を備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。 - 前記相対補正係数決定手段は、前記第1及び第2の測定データのうち前記電子部品に近い特性を持つ前記第1乃至第3の補正データ取得試料以外の前記第1乃至第3の補正データ取得試料についての測定データと、前記電子部品に近い特性を持つ前記第4の補正データ取得試料について測定した前記第3の測定データとに基づいて、前記相対補正係数を決定することを特徴とする、請求項9に記載の電子部品特性測定装置。
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