DE102019105059A1 - Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts - Google Patents

Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts Download PDF

Info

Publication number
DE102019105059A1
DE102019105059A1 DE102019105059.6A DE102019105059A DE102019105059A1 DE 102019105059 A1 DE102019105059 A1 DE 102019105059A1 DE 102019105059 A DE102019105059 A DE 102019105059A DE 102019105059 A1 DE102019105059 A1 DE 102019105059A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
probe
measuring device
probe arm
axis
surface measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102019105059.6A
Other languages
English (en)
Inventor
Adelbert Leber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Original Assignee
Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH filed Critical Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Priority to CN201911306047.XA priority Critical patent/CN111336894B/zh
Priority to US16/718,883 priority patent/US11255653B2/en
Publication of DE102019105059A1 publication Critical patent/DE102019105059A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures

Abstract

Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts zum Vermessen einer Oberfläche eines Werkstücks, wobei das Oberflächenmessgerät einen Taster mit einem um eine Schwenkachse winkelauslenkbaren Tastarm aufweist, der an seinem der Schwenkachse abgewandten Ende ein Tastelement trägt, wobei der Taster relativ zu einem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts entlang einer linearen Achse verfahrbar ist, ist dadurch gekennzeichnet, dassa) ein Werkstück durch Verfahren des Tasters entlang der linearen Achse mittels des Tastelements angetastet wird,b) nach dem Antasten des Werkstücks der Tastarm entlang der linearen Achse um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird,c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarms um die Schwenkachse gemessen wird undd) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarms der Tastarm hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts.
  • Entsprechende Oberflächenmessgeräte sind beispielsweise in Form von Rauheitsmessgeräten allgemein bekannt und werden insbesondere in der industriellen Fertigungsmesstechnik eingesetzt. Sie weisen einen Taster mit einem um eine Schwenkachse winkelauslenkbaren Tastarm auf, der an seinem der Schwenkachse abgewandten Ende ein Tastelement trägt, wobei der Taster relativ zu einem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts entlang einer linearen Achse verfahrbar ist. Die bekannten Oberflächenmessgeräte weisen ferner eine Auswertungseinrichtung, die derart ausgebildet und programmiert ist, dass Winkelauslenkungen des Tastarmes während der Abtastung der Oberfläche des Werkstücks in die Oberflächenform der Oberfläche des Werkstücks repräsentierende Messwerte umgesetzt werden, und eine Steuerungseinrichtung zur Steuerung des Messvorgangs auf.
  • Zur Anpassung an unterschiedliche Messaufgaben ist bei den bekannten Oberflächenmessgerät der Tastarm austauschbar, wobei Tastarme mit unterschiedlicher Länge verwendet werden können und die Länge des Tastarmes den Messbereich des Tasters und damit des Oberflächenmessgerätes definiert.
  • Um das Auswechseln des Tastarmes besonders einfach zu gestalten, kann der Tastarm beispielsweise über eine magnetische Ankopplung mit dem Taster verbunden sein.
  • Da zu jedem Tastarm einer bestimmten Länge ein bestimmter Messbereich des Oberflächenmessgeräts gehört, ist es erforderlich, nach einem Wechsel des Tastarmes den Messbereich entsprechend dem verwendeten Tastarm einzustellen.
  • Hierbei ist es bekannt, dass eine Bedienperson nach dem Wechsel des Tastarmes den Messbereich manuell in der Software der Auswertungseinrichtung des Oberflächenmessgeräts einstellt. Falls die Bedienperson das Einstellen des Messbereiches vergisst oder einen falschen Messbereich einstellt, sind die Messwerte der nachfolgend durchgeführten Messungen falsch, was unter Umständen nicht bemerkt wird. Darüber hinaus besteht die Gefahr, dass bei automatisierten Messabläufen eine fehlerhafte Einstellung des Messbereichs dazu führt, dass die gewünschte Messposition nicht getroffen wird und es dadurch zu einer Kollision des Tastarmes bzw. Tasters mit dem Werkstück kommt. Dann besteht die Gefahr, dass das Oberflächenmessgerät beschädigt wird.
  • Es ist ferner bekannt, den Tastarm automatisch zu wechseln. Entsprechende automatisierte Vorrichtungen sind jedoch aufwendig und teuer in der Herstellung.
  • Es ist weiterhin bekannt, auswechselbare Tastarme mit einem Identifikationsmittel, beispielsweise in Form eines RFID-Chips zu versehen, sodass nach einem Wechsel des Tastarmes der verwendete Tastarm automatisch erkannt und der Messbereich des Oberflächenmessgeräts entsprechend eingestellt werden kann. Nachteilig hierbei ist, dass das Identifikationsmittel den Tastarm verteuert. Außerdem steht beispielsweise bei Tastarmen für Rauheitsmessgeräte aufgrund ihrer geringen Größe nicht genügend Platz zur Verfügung, um ein Identifikationsmittel an dem Tastarm anzubringen, sodass dann eine automatische Erkennung des Tastarmes nicht möglich ist.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts anzugeben, das Fehlmessungen vermeidet.
  • Diese Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, eine automatische Erkennung der Länge des Tastarmes und damit eine automatische Einstellung des zugehörigen Messbereichs zu realisieren, ohne dass hierzu zusätzliche Hardware erforderlich ist.
  • Die Erfindung macht sich auf geschickte Weise zu Nutze, dass aufgrund des Aufbaus des Oberflächenmessgeräts, bei dem der Tastarm an seinem einen Ende ein Tastelement trägt und im Bereich seines anderen Endes um eine Schwenkachse winkelauslenkbar gelagert ist, beim Verfahren des Tasters um einen vorgegebenen Verfahrwegs entlang der linearen Achse unterschiedliche Längen des Tastarmes unterschiedlichen Winkelauslenkungen des Tastarmes um die Schwenkachse führen. Hiervon ausgehend sieht die Erfindung vor, dass bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
    1. a) ein Werkstück durch Verfahren des Tasters entlang der linearen Achse mittels des Tastelements angetastet wird,
    2. b) nach dem Antasten des Werkstücks der Taster mit dem Tastarm entlang der linearen Achse um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird,
    3. c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarmes um die Schwenkachse gemessen wird und
    4. d) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarmes der Tastarm hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird.
  • Erfindungsgemäß wird also nach dem Antasten des Werkstücks der Taster entlang der linearen Achse, die beispielsweise die z-Achse ist und durch eine Messsäule des Oberflächenmessgeräts definiert sein kann, relativ zu dem Werkstück um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren. Der Verfahrweg kann durch ein Wegmesssystem gemessen werden, das bei Oberflächenmessgeräten in der Regel ohnehin an der Messsäule vorgesehen ist.
  • Das Verfahren des Tasters und damit des Tastarmes entlang der linearen Achse führt zu einer Winkelauslenkung des Tastarmes um die Schwenkachse, die durch die Auswertungseinrichtung registriert wird. Bei einer vorgegebenen linearen Bewegung der Schwenkachse entsprechend dem vorgegebenen Verfahrwegs tritt bei Tastarmen unterschiedlicher Länge eine unterschiedliche Winkelauslenkung (Winkeländerung) um die Schwenkachse auf. Dies macht sich die Erfindung zu Nutze, um den jeweils verwendeten Tastarm entsprechend seiner Länge zu klassifizieren. Beispielsweise und insbesondere besteht erfindungsgemäß die Möglichkeit, hiervon ausgehend den zugehörigen Messbereich des Oberflächenmessgeräts automatisch einzustellen.
  • Das auf diese Weise realisierte Verfahren zur automatischen Tastarmerkennung kann nach dem Wechseln eines Tastarmes gesteuert durch die Steuerungseinrichtung automatisch ablaufen. Es ist auch möglich, die automatische Tastarmerkennung vor jeder Messung durchzuführen, beispielsweise und insbesondere unmittelbar nach dem Antasten des Werkstücks.
  • Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass die automatische Tastarm(längen-)erkennung keinerlei zusätzliche Hardware erfordert, sondern ausschließlich unter Verwendung der ohnehin vorhandenen Hardware möglich ist.
  • Die Erfindung stellt damit ohne zusätzliche Kosten für Hardware eine neue und vorteilhafte Funktionalität für Oberflächenmessgeräte bereit.
  • Die erfindungsgemäße automatische Tastarm(längen)erkennung macht eine manuelle Einstellung des Messbereichs durch eine Bedienperson überflüssig, wenn ausgehend von der vorgenommenen Klassifizierung des Tastarm sind sie seiner Länge der Messbereich des Messgerätes automatisch eingestellt wird. Dies spart Zeit und Kosten.
  • Dadurch, dass erfindungsgemäß eine automatische Tastarm(längen-)erkennung realisiert ist und dementsprechend nach erfolgter Tastarm(längen-)erkennung der zu dem betreffenden Tastarm gehörige Messbereich automatisch eingestellt werden kann, sind Messfehler, die von einer nicht zutreffenden Einstellung des Messbereichs herrühren, zuverlässig vermieden. Dies steigert die Messgenauigkeit und erhöht die Produktivität bei der Durchführung von Messungen mittels des erfindungsgemäßen Oberflächenmessgeräts.
  • In Anwendung des Grundgedankens der Erfindung können bei einem Oberflächenmessgerät noch weitere Funktionalitäten realisiert werden.
  • So ist es beispielsweise möglich, eine Funktionsprüfung des Tasters, beispielsweise eines Rauheitstasters, durchzuführen. Hierzu wird nach dem Antasten der Oberfläche eines Werkstücks der Taster entlang der linearen Achse so verfahren, dass der gesamte Messbereich des Rauheitstasters „durchfahren“ wird. Hierbei wird der Signalverlauf des Messwertes im Vergleich zu dem zugehörigen linearen Verfahrweg (Höhenänderung des Tasters entlang der z-Achse) beobachtet. Auf diese Weise ist feststellbar, ob der Verlauf des Messsignals in Abhängigkeit vom Verfahrwegs des Tasters entlang der linearen Achse stetig ist. Bei stetigem Verlauf ist sichergestellt, dass der Taster mechanisch funktioniert, also beispielsweise das Tasterlager nicht hängenbleibt.
  • Eine weitere Funktionalität besteht darin, die Linearität des Tasters zu überprüfen, indem wiederum der Messbereich des Tasters „durchfahren“ und festgestellt wird, ob ein linearer Verfahrweg zu einem linearen Anstieg des Tasterausgangssignals führt.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass in Schritt d)
    • d1) aus dem vorgegebenem Verfahrweg und der gemessenen resultierenden Winkelauslenkung des Tastarmes die Länge des Tastarmes berechnet wird und
    • d2) die Klassifizierung des Tastarmes durch Vergleich der berechneten Länge des Tastarmes mit den Längen vorgegebener Tastarme vorgenommen wird.
  • Da in der Regel nur relativ wenige Tastarme mit vorbekannten, sich deutlich unterscheidenden Längen zur Verfügung stehen, ist es ausreichend, die Berechnung der Länge des Tastarmes mit einer relativ geringen Genauigkeit auszuführen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren kann verwendet werden, um eine von einer Bedienperson des Oberflächenmessgeräts getroffene Auswahl der Tastarmlänge zu überprüfen. Es ist erfindungsgemäß auch möglich, die ermittelte Tastarmlänge anzuzeigen und von einer Bedienperson des Oberflächenmessgeräts bestätigen zu lassen. Eine außerordentlich vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass ein Messbereich des Oberflächenmessgeräts entsprechend der Klassifizierung des Tastarms hinsichtlich seiner Länge automatisch eingestellt wird. Bei dieser Ausführungsform erfolgt die Einstellung des Messbereichs des Oberflächenmessgeräts automatisch, sodass auf einer fehlerhaften Einstellung des Messbereichs durch eine Bedienperson beruhende Messfehler zuverlässig vermieden sind.
  • Bei dem Oberflächenmessgerät, das mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens betrieben wird, kann es sich entsprechend den jeweiligen Anforderungen um ein beliebiges Oberflächenmessgerät handeln. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht insoweit vor, dass das Oberflächenmessgerät ein Rauheitsmessgerät, ein Konturmessgerät oder ein Formmessgerät ist. Die Erfindung ist insbesondere für Rauheitsmessgeräte besonders geeignet, weil die Tastarme von Rauheitsmessgeräten aufgrund ihrer geringen Abmessungen häufig eine Anbringung eines Identifikationsmittels, beispielsweise in Form eines RFID-Chips, nicht zulassen und damit eine automatische Tastarmerkennung unter Verwendung eines entsprechenden Identifikationsmittels ausscheidet.
  • Eine andere zweckmäßige Weiterbildung sieht vor, dass die lineare Achse eine vertikale Achse ist, wobei entsprechend einer anderen Weiterbildung die lineare Achse durch eine Messsäule des Oberflächenmessgeräts definiert ist.
  • Gemäß einer anderen zweckmäßigen Weiterbildung der Erfindung ist der Taster ein taktiler Taster.
  • Eine andere vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass der Taster mittels einer Vorschubeinrichtung mit dem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts verbunden ist und die Vorschubeinrichtung eine lineare Vorschubachse definiert, wobei eine Neigung der linearen Vorschubachse relativ zur Waagerechten ermittelt und in die Klassifizierung des Tastarmes hinsichtlich seiner Länge einbezogen wird. Diese Ausführungsform geht von der Erkenntnis aus, dass aus einer nicht waagerechten Ausrichtung der linearen Vorschubachse der Vorschubeinrichtung eine Projektion des Tastermesswertes resultiert, die von der Neigung der Vorschubachse abhängt. Die Neigung der Vorschubachse kann durch Verwendung einer motorischen Kippeinrichtung berücksichtigt werden. Sie können jedoch auch durch einen in der Vorschubeinrichtung angeboten Neigungssensor berücksichtigt werden.
  • Ein erfindungsgemäßes Oberflächenmessgerät zur Vermessung einer Oberfläche eines Werkstücks während eines Messvorgangs ist im Anspruch 10 angegeben. Es weist einem Grundkörper und einen Taster auf, der einen um eine Schwenkachse winkelauslenkbaren Tastarm aufweist, der an seinem der Schwenkachse abgewandten Ende ein Tastelement zur Abtastung der Oberfläche des Werkstücks trägt, wobei der Taster relativ zu dem Grundkörper entlang einer linearen Achse verfahrbar ist. Das erfindungsgemäße Oberflächenmessgerät weist ferner eine Auswertungseinrichtung, die derart ausgebildet und programmiert ist, dass Winkelauslenkungen des Tastarmes während der Abtastung der Oberfläche des Werkstücks in die Oberflächenform der Oberfläche des Werkstücks repräsentierende Messwerte umgesetzt werden, und eine Steuerungseinrichtung zur Steuerung des Messvorgangs auf. Erfindungsgemäß ist, ist die Steuerungseinrichtung derart ausgebildet und programmiert, dass
    1. a) ein Werkstück durch Verfahren des Tasters entlang der linearen Achse mittels des Tastelements angetastet wird,
    2. b) nach dem Antasten des Werkstücks der Taster mit dem Tastarm entlang der linearen Achse um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird,
    3. c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarmes um die Schwenkachse gemessen wird,
    4. d) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarmes der Tastarm hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird.
  • Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Oberflächenmessgeräts sind in den Ansprüchen 11 bis 18 angegeben. Es ergeben sich sinngemäß die gleichen Vorteile und Eigenschaften, wie bei dem erfindungsgemäßen Verfahren und seinen Weiterbildungen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügte schematisierte Zeichnung näher erläutert. Dabei bilden alle beschriebenen, in der Zeichnung dargestellten und in den Patentansprüchen beanspruchten Merkmale für sich genommen sowie in beliebiger geeigneter Kombination miteinander den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen und deren Rückbezügen sowie unabhängig von ihrer Beschreibung bzw. Darstellung in der Zeichnung.
  • Es zeigt:
    • 1 in einer Perspektivansicht ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgeräts zur Durchführung eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Verfahrens und
    • 2A und 2B eine Prinzipskizze zur Verdeutlichung des Grundprinzips der Erfindung.
  • In 1 ist ein Messplatz mit einem Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Oberflächenmessgerätes 2 in Form eines Rauheitsmessgeräts dargestellt, das einen Taster 3 (Messtaster) mit einem Tastarm 4 aufweist, der ein in 1 nicht erkennbares Tastelement zur Antastung einer Oberfläche eines zu vermessenden Werkstücks trägt. Das Oberflächenmessgerät 2 weist eine Vorschubeinrichtung 6 auf, deren feststehender Grundkörper 8 höhen- und neigungsverstellbar an einer Messsäule 10 angeordnet ist, die an einer Grundplatte 12 (Grundkörper) montiert ist. Der Tastarm 4 ist über eine mechanische Schnittstelle 14 mit einem Schlitten 16 der Vorschubeinrichtung 6 auswechselbar verbunden.
  • Bei Betrieb des Oberflächenmessgerätes 2 bewegt sich der Schlitten 16 der Vorschubeinrichtung 6 relativ zu dem Grundkörper 8 entlang einer linearen Vorschubachse, sodass mittels des an dem Tastarm 4 angebrachten Tastelements ein zu vermessendes Werkstück abgetastet werden kann. Der grundsätzliche Aufbau eines entsprechenden Oberflächenmessgeräts einschließlich Taster und Vorschubeinrichtung ist dem Fachmann allgemein bekannt und wird daher nicht näher erläutert.
  • Während der Abtastung des Werkstücks gibt der Taster 3 die Oberflächenform des Werkstücks repräsentierende Tasterrohdaten aus. Die Tasterrohdaten werden in einer mit dem Taster 3 in Datenübertragungsverbindung stehenden oder bringbaren Auswertungseinrichtung 18 ausgewertet. Die Auswertungseinrichtung 18 ist in 1 rein symbolisch dargestellt und die Datenübertragungsverbindung zwischen dem Taster 3 und der Auswertungseinrichtung 18 durch eine gestrichelte Linie 20 symbolisiert.
  • Die Auswertungseinrichtung 18 ist derart ausgebildet und programmiert ist, dass Winkelauslenkungen des Tastarmes während der Abtastung der Oberfläche des Werkstücks in die Oberflächenform der Oberfläche des Werkstücks repräsentierende Messwerte umgesetzt werden.
  • Zur Steuerung des Messvorgangs ist eine Steuerungseinrichtung 22 vorgesehen.
  • Der Tastarm 4 ist um eine Schwenkachse 24 winkelauslenkbar an dem Taster 3 gelagert (vgl. 2A) und trägt an seinem der Schwenkachse abgewandten Ende ein Tastelement 26, beispielsweise in Form einer Tastspitze, zur Abtastung der Oberfläche des Werkstücks, wobei der Taster relativ zu der Messsäule entlang einer linearen Achse verfahrbar ist, die in 1 durch eine strickpunktierte Linie 28 symbolisiert ist. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die lineare Achse 28 die z-Achse.
  • Zur Anpassung an unterschiedliche Messaufgaben ist der Tastarm 4 auswechselbar, wobei sich die Tastarme hinsichtlich ihrer Länge unterscheiden und jeder Tastarmlänge ein Messbereich des Oberflächenmessgeräts 2 zugeordnet ist.
  • Erfindungsgemäß wird nach einem Wechsel eines Tastarmes 4 automatisch der zugehörige Messbereich des Oberflächenmessgeräts 2 mittels eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Betreiben des Oberflächenmessgeräts 2 eingestellt.
  • Hierzu ist die Steuerungseinrichtung 22 bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel derart ausgebildet und programmiert, dass
    1. a) ein Werkstück durch Verfahren des Tasters 3 entlang der linearen Achse 28 mittels des Tastelements angetastet wird,
    2. b) nach dem Antasten des Werkstücks der Tastarm 4 entlang der linearen Achse 28 um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird,
    3. c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarmes 4 um die Schwenkachse gemessen wird,
    4. d) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarmes 4 der Tastarm 4 hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird und
    5. e) entsprechend der Klassifizierung des Tastarmes 4 hinsichtlich seiner Länge ein Messbereich des Oberflächenmessgeräts 2 automatisch eingestellt wird.
  • Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens vollzieht sich wie folgt:
    • 2A und 2B zeigen eine Prinzipskizze zur Verdeutlichung des Grundprinzips des erfindungsgemäßen Verfahrens. In 2B ist aus Gründen der Veranschaulichung ein Tastarm 4` dargestellt, dessen Länge doppelt so groß ist wie die Länge eines Tastarmes 4 gemäß 2A.
    • In 2A und 2B ist ein Tastelement 30 dargestellt, das der Tastarm 4 bzw. 4` an seinem der Schwenkachse 24 abgewandten Ende trägt.
  • Ein zu vermessendes Werkstück ist in 4A bzw. 4B symbolisch dargestellt und mit dem Bezugszeichen 32 bezeichnet.
  • Zur Durchführung eines Messvorgangs, bei dem die Oberfläche des Werkstücks 32 vermessen wird, wird das Werkstück 32 zunächst durch Verfahren des Tasters 3 entlang der linearen Achse 28 angetastet (Schritt a) des erfindungsgemäßen Verfahrens). In 2A ist beispielhaft dargestellt, dass das Tastelement 30 an der Oberfläche des Werkstücks 32 anliegt und der Tastarm 4 annähernd waagerecht angeordnet ist.
  • Nach dem so vollzogenen Antasten des Werkstücks 32 wird der Taster 3 mit dem Tastarm 4 entlang der linearen Achse 28 (z-Achse) um einen vorgegebenen Verfahrweg z1 verfahren, und zwar bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel in 2A nach oben (Schritt b) des erfindungsgemäßen Verfahrens).
  • Hierbei bleibt das das Tastelement 30 in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks 32, sodass sich die Winkelauslenkung des Tastarmes 4 um die Schwenkachse 24 ändert. Diese Änderung der Winkelauslenkung (Winkel α1 in 2A) wird gemessen und durch die Auswertungseinrichtung 18 registriert (Schritt c) des erfindungsgemäßen Verfahrens).
  • In der in 2B dargestellten Konstellation mit einem Tastarm 4' doppelter Länge führt ein Verfahren des Tasters 3 mit den Tastarm 4 um denselben linearen Verfahrweg z1 zu einer geringeren Winkelauslenkung des Tastarmes 4 (Winkel α2 in 2B) .
  • Da also bei vorgegebenem Verfahrweg entlang der linearen Achse 28 die resultierende Winkelauslenkung des Tastarmes 4 bzw. 4` unmittelbar von der Länge des Tastarmes 4 bzw. 4` abhängt, kann aus der gemessenen Winkelauslenkung unmittelbar auf die Länge des Tastarmes 4 bzw. 4` geschlossen werden.
  • In Schritt d) kann damit anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarmes 4 bzw. 4' der Tastarm 4 bzw. 4` hinsichtlich seiner Länge klassifiziert werden.
  • Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Auswertungseinrichtung derart ausgebildet und programmiert, dass in Schritt d)
    • d1) aus dem vorgegebenem Verfahrweg und der gemessenen resultierenden Winkelauslenkung des Tastarmes die Länge des Tastarmes berechnet wird und
    • d2) die Klassifizierung des Tastarmes durch Vergleich der berechneten Länge des Tastarmes mit den Längen vorgegebener Tastarme vorgenommen wird.
  • Nachdem der Tastarm 4 bzw. 4` durch Berechnung seiner Länge und Vergleich der berechneten Länge mit den Längen vorgegebener Tastarme klassifiziert und durch Erkennung seiner Länge identifiziert worden ist, kann der Messbereich des Oberflächenmessgeräts 2 automatisch entsprechend eingestellt werden.
  • Die Erfindung ermöglicht damit auf besonders einfache Weise ohne zusätzliche Hardware eine automatische Erkennung von Tastarmen unterschiedlicher Länge und eine entsprechend automatische Einstellung des zugehörigen Messbereichs des Oberflächenmessgeräts 2. Messfehler durch eine nach einem Wechsel des Tastarmes nicht oder fehlerhaft vorgenommene Einstellung des zugehörigen Messbereichs des Oberflächenmessgeräts sind damit zuverlässig vermieden.

Claims (18)

  1. Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts zum Vermessen einer Oberfläche eines Werkstücks, wobei das Oberflächenmessgerät einen Taster mit einem um eine Schwenkachse winkelauslenkbaren Tastarm aufweist, der an seinem der Schwenkachse abgewandten Ende ein Tastelement trägt, wobei der Taster relativ zu einem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts entlang einer linearen Achse verfahrbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass a) ein Werkstück durch Verfahren des Tasters entlang der linearen Achse mittels des Tastelements angetastet wird, b) nach dem Antasten des Werkstücks der Tastarm entlang der linearen Achse um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird, c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarms um die Schwenkachse gemessen wird und d) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarms der Tastarm hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in Schritt d) d1) aus dem vorgegebenem Verfahrweg und der gemessenen resultierenden Winkelauslenkung des Tastarmes die Länge des Tastarmes berechnet wird und d2) die Klassifizierung des Tastarmes durch Vergleich der berechneten Länge des Tastarmes mit den Längen vorgegebener Tastarme vorgenommen wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Messbereich des Oberflächenmessgeräts entsprechend der Klassifizierung des Tastarms hinsichtlich seiner Länge automatisch eingestellt wird.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Oberflächenmessgerät ein Rauheitsmessgerät, ein Konturmessgerät oder ein Formmessgerät ist.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Achse eine vertikale oder horizontale Achse ist.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Achse durch eine Messsäule des Oberflächenmessgeräts definiert ist.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Taster ein taktiler Taster ist.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Taster mittels einer Vorschubeinrichtung mit dem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts verbunden ist und die Vorschubeinrichtung eine lineare Vorschubachse definiert, wobei eine Neigung der linearen Vorschubachse relativ zur Waagerechten ermittelt und in die Klassifizierung des Tastarms hinsichtlich seiner Länge einbezogen wird.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der linearen Achse ein Wegmesssystem zugeordnet ist.
  10. Oberflächenmessgerät (2) zur Vermessung einer Oberfläche eines Werkstücks (32) während eines Messvorgangs, mit einem Grundkörper, mit einem Taster (3), der einen um eine Schwenkachse (24) für winkelauslenkbaren Tastarm (4) aufweist, der an seinem der Schwenkachse (24) abgewandten Ende ein Tastelement (30) zur Abtastung der Oberfläche des Werkstücks (32) trägt, wobei der Taster (3) relativ zu dem Grundkörper entlang einer linearen Achse (28) verfahrbar ist, mit einer Auswertungseinrichtung (18), die derart ausgebildet und programmiert ist, dass Winkelauslenkungen des Tastarmes (4) während der Abtastung der Oberfläche des Werkstücks (32) in die Oberflächenform der Oberfläche des Werkstücks repräsentierende Messwerte umgesetzt werden und mit einer Steuerungseinrichtung (22) zur Steuerung des Messvorgangs, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinrichtung (22) derart ausgebildet und programmiert ist, dass a) ein Werkstück (32) durch Verfahren des Tasters (3) entlang der linearen Achse (28) mittels des Tastelements (30) angetastet wird, b) nach dem Antasten des Werkstücks (32) der Taster (3) mit dem Tastarm (4) entlang der linearen Achse 28 um einen vorgegebenen Verfahrweg verfahren wird, c) die resultierende Winkelauslenkung des Tastarmes (4) um die Schwenkachse (24) gemessen wird, d) anhand des vorgegebenen Verfahrwegs und der gemessenen Winkelauslenkung des Tastarmes (4) der Tastarm (4) hinsichtlich seiner Länge klassifiziert wird.
  11. Oberflächenmessgerät nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertungseinrichtung (18) derart ausgebildet und programmiert ist, dass in Schritt d) d1) aus dem vorgegebenem Verfahrweg und der gemessenen resultierenden Winkelauslenkung des Tastarmes die Länge des Tastarmes berechnet wird und d2) die Klassifizierung des Tastarmes durch Vergleich der berechneten Länge des Tastarmes mit den Längen vorgegebener Tastarme vorgenommen wird.
  12. Oberflächenmessgerät nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinrichtung (22) derart ausgebildet und programmiert ist, dass entsprechend der Klassifizierung des Tastarmes (4) hinsichtlich seiner Länge ein Messbereich des Oberflächenmessgeräts (2) automatisch eingestellt wird.
  13. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Oberflächenmessgerät (2) ein Rauheitsmessgerät, ein Konturmessgerät oder ein Formmessgerät ist.
  14. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Achse (28) eine vertikale oder horizontale Achse ist.
  15. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die lineare Achse (28) durch eine Messsäule (10) des Oberflächenmessgeräts (2) definiert ist.
  16. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Taster (4) ein taktiler Taster ist.
  17. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Taster (4) mittels einer Vorschubeinrichtung (6) mit dem Grundkörper des Oberflächenmessgeräts (2) verbunden ist und die Vorschubeinrichtung (6) eine lineare Vorschubachse definiert, wobei eine Neigung der linearen Vorschubachse relativ zur Waagerechten ermittelt und in die Klassifizierung des Tastarmes (4) hinsichtlich seiner Länge einbezogen wird.
  18. Oberflächenmessgerät nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Oberflächenmessgerät (2) ein Wegmesssystem aufweist, dass der linearen Achse (28) zugeordnet ist.
DE102019105059.6A 2018-12-19 2019-02-28 Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts Pending DE102019105059A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911306047.XA CN111336894B (zh) 2018-12-19 2019-12-17 表面测量设备的操作方法
US16/718,883 US11255653B2 (en) 2018-12-19 2019-12-18 Method for operating a surface measurement apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102018132912 2018-12-19
DE102018132912.1 2018-12-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102019105059A1 true DE102019105059A1 (de) 2020-06-25

Family

ID=70969190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102019105059.6A Pending DE102019105059A1 (de) 2018-12-19 2019-02-28 Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11255653B2 (de)
CN (1) CN111336894B (de)
DE (1) DE102019105059A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11254416B2 (en) * 2019-05-16 2022-02-22 The Boeing Company Method and apparatus for remote angle calibration and measurement

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1042154B1 (en) * 2016-11-21 2018-05-28 Reginald Galestien a method and direct reference-plane-standards for the fast and accurate determining of the axial position of the gauge plane on the center line of conical objects such as conical gauges, plain or with screw thread, internal and external, with the aim in this gauge plane the accurate measurement of the diameters of plain conical gauges and the major diameter, minor diameter and pitch diameter of screw thread gauges using a known 2 dimensional scanning measuring machine.
WO2018201337A1 (zh) * 2017-05-03 2018-11-08 大连理工大学 大型圆环面形状误差在位测量系统
DE102020108406A1 (de) * 2020-03-26 2021-09-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Taktiler oder/und optischer Abstandssensor, System mit einem solchen Abstandssensor und Verfahren zur Kalibrierung eines solchen Abstandssensors oder eines solchen Systems

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10332304A (ja) * 1997-06-04 1998-12-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd 測定機の校正方法及びその装置
EP2500684B1 (de) * 2011-03-18 2014-06-25 Mitutoyo Corporation Verfahren zur Kalibrierung eines Oberflächentexturmessgeräts

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3942254A (en) * 1974-05-30 1976-03-09 Illinois Tool Works Inc. True index gear tooth space checking machine
GB2098331A (en) * 1981-05-12 1982-11-17 Sangamo Weston Controls Parallel motion displacement transducers
CH679334A5 (de) * 1989-09-11 1992-01-31 Weber Hans R
KR100278409B1 (ko) * 1995-08-31 2001-01-15 에드워드 제이.펠타 커터헤드의 트루잉방법 및 트루잉장치
DE10348887A1 (de) * 2002-10-23 2004-05-13 Carl Zeiss Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät
CN2655176Y (zh) * 2003-06-06 2004-11-10 上海凯力博电器仪表成套有限公司 粗糙度轮廓仪
GB0322362D0 (en) * 2003-09-24 2003-10-22 Renishaw Plc Measuring methods for use on machine tools
CA2734683C (en) * 2008-10-09 2013-07-09 Leica Geosystems Ag Device for marking or processing a surface, tool, and articulated arm
DE102009019459B4 (de) 2009-05-04 2012-02-02 Hommel-Etamic Gmbh Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE102009032353A1 (de) 2009-07-08 2011-09-08 Hommel-Etamic Gmbh Verfahren zur Ermittlung der Form eines Werkstücks
DE102009042252B4 (de) 2009-09-22 2014-03-06 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Meßvorrichtung
DE102010013069B4 (de) 2010-03-26 2012-12-06 Hommel-Etamic Gmbh Meßvorrichtung
DE102010018820B3 (de) 2010-04-29 2011-10-13 Hommel-Etamic Gmbh Verfahren zur Ermittlung einer Drallstruktur
DE102010035147B4 (de) 2010-08-23 2016-07-28 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Meßvorrichtung
CN102445147A (zh) * 2010-10-06 2012-05-09 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 影像量测机台测头模拟系统及方法
DE102011013089A1 (de) 2011-03-04 2012-09-06 Hommel-Etamic Gmbh Kurbelwellen-Prüfverfahren
DE102011117618B4 (de) 2011-11-04 2019-07-18 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Vorrichtung zur Abbildung der Innenfläche eines Hohlraumes in einem Werkstück
DE102012004339B4 (de) 2012-03-07 2013-09-26 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messkörper einer pneumatischen Messvorrichtung
EP2677270B1 (de) * 2012-06-22 2015-01-28 Hexagon Technology Center GmbH Gelenkarm-CMM
DE102012018580B4 (de) 2012-09-20 2015-06-11 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messvorrichtung und Messverfahren zur Inprozess-Messung an Prüflingen während eines Bearbeitungsvorganges an einer Bearbeitungsmaschine, insbesondere einer Schleifmaschine
JP5747180B2 (ja) * 2012-12-06 2015-07-08 パナソニックIpマネジメント株式会社 形状測定方法および形状測定装置
GB201309506D0 (en) * 2013-05-28 2013-07-10 Renishaw Plc Methods of controlling a coordinate positioning machine
US9163921B2 (en) * 2013-12-18 2015-10-20 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine
DE102014113553B3 (de) 2014-09-19 2015-09-17 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Kurbellagerflanken-Messvorrichtung
DE102014118753A1 (de) 2014-10-01 2016-04-07 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Prüfvorrichtung
DE202014011033U1 (de) 2014-12-16 2017-06-23 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messvorrichtung
JP6447997B2 (ja) * 2015-02-09 2019-01-09 株式会社ミツトヨ テストインジケータ
DE202015009460U1 (de) 2015-08-12 2017-10-12 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Bohrungsinspektionsvorrichtung
DE102015115718B4 (de) 2015-09-17 2018-10-11 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Rundheits- und/oder Dimensions-Messvorrichtung
DE102016107135A1 (de) 2016-04-18 2017-10-19 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messanordnung
DE102016122695A1 (de) 2016-07-20 2018-01-25 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Oberflächenmessvorrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10332304A (ja) * 1997-06-04 1998-12-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd 測定機の校正方法及びその装置
EP2500684B1 (de) * 2011-03-18 2014-06-25 Mitutoyo Corporation Verfahren zur Kalibrierung eines Oberflächentexturmessgeräts

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11254416B2 (en) * 2019-05-16 2022-02-22 The Boeing Company Method and apparatus for remote angle calibration and measurement

Also Published As

Publication number Publication date
CN111336894A (zh) 2020-06-26
US20200200519A1 (en) 2020-06-25
CN111336894B (zh) 2022-01-14
US11255653B2 (en) 2022-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102019105059A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts
EP2909577B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur dickenmessung an messobjekten
EP2427722B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung eines oberflächenprofils
DE102013202445A1 (de) Verfahren zur Steuerung eines Gerätesystems beim Trennen eines Werkstückes entlang einer Trennlinie
DE102010014386A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Schraubenfedern durch Federwinden
WO2002027270A1 (de) Koordinatenmessgerät
DE19809589B4 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines Tasters eines Koordinatenmeßgerätes
DE102009053874A1 (de) Roboter zur automatischen 3D-Vermessung und Verfahren
DD226063A5 (de) Geraet und verfahren zur pruefung des zahnflankenprofils und der zahnflankenlinien von zahnraedern auf verzahnmaschinen oder zahnflankenschleifmaschinen
DE102014110801A1 (de) Verfahren zur Ausrichtung eines an einem Koordinatenmessgerät angeordneten Rauheitssensors sowie Koordinatenmessgerät zur Durchführung des Verfahrens
WO1999058931A1 (de) Steuerung eines koordinatenmessgerätes mit einem prüfmerkmal und nachfolgendem geometrieelement
EP0153575A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen und Aussortieren von Ziegeln
DE102018218910A1 (de) Ermittlung einer Ausrichtung von wenigstens einem Objekt und Verfahren zum relativen Ausrichten von Rollen
DE102016123122B3 (de) Haptic-Test-Messvorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Kraft-Weg-Kurve bei einer Haptic-Test-Messung
DE102007024197A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen
DE102008038932A1 (de) Schwenkbiegemaschine
DE202017007038U1 (de) Oberflächenmessgerät
DE102012003321A1 (de) Einrichtung zur Vermessung von Kolbenringen
DE102019126976A1 (de) Taster eines Kontur- und/oder Rauheitsmessgeräts
DE102010011841B4 (de) Verfahren zur Validierung eines Messergebnisses eines Koordinatenmessgeräts
EP2369313A1 (de) Kalibrieranordnung für eine elektronische Waage
DE102006021124B4 (de) Taster zur Abtastung der Oberfläche eines Werkstücks
DE102015110178B4 (de) Messvorrichtung
DE102017108033A1 (de) Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften einer Werkstückoberfläche
DE102017116772B4 (de) Verfahren zur Durchführung einer Geradheitskompensation bei einem Form- oder Konturmessgerät

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R082 Change of representative

Representative=s name: HOEFER & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE