DE4320845C1 - Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren, die vorzugsweise kreiszylindrisch sind, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Streulicht von Oberflächen trägt Informationen über die geometrische und optische Beschaffenheit von Oberflächen. Streulichtmeßverfahren an ebenen oder schwach gekrümmten größeren Oberflächen sind allgemein in der Praxis verbreitet. Die Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren mit relativ kleinen Durchmessern (einige mm bis cm) und zum Teil großen Längen bereitet Schwierigkeiten. Bekannte Lösungen benutzen zur Anregung des Streulichtes einen Laserstrahl, der kollimiert und in den meisten Fällen axial mittels einer optischen Anordnung in die zu untersuchende Bohrung über den optisch freien Raum (Luft) geführt wird. In Höhe des zu untersuchenden Flächenausschnitts wird der Laserstrahl über einen Spiegel, Prismen oder ähnliche reflektierende Anordnungen auf die Wandung der Bohrung gelenkt. Das von der Wandung gestreute Licht wird entweder über den Beleuchtungsspiegel direkt oder über Lichtleitfaserbündel nach außen geführt und mit Photodiodenmatrizen oder Bildverarbeitungssystemen detektiert.

In DE-PS 34 22 772.5 ist eine "Vorrichtung zur berührungslosen Innengewindemessung" beschrieben. Ein zylindrischer Kunststoffkörper enthält koaxiale Lichtleitkabel. Die koaxialen Lichtleitkabel enden in der Zylinderwandung des Kunststoffkörpers. Eine laserlichtgespeiste Monomode-Lichtleitfaser bildet die Seele des Lichtleitfaserbündels.

Die Seele ist von einem lichtrückleitenden Lichtleitfaserbündel umgeben, welches Meßlicht zu Detektoren leitet. Zwei derartige Lichtleitfaserbündel sind um 180 Grad versetzt in einer zur Gewindeachse senkrechten Ebene im Kunststoffkörper angeordnet. Diese faseroptische Anordnung gewinnt Meßsignale von der Kontur des Innengewindes. Aus dem Verlauf der Strahlungsstärke des von der Oberfläche reflektierten Lichtes wird mit Hilfe eines Rechners die Kontur des Innengewindes ermittelt. Diese Anordnung ist speziell dafür ausgelegt, Innengewinde zu messen. Die rechnergestützte Auswertung liefert ein Gut-Schlecht-Ergebnis. Der Öffnungswinkel des lichtrückleitenden Lichtleitfaserbündels muß beispielsweise für die Messung metrischer ISO-Gewinde etwa 25 Grad betragen. (Öffnungswinkel β des lichtrückleitenden Lichtleitfaserbündels ist abhängig von dem Flankenwinkel des jeweiligen Innengewindes.) Somit ist für jede Gewindeart und für verschiedene Durchmesser ein spezieller Kunststoffkörper notwendig, der mit einem entsprechenden Lichtleitfaserbündel bestückt ist. Mit Hilfe einer Drehung des Kunststoffkörpers oder des Bohrloches können die Vollständigkeit und die Steigung des Gewindes überprüft werden. Mittels Eintauchen des Kunststoffkörpers in die Gewindebohrung kann die Gewindetiefe ermittelt werden.

Diese Anordnung ist nicht für alle Meßaufgaben geeignet, die zur Beurteilung der Qualität von Innengewinden und Bohrungen notwendig sind. Es können nur relativ große Fehler erkannt werden. Die Anordnung ist zur Messung glatter (z. B. gehonter) Flächen mit kleinen Fehlern (Kratzer, matte Flächenteile) nicht geeignet.

Bei einem größeren Durchmesser der Bohrung und bei einer nur geringen Tiefe werden die Detektoren ohne die Zwischenschaltung von Lichtleitfasern zur Messung benutzt. Mit solchen Anordnungen wird die gekrümmte Oberfläche punktweise durch Drehen von Werkstück oder Umlenkspiegel in radialer Richtung und durch Verschieben des Umlenkspiegels in axialer Richtung abgetastet. Diese Anordnungen haben verschiedene Nachteile.

Insbesondere wird bei der Rückführung des Streulichtes über den Beleuchtungsspie­ gel nur ein kleiner Winkelbereich um den direkten Reflex erfaßt. Bei dieser Anordnung ist nur ein senkrechter Einfall auf die streuende Fläche möglich.

Beim Einsatz von Lichtleitfaserbündeln zur Streulichtdetektion und Bestrahlung über die Spiegelanordnung geht Streulichtintensität durch schrägen Einfall auf die Fläche des Faserbündels und durch die unvollständige Flächenausnutzung des unteren Faser­ bündelendes verloren. Die punktweise Abtastung der gesamten Oberfläche der Wan­ dung ist außerdem sehr zeitaufwendig. Weiterhin wird Licht im Mantel der Lichtleitfa­ ser geführt, das einer Quelle nicht mehr eindeutig zugeordnet werden kann.

Es ist auch eine Oberflächenprüfvorrichtung mit einem Prüfkopf bekannt, der optische Elemente, z. B. einen Spiegel, enthält, mit deren Hilfe ein kontinuierlich von einem La­ ser erzeugter Lichtstrahl in einem schrägen Winkel auf die zu untersuchende Ober­ fläche gerichtet wird (DE 28 20 910 A1). Der Prüfkopf enthält ferner eine Vielzahl von fotoleitenden Elementen, die in der Ebene des auf die Oberfläche einfallenden und spiegelnd von ihr reflektierten Lichtstrahles liegen, von denen jedes Licht em­ pfängt, das von dem Teil der Oberfläche in einem unterschiedlichen Winkel eines Be­ reichs von Winkeln reflektiert worden ist, die sich zentrisch um den Spiegelwinkel gruppieren.

Der auswertbare Streulichtwinkelbereich ist bei dieser Vorrichtung jedoch sehr be­ grenzt. Zudem gehen Abstandsänderungen des Prüfkopfes von der zu untersuchen­ den Oberfläche sehr stark in das Meßergebnis ein.

Es ist ferner eine Sonde zum Prüfen von Oberflächen in Bohrungen bekannt, bei der auf die zu prüfende Oberfläche eine linien- oder flächenförmig geführte Laserstrahlung gerichtet ist und bei der die reflektierte Strahlung erfassende Anordnung aus einem zentralen Lichtleiter, einer diesen konzentrisch umgebenden optischen Totzone sowie einer Mehrzahl von konzentrisch in einem Ring um die Totzone herum angeordneten Lichtleitern besteht, wobei an den Enden der Lichtleiter Detektorelemente angeordnet sind, so daß gleichzeitig eine Messung im Hell- sowie im Dunkelfeld der zurückgewor­ fenen Strahlung erfolgen kann (DE 32 32 904 C2). Auch bei dieser Prüfsonde ist der auswertbare Streulichtwinkelbereich sehr begrenzt.

Es ist ferner ein Spezial-Endoskop zur optischen Rißprüfung bekannt (EP 0 157 009 A2). Bei diesem sehr flach ausgebildeten und zur Untersuchung der Oberfläche in en­ gen Spalten dienenden Endoskop wird die zuvor mit einem fluoreszierende Eigen­ schaften aufweisenden Penetriermittel benetzte Oberfläche mit Hilfe von UV-Licht über fächerförmig um eine Lichtempfangsoptik angeordnete Lichtleiterstränge be­ leuchtet und das vom Meßort als sichtbares Licht reflektierte Licht über die Lichtem­ pfangsoptik sowie ein Linsen- oder Lichtleitersystem einen Beobachtungs- oder Regi­ striergerät zugeleitet, wo ein reelles Bild entsteht. Mit einem solchen Gerät sind je­ doch nur vergleichsweise grobe Oberflächenunebenheiten erkennbar.

Mit den vorerwähnten Nachteilen ist auch eine andere bekannte Vorrichtung (AT-E 29176 B) behaf­ tet, die wiederum zur Beobachtung des Innern von Leitungen vergleichsweise großen Durchmessers, wie Wasserleitungen, Gasleitungen oder auch Bohrlöchern, eingesetzt wird und die eine Beleuchtungsübertragungsfaser zum Einbringen von Beleuchtungs­ licht in die Leitung und eine Bildübertragungsfaser umfaßt, wobei die Bildübertra­ gungsfaser das Bild der Innenwand der Leitung auf eine Fernsehkamera überträgt.

Die Erfindung soll Streulichtanteile, die verschiedene Winkel haben, so transferieren, daß diese in einer Ebene meßbar sind und Informationssignale über die Beschaffenheit der Wandung der Bohrung liefern. Es soll ein Maximum an Streulichtintensität auswertbar sein. Die Erfindung soll die Meßgeschwindigkeit erhöhen.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des An­ spruchs 1 gelöst.

Die Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen besteht aus einer Beleuch­ tungseinrichtung, die Licht eines Lasers auf die Wandung der Bohrung als Punkt oder als schmalen Ring projiziert. Die Beleuchtungseinrichtung ist entlang der Achse der Bohrung verstellbar, womit die gesamte Wandung der Bohrung in axialer Richtung beleuchtbar ist.

Das Beleuchtungslicht wird an der Wandung der Bohrung reflektiert und gestreut. Das Streulicht hat eine charakteristische räumliche Verteilung, deren Messung und Aus­ wertung Rückschlüsse auf die Beschaffenheit des beleuchteten Oberflächenteils zuläßt. Wird die gesamte Wandung der Bohrung mit dem Beleuchtungslicht abgetastet und dabei die Streulichtverteilung gemessen, registriert und ausgewertet, wird eine Aussage über den Zustand der Bohrung erhalten. Diese Informationen ermöglichen eine qualitative Beurteilung, beispielsweise eine "Gut-" oder "Schlecht-" Entscheidung. Zur Aufnahme der Streulichverteilung im Raum ist erfindungsgemäß eine Streulichterfassungseinheit vorgesehen. Diese besteht im wesentlichen aus einer Optik, die eine Kombination eines planaren Mikrolinsenarrays mit einer Kollimationsoptik ist. Die Kollimationsoptik ist vorzugsweise eine Asphäre oder eine angepaßten Gradientenoptik. Das Mikrolinsenarray und die Kollimationsoptik bilden eine Konzentrationsoptik, die zylindrisch oder sektorförmig um die in der Bohrungsmitte angeordnete Beleuchtungseinrichtung so positioniert ist, daß reflektiertes Beleuchtungslicht unter einem Winkel kleiner 90 Grad auf eine gekrümmte Lichteintrittsfläche fällt. Die Kollimationsoptik ist so ausgebildet, daß ein paralleles Strahlenbündel entsteht. Die Kollimationsoptik ist als Asphäre oder Gradientenoptik oder diffraktive Optik ausgebildet. Lichtteile des parallelen Strahlenbündels werden durch die integrierten Mikrolinsen, die nach der Lichtaustrittsfläche der Kollimationsoptik angeordnet sind, auf die Lichtaustrittsfläche der Konzentrationsoptik fokussiert und dort weiterverarbeitet. Die Mikrolinsen sind als Asphären oder Gradientenindexlinsen oder diffraktive Linsen ausgebildet.

Die Weiterverarbeitung der Streulichtanteile kann durch Weiterleitung in Lichtleitfasern, in integriert-optischen Bauelementen oder in optoelektronischen Bauelementen erfolgen.

Jede Mikrolinse korrespondiert mit je einem Detektorelement einer Detektormatrix, so daß jeweils integriertes Streulicht über einen definierten Winkelbereich eines durch die Beleuchtung definierten Ortes in der Wandung der Bohrung jeweils einem Detektorelement zuleitbar ist.

Die Konzentrationsoptik ist zur Abtastung der gesamten Bohrung mit der Beleuchtungseinrichtung in axialer Richtung definiert verstellbar.

Auch der Abstand der Beleuchtungsoptik zur Lichteintrittsfläche der Kollimationsoptik ist in axialer Richtung einstellbar.

In einem ersten Fall erzeugt die Beleuchtungseinrichtung einen Lichtpunkt, der auf die Wandung der Bohrung projiziert wird. Der Lichtpunkt umläuft durch eine Dreh-Steuerung der Beleuchtungsoptik den Umfang der Wandung. Die Streulichterfassungseinheit ist entweder ringförmig ausgebildet oder bei einer sektorförmigen Ausbildung selbst synchron zum Lichtpunkt drehbar.

In einem zweiten Fall erzeugt die Beleuchtungseinrichtung eine ringförmige Lichtverteilung, wobei die Ringebene vorzugsweise senkrecht zur Achse der Bohrung ist. Die Streulichterfassungseinheit ist dann vorzugsweise ringförmig ausgebildet und liefert eine integrale Messung bezüglich der beleuchteten Ebene.

Der Winkel zwischen dem Lichtbündel des Beleuchtungslichtes und der Achse der Bohrung ist mit Hilfe der Beleuchtungsoptik einstellbar. Durch die freie Wahl des Winkels des Beleuchtungslichtes kann der für die Informationsgewinnung günstigste Streuwinkelbereich gewählt oder eine vorteilhafte Winkelauflösung erreicht werden.

Da die direkte Verbindung der Detektoren mit dem Mikrolinsenarray aus technologischen Gründen und wegen der Begrenztheit des in der Bohrung zur Verfügung stehenden Raumes nicht in jedem Fall realisierbar ist, korrespondiert vorzugsweise jede Mikrolinse in der Konzentrationsoptik mit einer Lichtleitfaser eines Lichtleitfaserbündels so, daß jeweils integriertes Streulicht über einen definierten Winkelbereich eines definierten Ortes in der Wandung der Bohrung über die Lichtleitfaser jeweils einem Detektorelement der außerhalb der Bohrung befindlichen Detektormatrix zuleitbar ist. Bei einer ringförmigen Konzentrationsoptik ist das Lichtleitfaserbündel entsprechend ringförmig gestaltet. Die Detektormatrix ist flächenhaft ausgebildet und besitzt eine Vielzahl von Detektorelementen, die elektrisch mit einer Registrier- und Auswerteeinheit verbunden sind. Die Registrier- und Auswerteeinheit liefert Aussagen zur Oberflächenbeschaffenheit, Formabweichung und Art und Lage von Fehlern (z. B. Kratzer, Löcher).

Die Erfindung ermöglicht, daß ein Maximum an Streulicht mit Hilfe der Konzentrationsoptik so transferiert wird, daß Streulichtanteile aus einem Oberflächenteil der Wandung, die verschiedene Winkel haben, parallelisiert werden (Erzeugung eines parallelen Strahlenganges). Mit Hilfe der Mikrolinsen erfolgt eine Integration über Teilflächen des Querschnittes des parallelen Strahlenganges. Diese integrierten optischen Signale jeder Teilfläche, die der Streulichtverteilung an genau einem Oberflächenpunkt der Wandung der Bohrung zuordenbar sind, werden von jeweils einem Detektorelement einer Detektormatrix registriert. Durch das Mikrolinsenarray werden Lichtverluste und Fehlinterpretationen vermieden, die bei Faserbündeln durch Lichtanteile in den Fasermänteln bewirkt werden.

Gleiche Messungen sind an der Bohrung durchführbar, wenn das Werkstück um die Achse der auszumessenden Bohrung drehbar und/oder in axialer Richtung verschiebbar ist, wobei die Beleuchtungsoptik und die Konzentrationsoptik entsprechend feststehend sind.

Die Erfindung soll anhand von Figuren erläutert werden.

Es zeigen:

Fig. 1 Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken.

Fig. 2 Schnitt von Fig. 1.

Von einem Laser 1 wird Licht erzeugt und in eine Lichtleitfaser 2 eingekoppelt. Die Lichtleitfaser 2 leitet das Licht in das Innere einer zu untersuchenden Bohrung in einem Werkstück 6. Am bohrungsseitigen Ende der Lichtleitfaser 2 ist vorzugsweise eine Beleuchtungsoptik 3 angekoppelt, die das Beleuchtungslicht 4 auf einen Teil der Oberfläche der Wandung 5 fokussiert oder kolliminiert. Dabei ist die Lichtleitfaser 2 mit der Beleuchtungsoptik 3 in der Mitte der Bohrung angeordnet und so gelagert, daß eine Verstellung in der Längsrichtung der Achse erfolgt und die gesamte Wandung 5 der Bohrung in ihrer Tiefe nacheinander beleuchtbar ist.

Ein Teil des von der Oberfläche der Wandung 5 ausgehenden Lichtes trifft als Streulicht 7 auf eine Lichteintrittsfläche 9 einer Kollimationsoptik 18, die zwischen der Wandung 5 der Bohrung und der den axialen Raum ausfüllenden Beleuchtungseinrichtung (Lichtleitfaser 2, Beleuchtungsoptik 3) angeordnet ist.

Die Kollimationsoptik 18 hat an ihrer Lichtaustrittsfläche 10 integrierte Mikrolinsen 15, die gleichmäßig in der Lichtaustrittsfläche 10 verteilt sind. Jede Mikrolinse 15 ist mit einer Lichtleitfaser 12 eines Lichtleitfaserbündels 11 verbunden, welche das Streulicht auf außerhalb der Bohrung befindliche Detektorelemente 14 einer Detektormatrix 13 leiten. Diese Streulichterfassungseinheit 16 gewährleistet, daß jedem Detektorelement 14 ein Streulichtwinkelbereich zu einem definierten Ort auf der Oberfläche der Wandung 5 der Bohrung zuordenbar ist.

Die Detektormatrix 13 kann bei einem genügend großen Bohrungsdurchmesser unmittelbar in der Lichtaustrittsfläche 20 der Konzentrationsoptik 8 angeordnet sein (ohne Zwischenschaltung eines Lichtleitfaserbündels 11).

Die Konzentrationsoptik 8 ist mit der Lichteintrittsfläche 9 der Kollimationsoptik 18 in der Bohrung in einem Abstand in Achsrichtung zum beleuchteten Oberflächenausschnitt der Wandung 5 so angeordnet, daß eine Verschiebung in Achsrichtung zusammen mit der Beleuchtungsoptik 3 erfolgt. Zusammen mit der die Oberfläche der Wandung 5 abtastenden Beleuchtung wird die Konzentrationsoptik 8 bewegt und so die Streulichtverteilung an jedem Punkt der Oberfläche der Wandung 5 meßtechnisch erfaßt. Die Kollimationsoptik 18 hat an der Lichteintrittsfläche 9 die Form einer Hyperbel.

Die divergenten Strahlen des Streulichtes 7 werden durch die Kollimationsoptik 18 in einen parallelen Strahlengang transformiert.

In Lichtrichtung gesehen ist nach der Lichtaustrittsfläche 10 der Kollimationsoptik 18 ein Mikrolinsenarray 19 angeordnet.

An die Lichtaustrittsfläche 20 der Konzentrationsoptik 8 ist ein Lichtleitfaserbündel 11 angekoppelt. Über die im Raster integrierten Mikrolinsen 15 wird das Streulicht 7 eines Winkelbereiches in jeweils eine Lichtleitfaser 12 eingekoppelt. Das am Lichtaustrittsende der Lichtleitfaser 12 angeordnete Detektorelement 14 empfängt nur Streulicht 7 eines bestimmten Raumwinkelbereiches. Dadurch ist eine eindeutige Zuordnung der Meßwerte eines Detektorelements 14 zu einem Raumwinkelbereich möglich.

Die Auswertung erfolgt in der Registrier- und Auswerteeinheit 21 nach einem dem Meßproblem angepaßten Algorithmus.

Claims (14)

1. Anordnung zur Messung von Streulicht in Bohrungen von Werkstücken oder in Rohren, die vorzugsweise kreiszylindrisch sind, bestehend aus einer axial in der Bohrung angeordneten Beleuchtungseinrichtung, die Licht eines Lasers (1) auf die Wandung (5) der Bohrung projiziert, die Beleuchtungseinrichtung entlang der Achse (17) der Bohrung verstellbar ist, womit die gesamte Wandung (5) der Bohrung entlang ihrer Achse (17) beleuchtbar ist, Detektorelementen (14) zur Erfassung der von der Wandung (5) der Bohrung ausgehenden Lichtanteile (Streulicht 7), wobei die Detektormatrix (13) mit einer Registrier- und Auswerteeinheit (21) verbunden ist, gekennzeichnet durch

• - eine axial verstellbare Streulichterfassungseinheit (16), bestehend aus in Lichtrichtung angeordneten Bauteilen:
  • - Konzentrationsoptik (8), bestehend aus einer Kollimationsoptik (18) und Mikrolinsen (15), die auf einer Lichtaustrittsfläche (10) der Kollimationsoptik (18) angeordnet sind, und
  • - Detektorelementen (14), die jeder Mikrolinse (15) zugeordnet sind, wobei die Konzentrationsoptik (8) zumindest in einem Sektor um die axial gelagerte Beleuchtungseinrichtung so angeordnet ist, daß Streulicht (7) auf die Lichteintrittsfläche (9) der Kollimationsoptik (18) fällt und die Kollimationsoptik (18) so ausgebildet ist, daß aus dem Streulicht (7) ein paralleles Strahlenbündel entsteht, Lichtteile des parallelen Strahlenbündels nach der Lichtaustrittsfläche (10) der Kollimationsoptik (18) durch die Mikrolinsen (15) bündelbar sind und jede Mikrolinse (15) mit je einem Detektorelement (14) einer Detektormatrix (13) korrespondiert, so daß jeweils integrierte Streulichtanteile über einen definierten Winkelbereich eines definierten Ortes in der Wandung (5) der Bohrung jeweils einem Detektorelement (14) zuleitbar sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kollimationsoptik (18) eine Asphäre oder eine Gradientenoptik oder eine diffraktive Optik ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikrolinsen (15) als Asphären oder Gradientenindexlinsen oder diffraktive Linsen ausgebildet sind.

4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streulichterfassungseinheit (16) als Zylindersektor ausgebildet ist.

5. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streulichterfassungseinheit (16) als geschlossener Zylinderring ausgebildet ist.

6. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsoptik (3) der Beleuchtungseinrichtung einen Lichtpunkt erzeugt, der auf die Wandung (5) der Bohrung projizierbar ist, wobei der Lichtpunkt den Umfang der Wandung (5) auf einer Ringebene umläuft und die Streulichterfassungseinheit (16) synchron zum Lichtpunkt drehbar ist oder die Streulichterfassungseinheit (16) als geschlossener Ring ausgebildet ist.

7. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5 dadurch gekennzeichnet, daß mit der Beleuchtungsoptik (3) eine ringförmige Lichtverteilung auf der Wandung (5) erzeugbar ist und mit der Streulichterfassungseinheit (16) in der Bohrung eine Messung bezüglich der Ringebene durchführbar ist, wobei die Streulichterfassungseinheit (16) um die Achse (17) der Bohrung drehbar ist oder die Streulichterfassungseinheit (16) als Ring ausgebildet ist.

8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel zwischen dem Lichtbündel des Beleuchtungslichtes (4) und der Achse (17) der Bohrung mit Hilfe einer Beleuchtungsoptik (3) am Lichtaustrittsende der Lichtleitfaser (2) einstellbar ist.

9. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Mikrolinse (15) mit einer Lichtleitfaser (12) eines Lichtleitfaserbündels (11) oder eines integriert-optischen Bauelementes korrespondiert, so daß jeweils integriertes Streulicht über einen definierten Winkelbereich eines definierten Ortes auf der Oberfläche der Wandung (5) der Bohrung über eine Lichtleitfaser (12) jeweils einem Detektorelement (14) der Detektormatrix (13) zuleitbar ist.

10. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer ringförmigen Streulichterfassungseinheit (16) die Konzentrationsoptik (8) und das Lichtleitfaserbündel (11) ringförmig sind.

11. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Beleuchtungsoptik (3) zur Lichteintrittsfläche (9) der Konzentrationsoptik (8) in axialer Richtung einstellbar ist.

12. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (6) um die Achse (17) der auszumessenden Bohrung drehbar ist und/oder in Achsrichtung der Bohrung verschiebbar ist.

13. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektormatrix (13) flächenhaft, vorzugsweise kreisringförmig oder kreissektorförmig ausgebildet ist.

14. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektormatrix (13) unmittelbar in der Lichtaustrittsfläche (20) der Konzentrationsoptik (8) angeordnet ist.