JP7429858B2 - インピーダンス測定治具 - Google Patents
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Description
これらならば、アンテナの一端部側にインピーダンス測定器を設けることで、インピーダンス測定器の一方の端子とアンテナの一端部とを電気的に接続する電気ケーブルを不要に或いは可及的に短くすることができ、測定値のばらつきをより確実に低減させることができる。
これならば、インピーダンス測定治具を簡易な構成にすることができるうえ、金属容器にアンテナを載置してインピーダンスを簡単に測定することができる。
そこで、測定値のばらつきをより低減するためには、前記金属容器を塞ぐとともに、当該金属容器内に配置された前記アンテナに電磁波が入り込むことを抑制する電磁波シールドをさらに備えることが好ましい。
これならば、アンテナの撓みを低減することができ、測定値のばらつきをより低減することができる。
この測定結果から看取されるように、従来の測定方法では測定結果のばらつきが9.2Ωであるのに対して、本実施形態の測定治具100を用いることで測定結果のばらつきが1.1Ωとなり、測定結果のばらつきを低減できていることが分かる。
X ・・・アンテナ
Xa ・・・一端部
Xb ・・・他端部
Z ・・・インピーダンス測定器
Za ・・・一方の端子
Zb ・・・他方の端子
1 ・・・導電性剛体(金属容器)
2 ・・・絶縁体
21 ・・・下側の絶縁要素
22 ・・・上側の絶縁要素
3 ・・・接続体
4 ・・・電磁波シールド
5 ・・・アンテナ支持部材
Claims (6)
- プラズマ処理装置を構成するアンテナのインピーダンスを測定するためのインピーダンス測定治具であって、一方の端子が前記アンテナの一端部に電気的に接続されるインピーダンス測定器とともに用いられるものであり、
前記アンテナの他端部に電気的に接続されるとともに、前記インピーダンス測定器の他方の端子が電気的に接続される導電性剛体を備え、
前記導電性剛体は、前記アンテナが載置されるとともに、前記アンテナの一端部及び他端部を支持する金属容器である、インピーダンス測定治具。 - 前記導電性剛体が、複数回のインピーダンス測定に亘って形状を維持できるものである、請求項1記載のインピーダンス測定治具。
- 前記導電性剛体が、前記アンテナの一端部側から他端部側に亘って設けられており、当該導電性剛体における前記アンテナの一端部側に前記インピーダンス測定器の前記他方の端子が電気的に接続される、請求項1又は2記載のインピーダンス測定治具。
- 前記金属容器と前記アンテナの一端部及び他端部それぞれとの間に介在する絶縁体と、
前記金属容器と前記アンテナの他端部とを電気的に接続する接続体とをさらに備える請求項1乃至3のうち何れか一項に記載のインピーダンス測定治具。 - 前記金属容器を塞ぐとともに、当該金属容器内に配置された前記アンテナに電磁波が入り込むことを抑制する電磁波シールドをさらに備える請求項4記載のインピーダンス測定治具。
- 前記アンテナを支持する絶縁性のアンテナ支持部材をさらに備える請求項1乃至5のうち何れか一項に記載のインピーダンス測定治具。
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