CZ20014459A3 - Způsob výroby trubkového terče pro katodová rozpraąovací zařízení a pouľití tohoto způsobu - Google Patents

Description

Vynález se týká způsobů výroby trůbk ového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky z prvního materiálu s pr\ > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého

I teplotou T_S2 tání < 800 K, která vnitřní trubku koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trúbky je se vzájemným tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně průměrem vnitřní trubky. Vynález se dále: týká použití tohoto způsobu.

ní teplotou T_sf tání materiálu s druhou

Dosavadní stav techniky

V poslední době se stále častěji používaj respektive rotační terčíky, oproti rovinnýih tenkých vrstev, protože umožňují vysokou výt procesu usazování, který je rovněž označován Zvlášť výhodné je použití trubkového terčíku ip tenkých vrstev reaktivním naprašováním kov í trubkové terčíky, terčíkům k výrobě nost materiálu při jako naprašování. i výrobě oxidových ů pod atmosférou azují zejména oxidy dium, vižmut nebo ují již při pokojové v průběhu procesu otách, které se buď jsou vyšší. Aby sé ež tenké vrstvy ps je cín, zinek, i obsahující kyslík. Přitom se jako kovů s nízkým bodem tání, jako jejich slitiny. Tyto kovy s nízkým bodem tání m teplotě nebo při mírně zvýšených teplotác naprašování sklon k tečení. Tečení nastává při t[ep rovnají 40 % teploty tání příslušného kovu nebo in • · děných kovů obvykle ódem tání, většinou

3Šný spoj s dobrou

a. .

X.

zabránilo vzniku tečení, jsou vnější trubky z uye podepřeny vnitřní trubkou z materiálu s vyšším 1 chlazenou. Přitom je však nutno vytvořit ipl přilnavostí, aby se dosáhlo dobrého přechodu tepl

Ve spisu US 5,354,446 jsou uvedeny různé způsoby výroby trubkového terčíku s vnitřní trubkou, respekťivs s trubkou nesoucí terčík, a s vnější trubkou, respektive s trubkovým terčíkem, z měkkých kovů nebo slitin s nízkou teplotou tání nebo náchylných k lomu. Přitom je zde popsán jednak způsob, trubka umístí na vnitřní trubce ’ stříkáním žat spočívá v tom, že válcová vnější trubka se spo pri nemz se vnejsi epla. Další způsob jí s vnitřní trubkou prostřednictvím pájky z india. Kromě toho jé zde popsáno použití vrstev zlepšujících přilnavost mezi vnitřní trubk íu a vnější trubkou, kterými se dosáhne přizpůsobení různých koeficientů tepelné roztažnosti vnitřní trubky a vnější trubky. Dále při němž se vnější trubka umístí na vnitřní lisováním zatepla.

je zde popsán způsob, trubce izostatickým

Uvedené způsoby jsou složité, z části problematické a drahé. Například celoplošné spojení vnitřní trubky a ýnější trubky pájkou je všeobecně vzhledem ke geometrickým poměrů obtížně se tento způsob provádí však tehdy, k vnější trubka z materiálu s nízkou teplotou tání, m obtížné. Zvlášť dyž má být pájena protože teplota tání vnější trubky a pájky leží často ve velmi podobných rozsazích

Při nanášení vnější trubky stříkáním nepravidelnosti ve struktuře vnější trubky. Tyto někdy tvořeny plynovými uzavřeninami neboli pórů, plynovými uzavřeninami v rozpuštěné formě částic oxidů v kovových nastříkaných vrstvách, stříkáním zatepla vznikne navíc ve vnější; t zatepla vzniknou nepravidelnosti jsou vměstky ve formě nebo uzavřeninami

Při nanášení vrstev rubce nepravidelná • · ··« · ► · · • · · · ·struktura s tvorbou slupek, přičemž přilnutí! na vnitřní trubku je špatné. Tyto poruchy struktury se projevují při naprašování katodovým rozprašovacím zařízením nerovnoměrnou intenzitou usazování. Plynové uzavřeniny ve formě pórů mohou způsobovat slabé exploze a odlupování materiálu, protože naprašování katodovým rozprašovacím zařízením se provádí ve vakuu. Kyslík rozpuštěný ve struktuře ovlivňuje a ztěžuje nastavení stechtometrie při usazování oxidu.

Známá je rovněž výroba válcových kovových trubek litím.

Například ve spisech DE 24 27 098, DE 35 32 13 Al jsou vždy popsány způsoby lití na výrobu ko

Al a DE 42 16 870 vových částí pomocí licích kokil, přičemž zde existuje snaha o řízené tuhnutí kovové taveniny, aby se dosáhlo co nejrovnoměrnějšíjorientované struktury. Řízeného tuhnutí kovové taveniny se dosáhne ochlazováním v řízeném teplotním poli, přičemž licí kokila je ochlazována zdola nahoru. Teplotního gradientu se dosáhne napříkla se ponoří do lázně, chladí vzduchem nebo je elementy.

d tím, že licí kokila obklopena topnými

Ve spise EP 092 477 je popsán svislý dutý odlitek z ocelového bloku v licí kokile, přičemž je použit chlazený kovový dutý trn. Do mlha, přičemž plyn nu ve směru k horní k ocelovému bloku, eré by jinak vzniklo dutého trnu se pro chlazení přivádí plyn nebo nebo mlha proudí ode dna kokily podél dutého tr straně kokily. Dutý trn přilne po ochlazení kokily aniž by se mezi nimi vytvořilo kovové spojení, kt při svařování nebo pájení. Tím se zabráni průniku, respektive protavení, dutého trnu při lití a rovněž tvorbě trhlinek v odlitém ocelovém bloku vznikajících působením tepla.

evný způsob výroby ízení, pomocí něhož

Úkolem vynálezu je vytvořit jednoduchý a 1 trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zař ·· ···· ·· ·.· «.· • · · · · · · · · · · • ··· · · · · · · • · · · · · • · · · ·· ·« ···· bude možné ve vnější trubce, nanášené naprašbv < 800 K dosáhnout vysoké čistoty a orientován úkolem vynálezu je umožnit použití tohoto způso íním, s teplotou tání é struktury. Dalším

Podstata vynálezu

Uvedený úkol· splňuje způsob výroby trut katodová rozprašovací zařízení, přičemž trubkov

I z kovové vnitřní trubky z prvního materiálu s pr > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého teplotou T_s2 tání < 800 K, která vnitřní t obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trub tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevní průměrem vnitřní trubky, podle vynálezu, jěhc vnější trubka se vytvoří litím druhého mate kapalném stavu do vzpřímeně stojící vyhřívané přičemž licí kokila obsahuje vyhřívaný trn, který trubky, přičemž po naplnění prostoru mezi líc trubkou roztaveným kapalným druhým materiál· vnitřní trubkou a licí kokilou první teplotní g stranou a horní stranou licí kokily se vytvoří dru] a přičemž vnější trubka se současně ochlazuje z v zdola nahoru.

Výhodou způsobu podle vynálezu je, že dostatečné doplňování odlitku, čímž se minimal neboli staženin. Vznikne orientovaná velmi r struktura s tyčinkovými krystaly, přičemž tyčinl kolmo k povrchu vnější trubky. Kromě toho se; m vnitřní trubkou vytvoří kovový spoj, jehož v) přilnavost a ideální přechod tepla.

kového terčíku pro ý terčík je vytvořen zní teplotou T_S] tání materiálu s druhou rubku koncentricky cy je se vzájemným spojen s vnějším ž podstatou je, že .riálu v roztaveném válcové licí kokily, se vytvoří z vnitřní kokilou a vnitřní ;m se vytvoří mezi radient, mezi dolní íý teplotní gradient, nitřku směrem ven a je možno provádět izuje tvorba lunkrů ovnoměrná a čistá cy jsou orientovány ezi vnější trubkou a ^rsledkem je vysoká ·

>· 4 4 4 <

Druhý materiál se s výhodou roztaví pod) in ve vakuu a následně se prostřednictvím čerpadla

I sifonu dopraví do licí kokily, aby se co nejví oxidů, popřípadě nečistot.

ertním plynem nebo kapalného kovu nebo ce zabránilo tvorbě

Druhý teplotní gradient se s výhodou vytvoří tím, že licí kokila se ohřívá alespoň dvěma odděleně regulovatelnými topnými zařízeními obklopujícími vždy licí kokilu radiálně. Přitom je výhodné použít jako topná zařízení elektrické topné rohože. Tyto topné rohože jsou provedeny z topných vodičů zalitých v izolačním materiálu a v důsledku své ohebnosti dobře tvarově přilehnou na licí kokilu.

Vnitřní trubka se s výhodou ohřívá po ce průměru horkým plynem nebo párou.

lém svém vnitřním

Licí kokila a vnitřní trubka se přitom jeištc s výhodou předehřejí na teplotu v rozsahu od 400 předehřátí brání příliš rychlému tuhnutí taveniny kokily a vnější stěně vnitřní trubky, které by m nepravidelností ve struktuře vnější trubky. Přitom předehřát alespoň licí kokilu na teplotu, která je \ tání druhého materiálu, takže při naplňování se z taveniny na vnitřní stěně licí kokily.

před začátkem lití

K do 850 K. Toto na vnitřní stěně licí ohlo způsobit vznik se zvlášť osvědčilo yšší než teplota T_s2 cela zabrání tuhnutí

Jako první materiál se osvědčila ušlechtil měď. Teploty tání těchto materiálů jsou podstatu tání prvního materiálu, takže při lití je nata^ vyloučeno.

Jako druhý materiál připadá s výhodou (cín, zinek, vizmut indium nebo jejich slitiny.

ocel, hliník nebo ě vyšší než teplota ení vnitřní trubky ·· ·.

• ·

Pro zlepšení vytvoření kovového spoje íme vnitřní trubkou se může vnitřní trubka před lití tím způsobem, že na její vnější průměr zprostředkující přilnavost o tloušťce v rozsahu od zi vnější trubkou a m předem zpracovat se nanese vrstva 5 pm do 500 pm.

K tomu je možno při zprostředkující přilnavost zprostředkující přilnavost bezproudovým usazováním či použití tavidla n vrstvu pájky, při se vytvoří z části vylučováním nebo s anášet jako vrstvu čemž tato vrstva galvanicky nebo Tíkáním zatepla.

Osvědčilo se nanese jako pájka, přičemž materiálem.

se použití vnitřní trubky z ušlech vrstva zprostředkující přilnavost vrstva pájky je alespoň z čás tilé ocelí, na kterou při použití tavidla ti tvořena ďruhým

Dále se osvědčilo použití vnitřní trubky z 1 vytvoření vrstvy zprostředkující přilnavost galvanickým nebo bezproudovým usazováním přičemž vrstva zprostředkující přilnavost je alesp z druhého materiálu. Po galvanickém nebo bežpi je možno přídavně nanést vrstvu pájky. Kromě vytvořit vrstvu zprostředkující přilnavost stříkán niklu.

iníku nebo mědi a alespoň z části či vylučováním, 3ň z části vytvořena oudovém vyloučení toho se osvědčilo m zatepla, zejména

První teplotní gradient se ideálním způsob ohřev vnitřního průměru vnitřní trubky se ukončí obtékání vnitřního průměru vnitřní trubky stud párou.

Druhý teplotní gradient se s výhodou výtv dvě topná zařízení se vypnou po sobě s časovým oři tak, že alespoň zpožděním. Za tím em vytvoří tak, že . Dále se osvědčilo eným plynem nebo ·’· · » • ·« • · k» · · · · regulovatelné topné druhého teplotního účelem se nejprve vypne topné zařízení u dna licí kokily a posléze se vypne alespoň jedno s ním sousedící další topně zařízení ve směru k horní straně licí kokily. Na každých 30 cm až 50 cm délky licí kokily by mělo být přitom upraveno jedno zvlášť zařízení, aby se dosáhlo povlovného průběhu gradientu.

azení snadno z licí ořen z alespoň dvou

Aby bylo možno trubkový terčík po ochl kokily vyjmout, měl by trubkový terčík být vytv dílů.

Způsobem podle vynálezu se s výhodou vytvoří vnější trubky o tloušťce v rozsahu od 3 mm do 12 mm.

Uvedený úkol dále splňuje použití způsobu podle vynálezu k výrobě trubkového terčíku pro katodová ro s obsahem kyslíku ve vnější trubce < 100.10'⁴ která je složena z tyčinkových krystalů, které jso k povrchu vnější trubky. ^S

S výhodou se způsob použije k nastavení 50.10'⁴ %, popřípadě střední zrnitosti tyčink

0,3 mm do 1 5 mm.

Přehled obrázků na výkresech íprasovaci zařízeni % a se strukturou, a uspořádány kolmo obsahu kyslíku < ových krystalů od

Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení a porovnávacích příkladech, z nichž představuje příklad 1: výrobu trubkového terčíku s vněj vnitřní trubkou z ušlechtilé oceli, ší trubkou z cínu a • · » ·· · · · · ·'» ··«!

ění způsobu podle příklad 2: výrobu trubkového terčíku s vnější trubkou ze zinku a vnitřní trubkou z ušlechtilé oceli a porovnávací příklad: výrobu trubkovéhó terčíku s vnější trubkou ze zinku stříkáním zatepla, podle přiložených výkresů, na nichž obr. 1 znázorňuje licí zařízení k provádění způsobu podle vynálezu s licí kokilou s uzavřeným dnem a obr. 2 znázorňuje licí zařízení k provád^ vynálezu s licí kokilou s otvorem ve dnu.

Příklady provedení vynálezu

Příklad 1:

Vnitřní trubka z ušlechtilé oceli (vnitřní průměr 127 mm, vnější průměr 133 mm, délka 1500 mm) se na svém vnějším průměru prostřednictvím běžně dostupného tavidla opatří ví

Vnitřní trubka opatřená pájkou se uspořádá vystředěně ve dvoudílné licí kokile. Licí kokila se z vnějšku zahřeje topnými rohožemi na asi

300 °C a vnitřní trubka se na svém vnitřním prům dmychadla horkého vzduchu zahřeje rovněž na V tavícím kelímku, který je sifonem (viz rovněž bbr. 1) spojen s licí kokilou, se roztaví pod atmosférou argonu cín 5 čistotou 99,99 %. Roztavený cín je zahřátým potrubím veden do licí kokily, kterou vyplní v prostoru mezi vnitřní trubkou a licí kokilou až k hornímu ěru prostřednictvím eplotu asi 300 °C.

okraji. Nyní se vypne dmychadlo horkého vzdu kokily počínaje se postupně vypínají a odstra Doplňováním roztaveného cínu na horním konci li poklesu hladiny kovu. Po ochlazení a úplňéiín ztuhnutí cínu a vytvoření vnější trubky o tloušťce 14 mm byla licí kokila odstraněna a vnější trubka osoustružena, aby še dosáhlo rovnoměrného povrchu.

chu a ode dna licí ňují topné rohože, cí kokily se zabrání •4» ·'» • 0 · · 4

0 0 0 • · · · · 9

Kromě toho byla nastavena délka vnější trubky n vnitřní trubka z ušlechtilé oceli byla na obou klon

Dodatečné výzkumy struktury trubkového tyčinkové krystaly cínu o střední zrnitosti 8 mm k povrchu vnější trubky, a to jak po celé její d obvodu, velmi rovnoměrně. Obsah kyslíku v cínu extrakce zatepla LEČO 7.10’⁴ %. Uzavřeniny, j nebyly v cínu zjištěny. Měření ultrazvukem u vnější trubky k vnitřní trubce bylo vynikající.

Příklad 2:

Vnitřní trubka z ušlechtilé oceli (vnitřní prť průměr 133 mm, délka 1500 mm) se na svéi prostřednictvím běžně dostupného tavidla opati zinku. Vnitřní trubka opatřená pájkou se uspo dvoudílné licí kokile. Licí kokila se z vnějšl· rohožemi na asi 500 °C a vnitřní trubka se na své prostřednictvím dmychadla horkého vzduchu teplotu asi 500 °C. V tavícím kelímku, který je obr. 1) spojen s licí kokilou, se roztaví pod atrnoí Roztavený zinek je zahřátým potrubím veden do vyplní v prostoru mezi vnitřní trubkou a licí kc okraji. Nyní se vypne dmychadlo horkého vzdu kokily počínaje se postupně vypínají a odsitra Doplňováním roztaveného zinku na horním ;ko zabrání poklesu hladiny kovu. Po ochlazení a ppi byla licí kokila odstraněna a trubkový terči příkladu 1.

a 1350 mm, přičemž cích obnažena.

terčíku ukázaly, že se vytvořily kolmo élce, tak i po jejím činil podle způsobu >óry nebo staženiny kázalo, že přilnutí iměr 127 mm, vnější n vnějším průměru í vrstvou pájky ze řádá vystředěně ve :u zahřeje topnými m vnitřním průměru zahřeje rovněž na sifonem (viz rovněž férou argonu zinek, licí kokily, kterou kilou až k hornímu chu a ode dna licí ňují topné rohože, nci licí kokily se ném ztuhnutí zinku k obroben jako u ► ···· • · * ··· ·'· ···· ·♦ ···· její délce, tak i po v zinku činil podle vřeniny, póry nebo

Dodatečné výzkumy struktury trubkovéhjo terčíku ukázaly, že tyčinkové krystaly zinku o střední zrnitosti 1,7 mm se vytvořily kolmo k povrchu vnější trubky, a to jak po celé jejím obvodu, velmi rovnoměrně. Obsah kyslíku způsobu extrakce zatepla LEČO 20.10'⁴ %. Uzai staženiny nebyly v zinku zjištěny. Měření ultrazvukem ukázalo, že přilnutí vnější trubky k vnitřní trubce bylo vynikající.

Porovnávací příklad:

Zinkový drát o průměru 3,1 mm a s obsahem kyslíku 28.10'⁴ % podle způsobu extrakce zatepla LEČO byl stříkáním pod plamenem v atmosféře argonu nanesen po vrstvách (každá vrstva o tloušťce asi 0,1 mm) na vnitřní trubku z ušlechtilé oceli. Vytvořená vnější trubka ze zinku měla tloušťku 10 mm.

Dodatečné výzkumy struktury trubkového 1 mezi za sebou nanesenými vrstvami zinku o tloůšť se nacházelo mnoho uzavřenin z oxidů o průměru Ve vnější trubce byl rovněž zjištěn velký poč< krystaly nebyly v metalografickém brusu i přeš 2 nalezeny. Obsahu kyslíku v zinku pod 2500.10'⁴ ' zatepla LEČO) nebylo přes opakované pokusy a o dosaženo.

erčíku ukázaly, že ce vždy asi 0,1 mm vždy asi 0,02 mm. :t pórů. Jednotlivé OOnásobné zvětšení Vo (způsob extrakce patření k vylepšení

Na obr. 1 je znázorněna válcová vzpřímeně stojící licí kokila 1 a a vnitřní trubka 2 uspořádaná vystředěně v licí ko 1 a je obložena elektrickými topnými rohožemi 3a., ohřev vnitřní trubky 2. je upraveno dmychadlo £ horkého vzduchu, přičemž horký vzduch je u dna liči kokily 1 a usměrněn zpět do směru ke dmychadlu 4 horkého vzduchu. Nad horním okrajem licí kokily 1 a je uspořádán taviči kelímek 5. pro roztavený druhý materiál a kile la. Licí kokila

3b, 3c, 3_d, 3e. Pro ·· ···· • · ♦ · ·· ·'»

Φ 9 9 9

9 9 ·· ·« • φ · φ • φ φ prostřednictvím sifonu, popřípadě potrubí 6, je mezi licí kokilou 1 a a vnitřní trubkou 2. Sifon, je vyhříván topnými pásy 7, aby se zabránil tuhnutí roztaveného druhého materiálu na je: kelímku 5. do licí kokily 1 a. Ventil 8_ uspořá popřípadě potrubím 6., a licí kokilou 1 a umožňuj prostoru mezi licí kokilou 1 a a vnitřní trubkou 2_.

spojen s prostorem opřípadě potrubí 6, ochlazování nebo ίο cestě z tavícího laný mezi sifonem, e cílené doplňování

Na obr. 2 je znázorněna válcová vzpřímeně stojící licí kokila Lb a vnitřní trubka 2. uspořádaná vystředěně v licí kókile lb. Licí kokila 1 b je přitom obložena elektrickými topnými rohožemi 3a, 3b, 3c, 3d_, 3e. Pro ohřev vnitřní trubky 2 je upraveno dmychadlo 4 horkého vzduchu. U tohoto provedení je vnitřní trubka 2 vedena otvorem ve dnu licí kokily 1 b, takže horký vzduch tudy uniká. Nad horním okrajem licí kokily 1 b je uspořádán taviči kelímek 5 pro roztavený druhý materiál a prostřednictvím sifonu, poipří pádě potrubí 6, je spojen s prostorem mezi licí kokilou lb a vnitřní trubkou 2_. Sifon,

7, aby se zabránilo materiálu na jeho popřípadě potrubí <5, je vyhříván topnými pásy ochlazování nebo tuhnutí roztaveného druhého cestě z tavícího kelímku 5. do licí kokily lb. Ventil 8. uspořádaný mezi sifonem, popřípadě potrubím 6_, a licí kckilou lb umožňuje cílené doplňování prostoru mezi licí kokilou lb a vnitřní trubkou 2_.

Un>4~ ^£7

Claims (23)

1. Způsob výroby trubkového terčíku pro ke.todová rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky z prvního materiálu s první teplotou T_si tání > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého materiálu s druhou teplotou T_s2 tání < 800 K, která vnitřní trubku koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trubky je se vzájemným tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně spojen s vnějším průměrem vnitřní trubky, že vnější trubka se vytvoří litím druhého mat kapalném stavu do vzpřímeně stojící vyhřívané přičemž licí kokila obsahuje vyhřívaný trn, který trubky, přičemž po naplnění prostoru mezi lic vyznačující se tím, eriálu v roztaveném válcové licí kokily, se vytvoří z vnitřní í kokilou a vnitřní trubkou roztaveným kapalným druhým materiálem se vytvoří mezi vnitřní trubkou a licí kokilou první teplotní g radient, mezi dolní stranou a horní stranou licí kokily se vytvoří druiý teplotní gradient, a přičemž vnější trubka se současně ochlazuje ž v zdola nahoru.

nitřku směrem ven a

2. Způsob podle nároku 1, vyznačující se ti ohřívá alespoň dvěma odděleně regulovatelnými obklopujícími licí kokilu vždy radiálně.

3. Způsob podle nároku 2, vyznačující se zařízení se použijí elektrické topné rohože.

m, že licí kokila se topnými zařízeními tím, že jako topná

4. Způsob podle alespoň jednoho z nároků se tím, že vnitřní trubka se na svém vnitřní horkým plynem nebo párou.

1 až 3, vyznačující m průměru zahřívá • •\ . ·· ·· 9'·' • ·' 9 9 9 4' · 9

9 9 .9 9 9 9·

5. Způsob podle alespoň jednoho z nároků se tím, že licí kokila a vnitřní trubka se ohřeijí od 400 K do 850 K.

6. Způsob podle nároku 5, vyznačující se kokila se předehřeje na teplotu vyšší než je tépl materiálu. i • 9 · 99·· » · · , · ··· • . 9 .9 9 9« ··' 99 9 9 9 9 999 9

1 až 4, vyznačující na teplotu v rozsahu tím, že alespoň licí ota T_s2 tání druhého

7. Způsob podle alespoň jednoho z nároků se tím, že jako první materiál se použije ušlechti měď.

1 až 6, vyznačující lá ocel, hliník nebo

8. Způsob podle alespoň jednoho z nároků

I se tím, že jako druhý materiál se použije cín, zi ' ' ' í nebo jejich slitiny.

9. Způsob podle alespoň jednoho z nároků se tím, že vnitřní trubka se před litím předem žpi vnější průměr se nanese vrstva zprostředkující v rozsahu od 5 pm do 500 μπι.

10. Způsob podle nároku 9, vyznačující se tavidla se jako vrstva zprostředkující přilnutí nan

1 až 7, vyznačující nek, vizmut, indium

1 až 8, vyznačující acuje tím, že na její přilnutí o tloušťce tím, že při použití ese vrstva pájky.

se tím, že vrstva ě galvanickým nebo

11. Způsob podle nároku 9, vyznačující zprostředkující přilnutí se vytvoří alespoň částečiji bezproudovým vylučováním.

12. Způsob podle nároku 9, vyznačující zprostředkující přilnutí se vytvoří stříkáním zatepla.

se tím, že vrstva ·· 9999 9 9 99' 99 9'9

9 9 9, 9 9 9 9 9 9 9 9

..9 9 9 9 9 9 9 9 9 9

9 9 9 9 9' 9 « · « » ~ • · » · · ~ ··* 9999 9 9 9' ·· ·«·« «» ·«»»

13. Způsob podle nároků 8, 9 a 10, vyzná použije vnitřní trubka z ušlechtilé oceli, pi zprostředkující přilnutí se nanese při použití taA přičemž vrstva pájky je vytvořena alespoň čující se tím, že se ičemž jako vrstva idla vrstva pájky, a z části z druhého materiálu.

14. Způsob podle nároků 8, 9 a 11, vyzná použije vnitřní trubka z hliníku nebo měd zprostředkující přilnutí se vytvoří alespoň z čás bezproudovým vylučováním, a přičemž vrstva žpr je vytvořena alespoň z části z druhého materiálu.

čující se tím, že se i, přičemž vrstva :i galvanickým nebo ostředkující přilnutí

15. Způsob podle nároku 12, vyznačující zprostředkující přilnutí se vytvoří stříkáním niklu se tím, zatepla.

že vrstva

16. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 1 až 15, vyznačující se tím, že první teplotní gradient se vytvoří tím, že ohřev vnitřního průměru vnitřní trubky se vypne.

17. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že první teplotní gradient se vytvoří tím, že vnitřní průměr vnitřní trubky je obtékán studeným plynem nebo párou.

18. Způsob podle alespoň jednoho zi vyznačující se tím, že druhý teplotní gradient alespoň dvě topná zařízení se vypnou časově zpož íároků 2 až se vytvoří tím, děně po sobě.

17, že

19. Způsob podle alespoň vyznačující se tím, že licí kokila dvou dílů.

jednoho z je radiálně nároků 1 vytvořena až 18, z alespoň .··* ♦ ··· ··_ ··' ’ ♦· 4

9 i • · ♦ '9 _9 999, 9 9 · · ♦ ♦' 9 * - ·' · 9 '

9-9 9 9 9.'9 9 «'· 9···

9. 9 9 • 9 ·· 99·· nároků 1 až 19, tloušťce v rozsahu

20. Způsob podle alespoň jednoho :z vyznačující se tím, že se vytvoří vnější trubk|a < od 3 mm do 12 mm.

21. Použití způsobu podle jednoho z náfok trubkového terčíku pro katodová rozprašovací kyslíku ve vnější trubce < 100.10’⁴ % a sé složena z tyčinkových krystalů, které jsou k povrchu vnější trubky.

ů 1 až 20 k výrobě zařízení s obsahem

Strukturou, která je uspořádány kolmo

22. Použití podle nároku 21, vyznačující kyslíku činí < 50.10’⁴ %.

23. Použití podle jednoho z nároků 21 až tím, že střední zrnitost tyčinkových krystalů je v do 1 5 mm.

se tím, že obsah

22, vyznačující se rozsahu od 0,03 mm