DE112004001417T5 - Prüfvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung zum Synchronisieren eines Datensignals mit einem Taktsignal und zum Ausgeben derselben, welches aufweist:
eine Datenabtastvorrichtung zum aufeinander folgenden Abtasten der von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Datensignals, um mehrere Datenabtastwerte zu erhalten;
einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das Datensignal geändert wird, auf der Grundlage der mehreren Datenabtastwerte, die von der Datenabtastvorrichtung erhalten wurden;
einen Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des von dem Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Datenwechselpunkts auf der Grundlage eines ersten Taktsignals und zum Lesen desselben auf der Grundlage eines zweiten Taktsignals, dessen Periode angenähert dieselbe wie die des ersten Taktsignals ist und dessen Phase verschieden von der des ersten Taktsignals ist;
eine Taktabtastvorrichtung zum aufeinander folgenden Abtasten der von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Taktsignale, um mehrere Taktabtastwerte zu erhalten;
einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunkts, an dem das Taktsignal sich ändert, auf der Grundlage der mehreren der von der...

Description

  • [TECHNISCHES GEBIET]
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung, insbesondere eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung zum Synchronisieren eines Datensignals mit einem Taktsignal, um dasselbe auszugeben.
  • [STAND DER TECHNIK]
  • Herkömmlich gibt es einen Halbleiterspeicher zum Schreiben eines Datensignals, das zusammen mit einem Taktsignal synchron zueinander eingegeben wurde, und zum Ausgeben des Datensignals zusammen mit dem Taktsignal synchron zueinander, um das Datensignal zu den Zeiten des Taktsignals zu empfangen/übertragen. Ein derartiger Halbleiterspeicher kann nicht in wünschenswerter Weise arbeiten, wenn nicht die Zeit, zu der das Taktsignal ausgegeben wird, und die Zeit, zu der das Datensignal ausgegeben wird, genau synchronisiert sind. Daher wurde bestimmt, wenn ein derartiger Halbleiterspeicher geprüft wird, dass der Halbleiterspeicher als gut oder schlecht beurteilt wird, indem der Wechselpunkt des Taktsignals und der Wechselpunkt des Datensignals erfasst werden, die von dem Halbleiterspeicher, der eine geprüfte Vorrichtung ist, ausgegeben werden unter Verwendung eines Multiimpulssignals, um die Phasendifferenz zwischen dem Taktsignal und dem Datensignal zu erfassen und die Phasendifferenz mit der Spezifikation zu vergleichen, wie beispielsweise in de Patentdokumenten 1 und 2 offenbart ist.
    • [Patent Dokument 1] Japanische Anmeldungsveröffentlichung Nr. 2001-201532
    • [Patent Dokument 2] Japanische Anmeldungsveröffentlichung Nr. 2001-356153.
  • [OFFENBARUNG DER ERFINDUNG]
  • [DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME]
  • Der Halbleiterspeicher wie eine synchrone Vorrichtung gibt mehrere Datensignale synchron mit dem Taktsignal aus. Daher ist es erforderlich, dass den Wechselpunkt des Taktsignals anzeigende Daten getrennt zu Phasendifferenz-Erfassungsmitteln geliefert werden, die entsprechend den mehreren Datensignalen installiert sind, um die Phasendifferenz zwischen jedem der Datensignale und dem Taktsignal parallel zu erfassen. Jedoch benötigt es Zeit, um Daten über den Wechselpunkt des Taktsignals zu den mehreren Phasendifferenz-Erfassungsmitteln zu liefern, da Übertragungs verzögerungszeiten in einer Verteilungsschaltung zum Verteilen von Daten, die den Wechselpunkt des Taktsignals anzeigen, und einem Übertragungspfad zum Übertragen von Daten, die den Wechselpunkt des Taktsignals anzeigen, zu den Phasendifferenz-Erfassungsmitteln auftreten. Daher kann die Phasendifferenz zwischen dem Taktsignal und dem Datensignal manchmal nicht in Echtzeit und synchron mit dem Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung erfasst werden.
  • Somit ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage ist, das den Stand der Technik begleitende Problem zu lösen. Die vorgenannte Aufgabe und andere Aufgaben können gelöst werden durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen aufgeführten Merkmale. Dann definieren abhängige Ansprüche weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
  • [MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME]
  • Um das vorbeschriebene Problem zu lösen, sieht ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, die ein Datensignal mit einem Taktsignal synchronisiert, um dieselben auszugeben. Die Prüfvorrichtung enthält: eine Datenabtastvorrichtung zum kontinuierlichen Abtasten von Datensignalen, die von der geprüften Vorrichtung ausgegeben wurden, um mehrere Datenabtastwerte zu erhalten; einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunktes, an dem das Datensignal sich ändert auf der Grundlage der mehreren Datenabtastwerte, die durch die Datenabtastvorrichtung erhalten wurden; einen Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des von dem Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt er fassten Datenwechselpunkts auf der Grundlage eines ersten Taktsignals und Lesen desselben auf der Grundlage eines zweiten Taktsignals, dessen Periode angenähert dieselbe wie das erste Taktsignal ist und dessen Phase gegenüber dem ersten Taktsignal unterschiedlich ist; eine Taktabtastvorrichtung zum kontinuierlichen Abtasten von von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Taktsignalen, um mehrere Taktabtastwerte zu erhalten; einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunktes, der der Punkt ist, an dem das Taktsignal sich ändert; einen Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des Taktwechselpunkts, der von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfasst wurde, auf der Grundlage eines dritten Taktsignals und zum Lesen desselben auf der Grundlage des zweiten Taktssignals; einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des Datenwechselpunkts mit dem Taktwechselpunkt, die gleichzeitig aus dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt und dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt auf der Grundlage des zweiten Taktsignals gelesen wurden, um die Phasendifferenz zwischen dem Datensignal und dem Taktsignal zu erfassen; und einen Spezifikationsvergleichsabschnitt zum Vergleichen der von dem Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt erfassten Phasendifferenz mit einer vorbestimmten Spezifikation, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist.
  • Die Phasendifferenz zwischen dem ersten Taktsignal und dem zweiten Taktsignal kann größer als die Differenz zwischen der Übertragungsverzögerungszeit von dem Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zu dem Punkt des Datenspeicherabschnitts und die Übertragungsverzögerungszeit von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zu dem Taktwechselpunkt- Speicherabschnitt sein.
  • Die Prüfvorrichtung kann weiterhin enthalten: eine Datensignal-Verarbeitungseinheit, in der die Datenabtastvorrichtung, der Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt, der Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt, der Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt, der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt und der Spezifikationsvergleichsabschnitt gebildet sind, eine Taktsignal-Verarbeitungseinheit, in der die Taktabtastvorrichtung und der Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt gebildet sind, einen Übertragungspfad, über den die Datensignal-Verarbeitungseinheit und die Taktsignal-Verarbeitungseinheit elektrische verbunden sind, um den von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunkt zu dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt zu liefern. Die Phasendifferenz zwischen dem ersten Taktsignal und dem zweiten Taktsignal kann größer als die Übertragungsverzögerungszeit in dem Übertragungspfad sein.
  • Die Prüfvorrichtung kann mehrere Datensignal-Verarbeitungseinheiten enthalten. Der Übertragungspfad kann die Taktsignal-Verarbeitungseinheit und die mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten elektrisch verbinden und den von dem in der Taktsignal-Verarbeitungseinheit enthaltenen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunkt zu mehreren Taktwechselpunkt-Speicherabschnitten für jede der mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten liefern. Die mehreren Taktwechselpunkt-Speicherabschnitte können den von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunkt auf der Grundlage des dritten Taktsignals schreiben und denselben auf der Grundlage des zweiten Taktsignals lesen.
  • Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, die ein Datensignal mit einem Taktsignal synchronisiert, um dieselben auszugeben. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal sich ändert; einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Taktsignal sich ändert; und einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des Datenwechselpunkts mit dem Taktwechselpunkt bei jedem Mal, wenn die geprüfte Vorrichtung ein Datensignal und ein Taktsignal ausgibt, um die Phasendifferenz zwischen dem Datensignal und dem Taktsignal zu erfassen, und zum Vergleichen der Phasendifferenz mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist.
  • Der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Subtrahieren des Datenwechselpunkts von dem Taktwechselpunkt oder Subtrahieren des Taktwechselpunkts von dem Datenwechselpunkt, um die Phasendifferenz auszugeben; einen Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der von der arithmetischen Schaltung erfassten Phasendifferenz mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Phasendifferenz kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Phasendifferenz größer als der maximale erlaubte Wert ist; einen Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert zum Vergleichen der von der arithmetischen Schaltung erfassten Phasendifferenz mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Phasendifferenz größer als der minimale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Phasendifferenz kleiner als der minimale erlaubte Wert ist, und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation des von dem Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert ausgegebnen logischen Wertes und des von dem Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wertes.
  • Ein dritter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal sich ändert, und Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal mehr als ein H-seitiger Schwellenwert (VOH) zu einer Zeit ist, zu der das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal beginnt, ausgegeben zu werden, und zur Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für Daten der mehreren von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebenen Bits und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, um zu erfassen, dass kein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden ist und das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist, und zum Ausgeben desselben.
  • Ein vierter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal sich ändert, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert (VOL) zu der Zeit ist, zu der das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal beginnt, ausgegeben zu werden, und für die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal größer als der L-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für Daten der mehreren Bits, die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegeben wurde, und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, um zu erfassen, dass kein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden und das Datensignal kleiner als der L-seitige Schwellenwert ist, und zum Ausgeben desselben.
  • Die Prüfvorrichtung enthält weiterhin einen Störspitzen-Erfassungsabschnitt zum Erfassen, ob eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde, Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn eine Störspitze erfasst wird, und Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn keine Störspitze erfasst wird. Der Lösefunktionsabschnitt kann weiterhin eine zweite ODER-Schaltung enthalten für die Durchführung einer ODER-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung und das Ausgangssignal des Störspitzen-Erfassungsabschnitt, und weiterhin Erfassen, dass eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde.
  • Ein fünfter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal sich ändert, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals, für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal größer als ein H-seitiger Schwellenwert zu der Zeit, zu der die geprüfte Vorrichtung beginnt, das Datensignal auszugeben, ist, und die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für die mehreren Bits von Daten, die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegeben wurden, und einer UND-Schaltung für die Durchführung einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, um zu erfassen, dass das Datensignal gewechselt hat von dem Wert, der kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist, zu dem Wert, der größer als der H-seitige Schwellenwert ist, und zum Ausgeben desselben.
  • Ein sechster Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunktes, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal geändert wird, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert zu der Zeit, zu der die geprüfte Vorrichtung beginnt, das Datensignal auszugeben, ist, und die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal größer als der L-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für die mehreren Bits von Daten, die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegeben wurden, und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, zum Erfassen, dass das Datensignal gewechselt hat von dem Wert, der größer als der L-seitige Schwellenwert ist, zu dem Wert, der kleiner als der L-seitige Schwellenwert ist, und zum Ausgeben desselben.
  • Die Prüfvorrichtung kann weiterhin einen Störspitzen-Erfassungsabschnitt enthalten für die Erfassung, dass eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde, auf der Grundlage der mehreren Bits von Daten, die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegeben wurden, Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn eine Störspitze erfasst wird, und Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn keine Störspitze erfasste wird. Der Löse funktionsabschnitt kann weiterhin eine zweite ODER-Schaltung enthalten für die Durchführung einer ODER-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung und das Ausgangssignal des Störspitzen-Erfassungsabschnitts, und weiterhin Erfassen, dass eine Störspitze in dem Datensignal erfasst wurde.
  • Ein siebenter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen H-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal größer als ein H- seitiger Schwellenwert ist, und Ausgeben desselben; einen H-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an den das von dem H-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal sich ändert; einen L-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal kleiner als ein H-seitiger Schwellenwert (VOL) ist, und Ausgaben desselben; ein L-seitiger Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von dem L-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal sich ändert; und einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des H-seitigen Datenwechselpunkt mit dem L-seitigen Datenwechselpunkt, um die Zeit der voreilenden Kante oder die Zeit der nacheilenden Kante des Datensignals jedes Mal dann zu erfassen, wenn die geprüfte Vorrichtung das Datensignal ausgibt, und zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist.
  • Der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Subtrahieren des H-seitigen Datenwechselpunkts von dem H-seitigen Datenwechselpunkt oder Subtrahieren des L-seitigen Datenwechselpunkts von dem H-seitigen Datenwechselpunkt und zum Ausgeben der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke; einen Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke größer als der maximale erlaubte Wert ist; einen Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke größer ist als der minimale erlaubte Wert, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke kleiner als der minimale erlaubte Wert ist; und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation des logischen Wertes, der von dem Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert ausgeben wurde, und des logischen Wertes, der von dem Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert ausgegeben wurde.
  • Ein achter Aspekt der vorliegenden Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält: einen H-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal größer als ein H-seitiger Schwellenwert ist, und Ausgeben desselben; ein H-seitiger Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines H-seitigen Datenwechselpunkts, an dem das von dem H-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal sich ändert; einen L-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert ist, und Ausgaben desselben; einen L-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von dem L-Seitenpegel-Vergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal sich ändert; und einen Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt zum Erfassen einer Zeit, zu der es beginnt, das Datensignal zu ändern, die der Mittelpunkt zwischen dem des H-seitigen Datenwechselpunkt und dem L-seitigen Datenwechselpunkt ist, jedes Mal, wenn die geprüfte Vorrichtung das Datensignal ausgibt, und zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, dass die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist.
  • Der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Berechnen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, auf der Grundlage des H-seitigen Datenwechselpunkts und des L-seitigen Datenwechselpunkts; einen Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, die von der arithmetischen Schal tung ausgegeben wird, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, größer als der maximale erlaubte Wert ist; einen Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das von der arithmetischen Schaltung ausgegebene Datensignal zu ändern, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, größer als der minimale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, kleiner als der minimale erlaubte Wert ist; und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für den logischen Wert, der von dem Vergleichsabschnitt für den maximalen erlaubten Wert ausgegeben wurde, und den logischen Wert, der von dem Vergleichsabschnitt für den minimalen erlaubten Wert ausgegeben wurde.
  • Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung der Erfindung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
  • [WIRKUNG DER ERFINDUNG]
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum genauen Prüfen einer geprüften Vorrichtung in Echtzeit zum Synchronisieren eines Datensignals mit einem Taktsignal und Ausgeben derselben.
  • [KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN]
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10;
  • 2 zeigt ein Beispiel für die Schreib-/Leseoperation eines Wechselpunkt-Speicherabschnitts 110;
  • 3 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 30;
  • 4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitts 308;
  • 5 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Lösefunktionsabschnitts 310;
  • 6 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitts 312;
  • 7 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitts 314; und
  • 8 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Lösefunktionsabschnitts 310.
  • [BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG]
  • Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung durch bevorzugte Ausführungsbeispiele beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für Mittel zum Lösen der Probleme der Erfindung.
  • 1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 10 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 10 hat das Ziel, eine geprüfte Vorrichtung (DUT) 12 wie eine synchrone Vorrichtung zum Synchronisieren von Datensignalen (DQ0–DQn) und eines Taktsignals (DQS) in Echtzeit genau zu prüfen und dieselben auszugeben. Insbesondere erfasst die Prüfvorrichtung 10 die Phasendifferenz zwischen jedem der DQ0–DQn und dem DQS, die von der DUT 12 ausgegeben wurden, parallel und in Echtzeit, und vergleicht die erfasste Phasendifferenz mit der Spezifikation, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist.
  • Die Prüfvorrichtung 10 enthält mehrere Datenverarbeitungseinheiten 100 zum Verarbeiten von DQ0–DQn, die jeweils von der DUT 12 ausgegeben wurden, eine Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 zum Verarbeiten eines DQS, das von der DUT 12 ausgegeben wurde, und einen Übertragungspfad 140 zum elektrischen Verbinden der Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 und der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150. Die mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 und die Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 sind solche wie ASICs (anwendungsspezifische integrierte Schaltung) und sind konfiguriert als die individuellen integrierten Schaltungen.
  • In der Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 sind ein Pegelvergleichsabschnitt 102, ein Zeitvergleichsabschnitt 104, ein Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106, ein Codierer 108, ein Wechselpunkt-Speicher abschnitt 110, ein Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 112 und ein Spezifikationsvergleichsabschnitt 114 gebildet. In der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 sind ein Pegelvergleichsabschnitt 152, ein Zeitvergleichsabschnitt 154, ein Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156, ein Codierer 158, ein Wechselpunkt-Speicherabschnitt 160, ein Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 162 und ein Spezifikationsvergleichsabschnitt 164 gebildet. Die Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 und die Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 sind als ähnliche integrierte Schaltungen ausgebildet und haben die gleiche Konfiguration. Hier brauchen der Wechselpunkt-Speicherabschnitt 160, der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 162 und der Spezifikationsvergleichsabschnitt 164, die in der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 enthalten sind, nicht zu arbeiten, um die Phasendifferenz zwischen jedem der DQ0–DQn und dem DQS zu erfassen.
  • Der Pegelvergleichsabschnitt 102 enthält einen Pegelkomparator 120 zum Vergleichen des von der DUT 12 ausgegebenen DQ mit einem H-seitigen Schwellenwert (VOH), Bestimmen, ob der Spannungswert der H-Logik des DQ größer ist als der VOH, und Ausgeben des Ergebnisses, und einen Pegelkomparator 122 zum Vergleichen des Spannungswertes des von der DUT 12 ausgegebenen DQ mit einem L-seitigen Schwellenwert (VOL), Bestimmen, ob der Spannungswert der L-Logik des DQ größer ist als der VOL, und Ausgeben des Ergebnisses. Der Pegelvergleichsabschnitt 152 enthält einen Pegelkomparator 170 zum Vergleichen des Spannungswertes des von der DUT 12 ausgegebenen DQS mit einem H-seitigen Schwellenwert (VOH), Bestimmen, ob der Spannungswert der H-Logik des DQS größer ist als der VOH, und Ausgeben des Ergebnisses, und einen Pegelkomparator 172 zum Vergleichen des von der DUT 12 ausgegebe nen DQS mit einer L-seitigen Schwellenspannung (VOL), Bestimmen, ob der Spannungswert der L-Logik des DQS größer als der VOL ist, und Ausgeben des Ergebnisses.
  • Jeder der Zeitvergleichsabschnitte 104 ist ein Beispiel für die Datenabtastvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Der Zeitvergleichsabschnitt 104 tastet aufeinander folgend die von der DUT 12 ausgegebenen DQS ab, erhält mehrere Abtastwerte und gibt dieselben aus. Insbesondere enthält jeder der Zeitvergleichsabschnitte 104 mehrere Verzögerungsschaltungen 124 und mehrere Zeitkomparatoren 126. Die mehreren Verzögerungsschaltungen 124 addieren nach und nach die Phasendifferenzen zu einem Abtastimpulssignal (STRB) und liefern die mehreren Abtastimpulssignale, die sich jeweils in der Phase etwas unterscheiden, zu jedem der Zeitkomparatoren 126. Die mehreren Zeitkomparatoren 126 lesen das Ausgangssignal des Pegelkomparators 120 oder des Pegelkomparators 122 auf der Grundlage der STRBs, die von jeder der mehreren Verzögerungsschaltungen 124 geliefert werden, und geben mehrere Datenabtastwerte aus.
  • Der Zeitvergleichsabschnitt 154 ist ein Beispiel für die Taktabtastvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Der Zeitvergleichsabschnitt 154 tastet aufeinander folgend die von der DUT 12 ausgegebenen DQS ab, erhält mehrere Taktabtastwerte und gibt diese aus. Insbesondere enthält der Zeitvergleichsabschnitt 154 mehrere Verzögerungsschaltungen 174 und mehrere Zeitkomparatoren 176 und arbeitet wie die Zeitvergleichsabschnitte 104, um das DQS zu verarbeiten.
  • Die Wechselpunkt-Erfassungsabschnitte 106 und die Codierer 108 sind Beispiele für den Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung.
  • Die Wechselpunkt-Erfassungsabschnitte 106 und die Codierer 108 erfassen den Datenwechselpunkt, an dem das DQ sich ändert, auf der Grundlage der mehreren Datenabtastwerte, die von den Zeitvergleichsabschnitten 104 erhalten wurden. Insbesondere enthält jeder der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitte 106 mehrere Abschnitte 128 für erwartete Werte. Die mehreren Vergleichsabschnitte 128 für erwartete Werte vergleichen den von jedem der mehreren Zeitkomparatoren 125 ausgegebenen Datenabtastwert mit einem vorbestimmten erwarteten Wert und liefern das Vergleichsergebnis zu dem nachfolgenden Vergleichsabschnitt 128 für den erwarteten Wert. Dann bestimmen die mehreren Vergleichsabschnitt 128 für den erwarteten Wert, ob das von dem vorhergehenden Vergleichsabschnitt 128 für den erwarteten Wert erhaltene Vergleichsergebnis dem Vergleichsergebnis selbst entspricht und gibt die Bestimmung aus. Dann erfassen die Codierer 108 den Punkt, an dem das DQ sich ändert, auf der Grundlage der Übereinstimmung zwischen den von den mehreren Vergleichsabschnitten 128 für den erwarteten Wert ausgegebenen Bestimmungen und den Phasen der jeweils zu den mehreren Zeitkomparatoren 126 gelieferten STRBs und geben Daten aus mehreren Bits aus, die den erfassten Punkt, an dem die Daten sich ändern, anzeigen.
  • Der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und der Codierer 158 sind Beispiele für den Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung. Der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und der Codierer 158 erfassen den Taktwechselpunkt, an dem das DQS sich ändert, auf der Grundlage der mehreren Taktabtastwerte, die von dem Zeitvergleichsabschnitt 154 erhalten wurden. Insbesondere enthält der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 mehrere Vergleichsab schnitte 178 für erwartete Werte und arbeitet wie die Wechselpunkt-Erfassungsabschnitte 106, um die DQS zu verarbeiten.
  • Der Übertragungspfad 140 verbindet elektrisch in Reihe die Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 und die mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 entlang diesen. Dann liefert der Übertragungspfad 140 einen von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und dem Codierer 158, die in der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 enthalten sind, erfassten Taktänderungspunkt zu mehreren Taktänderungspunkt-Speicherabschnitten 132 für jede der mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100. D.h., der Übertragungspfad 140 gibt den von dem Anschluss der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 ausgegebenen Taktwechselpunkt in die Datensignal-Verarbeitungseinheit 100, die der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 benachbart ist, ein und gibt weiterhin den Taktwechselpunkt ein, der in die Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 eingegeben und von der Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 in die Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 benachbart der erstgenannten Datensignal-Verarbeitungseinheit 100 ausgegeben wurde. Somit wird der Taktwechselpunkt zu allen der mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 zum Erfassen der Phasendifferenz zwischen den DQS und dem DQ über den Übertragungspfad 140 zum Verbinden der mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 in Reihe geliefert.
  • Jeder der Wechselpunkt-Speicherabschnitte 110 hat einen Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 zum Halten des von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106 und dem Codierer 108 erfassten Datenwechselpunkts und einen Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 zum Halten des von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und dem Codierer 158 erfassten Taktwechselpunkts. Der Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 und der Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 sind solche wie MRAMs (Multitorspeicher mit wahlweisem Zugriff). Der Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 schreibt den von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106 und dem Codierer 108 erfassten Datenwechselpunkt auf der Grundlage eines Taktsignal (CLK1) und liest denselben auf der Grundlage eines Taktsignals (CLK2). Der Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 schreibt den von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und dem Codierer 158 erfassten Taktwechselpunkt auf der Grundlage eines Taktsignals (CLKs) und liest denselben auf der Grundlage des Taktsignals (CLK2). D.h., der Datenwechsel-Speicherabschnitt. 130 und der Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 schreiben jeweils den Datenwechselpunkt und den Taktdatenpunkt auf der Grundlage der unterschiedlichen Taktsignale (CLK1 und CLKs), synchronisiert mit demselben Taktsignal (CLK2) und liest dieselben.
  • Das Taktsignal (CLK1) und das Taktsignal (CLK2) haben angenähert dieselbe Periode und einander unterschiedliche Phase. Die Phasendifferenz zwischen dem Taktsignal (CLK1) und dem Taktsignal (CLK2) ist größer als die Differenz zwischen der Übertragungsverzögerungszeit von dem Codierer 108 zu dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 und die Taktverzögerungszeit von dem Codierer 158 zu dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132. Zusätzlich ist die Phasendifferenz zwischen dem Taktsignal (CLK1) und dem Taktsignal (CLK2) größer als die Übertragungsverzögerungszeit in dem Übertragungspfad zwischen der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 und der Datensignal-Verarbeitungseinheit 100, die unter den Datensignal-Verarbeitungseinheiten 100 am weitesten von der Takt signal-Verarbeitungseinheit 150 entfernt ist.
  • Der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 112 vergleicht den Datenwechselpunkt mit dem Taktwechselpunkt, die gleichzeitig aus dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 und dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 auf der Grundlage des Taktsignals (CLK2) gelesen wurden. Dann erfasst der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 112 die Phasendifferenz zwischen dem Datenwechselpunkt und dem Taktwechselpunkt und gibt dieselbe aus. Der Spezifikationsvergleichsabschnitt 114 vergleicht die von dem Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 112 erfasste Phasendifferenz mit einer vorbestimmten Spezifikation, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, und gibt Informationen aus, die GUT oder SCHLECHT anzeigen.
  • Die Prüfvorrichtung 10 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel liefert den von der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 erfassten Taktwechselpunkt der DQS über den Übertragungspfad 140, mit dem mehrere Datenverarbeitungseinheiten 100 in Reihe verbunden sind, zu den Datenverarbeitungseinheiten 100. Daher kann die Anzahl der zu liefernden Signale und die Anzahl von Anschlüssen in der Taktsignal-Verarbeitungseinheit 150 herabgesetzt werden. Zusätzlich kann, da die Taktsignale (CLK1, CLK2 und CLKs) zum Steuern des Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 und des Taktwechselpunkt-Speicherabschnitts 132 zum Schreiben und Lesen die vorbeschriebene Phasendifferenz haben, die Phasendifferenz zwischen den DQS und dem DQ aufeinander folgend synchron mit der Ausgabe der DQS und des DQ durch die DUT 12 erfasst werden, selbst wenn die Übertragungsverzögerungszeit des Datenwechselpunkts sich von der des Taktwechselpunkts unterscheidet. Da her kann die zum Bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, erforderliche Zeit verkürzt werden.
  • 2 zeigt ein Beispiel für den Schreib-/Lesevorgang eines Wechselpunkt-Speicherabschnitts 110. 2A zeigt ein Beispiel für den Schreib-/-Lesevorgang eines Wechselpunkt-Speicherabschnitts 130. 2B zeigt ein Beispiel für den Schreib-/Lesevorgang eines Wechselpunkt-Speicherabschnitts 130.
  • Wie in 2a gezeigt ist, schreiben die Datenwechselpunkt-Speicherabschnitte 130 aufeinander folgend Daten Dn (D1, D2, D3 und D4 ...), die aufeinander folgend von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106 und dem Codierer 108 erfasst werden, an den verschiedenen Adressen auf der Grundlage des Taktsignal (CLK1) als einem Schreibtakt. Wie in 2B gezeigt ist, schreibt der Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 132 aufeinander folgend Daten Dn' (D1', D2', D3' und D4', ...) für die Taktwechselpunkte, die aufeinander folgend von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 und dem Codierer 158 erfasst werden, an den verschiedenen Adressen auf der Grundlage des Taktsignals (CLKs) als einem Schreibtakt. Dann synchronisieren, wie in den 2A und 2B gezeigt ist, der Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 und der Taktwechselpunkt-Speicheabschnitt 132 die Daten Dn (D1, D2, D3 und D4 ...) für Datenwechselpunkte, die in dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 gespeichert sind, und die Daten Dn' (D1', D2', D3' und D4' ...) für Taktwechselpunkte, die in dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt 130 gespeichert sind, auf der Grundlage des Taktsignals (CLK2) als einem Lesetakt, und liest dieselben aufeinander folgend.
  • Somit werden die Schreib-/Lesevorgänge des Datenwech selpunkt-Speicherabschnitts 130 und des Taktwechselpunkt-Speicherabschnitts 132 gesteuert unter Verwendung der vorbeschriebenen Taktsignale (CLK1, CLK2 und CLKs). Daher kann die Phasendifferenz zwischen den DQS und dem DQ aufeinander folgend in Echtzeit synchron mit der Ausgabe der DQS und des DQ durch die DUT 12 erfasst werden.
  • 3 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 30 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 30 hat das Ziel, die DUT 12 wie eine synchrone Vorrichtung zum Synchronisieren von Datensignalen (DQ0–DQn) mit dem Taktsignal (DQS) und Ausgeben derselben in Echtzeit genau zu prüfen. Insbesondere erfasst die Prüfvorrichtung 30 die Phasendifferenz zwischen jedem der DQ0–DQn und dem DQS, die von der DUT 12 ausgegeben werden, die Zeit, zu der jedes der DQ0–DQn und das DQS ausgegeben werden, die Zeit der voreilenden Flanke und die Zeit der nacheilenden Flanke werden parallel und in Echtzeit erfasst und dieselben mit der Spezifikation verglichen, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist. Hier ist die Prüfvorrichtung 30 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel dieselbe wie die Prüfvorrichtung 10 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel mit Ausnahme der folgenden Beschreibung, und sie arbeitet wie die Prüfvorrichtung 10.
  • Die Prüfvorrichtung 30 enthält mehrere Datensignal-Verarbeitungseinheiten 300 zum Verarbeiten von DQ0–DQn, die von der DUT 12 ausgegeben werden, und eine Taktsignal-Verarbeitungseinheit 350 zum Verarbeiten des von der DUT 12 ausgegebenen DQS. Jede der Datensignal-Verarbeitungseinheiten 300 hat einen Pegelvergleichsabschnitt 102, eine H-seitige Signalverarbei tungseinheit 302, eine L-seitige Signalverarbeitungseinheit 304, einen HL-Auswahlabschnitt 306, einen DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308, einen Lösefunktionsabschnitt 310, einen Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312, einen HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 und eine ODER-Schaltung 316. Die Taktsignal-Verarbeitungseinheit 350 hat einen Pegelvergleichsabschnitt 152, eine H-seitige Signalverarbeitungseinheit 352, eine L-seitige Signalverarbeitungseinheit 354, einen HL-Auswahlabschnitt 356, einen DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 358, einen Lösefunktionsabschnitt 360, einen Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 362, einen HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 364 und eine ODER-Schaltung 366. Die Datensignal-Verarbeitungseinheit 300 und die Taktsignal-Verarbeitungseinheit 350 sind mit der gleichen integrierten Schaltung ausgebildet und haben die gleiche Konfiguration. Der DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 358 braucht nicht zu arbeiten, um die Phasendifferenz zwischen jedem der DQ0–DQn und dem DQS zu erfassen.
  • Jeder der Pegelvergleichsabschnitte 102 enthält einen Pegelkomparator 120, der ein Beispiel für den H-seitigen Pegelvergleichsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung ist, und einen Pegelkomparator 122, der ein Beispiel für den L-seitigen Pegelvergleichsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung ist. Der Pegelkomparator 120 bestimmt aufeinander folgend, ob der Spannungswert des von der DUT 12 ausgegebenen DQ größer als VOH ist, und gibt das Ergebnis zu dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 aus. Der Pegelkomparator 122 bestimmt aufeinander folgend, ob der Spannungswert des von der DUT 12 ausgegebenen DQ kleiner als VOL ist, und gibt das Ergebnis zu dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 304 aus.
  • Jeder der H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitte 302 enthält einen Zeitvergleichsabschnitt 104, einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106, einen Zeitkomparator 301 und einen Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307. Der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 302 ist ein Beispiel für den H-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung. Der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 302 verarbeitet das Ausgangssignal des Pegelkomparators 120 und erfasst den Datenwechselpunkt von DQ. Hier kann der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung begrifflich den Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106 und den Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 307 enthalten. Zusätzlich arbeiten der Zeitvergleichsabschnitt 104 und der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106 wie der Zeitvergleichsabschnitt 104 und der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 106, die in 1 gezeigt sind, so dass die Beschreibung weggelassen wird. Der Zeitkomparator 301 ist ein Beispiel für den Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt nach der vorliegenden Erfindung, der das Ausgangssignal des Pegelkomparators 120 auf der Grundlage eines STRB liest und ein Startbestimmungssignal ausgibt, das anzeigt, ob der Spannungswert des DQ zu der Zeit, zu der begonnen wird, das DQ auszugeben, größer als VOH ist. Insbesondere gibt der Zeitkomparator 301 den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn der Spannungswert des DQ größer als VOH zu der Zeit, zu der die DUT 12 beginnt, das DQ auszugeben, ist. Alternativ gibt der Zeitkomparator 301 den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn der Spannungswert des DQ zu der Zeit, zu der die DUT 12 beginnt, DQ auszugeben, kleiner als VOH ist.
  • Zusätzlich zu der Funktion, die dieselbe wie die des in 1 gezeigten Codierers 108 ist, erfasst der Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 307, ob Datenwechselpunkte des DQ vorhanden sind, die mehr als das Zweifache in einem Prüfzyklus sind, auf der Grundlage des von den mehreren Vergleichsabschnitten 128 für den erwarteten Wert ausgegebenen Bestimmungsergebnisses, und er gibt ein Störimpuls-Erfassungssignal aus, das anzeigt, ob Datenwechselpunkte mehr als zweifach vorgesehen sind, d.h., ob ein Störimpuls erzeugt wurde. Insbesondere gibt der Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 307 den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn ein Störimpuls in dem DQ erfasst wird. Alternativ gibt der Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 307 den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn kein Störimpuls in dem DQ erfasst wird. Hier ist der L-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 304 ein Beispiel für den L-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung, der das Ausgangssignal des Pegelkomparators 122 verarbeitet und den Datenwechselpunkt des DQ erfasst. Der L-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 304 hat dieselbe Konfiguration wie der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 302 und arbeitet wie der L-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 304.
  • Der Pegelvergleichsabschnitt 152 enthält einen Pegelkomparator 170 und einen Pegelkomparator 172. Der Pegelkomparator 170 bestimmt aufeinander folgend, ob der Spannungswert des von der DUT 12 ausgegebenen DQS größer als VOH ist, und gibt das Ergebnis zu dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 352 aus. Der Pegelkomparator 172 bestimmt aufeinander folgend, ob der Spannungswert des von der DUT 12 ausgegebenen DQS kleiner als VOL ist, und gibt das Ergebnis zu dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 354 aus.
  • Der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 352 enthält einen Zeitvergleichsabschnitt 154, einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156, einen Zeitkomparator 351 und einen Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 357. Der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 352 ist ein Beispiel für den H-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung, der das Ausgangssignal des Pegelkomparators 170 verarbeitet und den Datenwechselpunkt des DQS erfasst. Der Zeitvergleichsabschnitt 154 und der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156 arbeiten wie der Zeitvergleichsabschnitt 154 und der Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt 156, die in 1 gezeigt sind, so dass die Beschreibung weggelassen wird. Der Zeitkomparator 351 liest das Ausgangssignal des Pegelkomparators 170 auf der Grundlage des STRB und gibt ein Startbestimmungssignal aus, das anzeigt, ob der Spannungswert des DQS größer als VOH zu der Zeit, zu der begonnen wird, DQS auszugeben, ist. Insbesondere gibt der Zeitkomparator 351 den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn der Spannungswert des DQS größer als VOH zu der Zeit, zu der die DUT 12 beginnt, DQS auszugeben, ist. Alternativ gibt der Zeitkomparator 351 den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn der Spannungswert des DQS kleiner als VOH zu der Zeit, zu der die DUT 12 beginnt, DQS auszugeben, ist.
  • Zusätzlich zu der Funktion, die dieselbe wie die des in 1 gezeigten Codierers 158 ist, erfasst der Codierer/Störimpuls-Erfassungsabschnitt 357, ob mehr als zwei Datenwechselpunkte des DQS in einem Testzyklus vorhanden sind, auf der Grundlage der von den mehreren Vergleichsabschnitten 178 für den erwarteten Wert ausgegebenen Bestimmung und gibt das Ergebnis aus. Hier ist der L-seitige Signalverarbeitungsab schnitt 354 ein Beispiel für L-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt nach der vorliegenden Erfindung, der das Ausgangssignal des Pegelkomparators 172 verarbeitet und den Datenwechselpunkt des DQS erfasst. Der L-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 354 hat dieselbe Konfiguration wie der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 352 und arbeitet in gleicher Weise wie der H-seitige Signalverarbeitungsabschnitt 352.
  • Jeder der HL-Auswahlabschnitte 306 schaltet selektiv das Ausgangssignal des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 302 und das Ausgangssignal des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 304 und liefert eines von diesen zu dem DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 und dem Lösefunktionsabschnitt 310. Der HL-Auswahlabschnitt 356 schaltet selektiv das Ausgangssignal des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 352 und das Ausgangssignal des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 354 und liefert eines von diesen zu dem DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 und dem Lösefunktionsabschnitt 360.
  • Jeder der DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitte 308 vergleicht den von dem HL-Auswahlabschnitt 306 erhaltenen Datenwechselpunkt und den von dem HL-Auswahlabschnitt 356 erhaltenen Taktwechselpunkt jedes Mal, wenn die DUT 12 das DQS und die DQ ausgibt, um die Phasendifferenz zwischen dem DQS und dem DQ zu erfassen. Dann vergleicht der DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 die erfasste Phasendifferenz mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, und liefert Informationen, die GUT oder SCHLECHT anzeigen, zu der ODER-Schaltung 316.
  • Jeder der Lösefunktionsabschnitte 310 erhält den Datenwechselpunkt und das Störspitzen-Erfassungssignal, das von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307 erfasst wurde, und das von dem Zeitkomparator 301 ausgegebene Startbestimmungssignal von dem HL-Auswahlabschnitt 306. Dann erfasst der Lösefunktionsabschnitt 310, ob irgendeine Störspitze in den DQ erzeugt wurde, ob die DQ im Einklang mit dem erwarteten Wert invertiert sind und ob die DQ zu dem erwarteten Wert invertiert sind und geändert, um zu bestimmen, dass die DUT 12 gut oder schlecht ist, und liefert Informationen, die GUT oder SCHLECHT anzeigen, zu der ODER-Schaltung 316. Zusätzlich arbeitet der Lösefunktionsabschnitt 360 wie der Lösefunktionsabschnitt 310 und bestimmt auf der Grundlage des DQS, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist.
  • Der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 erhält einen H-seitigen Datenwechselpunkt, der der von dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 erfasste Datenwechselpunkt ist, und einen L-seitigen Datenwechselpunkt, der 310, ob irgendeine Störspitze in den DQ erzeugt wurde, ob die DQ im Einklang mit dem erwarteten Wert invertiert sind und ob die DQ zu dem erwarteten Wert invertiert sind und geändert, um zu bestimmen, dass die DUT 12 gut oder schlecht ist, und liefert Informationen, die GUT oder SCHLECHT anzeigen, zu der ODER-Schaltung 316. Zusätzlich arbeitet der Lösefunktionsabschnitt 360 wie der Lösefunktionsabschnitt 310 und bestimmt auf der Grundlage des DQS, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist.
  • Der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 erhält einen H-seitigen Datenwechselpunkt, der der von dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 erfasste Datenwechselpunkt ist, und einen L-seitigen Datenwechselpunkt, der der von dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 304 erfasste Datenwechselpunkt ist, von jeweils dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 und dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 304. Dann erfasst der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 eine Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, welche der Mittelpunkt zwischen dem H-seitigen Datenwechselpunkt und dem L-seitigen Datenwechselpunkt ist, jedes Mal, wenn die DUT 12 das DQ ausgibt. Dann vergleicht der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 die erfasste Zeit, zu der begonnen wird, das DQ. zu ändern, mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist und liefert Informationen, die GUT oder SCHLECHT anzeigen, zu der ODER-Schaltung 316. Zusätzlich arbeitet der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 362 so wie der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 und bestimmt auf der Grundlage des DQS, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist.
  • Jeder der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitte 314 erhält den von dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 erfassten H-seitigen Datenwechselpunkt und den von dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 304 erfassten L-seitigen Datenwechselpunkt von jeweils dem H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 und dem L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 304. Dann vergleicht der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 den H-seitigen Datenwechselpunkt und den L-seitigen Datenwechselpunkt jedes Mal, wenn die DUT 12 das DQ ausgibt, und erfasst die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke des DQ. Dann vergleicht der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke mit einer vorbestimmten erlaubten Zeit, um zu bestimmen, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, und liefert Informationen, die GUT oder SCHLECHT anzeigen, zu der ODER-Schaltung 316. Zusätzlich arbeitet der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 364 wie der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 und bestimmt auf der Grundlage des DQS, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist.
  • Die Prüfvorrichtung 30 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die Phasendifferenz zwischen jedem der DQ0–DQn und dem DQS, die von der DUT 12 ausgegeben werden, die Ausgabezeit der DQ0–DQn und des DQS, die voreilende Flanke und die nacheilende Flanke parallel und in Echtzeit erfassen. Daher kann die für die Prüfung der Bestimmung, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, erforderliche Zeit verkürzt werden.
  • 4 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitts 308 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel. Der DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 enthält eine arithmetische Schaltung 400, eine Vergleichsschaltung 402 für einen maximalen erlaubten Wert, eine Vergleichsschaltung 404 für einen minimalen erlaubten Wert, eine ODER-Schaltung 406, eine Auswahlvorrichtung 408 und eine UND-Schaltung 410. Die arithmetische Schaltung 400 subtrahiert einen Datenwechselpunkt, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307 erhalten wurde, von einem Taktwechselpunkt, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 357 erhalten wurde, oder umgekehrt, und berechnet die Phasendifferenz zwischen dem DQS und dem DQ, und gibt dieselbe aus. Die Vergleichsschaltung 402 für den maximalen erlaubten Wert vergleicht die von der arithmetischen Schaltung 400 ausgegebene Phasendifferenz mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Phasendifferenz geringer als der maximale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn die Phasendifferenz größer als der maximale erlaubte Wert ist. Die Vergleichsschaltung 404 für den minimalen erlaubten Wert vergleicht die von der arithmetischen Schaltung 400 ausgegebene Phasendifferenz mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Phasendifferenz größer als der minimale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert (SCHLECHT) aus, wenn die Phasendifferenz kleiner als der minimale erlaubte Wert ist.
  • Dann führt die ODER-Schaltung 406 eine ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung 402 für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung 404 für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert durch und gibt das Ergebnis aus. D.h., die ODER-Schaltung 406 gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, der anzeigt, dass die Phasendifferenz zwischen dem DQS und dem DQ der DUT 12 normal ist, wenn die Phasendifferenz zwischen dem DQS und dem DQ größer als der minimale erlaubte Wert und kleiner als der maximale erlaubte Wert ist. Die Auswahlvorrichtung 408 wählt ein Eingangssignal A oder B aus, auf der Grundlage eines Auswahlsignals (SEL0) und gibt das ausgewählte aus. Der logische Wert 0 wird im Einklang an dem Eingang A eingegeben. Wenn die Prüfung der Phasendifferenz zwischen dem DQS und dem DQ durchgeführt wird, wird das Eingangssignal B ausgewählt und zu der UND-Schaltung 410 ausgegeben. Die UND-Schaltung 410 führt eine UND-Operation bei dem Ausgangssignal der Auswahlvorrich tung 408 und dem Ausgangssignal der UND-Schaltung 500, die in dem Lösefunktionsabschnitt 310 enthalten ist, durch, und gibt das Ergebnis zu der ODER-Schaltung 316 aus. D.h., die UND-Schaltung 410 gibt das Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 408 nur aus, wenn ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist.
  • 5 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Lösefunktionsabschnitts 310 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Der Lösefunktionsabschnitt 310 enthält eine ODER-Schaltung 500, eine UND-Schaltung 502, eine ODER-Schaltung 504, eine Auswahlvorrichtung 506, eine UND-Schaltung 508, eine ODER-Schaltung 510, eine ODER-Schaltung 512 und eine UND-Schaltung 514. Die ODER-Schaltung 500 gibt das Ergebnis der ODER-Operationen von Daten aus mehreren Bits, die den von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 310 ausgegebenen Datenwechselpunkt anzeigen, zu der UND-Schaltung 502, der UND-Schaltung 508, der in dem DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 enthaltenen UND-Schaltung 410, der in dem Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 enthaltenen UND-Schaltung 610 und der in dem HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 enthaltenen UND-Schaltung 710 aus. Die UND-Schaltung 502 führt eine UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung 500 und dem Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 durch. Die UND-Schaltung 508 führt eine UND-Operation bei dem Ausgangssignal der ODER-Schaltung 500 und dem invertierten Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 durch. Zusätzlich führt die UND-Schaltung 514 eine UND-Operation bei dem von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 310 erhaltenen Störspitzen-Erfassungssignal und einem Auswahlsignal (SEL3) durch. D.h., wenn die Prüfung zu Bestimmung, ob eine Störspitze vorhanden ist, durchgeführt wird, wird das Signal (logischer Wert 1) als das Auswahlsignal (SEL3) zu der UND-Schaltung 514 geliefert. Alternativ wird, wenn die Prüfung mit Ausnahme der Bestimmung, ob eine Störspitze vorhanden ist, durchgeführt wird, das Signal (logischer Wert 0) als das Auswahlsignal (SEL3) zu der UND-Schaltung 514 geliefert.
  • Die ODER-Schaltung 504 führt. eine ODER-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung 502 und das Ausgangssignal der UND-Schaltung 514 durch und gibt das Ergebnis an dem Eingang B der Auswahlvorrichtung 506 ein. D.h., für den Fall, dass das Ausgangssignal des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 302 erfasst wird, wenn erfasst wird, dass kein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, und dass der Spannungswert des DQ beständig kleiner als VOH ist, wird der logische Wert 1 (SCHLECHT) an dem Eingang B der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Unterdessen wird, wenn die andere Bedingung derart, dass kein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist und der Spannungswert des DQ größer als VOH ist, erfasst wird, der logische Wert 0 (GUT) an dem Eingang B der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Zusätzlich wird in dem Fall, dass das Ausgangssignal des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 304 erfasst wird, wenn erfasste wird, dass kein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist und dass der Spannungswert des DQ beständig größer als VOL ist, der logische Wert 1 (SCHLECHT) an dem Eingang B der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Unterdessen wird, wenn die andere Bedingung derart, dass kein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, und der Spannungswert des DQ kleiner als VOL ist, erfasst wird, der logische Wert 0 (GUT) and dem Eingang B der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben.
  • Die ODER-Schaltung 510 führt eine Oder-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung 508 und das Ausgangssignal der UND-Schaltung 514 durch und gibt das Ergebnis an einem Eingang C der Auswahlvorrichtung 506 ein. D.h., in dem Fall, dass das Ausgangssignal des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 302 erfasst wird, wenn erfasst wird, dass ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, und dass der Spannungswert des DQ von dem Wert, der kleiner als VOH ist, zu dem Wert, der größer als VOH ist, wechselt, der logische Wert 0 (GUT) an dem Eingang C der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Unterdessen wird, wenn festgestellt wird, dass ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, und dass der Spannungswert des DQ von dem Wert, der größer als VOH ist, zu dem Wert, der kleiner als VOH ist, wechselt, der logische Wert (SCHLECHT) an dem Eingang C der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Zusätzlich wird in dem Fall, dass das Ausgangssignal des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 304 erfasst wird, wenn erfasst wird, dass ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist und dass der Spannungswert des DQ von dem Wert, der größer als VOL ist, zu dem Wert, der kleiner als VOL ist, wechselt, der logische Wert 0 (GUT) an dem Eingang C der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben. Unterdessen wird, wenn festgestellt wird, dass ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist und dass der Spannungswert des DQ von dem Wert, der kleiner als VOL ist, zu dem Wert, der größer als VOL ist, wechselt, der logische Wert 1 (SCHLECHT) an dem Eingang C der Auswahlvorrichtung 506 eingegeben.
  • Die ODER-Schaltung 512 führt eine ODER-Operation für das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 504 und das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 510 durch und gibt das Ergebnis an einem Eingang D der Auswahlvorrich tung 506 ein. Die Auswahlvorrichtung 506 gibt einen logischen Wert aus, der an einem der Eingänge A, B, C und D eingegeben wurde, auf der Grundlage der Auswahlsignale (SEL1 und SEL2). Der Eingang D der Auswahlvorrichtung 506 wird gewöhnlich ausgewählt. Dann gibt die Auswahlvorrichtung 506 das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 512 zu der ODER-Schaltung 316 aus. In dem Fall, dass der logische Wert 1 (SCHLECHT) ausgegeben wird, wenn das Ausgangssignal des Pegelvergleichsabschnitts 102 der logische Wert 1 (SCHLECHT) ist, wird der Eingang B ausgewählt und das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 504 kann zu der ODER-Schaltung 316 ausgegeben werden. Zusätzlich wird in dem Fall, dass der logische Wert (SCHLECHT) ausgegeben wird, wenn das Ausgangssignal des Pegelvergleichsabschnitts 102 der logische Wert 1 (SCHLECHT) ist und ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, der Eingang C ausgewählt und das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 510 kann zu der ODER-Schaltung 316 ausgegeben werden.
  • 6 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitts 312 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel. Der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 enthält eine arithmetische Schaltung 600, eine Vergleichsschaltung 602 für den maximalen erlaubten Wert, eine Vergleichsschaltung 604 für den minimalen erlaubten Wert, eine ODER-Schaltung 606 und eine Auswahlvorrichtung 608. Die arithmetische Schaltung 600 berechnet die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, auf der Grundlage des H-seitigen Datenwechselpunkts, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitts 307 des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 302 erhalten wurde, und des L-seitigen Taktwechselpunkts, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 357 des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 304 erhalten wurde. Die Vergleichsschaltung 602 für den maximalen erlaubten Wert vergleicht die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wird, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn diese größer als der maximale erlaubte Wert ist. Die Vergleichsschaltung 602 für den minimalen erlaubten Wert vergleicht die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, die von der arithmetischen Schaltung 600 ausgegeben wird, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, größer als der minimale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn diese kleiner als der minimale erlaubte Wert ist.
  • Die ODER-Schaltung 606 führt eine ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung 602 für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung 604 für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert durch und gibt das Ergebnis aus. D.h., die ODER-Schaltung 606 gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, der anzeigt, dass die Zeit, zu der begonnen wird, in der DUT 12 zu wechseln, normal ist wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, größer als der minimale erlaubte Wert und kleiner als der maximale erlaubte Wert ist. Die Auswahlvorrichtung 608 wählt ein Eingangssignal A oder ein Eingangssignal B aus auf der Grundlage eines Ausgangssignal (SEL4) und gibt das ausgewählte aus. Der logische Wert 0 wird beständig an dem Eingang A eingegeben. Wenn eine Zeit, zu der begonnen wird, das DQ zu ändern, geprüft wird, wird das Eingangssignal B ausgewählt und zu der UND-Schaltung 610 ausgegeben. Die UND-Schaltung 610 führt eine UND-Operation bei dem Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 608 und dem Ausgangssignal der ODER-Schaltung 500, die in dem Lösefunktionsabschnitt 310 enthalten ist, durch und gibt das Ergebnis zu der ODER-Schaltung 316 aus. D.h., die UND-Schaltung 610 gibt das Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 608 nur dann zu der ODER-Schaltung 316 aus, wenn ein Wechselpunkt in dem DQ vorhanden ist.
  • 7 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration eines HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel. Der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 enthält eine arithmetische Schaltung 700, eine Vergleichsschaltung 702 für den maximalen erlaubten Wert, eine Vergleichsschaltung 704 für den minimalen erlaubten Wert, eine ODER-Schaltung 706 und eine Auswahlvorrichtung 708. Die arithmetische Schaltung 700 subtrahiert einen H-seitigen Datenwechselpunkt, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307 des H-seitigen Signalverarbeitungsabschnitt 302 erhalten wurde, von einem L-seitigen Taktwechselpunkt, der von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 357 des L-seitigen Signalverarbeitungsabschnitts 304 erhalten wurde, oder umgekehrt, und gibt die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke des DQ aus. Die Vergleichsschaltung 702 für den maximalen erlaubten Wert vergleicht die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung 700 ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert (SCHLECHT) aus, wenn diese größer als der maximale erlaubte Wert ist. Die Vergleichsschaltung 704 für den minimalen erlaubten Wert vergleicht die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung 700 ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke größer als der minimale erlaubte Wert ist, und gibt den logischen Wert 1 (SCHLECHT) aus, wenn diese kleiner als der minimale erlaubte Wert ist.
  • Dann führt die ODER-Schaltung 706 eine ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung 702 für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung 704 für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert durch und gibt das Ergebnis aus. D.h., die ODER-Schaltung 706 gibt den logischen Wert 0 (GUT) aus, der anzeigt, dass die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke der DUT 12 normal ist, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke des DQ größer als der minimale erlaubte Wert und kleiner als die maximale erlaubte Zeit ist. Die Auswahlvorrichtung 708 wählt ein Eingangssignal A oder B auf der Grundlage eines Auswahlsignals (SEL5) aus und gibt das ausgewählte aus. Der logische Wert 0 wird beständig an dem Eingang A eingegeben. Wenn die Prüfung der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke des DQ durchgeführt wird, wird das Ausgangssignal B ausgewählt und zu der UND-Schaltung 710 ausgegeben. Die UND-Schaltung 710 führt eine UND-Operation bei dem Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 708 und dem Ausgangssignal der ODER-Schaltung 500, die in dem Lösefunktionsabschnitt 310 enthalten ist, durch und gibt das Ergebnis zu der ODER-Schaltung 316 aus. D.h., die UND-Schaltung 710 gibt das Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 708 nur dann zu der ODER-Schaltung 316 aus, wenn ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist.
  • 8 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Lösefunktionsabschnitts 310 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel. Der Lösefunktionsabschnitt 310 enthält eine ODER-Schaltung 800, eine Auswahlvorrichtung 802, ein Register 804, eine UND-Schaltung 806 und eine ODER-Schaltung 808. Die ODER-Schaltung 800 gibt das Ergebnis der ODER-Operation für Daten aus mehreren Bits, die den Datenwechselpunkt anzeigen und von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307 ausgegeben wurden, zu der Auswahlvorrichtung 802, der in dem DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308 enthaltenen UND-Schaltung 410, der in dem Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 enthaltenen UND-Schaltung 610 und der in dem HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 enthaltenen UND-Schaltung 710 aus.
  • Das Register 804 speichert vorher an jedem der Eingänge A, B, C und D der Auswahlvorrichtung 802 einzugebende Registerwerte. Die Auswahlvorrichtung 802 erhält das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 800 als ein Auswahlsignal von einem Eingang SO und erhält das Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 als ein Auswahlsignal von einem Eingang S1. Zusätzlich erhält die Auswahlvorrichtung 802, die in dem Register 804 gespeicherten Registerwerte. von dem Eingang A, B, C und D. Dann gibt die Auswahlvorrichtung 802 den logi schen Wert, der an einem der Eingänge A, B, C und D eingegeben wurde, auf der Grundlage der Kombination des Ausgangssignals der ODER-Schaltung 800, das anzeigt, ob ein Datenwechselpunkt in dem DQ vorhanden ist, und des Ausgangssignals des Zeitkomparators 301, das ein Startbestimmungssignal ist, aus. D.h., der in dem Register 804 gespeicherte Registerwert wird geändert, so dass der Zustand des DQ erfasst werden kann sowie der in 5 gezeigte Lösefunktionsabschnitt 310.
  • Insbesondere wählt die Auswahlvorrichtung 802 das Eingangssignal A aus und gibt dasselbe aus, wenn das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 800 der logische Wert 0 ist und das Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 der logische Wert ist. Zusätzlich wählt die Auswahlvorrichtung 802 das Eingangssignal B aus und gibt dieses aus, wenn das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 800 der logische Wert 1 ist und das Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 der logische Wert 1 ist. Zusätzlich wählt die Auswahlvorrichtung 802 das Eingangssignal C aus und gibt dieses aus, wenn das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 800 der logische Wert 1 ist und das Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 der logische Wert 0 ist. Weiterhin wählt die Auswahlvorrichtung 802 das Eingangssignal D aus und gibt dieses aus, wenn das Ausgangssignal der ODER-Schaltung 800 der logische Wert 1 ist und das Ausgangssignal des Zeitkomparators 301 der logische Wert ist. Dann gibt, wenn das Register 804 den logischen Wert 0, 0, 0 und 0 als die an jedem der Eingänge A, B, C und D der Auswahlvorrichtung 802 einzugebende Registerwerte speichert, die Auswahlvorrichtung 802 den logischen Wert aus, der derselbe wie das Eingangssignal A der in 5 gezeigten Auswahlvorrichtung 506 ist. Zusätzlich gibt, wenn das Register 804 den logischen Wert 0, 0, 1 und 0 als die an jedem der Eingänge A, B, C und D der Auswahlvorrichtung 802 einzugebende Registerwerte speichert, die Auswahlvorrichtung 802 den logischen Wert aus, der derselbe wie das Eingangssignal B der in 5 gezeigten Auswahlvorrichtung 506 ist. Zusätzlich gibt, wenn das Register 804 den logischen Wert 0, 0, 1 und 0 als die an jedem der Eingänge A, B, C und D der Auswahlvorrichtung 802 einzugebende Registerwerte speichert, die Auswahlvorrichtung 802 den logischen Wert aus, der derselbe wie das Eingangssignal C der in 5 gezeigten Auswahlvorrichtung 506 ist. Weiterhin gibt, wenn das Register 804 den logischen 0, 1, 1 und 0 als die an jedem der Eingänge A, B, C und D der Auswahlvorrichtung 802 einzugebende Registerwerte speichert, die Auswahlvorrichtung 802 den logischen Wert aus, der derselbe wie das Eingangssignal D der in 5 gezeigten Auswahlvorrichtung 506 ist.
  • Die UND-Schaltung 806 führt eine UND-Operation bei dem von dem Codierer/Störspitzen-Erfassungsabschnitt 307 erhaltenen Störspitzen-Erfassungssignal und einem Auswahlsignal (SEL6) durch. Dann führt die ODER-Schaltung 808 eine ODER-Operation für das Ausgangssignal der Auswahlvorrichtung 802 und das Ausgangssignal der UND-Schaltung 806 durch und gibt das Ergebnis zu der ODER-Schaltung 316 aus. D.h., wenn eine Prüfung zum Bestimmen, ob eine Störspitze vorhanden ist, durchgeführt wird, wird das Signal (logischer Wert 1) als das Auswahlsignal (SEL6) zu der UND-Schaltung 806 geliefert. Wenn alternativ die Prüfung mit Ausnahme der Bestimmung, ob eine Störspitze vorhanden ist, durchgeführt wird, wird das Signal (logischer Wert 0) als das Auswahlsignal (SEL6) zu der UND-Schaltung 806 geliefert.
  • Die Prüfvorrichtung 30 gemäß der vorliegenden Erfindung, der DQS-DQ-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 308, der Lösefunktionsabschnitt 310, der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt 312 und der HL-Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt 314 sind auf der Grundlage der Hardwarelogik konfiguriert, wie in 4, 5, 6, 7 und 8 gezeigt ist. Daher können die Phasendifferenz zwischen dem DQ und dem DQS, die Ausgabezeit des DQ und des DQS, die Zeit der voreilenden Flanke, die Zeit der nacheilenden Flanke und die Störspitze mit hoher Geschwindigkeit erfasst werden. Hierdurch kann die Prüfvorrichtung 30 die DUT 12 in Echtzeit und parallel mit Ausgabe durch die DUT 12 prüfen. Weiterhin kann die zum Prüfen der Bestimmung, ob die DUT 12 gut oder schlecht ist, erforderliche Zeit verkürzt werden.
  • Während die vorliegende Erfindung durch das Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht durch das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel begrenzt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel hinzugefügt werden können. Es ist anhand des Bereichs der Ansprüche offensichtlich, dass derartige dem Ausführungsbeispiel hinzugefügte Änderungen oder Verbesserungen in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
  • [GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT]
  • Gemäß der vorstehend beschriebenen vorliegenden Erfindung kann eine Prüfvorrichtung zum genauen Prüfen einer geprüften Vorrichtung zum Synchronisieren eines Datensignals mit einem Taktsignal in Echtzeit und zum Ausgeben derselben vorgesehen werden.
  • Zusammenfassung:
  • Die Prüfvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung enthält: eine Datenabtastvorrichtung zum Erhalten mehrerer Datenabtastwerte für Datensignale von der DUT; einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts aus dem Abtastwert; einen Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des Datenwechselpunkts auf der Grundlage von CLK 1 und zum Lesen desselben auf der Grundlage von CLK 2; eine Taktabtastvorrichtung zum Erhalten mehrerer Taktabtastwerte für Taktsignale von der DUT; einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunkts, aus dem Abtastwert; einen Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des Taktwechselpunkts auf der Grundlage von CLKs und zum Lesen desselben auf der Grundlage von CLD2; einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Erfassen der Phasendifferenz zwischen dem Datenwechselpunkt und dem Taktwechselpunkt, die gleichzeitig aus dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt und dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt gelesen wurden; und einen Spezifikationsvergleichsabschnitt zum Vergleichen der Phasendifferenz mit der Spezifikation, um zu bestimmen, ob die DUT gut oder schlecht ist.

Claims (13)

  1. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung zum Synchronisieren eines Datensignals mit einem Taktsignal und zum Ausgeben derselben, welches aufweist: eine Datenabtastvorrichtung zum aufeinander folgenden Abtasten der von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Datensignals, um mehrere Datenabtastwerte zu erhalten; einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das Datensignal geändert wird, auf der Grundlage der mehreren Datenabtastwerte, die von der Datenabtastvorrichtung erhalten wurden; einen Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des von dem Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Datenwechselpunkts auf der Grundlage eines ersten Taktsignals und zum Lesen desselben auf der Grundlage eines zweiten Taktsignals, dessen Periode angenähert dieselbe wie die des ersten Taktsignals ist und dessen Phase verschieden von der des ersten Taktsignals ist; eine Taktabtastvorrichtung zum aufeinander folgenden Abtasten der von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Taktsignale, um mehrere Taktabtastwerte zu erhalten; einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunkts, an dem das Taktsignal sich ändert, auf der Grundlage der mehreren der von der Taktabtastvorrichtung er haltenen Taktabtastwerte; und einen Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt zum Schreiben des von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunktes auf der Grundlage eines dritten Taktsignals und Lesen desselben auf der Grundlage des zweiten Taktsignals; einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des Datenwechselpunkts und des Taktwechselpunkts, die gleichzeitig aus dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt und dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt auf der Grundlage des zweiten Taktsignals gelesen wurden, und zum Erfassen der Phasendifferenz zwischen dem Datensignal und dem Taktsignal; und einen Spezifikationsvergleichsabschnitt zum Vergleichen der von dem Phasendifferenz-Erfassungsabschnitts erfassten Phasendifferenz mit einer vorbestimmten Spezifikation, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist.
  2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Phasendifferenz zwischen dem ersten Taktsignal und dem zweiten Taktsignal größer als die Differenz zwischen einer Übertragungsverzögerungszeit von dem Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zu dem Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt und einer Übertragungsverzögerungszeit von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zu dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt ist.
  3. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, welche weiterhin aufweist: eine Datenverarbeitungseinheit, in der die Datenabtastvorrichtung, der Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt, der Datenwechselpunkt-Speicherabschnitt, der Taktwechselpunkt- Speicherabschnitt, der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt und der Spezifikationsvergleichsabschnitt gebildet sind; eine Taktsignal-Verarbeitungseinheit, in der die Taktabtastvorrichtung und der Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt gebildet sind; einen Übertragungspfad, durch den die Datensignal-Verarbeitungseinheit und die Taktsignal-Verarbeitungseinheit elektrisch verbunden sind, um den von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunkt zu dem Taktwechselpunkt-Speicherabschnitt zu liefern, wobei die Phasendifferenz zwischen dem ersten Taktsignal und dem zweiten Taktsignal größer als die Übertragungsverzögerungszeit in dem Übertragungspfad ist.
  4. Prüfvorrichtung nach Anspruch 3, enthaltend mehrere Datensignal-Verarbeitungseinheiten, worin der Übertragungspfad die Taktsignal-Verarbeitungseinheit und die mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten elektrisch verbindet und den von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt, der in der Taktsignal-Verarbeitungseinheit enthalten ist, erfassten Taktwechselpunkt zu den mehreren Taktwechselpunkt-Speicherabschnitten für jede der mehreren Datensignal-Verarbeitungseinheiten liefert, und die mehreren Taktwechselpunkt-Speicherabschnitte den von dem Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt erfassten Taktwechselpunkt auf der Grundlage eines dritten Taktsignals schreiben und denselben auf der Grundlage eines zweiten Taktsignals lesen.
  5. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung zum Synchronisieren eines Datensignals und eines Taktsignals und zum Ausgeben derselben, welche aufweist: einen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem sich das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal ändert; einen Taktwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Taktwechselpunkt, an dem sich das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Taktsignal ändert; und einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des Datenwechselpunkts mit dem Taktwechselpunkt bei jedem Mal, wenn die geprüfte Vorrichtung ein Datensignal und ein Taktsignal ausgibt, um die Phasendifferenz zwischen dem Datensignal und dem Taktsignal zu erfassen, und zum Vergleichen der Phasendifferenz mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist, wobei der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Subtrahieren des Datenwechselpunkts von dem Taktwechselpunkt oder zum Subtrahieren des Taktwechselpunkts von dem Datenwechselpunkt, und zum Ausgeben der Phasendifferenz; eine Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der von der arithmetischen Schaltung ausgegebenen Phasendifferenz mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Phasendifferenz kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Phasendifferenz größer als der maximale erlaubte Wert ist; eine Vergleichschaltung für den minimalen er laubten Wert zum Vergleichen der von der arithmetischen Schaltung ausgegebenen Phasendifferenz mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Phasendifferenz größer als der minimale erlaubte Wert ist, und Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn die Phasendifferenz kleiner als der minimale erlaubte Wert ist; und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert.
  6. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Datensignal sich ändert, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal größer als ein H-seitiger Schwellenwert zu der Zeit, zu der begonnen wird, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal auszugeben ist, und für die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebenen Daten aus den mehreren Bits und einer UND-Schaltung für die Durchführung einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, zum Erfassen, dass kein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden ist und dass das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist, und zum Ausgeben desselben.
  7. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eins Datenwechselpunkts, an dem ein von der geprüften Vorrichtung ausgegebenes Datensignal geändert wird, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert zu der Zeit, zu der begonnen wird, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal auszugeben, ist, und für die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal größer als der L-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung für die Durchführung einer ODER-Operation für die von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebenen Daten aus den mehreren Bits und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem invertierten Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, zum Erfassen, dass kein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden ist, und dass das Datensignal größer als der L-seitige Schwellenwert ist und zum Ausgeben desselben.
  8. Prüfvorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, weiterhin aufweisend einen Störspitzen-Erfassungsabschnitt zum Erfassen, ob eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde, zum Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn eine Störspitze erfasst wird, und zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn keine Störspitze erfasst wird, wobei der Lösefunktionsabschnitt weiterhin eine zweite ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung und das Ausgangssignal des Störspitzen-Erfassungsabschnitts enthält und weiterhin erfasst, dass eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde.
  9. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal geändert wird, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal größer als ein H-seitiger Schwellenwert zu einer Zeit, zu der begonnen wird, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal auszugeben, ist, und für die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER- Operation für von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebene Daten aus mehreren Bits und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem Ausgangssignal der ODER-Schaltung und dem invertierten Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, um zu erfassen, dass ein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden ist und dass das Datensignal von einem Wert, der kleiner als der H-seitige Schwellenwert ist, zu einem Wert, der größer als der H-seitige Schwellenwert ist, gewechselt hat, und zum Ausgeben desselben.
  10. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Datenwechselpunkts, an dem das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal geändert wird, und zum Ausgeben von Daten aus mehreren Bits, die den erfassten Datenwechselpunkt anzeigen; einen Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitt zum Ausgeben eines Startbestimmungssignals für die Ausgabe des logischen Wertes 0, wenn das Datensignal kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert zu einer Zeit, zu der begonnen wird, das von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal auszugeben, ist, und für die Ausgabe des logischen Wertes 1, wenn das Datensignal größer als der L-seitige Schwellenwert ist; und einen Lösefunktionsabschnitt mit einer ersten ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebene Daten aus mehreren Bits und einer UND-Schaltung zum Durchführen einer UND-Operation bei dem Ausgangssignal der ODER- Schaltung und dem invertierten Ausgangssignal des Startbestimmungssignal-Ausgabeabschnitts, zum Erfassen, dass ein Datenwechselpunkt in dem Datensignal vorhanden und dass das Datensignal von einem Wert, der größer als der L-seitige Schwellenwert ist, zu einem Wert, der kleiner als der L-seitige Schwellenwert ist, gewechselt hat, und zum Ausgeben desselben.
  11. Prüfvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, weiterhin aufweisend einen Störspitzen-Erfassungsabschnitt zum Erfassen, dass eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde, auf der Grundlage von von dem Wechselpunkt-Erfassungsabschnitt ausgegebenen Daten aus mehreren Bits, zum Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn eine Störspitze erfasst wird, und zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn keine Störspitze erfasst wird, wobei der Lösefunktionsabschnitt weiterhin eine zweite ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für das Ausgangssignal der UND-Schaltung und das Ausgangssignal des Störspitzen-Erfassungsabschnitts enthält und weiterhin erfasst, dass eine Störspitze in dem Datensignal erzeugt wurde.
  12. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen H-seitigen Pegelvergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignal größer als ein H-seitiger Schwellenwert sind, und zum Ausgeben derselben; einen H-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines H-seitigen Datenwechselpunkts, an dem das von dem H-seitigen Pegel vergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal geändert wird; einen L-seitigen Pegelvergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignale kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert sind, und zum Ausgeben derselben; einen L-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines L-seitigen Datenwechselpunkts, an dem das von dem L-seitigen Pegelvergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal geändert wird; und einen Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt zum Erfassen einer Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, welche der Mittelpunkt zwischen dem H-seitigen Datenwechselpunkt und dem L-seitigen Datenwechselpunkt ist, jedes Mal, wenn die geprüfte Vorrichtung das Datensignal ausgibt, und zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, dass die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist, wobei der Ausgabezeitphasen-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Berechnen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, auf der Grundlage des H-seitigen Datenwechselpunkts und des L-seitigen Datenwechselpunkts; eine Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wird, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Daten signal zu ändern, kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und zum Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn sie größer als der maximale erlaubte Wert ist; eine Vergleichsschaltung für den minimalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wird, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit, zu der begonnen wird, das Datensignal zu ändern, größer als der minimale erlaubte Wert ist, und zum Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn diese kleiner als der minimale erlaubte Wert ist; und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert.
  13. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen H-seitigen Pegelvergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob von der geprüften Vorrichtung ausgegebene Datensignale größer als ein H-seitiger Schwellenwert sind, und zum Ausgeben derselben; einen H-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines H-seitigen Datenwechselpunkts, an dem das von dem H-seitigen Pegelvergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal geändert wird; einen L-seitigen Pegelvergleichsabschnitt zum aufeinander folgenden Bestimmen, ob von der ge prüften Vorrichtung ausgegebene Datensignale kleiner als ein L-seitiger Schwellenwert sind, und zum Ausgeben derselben; einen L-seitigen Datenwechselpunkt-Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines L-seitigen Datenwechselpunkts, an dem das von dem L-seitigen Pegelvergleichsabschnitt ausgegebene Datensignal geändert wird; und einen Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt zum Vergleichen des H-seitigen Datenwechselpunkts mit dem L-seitigen Datenwechselpunkt bei jedem Mal, wenn die geprüfte Vorrichtung ein Datensignal ausgibt, um die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke des Datensignals zu erfassen, und zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke mit einem vorbestimmten erlaubten Wert, um zu bestimmen, ob die geprüfte Vorrichtung gut oder schlecht ist, wobei der Phasendifferenz-Erfassungsabschnitt enthält: eine arithmetische Schaltung zum Subtrahieren des H-seitigen Datenwechselpunkts von dem L-seitigen Datenwechselpunkt oder zum Subtrahieren des L-seitigen Datenwechselpunkts von dem H-seitigen Datenwechselpunkt, und zum Ausgeben der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke; eine Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten maximalen erlaubten Wert, zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke kleiner als der maximale erlaubte Wert ist, und zum Aus geben des logischen Wertes 1, wenn diese größer als der maximale erlaubte Wert ist; eine Vergleichsschaltung für den minimalen erlaubten Wert zum Vergleichen der Zeit der voreilenden Flanke oder der Zeit der nacheilenden Flanke, die von der arithmetischen Schaltung ausgegeben wurde, mit einem vorbestimmten minimalen erlaubten Wert, zum Ausgeben des logischen Wertes 0, wenn die Zeit der voreilenden Flanke oder die Zeit der nacheilenden Flanke größer als der minimale erlaubte Wert ist, und zum Ausgeben des logischen Wertes 1, wenn diese kleiner als der minimale erlaubte Wert ist; und eine ODER-Schaltung zum Durchführen einer ODER-Operation für den von der Vergleichsschaltung für den maximalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert und den von der Vergleichsschaltung für den minimalen erlaubten Wert ausgegebenen logischen Wert.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004057354A1 (ja) * 2002-12-20 2004-07-08 Advantest Corporation 半導体試験装置
JP4957092B2 (ja) * 2006-06-26 2012-06-20 横河電機株式会社 半導体メモリテスタ
AT9243U3 (de) * 2007-03-06 2007-12-15 Avl List Gmbh Verfahren und vorrichtung zur verarbeitung von daten oder signalen mit unterschiedlichen synchronisationsquellen
US7783452B2 (en) * 2007-03-08 2010-08-24 Advantest Corporation Signal measurement apparatus and test apparatus
US8108364B2 (en) * 2008-08-06 2012-01-31 International Business Machines Corporation Representation of system clock changes in time based file systems
JPWO2010058441A1 (ja) * 2008-11-19 2012-04-12 株式会社アドバンテスト 試験装置、試験方法、および、プログラム
JP5202456B2 (ja) * 2009-07-08 2013-06-05 株式会社アドバンテスト 試験装置および試験方法
JP2012247318A (ja) * 2011-05-27 2012-12-13 Advantest Corp 試験装置および試験方法
WO2014091559A1 (ja) * 2012-12-11 2014-06-19 三菱電機株式会社 統合セキュリティ装置および統合セキュリティ装置に用いられる信号処理方法
US9835680B2 (en) * 2015-03-16 2017-12-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method, device and computer program product for circuit testing

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2722582B2 (ja) * 1988-12-21 1998-03-04 日本電気株式会社 グリッチ検出回路
JP2000081467A (ja) * 1998-09-04 2000-03-21 Advantest Corp 半導体試験装置の実行手順制御方式
JP4118463B2 (ja) * 1999-07-23 2008-07-16 株式会社アドバンテスト タイミング保持機能を搭載したic試験装置
JP4495308B2 (ja) * 2000-06-14 2010-07-07 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置
JP4394789B2 (ja) * 2000-01-18 2010-01-06 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験方法・半導体デバイス試験装置
TWI238256B (en) * 2000-01-18 2005-08-21 Advantest Corp Testing method for semiconductor device and its equipment
JP2001289911A (ja) * 2000-04-04 2001-10-19 Advantest Corp 半導体デバイス試験装置
JP4130801B2 (ja) * 2001-06-13 2008-08-06 株式会社アドバンテスト 半導体デバイス試験装置、及び半導体デバイス試験方法
WO2003060533A1 (fr) * 2002-01-10 2003-07-24 Advantest Corporation Dispositif pour tester la lsi a mesurer, analyseur de gigue et detecteur de dephasage

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