DE10116380A1 - Halbleiterprüfsystem - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüfsystem, das für die genaue Bewertung eines Bauteilprüflings eine Störungsnachweisfunktion zur Ermittlung von Störungen in einem Ausgangssignal eines Bauteilprüflings aufweist. Das Halbleiterprüfsystem enthält dabei einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Zeitsteuerungsdaten für Ereignisse in geplanten Signalen, welche zur Prüfung eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) erzeugt werden sollen, einen Ereignisgenerator, der die geplanten Signale, bei denen es sich um Prüfmuster, Strobe-Signale und SOLL-Muster handelt, auf der Grundlage der vom Ereignisspeicher stammenden Ereignisdaten erzeugt, eine Pin-Elektronik, die zwischen dem Ereignisgenerator und dem Bauteilprüfling vorgesehen ist und zur Übertragung des Prüfmusters vom Ereignisgenerator zum Bauteilprüfling und zum Empfang eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings sowie zur Abtastung des Ausgangssignals mit der Zeitsteuerung der vom Ereignisgenerator gelieferten Strobe-Signale dient, einen Musterkompartor, der durch die Pin-Elektronik gelieferte Abtast-Austangsdaten mit SOLL-Mustern vergleicht und bei einer Nichtübereinstimmung ein Fehlersignal erzeugt, und eine Störungsnachweiseinheit, die die Ausgangssignale vom Bauteilprüfling empfängt und durch Zählen der Anzahl von Flanken im Ausgangssignal sowie Durchführung eines Vergleichs mit einer SOLL-Flankenzahl eine Störung im Ausgangssignal ermittelt.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüf- System zum Prüfen von Halbleiterbauteilen und dabei insbesondere ein Halbleiterprüfsystem, das Störungs­ nachweismittel umfaßt, welche zur genauen Bewertung der Leistung eines Halbleiterbauteilprüflings Störungen in einem Ausgangssignal des Bauteilprüflings ermitteln.

Beim Prüfen von Halbleiterbauteilen, wie etwa inte­ grierten Schaltungen oder hochintegrierten Schaltungen mit Hilfe eines Halbleiterprüfsystems, beispielsweise eines Prüfgeräts für integrierte Schaltungen, werden einem zu prüfenden integrierten Halbleiterschaltungs­ bauteil an dessen entsprechenden Pins von einem Prüfge­ rät für integrierte Schaltungen erzeugte Prüfsignale bzw. Prüfmuster mit einer bestimmten Prüfzeitsteuerung zugeführt. Das Prüfgerät für integrierte Schaltungen empfängt vom integrierten Schaltungsbauteilprüfling in Antwort auf die Prüfsignale erzeugte Ausgangssignale. Die Ausgangssignale werden sodann abgetastet, d. h. mit Hilfe von Strobe-Signalen mit einer bestimmten Zeit­ steuerung abgefragt, um sie mit SOLL-Werten zu verglei­ chen und so zu bestimmen, ob das integrierte Schal­ tungsbauteil einwandfrei funktioniert.

Herkömmlicherweise wird die Zeitsteuerung der Prüfsi­ gnale und Strobe-Signale relativ zu einer Prüfgerätge­ schwindigkeit oder einem Prüfgerätzyklus des Halblei­ terprüfsystems festgelegt, wobei ein entsprechendes Prüfsystem gelegentlich als zyklusgestütztes Prüfsystem bezeichnet wird. Bei einem anderen Typ von Prüfsystem, dem sogenannten ereignisgestützten Prüfsystem, werden die gewünschten Prüfsignale und Strobe-Signale direkt für jeden Pin unter Verwendung von aus einem Ereignis­ speicher stammenden Ereignisdaten gebildet. Die vorlie­ gende Erfindung läßt sich sowohl bei einem zyklusge­ stützten als auch bei einem ereignisgestützten Prüfsy­ stem einsetzen.

Fig. 1A zeigt ein Blockschaltbild eines Beispiels für den Aufbau eines herkömmlichen zyklusgestützten Halb­ leiterprüfsystems. Bei diesem Beispiel wird als Prüf­ prozessor 11 ein Prozessor verwendet, der speziell zur Steuerung der Operation des Prüfsystems über einen Prüfgerätbus im Halbleiterprüfsystem vorgesehen ist. Auf der Grundlage von durch den Prüfprozessor 11 be­ reitgestellten Musterdaten liefert ein Mustergenerator 12 Zeitsteuerungsdaten und Wellenformdaten an einen Zeitsteuerungsgenerator 13 bzw. einen Wellenformatierer 14. Der Wellenformatierer 14 erzeugt mit Hilfe der vom Mustergenerator 12 kommenden Wellenformdaten und der vom Zeitsteuerungsgenerator 13 gelieferten Zeitsteue­ rungsdaten ein Prüfmuster, das durch eine in einer Pin- Elektronik 20 angeordnete Pin-Ansteuerung 15 einem Bau­ teilprüfling (DUT) 19 zugeführt wird.

Ein durch das Prüfmuster hervorgerufenes Antwortsignal vom Bauteilprüfling DUT 19 wird mit Hilfe eines in der Pin-Elektronik 20 angeordneten analogen Komparators 16 in bezug zu einem vorbestimmten Schwellen-Spannungsni­ veau in ein Logiksignal umgewandelt. Das Logiksignal wird durch einen Logikkomparator 17 mit vom Mustergene­ rator 12 bereitgestellten SOLL-Wert-Daten verglichen und das Ergebnis des Logikvergleichs wird in einem Feh­ lerspeicher 18 entsprechend der Adresse des Bauteil­ prüflings 19 abgespeichert. Die Pin-Ansteuerung 15, der analoge Komparator 16 und (nicht dargestellte) Umschal­ ter zum Wechsel der Pins des Bauteilprüflings sind in der bereits erwähnten Pin-Elektronik 20 angeordnet.

Ein Beispiel für den Aufbau eines ereignisgestützten Prüfsystems läßt sich dem Blockschaltbild gemäß Fig. 1B entnehmen. In einem ereignisgestützten Prüfsystem wird auf das Auftreten von Ereignissen Bezug genommen, bei denen es sich um jedwede Veränderung im Logikzustand von Signalen für die Prüfung eines Halbleiterbauteil­ prüflings handelt. Diese Veränderungen betreffen bei­ spielsweise das Ansteigen bzw. Abfallen von Prüfsignal­ flanken oder Zeitsteuerungsflanken von Strobe-Signalen. Die jeweilige Zeitsteuerung der Ereignisse wird dabei unter Bezugnahme auf einen Zeitabstand zu einem Refe­ renzzeitpunkt angegeben, bei dem es sich üblicherweise um die Steuerzeit des vorhergehenden Ereignisses han­ delt. Alternativ hierzu kann als Referenzzeitpunkt aber auch ein festgelegter, allen Ereignissen gemeinsamer Startzeitpunkt dienen.

Da die Zeitsteuerungsdaten im Zeitsteuerungsspeicher (Ereignisspeicher) bei einem ereignisgestützten Halb­ leiterprüfsystem keine komplexen Informationen über Wellenform, Vektor, Verzögerung usw. für jeden einzel­ nen Prüfzyklus umfassen muß, läßt sich hier die Angabe der Zeitsteuerungsdaten erheblich vereinfachen. Wie be­ reits erwähnt, werden bei einem ereignisgestützten Prüfsystem üblicherweise die in einem Ereignisspeicher für jedes Ereignis gespeicherten Zeitsteuerungsdaten (d. h. die Ereignisdaten) durch einen Zeitabstand zwi­ schen dem gegenwärtigen Ereignis und dem zuletzt er­ folgten Ereignis ausgedrückt. Da ein solcher (auch als Deltazeit bezeichneter) Zeitabstand zwischen aufeinan­ derfolgenden Ereignissen, im Gegensatz zu einem (eine Absolutzeit darstellenden) Zeitabstand zu einem festge­ legten Startzeitpunkt, nur gering ist, kann auch der Umfang der Daten im Speicher entsprechend klein sein, wodurch sich die benötigte Speicherkapazität verringern läßt.

Bei dem in Fig. 1B dargestellten Beispiel enthält das ereignisgestützte Prüfsystem einen Hauptrechner 42 und eine Busschnittstelle 43, die beide mit einem Systembus 44 verbunden sind, einen internen Bus 45, eine Adreß­ folge-Steuereinheit 48, einen Fehlerspeicher 47, einen aus einem Ereigniszählspeicher 50 und einem Ereignis­ feinabstimmungsspeicher 51 gebildeten Ereignisspeicher, eine Ereignissummier- und Skalierlogik 52, einen Ereig­ nisgenerator 24 und eine Pin-Elektronik 26. Das ereig­ nisgestützte Prüfsystem dient zur Bewertung eines Halb­ leiterbauteilprüflings (DUT) 28, der mit der Pin-Elek­ tronik 26 verbunden ist.

Als Hauptrechner 42 dient beispielsweise ein mit einem UNIX-, Window-NT- oder Linux-Betriebssystem ausgestat­ teter Arbeitsplatz. Der Hauptrechner 42 fungiert als Benutzerschnittstelle, wodurch es einem Benutzer mög­ lich ist, die Start- und Endbefehle für die Prüfung einzugeben, ein Prüfprogramm und andere Prüfbedingungen zu laden oder Prüfergebnisanalysen im Hauptrechner durchzuführen. Der Hauptrechner 42 ist über den System­ bus 44 und die Busschnittstelle 43 mit einem Hardware- Prüfsystem und zudem vorzugsweise zum Absenden bzw. Empfangen von Prüfinformationen von anderen Prüfsyste­ men oder Rechnernetzen mit einem Datenübertragungsnetz­ werk verbunden, was jedoch in der Zeichnung nicht dar­ gestellt ist.

Bei dem internen Bus 45 handelt es sich um einen Bus im Hardware-Prüfsystem, der üblicherweise mit den meisten Funktionsblöcken, wie etwa der Adreßfolge-Steuerlogik 48, dem Fehlerspeicher 47, der Ereignissummier- und Skalierlogik 52 und dem Ereignisgenerator 24 verbunden ist. Als Adreßfolge-Steuerlogik 48 wird beispielsweise ein nur dem Hardware-Prüfsystem zur Verfügung stehender Prüfgerätprozessor verwendet, auf den der Benutzer kei­ nen Zugriff hat. Die Adreßfolge-Steuerlogik 48 liefert auf der Grundlage der vom Hauptrechner 42 vorgegebenen Bedingungen bzw. des Prüfprogramms entsprechende Be­ fehle an andere Funktionsblöcke des Prüfsystems. Der Fehlerspeicher 47 speichert Prüfergebnisse, wobei es sich beispielsweise um Fehlerinformationen über den Bauteilprüfling 28 handelt, an den durch die Adreß­ folge-Steuerlogik 48 vorgegebenen Adressen ab. Die im Fehlerspeicher 47 gespeicherten Informationen werden bei der Fehleranalyse des Bauteilprüflings verwendet.

Die Adreßfolge-Steuerlogik 48 liefert dem Ereigniszähl­ speicher 50 und dem Ereignisfeinabstimmungsspeicher 51 Adreßdaten, wie sich dies Fig. 1B entnehmen läßt. Bei einem tatsächlich vorhandenen Prüfsystem ist eine Viel­ zahl von aus einem Ereigniszählspeicher und einem Er­ eignisfeinabstimmungsspeicher bestehenden Bauteilgrup­ pen vorgesehen, von denen jede einem Prüfpin des Prüf­ systems zugeordnet sein kann. Der Ereigniszählspeicher und der Feinabstimmungsspeicher speichern die Zeit­ steuerungsdaten für jedes Prüfsignal-Ereignis bzw. Strobe-Signalereignis, wobei im Ereigniszählspeicher 50 die Zeitsteuerungsdaten gespeichert werden, die einem ganzzahligen Vielfachen des Referenztakts entsprechen (ganzzahliger Datenteil), während im Ereignis-Feinab­ stimmungspeicher 51 Zeitsteuerungsdaten gespeichert sind, welche einen Bruchteil des Referenztakts darstel­ len (Bruch-Datenteil). Im Rahmen der vorliegenden Er­ findung entsprechen die Zeitsteuerungsdaten für jedes Ereignis einem Zeitabstand (d. h. eine Verzögerungszeit bzw. Deltazeit) zum vorhergehenden Ereignis.

Die Ereignissummier- und Skalierlogik 52 dient zur Er­ zeugung von Daten, die eine Gesamtzeitsteuerung der einzelnen Ereignisse auf der Grundlage der vom Ereig­ niszählspeicher 50 und dem Ereignisfeinabstimmungsspei­ cher 51 kommenden Delta-Zeitsteuerungsdaten wiederge­ ben. Im wesentlichen werden derartige Gesamtzeitsteue­ rungsdaten durch Summierung des ganzzahligen Datenteils und des Bruch-Datenteils erzeugt. Im Verlauf der Sum­ mierung der Zeitsteuerungsdaten wird in der Ereignis­ summier- und Skalierlogik 52 im übrigen auch eine Über­ trag-Operation der Bruchteildaten (d. h. eine Verschie­ bung zum ganzzahligen Datenteil) vorgenommen. Zudem läßt sich eine Modifizierung der Gesamtzeitsteuerung vornehmen, indem während der Erzeugung der Gesamtzeit­ steuerung die Zeitsteuerungsdaten mit Hilfe eines Ska­ lierfaktors entsprechend modifiziert werden.

Der Ereignisgenerator 24 dient dazu, die Ereignisse auf der Grundlage der von der Ereignissummier- und Skalier­ logik 52 gelieferten Gesamtzeitsteuerungsdaten tatsäch­ lich zu erzeugen. Die auf diese Weise erzeugten Ereig­ nisse (d. h. Prüfsignale und Strobe-Signale) werden dem Bauteilprüfling DUT 28 durch die Pin-Elektronik 26 zu­ geführt. Die Pin-Elektronik 26 besteht im wesentlichen aus einer großen Anzahl von Baueinheiten, die jeweils eine Pin-Ansteuerung und einen Komparator sowie Um­ schalter enthalten und der Herstellung von Eingabe- und Ausgabebeziehungen zum Bauteilprüfling DUT 28 dienen.

Das Blockschaltbild gemäß Fig. 2 zeigt eine detaillier­ tere Darstellung des Aufbaus einer eine Pin-Ansteuerung 35 und einen analogen Komparator 36 umfassenden Pin- Elektronik 26. Die Schaltanordnung und die Operation der Pin-Elektronik 20 des in Fig. 1A gezeigten zyklusge­ stützten Halbleiterprüfsystems stimmen dabei mit der hier erläuterten Anordnung und Operation überein. Der Ereignisgenerator 24 erzeugt Steuer-Ereignisse, die durch die Pin-Ansteuerung 35 einem Eingangspin des Bau­ teilprüflings DUT 28 als Prüfsignal (Prüfmuster) zuge­ führt werden. Zudem erzeugt der Ereignisgenerator 24 ein Abtast-Ereignis, das zum Abtasten eines Ausgangssi­ gnals des Bauteilprüflings DUT 28 dem analogen Kompara­ tor 36 als Strobe-Signal zugeführt wird. Das Ausgangs­ signal des analogen Komparators 36 wird durch einen Mu­ sterkomparator 38 mit den SOLL-Daten vom Ereignisgene­ rator 24 verglichen. Falls beide nicht übereinstimmen, wird ein Fehlersignal an den in Fig. 1B gezeigten Feh­ lerspeicher 47 gesandt.

Fig. 3A zeigt ein Beispiel für ein Schaltschema eines Halbleiterbauteilprüflings, während die Fig. 3B bis 3D Wellenformen wiedergeben, welche bei dem Schaltschema gemäß Fig. 3A auftreten. Wird ein Signal gemäß Fig. 3B einem Eingang I1 und ein Taktsignal gemäß Fig. 3C einem Eingang I2 zugeführt, so erzeugt das Bauteil gemäß Fig. 3A ein Ausgangssignal gemäß Fig. 3D. Wie bereits un­ ter Bezugnahme auf Fig. 2 erwähnt wurde, wird das in Fig. 3D gezeigte Ausgangssignal an Strobe-Punkten abge­ tastet, um festzustellen, ob es mit dem SOLL-Ausgangs­ signal übereinstimmt.

Eine entsprechende Situation läßt sich den Fig. 4A bis 4D entnehmen, wobei in den Fig. 4A bis 4C das Eingangs-, das Takt- bzw. das Ausgangssignal des Bauteilprüflings dargestellt ist. Das in Fig. 4C gezeigte Ausgangssignal wird dabei durch in Fig. 4D gezeigten Strobe-Signale an Zeitpunkten abgefragt, die in der Zeichnung durch Pfeile angedeutet sind. Wenn das Ausgangssignal an al­ len Strobe-Punkten mit dem (simulierten) SOLL-Ausgangs­ signal übereinstimmt, so gilt der Bauteilprüfling als zufriedenstellend, d. h. er hat die Prüfung mit diesem Prüfmuster bestanden. Bei einer tatsächlich durchge­ führten Bauteilprüfung wird die jeweilige Zeitsteuerung der Strobe-Signale üblicherweise so eingestellt, daß die Strobe-Punkte direkt nach einem Übergang im simu­ lierten Ausgangssignal liegen, wie sich dies dem Bei­ spiel gemäß Fig. 4D entnehmen läßt.

Die Fig. 5A bis 5C zeigen eine Situation, in der ein fehlerhaftes Bauteil bei Empfang desselben, in den vor­ hergehenden Beispielen verwendeten Prüfmusters ein an­ deres Ausgangssignal erzeugt. Dabei zeigt Fig. 5A ein simuliertes (SOLL-)Ausgangssignal, während Fig. 5B ein tatsächliches Ausgangssignal des Bauteilprüflings wie­ dergibt. Das Ausgangssignal gemäß Fig. 5B ist insofern fehlerhaft, als hier Störungen an den grau schattierten Bereichen der Wellenform vorhanden sind. Allerdings liefert die Prüfung bei der in Fig. 5C gezeigten Zeit­ steuerung der Strobe-Signale das Ergebnis "bestanden", weil an keinem der Prüfpunkte ein Fehler auftritt. So­ mit wird hier der Fehler erst dann entdeckt, wenn ein Hersteller das Prüfprogramm modifiziert, um die Störun­ gen im Ausgangssignal zu ermitteln, bzw. wenn das Bau­ teil durch den Kunden eingesetzt wird. Dieses Vorgehen ist allerdings sowohl für den Bauteilhersteller als auch für den Kunden kostspielig.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zu­ grunde, ein Halbleiterprüfsystem zu beschreiben, das für die genaue Bewertung eines Ausgangssignals eines Halb­ leiterbauteilprüflings ein Störungsnachweismittel zum Nachweis einer Störung im Ausgangssignal des Bauteil­ prüflings umfaßt.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Halbleiterprüfsystem anzugeben, welches eine Störungsnachweiseinheit umfaßt, die einen Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der Flanken im Ausgangssignal des Halbleiterbauteilprüflings enthält, um diese Anzahl so­ dann mit einer korrekten Flankenzahl zu vergleichen und so eine Störung im Ausgangssignal zu ermitteln.

Zudem ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Halbleiterprüfsystem zu beschreiben, das ein Stö­ rungsnachweismittel umfaßt, bei dem zur Ermittlung ei­ ner Störung in einem Ausgangssignal eines Halbleiter­ bauteilprüflings innerhalb eines Zyklus des Ausgangssi­ gnals eine große Anzahl von Strobe-Signalen zum Einsatz kommt.

Schließlich liegt der vorliegenden Erfindung auch die Aufgabe zugrunde, ein Halbleiterprüfsystem anzugeben, das ein Störungsnachweismittel umfaßt, welches eine Störung im Ausgangssignal des Halbleiterbauteilprüf­ lings unter Einsatz eines kontinuierlichen Strobe-Si­ gnals ermittelt, das seine Phase (Zeitsteuerung) inner­ halb eines Ausgangssignalzyklus kontinuierlich verän­ dert.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüf­ system, das ein Störungsnachweismittel umfaßt, welches für die genaue Bewertung der Funktionalität und der Si­ gnalqualität des Bauteilprüflings Störungen im Aus­ gangssignal des Bauteilprüflings ermittelt. Das Stö­ rungsnachweismittel enthält einen Flankenzähler, der die Anzahl der Flanken im Ausgangssignal zählt, die so­ dann mit der Flankenzahl im SOLL-Ausgangssignal vergli­ chen wird. Ist die Anzahl der Flanken dabei größer als die im SOLL-Ausgangssignal, so geht man davon aus, daß das Ausgangssignal vom Bauteilprüfling eine Störung aufweist. Gemäß einem anderen Aspekt umfaßt das Stö­ rungnachweismittel Mittel zur Erzeugung einer großen Anzahl von Strobe-Signalen innerhalb eines Zyklus des Bauteilprüflings-Ausgangssignals oder zur Erzeugung ei­ nes kontinuierlichen Strobe-Signals, dessen Zeitsteue­ rung (Phase) sich innerhalb eines Ausgangssignalzyklus kontinuierlich verändert.

Das erfindungsgemäße Halbleiterprüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbauteils enthält einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Ereignisdaten für Ereignisse, bei denen es sich um jedwede Veränderungen in geplanten Si­ gnalen handelt, welche zur Prüfung eines Halbleiterbau­ teilprüflings (DUT) erzeugt werden sollen, einen Ereig­ nisgenerator, der die geplanten Signale, bei denen es sich um Prüfmuster, Strobe-Signale und SOLL-Muster han­ delt, auf der Grundlage der vom Ereignisspeicher stam­ menden Ereignisdaten erzeugt, eine Pin-Elektronik, die zwischen dem Ereignisgenerator und dem Bauteilprüfling vorgesehen ist und zur Übertragung des Prüfmusters vom Ereignisgenerator zum Bauteilprüfling und zum Empfang eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings sowie zur Abtastung des Ausgangssignals mit der Zeitsteuerung der vom Ereignisgenerator gelieferten Strobe-Signale dient, einen Musterkomparator, der durch die Pin-Elektronik gelieferte Abtast-Ausgangsdaten mit den SOLL-Mustern vergleicht und bei einer Nichtübereinstimmung ein Feh­ lersignal erzeugt, und eine Störungsnachweiseinheit, die das Ausgangssignal vom Bauteilprüfling empfängt und durch Zählen der Anzahl der Flanken im Ausgangssignal sowie Durchführung eines Vergleichs mit einer SOLL- Flankenzahl eine Störung im Ausgangssignal ermittelt.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung, wird die Störung im Bauteilprüflings-Ausgangssignal durch Einsatz einer großen Anzahl von Strobe-Signalen innerhalb eines Ausgangssignalzyklus ermittelt, während gemäß einem weiterem Aspekt die Störung im Bauteilprüf­ lings-Ausgangssignal durch Einsatz eines kontinuierli­ chen Strobe-Signals ermittelt wird, dessen Zeitsteue­ rung (Phase) sich innerhalb eines Ausgangssignalzyklus kontinuierlich verändert.

Das erfindungsgemäße Halbleiterprüfsystem umfaßt für die genaue Bewertung eines Bauteilprüflings eine Stö­ rungsnachweiseinheit zur effektiven Ermittlung von Stö­ rungen im Ausgangssignal des Bauteilprüflings. Die Stö­ rungsnachweiseinheit gemäß dem ersten Ausführungsbei­ spiel ermöglicht es dem Prüfsystem, unerwartete Über­ gänge im Bauteilprüflings-Ausgangssignal zu entdecken, wobei hierfür im Prüfsystem nur eine geringfügige Menge zusätzlicher Hardware vorgesehen werden muß. Zudem ver­ stärkt die Störungsnachweiseinheit die Genauigkeit der Fehlerermittlung, ohne daß hierfür die Erzeugung um­ fangreicher Prüfmuster oder eine Verlängerung der Bau­ teil-Prüfzeit nötig wären. Gemäß dem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel lassen sich Störungen entweder durch die erfindungsgemäßen Mehrfach-Strobe-Signale oder die er­ findungsgemäßen kontinuierlichen Strobe-Signale zuver­ lässig ermitteln. Das zweite erfindungsgemäße Ausfüh­ rungsbeispiel bewirkt eine effektive Ermittlung von Störungen im Ausgangssignal des Bauteilprüflings, ohne daß hierfür zusätzliche Hardware im Prüfsystem vorgese­ hen werden müßte.

Die vorliegende Erfindung wird im folgenden unter Be­ zugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert.

In der Zeichnung zeigen

Fig. 1A ein schematisches Blockschaltbild des grundlegenden Aufbaus eines zyklusge­ stützten Prüfsystems, bei dem die vor­ liegende Erfindung angewendet werden kann;

Fig. 1B ein schematisches Blockschaltbild des grundlegenden Aufbaus eines ereignis­ gestützten Prüfsystems, bei dem die vorliegende Erfindung angewendet wer­ den kann;

Fig. 2 ein detaillierteres Blockschaltbild des Aufbaus der in den Fig. 1A und 1B gezeigten Pin-Elektronik sowie der zu­ gehörigen Steuerereignisse (Prüfmuster) und Abtastereignisse (Strobe-Signal) zur Prüfung eines Halbleiterbauteils;

Fig. 3A ein Schaltschema eines Beispiels für den Halbleiterbauteilprüfling;

Fig. 3B bis 3D Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung von Wellenformen der Eingangs- und Ausgangssignale des in Fig. 3A ge­ zeigten Bauteilprüflings;

Fig. 4A bis 4C Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung von Wellenformen der Eingangs- und Ausgangssignale des in Fig. 3A ge­ zeigten Bauteilprüflings;

Fig. 4D eine Zeitsteuerungsgraphik eines Bei­ spiels für die jeweilige Zeitsteuerung der das in Fig. 4C gezeigte Ausgangssi­ gnal des Bauteilprüflings abtastenden Strobe-Signale;

Fig. 5A bis 5C Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung einer Beziehung zwischen einem SOLL-Ausgangssignal, einem eine Stö­ rung aufweisenden tatsächlichen Aus­ gangssignal eines Bauteilprüflings und einem Beispiel für die jeweilige Zeit­ steuerung der Strobe-Signale;

Fig. 6A ein Schaltschema eines Beispiels für einen Halbleiterbauteilprüfling;

Fig. 6B und 6C Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung von Wellenformen der Eingangs- und Ausgangssignale des in Fig. 6A ge­ zeigten Bauteilprüflings;

Fig. 6D eine Zeitsteuerungsgraphik zur Dar­ stellung der jeweiligen Zeitsteuerung der Strobe-Signale;

Fig. 7 ein Blockschaltbild eines Beispiels für den Aufbau einer erfindungsgemä­ ßen, in einem Halbleiterprüfsystem einzusetzenden Störungsnachweisein­ heit;

Fig. 8 ein Blockschaltbild eines detaillier­ teren Beispiels für den Schaltungsauf­ bau der erfindungsgemäßen Störungs­ nachweiseinheit;

Fig. 9 ein Schaltschema eines Beispiels für den Aufbau eines Flankenzählers der in Figur B gezeigten erfindungsgemäßen Stö­ rungsnachweiseinheit;

Fig. 10A bis 10C Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung einer Beziehung zwischen einem SOLL-Ausgangssignal, einem tatsächli­ chen, eine Störung aufweisenden Aus­ gangssignal des Bauteilprüflings und der jeweiligen Zeitsteuerung von Mehr­ fach-Strobe-Signalen gemäß der vorlie­ genden Erfindung; und

Fig. 11A bis 11C Zeitsteuerungsgraphiken zur Darstel­ lung einer Beziehung zwischen einem SOLL-Ausgangssignal, einem tatsächli­ chen, eine Störung aufweisenden Aus­ gangssignal des Bauteilprüflings und der jeweiligen Zeitsteuerung eines kontinuierlichen Strobe-Signals gemäß der vorliegenden Erfindung.

Im folgenden wird das bevorzugte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung näher erläutert. Die vorlie­ gende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüfsystem, das für die genaue Bewertung der Funktionalität und Signal­ qualität eines Bauteilprüflings ein Störungsnachweis­ mittel zur Ermittlung von Störungen im Ausgangssignal des Bauteilprüflings umfaßt. Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung handelt es sich bei den Störungsnachweis­ mitteln um eine Störungsnachweiseinheit (bzw. -schal­ tung) mit einem Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der Flanken im Ausgangssignal, die sodann mit der Anzahl der Flanken im SOLL-Ausgangssignal verglichen wird. Ist die Anzahl der Flanken dabei größer als die der Flanken im SOLL-Ausgangssignal, so geht man davon aus, daß das vom Bauteilprüfling kommende Ausgangssignal eine Stö­ rung aufweist. Gemäß einem anderen Aspekt umfassen die Störungsnachweismittel Mittel zur Erzeugung einer großen Anzahl von Strobe-Signalen innerhalb eines Zy­ klus des Bauteilprüflings-Ausgangssignals oder zur Er­ zeugung eines kontinuierlichen Strobe-Signals, dessen Zeitsteuerung (Phase) sich innerhalb eines Ausgangssi­ gnalzyklus kontinuierlich verändert.

Es wird im folgenden davon ausgegangen, daß ein Schalt­ schema gemäß Fig. 6A mit Hilfe eines Halbleiterprüfsy­ stems durch Zuführung von Eingangsprüfsignalen gemäß Fig. 6B geprüft wird. Fig. 6B läßt sich auch das (simulierte) SOLL-Ausgangssignal entnehmen, das in die­ sem Fall "0" lautet. Bei diesem Beispiel ist ein tatsächliches Ausgangssignal des Bauteilprüflings dann korrekt, wenn es ebenfalls "0" entspricht, wie sich dies der linken Seite in Fig. 6C entnehmen läßt. Erfolgt allerdings im Ausgangssignal des zu prüfenden Schalt­ schemas ein Wechsel zu einem hohen Niveau "1", ohne daß sich die Eingangssignale verändern, wie dies in Fig. 6C rechts gezeigt ist, so ist das Bauteil fehlerhaft. Durch den Strobe-Punkt T1 in Fig. 6D läßt sich diese anormale Veränderung im Ausgangssignal, bei der es sich um eine Störung handelt, nicht erfassen, während sich durch den Strobe-Punkt T2 dieser Fehler im Ausgangssi­ gnal feststellen läßt.

Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung um­ faßt das Halbleiterprüfsystem eine Störungsnachweisein­ heit (bzw. -schaltung). Ein Beispiel für den Aufbau ei­ ner Störungsnachweiseinheit zur Verwendung im Halblei­ terprüfsystem läßt sich Fig. 7 entnehmen. Gemäß diesem Beispiel ist eine Störungsnachweiseinheit 53 zwischen der ihr das Ausgangssignal des Bauteilprüflings zufüh­ renden Pin-Elektronik 26 und dem das (simulierte) SOLL- Ausgangssignal liefernden Ereignisgenerator 24 angeord­ net. Wird im Ausgangssignal des Bauteilprüflings eine Störung ermittelt, so erzeugt die Störungsnachweisein­ heit 53 ein Nachweissignal.

Die Störungsnachweiseinheit 53 enthält einen Logikkom­ parator 55, eine Flankenzähleinheit 56 und eine Flan­ kenzähleinheit 58. Die Flankenzähleinheit 58 zählt die Anzahl der Flanken im Ausgangssignal des Bauteilprüf­ lings, während die Flankenzähleinheit 56 die Anzahl der Flanken im vom Ereignisgenerator (Mustergenerator) 24 gelieferten (simulierten) SOLL-Ausgangssignal zählt. Die Anzahl der von der Flankenzähleinheiten 58 gezähl­ ten Flanken wird durch den Logikkomparator 55 mit der durch die Flankenzähleinheit 56 gezählten verglichen. Ist die Anzahl der durch die Flankenzähleinheit 58 ge­ zählten Flanken dabei größer als die durch die Flanken­ zähleinheit 56 ermittelte Anzahl, so bedeutet dies, daß im Bauteilprüflings-Ausgangssignal eine Störung vorhan­ den ist. Der Logikkomparator 55 erzeugt sodann ein Stö­ rungsnachweissignal, das beispielsweise dem Hauptrech­ ner des Prüfsystems zugeführt wird. Bei der in Fig. 7 gezeigten Anordnung kann auf die Flankenzähleinheit 56 verzichtet werden, sofern das Prüfsystem die Anzahl der Flanken im SOLL-Ausgangssignal direkt angeben kann.

Fig. 8 zeigt eine detailliertere Darstellung eines Bei­ spiels für die Schaltanordnung der Störungsnachweisein­ heit 53 gemäß Fig. 8, wobei es sich im wesentlichen um eine Kombination aus der Flankenzähleinheit 58 gemäß Fig. 7 und dem Logikkomparator 55 handelt. Die Flanken­ zähleinheit 58 umfaßt analoge Komparatoren 62 und 64, Puffer 63 und 65, Flankenzähler 67 und 68, einen Multi­ plexer 71 und einen Eingangssignaldecodierer 72. Die Flankenzähleinheit 58 zählt die Anzahl der Flanken ei­ nes Eingangssignals (bei dem es sich um das Ausgangssi­ gnal des Bauteilprüflings handelt). Je nach Aufbau des Prüfsystems kann hier, wie erwähnt, im übrigen zusätz­ lich noch die Flankenzähleinheit 56 gemäß Fig. 7 zum Zählen der Anzahl der Flanken des SOLL-Signals vorgese­ hen sein, was sich jedoch der Zeichnung nicht entnehmen läßt. Die Flankenzähleinheit 56 weist dabei dieselbe Anordnung auf wie die Flankenzähleinheit 58.

Der analoge Komparator 62 wird beispielsweise durch eine Schmitt-Triggerschaltung gebildet und mit einer Schwellenspannung V_OH beaufschlagt, um den Logikzustand "1" in einem (durch das Ausgangssignal des Bauteilprüf­ lings gebildeten) Eingangssignal festzustellen. Das Ausgangssignal des analogen Komparators 62 wird dem Flankenzähler 67 zugeführt. In entsprechender Weise be­ steht der analoge Komparator 64 beispielsweise aus ei­ ner Schmitt-Triggerschaltung, die mit einer Schwellen­ spannung V_OL beaufschlagt wird, um den Logikzustand "0" im Eingangssignal zu ermitteln. Das Ausgangssignal des analogen Komparators 64 wird dabei dem Flankenzähler 68 zugeführt.

Somit zählt der Flankenzähler 67 die Anzahl der anstei­ genden Flanken des Eingangssignals, während der Flan­ kenzähler 68 die Anzahl der abfallenden Flanken des Eingangssignals ermittelt. Der Multiplexer 71 wählt entweder die Zähldaten des Flankenzählers 67 oder die des Flankenzählers 68 aus und führt die ausgewählten Zähldaten dem Logikkomparator 55 zum Vergleich mit der SOLL-Flankenzahl zu. Der Eingangssignaldecodierer 72 dient zur Bestimmung, ob der Wert des Eingangssignals "0", "1", oder "Z" lautet. Diese Information wird an den beispielsweise in den Fig. 1 und 2 dargestellten Fehlerspeicher weitergeleitet, wenn der Logikkomparator 55 anzeigt, daß das Ausgangssignal des Bauteilprüflings DUT eine Störung aufweist. Die Daten im Fehlerspeicher werden nach der Prüfung zur Fehleranalyse eingesetzt.

Fig. 9 zeigt ein Beispiel für den Aufbau des in Fig. 8 gezeigten Flankenzählers 67 bzw. 68. Bei diesem Bei­ spiel wurde der Flankenzähler unter Verwendung einer sequentiell arbeitenden Zähleranordnung ausgebildet. Diese Anordnung ermöglicht es einem Zähler, Hochfre­ quenzstörungen unter Einsatz eines minimalen Logikbe­ reichs zu ermitteln. Ein weiterer Vorteil des Einsatzes eines sequentiell arbeitenden Zählers liegt in der ge­ ringen Last auf das Eingangssignal (Bauteilausgangssignal). Das Beispiel gemäß Fig. 9 zeigt einen sequentiell arbeitenden 32-Bit-Zähler, bei dem 32 flankengesteuerte Flipflops bzw. Komplementflipflops in Serie geschaltet sind. Alle Ausgangssignale dieser Flipflops sind miteinander durch eine ODER-Verknüpfun­ gen verbunden.

Die in Fig. 5 gezeigte erfindungsgemäße Störungsnach­ weiseinheit 53 löst die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe in der im folgenden erklärten Weise. Es wird davon ausgegangen, daß die Anzahl der ansteigenden Flanken im Bauteilausgangssignal eines als fehlerfrei bekannten Bauteils zwei beträgt. Nach einem Prüfmuster­ durchlauf liest das Prüfsystem die im Flankenzähler 67 gezählten Daten und vergleicht die Ergebnisse mit den SOLL-Daten. Bei diesem Beispiel zeigt nun der Zählwert im Flankenzähler 67 vier Flanken und damit das Vorhan­ densein einer Störung an, was den Benutzer veranlaßt, weitere Untersuchungen vorzunehmen.

Wie sich den obigen Ausführungen entnehmen läßt, ermög­ licht es die Störungsnachweiseinheit gemäß der vorlie­ genden Erfindung einem Prüfsystem, unerwartete Über­ gänge im Ausgangssignal des Bauteilprüflings zu entdec­ ken, wobei hierfür nur eine geringe Menge zusätzlicher Hardware im Prüfsystem vorgesehen werden muß. Die Stö­ rungsnachweiseinheit verbessert zudem die Fehlerermitt­ lungs-Genauigkeit, ohne daß hierfür eine Erzeugung um­ fangreicher Prüfmuster oder eine Verlängerung der Bau­ teilprüfzeit nötig wären.

Das zweite erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel zum Störungsnachweis läßt sich den Zeitsteuerungsgraphiken gemäß den Fig. 10A bis 10C und 11A bis 11C entnehmen. Der erste Ansatz besteht dabei in der Verwendung vieler Strobe-Signale innerhalb eines Zyklus des Bauteilaus­ gangssignals, wie dies in den Fig. 10A bis 10C gezeigt ist. Bei diesem Beispiel läßt sich Fig. 10A ein (simuliertes) SOLL-Ausgangssignal, Fig. 10B ein tatsäch­ liches, eine Störung aufweisendes Bauteilprüflings-Aus­ gangssignal und Fig. 10C ein Beispiel für die jeweilige Zeitsteuerung der erfindungsgemäßen Mehrfach-Strobe-Si­ gnale entnehmen. Der Benutzer kann dabei beim Einstel­ len der Prüfbedingungen die jeweilige Zeitsteuerung und die Auflösung (d. h. den Zeitabstand zwischen zwei auf­ einanderfolgenden Strobe-Signalen) der Strobe-Signale festsetzen.

Der zweite Ansatz besteht in der Verwendung von konti­ nuierlichen Strobe-Signalen innerhalb eines Bauteilaus­ gangssignal-Zyklus, wie sich dies den Fig. 11A bis 11C entnehmen läßt. Bei diesem Beispiel zeigt Fig. 11A ein (simuliertes) SOLL-Ausgangssignal, Fig. 11B ein tatsäch­ liches, eine Störung aufweisendes Ausgangssignal des Bauteilprüflings und Fig. 11C ein Beispiel für das er­ findungsgemäße kontinuierliche Strobe-Signal. Das kon­ tinuierliche Strobe-Signal wird durch kontinuierliche Erhöhung eines Zeitabstands zu einem vorhergehenden Strobe-Punkt erzielt, indem man eine entsprechende Pro­ grammierung der Ereigniszeitsteuerungsdaten im Ereig­ nisspeicher vornimmt oder indem der Ereignisgenerator entsprechend operiert. Der Benutzer kann dabei einen Bereich innerhalb eines Zyklus des Bauteilausgangssi­ gnals angeben, in dem eine kontinuierliche Abtastung des Ausgangssignals erfolgen soll. Das kontinuierliche Strobe-Signal kann für eine bestimmte Zeitlänge, etwa zwischen E1 und E2 oder zwischen E3 und E4 in Fig. 11C aktiviert werden.

Beim zweiten Ausführungsbeispiel lassen sich Störungen durch erfindungsgemäße Mehrfach-Strobe-Signale oder er­ findungsgemäße kontinuierliche Strobe-Signale genau nachweisen. Das zweite Ausführungsbeispiel der vorlie­ genden Erfindung läßt sich effektiv zur Ermittlung von Störungen im Ausgangssignal des Bauteilprüflings ein­ setzen, ohne daß hierfür eine zusätzliche Hardware im Prüfsystem vorgesehen werden müßte.

Die Störungsnachweiseinheit gemäß dem ersten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ermöglicht es einem Prüfsystem, unerwartete Übergänge im Ausgangssi­ gnal des Bauteilprüflings zu ermitteln, wobei hierfür nur eine geringe Menge an zusätzlicher Hardware im Prüfsystem vorgesehen werden muß. Zudem verbessert die Störungsnachweiseinheit die Fehlerermittlungs-Genauig­ keit, ohne daß hierfür umfangreiche Prüfmuster erzeugt oder die Bauteilprüfzeit verlängert werden müßte. Beim zweiten Ausführungsbeispiel lassen sich Störungen durch erfindungsgemäße Mehrfach-Strobe-Signale oder erfin­ dungsgemäße kontinuierliche Strobe-Signale genau ermit­ teln. Das zweite Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung läßt sich effektiv zur Ermittlung von Störun­ gen im Ausgangssignal des Bauteilprüflings einsetzen, ohne daß hierfür eine zusätzliche Hardware im Prüfsy­ stem vorgesehen werden müßte.

Claims (12)

1. Halbleiterprüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbau­ teils, enthaltend
einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Er­ eignisdaten für Ereignisse in geplanten Signa­ len, welche zur Prüfung eines Halbleiterbauteil­ prüflings (DUT) erzeugt werden sollen;
einen Ereignisgenerator, der die geplanten Si­ gnale, bei denen es sich um Prüfmuster, Strobe- Signale und SOLL-Muster handelt, auf der Grund­ lage der aus dem Ereignisspeicher stammenden Er­ eignisdaten erzeugt;
eine Pin-Elektronik, die zwischen dem Ereignis­ generator und dem Bauteilprüfling vorgesehen ist und zur Übertragung des Prüfmusters vom Ereig­ nisgenerator zum Bauteilprüfling und zum Empfang eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings sowie zur Abtastung des Ausgangssignals mit der Zeit­ steuerung der vom Ereignisgenerator gelieferten Strobe-Signale dient;
einen Musterkomparator, der durch die Pin-Elek­ tronik gelieferte Abtast-Ausgangsdaten mit SOLL- Mustern vergleicht und bei einer Nichtüberein­ stimmung ein Fehlersignal erzeugt; und
eine Störungsnachweiseinheit, die die Ausgangs­ signale vom Bauteilprüfling empfängt und durch Zählen der Anzahl von Flanken im Ausgangssignal sowie Durchführung eines Vergleichs mit einer SOLL-Flankenzahl eine Störung im Ausgangssignal ermittelt.

2. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Stö­ rungsnachweiseinheit die folgenden Bestandteile ent­ hält: eine Flankenzähleinheit, die bei Zuführung des Prüfmusters zum Bauteilprüfling die Anzahl der Flan­ ken im Bauteilprüflings-Ausgangssignal zählt, sowie einen Logikomparator, der die Anzahl der von der Flankenzähleinheit gezählten Flanken mit der SOLL- Flankenzahl vergleicht.

3. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Stö­ rungsnachweiseinheit die folgenden Bestandteile ent­ hält: eine erste Flankenzähleinheit, die bei Zufüh­ rung des Prüfmusters zum Bauteilprüfling die Anzahl der Flanken im Ausgangssignal des Bauteilprüflings zählt, sowie eine zweite Flankenzähleinheit zum Zäh­ len der Anzahl der Flanken im vom Ereignisgenerator gelieferten SOLL-Muster und einen Logikkomparator, welcher die von der ersten Flankenzähleinheit ge­ zählte Flankenzahl mit der von der zweiten Flanken­ zähleinheit gezählten Flankenzahl vergleicht.

4. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 2, wobei die Flankenzähleinheit die folgenden Bestandteile um­ faßt:
einen ersten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderungen im vom Bauteilprüfling kommen­ den Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten hohen Schwellenspan­ nung;
einen zweiten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderung im vom Bauteilprüfling kommenden Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten niedrigen Schwellenspan­ nung;
einen ersten Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der ansteigenden Flanken vom ersten analogen Komparator;
einen zweiten Flankenzähler zum Zählen der An­ zahl der abfallenden Flanken vom zweiten analo­ gen Komparator; und
einen Multiplexer, der auswählt, ob die Zählda­ ten vom ersten Flankenzähler oder vom zweiten Flankenzähler dem Logikkomparator zugeführt wer­ den.

5. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 3, wobei die er­ ste und zweite Flankenzähleinheit jeweils die fol­ genden Bestandteile umfassen:
einen ersten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderungen im vom Bauteilprüfling kommen­ den Ausgangssignal durch Vergleich mit einer am Komparator angelegten hohen Schwellenspannung;
einen zweiten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderung im vom Bauteilprüfling kommenden Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten niedrigen Schwellenspan­ nung;
einen ersten Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der ansteigenden Flanken vom ersten analogen Komparator;
einen zweiten Flankenzähler zum Zählen der An­ zahl von abfallenden Flanken vom zweiten analo­ gen Komparator; und
einen Multiplexer, der auswählt, ob die Zählda­ ten vom ersten Flankenzähler oder vom zweiten Flankenzähler dem Logikkomparator zugeführt wer­ den.

6. Halbleiterprüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbau­ teils, enthaltend
einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Er­ eignisdaten für Ereignisse in geplanten Signa­ len, welche zur Prüfung eines Halbleiterbauteil­ prüflings (DUT) erzeugt werden sollen;
einen Ereignisgenerator, der die geplanten Si­ gnale, bei denen es sich um Prüfmuster, Strobe- Signale und SOLL-Muster handelt, auf der Grund­ lage der vom Ereignisspeicher stammenden Ereig­ nisdaten erzeugt;
eine Pin-Elektronik, die zwischen dem Ereignis­ generator und dem Bauteilprüfling vorgesehen ist und zur Übertragung des Prüfmusters vom Ereig­ nisgenerator zum Bauteilprüfling und zum Empfang eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings sowie zur Abtastung des Ausgangssignals mit der Zeit­ steuerung der vom Ereignisgenerator gelieferten Strobe-Signale dient; und
einen Musterkomparator, der durch die Pin-Elek­ tronik gelieferte Abtast-Ausgangsdaten mit den SOLL-Mustern vergleicht und bei einer Nichtüber­ einstimmung ein Fehlersignal erzeugt;
wobei der Pin-Elektronik eine Vielzahl von Strobe- Signalen in einem bestimmten Zeitintervall zugeführt wird, das klein genug ist, um bei Zuführung des Prüfmusters zum Bauteilprüfling eine Störung im Aus­ gangssignal zu ermitteln.

7. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 6, wobei es sich bei den Strobe-Signalen um ein Strobe-Signal han­ delt, bei dem sich die Strobe-Punkte innerhalb einer bestimmten Zeitlänge im vom Bauteilprüfling kommen­ den Ausgangssignal kontinuierlich verändern.

8. Halbleiterprüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbau­ teils, enthaltend
einen Mustergenerator zur Erzeugung von Prüfmu­ stern und SOLL-Mustern für die Prüfung eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT);
einen Zeitsteuerungsgenerator zur Festlegung der jeweiligen Zeitsteuerung der Prüfmuster, SOLL- Muster und Strobe-Signale;
einen Wellenformatierer zur Erzeugung von Wel­ lenformen des dem Bauteilprüfling zuzuführenden Prüfmusters;
eine zwischen dem Wellenformatierer und dem Bau­ teilprüfling vorgesehene Pin-Elektronik zur Übertragung des Prüfmusters vom Wellenformatie­ rer zum Bauteilprüfling und zum Empfang eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings für die Ab­ tastung des Ausgangssignals entsprechend der je­ weiligen Zeitsteuerung der vom Ereignisgenerator kommenden Strobe-Signale;
einen Musterkomparator zum Vergleich der von der Pin-Elektronik kommenden Abtast-Ausgangsdaten mit dem SOLL-Muster und zur Erzeugung eines Feh­ lersignals bei einer Nichtübereinstimmung; und
eine Störungsnachweiseinheit, die das Ausgangs­ signal vom Bauteilprüfling empfängt und durch Zählen der Anzahl von Flanken im Ausgangssignal sowie Durchführung eines Vergleichs mit einer SOLL-Flankenzahl eine Störung im Ausgangssignal ermittelt.

9. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Stö­ rungsnachweiseinheit die folgenden Bestandteile ent­ hält: eine Flankenzähleinheit, die bei Zuführung des Prüfmusters zum Bauteilprüfling die Anzahl der Flan­ ken im Bauteilprüflings-Ausgangssignal zählt, sowie einen Logikomparator, der die Anzahl der von der Flankenzähleinheit gezählten Flanken mit der SOLL- Flankenzahl vergleicht.

10. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Stö­ rungsnachweiseinheit die folgenden Bestandteile ent­ hält: eine erste Flankenzähleinheit, die bei Zufüh­ rung des Prüfmusters zum Bauteilprüfling die Anzahl der Flanken im Ausgangssignal des Bauteilprüflings zählt, eine zweite Flankenzähleinheit zum Zählen der Anzahl der Flanken im vom Ereignisgenerator gelie­ ferten SOLL-Muster und einen Logikkomparator, wel­ cher die von der ersten Flankenzähleinheit gezählte Flankenzahl mit der von der zweiten Flankenzählein­ heit gezählten Flankenzahl vergleicht.

11. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 9, wobei die Flankenzähleinheit die folgenden Bestandteile um­ faßt:
einen ersten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderungen im vom Bauteilprüfling kommen­ den Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten hohen Schwellenspan­ nung;
einen zweiten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderung im vom Bauteilprüfling kommenden Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten niedrigen Schwellenspan­ nung;
einen ersten Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der ansteigenden Flanken vom ersten analogen Komparator;
einen zweiten Flankenzähler zum Zählen der An­ zahl der abfallenden Flanken vom zweiten analo­ gen Komparator; und
einen Multiplexer, der auswählt, ob Zähldaten vom ersten Flankenzähler oder vom zweiten Flan­ kenzähler dem Logikkomparator zugeführt werden.

12. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 10, wobei die er­ ste und zweite Flankenzähleinheit jeweils die fol­ genden Bestandteile umfassen:
einen ersten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderungen im vom Bauteilprüfling kommen­ den Ausgangssignal durch Vergleich mit einer am Komparator angelegten hohen Schwellenspannung;
einen zweiten analogen Komparator zur Ermittlung von Veränderung im vom Bauteilprüfling kommenden Ausgangssignal durch Vergleich mit einer an den Komparator angelegten niedrigen Schwellenspan­ nung;
einen ersten Flankenzähler zum Zählen der Anzahl der ansteigenden Flanken vom ersten analogen Komparator;
einen zweiten Flankenzähler zum Zählen der An­ zahl der abfallenden Flanken vom zweiten analo­ gen Komparator; und
einen Multiplexer, der auswählt, ob Zähldaten vom ersten Flankenzähler oder vom zweiten Flan­ kenzähler an den Logikkomparator geleitet wer­ den.