DE102009019459B4 - Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück - Google Patents

Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück Download PDF

Info

Publication number
DE102009019459B4
DE102009019459B4 DE102009019459A DE102009019459A DE102009019459B4 DE 102009019459 B4 DE102009019459 B4 DE 102009019459B4 DE 102009019459 A DE102009019459 A DE 102009019459A DE 102009019459 A DE102009019459 A DE 102009019459A DE 102009019459 B4 DE102009019459 B4 DE 102009019459B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optics
light source
imaging
axial
optical axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102009019459A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102009019459A1 (de
Inventor
Hubert Keller
Michael Rudolf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Original Assignee
Hommel Etamic GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=42629557&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE102009019459(B4) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Hommel Etamic GmbH filed Critical Hommel Etamic GmbH
Priority to DE102009019459A priority Critical patent/DE102009019459B4/de
Priority to DE202010017482U priority patent/DE202010017482U1/de
Priority to EP10003957.7A priority patent/EP2249147A3/de
Priority to CN201010169343.2A priority patent/CN101881738B/zh
Priority to RU2010117246/28A priority patent/RU2488098C2/ru
Priority to JP2010105071A priority patent/JP2010261950A/ja
Priority to CA2702379A priority patent/CA2702379C/en
Priority to US12/662,813 priority patent/US8334971B2/en
Priority to BRPI1001350A priority patent/BRPI1001350B1/pt
Publication of DE102009019459A1 publication Critical patent/DE102009019459A1/de
Publication of DE102009019459B4 publication Critical patent/DE102009019459B4/de
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • G02B23/2407Optical details
    • G02B23/2461Illumination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/06Panoramic objectives; So-called "sky lenses" including panoramic objectives having reflecting surfaces
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • G02B23/2407Optical details
    • G02B23/2423Optical details of the distal end
    • G02B23/243Objectives for endoscopes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8822Dark field detection
    • G01N2021/8825Separate detection of dark field and bright field

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Stereoscopic And Panoramic Photography (AREA)
  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)

Abstract

Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück, mit einer Optik mit Rundumblick, die mit einem Bildaufnehmer und einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Bildübertragungsverbindung steht, und mit einer Beleuchtungsanordnung mit einer Lichtquelle zum Beleuchten eines von der Optik erfaßten Abbildungsbereiches der Innenfläche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsanordnung (16) relativ zu der Optik (8) derart angeordnet und ihr Strahlengang derart gewählt ist, daß ein erster axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches in Hellfeldbeleuchtung und gleichzeitig ein zu dem ersten axialen Abschnitt beabstandeter zweiter axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtbar ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück.
  • Durch WO 2009/003692 ist eine Vorrichtung der betreffenden Art zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück bekannt, die eine Optik mit Rundumblick aufweist, die mit einem Bildaufnehmer und einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Bildübertragungsverbindung steht. Die bekannte Vorrichtung weist ferner eine Beleuchtungsanordnung zum Beleuchten eines von der Optik erfaßten Abbildungsbereiches der Innenfläche auf.
  • Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise bei der Zylinderbohrungsinspektion in Kurbelgehäusen verwendet und dienen dazu, die radiale Innenfläche der Zylinderbohrung abzubilden und daraufhin zu untersuchen, ob sie vorbestimmten Anforderungen hinsichtlich der Oberflächenbeschaffenheit genügt.
  • Durch DE 44 16 493 A1 ist eine Oberflächenprüfvorrichtung zum Prüfen von Oberflächen in Hohlräumen von Werkstücken bekannt.
  • DE 43 20 845 C1 offenbart eine Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren.
  • Durch DE 32 32 904 C2 ist eine Sonde zum automatischen Prüfen von Oberflächen bekannt.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück anzugeben, deren Möglichkeiten hinsichtlich der Abbildung der Innenfläche erweitert sind.
  • Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.
  • Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, die Beleuchtungsanordnung so auszugestalten, daß ein von der Optik erfaßter Abbildungsbereich der Innenfläche teilweise in Hellfeldbeleuchtung und teilweise in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet wird. In Hellfeldbeleuchtung, bei der das von der abzubildenden Innenfläche reflektierte Licht zur Abbildung genutzt wird, ergibt sich eine besonders kontrastreiche Abbildung, mit der beispielsweise und insbesondere Kratzer und Porositäten in der abzubildenden Innenfläche festgestellt werden können. Demgegenüber lassen sich bei einer Dunkelfeldbeleuchtung, bei der der Strahlengang des Lichtes so geführt ist, daß zur Abbildung vor allem an der abzubildenden Innenfläche gestreute Strahlen herangezogen werden, andere Strukturdefekte, beispielsweise bei Gußteilen Gießfehler, feststellen.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht es somit, die abzubildende Innenfläche sowohl in Hellfeldbeleuchtung als auch in Dunkelfeldbeleuchtung abzubilden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kombiniert somit die hinsichtlich der Erfassung von Defekten bestehenden Vorteile beider Beleuchtungsverfahren. Erfindungsgemäß ist es hierbei möglich, einen ersten axialen Abschnitt des Abbildungsbereiches in Hellfeldbeleuchtung abzubilden und gleichzeitig einen zu dem ersten axialen Abschnitt beabstandeten zweiten axialen Abschnitt des Abbildungsbereiches in Dunkelfeldbeleuchtung abzubilden, so daß gleichzeitig eine Hell- und Dunkelfeldmessung ausgeführt werden. Es ist erfindungsgemäß jedoch auch möglich, ein und denselben axialen Abschnitt der abzubildenden Innenfläche zeitlich aufeinanderfolgend sowohl in Dunkelfeldbeleuchtung als auch in Hellfeldbeleuchtung abzubilden. Beispielsweise kann der Vorrichtung hierzu eine Vorschubeinrichtung zugeordnet sein, mittels derer die Vorrichtung relativ zu der abzubildenden Innenfläche axial bewegbar ist. Befindet sich beispielsweise ein in Dunkelfeldbeleuchtung untersuchter Abschnitt der Innenfläche in Vorschubrichtung schräg vor der Optik, während sich ein in Hellfeldbeleuchtung untersuchter Abschnitt in Axialrichtung des Hohlzaumes etwa auf Höhe der Optik oder etwas hinter dieser befindet, so kann ein vorbestimmter axialer Bereich der Innenfläche während des Vorschubes zunächst in Dunkelfeldbeleuchtung und bei einem weiteren Vorschub der Vorrichtung daran anschließend in Hellfeldbeleuchtung abgebildet werden.
  • Auf diese Weise sind die Möglichkeiten der erfindungsgemäßen Vorrichtung hinsichtlich der Abbildung der Innenfläche des Hohlraumes erweitert.
  • Dadurch, daß erfindungsgemäß sowohl in Hellfeld- als auch in Dunkelfeldbeleuchtung abgebildet werden kann, sind mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung besonders umfassende und hinsichtlich der Detektion von Oberflächendefekten aussagekräftige Prüfvorgänge ermöglicht.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist relativ einfach im Aufbau und damit relativ kostengünstig herstellbar.
  • Erfindungsgemäß ist es grundsätzlich möglich, eine Beleuchtungsanordnung mit zwei oder mehreren Lichtquellen vorzusehen, von denen eine Lichtquelle zur Realisierung der Hellfeldbeleuchtung in dem ersten axialen Abschnitt des Abbildungsbereiches und eine andere Lichtquelle zur Realisierung der Dunkelfeldbeleuchtung in dem zweiten axialen Abschnitt vorgesehen ist. Um die erfindungsgemäße Vorrichtung besonders einfach im Aufbau zu gestalten, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung eine Spiegelanordnung vor, deren Reflexionsfläche teilweise im Strahlengang der Lichtquelle angeordnet ist, derart, daß in Abbildungsposition der Vorrichtung Teilstrahlen des von der Lichtquelle emittierten Lichtes auf den zweiten axialen Abschnitt des Abbildungsbereiches auftreffen und die Reflexionsfläche andere Teilstrahlen auf den ersten axialen Abschnitt reflektiert. Bei dieser Ausführungsform ist die erfindungsgemäß vorgesehene gleichzeitige Hellfeldbeleuchtung und Dunkelfeldbeleuchtung unterschiedlicher axialer Abschnitte an der Innenfläche des Hohlraumes somit mittels einer einzigen Lichtquelle realisierbar. Teilstrahlen des emittierten Lichtes, die von der Reflexionsfläche auf den ersten axialen Abschnitt reflektiert werden, können beispielsweise zur Realisierung der Hellfeldbeleuchtung dienen, während Teilstrahlen, die an der Reflexionsfläche der Spiegelanordnung vorbei auf den zweiten axialen Abschnitt auftreffen, zur Realisierung der Dunkelfeldbeleuchtung dienen können.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung der vorgenannten Ausführungsform sieht vor, daß die Spiegelanordnung eine ringförmige Reflexionsfläche aufweist. Auf diese Weise ist eine ringförmige Beleuchtung der Innenfläche des Werkstücks erzielt. Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann die Reflexionsfläche der Spiegelanordnung im Schnitt gerade ausgebildet sein, so daß der Spiegel kegelstumpfförmig ausgebildet ist. Die Reflexionsfläche kann im Schnitt jedoch auch kreisförmig, asphärisch, parabelförmig oder in sonstiger Weise ausgebildet sein.
  • Eine andere Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß die Reflexionsfläche zur optischen Achse der Optik koaxial ist. Auf diese Weise ergibt sich eine in Umfangsrichtung der Innenfläche gleichmäßige Beleuchtung.
  • Insbesondere dann, wenn die Beleuchtungsanordnung in Richtung der optischen Achse der Optik abstrahlt, ist es zweckmäßig, daß die Reflexionsfläche zur optischen Achse wenigstens abschnittsweise winkelig angeordnet ist, wie dies eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Ausführungsform mit der Spiegelanordnung vorsieht.
  • Eine außerordentlich vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß die Optik einen Bildkwinkel von > 180°, vorzugsweise von etwa 185°, aufweist. Bei dieser Ausführungsform kann beispielsweise und insbesondere gleichzeitig ein in Richtung der optischen Achse schräg vor der Optik angeordneter, in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchteter Abschnitt und ein in Richtung der optischen Achse etwa auf Höhe der Optik oder kurz hinter der Optik angeordneter, in Hellfeldbeleuchtung beleuchteter Abschnitt der Innenfläche abgebildet werden.
  • Um eine gleichmäßige Ausleuchtung des abzubildenden Abschnitts oder der abzubildenden Abschnitte der Innenfläche zu erzielen, sieht eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung vor, daß die Beleuchtungsanordnung eine ringförmige Lichtquelle aufweist. Beispielsweise und insbesondere kann die ringförmige Lichtquelle durch eine Anordnung einer Mehrzahl von Leuchtdioden gebildet sein, die hinter einem Diffusor angeordnet sind.
  • Im Sinne eines besonders kompakten und raumsparenden Aufbaus der Vorrichtung ist es zweckmäßig, daß die Lichtquelle in Ausrichtung der optischen Achse in unmittelbarer Nähe zu der Optik angeordnet ist.
  • Gemäß einer anderen vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die Lichtquelle koaxial zur optischen Achse der Optik angeordnet.
  • Eine andere vorteilhafte Weiterbildung sieht vor, daß die Lichtquelle im wesentlichen koaxial zur optischen Achse der Optik abstrahlt.
  • Der Bildaufnehmer der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann in beliebiger geeigneter Weise ausgebildet sein. Beispielsweise ist es möglich, als Bildaufnehmer einen Ringsensor zu verwenden, der einen ringförmigen Bereich aus dem Bildkreis der Optik erfaßt. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht jedoch insoweit vor, daß der Bildaufnehmer zur Erfassung des gesamten Bildkreises der Optik ausgebildet ist. Bei dieser Ausführungsform besteht aufgrund der Erfassung des gesamten Bildkreises der Optik insbesondere die Möglichkeit, gleichzeitig mehrere ringförmige Bereiche an der Innenfläche des Werkstücks abzubilden, von denen wenigstens einer in Hellfeldbeleuchtung und wenigstens ein anderer in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet werden kann.
  • Um eine in Axialrichtung des Hohlraumes vollständige Abbildung der Innenfläche zu ermöglichen, ist es zweckmäßig, daß eine Vorschubeinrichtung für einen axialen Vorschub der Vorrichtung relativ zu dem Werkstück vorgesehen ist.
  • Die Abspeicherung von von dem Bildaufnehmer, der vorzugsweise einen digitalen Bildsensor aufweisen kann, aufgenommenen Bilddaten kann in beliebiger geeigneter Weise erfolgen. Insoweit sieht eine vorteilhafte Weiterbildung eine Speicherungseinrichtung zur Speicherung von Abbildungsdaten entsprechend der jeweiligen axialen Position der Vorrichtung relativ zu dem Werkstück vor. Bei dieser Ausführungsform werden während eines axialen Vorschubs der Vorrichtung zeitlich aufeinander folgend unterschiedliche ringförmige Bereiche an der Innenfläche des Hohlraumes abgebildet und die so gewonnenen Bilddaten abgespeichert, wobei eine Zuordnung zwischen der jeweiligen axialen Position der Vorrichtung und den jeweils gespeicherten Bilddaten gebildet ist.
  • Um eine in Umfangsrichtung der Innenfläche vollständige Abbildung zu ermöglichen, ist es zweckmäßig, daß die Optik einen Rundumblick von 360° aufweist. Entsprechende Optiken sind beispielsweise durch US 3 552 820 , US 5 473 474 , US 4 566 763 und EP 1 321 793 B1 bekannt.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist zur Untersuchung beliebiger Innenflächen eines Hohlraumes, insbesondere rotationssymmetrischer, beispielsweise zylindrischer oder im wesentlichen zylindrischer Hohlräume geeignet. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß die abzubildende Innenfläche im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet, insbesondere durch eine Zylinderbohrung eines Kurbelgehäuses gebildet ist.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert, in der stark schematisiert Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt sind. Dabei bilden alle beschriebenen, in der Zeichnung dargestellten und in den Patentansprüchen beanspruchten Merkmale für sich genommen sowie in beliebiger Kombination miteinander den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen und deren Rückbeziehung sowie unabhängig von ihrer Beschreibung bzw. Darstellung in der Zeichnung.
  • Es zeigt:
  • 1 eine schematische Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispieles einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in Abbildungsposition,
  • 2 eine Abbildung auf einem Bildaufnehmer der Vorrichtung gemäß 1,
  • 3 mittels der Vorrichtung gemäß 1 erzeugte digitale Abbilder von Abwicklungen der abzubildenden Innenfläche im Hellfeld und im Dunkelfeld,
  • 4 in gleicher Darstellung wie 1 ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 5 in gleicher Darstellung wie 1 ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 6 in gleicher Darstellung wie 1 ein viertes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • 7 in gleicher Darstellung wie 1 ein fünftes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 8 in gleicher Darstellung wie 1 ein sechstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 9 in gleicher Darstellung wie 1 ein siebtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 10 in gleicher Darstellung wie 1 ein achtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und
  • 11 in gleicher Darstellung wie 1 ein neuntes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • In den Figuren der Zeichnung sind gleiche bzw. sich entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • In 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 zur Abbildung einer Innenfläche 4 eines Hohlraumes eines Werkstücks 6 dargestellt. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Innenfläche 4 um eine Innenfläche einer Zylinderbohrung eines Kurbelgehäuses. Die Vorrichtung 2 weist eine Optik 8 mit Rundumblick von bei dem Ausführungsbeispiel 360° auf, die mit einem Bildaufnehmer 10 und einer nicht dargestellten nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Bildübertragungsverbindung steht. Der Bildaufnehmer 10 ist bei diesem Ausführungsbeispiel durch eine Digitalkamera mit einem Bildsensor 12 gebildet. Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Optik 8 um ein rein brechungsoptisch abbildendes Fisheye-Objektiv, dessen optische Achse in 1 durch eine strichpunktierte Linie 14 gekennzeichnet ist.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Optik 8 einen Bildwinkel von > 180°, nämlich ca. 185°, auf, so daß die Optik 8 nicht nur einen schräg vor der Frontlinse der Optik 8 liegenden Bereich der Innenfläche 4 erfaßt, sondern auch einen entlang der optischen Achse gegenüber der Frontlinse der Optik 8 zurückliegenden Bereich der Innenfläche 4.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Bildsensor 12 zur Erfassung des gesamten Bildkreises der Optik 8 ausgebildet. Von der Optik 8 aufgenommene Bilder der Innenfläche 4 werden von dem Bildsensor 12 des Bildaufnehmers 10 aufgezeichnet und in einer nicht dargestellten Speichereinrichtung abgespeichert.
  • Die Vorrichtung 2 weist eine Beleuchtungsanordnung 16 auf, die erfindungsgemäß relativ zu der Optik 8 derart angeordnet und ihr Strahlengang derart gewählt ist, daß ein erster axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches in Hellfeldbeleuchtung und gleichzeitig ein zu dem ersten axialen Abschnitt beabstandeter zweiter axialer Abschnitt in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtbar ist. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Beleuchtungsanordnung 16 eine ringförmige Lichtquelle 18 auf, die bei diesem Ausführungsbeispiel durch eine Mehrzahl von entlang eines Kreisringes angeordneten Leuchtdioden gebildet ist, die in einen kreisringförmigen Diffusor einstrahlen. Wie aus 1 ersichtlich ist, ist die Lichtquelle 18 in Achsrichtung der optischen Achse in unmittelbarer Nähe zu der Optik 8 angeordnet. Wie ferner aus 1 ersichtlich ist, ist die Lichtquelle 18 koaxial zu der optischen Achse 14 angeordnet und strahlt im wesentlichen koaxial zur optischen Achse 14 der Optik 8 ab.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Beleuchtungsanordnung 16 eine Spiegelanordnung 20 auf, die bei diesem Ausführungsbeispiel durch einen toroidförmigen Spiegel gebildet ist, dessen Reflexionsfläche 20 zu der optischen Achse 14 der Optik 8 geneigt ist. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Reflexionsfläche 20 im Schnitt asphärisch ausgebildet. Wie aus 1 ersichtlich ist, ist die Reflexionsfläche 20 teilweise im Strahlengang der Lichtquelle 18 angeordnet, derart, daß in der in 1 dargestellten Abbildungsposition der Vorrichtung 2 die Reflexionsfläche 20 Teilstrahlen des von der Lichtquelle 18 emittierten Lichtes auf einem ersten axialen Abschnitt an der Innenfläche 4 reflektiert. Ein entsprechender Teilstrahl ist in 1 mit den Bezugszeichen 21 bezeichnet. Andere Teilstrahlen treffen an der Reflexionsfläche 20 vorbei unmittelbar auf die Innenfläche 4 auf. In 1 sind entsprechende Teilstrahlen beispielshalber mit den Bezugszeichen 22, 24, 26 bezeichnet. Wie aus 1 ersichtlich ist, ist der erste axiale Abschnitt des Abbildungsbereiches, in dem der Teilstrahl 21 auf die Innenfläche 4 auftrifft, in Achsrichtung der optischen Achse 14 zu dem zweiten axialen Abschnitt, in dem die Teilstrahlen 22, 24, 26 auf die Innenfläche 4 auftreffen, beabstandet. Sowohl der erste axiale Abschnitt als auch der zweite axiale Abschnitt befinden sich im Abbildungsbereich der Optik 8.
  • Wie aus 1 ersichtlich ist, befindet sich der erste axiale Abschnitt in Richtung der optischen Achse etwas hinter der Optik 8, ist aufgrund des Bildwinkels der Optik 8 von 185° jedoch von dem Abbildungsbereich erfaßt.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist durch die von der Reflexionsfläche 20 auf die Innenfläche 4 reflektierten Teilstrahlen des von der Lichtquelle 18 emittierten Lichtes eine Hellfeldbeleuchtung realisiert, während durch die Teilstrahlen 22, 24, 26 eine Dunkelfeldbeleuchtung realisiert ist. Somit ist erfindungegemäß ein erster axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches, bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel der dem Teilstrahl 21 zugeordnete axiale Abschnitt, in Hellfeldbeleuchtung und gleichzeitig ein zu dem ersten axialen Abschnitt beabstandeter zweiter axialer Abschnitt, bei dem Ausführungsbeispiel der den Teilstrahlen 22, 24, 26 zugeordnete Abschnitt, in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtbar. Somit können mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 der erste axiale Abschnitt (in Hellfeldbeleuchtung) und der zweite axiale Abschnitt (in Dunkelfeldbeleuchtung) gleichzeitig oder zeitlich aufeinanderfolgend abgebildet werden.
  • Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 ist wie folgt:
    Zum Abbilden der Innenfläche 4 des Hohlraumes in dem Werkstück 6 ist die Vorrichtung 2 mittels einer Vorschubeinrichtung (nicht dargestellt) in Richtung eines Doppelpfeiles 28 relativ zu dem Werkstück 6 bewegbar.
  • Mittels der Beleuchtungsanordnung 16 wird der erste axiale Abschnitt in Hellfeldbeleuchtung (Teilstrahl 21) und der zweite axiale Abschnitt (Teilstrahlen 22, 24, 26) der Innenfläche 4 in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtet und mittels der Optik 8 auf dem Bildsensor 12 abgebildet.
  • Da der Bildsensor 12 zur Erfassung des gesamten Bildkreises der Optik 8 ausgebildet ist, können gleichzeitig mehrere ringförmige Bereiche an der Innenfläche 4 abgebildet werden, wie in 2 veranschaulicht. Durch die Bezugszeichen 21', 22', 24' und 26' ist in 2 veranschaulicht, welcher der auf dem Bildsensor 12 abgebildeten ringförmigen Bereiche jeweils den Teilstrahlen 21, 22, 24 und 26 entspricht.
  • Während des Vorschubs der Vorrichtung 2 relativ zu dem Werkstück 6 werden aufeinanderfolgend unterschiedliche axiale Bereiche der Innenfläche 4 abgebildet und in der Auswertungseinrichtung in Bilder umgesetzt, die jeweils einer Abwicklung der Innenfläche 4 entsprechen.
  • 3 veranschaulicht entsprechende Bilder 30, 32, 34, 36 im Bildspeicher der Auswertungseinrichtung, wobei das Bild 30 einer Abbildung in Hellfeldanordnung entspricht und die Bilder 32, 34, 36 einer Abbildung in Dunkelfeldanordnung entsprechen. Die Art und Weise, wie die Auswertungseinrichtung die auf dem Bildsensor abgebildeten kreisförmigen Bereiche (vgl. 2) in ein karthesisches Bild umsetzt, ist beispielsweise durch DE 10 2007 031 358 A1 bekannt, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Bezugnahme in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird.
  • Anhand der in Hellfeldanordnung bzw. Dunkelfeldanordnung aufgenommenen Bilder kann festgestellt werden, ob die zu untersuchende Innenfläche 4 hinsichtlich ihrer Oberflächenbeschaffenheit vorbestimmten Anforderungen genügt.
  • Dadurch, daß die Innenfläche sowohl in Hellfeldanordnung als auch in Dunkelfeldanordnung abgebildet werden kann, sind Oberflächendefekte besonders zuverlässig feststellbar.
  • In 4 ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, das sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 dadurch unterscheidet, daß anstelle einer rein brechungsoptisch abbildenden Optik eine katadioptrische Optik vorgesehen ist, die bei diesem Ausführungsbeispiel aus einem Abbildungsspiegel 38 und einem Abbildungsobjektiv 40 besteht. Der Abbildungsspiegel 38 ist in 4 lediglich beispielshalber als Kugelsegment dargestellt. Entsprechend den jeweiligen Anforderungen kann er jedoch auch kegelartig oder mit einem beliebigen anderen geeigneten Querschnitt, beispielsweise einem asphärischen oder konvexen Querschnitt, ausgebildet sein.
  • In 5 ist ein drittes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, bei dem in Übereinstimmung mit dem Ausführungsbeispiel gemäß 4 eine katadioptrische Optik 42 verwendet ist. zur Verbesserung der Abbildungsqualität ist die optische katadioptrische Optik 42 so ausgebildet, wie in US 4 566 763 offenbart.
  • In 6 ist ein viertes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, bei dem die katadioptrische Optik 42 so ausgebildet ist, wie in US 5 473 474 offenbart.
  • In 7 ist ein fünftes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, bei dem die katadioptrische Optik 42 so ausgebildet ist, wie in US 3 552 820 offenbart.
  • In 8 ist ein sechstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, das sich hinsichtlich der Beleuchtungsanordnung 16 von dem Ausführungsbeispiel gemäß 4 unterscheidet. Die Beleuchtungsanordnung 16 weist bei diesem Ausführungsbeispiel eine Lichtquelle 44 auf, die beispielsweise als LBD-Glühlampe, Kurzbogenlampe oder dergleichen ausgeführt Bein kann. In Strahlrichtung vor der Lichtquelle 44 ist ein Beleuchtungskondensor zur Projektion der Lichtquelle 44 angeordnet, wobei die Lichtführung des von der Lichtquelle 44 erzeugten Lichtes kongruent zum Abbildungsstrahlengang ist. Das von der Lichtquelle emittierte Licht wird über einen teildurchlässigen Umlenkspiegel 48 auf den Abbildungsspiegel 38 gelenkt.
  • 9 zeigt ein siebtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, das sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß 8 dadurch unterscheidet, daß eine katadioptrische Optik 42 entsprechend 5 verwendet wird.
  • In 10 ist ein achtes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, das sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß 8 dadurch unterscheidet, daß eine katadioptrische Optik 42 entsprechend 6 verwendet wird.
  • In 11 ist ein neuntes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 2 dargestellt, das sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß 8 dadurch unterscheidet, daß eine katadioptrische Optik 42 entsprechend 7 verwendet wird.

Claims (17)

  1. Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück, mit einer Optik mit Rundumblick, die mit einem Bildaufnehmer und einer nachgeordneten Auswertungseinrichtung in Bildübertragungsverbindung steht, und mit einer Beleuchtungsanordnung mit einer Lichtquelle zum Beleuchten eines von der Optik erfaßten Abbildungsbereiches der Innenfläche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsanordnung (16) relativ zu der Optik (8) derart angeordnet und ihr Strahlengang derart gewählt ist, daß ein erster axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches in Hellfeldbeleuchtung und gleichzeitig ein zu dem ersten axialen Abschnitt beabstandeter zweiter axialer Abschnitt des Abbildungsbereiches in Dunkelfeldbeleuchtung beleuchtbar ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Spiegelanordnung, deren Reflexionsfläche (20) teilweise im Strahlengang der Lichtquelle (18) angeordnet ist, derart, dass in Abbildungsposition der Vorrichtung (2) Teilstrahlen (22, 24, 26) des von der Lichtquelle (18) emittierten Lichtes auf den zweiten axialen Abschnitt des Abbildungsbereiches auftreffen und die Reflexionsfläche (20) andere Teilstrahlen (21) auf den ersten axialen Abschnitt reflektiert.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegelanordnung eine ringförmige Reflexionsfläche (20) aufweist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflexionsfläche (20) zur optischen Achse (14) der Optik (8) koaxial ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflexionsfläche (20) zur optischen Achse (14) der Optik (8) wenigstens abschnittsweise winkelig angeordnet ist.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik (8) einen Bildwinkel von annähernd 180° aufweist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Bildwinkel > 185° ist.
  8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsanordnung (16) eine ringförmige Lichtquelle aufweist.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (18) in Achsrichtung der optischen Achse (14) in unmittelbarer Nähe zu der Optik (8) angeordnet ist.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (18) koaxial zur optischen Achse (14) der Optik (8) angeordnet ist.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (18) annähernd koaxial zur optischen Achse (14) der Optik (8) abstrahlt.
  12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bildaufnehmer (10) zur Erfassung des gesamten Bildkreises der Optik (8) ausgebildet ist.
  13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Vorschubeinrichtung für einen axialen Vorschub der Vorrichtung (2) relativ zu dem Werkstück (6).
  14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Speicherungseinrichtung zur Speicherung von Abbildungsdaten entsprechend der jeweiligen axialen Position der Vorrichtung (2) relativ zu dem Werkstück (6).
  15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Optik (8) einen Rundumblick von 360° aufweist.
  16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die abzubildende Innenfläche (4) annähernd rotationssymmetrisch ausgebildet ist.
  17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die abzubildende Innenfläche eine Zylinderbohrung eines Kurbelgehäuses ist.
DE102009019459A 2009-05-04 2009-05-04 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück Active DE102009019459B4 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009019459A DE102009019459B4 (de) 2009-05-04 2009-05-04 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE202010017482U DE202010017482U1 (de) 2009-05-04 2010-04-15 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
EP10003957.7A EP2249147A3 (de) 2009-05-04 2010-04-15 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
CN201010169343.2A CN101881738B (zh) 2009-05-04 2010-04-29 用于对工件中的空腔内表面进行成像的设备
RU2010117246/28A RU2488098C2 (ru) 2009-05-04 2010-04-29 Устройство для отображения внутренней поверхности полости в детали
JP2010105071A JP2010261950A (ja) 2009-05-04 2010-04-30 工作物の空所の内面を模写する装置
CA2702379A CA2702379C (en) 2009-05-04 2010-05-03 Apparatus for imaging the inner surface of a cavity within a workpiece
US12/662,813 US8334971B2 (en) 2009-05-04 2010-05-04 Apparatus for imaging the inner surface of a cavity within a workpiece
BRPI1001350A BRPI1001350B1 (pt) 2009-05-04 2010-05-04 dispositivo para a reprodução da superfície interna de um espaço oco em uma peça a ser trabalhada

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009019459A DE102009019459B4 (de) 2009-05-04 2009-05-04 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102009019459A1 DE102009019459A1 (de) 2010-12-02
DE102009019459B4 true DE102009019459B4 (de) 2012-02-02

Family

ID=42629557

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102009019459A Active DE102009019459B4 (de) 2009-05-04 2009-05-04 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE202010017482U Expired - Lifetime DE202010017482U1 (de) 2009-05-04 2010-04-15 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE202010017482U Expired - Lifetime DE202010017482U1 (de) 2009-05-04 2010-04-15 Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8334971B2 (de)
EP (1) EP2249147A3 (de)
JP (1) JP2010261950A (de)
CN (1) CN101881738B (de)
BR (1) BRPI1001350B1 (de)
CA (1) CA2702379C (de)
DE (2) DE102009019459B4 (de)
RU (1) RU2488098C2 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014118753A1 (de) 2014-10-01 2016-04-07 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Prüfvorrichtung
DE102015010225A1 (de) 2015-08-12 2017-02-16 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102016113400A1 (de) 2015-08-19 2017-02-23 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102017111819A1 (de) 2017-05-30 2018-12-06 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102021105629A1 (de) 2020-03-12 2021-09-16 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102022131398A1 (de) 2022-11-28 2024-05-29 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009032353A1 (de) * 2009-07-08 2011-09-08 Hommel-Etamic Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Form eines Werkstücks
DE102009042252B4 (de) * 2009-09-22 2014-03-06 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Meßvorrichtung
DE102010035147B4 (de) 2010-08-23 2016-07-28 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Meßvorrichtung
JP2013024719A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Isc Inc 放射状照明と曲面鏡を有する検査装置。
JP5829280B2 (ja) * 2011-09-30 2015-12-09 オリンパス株式会社 内面形状測定装置、検出ヘッド及び内視鏡装置
DE102011117618B4 (de) 2011-11-04 2019-07-18 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
JP5728395B2 (ja) * 2012-01-10 2015-06-03 株式会社豊田中央研究所 円筒内周面検査用光学系及び円筒内周面検査装置
DE102012018580B4 (de) 2012-09-20 2015-06-11 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messvorrichtung und Messverfahren zur Inprozess-Messung an Prüflingen während eines Bearbeitungsvorganges an einer Bearbeitungsmaschine, insbesondere einer Schleifmaschine
CN103048336B (zh) * 2012-12-06 2015-09-23 中国科学院高能物理研究所 内窥镜、内窥镜检测系统及超导腔内表面检测系统
JP6270318B2 (ja) * 2013-01-31 2018-01-31 オリンパス株式会社 内面形状測定装置
US9611735B2 (en) * 2013-11-15 2017-04-04 Schlumberger Technology Corporation Image-based measurement of a fluid
CA2915855C (en) 2014-12-19 2019-04-16 Institut National D'optique Device for optical profilometry with conical light beams
US9880108B2 (en) 2014-12-23 2018-01-30 Mitutoyo Corporation Bore imaging system
US9759670B2 (en) * 2014-12-23 2017-09-12 Mitutoyo Corporation Bore imaging system
KR102335186B1 (ko) * 2014-12-24 2021-12-03 삼성전자주식회사 렌즈 조립체, 이를 이용한 장애물 감지유닛, 및 이를 구비한 이동로봇
DE102015209455A1 (de) 2015-05-22 2016-11-24 Sac Sirius Advanced Cybernetics Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur optischen Erfassung von Innenwandungen
CN104913740A (zh) * 2015-06-08 2015-09-16 北京航空航天大学 一种管道内壁形貌测量装置
EP3310244A1 (de) * 2015-06-19 2018-04-25 Koninklijke Philips N.V. Bildgebungssystem, element und katheter oder endoskop damit
JP6515344B2 (ja) * 2015-09-11 2019-05-22 日本製鉄株式会社 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP6689083B2 (ja) * 2016-01-22 2020-04-28 リコーエレメックス株式会社 内面検査システムおよび導光部品
DE102016112010B4 (de) * 2016-03-22 2021-03-04 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102016107135A1 (de) 2016-04-18 2017-10-19 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messanordnung
DE102016208949B4 (de) * 2016-05-24 2018-08-16 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen der Geometrie der Innenwand von Bohrungen
US9948843B2 (en) 2016-06-17 2018-04-17 Mitutoyo Corporation Super resolution bore imaging system
DE102016122695A1 (de) 2016-07-20 2018-01-25 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessvorrichtung
JP6859628B2 (ja) * 2016-08-10 2021-04-14 株式会社ジェイテクト 外観検査方法および外観検査装置
US10593718B2 (en) 2017-03-28 2020-03-17 Mitutoyo Corporation Surface profiling and imaging system including optical channels providing distance-dependent image offsets
DE102017106741B4 (de) 2017-03-29 2019-11-14 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessgerät
JP6907862B2 (ja) * 2017-09-28 2021-07-21 日本製鉄株式会社 管の内面検査装置
CN109752914A (zh) * 2017-11-01 2019-05-14 广州长步道光电科技有限公司 一种360°环视内孔侧壁检测镜头
DE102018103420A1 (de) 2018-02-15 2019-08-22 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messgerät zur Oberflächen- oder Konturmessung
FR3090133A1 (fr) * 2018-12-15 2020-06-19 Shakti Système de prise de vue pour le phénotypage racinaire plein champ.
DE102019105059A1 (de) 2018-12-19 2020-06-25 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts
DE102020108182A1 (de) 2019-05-07 2020-11-12 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessgerät
US11347039B2 (en) * 2019-05-22 2022-05-31 The Boeing Company Optical imaging and scanning of holes
EP4103934A1 (de) * 2020-02-12 2022-12-21 Abb Schweiz Ag Vorrichtung zur erfassung der oberflächenbeschaffenheit von objekten und verfahren zur herstellung der vorrichtung
IT202000004198U1 (it) 2020-07-14 2022-01-14 Opto Eng S P A Sonda boroscopica
CN114295075B (zh) * 2022-03-09 2022-06-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3552820A (en) * 1966-06-01 1971-01-05 Heinz Brachvogel Panoramic view objective using an aspherical lens
DE3232904C2 (de) * 1982-09-04 1991-02-14 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
DE4320845C1 (de) * 1993-06-23 1994-10-27 Fraunhofer Ges Forschung Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren
DE4416493A1 (de) * 1994-05-10 1995-11-16 Bosch Gmbh Robert Oberflächenprüfvorrichtung
US5473474A (en) * 1993-07-16 1995-12-05 National Research Council Of Canada Panoramic lens
EP1321793B1 (de) * 2001-11-29 2008-10-01 Tateyama R&D Co., Ltd. Panoramaobjektiv
WO2009003692A1 (de) * 2007-07-05 2009-01-08 Hommel-Etamic Gmbh Vorrichtung zur abbildung der innenfläche eines vorzugsweise zylindrischen hohlraums in einem werkstück

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5654410A (en) * 1979-10-11 1981-05-14 Machida Seisakusho:Kk Inside wall surface inspecting device of hollow body
US4394683A (en) * 1980-06-26 1983-07-19 Diffracto Ltd. New photodetector array based optical measurement systems
JPS585607A (ja) * 1981-07-02 1983-01-13 Shin Meiwa Ind Co Ltd コンクリ−ト筒体の内面仕上り状態検査装置
JPS58211166A (ja) 1982-06-02 1983-12-08 Canon Inc トナ−の製造方法
HU192125B (en) 1983-02-08 1987-05-28 Budapesti Mueszaki Egyetem Block of forming image for centre theory projection adn reproduction of spaces
JPS6454013U (de) * 1987-09-30 1989-04-04
JPS6454016U (de) * 1987-09-30 1989-04-04
US5058178A (en) * 1989-12-21 1991-10-15 At&T Bell Laboratories Method and apparatus for inspection of specular, three-dimensional features
JPH0723210U (ja) * 1992-10-12 1995-04-25 ダイハツ工業株式会社 シリンダブロックのボアの粗残り検査装置
JPH08178854A (ja) * 1994-12-20 1996-07-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 押出チューブの内面検査装置
JP3591080B2 (ja) * 1995-09-20 2004-11-17 株式会社デンソー 筒内面観察装置
JP2964976B2 (ja) * 1997-02-28 1999-10-18 日本電気株式会社 ファイバスコープ
DE19714202A1 (de) * 1997-04-07 1998-10-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
JPH10288742A (ja) * 1997-04-16 1998-10-27 Olympus Optical Co Ltd 内視鏡装置
JP2000258141A (ja) * 1999-03-04 2000-09-22 Hitachi Ltd 有底円筒部材の内周面形状検査装置およびその方法、有底円筒部材の加工方法並びに電池の製造方法
US6621516B1 (en) * 2000-02-18 2003-09-16 Thomas Wasson Panoramic pipe inspector
DE20005842U1 (de) * 2000-03-29 2000-09-07 Schich Gisbert Endoskop-Weitwinkelobjektiv mit Reflektionsflächen zur Lichtübertragung
AU2001269717A1 (en) * 2000-05-30 2001-12-11 Oyo Corp. U.S.A. Apparatus and method for detecting pipeline defects
DE20214856U1 (de) 2002-09-26 2003-01-02 Bbi Brunnen Und Bohrlochinspek Bohrlochsonde zur optischen Erfassung der inneren Wandung von Bohrlöchern und Schächten
RU2290626C2 (ru) * 2004-05-18 2006-12-27 Войсковая часть 75360 Устройство для визуального и измерительного контроля внутренних полостей
RU2267086C1 (ru) * 2004-12-10 2005-12-27 Общество с ограниченной ответственностью "Проектное бюро "Экстера" (ООО "ПБ "Экстера") Устройство для контроля параметров резьбовых трубных изделий
JP2008233715A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 円筒孔検査装置
US20100118136A1 (en) * 2007-06-13 2010-05-13 Riet Jan Arie Pieter Van Surface inspection device and an arrangement for inspecting a surface
DE102008009975B4 (de) * 2008-02-19 2015-10-22 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche einer Bohrung in einem Werkstück

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3552820A (en) * 1966-06-01 1971-01-05 Heinz Brachvogel Panoramic view objective using an aspherical lens
DE3232904C2 (de) * 1982-09-04 1991-02-14 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
DE4320845C1 (de) * 1993-06-23 1994-10-27 Fraunhofer Ges Forschung Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren
US5473474A (en) * 1993-07-16 1995-12-05 National Research Council Of Canada Panoramic lens
DE4416493A1 (de) * 1994-05-10 1995-11-16 Bosch Gmbh Robert Oberflächenprüfvorrichtung
EP1321793B1 (de) * 2001-11-29 2008-10-01 Tateyama R&D Co., Ltd. Panoramaobjektiv
WO2009003692A1 (de) * 2007-07-05 2009-01-08 Hommel-Etamic Gmbh Vorrichtung zur abbildung der innenfläche eines vorzugsweise zylindrischen hohlraums in einem werkstück

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9983149B2 (en) 2014-10-01 2018-05-29 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bore testing device
DE102014118844A1 (de) 2014-10-01 2016-04-07 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Prüfvorrichtung
DE202014010793U1 (de) 2014-10-01 2016-08-29 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Prüfvorrichtung
DE102014118844B4 (de) * 2014-10-01 2016-11-03 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsprüfvorrichtung
DE102014118753A1 (de) 2014-10-01 2016-04-07 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Prüfvorrichtung
DE202015009460U1 (de) 2015-08-12 2017-10-12 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102015010225B4 (de) * 2015-08-12 2017-09-21 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102015010225A1 (de) 2015-08-12 2017-02-16 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102016113400A1 (de) 2015-08-19 2017-02-23 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102016113503A1 (de) 2015-08-19 2017-02-23 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102016113400B4 (de) 2015-08-19 2023-11-30 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung und Bohrungsinspektionsverfahren
DE102016113503B4 (de) 2015-08-19 2024-06-13 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung und Bohrungsinspektionsverfahren
DE102017111819A1 (de) 2017-05-30 2018-12-06 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102021105629A1 (de) 2020-03-12 2021-09-16 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102022131398A1 (de) 2022-11-28 2024-05-29 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
EP2249147A2 (de) 2010-11-10
JP2010261950A (ja) 2010-11-18
DE202010017482U1 (de) 2011-11-28
CN101881738B (zh) 2014-12-24
BRPI1001350B1 (pt) 2020-04-07
DE102009019459A1 (de) 2010-12-02
BRPI1001350A2 (pt) 2011-07-26
RU2488098C2 (ru) 2013-07-20
CA2702379A1 (en) 2010-11-04
US20110001984A1 (en) 2011-01-06
US8334971B2 (en) 2012-12-18
CN101881738A (zh) 2010-11-10
EP2249147A3 (de) 2017-08-16
CA2702379C (en) 2015-11-03
RU2010117246A (ru) 2011-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009019459B4 (de) Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE102011117618B4 (de) Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE102009058215B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung eines Lagerbauteils
DE102008009975B4 (de) Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche einer Bohrung in einem Werkstück
EP1532479A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur inspektion eines objekts
DE102014118753A1 (de) Prüfvorrichtung
DE3109270A1 (de) Anordnung zur flascheninspektion
DE202017006788U1 (de) Vorrichtung zur optischen Inspektion einer Zylinderinnenwand
DE102012110793A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abbildung eines bahnförmigen Materials
DE102006054148B4 (de) Vorrichtung zum optischen Erfassen von Störungen an Körpern aus transparentem Material mit wenigstens einer ebenen Grenzfläche optischer Güte
DE102016112010B4 (de) Bohrungsinspektionsvorrichtung
EP0987541B1 (de) Einrichtung zur optischen Qualitätsprüfung einer Rohrinnenoberfläche
DE102022001850A1 (de) Mikroskopeinheit
DE102017111819B4 (de) Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE10311416B4 (de) Optische Prüfeinrichtung für Hohlkörper und Verfahren zur optischen Prüfung von Hohlkörpern
WO1995012809A1 (de) Anordnung zur beleuchtung und abbildung
DE102012010190A1 (de) Verfahren, Vorrichtung und Endoskop sowieAufsatz
DE102008049748A1 (de) Strahlteilereinrichtung
DE202006013113U1 (de) Vorrichtung zur optischen Überprüfung eines Prüfobjekts mit einer gewölbten Oberfläche
DE102008063118B4 (de) Verbesserte Vorrichtung mit einem Feldspiegel zum optischen Prüfen einer Oberfläche
DE202006017496U1 (de) Vorrichtung zum optischen Erfassen von Störungen an Körpern aus transparentem Material mit wenigstens einer ebenen Grenzfläche optischer Güte
DE102021130944A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Strahlverlaufs eines Strahls und Laseranlage
DE102005011979B4 (de) Mikroskop
DE10347389A1 (de) Anordnung zur Eliminierung von Falschlicht
DE102022001851A1 (de) Mikroskopeinheit

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final

Effective date: 20120503

R082 Change of representative

Representative=s name: PATENTANWAELTE WAGNER DR. HERRGUTH, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: JENOPTIK INDUSTRIAL METROLOGY GERMANY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: HOMMEL-ETAMIC GMBH, 78056 VILLINGEN-SCHWENNINGEN, DE

Effective date: 20130409

R082 Change of representative

Representative=s name: WAGNER, DR. HERRGUTH & PARTNER PATENTANWAELTE , DE

Effective date: 20130409

Representative=s name: WAGNER, DR. HERRGUTH PATENTANWAELTE, DE

Effective date: 20130409

Representative=s name: WAGNER, CARSTEN, DIPL.-ING. (UNIV.), DE

Effective date: 20130409

Representative=s name: PATENTANWAELTE WAGNER DR. HERRGUTH, DE

Effective date: 20130409

R082 Change of representative

Representative=s name: WAGNER, CARSTEN, DIPL.-ING. (UNIV.), DE

R082 Change of representative

Representative=s name: HOEFER & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE