CZ298832B6

CZ298832B6 - Zpusob výroby trubkového tercíku pro katodová rozprašovací zarízení

Info

Publication number: CZ298832B6
Application number: CZ20014459A
Authority: CZ
Inventors: Heck@Ralf; Jüttner@Rainer; Lupton@David; Maier@Egon; Mainz@Peter; Manhardt@Harald; Stenger@Bernd; Zingg@Holger
Original assignee: W. C. Heraeus Gmbh & Co. Kg
Priority date: 2000-12-19
Filing date: 2001-12-12
Publication date: 2008-02-20
Also published as: CN1363716A; CN1196806C; EP1216772B1; DE50107674D1; PL200015B1; CZ20014459A3; EP1216772A2; ATE306342T1; US6719034B2; DE10063383C1; PL351221A1; EP1216772A3; US20030089482A1; ES2246980T3

Abstract

Zpusob výroby trubkového tercíku pro katodová rozprašovací zarízení, pricemž trubkový tercík je vytvoren z kovové vnitrní trubky (2) z prvního materiálu s první teplotou T.sub.s1.n. tání .>=. 900 K az kovové vnejší trubky z druhého materiálu s druhou teplotou T.sub.s2.n. tání .<=. 800 K, která vnitrní trubku (2) koncentricky obklopuje, a pricemž vnitrní prumer vnejší trubky je se vzájemným tvarovým prizpusobením a mechanicky pevne spojen s vnejším prumerem vnitrní trubky (2), se provádí tak, že vnejší trubka se vytvorí litím druhého materiálu v roztaveném kapalném stavu do vzprímene stojící vyhrívané válcové licí kokily (1a), pricemž licí kokila (1a) obsahuje vyhrívaný trn, který se vytvorí z vnitrní trubky (2), pricemž po naplnení prostoru mezi licí kokilou (1a) a vnitrní trubkou (2)roztaveným kapalným druhým materiálem se vytvorí mezi vnitrní trubkou (2) a licí kokilou (1a) prvníteplotní gradient, mezi dolní stranou a horní stranou licí kokily (1a) se vytvorí druhý teplotní gradient, a pricemž vnejší trubka se soucasne ochlazuje z vnitrku smerem ven a zdola nahoru. Tento zpusob je vhodný k výrobe trubkového tercíku pro katodová rozprašovací zarízení s obsahem kyslíku ve vnejší trubce .<=. 100.10.sup.-4.n. % a se strukturou, která je složena z tycinkových krystalu, které jsou usporádány kolmo k povrchu vnejší trubky.

Description

Způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení

Oblast techniky

Vynález se týká způsobu výroby trubkového terčíku pro katodové rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky z prvního materiálu s první teplotou Tsl tání > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého materiálu s druhou teplotou Ts2 tání < 800 K, která vnitřní trubku koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trubky je se vzájemným ío tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně spojen s vnějším průměrem vnitřní trubky.

Dosavadní stav techniky

V poslední době se stále častěji používají trubkové terčíky, respektive rotační terčíky, oproti rovinným terčíkům k výrobě tenkých vrstev, protože umožňují vysokou výtěžnost materiálu při procesu usazování, který je rovněž označován jako naprašování. Zvlášť výhodné je použití trubkového terčíku při výrobě oxidových tenkých vrstev reaktivním naprašováním kovů pod atmosférou obsahující kyslík. Přitom se jako tenké vrstvy usazují oxidy kovů s nízkým bodem tání, jako je cín, zinek, indium, vizmut nebo jejich slitiny. Tyto kovy s nízkým bodem tání mají již při pokojové teplotě nebo při mírně zvýšených teplotách v průběhu procesu naprašování sklon k tečení. Tečení nastává při teplotách, které se buď rovnají 40 % teploty tání příslušného kovu, nebo jsou vyšší. Aby se zabránilo vzniku tečení, jsou vnější trubky z uvedených kovů obvykle podepřeny vnitřní trubkou z materiálu s vyšším bodem tání, většinou chlazenou. Přitom je však nutno vytvořit plošný spoj s dobrou přilnavostí, aby se dosáhlo dobrého přechodu tepla.

Ve spisu US 5 354 446 jsou uvedeny různé způsoby výroby trubkového terčíku s vnitřní trubkou, respektive s trubkou nesoucí terčík, a s vnější trubkou, respektive s trubkovým terčíkem, z měkkých kovů nebo slitin s nízkou teplotou tání nebo náchylných k lomu. Přitom je zde popsán jed30 nak způsob, při němž se vnější trubka umístí na vnitřní trubce stříkáním zatepla. Další způsob spočívá v tom, že válcová vnější trubka se spojí s vnitřní trubkou prostřednictvím pájky z india. Kromě toho je zde popsáno použití vrstev zlepšujících přilnavost mezi vnitřní trubkou a vnější trubkou, kterými se dosáhne přizpůsobení různých koeficientů tepelné roztažnosti vnitřní trubky a vnější trubky. Dále je zde popsán způsob, při němž se vnější trubka umístí na vnitřní trubce izo35 statickým lisováním zatepla.

Uvedené způsoby jsou složité, zčásti problematické a drahé. Například celoplošné spojení vnitřní trubky a vnější trubky pájkou je všeobecně vzhledem ke geometrickým poměrům obtížné. Zvlášť obtížné se tento způsob provádí však tehdy, když má být pájena vnější trubka z materiálu s níz40 kou teplotou tání, protože teplota tání vnější trubky a pájky leží často ve velmi podobných rozsazích.

Při nanášení vnější trubky stříkáním zatepla vzniknou nepravidelnosti ve struktuře vnější trubky. Tyto nepravidelnosti jsou někdy tvořeny plynovými uzavřeninami neboli vměstky ve formě pórů, plynovými uzavřeninami v rozpuštěné formě nebo uzavřeninami částic oxidů v kovových nastříkaných vrstvách. Při nanášení vrstev stříkáním zatepla vznikne navíc ve vnější trubce nepravidelná struktura s tvorbou slupek, přičemž přilnutí na vnitřní trubkuje špatné. Tyto poruchy struktury se projevují při naprašování katodovým rozprašovacím zařízením nerovnoměrnou intenzitou usazování. Plynové uzavřeniny ve formě pórů mohou způsobovat slabé exploze a odlupování materiálu, protože naprašování katodovým rozprašovacím zařízením se provádí ve vakuu. Kyslík rozpuštěný ve struktuře ovlivňuje a ztěžuje nastavení stechiometrie při usazování oxidu.

Známá je rovněž výroba válcových kovových trubek litím. Například ve spisech DE 24 27 098, DE 35 32 131 Al a DE 42 16 870 Al jsou vždy popsány způsoby lití na výrobu kovových částí pomocí licích kokil, přičemž zde existuje snaha o řízené tuhnutí kovové taveniny, aby se dosáhlo

-1 CZ 298832 B6 co nerovnoměrnější orientované struktury. Řízeného tuhnutí kovové taveniny se dosáhne ochlazováním v řízeném teplotním poli, přičemž licí kokila je ochlazována zdola nahoru. Teplotního gradientu se dosáhne například tím, že licí kokila se ponoří do lázně, chladí vzduchem nebo je obklopena topnými elementy.

Ve spise EP 092 477 je popsán svislý dutý odlitek z ocelového bloku v licí kokile, přičemž je použit chlazený kovový dutý tm. Do dutého tmu se pro ochlazení přivádí plyn nebo mlha, přičemž plyn nebo mlha proudí ode dna kokily podél dutého tmu ve směru k horní straně kokily. Dutý tm přilne po ochlazení kokily k ocelovému bloku, aniž by se mezi nimi vytvořilo kovové ío spojení, které by jinak vzniklo při svařování nebo pájení. Tím se zabrání průniku, respektive protavení, dutého tmu při lití a rovněž tvorbě trhlinek v odlitém ocelovém bloku vznikajících působením tepla.

Úkolem vynálezu je vytvořit jednoduchý a levný způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení, pomocí něhož bude možné ve vnější trubce, nanášené naprašováním, s teplotou tání < 800 K dosáhnout vysoké čistoty a orientované struktury. Dalším úkolem vynálezu je umožnit použití tohoto způsobu.

Podstata vynálezu

Uvedený úkol splňuje způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky z prvního materiálu s první teplotou T_s)tání > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého materiálu s druhou teplotou T_s2 tání < 800 K, která vnitřní trubku koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trubky je se vzájemným tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně spojen s vnějším průměrem vnitřní trubky, podle vynálezu, jehož podstatou je, že vnější trubka se vytvoří litím druhého materiálu v roztaveném kapalném stavu do vzpřímeně stojící vyhřívané válcové licí kokily, přičemž licí kokila obsahuje vyhřívaný tm, který se vytvoří z vnitřní trubky, přičemž po naplnění prostoru mezi licí koki30 lou a vnitřní trubkou roztaveným kapalným druhým materiálem se vytvoří mezi vnitřní trubkou a licí kokilou první teplotní gradient, mezi dolní stranou a horní stranou licí kokily se vytvoří druhý teplotní gradient, a přičemž vnější trubka se současně ochlazuje zvnitřku směrem ven a zdola nahoru.

Výhodou způsobu podle vynálezu je, že je možno provádět dostatečné doplňování odlitku, čímž se minimalizuje tvorba lunkrů neboli staženin. Vznikne orientovaná velmi rovnoměrná a čistá struktura s tyčinkovými krystaly, přičemž tyčinky jsou orientovány kolmo k povrchu vnější trubky. Kromě toho se mezi vnější trubkou a vnitřní trubkou vytvoří kovový spoj, jehož výsledkem je vysoká přilnavost a ideální přechod tepla.

Druhý materiál se s výhodou roztaví pod inertním plynem nebo ve vakuu a následně se prostřednictvím čerpadla kapalného kovu nebo sifonu dopraví do licí kokily, aby se co nejvíce zabránilo tvorbě oxidů, popřípadě nečistot.

Druhý teplotní gradient se s výhodou vytvoří tím, že licí kokila se ohřívá alespoň dvěma odděleně regulovanými topnými zařízeními obklopujícími vždy licí kokilu radiálně. Přitom je výhodné použít jako topná zařízení elektrické topné rohože. Tyto topné rohože jsou provedeny z topných vodičů zalitých v izolačním materiálu a v důsledku své ohebnosti dobře tvarově přilehnou na licí kokilu.

Vnitřní trubka se s výhodou ohřívá po celém svém vnitřním průměrem horkým plynem nebo párou.

Licí kokila a vnitřní trubka se přitom ještě před začátkem lití s výhodou předehřejí na teplotu v rozsahu od 400 K do 850 K. Toto předehřátí brání příliš rychlému tuhnutí taveniny na vnitřní

-2CZ 298832 B6 stěně licí kokily a vnější stěně vnitřní trubky, které by mohlo způsobit vznik nepravidelností ve struktuře vnější trubky. Přitom se zvlášť osvědčilo předehřát alespoň licí kokilu na teplotu, která je vyšší než teplota T_s2 tání druhého materiálu, takže při naplňování se zcela zabrání tuhnutí taveniny na vnitřní stěně licí kokily.

Jako první materiál se osvědčila ušlechtilá ocel, hliník nebo měď. Teploty tání těchto materiálů jsou podstatně vyšší než teplota tání prvního materiálu, takže při lití je natavení vnitřní trubky vyloučeno.

Jako druhý materiál připadá s výhodou cín, zinek, vizmut indium nebo jejich slitiny.

Pro zlepšení vytvoření kovového spoje mezi vnější trubkou a vnitřní trubkou se může vnitřní trubka před litím předem zpracovat tím způsobem, že na její vnější průměr se nanese vrstva zprostředkující přilnavost o tloušťce v rozsahu od 5 do 500 pm.

K tomu je možno při použití tavidla nanášet jako vrstvu zprostředkující přilnavost vrstvu pájky, přičemž tato vrstva zprostředkující přilnavost se vytvoří zčásti galvanicky nebo bezproudovým usazováním či vylučováním nebo stříkáním zatepla.

Osvědčilo se použití vnitřní trubky z ušlechtilé oceli, na kterou se nanese jako vrstva zprostředkující přilnavost při použití tavidla pájka, přičemž vrstva pájky je alespoň zčásti tvořena druhým materiálem.

Dále se osvědčilo použití trubky z hliníku nebo mědi a vytvoření vrstvy zprostředkující přilna25 vost alespoň zčásti galvanickým nebo bezproudovým usazováním či vylučováním, přičemž vrstva zprostředkující přilnavost je alespoň zčásti vytvořena z druhého materiálu. Po galvanickém nebo bezproudovém vyloučení je možno přídavně nanést vrstvu pájky. Kromě toho se osvědčilo vytvořit vrstvu zprostředkující přilnavost stříkáním zatepla, zejména niklu.

První teplotní gradient se ideálním způsobem vytvoří tak, že ohřev vnitřního průměru vnitřní trubky se ukončí. Dále se osvědčilo obtékání vnitřního průměru vnitřní trubky studeným plynem nebo párou.

Druhý teplotní gradient se s výhodou vytvoří tak, že alespoň dvě topná zařízení se vypnou po sobě s časovým zpožděním. Za tím účelem se nejprve vypne topné zařízení u dna licí kokily a posléze se vypne alespoň jedno s ním sousedící další topné zařízení ve směru k horní straně licí kokily. Na každých 30 až 50 cm délky licí kokily by mělo být přitom upraveno jedno zvlášť regulovatelné topné zařízení, aby se dosáhlo povlovného průběhu druhého teplotního gradientu.

Aby bylo možno trubkový terčík po ochlazení snadno z licí kokily vyjmout, měl by trubkový terčík být vytvořen z alespoň dvou dílů.

Způsob podle vynálezu se s výhodou vytvoří vnější trubky o tloušťce v rozsahu od 3 do 12 mm.

Způsobem podle vynálezu se s výhodou vyrobí trubkový terčík pro katodové rozprašovací zařízení s obsahem kyslíku ve vnější trubce < 100.10^ % a se strukturou, která je složena z tyčinkových krystalů, které jsou uspořádány kolmo k povrchu vnější trubky.

S výhodou se způsob použije k nastavení obsahu kyslíku < 50.10“⁴ %, popřípadě střední zrnitosti tyčinkových krystalů od 0,3 do 15 mm.

-3 CZ 298832 B6

Přehled obrázků na výkresech

Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení a porovnávacích příkladech, z nichž představuje příklad 1: výrobu trubkového terčíku s vnější trubkou z cínu a vnitřní trubkou z ušlechtilé oceli, příklad 2: výrobu trubkového terčíku s vnější trubkou ze zinku a vnitřní trubkou z ušlechtilé oceli a porovnávací příklad: výrobu trubkového terčíku s vnější trubkou ze zinku stříkáním zatepla, podle přiložených výkresů, na nichž obr. 1 znázorňuje licí zařízení k provádění způsobu podle vynálezu s licí kokilou s uzavřenými dnem a obr. 2 znázorňuje licí zařízení k provádění způsobu podle vynálezu s licí kokilou s otvorem ve dnu.

Příklady provedení vynálezu

Příklad 1

Vnitřní trubka z ušlechtilé oceli (vnitřní průměr 127 mm, vnější průměr 133 mm, délka 1500 mm) se na svém vnějším průměru prostřednictvím běžně dostupného tavidla opatří vrstvou pájky z cínu. Vnitřní trubka opatřená pájkou se uspořádá vystředěně ve dvoudílné licí kokile. Licí kokila se z vnějšku zahřeje topnými rohožemi na asi 300 °C a vnitřní trubka se na svém vnitřním průměru prostřednictvím dmychadla horkého vzduchu zahřeje rovněž na teplotu asi 300 °C. V tavícím kelímku, který je sifonem (viz rovněž obr. 1) spojen s licí kokilou, se roztaví pod atmosférou argonu cín s čistotou 99,99 %. Roztavený cín je zahřátým potrubím veden do licí kokily, kterou vyplní v prostoru mezi vnitřní trubkou a licí kokilou až k horními okraji. Nyní se vypne dmychadlo horkého vzduchu a ode dna licí kokily počínaje se postupně vypínají a odstraňují topné rohože. Doplňováním roztaveného cínu na horním konci licí kokily se zabrání poklesu hladiny kovu. Po ochlazení a úplném ztuhnutí cínu a vytvoření vnější trubky o tloušťce 14 mm byla licí kokila odstraněna a vnější trubka osoustružena, aby se dosáhlo rovnoměrného povrchu. Kromě toho byla nastavena délka vnější trubky na 1350 mm, přičemž vnitřní trubka z ušlechtilé oceli byla na obou koncích obnažena.

Dodatečné výzkumy struktury trubkového terčíku ukázaly, že tyčinkové krystaly cínu o střední zrnitosti 8 mm se vytvořily kolmo k povrchu vnější trubky, a to jak po celé její délce, tak i po jejím obvodu, velmi rovnoměrně. Obsah kyslíku v cínu činil podle způsobu extrakce zatepla

LECO7.10⁴%. Uzavřeniny, póry nebo staženiny nebyly v cínu zjištěny. Měření ultrazvukem ukázalo, že přilnutí vnější trubky k vnitřní trubce bylo vynikající.

Příklad 2

Vnitřní trubka z ušlechtilé oceli (vnitřní průměr 127 mm, vnější průměr 133 mm, délka 1500 mm) se na svém vnějším průměru prostřednictvím běžně dostupného tavidla opatří vrstvou pájky ze zinku. Vnitřní trubka opatřená pájkou se uspořádá vystředěně ve dvoudílné licí kokile. Licí kokila se z vnějšku zahřeje topnými rohožemi na asi 500 °C a vnitřní trubka se na svém vnitřním průměru prostřednictvím dmychadla horkého vzduchu zahřeje rovněž na teplotu asi

-4CZ 298832 B6

500 °C. V tavícím kelímku, který je sifonem (viz rovněž obr. 1) spojen s licí kokilou, se roztaví pod atmosférou argonu zinek. Roztavený zinek je zahřátým potrubím veden do licí kokily, kterou vyplní v prostoru mezi vnitřní trubkou a licí kokilou až k hornímu okraji. Nyní se vypne dmychadlo horkého vzduchu a ode dna licí kokily počínaje se postupně vypínají a odstraňují topné rohože. Doplňováním roztaveného zinku na horním konci licí kokily se zabrání poklesu hladiny kovu. Po ochlazení a úplném ztuhnutí zinku byla licí kokila odstraněna a trubkový terčík obroben jako u příkladu 1.

Dodatečné výzkumy struktury trubkového terčíku ukázaly, že tyčinkové krystaly zinku o střední ío zrnitosti 1,7 mm se vytvořily kolmo k povrchu vnější trubky, a to jak po celé její délce, tak i po jejím obvodu, velmi rovnoměrně. Obsah kyslíku v zinku činil podle způsobu extrakce zatepla

LEČO 20.10^-4 %. Uzavřeniny, póry nebo staženiny nebyly v zinku zjištěny. Měření ultrazvukem ukázalo, že přilnutí vnější trubky k vnitřní trubce bylo vynikající.

Porovnávací příklad

Zinkový drát o průměru 3,1 mm a s obsahem kyslíku 28.10 ⁴ % podle způsobu extrakce zatepla LEČO byl stříkáním pod plamenem v atmosféře argonu nanesen po vrstvách (každá vrstva o tloušťce asi 0,1 mm) na vnitřní trubku z ušlechtilé oceli. Vytvořená vnější trubka ze zinku měla tloušťku 10 mm.

Dodatečné výzkumy struktury trubkového terčíku ukázaly, že mezi za sebou nanesenými vrstvami zinku o tloušťce vždy asi 0,1 mm se nacházelo mnoho uzavřenin z oxidů o průměru vždy asi

0,02 mm. Ve vnější trubce byl rovněž zjištěn velký počet pórů. Jednotlivé krystaly nebyly v metalografickém brusu i přes 200násobné zvětšení nalezeny. Obsahu kyslíku v zinku pod 2500.10“⁴ % (způsob extrakce zatepla LEČO) nebylo přes opakované pokusy a opatření k vylepšení dosaženo.

Na obr. 1 je znázorněna válcová vzpřímeně stojící licí kokila la a vnitřní trubka 2 uspořádána vystředěně v licí kokile la. Licí kokila laje opatřena elektrickými topnými rohožemi 3a, 3b, 3c, 3d, 3e. Pro ohřev vnitřní trubky 2 je upraveno dmychadlo 4 horkého vzduchu, přičemž horký vzduch je u dna licí kokily J_a usměrněn zpět do směru ke dmychadlu 4 horkého vzduchu. Nad horním okrajem licí kokily Ja je uspořádán tavící kelímek 5 pro roztavený druhý materiál a pro35 střednictvím sifonu, popřípadě potrubí 6, je spojen s prostorem mezi licí kokilou la a vnitřní trubkou 2. Sifon, popřípadě potrubí 6, je vyhříván topnými pásy 7, aby se zabránilo ochlazování nebo ztuhnutí roztaveného druhého materiálu na jeho cestě z tavícího kelímku 5 do licí kokily la. Ventil 8 uspořádaný mezi sifonem, popřípadě potrubím 6, a licí kokilou J_a umožňuje cílené doplňování prostoru mezi licí kokilou la a vnitřní trubkou 2.

Na obr. 2 je znázorněna válcová vzpřímeně stojící licí kokila lb a vnitřní trubka 2 uspořádaná vystředěně v licí kokile lb. Licí kokila kb je přitom obložena elektrickými topnými rohožemi 3a, 3b, 3c, 3d, 3e. Pro ohřev vnitřní trubky 2 je upraveno dmychadlo 4 horkého vzduchu. U tohoto provedení je vnitřní trubka 2 vedena otvorem ve dnu licí kokily lb, takže horký vzduch tudy uni45 ká. Nad horním okrajem licí kokily lb je uspořádán tavící kelímek 5 pro roztavený druhý materiál a prostřednictvím sifonu, popřípadě potrubí 6, je spojen s prostorem mezi licí kokilou lb a vnitřní trubkou 2. Sifon, popřípadě potrubí 6, je vyhříván topnými pásy 7, aby se zabránilo ochlazování nebo tuhnutí roztaveného druhého materiálu na jeho cestě z tavícího kelímku 5 do licí kokily J_b. Ventil 8 uspořádaný mezi sifonem, popřípadě potrubím 6, a licí kokilou fb umož50 ňuje cílené doplňování prostoru mezi licí kokilou lb a vnitřní trubkou 2.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Způsob výroby trubkového terčíku pro katodová rozprašovací zařízení, přičemž trubkový terčík je vytvořen z kovové vnitřní trubky (2) z prvního materiálu s první teplotou T_sl tání > 900 Kaz kovové vnější trubky z druhého materiálu s druhou teplotou T_s2 tání < 800 K, která vnitřní trubku (2) koncentricky obklopuje, a přičemž vnitřní průměr vnější trubky je se vzájemio ným tvarovým přizpůsobením a mechanicky pevně spojen s vnějším průměrem vnitřní trubky (2), vyznačující se tím, že vnější trubka se vytvoří litím druhého materiálu v roztaveném kapalném stavu do vzpřímeně stojící vyhřívané válcové licí kokily (la, lb), přičemž licí kokila (la, lb) obsahuje vyhřívaný tm, který se vytvoří z vnitřní trubky (2), přičemž po naplnění prostoru mezi licí kokilou (la, lb) a vnitřní trubkou (2) roztaveným kapalným druhým materiá15 lem se vytvoří mezi vnitřní trubkou (2) a licí kokilou (la, lb) první teplotní gradient, mezi dolní stranou a horní stranou licí kokily (la, lb) se vytvoří druhý teplotní gradient, a přičemž vnější trubka se současně ochlazuje z vnitřku směrem ven a zdola nahoru.
2. Způsob podle nároku 1, vy z n a č uj í c í se t i m , že licí kokila (1 a, lb) se ohřívá ales20 poň dvěma odděleně regulovatelnými topnými zařízeními obklopujícími licí kokilu (la, lb) vždy radiálně.
3. Způsob podle nároku 2, vyznačující se tím, že jako topná zařízení se použijí elektrické topné rohože (3a, 3b, 3c, 3d, 3e).
4. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že vnitřní trubka (2) se na svém vnitřním průměru zahřívá horkým plynem nebo párou.
5. Způsob podle alespoň jednoho z nároků laž4, vyznačující se tím, že licí kokila

30 (la, lb) a vnitřní trubka (2) se ohřejí na teplotu v rozsahu od 400 K do 850 K.
6. Způsob podle nároku 5, vyznačující se tím, že alespoň licí kokila (la, lb) se předehřeje na teplotu vyšší než je teplota T_s2 tání druhého materiálu.

35
7. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 1 až 6, vyznačující se tím, že jako první materiál se použije ušlechtilá ocel, hliník nebo měď.
8. Způsob podle alespoň jednoho z nároků laž7, vyznačující se tím, že jako druhý materiál se použije cín, zinek, vizmut, indium nebo jejich slitiny.
9. Způsob podle alespoň jednoho z nároků laž8, vyznačující se tím, že vnitřní trubka (2) se před litím předem zpracuje tím, že na její vnější průměr se nanese vrstva zprostředkující přilnutí o tloušťce v rozsahu od 5 pm do 500 pm.

45
10. Způsob podle nároku 9, vyznačující se tím, že při použití tavidla se jako vrstva zprostředkující přilnutí nanese vrstva pájky.
11. Způsob podle nároku 9, vyznačující se tím, že vrstva zprostředkující přilnutí se vytvoří alespoň částečně galvanickým nebo bezproudovým vylučováním.
12. Způsob podle nároku 9, vyznačující se tím, že vrstva zprostředkující přilnutí se vytvoří stříkáním zatepla.

-6CZ 298832 B6
13. Způsob podle nároků 8, 9 a 10, vyznačující se tím, že se použije vnitřní trubka (2) z ušlechtilé oceli, přičemž jako vrstva zprostředkující přilnutí se nanese při použití tavidla vrstva pájky, a přičemž vrstva pájky je vytvořena alespoň zčásti z druhého materiálu.

5
14. Způsob podle nároků 8, 9 a 11, vyznačující se tím, že se použije vnitřní trubka (2) z hliníku nebo mědi, přičemž vrstva zprostředkující přilnutí se vytvoří alespoň zčásti galvanickým nebo bezproudovým vylučováním, a přičemž vrstva zprostředkující přilnutí je vytvořena alespoň zčásti z druhého materiálu.

ío
15. Způsob podle nároku 12, vyznačující se tím, že vrstva zprostředkující přilnutí se vytvoří stříkáním niklu zatepla.
16. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 1 až 15, vyznačující se tím, že první teplotní gradient se vytvoří tím, že ohřev vnitřního průměru vnitřní trubky (2) se vypne.
17. Způsob podle nároku 16, vyznačující se tím, že první teplotní gradient se vytvoří tím, že vnitřní průměr vnitřní trubky (2) je obtékán studeným plynem nebo párou.
18. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 2 až 17, vyznačující se tím, že druhý

20 teplotní gradient se vytvoří tím, že alespoň dvě topná zařízení se vypnou časově zpožděně po sobě.
19. Způsob podle alespoň jednoho z nároků lažl8, vyznačující se tím, že licí kokila (la, lb) je radiálně vytvořena z alespoň dvou dílů.
20. Způsob podle alespoň jednoho z nároků 1 až 19, vy z n a č uj í c í se t í m , že se vytváří vnější trubka o tloušťce v rozsahu od 3 mm do 12 mm.
21. Způsob podle jednoho z nároků 1 až 20, vyznačující se tím, že se vyrábí trubko30 vý terčík pro katodová rozprašovací zařízení s obsahem kyslíku ve vnější trubce < 100.10“⁴ % a se strukturou, která je složena z tyčinkových krystalů, které jsou uspořádány kolmo k povrchu vnější trubky.
22. Způsob podle nároku 21, vy z n a č uj í c í se t í m , že obsah kyslíku činí < 50.10 ⁴ %.
23. Způsob podle jednoho z nároků 21 až 22, vyznačující se tím, že střední zrnitost tyčinkových krystalů je v rozsahu od 0,03 do 15 mm.