JP3393039B2 - 対物レンズの傾き調整装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基準面に対する対
物レンズの傾きを調整するのに用いられる対物レンズの
傾き調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、光ディスクを用いた情報書込
・読取り装置では、光ディスクの情報記録面に対して、
光ピックアップの対物レンズが傾いていると、いわゆる
コマ収差が生じて、光ディスクへの情報書込みを高密度
で行うことができないという問題があり、また、情報読
み取りの際にはノイズの原因となるため、光ディスクの
情報記録面に対する対物レンズの傾きが所定の規格内に
入るように、調整することが行われている。

【０００３】その対物レンズ１はモールド成形法により
成形され、その対物レンズ１には、図１（イ）に示すよ
うに、その傾きを検出するために、レンズ部２の外周を
囲むようにして環状平面部３が設けられ、その対物レン
ズ１の傾き調整は例えば以下に説明する手順に従って行
われている。

【０００４】まず、図１（ロ）に示すように、ヘリウム
ネオンレーザー４からレーザー光Ｐを出射し、このレー
ザー光Ｐをビームスプリッタ５により偏向させて、光デ
ィスク８の情報記録面９にレーザー光Ｐを照射する。そ
のレーザー光Ｐの情報記録面９からの反射レーザー光Ｐ
´をオートコリメータのコリメートレンズ６により集光
し、そのコリメートレンズ６により集光された反射レー
ザー光Ｐ´を撮像カメラ７上に集光させて、撮像カメラ
７上での受光位置を検出する。

【０００５】次に、図１（ハ）に示すように、光ディス
ク８の代わりに対物レンズ１をセットする。そして、ヘ
リウム−ネオンレーザー４からのレーザー光Ｐを同様に
ビームスプリッタ５により偏向させて対物レンズ１の環
状平面部３に照射し、環状平面部３により反射されたレ
ーザー光Ｐ´をコリメートレンズ６により撮像カメラ７
に集光して、そのレーザー光Ｐ´の撮像カメラ７上での
位置を検出し、光ディスク８により反射されたレーザー
光Ｐ´の撮像カメラ７上の位置と対物レンズ１の環状平
面部３により反射されたレーザー光Ｐ´の撮像カメラ７
上の位置との差により、図１（ニ）に示すように、光デ
ィスク８の情報記録面９の法線Ｎに対する対物レンズ１
の光軸Ｏの傾き角θを検出している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、対物レンズ
１は傾き調整後、基準面に対する対物レンズの傾き判定
を行うために干渉計にセットされ、作業者が目視によっ
て画面に表示された干渉縞の観察を行い、その干渉縞の
曲がり具合いによって基準面に対する対物レンズ１の傾
き判定を行っている。このため、作業者の熟練度、個人
差によって基準面に対する対物レンズ１の傾き判定にバ
ラツキが生じるという不都合がある。また、作業者が目
視によって干渉縞の形状、本数を判断するため、その判
定に時間がかかるという問題がある。

【０００７】近時、光ディスクへの情報書き込みの高密
度化を図るため、開口数ＮＡの大きな対物レンズ１を用
いた光ピックアップの開発が望まれているが、開口数の
大きな対物レンズ１を用いることにするとコマ収差が大
きくなるためにその傾き角によるコマ収差への影響度が
増大し、そのため、対物レンズ１の情報記録面に対する
傾き角θを従来のものに較べて、より小さな範囲内に設
定しなければならず、対物レンズ１の傾き角θとして約
３´以内に対物レンズ１を傾き調整することが要求され
ている。

【０００８】ところが、対物レンズ１の傾き角θを小さ
くすればするほど、判定すべき干渉縞の曲がり具合いが
微妙なものとなり、益々目視による干渉縞の良・否判定
が難しくなり、対物レンズ１の傾き調整に時間がかかる
という問題が生じる。本発明は、上記の事情に鑑みて為
されたもので、その目的とするところは、干渉縞の目視
による観察を必要とせずに、対物レンズの傾き角調整を
高精度かつ迅速に行うことのできる対物レンズの傾き調
整装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の対物レ
ンズの傾き調整装置は、光ディスク装置のガイドレール
に沿って可動可能の光ピックアップに搭載された対物レ
ンズからの反射光点像を得ることにより該対物レンズの
傾き角を調整する傾き角調整用光学系と、前記対物レン
ズに干渉縞測定用光束を照射することにより干渉縞を観
測して基準面に対する前記対物レンズの傾きを判断する
干渉計とが前記光ピックアップの可動方向に隣接して設
けられ、前記光ピックアップを前記傾き角調整用光学系
の位置に移動させて前記対物レンズの傾き角をモニタし
つつ該対物レンズの傾きを調整した後、前記光ピックア
ップを前記干渉計の位置に移動させて干渉縞を観測し、
干渉縞が波面規格内にあるか否かを判断するようにして
いる。好ましくは、干渉計は光ディスク装置のスピンド
ル側に設けられている。

【００１０】

【発明の実施の形態】図２〜図４は本発明に係わる対物
レンズの傾き角調整装置のシステム図であって、その図
２〜図４において、１０は傾き角調整用光学系、１１は
干渉計、１２は画像処理装置、１３はモニター、１４は
光ディスク装置、１５は光ピックアップである。傾き角
調整用光学系１０は検出光出射系１６と検出光受光系１
７とから大略構成されている。

【００１１】検出光出射系１６は、図５（イ）に詳細に
示すように、光源としての半導体レーザー（ＬＤ）１８
とコリメートレンズ１９とから大略構成され、レーザー
光Ｐ１をビームスプリッタ２０に向けて出射する。ビー
ムスプリッタ２０は対物レンズ１の傾き検出用の検出光
としてのレーザー光Ｐ１を対物レンズ１に向けて略垂直
（対物レンズ１の光軸Ｏに対して略平行）に照射する役
割を果たす。コリメートレンズ１９は半導体レーザー
（ＬＤ）１８から出射された拡散レーザー光から対物レ
ンズ１の環状平面部３の直径よりも大きな直径の円形状
の平行レーザー光束Ｐ１を形成する役割を果たす。対物
レンズ１は、図５（ロ）に拡大して示すように、そのレ
ーザー光Ｐ１によってその全体が照明される。そのレー
ザー光Ｐ１はレンズ部２と環状平面部３との対物レンズ
１の全体によって反射される。

【００１２】検出光受光系１７は集光用光学部材として
のコリメートレンズ２１と撮像カメラ２２とを備えたオ
ートコリメータから構成され、対物レンズ１により反射
されたレーザー光Ｐ２を受光する役割を果たす。対物レ
ンズ１により反射されたレーザー光Ｐ２はコリメートレ
ンズ２１により撮像カメラ２２の撮像面２２ａに集光さ
れる。その撮像面２２ａには、図５（ハ）に示すよう
に、環状平面部３により反射されたレーザー光Ｐ２に基
づく反射光点像としてのスポットＳ１が形成される。対
物レンズ１の傾き調整時には、その撮像面２２ａにはス
ポットＳ１と同時に傾き調整治具の反射光点像としての
スポットＳ２が形成され、スポットＳ１の形状は十字形
状となるものであるが、その詳細は後述する。

【００１３】そのスポットＳ１は環状平面部３の全体に
よって反射されたレーザー光Ｐ２であるので、絞られた
反射光点像となる。そのスポットＳ１の大きさは、角度
に換算して１分〜２分程度であり、高ＮＡの対物レンズ
１の傾き角θを検出するのに充分な程度の大きさとな
る。環状平面部３の全体にレーザー光Ｐ１を照射した場
合に、スポットＳ１の大きさが従来に較べて小さくなる
理由を以下に述べる。

【００１４】図６（イ）に示すように、コリメートレン
ズ２１に入射する反射レーザー光Ｐ２が平行光束であ
り、その反射レーザー光Ｐ２のビーム径をωとする。こ
のビーム径ωは図６（ロ）に示すようにガウス分布とし
て表現されるビーム強度分布Ｇの中心のピーク強度値を
「１」として、光ビームの強度値が１／ｅ²になる箇所
での大きさとして定義される。次に、コリメートレンズ
２１の焦点面でのビームスポット（ビームウエスト）の
大きさをω₀とする。その焦点面でのビームスポットの
大きさω₀とコリメートレンズ２１に入射する反射レー
ザー光Ｐ２のビーム径ωとの間には、一般に、 ω₀ ²＝ω²／（１＋（πω²／λｆ）²） …（１） の関係がある。ここで、符号λはレーザー光Ｐ２の波長
であり、ｆはコリメートレンズ２１の焦点距離である。

【００１５】上記（１）式は（πω²／λｆ）²の項は１
よりもはるかに大きいので、下記の（２）式に近似的に
書き直すことができる。 ω₀＝ω／（πω²／λｆ）＝λｆ／πω …（２） ここで、コリメートレンズ２１に入射するレーザー光Ｐ
のビーム径ωが小さい場合をωｓ、コリメートレンズ２
１に入射するレーザー光Ｐのビーム径ωが大きい場合を
ωｂ、ビーム径がωｓのときに焦点面上に形成されるビ
ームスポットの大きさをω₀ｓ、ビーム径がωｂのとき
に焦点面上に形成されるビームスポットの大きさをω₀
ｂとすると、上記（２）式から、 ω₀ｓ＝λｆ／πωｓ …（３） ω₀ｂ＝λｆ／πωｂ …（４） 上記（３）、（４）式に基づき、λｆ／πを消去する
と、 ω₀ｂ／ω₀ｓ＝ωｓ／ωｂ …（５）

【００１６】そこで、例えば、ビーム径ωｓを０.５ｍ
ｍ、ビーム径ωｂを２.３ｍｍとすると、 ω₀ｂ／ω₀ｓ＝０．５／２．３＝１／４．６ …（６） 上記（６）式を変形すると、下記の（７）式が得られ
る。 ω₀ｂ＝ω₀ｓ／４．６ …（７） この（７）式は、ビーム径ωｂが２．３ｍｍのレーザー
光をコリメートレンズ２１に入射させた場合、ビーム径
ωｓが０.５ｍｍのレーザー光をコリメートレンズ２１
に入射させた場合のビームスポットの大きさω₀ｓに較
べて、ビームスポットの大きさω₀ｂが約１／５になる
ことを意味しており、一般的に、コリメートレンズ２１
に入射するビーム径を大きくすれば、焦点面上に形成さ
れるビームスポットの径が小さくなることを意味する。

【００１７】従って、対物レンズ１の直径に対して十分
大きなビーム径のレーザー光Ｐ１を対物レンズ１に照射
すれば、対物レンズ１の環状平面部３により反射されて
コリメートレンズ２１に入射するレーザー光Ｐ２のビー
ム径が大きくなり、その結果、焦点面上に形成されるビ
ームスポットＳ１の大きさが小さくなる。この他にも、
ビームスポットの径が小さくなる理由はあるが、これに
ついては、本発明と直接関連しないのでその詳細な説明
は省略する。

【００１８】光ピックアップ１５は、図２〜図４に示す
ように、光ディスク装置１４のガイドレール２３に可動
可能に支持されている。その図２〜図４において、符号
２４はガイドレール２３の支柱である。その光ディスク
装置１４にはスピンドル２５が設けられ、そのスピンド
ル２５の上部には光ディスク８（図１（ロ）参照）が取
り付けられるものであるが、ここでは、対物レンズ１の
傾き調整のためダミーディスクとしてのカバーガラス２
６が設けられている。その光ピックアップ１５はそのガ
イドレール２３に沿って、光ディスク装置１４の内周側
と外周側との間で往復動される。その光ディスク装置１
４の外周側には対物レンズの傾き調整光学系１０が設け
られ、その光ディスク装置１４の内周側（スピンドル２
５の配置側）には干渉計１１が傾き調整光学系１０に隣
接して設けられている。ここで、干渉計１１をスピンド
ル２５の側に設けることにしたのは、カバーガラス２６
の半径を小さくすることができ、傾き調整装置そのもの
の小型化を図るためである。この干渉計１１は、コリメ
ートレンズ２７とビームスプリッタ２８と、コーナキュ
ーブ２９、３０と、結像レンズ３１と、撮像カメラ３２
とからなる。その撮像カメラ３２の出力と撮像カメラ２
２の出力とは画像処理装置１２に入力されている。この
画像処理装置１２は、パーソナルコンピュータ３３、入
力手段としてのキーボード３４、マウス３５、モニタ１
３等を有する。

【００１９】光ディスク装置１４には、レーザー照射系
としての光源部３６が設けられている。この光源部３６
はレーザー光Ｐ３を発生し、このレーザー光Ｐ３は通常
情報書込・読取り用に用いられるが、対物レンズ１の傾
き角が規格内にあるか否かを検査するため、光ピックア
ップ１５が干渉計１１にセットされた際には、干渉縞測
定用レーザー光として用いられる。光ピックアップ１５
には、光源部３６から出射されたレーザー光Ｐ３を対物
レンズ１の他面側に向けて偏向する立ち上げミラー３７
と、対物レンズ１を搭載するレンズホルダー３８とから
大略構成される。そのレーザー光Ｐ３は平行光束として
対物レンズ１のレンズ部２に入射される。

【００２０】レンズホルダー３８には図７（イ）に拡大
して示すように円錐形状の受け面３８ａが形成されてい
る。対物レンズ１の環状平面部３がその受け面３８ａに
当接されて、対物レンズ１がレンズホルダー３８に支持
されている。この対物レンズ１の傾きを調整するには、
図２に示すように、光ピックアップ１５を傾き調整光学
系１０の真下に移動させ、傾き調整治具３９を用いて対
物レンズ１の傾き調整を行う。その傾き調整治具３９は
図７（イ）、（ロ）に拡大して示すように、爪３９ａを
有し、この爪３９ａを環状平面部３に当て、環状平面部
３に加わる各爪３９ａの押圧力を加減することにより、
対物レンズ１の傾きが調整される。レーザー光Ｐ１を照
射すると、レーザー光Ｐ１は環状平面部３により反射さ
れて反射レーザー光Ｐ２となり、ビームスプリッタ２０
を透過してコリメートレンズ２１に導かれ、このコリメ
ートレンズ２１により集光され、既に述べたように、図
５（ハ）に示すスポットＳ１が撮像面２２ａに形成され
る。その撮像カメラ２２の出力はモニタ１３に拡大映像
として出力され、画面１３ａにスポットＳ１が図２に示
すように表示される。

【００２１】その傾き調整治具３９により、スポットＳ
１の位置を見つつ対物レンズ１の傾き（傾きの方向及び
傾きの量）を調整を行うものであるが、環状調整治具３
９を用いて対物レンズ１を傾けたとしても、環状調整治
具３９を傾ける方向と対物レンズ１が実際に傾く方向と
は必ずしも一致しない。また、環状調整治具３９の傾き
量と対物レンズ１の傾き量とも必ずしも一致しない。従
って、スポットＳ１を所望の方向に所定量移動させたい
場合に、スポットＳ１のみを見つつ対物レンズ１の傾き
調整を行うことにすると、スポットＳ１が必ずしも環状
調整治具３９を傾けた方向と同じ方向に移動するとは限
らないから、調整作業を迅速に行うことが難しい。でき
れば、環状調整治具３９をどの方向にどれだけ傾けた
ら、対物レンズ１がどの方向にどれだけ傾くかを認識で
きるようにすることが迅速に調整作業を行う上で望まし
い。

【００２２】そこで、この発明の実施の形態では、環状
調整治具３９の傾き方向及び傾き量を認識できるように
している。すなわち、環状調整治具３９の傾き方向及び
傾き量も認識できるようにするため、環状調整治具３９
の上面を鏡面３９ｂとし、平行レーザー光Ｐ１のビーム
径を鏡面３９ｂに照射される大きさとして、この鏡面３
９ｂにより平行レーザー光Ｐ１の一部を反射させ、この
鏡面３９ｂにより反射されたレーザー光Ｐ２に基づくス
ポットＳ２が撮像面２２ａにスポットＳ１と共に形成さ
れるようにしている。このスポットＳ２は、環状調整治
具３９を傾けると、その環状調整治具３９の傾き方向及
び傾き量に一対一に対応して撮像面２２ａ上を移動す
る。

【００２３】このようにすれば、スポットＳ２の画面１
３ａ上での動きの方向、動きの量とスポットＳ１の画面
１３ａ上での動きの方向、動きの量との関係を認識で
き、スポットＳ１を所望の方向に所望の量だけ動かした
い場合、環状調整治具３９の調整に基づくスポットＳ２
の移動方向に対してスポットＳ１がどの方向に移動する
かを見つつ、環状調整治具３９の傾き方向を調整し、こ
れによりスポットＳ１を所望の方向に所望の量だけ迅速
に移動させることができる。すなわち、対物レンズ１の
傾き調整を迅速に行うことができる。

【００２４】なお、環状平面部３に達する平行レーザー
光Ｐ１の一部は、環状調整治具３９の端縁３９ｃ〜３９
ｆにより回折され、この回折による散乱効果が発生する
ため、端縁３９ｃと３９ｅを結ぶ線分Ｌ１と直交する方
向の散乱成分の光と端縁３９ｄと３９ｆを結ぶ線分Ｌ２
と直交する方向の散乱成分の光とが撮像面２２ａに達す
るため、環状平面部３により反射された平行レーザー光
Ｐ２に基づくスポットＳ１が図５（ハ）に示すように、
十字形状に歪むことになるが、そのスポットＳ１の大き
さは角度にして約３分程度であり、スポットＳ１の中心
を決定するのに支障はないので、高ＮＡの対物レンズ１
の傾き角θを検出するのに充分な程度の大きさである。

【００２５】光ピックアップ１５は、対物レンズ１の傾
き調整後、図３に示すように、干渉計１１の真下に移動
される。図４に示すように、光源部３６は干渉計１１の
真下にセットされると共にオンされ、レーザー光Ｐ３が
出射される。レーザー光Ｐ３は立ち上げミラー３７によ
って対物レンズ１に向けて偏向される。そのレーザー光
Ｐ３は対物レンズ１により収束されてカバーガラス２６
に導かれる。カバーガラス２６は光ディスク８をエミュ
レートする役割を果たす。そのカバーガラス２６を透過
したレーザー光Ｐ３はコリメートレンズ２７により集光
され、光路Ｘを通ってビームスプリッタ２８に導かれ
る。そのビームスプリッタ２８に導かれたレーザー光Ｐ
３はコーナーキューブ２９に向かう光路Ｘ１とコーナー
キューブ３０に向かう光路Ｘ２とに分割される。コーナ
ーキューブ２９に向かう光路Ｘ１とコーナーキューブ３
０に向かう光路Ｘ２とに分割されたレーザー光Ｐ３は光
路Ｘ３で合成され、結像レンズ３１により撮像カメラ３
２に結像され、撮像カメラ３２により受光される。その
撮像カメラ３２の受光出力はモニター１３に向けて出力
され、対物レンズ１がカバーガラス２６に対して傾いて
いると干渉縞が発生し、図４に示すように、画面１３ａ
上にこの干渉縞Ｋが表示される。その干渉縞Ｋの本数は
対物レンズ１の傾き角に依存し、干渉縞Ｋの形状は対物
レンズ１の傾きの方向に依存する。

【００２６】この観測により得られた干渉縞Ｋが波面規
格内にないときには、再び光ピックアップ１５を傾き検
出用光学系１０の真下に移動させて、対物レンズ１の傾
きを調整し、その傾き調整後、干渉計１１の真下に移動
させて再度干渉縞Ｋの観測を行う。干渉縞が波面規格内
になるまで、この調整及び観測が繰り返し行われ、干渉
縞が波面規格内にあると判断されたときには、対物レン
ズ１をレンズホルダー３８に接着により固定し、傾き調
整作業を終了するものであり、その詳細を以下に説明す
る。

【００２７】画像処理装置１２はその干渉縞Ｋの干渉出
力信号をデジタル信号に変換し、これにより、干渉縞Ｋ
のデジタルデータが得られる。その画像処理装置１２に
は干渉縞の波面規格値がデジタルデータとして予め保存
されている。画像処理装置１２は観測により得られた干
渉縞Ｋのデジタルデータと波面規格値のデジタルデータ
とを比較し、観測により得られた干渉縞が波面規格に合
致しているか否かを判定する。

【００２８】まず、図３に示すように、対物レンズ１を
搭載した光ピックアップ１５を干渉計１１にセットし
て、図４に示すようにレーザー光Ｐ３を照射して波面検
査を行う（図８のＳ．１参照）。次に、画像処理装置１
２は観測された干渉縞Ｋが波面規格に合致しているか否
かを判定する（Ｓ．２）。すなわち、観測された干渉縞
Ｋから傾き量のデータと傾き方向のデータとを抽出して
ベクトルデータを生成し、干渉縞Ｋの基準波面データに
対するずれ量とずれ方向とが波面規格範囲内に入ってい
るか否かを判定する。観測された干渉縞が波面規格に合
致しているときには、対物レンズ１の傾き角調整を行わ
ずにそのまま処理を終了し、合致していないときには、
光ピックアップ１５を傾き角調整用光学系１０に向けて
移動させてこれにセットし、対物レンズ１の傾き角調整
を開始する（Ｓ．３）。

【００２９】その対物レンズ１を傾き角調整用光学系１
０にセットすると、図９（イ）に示すように、画面１３
ａにスポットＳ１とスポットＳ２とが表示される（Ｓ．
４）。次に、入力手段としてのキーボド３４又はマウス
３５を操作して、図９（ロ）に示すように画面１３ａに
表示されているカーソル４０をスポットＳ１に合致させ
てから位置を確定する。すると、スポットＳ１の画面上
の位置が記憶される（Ｓ．５）。画像処理装置１２は、
対物レンズ１の傾き姿勢の許容範囲を意味する画面上目
標箇所Ｍを、波面規格と観測された干渉縞のデータとに
基づき反射光点像Ｓ１の画面上位置に対する二次元方向
ずれ量として演算して、図９（ハ）に示すように画面１
３ａに画面上目標箇所Ｍを表示する（Ｓ．６）。作業者
は、この画面上目標箇所Ｍに向けてスポットＳ１が移動
するようにスポットＳ２を見ながら対物レンズ１の傾き
を調整し（Ｓ．７）、図９（ニ）に示すように、画面上
目標箇所ＭにスポットＳ１を合わせる。

【００３０】そして、環状調整治具３９を対物レンズ１
から離間させて、再び、光ピックアップ１５を干渉計１
１にセットして、干渉縞Ｋの波面検査を行い（Ｓ．
８）、画像処理装置１２は観測された干渉縞が波面規格
に合致しているか否かを判定する（Ｓ．９）。環状調整
治具３９の爪３９ａによる押圧力を解除すると、対物レ
ンズ１の傾きが若干ずれることがあるからである。干渉
縞Ｋが波面規格外のときには、干渉縞Ｋのデータを更新
して再びＳ．３ないしＳ．９の処理を繰り返し、波面規
格内にあるときには、対物レンズ１を接着剤によりレン
ズホルダー３８に固定して処理を終了する。なお、図９
において、符号Ｌｘ、Ｌｙは図示を略す調整機構の縦・
横座標を示す十字線であり、符号Ｌ０はその調整機構の
座標原点を示している。

【００３１】本発明の傾き調整装置は、光ディスク装置
１４のガイドレール２３を利用することにより、光ピッ
クアップ１５を移動させて、対物レンズ１の傾き調整を
行っているので、対物レンズ１の傾き調整用光学系１０
と干渉計１１とを一体にＸＹテーブルに支持させ、光ピ
ックアップ１５に対して傾き調整装置全体をＸＹテーブ
ルで移動させる従来の傾き調整装置に較べて、対物レン
ズの傾き調整装置の小型化を図ることができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明に係わる対物レンズの傾き角調整
装置によれば、干渉縞の目視による観察を必要とせず
に、対物レンズの傾き角の調整を高精度かつ迅速に行う
ことができるという効果を奏する。また、本発明に係わ
る対物レンズの傾き調整装置によれば、対物レンズの傾
き角調整装置の小型化を図ることができるという効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 対物レンズの傾き角調整用光学系としてオー
トコリメータを用いて対物レンズの傾き角度の検出を説
明するための説明図であって、（イ）はその対物レンズ
の形状を示す平面図、（ロ）は光ディスクの情報記録面
に検出光を照射した状態を示す傾き角調整用光学系の説
明図、（ハ）は対物レンズの環状平面部に検出光を照射
した状態を示す傾き角調整用光学系の説明図、（二）は
光ディスクの情報記録面に対する対物レンズの傾き角度
の説明図である。

【図２】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置の
システム図であって、対物レンズを傾き調整用光学系の
真下にセットして傾き調整を行っている状態を示す図で
ある。

【図３】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置の
システム図であって、対物レンズを干渉計の真下にセッ
トして干渉縞の観測を行う直前の状態を示す図である。

【図４】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置の
システム図であって、対物レンズを干渉計の真下にセッ
トして干渉縞の観測を行っている状態を示す図である。

【図５】 本発明の対物レンズの傾き調整用光学系を用
いて対物レンズの傾き角度の検出を説明するための説明
図であって、（イ）は図２〜図４に示す対物レンズの傾
き調整用光学系の詳細光学図、（ロ）は検出光により対
物レンズが略垂直に照明されている状態を説明するため
の拡大図、（ハ）はその対物レンズにより反射された検
出光に基づき撮像面に形成されたスポットの説明図であ
る。

【図６】 対物レンズの環状平面部の全体にレーザー光
を照射した場合に形成されるビームスポットが小さくな
る理由を説明するための説明図であって、（イ）はその
理由を説明するための光学模式図、（ロ）は環状平面部
により反射された平行レーザー光の強度分布を示すグラ
フである。

【図７】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整の説明
図で、（イ）は傾き調整用の環状調整治具によりレンズ
ホルダーに保持された対物レンズの傾き調整を説明する
ための側面図、（ロ）は（イ）に示す環状調整治具を上
面から目視した平面図である。

【図８】 本発明に係わる対物レンズの傾き調整装置を
用いて対物レンズの傾き調整手順を説明するためのフロ
ー図である。

【図９】 図２に示すモニターの画面に表示されたスポ
ットの説明図であって、（イ）はスポットが画面に表示
された状態を示し、（ロ）はそのスポットの画面上の位
置をカーソルにより指定した状態を示す図、（ハ）はそ
の画面上に傾き角目標位置を表示した状態を示す図、
（ニ）はその傾き角目標位置にスポットを誘導した状態
を示す図である。

【符号の説明】

１…対物レンズ ２…レンズ部 ３…環状平面部 １０…傾き角調整用光学系 １１…干渉計 １２…画像処理装置（演算手段） １３…モニター Ｓ１…スポット（反射光点像） Ｍ…画面上目標箇所 Ｓ２…スポット（反射光点像）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/08 - 7/22

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスク装置のガイドレールに沿って
   可動可能の光ピックアップに搭載された対物レンズから
   の反射光点像を得ることにより該対物レンズの傾き角を
   調整する傾き角調整用光学系と、前記対物レンズに干渉
   縞測定用光束を照射することにより干渉縞を観測して基
   準面に対する前記対物レンズの傾きを判断する干渉計と
   が前記光ピックアップの可動方向に隣接して設けられ、
   前記光ピックアップを前記傾き角調整用光学系の位置に
   移動させて前記対物レンズの傾き角をモニタしつつ該対
   物レンズの傾きを調整した後、前記光ピックアップを前
   記干渉計の位置に移動させて干渉縞を観測し、干渉縞が
   波面規格内にあるか否かを判断するようにした対物レン
   ズの傾き調整装置。
2. 【請求項２】 前記干渉計が光ディスク装置のスピンド
   ル側に設けられている請求項１に記載の対物レンズの傾
   き調整装置。