CS274417B2

CS274417B2 - Method of making coating's lover layer on glass

Info

Publication number: CS274417B2
Application number: CS978987A
Authority: CS
Inventors: Michael S Jenkins; Andrew F Simpson; David A Porter
Original assignee: Pilkington Plc
Priority date: 1986-12-24
Filing date: 1987-12-23
Publication date: 1991-04-11
Also published as: DE3766095D1; ES2003853B3; EP0275662A1; FI875657L; FI875657A0; NO875344D0; DK170066B1; GB8630918D0; IN170516B; PT86460A; AU593966B2; CS978987A2; AU8288587A; TR23524A; NO875344L; MX170772B; GB8729171D0; IE60946B1; ES2003853A4; PT86460B

Description

Vynález se týká způsobu výroby spodní vrstvy povlaku na skle. Účelem této vrstvy je potlačení irisování a ochrana horních vrstev, citlivých na ionty alkalických kovů před prodnikéním těchto iontů z povrchu skla.

V britském patentovém spisu č. 2 031 765B se popisují tenké transparentní polovodivé povlaky, odrážející ultračervené světlo, které jsou určeny ke zlepšení izolačních vlastností oken a které vzhledem ke své elektrické vodivosti mohou sloužit také jako odporová topná tělesa, například k odstranění ledu nebo kondenzované vody z povrchu oken. Podle britského patentového spisu č. 2 031 756B je použití těchto povlaků prozatím omezeno skutečností, že jsou příčinou irisování, a to zvláště v odraženém světle. Toto irisování se považuje za neuspokojivé z estetického hlediska, přičemž problém se dále zhoršuje tim, že se barva při irisování mění již při malých změnách tloušťky povlaku. V britském patentovém spisu č. 2 031 756B se navrhuje překonat tento problém tak, že se na sklo uloží spodní vrstva, snižující irisování, a to pod polovodivou vrstvu, přičemž uvedený spis doporučuje jako výhodný typ této spodní vrstvy vrstvu s indexem lomu v rozmezí 1,7 až 1,8 a tlouštku v rozmezí 64 až 80 nm. Podle uvedeného spisu je možno tuto vrstvu vytvořit současným ukládáním směsi složek, jejichž uložení by mělo vést k získáni požadovaného indexu lomu. Může jít například o směs 84 + 3 % nitridu křemíku a zbytek oxidu křemičitého, tato směs se někdy uvádí jako oxinitrid křemíku.

Filmy tohoto typu je možno vytvořit tak, že se ukládají ve formě par křemíku, například SiH^, (CH₃)₂SiH, (C₂H,.) ₂SíH₂ , (CH^J^Si, SiCl₄ nebo SiBr^, dále zdroje kyslíku, například molekulární kyslík, voda nebo N₂O, a zdroje dusíku, například N₂H₄, NH^, HN^, CH₃NHNH₂ nebo (CH.j)₂NNH₂, nebo je možno použít současného zdroje kyslíku a dusíku, například NO, NH₂OH, N₂H₄H₂O, na horkém skle při teplotě 500 až 600 'c.

Přestože by bylo zapotřebí používat vhodnou vrstvu, snižující irisování, nebyly spodní vrstvy, navrhované v britském patentovém spisu č. 2 031 756B použity ve většim měřítku. Příčinou této skutečnosti mohou být různé obtíže, spojené s ukládáním těchto vrstev, zejména dlouhá doba ukládání a také obtížnost získání vrstev v dostatečné kvalitě a dostatečné tlouštce.

V britském patentovém spisu č. 2 163 146A se popisují způsoby výroby bariérových povlaků na povrchu skla k zábraně průniku iontů alkalických kovů ze skla do horních vrstev, které jsou citlivé na působení těchto iontů, například jde o oxidy india a cínu.

V uvedeném patentovém spise se popisuje způsob výroby průhledných bariérových povlaků, které dobře propouštějí světlo a dobře brání průniku iontů alkalických kovů, přičemž tento způsob spočivá v pyrolýze silanu na horkém skleněném povrchu při teplotě vyšší než 600 C za přítomnosti plynného donoru elektronů. Přítomnost donoru elektronů způsobuje včleňování kyslíku ze skla do povlaku za vzniku průhledné vrstvy o tlouštce až 50 nm na povrchu skla.

Donorem elektronů pro použití při provádění způsobu podle britského patentového spisu č. 2 163 146A mohou být sloučeniny, které obsahují páry elektronů, a to bu3 ve formě vazeb nebo jako volné páry, přičemž tyto elektrony mohou být předány do elektronové struktury vhodného příjemce. Použití donoru elektronů má za následek vazbu kyslíku ze skla a křemíku ze silanu za vzniku průhledného bariérového povlaku na skle. Přestože mechanismus této reakce není zcela jasný, pravděpodobně zahrnuje adsorpci donoru elektronů bez obsahu kyslíku, napííklad ethylenu, který se považuje za redukční přesto, že obvykle obsahuje malé množství kyslíku, dále mohou být použity například alkoholy nebo oxid uhelnatý .

Protože průhledné bariérové povlaky je možno získat v nepřítomnosti volného kyslíku a sloučenin, obvykle považovaných za oxidační činidla, je možno bariérové povlaky nanášet na pás skla, pohybující se na lázni roztaveného kovu, aniž by přitom došlo k riziku oxidace roztaveného kovu.

Použití donoru elektronů, prostého kyslíku, omezuje riziko oxidace silanu před jeho

Z uložením na skleněný povrch a riziko oxidace roztaveného kovu, na němž je uložen pohybující se pás skla, avšak naneštěstí není k dispozici dostatečné množství kyslíku ze skla pro tvorbu tak silných spodních vrstev, potlačujících irisování, jaké jsou doporučovány v britském patentovém spisu č. 2 031 756B. Silnější vrstvy je možno získat při použití donorů elektronů s obsahem kyslíku, například oxidu uhličitého, avšak použití kombinace silanu a oxidu uhličitého vede buS ke vzniku tenkých vrstev nebo k jejich špatné trvanlivosti nebo při pokusech o zesílení povlaku může dojít ke vzniku matného bílého povlaku.

Mimo to při pokusech o výrobu bariérových povlaků s vysokou průhledností, například s průhledností nejvýše o 2 % nižší, než je průhlednost· původního skla, při použití kombinace silanu a ethylenu podle britského patentového spisu č. 2 163 146A jsou bariérové vlastnosti povlaků nedostatečné pro některá použití.

Bylo by tedy žádoucí navrhnout způsob, který by byl běžně použitelný při výrobě plaveného skla a přitom vedl k získání spodních vrstev, které by snižovaly irisování tak, jak se doporučuje v britském patentovém spisu č. 2 031 756B. Způsob by měl být použitelný na běžných linkách pro výrobu skla za vzniku povlaků, které by účinně bránily migraci iontů alkalického kovu ze skla při vysoké průhlednosti.

Podstata vynálezu spočívá v tom, že se na horký povrch skla přivádí při teplotě 600 až 750 C plynná směs silanu, nenasyceného uhlovodíku a oxidu uhličitého za vzniku průhledné vrstvy s obsahem křemíku a kyslíku na povrchu skla.

Způsobem podle vynálezu je možno ve srovnání se známými postupy uložit za kratší dobu kvalitní spodní vrstvu povlaku na skle. Tato vrstva snižuje irisování a je bariérou pro migraci iontů alkalických kovů. Navic nejsou použité složky silně oxidační povahy, takže nevzniká nebezpečí oxidace roztaveného kovu, na němž je uloženo sklo.

Spodní i horní vrstva mohou být naneseny na sklo v lázni, na níž se toto sklo vyrábí. V tomto případě může horní vrstvou být vrstva oxidu cínu, dopovaná fluorem, uložená pyrolytickým rozkladem pevné látky, jak bylo popsáno například v britském patentovém spisu č. 2 156 386B, kapaliny, jak bylo popsáno například v britském patentovém spisu číslo 1 523 991, nebo zdroje ve formě páry, například plynného chloridu cíničitého za přítomnosti vodní páry a fluorovodíku. Rozklad může být prováděn při vstupu pásu na roztavený kov.

V případě, že použitým horním povlakem má být povlak, odrážející infračervené záření, bude mít vrstva, odrážející toto záření, obvykle tloušíku 200 až 500 nm. Je možno užít i silnějších vrstev, například s tloušíkou až 1 000 nm, použití takových vrstev však obvykle není nutné vzhledem ke snížení irisování spodní vrstvou. V případě, že povlak má vést elektrický proud, například v odporovém topném tělese nebo v tekutém krystalu, bude záviset tlousíka tohoto povlaku na požadované elektrické vodivosti, obvykle se však tato tloušíka bude pohybovat v rozmezí 100 až 1 000 nm.

Ze silanů se s výhodou užije monosilan vzorce SiH^, je však možno užit i jiné silany, popřípadě substituované, v plynné formě, například dimethylsilan (CH₃)₂SiH₂ a disilan sí₂h₆.

Z nenasycených uhlovodíků je možno použit ethylenicky nenasycené uhlovodíky, acetylenicky nenasycené sloučeniny, například acetylen, nebo aromatické sloučeniny, například toluen, avšak obvykle je nejvhodnější použít nenasycený uhlovodík, který je plynný za běžných podmínek. Tímto nenasyceným uhlovodíkem je s výhodou olefin, zvláště olefin s obsahem dvou až čtyř atomů uhliku. Zvláště výhodnou látkou je ethylen.

Podíl jednotlivých složek v přiváděné plynné směsi a rychlost průtoku uvedené plynné směsi nad povrchem skla může být řízena, aby bylo možno získat spodní vrstvu s požadovaným indexem lomu a s požadovanou tloušíkou.

Oxid uhličitý je zdrojem kyslíku, takže přestože je k dispozici pouze malé množství kyslíku z povrchu skla, je možno připravit průhledné vrstvy o tloušíce až 80 nm, jak je žádoucí podle britského patentového spisu č. 2 031 756B. Mimoto při příslušném řízení relativních podílů plynných složek je možno získat spodní vrstvy s indexem lomu v rozmezí 1,7 až 1,8, jak je žádoucí podle britského patentového spisu č. 2 031 756B. Ve výhodném provedení způsobu podle vynálezu se řídí podíly plynných složek plynné směsi pro ukládání spodní vrstvy a rychlost průtoku této plynné směsi nad povrchem horkého skla tak, že docházi ke vzniku spodní vrstvy s tlouštkou v rozmezí 60 až 80 nm a s indexem lomu v rozmezí 1,6 až 1,8.

Při dalším provedeni způsobu podle vynálezu se řídí poměry složek plynné směsi, užité k ukládání spodní vrstvy, a rychlost průtoku této plynné směsi nad horkým povrchem skla tak, že docházi k ukládání spodní vrstvy s tlouštkou a indexem lomu v takovém rozmezí, že sklo, povlečené touto spodní vrstvou je průhledné nejvýše o 2 % méně než nepovlečené sklo, přičemž vzniká účinná bariéra proti průniku iontů alkalického kovu ze skla. Průhlednost povlečeného skla se s výhodou pohybuje do hodnoty, která je pouze o 1 % nižší, než průhlednost původního skla. Pod pojmem účinná bariéra se rozumí skutečnost, že spodní vrstva dovoluje průchod nejvýš 100, s výhodou nejvýš 60 mikrogramů sodíku, vyjádřeno jako NagO, na dm² skla.

Obvykle v případě, že se zvyšuje podíl nenasyceného uhlovodíku vzhledem k silanu, dosahuje se povlaků s nižší tlouštkou a nižším indexem lomu. Poměr nenasyceného uhlovodíku k silanu je výhodný v objemovém poměru 2 : 1 až 5 : 1, je však možno užít i jiných poměrů, například 1 : 1 až 8 : 1 nebo ještě vyšších. Nenasycený uhlovodík pravděpodobně působí svou adsorpci na povrch skla, avšak pravděpodobně čím silněji je nenasycený uhlovodík absorbován na sklo, tím nižšího podílu nenasyceného uhlovodíku je zapotřebí k dosažení požadovaného účinku. Poměr oxidu uhličitího k silanu se s výhodou pohybuje v rozmezí 2 ·. 1 až 8 : 1, přestože je možno užít i jiných objemových poměrů, například 1 : 1 až 20 : 1 nebo ještě vyšších. Vyšší poměry se obvykle užijí pouze při velmi nízkých koncentracích silanu.

Plynná směs bude obvykle obsahovat inertní nosný plyn, například dusík v množství například 10 až 90 %, vztaženo na celkový objem plynné směsi.

Při zvýšení rychlosti průtoku plynné směsi daného složení se získá spodní vrstva se zvýšenou tlouštkou. Bylo také pozorováno, že se v tomto případě získá spodní vrstva s vyšším indexem lomu.

Zpracovávané sklo se s výhodou udržuje na teplotě 630 až 720 c.

Způsob podle vynálezu usnadňuje výrobu spodních vrstev, snižujících irisování a sloužících jako bariéra pro migraci iontů alkalických kovů při vysoké průhlednosti pro viditelné světlo přímo na lince pro výrobu skla. Mimoto použité reakčni složky nejsou silně oxidační povahy, takže způsob podle vynálezu je možno užít přímo na pásu plaveného skla na lázni roztaveného kovu, aniž by přitom docházelo k nežádoucímu riziku oxidace roztaveného kovu.

Praktické provedení způsobu podle vynálezu bude osvětleno následujícími příklady, které však nemají sloužit k omezení vynálezu. V těchto příkladech, není-li uvedeno jinak, představují uvedená procenta koncentraci objemovou a průtok plynu se měří při tlaku 69 kPa a teplotě přibližně 20 c. Index lomu a tlouštka spodní vrstvy se vypočítává podle vlnové délky a velikosti odrazu ze spodní vrstvy. Průhlednost povlečeného skla se vyjadřuje jako dT, což je rozdíl mezi průhledností skla povlečeného spodní vrstvou s průhledností nepovlečeného skla v procentech. Účinnost spodní vrstvy jako bariéry pro průnik iontů alkalického kovu se stanoví následujícím způsobem. Vyříznou se dva vzorky skla vždy o ploše 10 cm²a tyto vzorky se spoji při použití mezi ně vloženého prstence ze silikonové pryže s vnitřním průměrem 8,5 cm za vzniku válcovité komůrky, jejíž stěny jsou definovány povlečeným povrchem skla a vnitřním povrchem prstence ze silikonové pryže. Otvorem v pryžovém prstenci se komůrka naplní deionizovanou vodou, otvor se uzavře a komůrka se ponoří na 48 hodin do vodní lázně s teplotou 96 c. Pak se roztok vyjme a analyzuje se plamenovým spektroCS 274417 B2 metrem na přítomnost sodíku. Množství sodíku se stanoví a vyjádří se v mikrogramech Na₂O na dm² skla, vystaveného v komůrce působení vody.

Příklad 1

Pás plaveného skla o tlouštce 6 mm při rychlosti pásu 322 m/h se povléká spodní vrstvou tak, že se na povrch skla přivádí plynná směs na lázni roztaveného kovu v místě, kde teplota skla je vyšší než 645 c. Plynná směs sestává z 11 % monosilanu, 23 % ethylenu, % oxidu uhličitého a 44 % dusíku jako nosného plynu. Plynná směs se nechá proudit paralelně s povrchem skla ve směru pohybu skla laminárním prouděním při použiti zařízení, popsaného v britském patentovém spisu č. 1 507 966, modifikovaného tak, aby dráha působení plynné směsi na povrch skla byla prodloužena na přibližně 0,2 m. Průtok plynné směsi byl 22 litrů plynu za minutu na 1 metr šířky povlékaného skla.

Tímto způsobem došlo na povrchu skla k uložení čiré spodní vrstvy bez neprůhledných míst při tlouštce vrstvy 76,1 nm a indexu lomu 1,77.

Příklady 2 a 3

Opakuje se postup podle příkladu 1, přičemž se použije zvýšený průtok ethylenu a oxi du uhličitého. Tímto způsobem bylo dosaženo povlaku s malým snížením tlouštky a indexu lomu. Použité podmínky a výsledky jsou uvedeny v tabulce 1 současně s odpovídajícími parametry příkladu 1 pro srovnání.

Příklady 4 až 8

Opakuje se způsob podle příkladu 1, přičemž se použijí různé plynné směsi a mění se podíl ethylenu k oxidu uhličitému, přičemž podíl monosilanu k ethylenu a oxidu uhličitému zůstává stálý stejně jako průtok plynu. Použité podmínky a získané výsledky jsou uvedeny v tabulce 2.

Použití vyššího podílu ethylenu k silanu, například v příkladech 4 a 5, vede k získání velmi tenké spodní vrstvy, obvykle s tloušťkou nižší než 55 nm. Při snížení poměru ethylenu k silanu a zvýšení poměru oxidu uhličitého k silanu se obvykle získá spodní vrst va s vyšší tloušťkou, jako je tomu v příkladech 6 a 7, avšak tlouštka spodní vrstvy se sníží v případě, že se poměr oxidu uhličitého k silanu zvýší nad poměr 8:1.

Příklady 9 až 13

Byl opakován způsob podle příkladu 1 při použití plynné směsi, obsahující 10 % monosilanu, 25 % ethylenu, 25 % oxidu uhličitého a 40 % dusíku při různém průtoku. Výsledky jsou uvedeny v tabulce 3 (příklady 9 až 11). Bylo zjištěno, že jak tlouštka, tak index lomu spodní vrstvy se zvětšuje se zvyšováním průtoku.

Byl opakován způsob podle příkladu 9 při použití stejného průtoku silanu, ethylenu a oxidu uhličitého, avšak při zvýšeném průtoku dusíku. Užité průtoky a vlastnosti spodní vrstvy jsou uvedeny v tabulce 3 (příklady 9, 12 a 13). Bylo prokázáno, že tlouštka spodní vrstvy se snižuje se zvýšeným indexem lomu při zvýšení průtoku dusíku.

Příklady 14 až 19

V těchto příkladech, které byly prováděny podobně jako způsob podle přikladu 1, byly vyrobeny spodní vrstvy na plaveném skle o tlouštce 6 mm za podmínek, uvedených v tabulce 4, přičemž index lomu a tlouštky vrstev jsou uvedeny rovněž v tabulce 4. Pak byly na plavené sklo uloženy vrstvy oxidu cínu, dopovaného fluorem ukládáním z plynné směsi chloridu cíničitého, vody a fluorovodíku. Pak byla měřena vrstva oxidu cínu a barva ve světle, odraženém od povlečené strany skla (C.I.E. Illuminant C) a stejně jako v příkladech 14 a 17 byly tyto barvy srovnávány s podobnými barvami povlaků oxidu cínu, dopovaného fluorem, avšak bez spodní vrstvy.

Použitá barevná škála a způsoby vyhodnocení jsou uvedeny v publikaci The Measurement of Appearances, R. S. Hunter, vydavatelství John Wiley and Sons, 1975. Získané výsledky jsou uvedeny v tabulce 5.

Je zřejmé, že spodní vrstvy účinně brání irisování při použití vrstev oxidu cínu se spodní vrstvou, uloženou způsobem podle vynálezu.

Příklady 20 až 23

Byl opakován způsob podle příkladu 1 při použití plynné směsi s obsahem 10 % silanu, 20 % ethylenu, 30 % oxidu uhličitého a 40 % dusíku při průtoku 50 1/min na metr skla, při tlouštee skla 2,1 mm, pohybujícího se rychlostí 1 130 m/h. Plynná směs procházela nad povrchem skla v místě, kde teplota skla byla přibližně 645 c.

Na skle se vytvořila vrstva s vysokou průhledností, takže průhlednost povlečeného skla byla pouze o 1,1 % nižší než průhlednost nepovlečeného skla. Účinnost spodní vrstvy jako bariéry proti migraci iontů alkalických kovů bylá naměřena jako 90 mikrogramů Na₂0 na dm² povrchu skla svrchu uvedeným způsobem.

Tento postup byl opakován ještě při použití různých složeni plynu a skla o tlouštee 6 mm a 4 mm. Teplota skla v místě tvorby povlaku, rychlost pásu skla, složení plynu a jeho průtok spolu s vlastnostmi povlečeného skla jsou uvedeny v tabulce 6. Při srovnání výsledků z příkladů 21 a 22 je zřejmé, že při zvýšení teploty skla a koncentrace silanu a při snížení poměru ethylenu a oxidu uhličitého k silanu na větší stupeň než je nutné pro kompenzaci snížení průtoků plynu (55 až 24 1/min) je povlak, získaný podle příkladu 22, přibližně dvakrát silnější než povlak, získaný podle příkladu 21, Ve všech příkladech bylo dosaženo dobrého bariérového účinku, avšak povlak podle příkladu 22 byl nejprúhlednějši vzhledem k průhlednosti nepovlečeného skla.

Příklady 24 až 30

Tyto příklady ilustrují použití butenu jako nenasyceného uhlovodíku spolu se sílaném a oxidem uhličitým za vzniku spodních vrstev, které potlačují vznik nežádoucího zbarvení a jsou rovněž účinnou bariérou proti průniku iontů alkalických kovů. Postup v těchto příkladech byl stejný jako v příkladu 1, avšak povlak byl nanášen pouze na úzký proužek skla na okraji pohybujícího se pásu skla. Sklo mělo tlouštku 6 mm, pohybovalo se rychlostí 360 m/h a bylo povlékáno v místě, kde jeho teplota dosahovala 685 ‘c. Podmínky tvorby povlaku, složení plynu, jeho průtok a vlastnosti vrstvy jsou shrnuty v tabulce 7.

Uspokojivé vrstvy, potlačující vznik různých zbarvení, bylo možno získat v příkladech 25 až 27 a také v přikladu 24. Tyto vrstvy měly tlouštku 60 až 80 nm a index lomu v rozmezi 1,6 až 1,8. V příkladech 28 až 30, v nichž bylo užito pomalejšího průtoku plynu, byly získány povlaky s nižší tlouštkou, které vytvářely velmi dobrou bariéru proti průniku iontů alkalických kovů a současně zajištovaly dobrou průhlednost ve srovnání s nepovlečeným sklem. Při srovnání příkladů 24 až 30 s předchozími příklady je zřejmé, že je zapotřebí vyššího průtoku plynu ke vzniku povlaků podobné tlouštky. V příkladech 24 až 30 je příčinou tohoto jevu patrně alespoň zčásti skutečnost, že způsob podle uvedených příkladů byl prováděn na užším proužku skla, takže velká část plynu se dostávala mimo okraje povlékaného skla.

Příklady 31 až 36

Vzorky plaveného skla o tlouštee 3 mm a velikosti 10 x 10 cm byly povlékány v laboratoři tak, že sklo bylo zahřáto v trubici z oxidu křemičitého na teplotu 650 ‘c, načež byl trubicí proháněn plyn, sestávající ze silanu, oxidu uhličitého, nenasyceného uhlovodíku a dusíku. Složení plynné směsi a další podmínky jsou uvedeny v tabulce 8 spolu s výsledky měření propustnosti pro světlo a bariérových vlastností povlečeného produktu. Při plynu s obsahem nenasyceného uhlovodíku bylo vždy dosaženo vysoké průhlednosti současně s dobrými bariérovými vlastnostmi povlaku, průhlednost byla nejvýše o 1 % nižší ve srovnání s průhledností nepovlečeného skla.

Příklady 37 až 40

Byl opakován způsob podle příkladu 1 při použití plynné směsi silanu, ethylenu a oxidu uhličitého v dusíku, povlak byl ukládán na plaveném skle o tlouštce 2 mm při rychlosti pohybu pásu 1 100 m/h.

Pak byla měřena průhlednost povlečeného skla a srovnávána s průhledností nepovlečeného skla za získání rozdílu dT, účinnost povlaku jako bariéry proti průniku iontů byla měřena svrchu uvedeným způsobem. Tlouštka povlaku byla příliš malá pro měření svrchu uvedeným optickým způsobem a byla tedy měřena pomocí argonových iontů.

Podmínky při výrobě povlaků a získané výsledky jsou uvedeny v tabulce 9.

V příkladech 37 až 40 se popisuje výroba bariérových vrstev, po jejichž uložení má povlečené sklo propustnost pro světlo nejvýše o 1,5 % nižší než nepovlečené sklo (dT). Srovnávací příklady ukazují, že v nepřítomnosti oxidu uhličitého je propustnost pro světlo podstatně nižší (dT = 2,3 %) , přesto, že spodní vrstva je silnější než spodní vrstvy v příkladech 38 a 40. Srovnáni příkladů 37 a 38 ukazuje, že při zvýšení poměru dopujících složek (ethylenu a oxidu uhličitého) k silanu se snižuje tlouštka spodní vrstvy a v důsledku toho se zlepšuje propustnost pro světlo, avšak bariérová účinnost je nižší. Malé snížení poměru dopujících látek k silanu (příklady 37 a 39) snižuje propustnost pro světlo, avšak tlouštka povlaku a bariérová účinnost zůstávají nezměněny. Při podstatném sníženi obsahu ethylenu a zvýšení oxidu uhličitého (přiklad 40) se snižuje tlouštka a zvyšuje se propustnost pro světlo, avšak současně se podstatně snižuje bariérová účinnost povlaku.

Předchozí příklady ukazují, že řízením podílů jednotlivých složek plynné směsi, použité při provádění způsobu podle vynálezu, a průtoku této směsi na horkém povrchu skla je možno získat spodní vrstvy s požadovanou tlouštkou a indexem lomu. Způsob podle vynálezu je tedy možno užít nejen pro tvorbu spodních vrstev, potlačujících irisování, jak to bylo uvedeno v britském patentovém spisu č. 2 031 756B, avšak také k produkci spodních vrstev s velmi dobrou propustností pro světlo a současně s velmi dobrou bariérovou účinností .

TABULKA 1

Pří- klad	Rychlost pásu skla m/h	Teplota skla C	Složení plynu v %	průtok plynu 1/(min.m) šířky	Spodní vrstva
sí_Hr c₂h₄	co₂	n₂	index lomu	tlouštka
1	322	645	11	23	23	44	22	1,77	76,1
2	322	645	9	28	28	37	26,25	1,70	73,7
3	322	645	8	29	29	33	29	1,63	73,6

příklad Rychlost pásu Teplota Složení plynu v % Průtok plynu Spodní vrstva skla m/h skla C SiH. C_?H. C0_ N_ 1/(min.m)šířky index lomu tlouštka nm vd

X

C

Φ >w •H rH »4 (X rt >

4-»

W

H >

M

C >Φ ε

N k

ÍX tn m rf <f

Γ*- Γ-.

CM CM

CO (N cH CN ro rf tn rf r- ro o ro ro vo vo vo vo cn cn

CN CN rf tn 'ί σι co cn co in > Γ- LO

O 0\ Lfl

Ό ι-l CN > CO CO

CO r-C VO r» Ό

5j· oo ro vo vo co «—t i—I r-l tn tn m rf rf rf r- r- rCN CM CN ro rf ro ro rf in ro cm ro ro <N «-i > Γ· Γ* o o o ro ro ro vo vo vo

VO VO VO cn cn cn

CM CM CN vo > co ro cn VO VO

O rf (N CM rf cn «r ρ- vo rO ro VO CO CM CM ro ►q

O

CQ tf

E-<

O o rf rf tn tn CN CN

O CO rf rf rf Ul tn cn CM CM cn oo ‘ o o rf rf VO VO i—I <—t ro ro ro ro cn

O O O rf rf

VO VO VO t—t i-H ro ro co co ro co příklad Rychlost pásu Teplota Složení plynu v % Průtok plynu Spodní vrstva skla m/h skla C SiH. C-H. CO- N- 1/(min.m) šířky index lomu tlouštka nm o

tn rD

CQ

CM CM CM CM dn co co cn o o o o k0 kO co cq o

kO cq >

+>

ω >

M

C τι o

CL ω

C

Φ u

o c

Ό

Λ

M)

C >

Φ

Cl fO «

c

Φ υ

o c

XJ o

£ 'φ c

>

Φ u

(TJ

CQ +J •H

X xo □

O

CL

O I—I CJ>

rH (Ml ko o σ\ in pH «—t + 1 + k0 CQ kO

O CM + + +

O O in o cq cq o

CN

CQ

CN CN «-t CN + +

CN +

příklad rychlost pásu teplota tlouštka složení plynu v % průtok plynu spodní vrstva dT % Mg skla m/h skla 'c skla mm SiH. C_?H. CO N_ 1/(min.m) šířky index tlouštka Na_?0/dm² kD O ro cn co rH ro o

kD

CN

Ch

LO

LT) ’Φ kO •3* co r-l r-l o

kD

in r*~

ID CN CN

CN O CO cn tn ro kD rH 00 CO CN CN kD r-l CO

CN

CO kD

ΓΓΟ *P r- r-ι—I rH tn r-~ m

CN o

CN

Γo

O a

<

ÉH co in ro m n· ro in ro ro cn σι kD in tn ro ro r- m m ro ro ro tn ro ro r- tn tn ro ro ro tn r-* ro tn

Γ ro tn co kD o

ko ro

CN o

in o

tn tn co kO o

kD ro o

ro

CN příklad monosilan nenasycený oxid dusík doba povlé- dT % Mg % uhlovodík uhličitý % kání (s) Na_oO/dm

LO

Tí*

LO

Tí*

LO

LO r-d

ΓΊ c

Φ r—1

P

Φ a

fí fí

Φ (—I >1 p Φ O fí

ΓΌ

ΓCN

C

Φ fí r—I

P fí

Φ

P a

φ x:

LO

LD

0	o	<N
XJ	ID	«			ε
XL)		40			TJ
c	Vd
ε	c	O			o
0	Φ	ιΛ		tn	CN
P	N			S	fí
Vd	vd	fí			2
>P	)p	fí
	fí
	N	C
		Φ
fí	0	U
44	XJ	>1
Vd	M	W
Ό	U	fí
0	fí	C
>	>
0	xfí	fí		40
r—1	r-1	44
XJ	42	Vd		H
fí	fí	Ό		Tí
	42	0
0	0	>
XJ	P	0
Ό	CU	rd
c		XJ
Φ	•H	fí		fí
ϋ	P			>
>1	ω	0		P	ε
ω	0	P		w	c
fí	fí	0		P
fí	fí	XJ		>	fí
Φ	•H	0			44
c	XJ	P		Vd	uP
	'fí			c	xn
vd		•rd		TJ	fí
>	'Φ	ε		0	0
P	fí	fí		cu	·—1
w	fí	P		cn	P
>N	TJ	fí
0	'fí	cu
c	r-1
ε	44	f—1			>3
	0	>1			44
·.	cu	42		fí	>P
e	TJ			c	Vd
φ	Φ	·»		>1	xn
44	>P	ε		rd
Vd	cu	φ		CU	ε
TJ		44
0	•H	Vd		44	G
>	>P	Tí	03	0	•rd
O	cu	O		P	5
r-1		>		•fí
XJ	>1	0		P	>.
fí	c	rd		CU	r—1
	•rd	x;	O
£	r-d	fí	CÚ
'>1	fí
fí	CU	ε	E-*
Φ	fí	'>í
u	44	c			CN
>3		r-d			2
«	P	fí		40
fí	fí	CU
fí	CU	fí		>	CN
Φ		44			O
C	fí			fí	O
	44	ε		fí
ε	fí			>1
'S	rd	c		rd	4
fí	P	Φ		CU	ffi
>—1		υ			ΓΝ
fí	0	>1		vd	O
Ql	xj	cn		C
fí	XU	fí		Φ
44	ε	c		>N	•«4*
	*fí	Φ		0
fí	c	fí		i—1	•H
44	N			cn	ω
Vd		Vd
W	Φ	0
fí	N	vd
TJ		•m
	0	Φ
ε	c	N		fí	o
Ή	χΰ	xU		P
fí	P	Xj		0
XÚ	Vd	υ		«—1	fí
>	XJ	0		CU	ι—I
χΰ	0	P		Φ	44
rd	cu	cu		P	cn
42	>1
fí	>	·»
42		44
0	0	Vd
P	1—1	cn		fí
a	>1	fí		w
	X2	Tí		xtf
fí				cu
'fí	•rd	Φ
44	cn	>N		-P	XJ
ω	XD			cn
Vd	ε	*		0	ε
N	w	xlj		<—1
		fí		42	fí
r-d	XD	Φ		Φ	rd
>1	fí	ε		>1	44
42	C	fí		P	cn
		c
c	rd	N
>1	CU			Tí
r-d		O		fí
CU	>	P		i—1
				44
				vd
				>P
				CU

O

CN

V

ΓΟΟ

CN rn in ic lo m in

LO LD LO

O

CN srovnávací 1100 655 11,8 42,0 0 46,0 52 14 2,3 ^20

Claims

1. Způsob výroby spodní vrstvy povlaku na skle, vyznačující se tím, že se na horký povrch skla přivádí při teplotě 600 až 750 *C plynná směs silanu, nenasyceného uhlovodíku a oxidu uhličitého za vzniku průhledné vrstvy s obsahem křemíku a kyslíku na povrchu skla.

2. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že nenasyceným uhlovodíkem je olefin s obsahem 2 až 4 atomů uhlíku.

3. Způsob podle bodu 2, vyznačující se tím, že nenasyceným uhlovodíkem je ethylen.

4. Způsob podle bodů 1 až 3, vyznačující se tím, že se řídí poměry složek plynné směsi, a rychlost přivádění této plynné směsi k horkému povrchu skla k vytvoření vrstvy o tlouštce 60 až 80 nm a indexu lomu v rozmezí 1,6 až 1,8.

5. Způsob podle bodů 1 až 4, vyznačující se tím, že poměr nenasyceného uhlovodíku k silanu v plynné směsi se pohybuje v objemovém rozmezí 2 : 1 až 5 : 1.

6. Způsob podle bodů 1 až 5, vyznačující se tím, že se poměr oxidu uhličitého k silanu v plynné směsi pohybuje v objemovém rozmezí 2 : 1 až 8 : 1.