CN1934633A - 光学读写头的调整装置以及调整方法 - Google Patents

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Abstract

光学读写头的调整装置利用入射到哈特曼夏克传感器60的激光的一部分,而由聚焦误差信号生成电路84、聚焦伺服控制电路85以及驱动电路86对物镜14进行聚焦伺服控制。另外,光学读写头的调整装置利用入射到哈特曼夏克传感器60的激光的一部分,而由位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95以及驱动电路96、97进行对物镜14在图示X轴方向、以及对准直透镜41在图示Y轴方向的双向伺服控制。

Description

光学读写头的调整装置以及调整方法
技术领域
本发明涉及一种为了对装载在光学读写头上的物镜的倾斜度进行调整而被利用的光学读写头的调整装置、以及对物镜的倾斜度进行调整的光学读写头上的调整方法。
背景技术
光学读写头是被组装到光盘装置等上而对光盘等记录介质(以下,只称为“光盘”)进行信息记录或再生的装置。在该光学读写头的组装工序中,优选将光盘调整为相对从物镜出射的激光的光轴垂直的姿态。这是因为,通过相对光盘垂直地照射激光,而能够抑制所谓的彗形像差,从而谋求提高对光盘记录或再生信息的精度。另外,通过倾斜物镜来修正透过物镜的激光所包含的像散成分,而也可以谋求提高对光盘记录或再生信息的精度。
利用观测装置对经由光学读写头的物镜而出射的激光进行观测,并基于该观测结果来对该光学读写头的物镜的倾斜度进行调整。作为使用在对这种光学读写头的物镜的倾斜度进行调整的工序中的光学读写头的调整装置,有JP特开平10-91968号公报所示的、作为观测装置而使用干涉仪的调整装置。在该使用干涉仪的调整装置中,经由物镜而向具有与光盘等价的光学特性的模拟构件上照射激光,而将透过了该模拟构件的激光导入到干涉仪中。被导入到干涉仪内的激光被光束分离器分束,并分别被导入到不同的两个光路之后再次重合而形成干涉条纹,从而由一个CCD摄像元件被接收。来自该CCD摄像元件的视频信号被输入到计算机装置中。计算机装置由视频信号作成干涉条纹数据并进行解析,并在显示器上显示干涉条纹与解析结果。然后,操作人员基于显示在该显示器上的干涉条纹的条数、弯曲程度以及解析结果,对物镜的倾斜度进行调整,而使它们成为规定的状态。
另外,作为使用了与使用上述干涉仪的调整装置不同的其他观测装置的光学读写头的调整装置,有JP特开2001-273643号公报所示的、使用了光点分析仪(spot analyzer)的调整装置。在使用了该光点分析仪的调整装置中,通过作为光点分析仪的显微镜以及CCD摄像元件,对通过物镜在具有与光盘等价的光学特性的模拟构件上形成的光点进行拍摄,并对其进行二值化而显示在显示器上。然后,操作人员通过肉眼来对显示在该显示器上的光点的零级光图像的圆度以及一级衍射光的环状图像的均匀性进行判断,并对物镜的倾斜度进行调整,以使它们处于规定的状态。
在对于使用了这些观测装置的光学读写头的调整操作中,操作人员基于显示在监视器上的、由观测装置对激光的观测结果,操作对设置在光学读写头内的物镜的倾斜度进行调整的机构,从而调整物镜的倾斜度。
然而,由于装载在光学读写头上的物镜相对光学读写头的箱体被弹性支撑,所以在调整物镜的倾斜度时的轻微的振动也会使物镜大幅度地振动。因此,经由物镜而入射到观测装置内的激光被上述物镜的振动而从观测装置的视野范围偏离,所以物镜的倾斜度调整操作被中断,从而存在操作效率变差的问题。
发明的公开
本发明是为了解决上述问题而提出的,其目的在于提供一种能够抑制调整物镜的倾斜度时的振动的影响、而能够提高光学读写头的调整操作的操作效率的光学读写头的调整装置。
为了达成上述目的,本发明的特征在于,提供一种用于调整光学读写头的物镜的倾角的光学读写头的调整装置,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整物镜相对于激光的倾角,而且该光学读写头的调整装置具有:第二准直透镜,其将从激光光源出射、且经由第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;观测装置,其观测由第二准直透镜转换为平行光束的激光;聚焦控制用光束分离器,其提取入射到观测装置的激光的一部分;聚焦控制用受光元件,其接收由聚焦控制用光束分离器所提取的激光;聚焦伺服控制电路,其基于由聚焦控制用受光元件所接收的激光,对由物镜所决定的激光的焦点位置进行聚焦伺服控制,以消除由物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到观测装置的焦点位置之间的偏离。
此时,聚焦伺服控制电路例如基于由聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对内置于光学读写头中的聚焦促动器进行驱动控制也可。另外,具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头在物镜的光轴方向上发生位移的促动器,聚焦伺服控制电路基于由聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对支撑装置内的促动器进行驱动控制也可。
根据这样构成的本发明的特征,则能够基于由物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到观测装置的焦点位置之间的偏离来对物镜进行聚焦伺服控制,所以能够使激光无偏差地入射到观测装置的同时,能够稳定地进行对物镜的倾斜度调整。
另外,本发明的其他特征在于,提供一种与上述同样地构成的、用于调整光学读写头的物镜的倾角的光学读写头的调整装置,其具有:第二准直透镜,其将从激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;观测装置,其观测由第二准直透镜转换为平行光束的激光;光轴控制用光束分离器,其提取入射到观测装置的激光的一部分;光轴控制用受光元件,其接收由光轴控制用光束分离器所提取的激光;单向伺服控制电路,其基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的一个方向上进行伺服控制,以消除入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离。
此时,上述光学读写头优选具有磁道促动器,该磁道促动器在与激光的光轴垂直的平面内的一个方向上驱动物镜,单向伺服控制电路基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对磁道促动器进行驱动。另外,具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头在与上述光轴垂直的平面内的一个方向上发生位移的促动器,单向伺服控制电路基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对支撑装置内的促动器进行驱动控制。
根据这样构成的本发明的其他特征,则能够基于入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离来在与激光的光轴垂直的平面内的上述一个方向上对物镜进行伺服控制。由此,由于能够将入射到观测装置的激光保持在该平面内的规定位置,所以能够以高精度观测激光的同时,能够稳定地进行对物镜的倾斜度调整。
进而,本发明的其他特征在于,提供一种与上述同样地构成的用于调整光学读写头的物镜的倾角的光学读写头的调整装置,其具有:第二准直透镜,其将从激光光源出射,且经由第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;观测装置,其观测由第二准直透镜转换为平行光束的激光;光轴控制用光束分离器,其提取入射到观测装置的激光的一部分;光轴控制用受光元件,其接收由光轴控制用光束分离器所提取的激光;双向伺服控制电路,其基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的两个方向上进行伺服控制,以消除入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离。
此时,优选地,具有准直促动器,该准直促动器处于与激光的光轴垂直的平面内,并在与磁道促动器不同的方向上驱动第二准直透镜,双向伺服控制电路基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对磁道促动器以及准直促动器进行驱动。另外,具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头分别在与上述光轴垂直的平面内的两个不同方向上发生位移的两个促动器,双向伺服控制电路基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来分别对支撑装置内的两个促动器进行驱动控制也可。
根据这样构成的本发明的其他特征,则能够基于入射到观测装置的激光的光轴与观测装置的光轴之间的偏离来在与激光的光轴垂直的平面内的上述一个方向上对物镜进行伺服控制的同时,能够在与激光的光轴垂直的平面内的不同方向上对第二准直透镜进行伺服控制。因此能够在两个方向上进行控制。由此,由于能够将入射到观测装置的激光稳定地保持在该平面内的规定位置,所以能够更加高精度地观测激光的同时,能够稳定地进行对物镜的倾斜度调整。
另外,本发明不仅能够作为装置发明来实施,还能够作为方法发明来实施。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的一个实施方式中的光学读写头的调整装置整体的框图。
图2是表示用于图1的光学读写头的调整装置中的光学读写头的立体图。
图3是表示用于图1的光学读写头的调整装置中的光学读写头支撑装置的立体图。
图4是表示用于图1的光学读写头的调整装置中的模拟构件支撑装置的立体图。
图5是示意性地表示对图1的光学读写头的调整装置配备了角度校正导板的状态的框图。
图6是表示用于图1的光学读写头的调整装置中的角度校正导板的立体图。
图7是表示对图2的光学读写头支撑装置配备了角度校正导板的状态的立体图。
图8是表示光学读写头支撑装置的其他例子的立体图。
图9是表示模拟构件支撑装置的其他例子的立体图。
图10是示意性地表示本发明的其他实施方式中的光学读写头的调整装置的整体的框图。
图11是示意性地表示本发明的其他实施方式中的光学读写头的调整装置的整体的框图。
发明实施的最佳方式
下面,对本发明中的光学读写头的调整装置的一个实施方式,参照附图进行说明。图1是为了对装载在光学读写头上的物镜的倾斜度进行调整而被利用的光学读写头的调整装置的整体概略图。该调整装置具有:光学读写头支撑装置20,其装载光学读写头10;模拟构件支撑装置30,其支撑配置在光学读写头10的上方的模拟构件31。
光学读写头10是对记录在CD、DVD等光盘上的信号进行再生、以及/或者将信号记录在该光盘上的装置,是本发明中的光学读写头的调整装置的调整对象。若对该调整对象、即光学读写头10进行简单的说明,则该光学读写头10由分别组装在箱体10a中的激光光源11、准直透镜12、垂直反射镜13以及物镜14构成。激光光源11受到后述的激光器驱动电路的控制而出射激光。从激光光源11出射的激光通过准直透镜12而转变为平行光束之后,被垂直反射镜13反射而向物镜14传播,并通过物镜14而结成焦点。该物镜14由弹性构件10b(例如,金属线)相对箱体10a以悬臂或两端支撑臂的形式被弹性支撑。
该光学读写头10还具有聚焦促动器15以及磁道促动器16。聚焦促动器15是这样的装置,即,其使物镜14向激光的光轴方向微动,换言之,向与使用该光学读写头10的光盘(未图示)的板面垂直的方向微动,从而使光点正确地形成在光盘的记录面上。聚焦促动器15是为了在该光学读写头的调整装置工作时将物镜14保持在图示Z轴方向上的规定位置而被使用,具体地说,为了保持物镜14以使点像正确地位于像差最小的位置、即后述的准直透镜41的物点位置上而被使用。此外,保持该物镜14的位置,也有可能被设定在物镜14的图示Z轴方向的弹性支撑构件10b的力学上的中立位置。
磁道促动器16是这样的装置,即,其使物镜14向使用该光学读写头10的光盘(未图示)的磁道方向(光盘的直径方向)微动,以使光点正确地追踪光盘的磁道。磁道促动器16是为了在该光学读写头的调整装置工作时对将物镜14保持在上述磁道方向的规定位置、即图示Y轴方向的规定位置(例如,物镜14的图示Y轴方向上的弹性支撑构件10b的力学上的中立位置)上而被使用。
另外,该光学读写头10还具有倾角调整机构17、18。倾角调整机构17、18螺丝机构来构成,该螺丝机构相对于与激光光轴垂直的平面、即相对于使用该光学读写头10的光盘(未图示)的板面,能够绕着2轴分别调整物镜14的倾斜度。在该光学读写头的调整装置工作时,相对图示的X-Y坐标平面调整绕着X轴以及Y轴、即图示θx、θy旋转方向的倾斜度。此外,对这些图示θx、θy旋转方向只是表示一个例子,而只要是用于调整物镜14的倾角的相互垂直的围绕两根轴线的旋转方向,则围绕其他两根轴线的旋转方向也可。可以通过使用改锥工具等来对倾角调整机构17、18进行操作,而调整该物镜14的倾斜度。此外,在该光学读写头10的底面设有其被安装在后述的光学读写头支撑装置20时所使用的两个安装部19a、19b。
图2表示这种光学读写头10的具体的一个例子。图中的附图标记与上述对于光学读写头10的说明相对应。此外,在图中,上述安装部19a形成为从箱体10a的外侧前面的一角部向水平方向突出的两个四角柱形状,并且,在图中,上述安装部19b形成为从箱体10a的外侧后面的两端突出的两个凸缘状。另外,由于准直透镜12以及倾角调整机构18在死角,所以没有图示。
光学读写头支撑装置20是可装卸地支撑上述光学读写头10的支撑部,并由支承台21以及移动装置22构成。为了简化附图,将支撑光学读写头10的支承台(Stage)21表示为平板状,在该支承台21上设有一对支撑部23a、23b,它们以可装卸的状态支撑光学读写头10。实际上,如图3所示,支撑光学读写头10的支撑部23a、23b从形成为长方体的支承台21的侧面向水平方向延伸,并使该支撑部23a、23b插入分别设在光学读写头10的外侧前后面的安装部19a、19b插入到这些支撑部23a、23b中,由夹子(Clip)等夹住安装部19a、19b的两端,从而将光学读写头10固定在支撑部23a、23b上。
移动装置22具有移动机构,该移动机构能够支撑支承台21的同时,能够使该支承台21向三轴方向位移、且围绕两轴旋转。这里,如图1所述,所谓上述三轴方向是指分别两两相互垂直的X、Y、Z轴方向,所谓上述围绕双轴是指围绕图示X、Y轴、即θx、θy旋转方向。该移动装置22具有操作件24~28,它们能够通过手动操作使移动装置22分别向上述X、Y、Z轴方向以及θx、θy旋转方向依次进行位移。
实际上,如图3所示,通过对操作件24进行旋转操作,使滑板(plate)22a相对滑板22b向图示X轴方向滑动的同时,通过对操作件25进行旋转操作,使滑板22c相对滑板22a向图示Y轴方向滑动。另外,通过对操作件26进行旋转操作,使滑板22b相对滑板22d向图示Z轴方向位移。进而,通过对操作件27进行旋转操作,使滑板22e相对滑板22f向图示θx旋转方向滑动的同时,通过对操作件28进行旋转操作,使滑板22f相对滑板22g向图示θy旋转方向滑动。因此,通过对各操作件24~28进行操作,能够使支承台21、即支撑在支承台21上的光学读写头10分别向所对应的方向位移。此外,虽然将上述θx、θy旋转方向设为围绕X、Y轴旋转的方向,但这些θx、θx旋转方向并不仅限定于此,而只要是围绕位于X-Y平面上、且相互垂直的两根轴线的旋转方向,则也可以作为其他的围绕两根轴线的旋转方向。
回到图1,模拟构件支撑装置30是这样的支撑装置,即,其保持模拟构件31的同时,具有能够调整该模拟构件31的倾斜度的模拟构件倾斜度调整机构。模拟构件31由玻璃、塑料等透明构件构成,并具有与使用光学读写头10的光盘的光学特性等价的光学特性。通常,光盘在由金属薄膜等形成的数据记录面的前面侧、即所照射激光的光源侧具有由聚碳酸酯构成的透明基板,该透明基板用于从划伤或灰尘等保护该数据记录面。因此,照射到光盘上的激光透过该透明基板而聚焦在数据记录面上。
本发明的光学读写头的调整装置为了获得与从物镜14出射、并透过了光盘的透明基板的激光的波面等价的激光,实际上需要用于修正由透明基板的厚度以及折射率所导致的激光的波像差的模拟构件31。即,模拟构件31是为了模拟光盘而取代光盘所配置的构件,其为了得到与照射到光盘的数据记录面上的激光的波面等价的激光的波面而具有与光盘的基板等价的性质,具体地说,具有等价的厚度以及折射率、即与光盘等价的光程长度。
如图4详细所示那样,该模拟构件支撑装置30由保持板32以及板支承台33构成。保持板32形成为圆盘状,并使旋转轴34贯穿于设置在其中央部的贯通孔而被固定。在该保持板32上,沿着周向以大致等间隔设置有从其上面贯穿到底面的多个贯通孔。在除了这些多个贯通孔中的一个贯通孔的其他多个贯通孔(例如三个贯通孔)上,通过旋转保持板32而以可交换的状态分别安装有模拟构件31。此时,多个模拟构件31(例如,三个模拟构件31)对应于光学特性不同的光盘的基板,而分别成为光学特性不同的多种模拟构件。另外,没有安装有模拟构件31的一个贯通孔(即开口部),是因为存在不使用模拟构件31的工序而准备的。
板支承台33支撑保持板32的同时,具有能够调整保持板32的倾斜度的模拟构件倾斜度调整机构,并由支撑部33a、33b以及基底部33c构成。支撑部33a形成为大致U字状,在向水平方向延伸而设置的上下一对臂部33a1、33a2的前端部,以可围绕保持板32的旋转轴34的轴线旋转的状态分别支撑该旋转轴34的两端。旋转轴34的上端部从上侧的臂部33a1突出,并在该上端部设置有操作件35,该操作件35用于通过手动操作使保持板32围绕旋转轴34的轴线旋转。
支撑部33a的臂部33a1、33a2的基端部下面与支撑部33b的上端部相接触,而且支撑部33a与支撑部33b之间的接触面的、与Y轴垂直的剖面形状被成型为在X-Z平面呈圆弧状。另外,支撑部33a与支撑部33b之间的接触面的、与X轴垂直的剖面形状成型为在Y-Z平面呈直线状。而且,支撑部33a的下表面可滑动地卡合在支撑部33b的上表面,支撑部33a以在其下表面围绕Y轴可旋转的方式被支撑在支撑部33b的上表面。另外,在支撑部33b设置有操作件36,该操作件36用于通过手动操作使支撑部33a相对支撑部33b而围绕Y轴旋转、即向θy方向旋转。
支撑部33b的下表面与基底部33c的上端部相接触,而且支撑部33b与基底部33c之间的接触面的、与X轴垂直的剖面形状成型为在Y-Z平面呈圆弧状。另外,支撑部33b与基底部33c之间的接触面的、与Y轴垂直的剖面形状成型为在X-Z平面呈直线状。而且,支撑部33b的下表面可滑动地卡合在基底部33c的上表面上,支撑部33b以在其下表面围绕X轴可旋转的方式被支撑在基底部33c的上表面上。另外,在基底部33c设置有操作件37,该操作件37用于通过手动操作使支撑部33b相对基底部33c而围绕X轴旋转、即向θx方向旋转。
该光学读写头的调整装置还具有自动准直仪50,该自动准直仪50向装载固定在光学读写头支撑装置20上的、后述的角度校正导板110上所设置的平面反射镜部112照射激光,并使由平面反射镜部112的反射光经由1/2波片42以及光束分离器43而入射。这里,1/2波片42是为了消除所入射的激光对于设置在光学读写头的调整装置内的光束分离器等光学元件的偏振依赖性而设置的。光束分离器43是这样的光学元件,即,其使所入射的激光的一部分向与入射方向相同的方向透过的同时,使另一部分向与入射方向垂直的方向反射。
自动准直仪50由激光光源51、准直透镜52、光束分离器53、聚光透镜54以及CCD摄像元件55构成,且是一种倾角检测装置,其向对象物体照射激光,并接收来自该对象物体的反射光,从而检测出对象物体相对所照射的激光的倾斜度。从激光光源51出射的激光经由准直透镜52以及光束分离器53,并向光学读写头支撑装置20照射,然后,来自该光学读写头支撑装置20的反射光经由光束分离器53、聚光透镜54而由作为摄像仪的CCD摄像元件55接收。在CCD摄像元件55连接有监视器装置56,从而在监视器装置56上能够显示由CCD摄像元件55的受光像。此时,在监视器装置56的显示画面上,显示有将从该自动准直仪50照射到光学读写头支撑装置20的激光光轴的方向作为交点的十字状刻度线,因此,通过经由CCD摄像元件55而在监视器装置56上显示由安装在支承台21(即支撑部23a、23b)上的后述的角度校正导板110上所设置的平面反射镜部112的反射光,而能够用肉眼检测支承台21的倾斜度。此外,监视器装置56通过光学读写头的调整装置的未图示的支撑构件而固定在操作人员易于观察的位置上。另外,与上述同样,自动准直仪50也能够检测出相对于从物镜14出射的激光的光轴的、模拟构件31的倾斜度。
另外,该光学读写头调整装置使透过装载固定在光学读写头支撑装置20上的光学读写头10的物镜14的激光,经由上述的模拟构件31、准直透镜41以及1/2波片42,并被光束分离器43反射,进而导入到后述的哈特曼夏克传感器(Shack-Hartmann sensor)60、光点分析仪70、四分割光电检测仪83以及二维位置检测仪(PSD)93。这里,准直透镜41是将所入射的激光转换成平行光束的光学元件,并且通过光学读写头调整装置内所设置的未图示的准直透镜移动机构,以使其配置在上述激光的光路上或光路外的方式被支撑。该准直透镜41由高倍率与低倍率的两种透镜构成,并且,其中之一的倍率的准直透镜41,根据使用目的而以可交换的状态安装在准直透镜移动机构上。另外,通过该准直透镜促动器44的驱动,该准直透镜41向与光学读写头10的磁道促动器16的驱动方向垂直的方向、即图1中的X轴方向进行位移。
在由光束分离器43反射的激光的光轴上,中间隔着光束分离器45、46、47而设置有哈特曼夏克传感器60。光束分离器45、46、47与上述光束分离器43同样,分别是一种使所入射的激光的一部分向与入射方向相同的方向透过的同时,使另一部分向与入射方向垂直的方向反射的光学元件。由光束分离器43所反射的激光,其一部分被光束分离器45向垂直方向反射的同时,该反射光的一部分分别透过光束分离器46、47而入射到作为激光观测装置的哈特曼夏克传感器60。
哈特曼夏克传感器60是一种由ND(Neutral Density:中性密度)滤光镜61、透镜阵列62以及CCD摄像元件63构成、且计测经由光束分离器45、46、47而入射的激光的波像差的波面测量仪。ND滤光镜61是一种用于使入射的激光的光量变为适当的滤光镜。透镜阵列62由将比所入射的激光束的直径小的透镜排列为二维点阵(two-dimensional lattice)状的多个透镜构成,而各个透镜分别将所入射的激光聚光在CCD摄像元件63上。CCD摄像元件63是一种配置在激光通过构成透镜阵列62的多个透镜的聚光位置上、且拍摄由该多个透镜所形成的多个点像的摄像仪。由该CCD摄像元件63拍摄到的多个点像被称为哈特曼图(ハ一トマンノグラム),与来自由不含像差的波面所得的多个点像的各自的位移相对应,即与CCD摄像元件63的拍摄面上的激光波面的法线矢量的正弦(Sin)成分相对应。将由CCD摄像元件63拍摄到的多个点像、即视频信号提供给图像生成装置64。
图像生成装置64是这样的装置,即,其受到后述的控制器100的控制,而利用从CCD摄像元件63输出的视频信号计算出激光的波面形状,生成用于将该波面表示为立体图像的立体图像数据。将由该图像生成装置64生成的立体图像数据输出到监视器装置65,并由该监视器装置65将激光的波面的状态显示为立体图像。另外,还可以同时计算像差量而在监视器装置65上将其显示为数值数据,或者,基于测定以及计算的波面而在监视器装置65上模拟显示干涉条纹。该监视器装置65通过光学读写头调整装置上的未图示的支撑构件而被固定在操作人员易于观察的位置。
在透过光束分离器45的激光的光轴上,设置有光点分析仪70。光点分析仪70由ND滤光镜71、聚光透镜72以及CCD摄像元件73构成,它是一种观察透过光束分离器45的激光(即与入射到哈特曼夏克传感器60的激光等价的激光)的光轴在与该光轴垂直的面内的偏离的检测仪,具体地说,它是一种观察在图示X-Y轴平面内的、通过物镜14的激光的焦点光点的形状以及位置的检测仪。另外,光点分析仪70还可以检测出相对于由物镜14出射的激光的光轴的、模拟构件31的倾角。而且,还可以替代上述的自动准直仪50的聚光透镜54以及CCD摄像元件55而执行它们的功能。ND滤光镜71与上述ND滤光镜61同样,是一种用于使入射的激光的光量变为适当的滤光镜。聚光透镜72是一种将入射的激光聚光在CCD摄像元件73上的光学透镜。CCD摄像元件73是一种配置在聚光透镜72的聚光位置、且对通过该聚光透镜形成的点像进行拍摄的摄像仪。
在CCD摄像元件73上连接有监视器装置74,从而在监视器装置74上能够显示由CCD摄像元件73的受光像。此时,在监视器装置74的显示画面上,显示有将哈特曼夏克传感器60、后述的四分割光电检测仪83以及二维位置检测仪(PSD)93能够接收激光的受光范围的中心位置作为交点的十字状刻度线,从而能够用肉眼检测入射到哈特曼夏克传感器60的激光的光轴与上述受光范围的中心位置之间的位置关系。另外,根据显示在监视器装置74上的点像的大小,能够用肉眼检测由物镜14的激光的焦点位置与、用于使激光无偏差地入射到哈特曼夏克传感器60的位置关系,进而能够观测到一级衍射环时,还能够用肉眼从该环的中断情况检测到模拟构件31处于最大倾角的方向。此外,监视器装置74通过光学读写头的调整装置中的未图示的支撑构件,固定在操作人员易于观察的位置。
在由光束分离器46反射的激光的光轴上设置有凸透镜81、柱面透镜82以及四分割光电检测仪83,由光束分离器46反射的激光、即入射到哈特曼夏克传感器60的激光的一部分被转换为与四分割光电检测仪83上的未图示的受光部a、b、c、d上的受光量对应的受光信号A、B、C、D,并输出到聚焦误差信号生成电路84。聚焦误差信号生成电路84根据像散法而由从四分割光电检测仪83输出的受光信号A~D生成聚焦误差信号,并输出到聚焦伺服控制电路85。聚焦伺服控制电路85受到后述的控制器100的控制,而基于从聚焦误差信号生成电路84输出的聚焦误差信号生成聚焦伺服信号,并输出到驱动电路86。驱动电路86根据聚焦伺服信号,对调整对象、即内置于光学读写头10内的聚焦促动器15进行驱动控制,从而使物镜14在光轴方向上发生位移。因此,通过聚焦误差信号生成电路84、聚焦伺服控制电路85以及驱动电路86的联动,能够实现对物镜14的聚焦伺服控制。
在由光束分离器47反射的激光的光轴上,中间隔着ND滤光镜91以及凸透镜92而设置有二维位置检测仪(PSD)93。ND滤光镜91与上述的ND滤光镜71、61同样,是一种用于使入射的激光的光量变为适当的滤光镜。凸透镜92是一种将入射的激光聚光在二维位置检测仪(PSD)93上的光学透镜。二维位置检测仪(PSD)93是一种利用了光电二极管的表面电阻的、检测出二维受光光量的中立的元件,其配置在凸透镜92的聚光位置上,并将表示通过该凸透镜92形成在二维位置检测仪(PSD)93上的点像的中立位置的受光信号,输出到位置计算电路94。该受光信号所表示的位置是指:在与由光束分离器47反射的激光(即与入射到哈特曼夏克传感器60的激光等价的激光)的光轴垂直的平面内的位置,即,图示X-Y轴平面内的、哈特曼夏克传感器60的光轴与从物镜14射出的激光的光轴之间的偏离在二维位置检测仪(PSD)93上的投影。
位置计算电路94利用从二维位置检测仪(PSD)93所输出的受光信号,分别计算出哈特曼夏克传感器60能够接收到激光的受光范围的中心位置与入射到哈特曼夏克传感器60的激光的光轴位置在X-Y轴平面上的偏离,并将分别表示该偏离的X方向误差信号以及Y方向误差信号输出到X-Y方向伺服控制电路95。X-Y方向伺服控制电路95受到后述的控制器100的控制,而基于上述X方向误差信号以及Y方向误差信号生成X方向伺服信号以及Y方向伺服信号,并分别输出到驱动电路96、97。
驱动电路96根据X方向伺服信号对准直透镜用的准直透镜促动器44进行驱动控制,从而使准直透镜41向图示X轴方向位移。另外,驱动电路97根据Y轴方向伺服信号对调整对象、即内置于光学读写头10内的磁道促动器16进行驱动控制,从而使物镜14向图示Y轴方向位移。因此,通过位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95、驱动电路96、97的联动,能够实现准直透镜41向图示X轴方向、以及物镜14向图示Y轴方向的双向伺服控制。此外,准直透镜促动器44为了使从物镜14出射的激光的光轴通过模拟构件31向X轴方向位移。
控制器100由CPU、ROM、RAM等构成,并根据来自输入装置101的指示,分别对图像生成装置64、聚焦伺服控制电路85、X-Y方向伺服控制电路95以及激光器驱动电路102的动作进行控制。输入装置101由多个按钮开关构成,并分别指示图像生成装置64、聚焦伺服控制电路85、X-Y方向伺服控制电路95以及激光器驱动电路102的启动。激光器驱动电路102根据来自控制器100的指示,对光学读写头10的激光光源11以及自动准直仪50的激光光源51的动作进行控制。
在使用如此构成的光学读写头的调整装置时,由于需要预先对光学读写头支撑装置20的支承台21以及模拟构件31进行角度校正,所以针对这些角度校正工序进行说明。首先,针对光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序进行说明。
如图5所示,由操作人员将角度校正导板110安装在光学读写头支撑装置20的支承台21上。如图6所示,在该角度校正导板110设置有平面反射镜部112,其设置在由方形形状的平板构件构成的基台111上。实际上,如图7所示,上述支承台21的一对支撑部23a、23b由两根轴构成,并且,由设置在基台111的底表面的相互平行的两条槽构成的一对安装部113a、113b分别装载在上述轴上,从而被安装在支承台21上。平面反射镜部112是一种用于支承台21的角度校正的反射构件,而在将基台111装载在支承台21上的状态下进行角度校正,以使反射面的法线与哈特曼夏克传感器60的光轴平行。通过该角度校正,从固定在支承台21上的光学读写头10所出射的激光的光轴变得与哈特曼夏克传感器60的光轴平行。
在将该角度校正导板装载固定在支承台21上的状态下,操作人员通过接通未图示的电源开关,而启动包括控制器100的光学读写头的调整装置。接着,操作人员通过对模拟构件支撑装置30的操作件35进行操作,而使保持板32旋转,从而使未安装保持板32的模拟构件31的一个贯通孔(开口部)位于从自动准直仪50出射的激光的光轴上。这是因为:从自动准直仪50出射的激光不经由模拟构件31而照射到平面反射镜部112,从而不会产生由模拟构件31的反射光。此外,预先将从自动准直仪50出射的激光的光轴设定为与中间隔着光束分离器43的哈特曼夏克传感器60的光轴一致。
此时,对设置在光学读写头的调整装置内的未图示准直透镜移动机构进行操作而移动准直透镜41,而使准直透镜41位于从自动准直仪50出射的激光的光路外。这是因为:从自动准直仪50出射的激光已经被内置于该自动准直仪50内的准直透镜52转换为平行光束。
接着,操作人员对输入装置101进行操作,而对控制器100下达从自动准直仪50出射激光的指示。响应该指示,控制器100对激光器驱动电路102下达启动激光光源51的指示。由此,自动准直仪50将从激光光源51出射的激光,经由准直透镜52以及光束分离器53而向装载在光学读写头支撑装置20上的平面反射镜部112出射。从自动准直仪50出射的激光经由光束分离器43以及保持板32的未安装模拟构件31的一个贯通孔(开口部),而照射到平面反射镜部112上。
照射到平面反射镜部112上的激光被平面反射镜部112的反射面反射,再次通过保持板32的未安装模拟构件31的一个贯通孔(开口部)以及光束分离器43而入射到自动准直仪50。入射到自动准直仪50的反射光经由光束分离器53而入射到准直透镜54,而且,准直透镜54将所入射的反射光成像在CCD摄像元件55上。然后,表示成像在该CCD摄像元件55上的反射光的视频信号被输入到监视器装置56,该监视器装置56将图示X-Y轴平面内的反射光的角度显示为点像。操作人员基于该监视器装置56的显示,对光学读写头支撑装置20的图示θx、θy旋转方向调整用的操作件27、28进行操作,以使上述点像的位置处于显示在监视器装置56上的十字状刻度线的交点位置,从而调整支承台21在图示θx、θy旋转方向的倾斜度。此外,此时,也将上述θx、θy旋转方向作为围绕X、Y轴的旋转方向,但这些θx、θy旋转方向并不仅限定于此,而只要是围绕存在于X-Y平面内、且相互垂直的两根轴线的旋转方向,则也可以是围绕其他两根轴线的旋转方向。
由此,能够将支承台21的倾斜度调整为,使光学读写头支撑装置20的支承台21的一对支撑部23a、23b(两根轴)上的母线相对从自动准直仪50出射的激光的光轴垂直。然后,操作人员对输入装置101进行操作,而停止从自动准直仪50的激光的出射的同时,从支承台21上取下角度校正导板110。由此,对光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序结束。根据这种光学读写头支撑装置20,则通过一边确认监视器装置56的显示,一边对图示θx、θy旋转方向调整用的操作件27、28进行操作,而能够简单地对支承台21在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整。
接着,针对模拟构件31的角度校正工序进行说明。在该模拟构件31的角度校正工序中,用模拟构件31反射从自动准直仪50出射的激光而在监视器装置56上显示该反射光的位置,并对模拟构件31的倾斜度进行调整。具体地说,首先,操作人员通过对模拟构件支撑装置30的操作件35进行操作,而使保持板32旋转,从而使安装在保持板32上的多个模拟构件31中的一个模拟构件31位于从自动准直仪50出射的激光的光轴上。此时,从多个模拟构件31中选择的一个模拟构件31,是一种具有与使用了通过该光学读写头的调整装置所调整的光学读写头10的光盘对应的光学特性的模拟构件31。
接着,操作人员对输入装置101进行操作,而对控制器100下达从自动准直仪50出射激光的指示。由此,自动准直仪50与对上述光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序时同样地出射激光。从自动准直仪50出射的激光,经由光束分离器43而照射到模拟构件31。照射到模拟构件31的激光的一部分透过模拟构件31的同时,另一部分被模拟构件31反射,并再次经由光束分离器43而由自动准直仪50接收。此时,准直透镜41也位于从自动准直仪50出射的激光的光路外。另外,透过了模拟构件31的激光虽照射在光学读写头支撑装置20的支承台21上,但由于在支承台21上不存在平面反射镜或光学读写头10,所以没有来自它们的反射光。
自动准直仪50基于所接收的反射光,在监视器装置56上将θx-θy方向上的反射光的角度显示为点像。操作人员基于该监视器装置56的显示,对模拟构件支撑装置30的操作件36、37进行操作,以使上述点像的位置位于显示在监视器装置56上的十字状刻度线的交点位置,从而对保持板32、即模拟构件31在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整。由此,能够将模拟构件31的倾斜度调整为从自动准直仪50所出射的激光的光轴相对模拟构件31垂直。然后,操作人员对输入装置101进行操作,停止从自动准直仪50的激光的出射。由此,模拟构件31的角度校正工序结束。此外,也可以将对该模拟构件31的角度校正工序作为对上述光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序来进行。
接着,操作人员转移到光学读写头的位置调整工序。在光学读写头的位置调整工序中,对光学读写头10在图示X-Y坐标方向的位置进行调整,以使从光学读写头10出射的激光的光轴位于哈特曼夏克传感器60能够接收激光的受光范围的中心位置的同时,对光学读写头10在图示Z轴方向的位置进行调整,以使从光学读写头10出射的激光的焦点位置位于经由模拟构件31而将激光无偏差地读入到哈特曼夏克传感器60的位置。具体地说,是位于准直透镜41的下方的点(即,是用于使准直透镜41的像差变得最小的点,是理想的轴上的物点)。如图1所示,首先,操作人员将该光学读写头的调整装置上的、作为调整对象的光学读写头10,装载固定在光学读写头支撑装置20的支承台21上。然后,将低倍率的准直透镜41安装在设置于光学读写头的调整装置内的未图示的准直透镜移动机构上的同时,对该准直透镜移动机构进行操作,以使准直透镜41移动而位于从光学读写头10出射的激光的光路上。此时,之所以使用低倍率的光学读写头10,是因为使从光学读写头10出射的激光易于入射到后述的光点分析仪70的受光范围内。另外,将激光器驱动电路102连接到光学读写头10的激光光源11的同时,将聚焦促动器15以及磁道促动器16分别连接于驱动电路86、96。
接着,操作人员对输入装置101进行操作,而对控制器100下达从光学读写头10出射激光的指示。响应该指示,控制器100对激光器驱动电路102下达启动激光光源11的指示。由此,光学读写头10使从激光光源11出射的激光经由准直透镜12、垂直反射镜13以及物镜14,而向模拟构件31出射激光。从光学读写头10出射的激光经由模拟构件31、准直透镜41以及光束分离器43、45、46、47,而分别被光点分析仪70、四分割光电检测仪83、二维位置检测仪(PSD)93以及哈特曼夏克传感器60所接收。由于图像生成装置64、聚焦伺服控制电路85以及X-Y方向伺服控制电路95的动作分别处于通过控制器100而被停止的状态,因此,其中的被哈特曼夏克传感器60、四分割光电检测仪83以及二维位置检测仪(PSD)93所接收的激光最终被忽略。
光点分析仪70将从光束分离器45入射的激光,经由ND滤光镜71以及聚光透镜72而聚光在CCD摄像元件73上。该CCD摄像元件73将与该所聚光的激光对应的视频信号输出到监视器装置74,而且,监视器装置74基于该视频信号而将图示X-Y坐标平面的激光的位置显示为点像。此时,如果物镜14的焦点位置没有位于经由模拟构件31而将激光无偏差地读入到哈特曼夏克传感器60的位置、即位于准直透镜41的下方的点(即,是用于使准直透镜41的像差变得最小的点,是理想的轴上的物点),则显示在监视器装置74上的点像被显示为不清晰的像。因此,操作人员首先对光学读写头10的位置进行调整,以使物镜14的焦点位置位于上述准直透镜41的下方的点。具体地说,操作人员一边确认监视器装置74上的显示,一边对光学读写头支撑装置20的图示Z轴方向调整用的操作件26进行操作,以使上述不清晰的像变成清晰且最小的点像,从而调整支承台21在图示Z轴方向的位置。由此,物镜14的焦点位置位于准直透镜41的下方的点(即,是用于使准直透镜41的像差变得最小的点,是理想的轴上的物点)。接着,操作人员基于该监视器装置74上的显示,对光学读写头支撑装置20的图示X、Y轴方向调整用的操作件24、25进行操作,以使上述点像的位置位于显示在监视器装置74上的十字状刻度线的交点位置,从而调整支承台21在图示X、Y轴方向的位置。
接着,操作人员取代安装在准直透镜移动机构上的低倍率的准直透镜41而安装高倍率的准直透镜41。然后,如上所述,一边确认监视器装置74的显示,一边对光学读写头支撑装置20的图示Z轴方向调整用的操作件26进行操作,以使上述点像变得最小的同时,对光学读写头支撑装置20的图示X、Y轴方向调整用的操作件24、25进行操作,以使上述点像的位置位于显示在监视器装置74上的十字状刻度线的交点,从而对支承台21在图示X、轴方向的位置进行调整。通过使用这种高倍率的准直透镜41,能够更加高精度地进行光学读写头10的定位。
由此,将表示从光学读写头10出射的激光的光轴的点像,经由物镜14而投影在光点分析仪70上的激光的受光范围的中心位置。这意味着哈特曼夏克传感器60的光轴与从光学读写头10出射的激光的光轴平行。由此,光学读写头的位置调整工序结束。根据这种光学读写头支撑装置20,则确认监视器装置74的显示的同时,对图示X、Y、Z轴方向调整用的操作件24~26进行操作,从而能够简单地对光学读写头10在图示X、Y、Z轴方向的位置进行调整。
接着,操作人员转移到物镜的聚焦伺服控制开始工序。物镜的聚焦伺服控制开始工序是一种用于正确、且稳定地进行对物镜14的聚焦伺服控制的工序,而且是一种连续于上述的光学读写头的位置调整工序而进行的工序。具体地说,操作人员对输入装置101进行操作,从而对控制器100下达开始进行对物镜14的聚焦伺服控制的指示。响应该指示,控制器100启动聚焦伺服控制电路85。此时,由光束分离器46反射的激光经由凸透镜81以及柱面透镜82而入射到四分割光电检测仪83,并通过四分割光电检测仪83转换为与在未图示的受光部a、b、c、d中的受光量对应的受光信号A~D,然后被提供给聚焦误差信号生成电路84。然后,基于该受光信号A~D,由聚焦误差信号生成电路84生成聚焦误差信号,聚焦伺服控制电路85基于该聚焦误差信号而生成聚焦伺服信号,并向驱动电路86输出。驱动电路86根据该聚焦伺服信号而开始对物镜14的驱动控制。
接着,操作人员在该物镜14受到聚焦伺服控制的状态下,对物镜14在图示X、Y、Z轴方向的位置进行修正。具体地说,与上述的对光学读写头的位置调整工序同样,对光学读写头支撑装置20的图示X、Y、Z轴方向调整用的操作件24~26进行操作,从而对光学读写头10的位置进行修正。这是因为:内置于光学读写头10内的物镜14被由金属线等构成的弹性支撑构件弹性地支撑着,因此,在物镜14未受到聚焦伺服控制的状态下,因物镜14的自重而会位于从图示Z轴方向的弹性指示构件10b的力学上的中立位置向下方偏离的位置。
即,在该物镜14位于从上述中立位置向下方偏离的位置的状态下,通过上述的光学读写头的位置调整工序来决定光学读写头10在图示Z轴方向的位置,并开始聚焦伺服控制,则物镜14受到将从上述中立位置向下方偏离的位置作为中心的聚焦伺服控制。接着,操作人员对光学读写头支撑装置20的图示Z轴方向调整用的操作件26进行操作,而将光学读写头10在图示Z轴方向的位置向下方仅位移物镜14从上述中立位置偏离的量,以将上述中立位置作为中心而进行对物镜14的聚焦伺服控制。此时,预先测定好物镜14从上述中立位置的偏离量,并且,操作人员将该偏离量作为规定值,而将光学读写头10在图示Z轴方向的位置向下方位移。
另外,取而代之,在物镜14的外周设置环状的平面部,并从自动准直仪50向包含该平面部的物镜14照射激光,从而在监视器装置56上显示来自该平面部的反射光。此时,如图1的虚线所示,通过在光束分离器43与自动准直仪50之间设置聚光透镜48,而使从自动准直仪50出射的平行光束照射到物镜14的环状的平面部上,进而由自动准直仪50接收来自该平面部的反射光。由此,对应于平面部的倾角而在监视器装置56上显示点像,而且操作人员对光学读写头支撑装置20的图示Z轴方向调整用的操作件26进行操作,以使该像位于监视器装置56上的规定位置,从而还能够对光学读写头10在图示Z轴方向的位置进行修正。在物镜14通过悬臂而相对光学读写头10的箱体10a被支撑时,这种对光学读写头在图示Z轴方向的位置的修正特别有效。此外,因为该聚光透镜48是一种只使用在对物镜14的位置修正操作中的透镜,所以由在光学读写头的调整装置内所设置的未图示的聚光透镜移动机构以有选择地配置在从自动准直仪50出射的激光的光路上或光路外的方式被支撑。因此,如图5中的虚线所示,在不需要聚光透镜48时,将聚光透镜48配置在从自动准直仪50出射的激光的光路外。
另外,在图示X、Y轴方向的光学读写头10的位置发生偏离时,通过对该光学读写头10在图示Z轴方向的位置修正操作,而对显示在与光点分析仪70连接的监视器装置74上的上述点像进行确认的同时,对光学读写头支撑装置20的图示X、Y轴方向调整用的操作件24、25进行操作,从而对光学读写头10在图示X、Y轴方向的位置进行修正。由此,能够正确、且稳定地进行对物镜14的聚焦伺服控制,从而物镜的聚焦伺服控制开始工序结束。
接着,操作人员转移到双向伺服控制开始工序。双向伺服控制开始工序是一种使物镜14在图示Y轴方向的伺服控制开始的同时、使准直透镜41在图示X轴方向的伺服控制开始的工序,而且是连续于上述的物镜的聚焦伺服控制开始工序而进行的工序。具体地说,操作人员对输入装置101进行操作,从而对控制器100下达开始双向伺服控制的指示。响应该指示,控制器100使X-Y方向伺服控制电路95启动。
此时,由光束分离器47反射的激光,并经由ND滤光镜91以及凸透镜92而入射到二维位置检测仪(PSD)93,并且,由二维位置检测仪(PSD)93转换成表示所对应点像的重心位置的受光信号而被提供给位置计算电路94。然后,基于该受光信号而由位置计算电路94分别生成X方向误差信号以及Y方向误差信号,而且,X-Y方向伺服控制电路95基于该X方向误差信号以及该Y方向误差信号而分别生成X方向伺服信号以及Y方向伺服信号,并分别输出到驱动电路96、97。驱动电路97根据该Y方向伺服信号而开始对物镜14在图示Y方向的驱动控制。另外,驱动电路96根据该X方向伺服信号而开始对准直透镜41在图示X方向的驱动控制。由此,对物镜14在图示Y方向的伺服控制被开始的同时,对准直透镜41在图示X方向的伺服控制也被开始,从而双向伺服控制开始工序结束。
接着,操作人员转移到物镜的倾角调整工序。物镜的倾角调整工序是一种将物镜14的倾斜度调整为从光学读写头10的激光光源11经由准直透镜12出射的激光的光轴与物镜14的光轴平行的工序,而且是连续于上述的双向伺服控制开始工序而进行的工序。具体地说,操作人员对输入装置101进行操作,从而对控制器100下达启动图像生成装置64的指示。响应该指示,控制器100启动图像生成装置64。
此时,透过了光束分离器47的激光入射到哈特曼夏克传感器60。哈特曼夏克传感器60将从光束分离器47入射的激光,经由ND滤光镜61以及透镜阵列62而聚光在CCD摄像元件63上。此时,通过透镜阵列62而使多个点像聚光在CCD摄像元件63上。CCD摄像元件63将与这些所聚光的激光对应的视频信号输出到图像生成装置64,而且,图像生成装置64基于该视频信号而计算出激光的波面,并生成用于显示为立体图像的立体图像数据而向监视器装置65输出。监视器装置65基于该立体图像数据而将激光的波面的状态显示为立体图像。
操作人员一边确认显示在监视器装置65上的激光的波面的状态,一边对光学读写头10的图示θx旋转方向调整用的倾角调整机构17以及图示θy旋转方向调整用的倾角调整机构18进行操作,以使波面的立体图像变得平坦,从而对物镜14在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整。此时,在对物镜14在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整的过程中,当从光学读写头10出射的激光的光轴偏离到哈特曼夏克传感器60的激光的受光范围之外时,返回到上述的光学读写头的位置调整工序中,而从光学读写头的位置调整工序开始再次进行各工序的操作。由此,从光学读写头10的激光光源11经由准直透镜12而出射的激光的光轴变得与物镜14的光轴平行。
就这样,在物镜14的倾斜度被调整的情况下,操作人员对输入装置101进行操作,而对控制器100下达分别停止图像生成装置64、聚焦伺服控制电路85、X-Y方向伺服控制电路95以及激光器驱动电路102的动作的指示。响应该指示,控制器100分别停止图像生成装置64、聚焦伺服控制电路85、X-Y方向伺服控制电路95以及激光器驱动电路102的动作。然后,操作人员从光学读写头支撑装置20的支承台21上取下光学读写头10,从而物镜的倾角调整工序结束。
此外,在接着进行其他的光学读写头10的调整操作时,只要从上述的光学读写头的位置调整工序开始进行操作即可。另外,在对具有其他光学特性的光盘中所使用的光学读写头10进行调整时,只要对模拟构件支撑装置30的操作件35进行操作而使保持板32旋转,从而使安装在保持板32上的多个模拟构件31中具有必要光学特性的一个模拟构件31位于从自动准直仪50出射的激光的光轴上之后,从上述的光学读写头的位置调整工序开始进行作业即可。
从上述动作说明中也可以理解的那样,根据上述实施方式,则从光学读写头10出射的激光经由物镜14以及模拟构件31而由哈特曼夏克传感器60接收,并对由该哈特曼夏克传感器60接收的激光的波像差进行计测,而在监视器装置65上显示基于该计测的像差来计算的波面的状态。然后,操作人员一边确认监视器装置65上所显示的激光波面的状态,一边调整物镜14的倾斜度。由于对该激光的波像差的计测是与激光的相干性无关的,且对激光的波面的观察是与激光的相干性无关的,所以能够不受激光的相干性的影响而对物镜14的倾斜度进行调整。另外,由于不使用大数值孔径的准直透镜41而能够对该激光的波像差进行计测,所以能够不受物镜14的数值孔径的影响而对物镜14的倾斜度进行调整。
另外,这样对物镜14的倾角进行调整之后,也能够通过以下的方法来确认物镜14的倾角被调整为最佳状态。例如,依次调换第一模拟构件与第二模拟构件,而使从光学读写头10出射的激光读入到哈特曼夏克传感器60,其中,相对与光盘的光程长度相当的光程长度,第一模拟构件具有仅长规定的光程长度的光程长度,第二模拟构件具有仅短上述规定的光程长度的光程长度。然后,分别计算出使用了上述第一模拟构件以及第二模拟构件时的激光光束的波面所具有的像差的同时,计算出相对于对上述物镜14的倾角调整结束时的像差的、上述所计算出的两像差的变化量。然后,通过确认这些所计算出的两变化量的对称性,而确认物镜14被调整为最佳状态。
另外,取代调换使用上述第一模拟构件以及第二模拟构件、或在其基础上,对物镜14的倾角调整结束之后,将模拟构件31向θx旋转方向以及/或者θy旋转方向依次正反向仅倾斜规定量。然后,如上所述,分别计算出各处于向正反向倾斜的状态的激光束的波面所具有的两像差的同时,通过确认上述所计算的两像差的变化量的对称性,还能够确认物镜14被调整为最佳状态。
另外,根据上述实施方式,则保持具有不同光学特性的多个模拟构件31的同时,使用具有能够对该模拟构件31的倾斜度进行调整的模拟构件倾斜度调整机构的模拟构件支撑装置30,从而将模拟构件31配置在从光学读写头10出射的激光的光轴上。由此,能够将具有不同光学特性的多个模拟构件31中具有所需特性的模拟构件31,随即配置在从光学读写头10以及自动准直仪50出射的激光的光轴上,从而能够提高操作效率。另外,通过在多个模拟构件31之外还设置一个不具有模拟构件31的贯通孔(开口部),从而在像光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序那样不需要模拟构件31时,也能够迅速应付。另外,通过一边确认监视器装置56上的显示一边对操作件36、37进行操作,而能够简单地对保持板、即模拟构件31在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整。由此,能够提高物镜14的倾斜度调整精度。另外,此时,通过调整多个模拟构件31中的一个模拟构件31的该倾斜度,而由于不需对其他多个模拟构件31的倾斜度进行调整,所以还能够提高操作效率。
另外,根据上述实施方式,则通过聚焦误差信号生成电路84、聚焦伺服控制电路85以及驱动电路86,对物镜14进行聚焦伺服控制的同时,通过位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95以及驱动电路96、97,进行对物镜14在图示Y轴方向、以及对准直透镜41在图示X轴方向的双向伺服控制。由此,在物镜的倾角调整工序中,即使由于对物镜14在图示θx、θy旋转方向上的位置调整而使物镜14的位置发生了变化,也始终能够将物镜14的焦点保持在规定的位置上,从而能够提高操作效率。
进而,在本发明的实施中,并不仅限定于上述实施方式,而可以在不脱离本发明的目的的限度内有各种变更。
在上述实施方式中,为了调整内置于光学读写头10内的物镜14的倾斜度,而使用了本发明中的光学读写头的调整装置,但并不仅限定于此,例如,也可以为调整从激光光源11的激光相对于内置于光学读写头10内的准直透镜12的入射角、以及激光光源11与准直透镜12的相对位置,而使用本发明中的光学读写头的调整装置。具体地说,只要在光学读写头10内具有调整由激光光源11的激光的出射方向以及激光光源11在图示X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向中的至少一个方向上的位置的调整机构就可。另外,取代该激光光源11的调整机构、或者在其基础上具有调整机构,该调整机构能够在图示θy旋转方向以及图示θz旋转方向上调整准直透镜12相对于来自激光光源11的激光的倾斜度,且能够调整准直透镜12在图示X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向中的至少一个方向上的位置。
在对如此构成的光学读写头10的准直透镜12的位置或倾斜度进行调整时,与上述实施方式的情况相同,操作人员首先将未装载有物镜11的状态的光学读写头10装载固定在光学读写头支撑装置20的支承台21上。然后,对输入装置101进行操作,而使激光从光源11射出的同时、启动图像生成装置64。由此,通过哈特曼夏克传感器60、图像生成装置64以及监视器装置65,而将从激光光源11出射、且透过准直透镜12的激光波面的状态显示在监视器装置65的画面上。
操作人员一边对监视器装置65所显示的激光波面的状态进行确认,一边操作上述的调整机构,以使波面的立体图像变得平坦,从而对来自激光光源11的激光相对于准直透镜12的入射角、以及对激光光源11与准直透镜12的相对位置进行调整。由此,能够对准直透镜12相对于从激光光源11出射的激光的倾斜度、以及对激光光源11与准直透镜12的相对位置进行调整,而且,接着对物镜14的倾斜度进行调整时,能够将物镜14安装在光学读写头10上,并对物镜14的倾斜度进行调整。
另外,在上述实施方式中,图像生成装置64基于从哈特曼夏克传感器60输出的视频信号来对激光的波像差进行计算,并将基于该计算出的波像差来计算的波面的状态显示在监视器装置65上,但并不仅限定于此。例如,图像生成装置64基于从哈特曼夏克传感器60输出的视频信号,与激光的波面一起、或者与波面另外地生成模拟的干涉条纹,或者分别计算出激光的像散、彗形像差以及球面像差,并与该所计算出的波面的立体图像一起、或者与波面的立体图像另外地在监视器装置上65上显示模拟的干涉条纹、激光的像散、彗形像差以及球面像差的值也可。
另外,在上述实施方式中,通过对移动装置22的操作件24~28进行手动操作,而进行对光学读写头支撑装置20的支承台21的在图示X、Y、Z轴方向以及图示θx、θy旋转方向上的调整,但也并不仅限定于此,例如,也可以通过由输入装置101对控制器100进行操作,来进行该调整。此时,取代操作件24~28,而将电动马达等驱动装置分别设置在能够使支承台21向三轴方向位移、且能够围绕两轴旋转的移动机构上的同时,并通过控制器100对该驱动装置进行控制。然后,操作人员对输入装置101进行操作,而指定支承台21在X、Y、Z轴方向以及θx、θy旋转方向上的位置。响应该指示,控制器100对上述各驱动装置进行控制,以使支承台21位于该指示的位置上。
另外,在上述实施方式中,通过使光学读写头支撑装置20的移动机构22上的滑板22e、22f分别在形成为圆弧状的滑板22f、22g上表面滑动,而进行光学读写头支撑装置20的支承台21在图示θx、θy旋转方向上的位移,但并不仅限定于此。例如,如图8所示,通过联杆机构分别组装移动装置22上的滑板22e、22f、22g而进行也可。具体地说,中间隔着四个拉伸弹簧121、122(各有一个未图示)分别重叠形成为平板状的滑板22e、22f、22g,并分别由四个联杆123a、123b、124a、124b以及联杆125a、125b、126a、126b来连接各自具有上下关系的滑板22f、22g以及22e、22f。此外,由于联杆123b、124b、125b、126b分别安装在安装有联杆123a、124a、125a、126a的滑板22e、22f、22g的各侧面的相反侧,所以未被图示。
此时,两个联杆123a(123b)、124a(124b)、125a(125b)、126a(126b)分别以互相不平行的状态被安装。具体地说,联杆123a(123b)是以与图示Z轴方向平行的方向被安装的,但联杆124a(124b)是以相对图示Z轴方向向倾斜于图示Y轴方向的状态被安装。另外,联杆125a(125b)是以与图示Z轴方向平行的方向被安装,但联杆126a(126b)是以相对图示Z轴方向倾斜于图示X轴方向的状态被安装。由此,滑板22e以联杆125a(125b)侧为支点,而其联杆126a(126b)侧能够向图示θy旋转方向进行位移的同时,滑板22f以联杆123a(123b)侧为支点,而其联杆124a(124b)侧能够向图示θx旋转方向进行位移。此外,滑板22e、22f通过拉伸弹簧121、122而始终处于靠在下方的状态。
另外,在滑板22e、22f分别向图示θx、θy旋转方向位移的一侧的侧面中央部,可旋转地组装有圆柱状的凸轮从动件127a、127b,而且,在该凸轮从动件127a、127b的各圆周面上分别接触有凸轮128a、128b。这些凸轮128a、128b分别通过主轴而与马达129a、129b相连接,从而分别随着马达129a、129b的旋转而旋转。马达129a、129b分别与未图示的控制装置(例如,控制器100)相连接,因此其旋转会受到控制。因此,通过随马达129a、129b的旋转的凸轮128a、128b的旋转位移,而使凸轮从动件127a、127b分别被拉向下方,从而滑板22e、22f抵抗弹拉伸弹簧121、122的弹力而向图示θx、θy旋转方向位移。由此,操作人员通过对控制装置进行操作,而能够使支承台21向图示θy、θx旋转方向位移。
此外,取代马达129a、129b而在凸轮128a、128b上安装手动操作用操作件,并如上述实施方式那样,通过操作人员的手动操作来对滑板22e、22f、即支承台21的倾斜度进行调整也可。另外,这种移动装置22,也可以适用于上述实施方式中的模拟构件支撑装置20的模拟构件倾斜度调整机构。
另外,在上述实施方式中,将驱动电路86以及驱动电路97连接到光学读写头10所具有的聚焦促动器15以及磁道促动器16的同时,将驱动电路96连接到光学读写头的调整装置所具有的准直透镜促动器41,而进行对物镜14的焦点位置的聚焦伺服控制、以及对读入到哈特曼夏克传感器60的光轴在图示X、Y轴方向的双向伺服控制,但并不仅限定于此。例如,也可以分别在图示X、Y、Z轴方向对光学读写头支撑装置20的支承台21进行伺服控制。此时,如图1的虚线所示,在光学读写头支撑装置20内设置分别在图示X、Y、Z轴方向驱动支承台21的Y轴方向促动器16’、X轴方向促动器44’以及Z轴方向促动器15’,并分别在这些Y轴方向促动器16’、X轴方向促动器44’以及Z轴方向促动器15’连接驱动器电路97、96、86,从而进行对物镜14的焦点位置的聚焦伺服控制、以及对读入到哈特曼夏克传感器60的光轴在图示X、Y轴方向的双向伺服控制。
另外,在上述实施方式中,通过位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95以及驱动电路96、97,进行对物镜14在图示Y轴方向、以及对准直透镜41在图示X轴方向的双向伺服控制,但并不仅限定于此。例如,在光学读写头10的结构上,若在X轴方向的振动少(例如,若磁道促动器16在Y轴方向的刚性高),则能够省略对准直透镜41在X轴方向伺服控制。此时,能够取代二维位置检测仪93而使用一维位置检测仪的同时,也能够将位置计算电路94从二维计算电路变更为一维计算电路。由此,能够简化光学读写头的调整装置的结构。
另外,在上述实施方式中,使用了能够在图示X、Y、Z轴方向以及图示θx、θy旋转方向的五轴方向上使支承台21位移的光学读写头支撑装置20,但并不仅限定于此,例如,也可以使用能够在图示X、Y、Z轴方向的三轴或图示θx、θy旋转方向的两轴方向上使支承台21位移的光学读写头支撑装置20。
另外,在上述实施方式中,使用了一个自动准直仪50而对光学读写头支撑装置20的支承台21的倾斜度以及模拟构件31的倾斜度进行了调整,但并不仅限定于此。例如,也可以分别具有对光学读写头支撑装置20的支承台21的倾斜度进行调整的自动准直仪50、以及对模拟构件31的倾斜度进行调整的自动准直仪50。
另外,在上述实施方式中,作为内置于自动准直仪50、哈特曼夏克传感器60以及光点分析仪70内的受光元件而使用了CCD摄像元件55、63、73。但是,也可以将这些CCD摄像元件55、63、73中的任意一个或多个,例如由CMOS摄像元件等受光元件构成。另外,在自动准直仪50以及光点分析仪70中,也可以取代CCD摄像元件55、73而使用二维位置检测仪(PSD)93。此时,只要在示波器上显示由二维位置检测仪(PSD)93的输出即可。
另外,在上述实施方式中,将保持多个模拟构件31的保持板32形成为圆盘状,并对操作件35进行旋转操作,从而使该保持板32上的一个模拟构件31配置在从光学读写头10出射的激光的光轴上,但并不仅限定于此。例如,如图9所示,也可以将保持板32形成为长方形,并在该形成为长方形的保持板32’的长轴方向保持多个模拟构件31。
此时,如图所示,设置能够使保持板32’在保持板32’的长轴方向位移的机构、例如使螺杆38b与固定在保持板32’的下面的螺母38a相螺合而成的螺杆输送机构,并在该螺杆输送机构的螺杆38b的一端连接马达39。该马达39连接在控制装置、例如控制器100上,从而其旋转被受到控制。保持板32’通过该马达39的旋转驱动而在螺杆38b的轴线方向位移,从而使一个模拟构件31定位配置在从光学读写头10出射的激光的光轴上。另外,也可以取代在上述螺杆38b的一端所连接的马达39而设置手动操作用操作件,并通过对该操作件进行操作,而使一个模拟构件31定位配置在从光学读写头10出射的激光的光轴上。
另外,在上述实施方式中,在保持板32上设置多个贯通孔,并在该贯通孔上安装了模拟构件31,但并不仅限定于此。例如,也可以沿着保持板32的周向而在外周上设置多个切口部,并将模拟构件31安装在这些切口部上。
另外,在上述实施方式中,使保持板32以可旋转的状态支撑于模拟构件支撑装置30的支撑部33a上,但并不仅限定于此。例如,也可以使保持板32以相对模拟构件支撑装置30的支撑部33a能够装卸的状态被支撑。
另外,也可以用干涉仪或光点分析仪来置换作为上述实施方式及其变形例中的激光的光测装置的哈特曼夏克传感器。
如图10所示,在作为观测装置而使用干涉仪的光学读写头的调整装置中,取代哈特曼夏克传感器60而配置干涉仪130的同时,取代图像生成装置64而配置图像生成装置140。此外,设置用于对物镜14进行聚焦伺服控制的聚焦误差信号生成电路84、聚焦伺服控制电路85以及驱动电路86的同时,可以以与上述实施方式相同的方式构成用于进行对物镜14在图示Y轴方向、以及对准直透镜41在图示X轴方向的双向伺服控制的位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95以及驱动电路96、97。
干涉仪130是一种这样的计测仪,即,其由半反半透镜131a、131b、反射镜132a、132b、凸透镜133、134、135、136、针孔137以及CCD摄像元件138构成,而且,将经由光束分离器45、46、47入射的激光分别导入到两条不同的光路之后将其再次重合,从而对由于光程差而产生的干涉条纹进行计测。半反半透镜131a是一种这样的光学元件,即,其使入射的激光的一部分以与入射方向相同方向透过的同时,使另一部分以与入射方向垂直的方向反射。
在透过该半反半透镜131a的激光的光轴上,设置有反射镜132a、凸透镜133、针孔137、凸透镜134以及半反半透镜131b。反射镜132a是一种使入射的激光向与入射方向垂直的方向全反射的反射板。凸透镜133是一种将由反射镜132a反射的激光会聚在针孔137上的聚光透镜。针孔137是一种这样的光学元件,即,其为设置在形成为平板状的板面的中央部的小孔(40~20μm),在其上会聚从上述凸透镜133出射的激光,并使其仅透过该会聚的点像的中心部,从而除去该激光的像差。凸透镜134是一种用于将透过针孔137的激光经由半反半透镜131b作为参照光而导入到CCD摄像元件138上的中继透镜。半反半透镜131b是一种这样的光学元件,即,其将从凸透镜134出射的激光向垂直方向反射,并将该激光导入到CCD摄像元件138的同时,使由后述反射镜132b反射的激光透过而导入到该CCD摄像元件138中。即,使一种使从凸透镜134出射的激光与由反射镜132b反射的激光重合,并导入到CCD摄像元件138的元件。
另一方面,在由半反半透镜131a反射的激光的光轴上,设置有作为聚光透镜的凸透镜135、作为中继透镜的凸透镜136、反射镜132b以及半反半透镜131b。凸透镜135是对由半反半透镜131a反射的激光进行导向的光学透镜。凸透镜136是一种这样的中继透镜,即,其入射由凸透镜135会聚过一次的激光,并使该激光经由反射镜132b以及半反半透镜131b,从而作为被测定光而导入到CCD摄像元件138。反射镜132b与上述反射镜132a同样,是一种使入射的激光向与入射方向垂直的方向全反射的反射板。即,由半反半透镜131a反射的激光在没被除去其像差的状态下被导入CCD摄像元件138。
CCD摄像元件138是一种通过半反半透镜131a来重合由上述凸透镜134、136转换成准直光束的两条光束而拍摄干涉条纹的摄影仪。由该CCD摄像元件138拍摄的干涉条纹是将由针孔137被除去像差的激光与没有经由针孔137而未被除去像差的激光相重合而生成的两条光束的干涉条纹。由该CCD摄像元件138拍摄的干涉条纹、即视频信号被提供给图像生成装置140。
图像生成装置140是这样的装置,即,其受到控制器100的控制,而基于从CCD摄像元件138输出的视频信号对激光的干涉条纹进行解析,并计算出像差量等解析结果,或者生成波面的立体图像数据。由该图像生成装置140计算出的解析结果以及所生成的图像数据与视频信号一起输出到监视器装置65,而通过该监视器装置65来显示激光波面的立体图像以及解析结果。
在作为这种观测装置而使用了干涉仪130的光学读写头的调整装置的使用中,操作人员按照与上述实施方式同样的步骤进行操作,直到物镜的倾角调整工序为止。然后,在物镜的倾角调整工序中,操作人员一边对显示在监视器装置65上的激光的干涉条纹的状态和所生成的激光波面的立体图像以及所显示的像差进行确认,一边对光学读写头10的图示θx旋转方向调整用的倾角调整机构17以及图示θy旋转方向调整用的倾角调整机构18进行操作,而对物镜14在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整,以使该干涉条纹处于规定的规格内。
由此,在作为观测装置而使用了干涉仪130的光学读写头的调整装置中,也能够从具有不同光学特性的多个模拟构件31中将具有所需光学特性的模拟构件31随即配置在从光学读写头10以及自动准直仪50出射的激光的光轴上,从而能够提高操作效率。另外,通过除了设置多个模拟构件31之外还设置不具有模拟构件31的一个贯通孔(开口部),而在不需要像对光学读写头支撑装置20的支承台21的角度校正工序那样的模拟构件31时也能够迅速应付。另外,通过一边对监视器装置56上的显示进行确认一边对操作件36、37进行操作,而能够对保持板、即对模拟构件31在图示θx、θy旋转方向的倾斜度简单地进行调整。此时,通过对多个模拟构件31中的一个模拟构件31进行该倾斜度的调整,而不需要对其他多个模拟构件31的倾斜度进行调整,所以更加能够提高操作效率。
另外,由聚焦误差信号生成电路84、聚焦伺服控制电路85以及驱动电路86对物镜14进行聚焦伺服控制的同时,由位置计算电路94、X-Y方向伺服控制电路95以及驱动电路96、97进行对物镜14在图示Y轴方向、以及对准直透镜41在图示X轴方向的双向伺服控制。由此,在物镜的倾角调整工序中,即使通过对物镜14在图示θx、θy旋转方向的位置调整而使物镜14的位置发生变化,也始终能够使从物镜14出射的激光的点像被保持在规定的位置上,从而能够提高操作效率。
另外,如图11所示,在作为观测装置而使用了光点分析仪的光学读写头的调整装置中,取代哈特曼夏克传感器60而配置光点分析仪70’的同时,取代图像生成装置65而配置图像生成装置150。此时,由于光点分析仪70’可以兼作图1中的光点分析仪70,所以不需要光点分析仪70以及监视器装置74。因此,在透过了光束分离器45的激光的光轴上,设置有凸透镜81、柱面透镜82以及四分割光电检测仪83的同时,在四分割光电检测仪83上连接有聚焦误差信号生成电路84。另外,在由光束分离器46反射的激光的光轴上,设置有ND滤光镜91、凸透镜92以及二维位置检测仪93的同时,在二维位置检测仪93上连接有位置计算电路94。而且,在透过了光束分离器46的激光的光轴上设置有光点分析仪70’的同时,在光点分析仪70’上连接有图像生成装置150。
由于光点分析仪70’与上述实施方式中的光点分析仪70结构相同,所以省略说明。即,ND滤光镜71对应于ND滤光镜71’,聚光透镜72对应于聚光透镜72’,CCD摄像元件73对应于CCD摄像元件73’。图像生成装置150是一种这样的装置,即,其受到控制器100的控制,而利用从CCD摄像元件138输出的视频信号来生成用于将激光的光点形状显示为零次光图像以及一级衍射光的环状图像的图像数据。将由该图像生成装置150生成的图像数据输出到监视器装置65,并通过该监视器装置65将激光的光点形状的状态显示为零级光图像以及一级衍射光的环状图像。
在作为这种观测装置而使用了光点分析仪70’的光学读写头的调整装置的使用中,操作人员按照与上述实施方式同样的步骤进行操作,直到物镜的倾角调整工序为止。然后,在物镜的倾角调整工序中,操作人员一边对显示在监视器装置65上的激光的零级光图像以及环状图像进行确认,一边对光学读写头10的图示θx旋转方向调整用的倾角调整机构17以及图示θy旋转方向调整用的倾角调整机构18进行操作,而对物镜14在图示θx、θy旋转方向的倾斜度进行调整,以使该零级光图像以及环状图像成为规定形状。
由此,在作为观测装置而使用了光点分析仪70’的光学读写头的调整装置中,也与使用了作为上述观测装置而干涉仪的情况同样,能够选择切换多个模拟构件31中的一个,并除了设置多个模拟构件31之外还设置没有模拟构件31的一个贯通孔(开口部),从而对物镜14进行聚焦伺服控制,并进行对物镜14在图示X轴方向、以及对准直透镜41在图示Y轴方向的双向伺服控制,因此,能够提高对物镜的倾斜度的调整精度的同时,还能够提高操作效率。
进而,也可以取代上述哈特曼夏克传感器60、干涉仪130以及光点分析仪70’,而将由多个圆形开口以及凸透镜与配置在该凸透镜的焦点位置上的摄像元件构成的哈特曼传感器(Hartmann sensor)作为观测装置来使用。

Claims (22)

1.一种光学读写头的调整装置,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,特征在于,具有:
第二准直透镜,其将从上述激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;
观测装置,其观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光;
聚焦控制用光束分离器,其提取入射到上述观测装置的激光的一部分;
聚焦控制用受光元件,其接收由上述聚焦控制用光束分离器所提取的激光;
聚焦伺服控制电路,其基于由上述聚焦控制用受光元件所接收的激光,对由上述物镜所决定的激光的焦点位置进行聚焦伺服控制,以消除由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到上述观测装置的焦点位置之间的偏离。
2.如权利要求1所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,具有:
光轴控制用光束分离器,其提取入射到上述观测装置的激光的一部分;
光轴控制用受光元件,其接收由上述光轴控制用光束分离器所提取的激光;
单向伺服控制电路,其基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的一个方向上进行伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
3.如权利要求1所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,具有:
光轴控制用光束分离器,其提取入射到上述观测装置的激光的一部分;
光轴控制用受光元件,其接收由上述光轴控制用光束分离器所提取的激光;
双向伺服控制电路,其基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的两个方向上进行伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
4.一种光学读写头的调整装置,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,其特征在于,具有:
第二准直透镜,其将从上述激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;
观测装置,其观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光;
光轴控制用光束分离器,其提取入射到上述观测装置的激光的一部分;
光轴控制用受光元件,其接收由上述光轴控制用光束分离器所提取的激光;
单向伺服控制电路,其基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的一个方向上进行伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
5.一种光学读写头的调整装置,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,其特征在于,具有:
第二准直透镜,其将从上述激光光源出射,且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束;
观测装置,其观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光;
光轴控制用光束分离器,其提取入射到上述观测装置的激光的一部分;
光轴控制用受光元件,其接收由上述光轴控制用光束分离器所提取的激光;
双向伺服控制电路,其基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的两个方向上进行伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
6.如权利要求1~3中任意一项所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,
上述聚焦伺服控制电路基于由上述聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到上述观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对内置于光学读写头中的聚焦促动器进行驱动控制。
7.如权利要求1~3中任意一项所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,进而,
具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头在上述物镜的光轴方向上发生位移的促动器,
上述聚焦伺服控制电路基于由上述聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到上述观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对上述支撑装置内的促动器进行驱动控制。
8.如权利要求2或4所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,
上述光学读写头具有磁道促动器,该磁道促动器在与激光的光轴垂直的平面内的一个方向上驱动物镜,
上述单向伺服控制电路基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对上述磁道促动器进行驱动。
9.如权利要求2或4所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,进而,
具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头在与上述光轴垂直的平面内的一个方向上发生位移的促动器,
上述单向伺服控制电路基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对上述支撑装置内的促动器进行驱动控制。
10.如权利要求3或5所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,
上述光学读写头具有磁道促动器,该磁道促动器在与激光的光轴垂直的平面内的一个方向上驱动物镜,
还具有准直促动器,该准直促动器处于与上述激光的光轴垂直的平面内,并在与上述磁道促动器不同的方向上驱动上述第二准直透镜,
上述双向伺服控制电路基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对上述磁道促动器以及上述准直促动器进行驱动。
11.如权利要求3或5所述的光学读写头的调整装置,其特征在于,进而,
具有支撑装置,该支撑装置支撑光学读写头的同时,包括使该光学读写头分别在与上述光轴垂直的平面内不同的两个方向上发生位移的两个促动器,
上述双向伺服控制电路基于由上述光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来分别对上述支撑装置内的两个促动器进行驱动控制。
12.一种光学读写头的调整方法,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,其特征在于,
利用第二准直透镜将从上述激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束,
利用聚焦控制用光束分离器来提取由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的一部分;
基于上述所提取的一部分的激光,对由上述物镜所决定的激光的焦点位置进行聚焦伺服控制,以消除由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到观测装置的焦点位置之间的偏离,其中,该观测装置用于观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光,
将由上述聚焦控制用光束分离器未被提取的其他一部分的激光导入到上述观测装置,而观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光。
13.如权利要求12所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,进而,
利用光轴控制用光束分离器来提取由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的一部分,并基于该所提取的一部分的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的一个方向上进行单向伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
14.如权利要求12所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,进而,
利用光轴控制用光束分离器来提取由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的一部分,并基于该所提取的一部分的激光,对入射到上述观测装置的激光的光轴在与该光轴垂直的两个方向上进行双向伺服控制,以消除入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离。
15.一种光学读写头的调整方法,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,其特征在于,
利用第二准直透镜将从上述激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束,
利用光轴控制用光束分离器来提取由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的一部分;
基于上述所提取的激光的一部分,对由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的光轴在与该光轴垂直的一个方向上进行单向伺服控制,以消除入射到用于观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,
将由上述光轴控制用光束分离器未被提取的其他一部分的激光导入到上述观测装置,而观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光。
16.一种光学读写头的调整方法,用于调整光学读写头的物镜的倾角,该光学读写头具有:壳体;激光光源,其收藏在上述壳体内,并出射激光;第一准直透镜,其收藏在上述壳体内,并将上述所出射的激光转换为平行光束;物镜,其安装在上述壳体内,并对上述所转换的激光进行聚光;倾角调整机构,其用于调整上述物镜相对于激光的倾角,其特征在于,
利用第二准直透镜将从上述激光光源出射、且经由上述第一准直透镜以及物镜的激光转换为平行光束,
利用光轴控制用光束分离器来提取由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的一部分;
基于上述所提取的激光的一部分,对由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的光轴在与该光轴垂直的两个方向上进行双向伺服控制,以消除入射到用于观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光的观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,
将由上述光轴控制用光束分离器未被提取的其他一部分的激光导入上述观测装置,而观测由上述第二准直透镜转换为平行光束的激光。
17.如权利要求12~14中任意一项所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,
上述聚焦伺服控制基于由聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到上述观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对内置于光学读写头中的聚焦促动器进行驱动控制。
18.如权利要求12~14中任意一项所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,进而,
上述聚焦伺服控制基于由聚焦控制用受光元件所接收的激光,检测出由上述物镜所决定的激光的焦点位置与用于使激光无偏差地入射到上述观测装置的焦点位置之间的偏离,并根据该检测结果来对内置于支撑光学读写头的支撑机构内、且使该光学读写头在上述物镜的光轴方向上发生位移的促动器进行驱动控制。
19.如权利要求13或15所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,
上述光学读写头具有磁道促动器,该磁道促动器在与激光的光轴垂直的平面内的一个方向上驱动物镜,
上述单向伺服控制基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并对上述磁道促动器进行驱动控制。
20.如权利要求13或15所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,进而,
上述单向伺服控制基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对内置于支撑光学读写头的支撑装置内、且使该光学读写头在与上述光轴垂直的平面内的一个方向上发生位移的促动器进行驱动控制。
21.如权利要求14或16所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,
上述光学读写头具有磁道促动器,该磁道促动器在与激光的光轴垂直的平面内的一个方向上驱动物镜,
进而,上述双向伺服控制基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来对上述磁道促动器以及用于使上述第二准直透镜在与上述磁道促动器不同的方向上发生位移的准直促动器进行驱动控制。
22.如权利要求14或16所述的光学读写头的调整方法,其特征在于,进而,
上述双向伺服控制基于由光轴控制用受光元件所接收的激光,检测出入射到上述观测装置的激光的光轴与上述观测装置的光轴之间的偏离,并根据该检测结果来分别对内置于支撑光学读写头的支撑装置中、且使该光学读写头分别在与上述光轴垂直的平面内不同的两个方向上发生位移的两个促动器分别进行驱动控制。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103645034A (zh) * 2013-11-28 2014-03-19 上海华力微电子有限公司 集成光学透镜检测器针孔及集成光学透镜检测器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5241093B2 (ja) * 2006-11-01 2013-07-17 キヤノン株式会社 光ヘッド調整方法
JP2010102745A (ja) * 2008-10-21 2010-05-06 Pulstec Industrial Co Ltd レーザ光の波面収差測定方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01150231A (ja) * 1987-12-08 1989-06-13 Hitachi Ltd 光学的記録再生装置用ピックアップの光学系位置調整装置
JP2767138B2 (ja) * 1989-08-29 1998-06-18 旭光学工業株式会社 光学式情報記録再生装置用光学系の光軸調整方法及び治具
US5202875A (en) * 1991-06-04 1993-04-13 International Business Machines Corporation Multiple data surface optical data storage system
JPH0659172A (ja) * 1992-08-05 1994-03-04 Ricoh Co Ltd 対物レンズ、および対物レンズの傾き調整方法、および対物レンズ製造装置
JPH0676304A (ja) * 1992-08-31 1994-03-18 Ricoh Co Ltd 光ピックアップ組付け調整装置
JPH08261842A (ja) * 1995-03-24 1996-10-11 Hitachi Ltd シャックハルトマン波面検出器及び補償光学装置
JPH1029058A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Sony Corp 半田付装置及び半田付方法
JP3393039B2 (ja) * 1996-07-24 2003-04-07 ペンタックス株式会社 対物レンズの傾き調整装置
JP3450660B2 (ja) * 1996-07-26 2003-09-29 ペンタックス株式会社 対物レンズの傾き調整装置
JP3795143B2 (ja) * 1996-07-31 2006-07-12 シャープ株式会社 対物レンズ姿勢調整方法及び対物レンズ傾き検出装置並びに対物レンズ姿勢調整装置
JPH10326431A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Sony Corp 二軸アクチュエータの対物レンズ評価装置
CN1189774C (zh) * 1998-08-26 2005-02-16 中国科学院光电技术研究所 光学波前传感器
US6434096B1 (en) * 1999-02-26 2002-08-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording/reproducing device
JP2000321165A (ja) * 1999-05-12 2000-11-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法
JP2001273643A (ja) * 2000-03-28 2001-10-05 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 対物レンズの傾角調整方法および装置
JP2002260245A (ja) * 2001-03-06 2002-09-13 Ricoh Co Ltd 光学部品の組付け調整装置及びその組付け調整方法
JP3744402B2 (ja) * 2001-10-16 2006-02-08 セイコーエプソン株式会社 光学装置の製造方法、および基準位置出し原器
JP2003132568A (ja) * 2001-10-25 2003-05-09 Sanyo Electric Co Ltd 光ディスク装置およびチルト検出方法
JP2003177292A (ja) * 2001-12-13 2003-06-27 Sharp Corp レンズの調整装置および調整方法
JP2004118971A (ja) * 2002-09-27 2004-04-15 Saginomiya Seisakusho Inc 光ピックアップ光学調整検査装置及びあおり調整機構
JP4448301B2 (ja) * 2003-08-21 2010-04-07 Hoya株式会社 透過光量測定方法
JP2005174505A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Pulstec Industrial Co Ltd 光ピックアップ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103645034A (zh) * 2013-11-28 2014-03-19 上海华力微电子有限公司 集成光学透镜检测器针孔及集成光学透镜检测器
CN103645034B (zh) * 2013-11-28 2016-06-01 上海华力微电子有限公司 集成光学透镜检测器

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