JP2000321165A - 光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法 - Google Patents
光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法Info
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- JP2000321165A JP2000321165A JP11131943A JP13194399A JP2000321165A JP 2000321165 A JP2000321165 A JP 2000321165A JP 11131943 A JP11131943 A JP 11131943A JP 13194399 A JP13194399 A JP 13194399A JP 2000321165 A JP2000321165 A JP 2000321165A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 省スペースで容易に高精度のコリメートレン
ズの調整ができる。 【解決手段】 コリメートレンズ３を挟むようにミラー
ブロック１６を検査装置に設置し、ＬＤＨＵ型治具１７
を支持台９に取り付けて規正チャック１０によってチャ
ッキングする。次に、基準レーザ１１を発光する。レー
ザ光はハーフミラー１２、光学手段１４を通過してハー
フミラー１５によって反射され、ミラーブロック１６に
よってコリメートレンズ３を避けるように導かれてＬＤ
ＨＵ型治具１７に照射される。ＬＤＨＵ型治具１７から
の反射光は逆の経路を通って基準レーザ１１に戻る。次
に、基準レーザ１１と反射光との光路が一致するように
ハーフミラー１２，１５を調整する。さらに、ミラーブ
ロック１６を取り外してハーフミラー１５からのレーザ
光を直接コリメートレンズ３に入射させて、基準レーザ
１１と反射光との光路が一致するようにコリメートレン
ズ３を調整する。
ズの調整ができる。 【解決手段】 コリメートレンズ３を挟むようにミラー
ブロック１６を検査装置に設置し、ＬＤＨＵ型治具１７
を支持台９に取り付けて規正チャック１０によってチャ
ッキングする。次に、基準レーザ１１を発光する。レー
ザ光はハーフミラー１２、光学手段１４を通過してハー
フミラー１５によって反射され、ミラーブロック１６に
よってコリメートレンズ３を避けるように導かれてＬＤ
ＨＵ型治具１７に照射される。ＬＤＨＵ型治具１７から
の反射光は逆の経路を通って基準レーザ１１に戻る。次
に、基準レーザ１１と反射光との光路が一致するように
ハーフミラー１２，１５を調整する。さらに、ミラーブ
ロック１６を取り外してハーフミラー１５からのレーザ
光を直接コリメートレンズ３に入射させて、基準レーザ
１１と反射光との光路が一致するようにコリメートレン
ズ３を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＤＨＵ（laser
diode hologram unit）の検査装置における光軸を調整
するための光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光
検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の
精度確認方法に関する。
diode hologram unit）の検査装置における光軸を調整
するための光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光
検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の
精度確認方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、装置の小型化とコストダウンを目
的に、レーザダイオード・フォトダイオード・ホログラ
ム素子・電流電圧変換回路を一体化したＬＤＨＵが開発
され、光ピックアップの構造の簡素化に貢献している。
的に、レーザダイオード・フォトダイオード・ホログラ
ム素子・電流電圧変換回路を一体化したＬＤＨＵが開発
され、光ピックアップの構造の簡素化に貢献している。
【０００３】図８は一般的な光ディスクシステムの構成
を示す説明図、図９はＬＤＨＵの概略構成を示す説明図
であり、１は光検出ユニットであるＬＤＨＵ、２は光デ
ィスク、３はコリメートレンズ、４は対物レンズ、５は
レーザダイオード、６はフォトダイオード、７は電流／
電圧変換回路、８はホログラムを示す。
を示す説明図、図９はＬＤＨＵの概略構成を示す説明図
であり、１は光検出ユニットであるＬＤＨＵ、２は光デ
ィスク、３はコリメートレンズ、４は対物レンズ、５は
レーザダイオード、６はフォトダイオード、７は電流／
電圧変換回路、８はホログラムを示す。
【０００４】ＬＤＨＵ１のレーザダイオード５から出射
されたレーザ光はコリメートレンズ３によって平行光に
変換され、さらに対物レンズ４によって集束されて光デ
ィスク２に照射される。この光ディスク２からの反射光
は対物レンズ４、コリメートレンズ３を介してＬＤＨＵ
１のホログラム８に入射される。この時ホログラム８に
よって反射光の光路が変更されてフォトダイオード６に
入射するようになる。そして、反射光はフォトダイオー
ド６によって光電変換され、電流／電圧変換回路７を介
して出力される。
されたレーザ光はコリメートレンズ３によって平行光に
変換され、さらに対物レンズ４によって集束されて光デ
ィスク２に照射される。この光ディスク２からの反射光
は対物レンズ４、コリメートレンズ３を介してＬＤＨＵ
１のホログラム８に入射される。この時ホログラム８に
よって反射光の光路が変更されてフォトダイオード６に
入射するようになる。そして、反射光はフォトダイオー
ド６によって光電変換され、電流／電圧変換回路７を介
して出力される。
【０００５】図１０はＬＤＨＵの検査装置の概略構成を
示す説明図であり、９はＬＤＨＵ１の上面外周部が当接
してホログラム８の位置を安定させる基準面を有する支
持台、１０は支持台９にセットされたＬＤＨＵ１を挟む
ように保持する規正チャックを示す。
示す説明図であり、９はＬＤＨＵ１の上面外周部が当接
してホログラム８の位置を安定させる基準面を有する支
持台、１０は支持台９にセットされたＬＤＨＵ１を挟む
ように保持する規正チャックを示す。
【０００６】そして、ＬＤＨＵ１を支持台９にセットし
て規正チャック１０によって固定した状態で、ＬＤＨＵ
１を発光させ、光ディスク２からの反射光を受光する。
この時のＬＤＨＵ１の出力レベルやデータの再現性等を
基にＬＤＨＵ１の可否が判断される。
て規正チャック１０によって固定した状態で、ＬＤＨＵ
１を発光させ、光ディスク２からの反射光を受光する。
この時のＬＤＨＵ１の出力レベルやデータの再現性等を
基にＬＤＨＵ１の可否が判断される。
【０００７】ところで、ＬＤＨＵの検査装置においては
コリメートレンズ３の位置の正確さが求められる。従
来、コリメートレンズ３の取り付けは３次元測定器など
の機械的計測によりメカ精度で設置する手法、または、
何らかの方法で基準面からレーザ光をコリメートレンズ
３に出射し、レーザ光の平行度合いを確認しながら設置
している。さらに多用される方法としては実際の使用状
態に近い電気信号をモニタしその計測値から設置する手
法がとられてきた。
コリメートレンズ３の位置の正確さが求められる。従
来、コリメートレンズ３の取り付けは３次元測定器など
の機械的計測によりメカ精度で設置する手法、または、
何らかの方法で基準面からレーザ光をコリメートレンズ
３に出射し、レーザ光の平行度合いを確認しながら設置
している。さらに多用される方法としては実際の使用状
態に近い電気信号をモニタしその計測値から設置する手
法がとられてきた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の調整方法においては、調整環境構築が大掛かりで、
かつ作業者の熟練度が要求される中で高精度の調整を確
保するという問題点を有していた。また、電気信号の計
測による設置では、検査と同様の観点になるため信頼性
が低下するという問題点を有する。
来の調整方法においては、調整環境構築が大掛かりで、
かつ作業者の熟練度が要求される中で高精度の調整を確
保するという問題点を有していた。また、電気信号の計
測による設置では、検査と同様の観点になるため信頼性
が低下するという問題点を有する。
【０００９】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、省スペースで容易に高精度のコリメートレンズの調
整ができる優れた光軸調整装置および光軸調整方法なら
びに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査
装置の精度確認方法を提供することを目的とする。
で、省スペースで容易に高精度のコリメートレンズの調
整ができる優れた光軸調整装置および光軸調整方法なら
びに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査
装置の精度確認方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の光軸調整装置は、基準レーザを発光する基準
レーザ発光手段と、光ピックアップ用のレーザ発光手段
および光記録媒体からの反射光を受光する受光手段とを
有する光検出ユニットを支持する検査用支持治具に装着
可能に構成され、レーザ光を反射させるミラー面を有す
る調整治具と、前記基準レーザ発光手段からの基準レー
ザを前記調整治具のミラー面に導く光学手段と、この光
学手段と前記ミラー面との間に前記コリメートレンズを
配置するコリメートレンズ支持手段と、前記光学手段と
前記ミラー面との間に、前記光学手段を通過した基準レ
ーザの光路を変更させて前記コリメートレンズを避ける
ように前記ミラー面に導く第１光路または前記光学手段
を通過した基準レーザをコリメートレンズに入光させて
前記ミラー面に導く第２光路に設定する光路設定手段
と、前記ミラー面からの反射光を検出して基準レーザ光
路と反射光光路とのずれを検出する検出手段とを備え、
前記光路設定手段を第１光路に設定して、前記検出手段
の測定結果を基に前記光学手段を調整して基準レーザ光
路と反射光光路とを一致させ、さらに前記光路設定手段
を第２光路に設定して、前記コリメートレンズに基準レ
ーザを通過させて前記検出手段の検出結果を基に基準レ
ーザ光路と反射光光路とが一致するように、前記コリメ
ートレンズの位置を調整可能に前記コリメートレンズ支
持手段を構成したことを特徴とする。このように構成し
たことにより、光路設定手段を第１光路に設定すること
でコリメートレンズをコリメートレンズ支持手段に載置
した状態で基準光軸の調整を行うことができ、さらに光
路設定手段を第２光路に設定することで基準光軸の調整
を行った状態でコリメートレンズの光軸を調整すること
ができる。
の本発明の光軸調整装置は、基準レーザを発光する基準
レーザ発光手段と、光ピックアップ用のレーザ発光手段
および光記録媒体からの反射光を受光する受光手段とを
有する光検出ユニットを支持する検査用支持治具に装着
可能に構成され、レーザ光を反射させるミラー面を有す
る調整治具と、前記基準レーザ発光手段からの基準レー
ザを前記調整治具のミラー面に導く光学手段と、この光
学手段と前記ミラー面との間に前記コリメートレンズを
配置するコリメートレンズ支持手段と、前記光学手段と
前記ミラー面との間に、前記光学手段を通過した基準レ
ーザの光路を変更させて前記コリメートレンズを避ける
ように前記ミラー面に導く第１光路または前記光学手段
を通過した基準レーザをコリメートレンズに入光させて
前記ミラー面に導く第２光路に設定する光路設定手段
と、前記ミラー面からの反射光を検出して基準レーザ光
路と反射光光路とのずれを検出する検出手段とを備え、
前記光路設定手段を第１光路に設定して、前記検出手段
の測定結果を基に前記光学手段を調整して基準レーザ光
路と反射光光路とを一致させ、さらに前記光路設定手段
を第２光路に設定して、前記コリメートレンズに基準レ
ーザを通過させて前記検出手段の検出結果を基に基準レ
ーザ光路と反射光光路とが一致するように、前記コリメ
ートレンズの位置を調整可能に前記コリメートレンズ支
持手段を構成したことを特徴とする。このように構成し
たことにより、光路設定手段を第１光路に設定すること
でコリメートレンズをコリメートレンズ支持手段に載置
した状態で基準光軸の調整を行うことができ、さらに光
路設定手段を第２光路に設定することで基準光軸の調整
を行った状態でコリメートレンズの光軸を調整すること
ができる。
【００１１】本発明の光軸調整装置は、前記光路設定手
段を、複数の光路変更手段を有し、かつレーザダイオー
ド検査装置本体に着脱可能なユニット体として構成し、
さらに第１光路に設定する場合に前記ユニット体を取り
付けて、レーザ光を複数の光路変更手段によって前記コ
リメートレンズを避けるように光路を変更させ、第２光
路に設定する場合に前記ユニット体を取り外して、レー
ザ光を前記コリメートレンズに入射させるように構成し
たことを特徴とする。このように構成したことにより、
ユニット体を装着することでコリメートレンズを避ける
ようにレーザ光の光路を変更することができ、ユニット
体を取り外すことによりレーザ光をコリメートレンズに
入射させることができる。
段を、複数の光路変更手段を有し、かつレーザダイオー
ド検査装置本体に着脱可能なユニット体として構成し、
さらに第１光路に設定する場合に前記ユニット体を取り
付けて、レーザ光を複数の光路変更手段によって前記コ
リメートレンズを避けるように光路を変更させ、第２光
路に設定する場合に前記ユニット体を取り外して、レー
ザ光を前記コリメートレンズに入射させるように構成し
たことを特徴とする。このように構成したことにより、
ユニット体を装着することでコリメートレンズを避ける
ようにレーザ光の光路を変更することができ、ユニット
体を取り外すことによりレーザ光をコリメートレンズに
入射させることができる。
【００１２】本発明の光軸調整装置は、前記光路設定手
段を、前記光学手段と前記コリメートレンズとの間に配
置され、レーザ光の一部の光路を変更する第１分離光路
変更手段と、前記コリメートレンズと前記調整治具との
間に配置され、レーザ光を通過または光路変更して前記
調整治具にレーザ光を導く第２分離光路変更手段と、前
記第１分離光路変更手段によって光路変更されたレーザ
光を前記第２分離光路変更手段に導く複数の光路変更手
段と、前記第１分離光路変更手段と前記光路変更手段と
の間の光路または前記第１分離光路変更手段と前記コリ
メートレンズとの間の光路を遮蔽する遮蔽手段とから構
成し、第１光路に設定する場合に第１分離光路変更手段
と前記コリメートレンズとの間の光路を前記遮蔽手段に
よって遮蔽し、レーザ光の光路を前記複数の光路変更手
段によって前記コリメートレンズを避けるように光路を
変更させ、第２光路に設定する場合に前記第１分離光路
変更手段と前記光路変更手段との間の光路を前記遮蔽手
段によって遮蔽し、レーザ光が前記第１分離光路変更手
段、前記コリメートレンズおよび前記第２分離光路変更
手段を通過するように構成したことを特徴とする。この
ように構成したことにより、遮蔽手段を操作することに
よってコリメートレンズを避けるようにレーザ光の光路
を変更するか、またはレーザ光をコリメートレンズに入
射させるかを選択的に設定することができる。
段を、前記光学手段と前記コリメートレンズとの間に配
置され、レーザ光の一部の光路を変更する第１分離光路
変更手段と、前記コリメートレンズと前記調整治具との
間に配置され、レーザ光を通過または光路変更して前記
調整治具にレーザ光を導く第２分離光路変更手段と、前
記第１分離光路変更手段によって光路変更されたレーザ
光を前記第２分離光路変更手段に導く複数の光路変更手
段と、前記第１分離光路変更手段と前記光路変更手段と
の間の光路または前記第１分離光路変更手段と前記コリ
メートレンズとの間の光路を遮蔽する遮蔽手段とから構
成し、第１光路に設定する場合に第１分離光路変更手段
と前記コリメートレンズとの間の光路を前記遮蔽手段に
よって遮蔽し、レーザ光の光路を前記複数の光路変更手
段によって前記コリメートレンズを避けるように光路を
変更させ、第２光路に設定する場合に前記第１分離光路
変更手段と前記光路変更手段との間の光路を前記遮蔽手
段によって遮蔽し、レーザ光が前記第１分離光路変更手
段、前記コリメートレンズおよび前記第２分離光路変更
手段を通過するように構成したことを特徴とする。この
ように構成したことにより、遮蔽手段を操作することに
よってコリメートレンズを避けるようにレーザ光の光路
を変更するか、またはレーザ光をコリメートレンズに入
射させるかを選択的に設定することができる。
【００１３】本発明の光軸調整装置は、前記調整治具
が、検査対象となる光検出ユニットの受光面に反射膜を
形成したものであることを特徴とする。このように構成
したことにより、調整治具を容易に作成することができ
る。
が、検査対象となる光検出ユニットの受光面に反射膜を
形成したものであることを特徴とする。このように構成
したことにより、調整治具を容易に作成することができ
る。
【００１４】本発明の光軸調整装置は、前記コリメート
レンズ支持手段が、前記コリメートレンズを載置する受
け部と、この受け部をレーザ光の光軸に対して垂直方向
に前後または左右に移動させる調整部とを有することを
特徴とする。このように構成したことにより、コリメー
トレンズ支持手段の操作によってコリメートレンズの光
軸を調整することができる。
レンズ支持手段が、前記コリメートレンズを載置する受
け部と、この受け部をレーザ光の光軸に対して垂直方向
に前後または左右に移動させる調整部とを有することを
特徴とする。このように構成したことにより、コリメー
トレンズ支持手段の操作によってコリメートレンズの光
軸を調整することができる。
【００１５】本発明の光検出ユニット検査装置は、前述
した光軸調整装置を具備し、検査用支持治具に装着され
た光検出ユニットから出射されてコリメートレンズを通
過したレーザ光を集光する対物レンズと、この対物レン
ズを通過したレーザ光を反射させる光記録媒体とを有す
ることを特徴とする。このように構成したことにより、
光検出ユニット検査装置に、基準光軸および基準光軸に
合うようにコリメートレンズの光軸とを調整する機能を
持たせることができる。
した光軸調整装置を具備し、検査用支持治具に装着され
た光検出ユニットから出射されてコリメートレンズを通
過したレーザ光を集光する対物レンズと、この対物レン
ズを通過したレーザ光を反射させる光記録媒体とを有す
ることを特徴とする。このように構成したことにより、
光検出ユニット検査装置に、基準光軸および基準光軸に
合うようにコリメートレンズの光軸とを調整する機能を
持たせることができる。
【００１６】本発明の光軸調整方法は、基準レーザを発
光する基準レーザ発光手段と、光ピックアップ用のレー
ザ発光手段および光記録媒体からの反射光を受光する受
光手段とを有する光検出ユニットを支持する検査用支持
治具に装着可能に構成され、レーザ光を反射させるミラ
ー面を有する調整治具と、前記基準レーザ発光手段から
の基準レーザを前記調整治具のミラー面に導く光学手段
と、この光学手段と前記ミラー面との間に前記コリメー
トレンズを配置するコリメートレンズ支持手段と、前記
光学手段と前記ミラー面との間に、前記光学手段を通過
した基準レーザの光路を変更させて前記コリメートレン
ズを避けるように前記ミラー面に導く第１光路または前
記光学手段を通過した基準レーザをコリメートレンズに
入光させて前記ミラー面に導く第２光路に設定する光路
設定手段と、前記ミラー面からの反射光を検出して基準
レーザ光路と反射光光路とのずれを検出する検出手段と
を備えた光軸調整装置による光軸調整方法であって、前
記コリメートレンズを前記コリメートレンズ支持手段に
載置し、前記光路設定手段を第１光路に設定して、前記
検出手段の測定結果を基に前記光学手段を調整して基準
レーザ光路と反射光光路とを一致させて基準光軸を設定
し、さらに前記光路設定手段を第２光路に設定して、前
記コリメートレンズに基準レーザを通過させて前記検出
手段の検出結果を基に基準レーザ光路と反射光光路とが
一致するように前記コリメートレンズ支持治具を調整し
て、前記コリメートレンズの光軸を設定することを特徴
とする。このように構成したことにより、ユニット体を
装着することでコリメートレンズを避けるようにレーザ
光の光路を変更することができ、ユニット体を取り外す
ことによりレーザ光をコリメートレンズに入射させるこ
とができる。
光する基準レーザ発光手段と、光ピックアップ用のレー
ザ発光手段および光記録媒体からの反射光を受光する受
光手段とを有する光検出ユニットを支持する検査用支持
治具に装着可能に構成され、レーザ光を反射させるミラ
ー面を有する調整治具と、前記基準レーザ発光手段から
の基準レーザを前記調整治具のミラー面に導く光学手段
と、この光学手段と前記ミラー面との間に前記コリメー
トレンズを配置するコリメートレンズ支持手段と、前記
光学手段と前記ミラー面との間に、前記光学手段を通過
した基準レーザの光路を変更させて前記コリメートレン
ズを避けるように前記ミラー面に導く第１光路または前
記光学手段を通過した基準レーザをコリメートレンズに
入光させて前記ミラー面に導く第２光路に設定する光路
設定手段と、前記ミラー面からの反射光を検出して基準
レーザ光路と反射光光路とのずれを検出する検出手段と
を備えた光軸調整装置による光軸調整方法であって、前
記コリメートレンズを前記コリメートレンズ支持手段に
載置し、前記光路設定手段を第１光路に設定して、前記
検出手段の測定結果を基に前記光学手段を調整して基準
レーザ光路と反射光光路とを一致させて基準光軸を設定
し、さらに前記光路設定手段を第２光路に設定して、前
記コリメートレンズに基準レーザを通過させて前記検出
手段の検出結果を基に基準レーザ光路と反射光光路とが
一致するように前記コリメートレンズ支持治具を調整し
て、前記コリメートレンズの光軸を設定することを特徴
とする。このように構成したことにより、ユニット体を
装着することでコリメートレンズを避けるようにレーザ
光の光路を変更することができ、ユニット体を取り外す
ことによりレーザ光をコリメートレンズに入射させるこ
とができる。
【００１７】本発明の光検出ユニット検査装置の精度確
認方法は、前述の光軸調整方法における検出手段によっ
て検出される基準レーザ光路と反射光光路とのずれ量を
検出し、検査用支持治具に対する調整治具の着脱を複数
回行って前記基準レーザ発光手段から前記調整治具まで
の光路長を基に前記調整治具の傾きを着脱毎に算出して
前記検査用支持治具の支持精度を求めることを特徴とす
る。このように構成したことにより、基準レーザ発光手
段から調整治具までの光路長は予め設定することが可能
であるため、基準レーザ光路と反射光光路とのずれ量を
検出することにより、基準レーザ光路に対する反射光光
路とのずれ角を算出することができ、このずれ角は調整
治具の傾きに相当するため、光軸調整装置を使用して光
検出ユニット検査装置の検査用支持治具の支持精度を定
量的に検知することができる。
認方法は、前述の光軸調整方法における検出手段によっ
て検出される基準レーザ光路と反射光光路とのずれ量を
検出し、検査用支持治具に対する調整治具の着脱を複数
回行って前記基準レーザ発光手段から前記調整治具まで
の光路長を基に前記調整治具の傾きを着脱毎に算出して
前記検査用支持治具の支持精度を求めることを特徴とす
る。このように構成したことにより、基準レーザ発光手
段から調整治具までの光路長は予め設定することが可能
であるため、基準レーザ光路と反射光光路とのずれ量を
検出することにより、基準レーザ光路に対する反射光光
路とのずれ角を算出することができ、このずれ角は調整
治具の傾きに相当するため、光軸調整装置を使用して光
検出ユニット検査装置の検査用支持治具の支持精度を定
量的に検知することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】図１は本発明の第１実施形態におけるレー
ザダイオード検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す
説明図であり、１１は基準レーザ、１２は基準レーザ１
１からのレーザ光を通過させるハーフミラー、１３は高
分解能のＣＣＤカメラ、１４は光路長を長くするために
基準レーザ１１からのレーザ光を複数回反射させて出力
する光学手段、１５は、対物レンズ４とコリメートレン
ズ３との間に配置され、光学手段１４からのレーザ光を
ＬＤＨＵ１側に光路変更するハーフミラー、１６は、ハ
ーフミラー１５からのレーザ光を、コリメートレンズ３
を避けるように光路変更して、ＬＤＨＵ１にレーザ光を
導くミラーブロック、１７は、支持台９および規正チャ
ック１０に支持され、ミラーブロック１６からのレーザ
光を反射するミラー面を備えたＬＤＨＵ型治具を示す。
なお、図８または図１０に示した従来技術における部材
と同一の部材については同一の符号を付して詳細な説明
は省略した。
ザダイオード検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す
説明図であり、１１は基準レーザ、１２は基準レーザ１
１からのレーザ光を通過させるハーフミラー、１３は高
分解能のＣＣＤカメラ、１４は光路長を長くするために
基準レーザ１１からのレーザ光を複数回反射させて出力
する光学手段、１５は、対物レンズ４とコリメートレン
ズ３との間に配置され、光学手段１４からのレーザ光を
ＬＤＨＵ１側に光路変更するハーフミラー、１６は、ハ
ーフミラー１５からのレーザ光を、コリメートレンズ３
を避けるように光路変更して、ＬＤＨＵ１にレーザ光を
導くミラーブロック、１７は、支持台９および規正チャ
ック１０に支持され、ミラーブロック１６からのレーザ
光を反射するミラー面を備えたＬＤＨＵ型治具を示す。
なお、図８または図１０に示した従来技術における部材
と同一の部材については同一の符号を付して詳細な説明
は省略した。
【００２０】ミラーブロック１６はコ字状の筐体の中に
４枚のミラーを設けてなるレーザダイオード検査装置本
体に対して着脱可能に構成したユニット体である。これ
らミラーはレーザ光を９０°反射させてコ字状にレーザ
光を導くことによってコリメートレンズ３を迂回させて
ＬＤＨＵ型治具１７のミラー面に照射させるものであ
る。また、コリメートレンズ３は図２に示す支持装置に
支持されている。
４枚のミラーを設けてなるレーザダイオード検査装置本
体に対して着脱可能に構成したユニット体である。これ
らミラーはレーザ光を９０°反射させてコ字状にレーザ
光を導くことによってコリメートレンズ３を迂回させて
ＬＤＨＵ型治具１７のミラー面に照射させるものであ
る。また、コリメートレンズ３は図２に示す支持装置に
支持されている。
【００２１】図２はコリメートレンズの支持装置の概略
構成を示す側面図であり、１８はレンズ支持装置、１９
はコリメートレンズ３を載置する段付きの孔部１９ａを
有するレンズ受け部、２０はレンズ受け部１９を揺動可
能に片持ち支持する第１支持部、２１は、第１支持部２
０をねじり方向に回転可能に設置し、かつ第１支持部２
０をレーザ光路に対して垂直方向にスライド移動可能に
支持する第２支持部、２２は第２支持部２１をレーザ光
路および第１支持部２０の移動方向に対して垂直方向に
スライド移動させる第３支持部を示す。
構成を示す側面図であり、１８はレンズ支持装置、１９
はコリメートレンズ３を載置する段付きの孔部１９ａを
有するレンズ受け部、２０はレンズ受け部１９を揺動可
能に片持ち支持する第１支持部、２１は、第１支持部２
０をねじり方向に回転可能に設置し、かつ第１支持部２
０をレーザ光路に対して垂直方向にスライド移動可能に
支持する第２支持部、２２は第２支持部２１をレーザ光
路および第１支持部２０の移動方向に対して垂直方向に
スライド移動させる第３支持部を示す。
【００２２】そして、レンズ支持装置１８の各部を操作
することによってコリメートレンズ３の位置、傾きの微
調整が可能になる。
することによってコリメートレンズ３の位置、傾きの微
調整が可能になる。
【００２３】次に、レーザダイオード検査装置の光軸調
整方法について説明する。
整方法について説明する。
【００２４】まず、図１に示すようにコリメートレンズ
３を挟むようにミラーブロック１６をレーザダイオード
検査装置に設置し、ＬＤＨＵ型治具１７を支持台９に取
り付けて規正チャック１０によってチャッキングする。
次に、基準レーザ１１を発光させる。この時、レーザ光
はハーフミラー１２を通過して光学手段１４に入射す
る。光学手段１４を通過したレーザ光はハーフミラー１
５によって反射されてミラーブロック１６に入射する。
そしてレーザ光はミラーブロック１６によってコリメー
トレンズ３を避けるように導かれてＬＤＨＵ型治具１７
に照射される。そして、ＬＤＨＵ型治具１７によって反
射されたレーザ光（以下、反射光と称する）は逆の経路
を通って基準レーザ１１に戻る。このとき、反射光の一
部がハーフミラー１２によって反射されてＣＣＤカメラ
１３によって撮影される。
３を挟むようにミラーブロック１６をレーザダイオード
検査装置に設置し、ＬＤＨＵ型治具１７を支持台９に取
り付けて規正チャック１０によってチャッキングする。
次に、基準レーザ１１を発光させる。この時、レーザ光
はハーフミラー１２を通過して光学手段１４に入射す
る。光学手段１４を通過したレーザ光はハーフミラー１
５によって反射されてミラーブロック１６に入射する。
そしてレーザ光はミラーブロック１６によってコリメー
トレンズ３を避けるように導かれてＬＤＨＵ型治具１７
に照射される。そして、ＬＤＨＵ型治具１７によって反
射されたレーザ光（以下、反射光と称する）は逆の経路
を通って基準レーザ１１に戻る。このとき、反射光の一
部がハーフミラー１２によって反射されてＣＣＤカメラ
１３によって撮影される。
【００２５】そして、基準レーザ１１の出力部に半透明
紙からなるスケールを配置して、図３に示すように、そ
のスケールに形成される基準レーザ１１の出射光スポッ
トとＬＤＨＵ型治具１７からの反射光スポットとが一致
するようにハーフミラー１２やハーフミラー１５の位置
を調整することにより、基準光軸が設定される。またこ
のときＣＣＤカメラ１３が撮影した反射光の位置を定量
的に記録する。
紙からなるスケールを配置して、図３に示すように、そ
のスケールに形成される基準レーザ１１の出射光スポッ
トとＬＤＨＵ型治具１７からの反射光スポットとが一致
するようにハーフミラー１２やハーフミラー１５の位置
を調整することにより、基準光軸が設定される。またこ
のときＣＣＤカメラ１３が撮影した反射光の位置を定量
的に記録する。
【００２６】次に、図４に示すように、ミラーブロック
１６を取り外してハーフミラー１５からのレーザ光を直
接コリメートレンズ３に入射させる。そして、基準レー
ザ１１の出射光のスポットと反射光のスポットとが一致
するようにコリメートレンズ３の位置や角度を調整す
る。
１６を取り外してハーフミラー１５からのレーザ光を直
接コリメートレンズ３に入射させる。そして、基準レー
ザ１１の出射光のスポットと反射光のスポットとが一致
するようにコリメートレンズ３の位置や角度を調整す
る。
【００２７】さらにコリメートレンズ３の調整後に、図
５に示すように、ＬＤＨＵ１の入光面に金蒸着を施して
なるＬＤＨＵ型治具２３のチャッキングを繰り返し行
い、ＣＣＤカメラ１３によって反射光のスポットを検出
し、最初に記録しておいた反射光の位置（以下、基準ス
ポットと称する）とのずれ量およびずれ方向を検出す
る。すなわち、このずれがチャッキング時におけるＬＤ
ＨＵ型治具２３の傾きに相当する。ここでＬＤＨＵ型治
具２３から基準レーザ１１までの光路長をＬ、反射光の
ずれをα、ＬＤＨＵ型治具２３の傾きをθとおくと、
（数１）の関係が成り立つ。
５に示すように、ＬＤＨＵ１の入光面に金蒸着を施して
なるＬＤＨＵ型治具２３のチャッキングを繰り返し行
い、ＣＣＤカメラ１３によって反射光のスポットを検出
し、最初に記録しておいた反射光の位置（以下、基準ス
ポットと称する）とのずれ量およびずれ方向を検出す
る。すなわち、このずれがチャッキング時におけるＬＤ
ＨＵ型治具２３の傾きに相当する。ここでＬＤＨＵ型治
具２３から基準レーザ１１までの光路長をＬ、反射光の
ずれをα、ＬＤＨＵ型治具２３の傾きをθとおくと、
（数１）の関係が成り立つ。
【００２８】
【数１】
【００２９】つまり、ＬＤＨＵ型治具２３が傾く角度が
算出可能であり、さらに基準スポットとのずれ方向から
ＬＤＨＵ型治具２３が傾く方向が判別できる。したがっ
て、ＬＤＨＵ型治具２３のチャッキングを繰り返し行
い、反射光のスポットの分布を調べることによってチャ
ッキング精度が定量的に算出できる。
算出可能であり、さらに基準スポットとのずれ方向から
ＬＤＨＵ型治具２３が傾く方向が判別できる。したがっ
て、ＬＤＨＵ型治具２３のチャッキングを繰り返し行
い、反射光のスポットの分布を調べることによってチャ
ッキング精度が定量的に算出できる。
【００３０】チャッキング精度が良好であると判別され
た場合には、基準レーザ１１をオフにし、ＬＤＨＵ型治
具２３を外して検査対象となるＬＤＨＵ１をセットして
ＬＤＨＵ１を発光させる。ＬＤＨＵ１の出射光はコリメ
ートレンズ３によって平行光となり、平行光の一部はハ
ーフミラー１５を通過して対物レンズ４に入射され集束
される。以下、従来の技術の欄で説明したように光ディ
スクからの反射光がＬＤＨＵ１のフォトダイオード６に
入射され、その出力結果に基づいてＬＤＨＵ１が検査さ
れる。
た場合には、基準レーザ１１をオフにし、ＬＤＨＵ型治
具２３を外して検査対象となるＬＤＨＵ１をセットして
ＬＤＨＵ１を発光させる。ＬＤＨＵ１の出射光はコリメ
ートレンズ３によって平行光となり、平行光の一部はハ
ーフミラー１５を通過して対物レンズ４に入射され集束
される。以下、従来の技術の欄で説明したように光ディ
スクからの反射光がＬＤＨＵ１のフォトダイオード６に
入射され、その出力結果に基づいてＬＤＨＵ１が検査さ
れる。
【００３１】このように構成したことにより、基準光軸
が簡単かつ正確に設定できるとともにコリメートレンズ
３を精度良く設置することができ、しかもチャッキング
精度が定量的に算出できるために、検査装置自体の検査
精度を把握することができる。
が簡単かつ正確に設定できるとともにコリメートレンズ
３を精度良く設置することができ、しかもチャッキング
精度が定量的に算出できるために、検査装置自体の検査
精度を把握することができる。
【００３２】図６は本発明の第２実施形態におけるレー
ザダイオード検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す
説明図であり、３０はミラーブロックを示す。なお、図
８に示す従来技術または図１に示す第１実施形態におけ
る部材と同一の部材については同一の符号を付して詳細
な説明は省略した。すなわち、第１実施形態のミラーブ
ロック１６は検査装置本体に対して着脱可能であるが、
第２実施形態のミラーブロック３０は検査装置本体に対
して固定されているものである。
ザダイオード検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す
説明図であり、３０はミラーブロックを示す。なお、図
８に示す従来技術または図１に示す第１実施形態におけ
る部材と同一の部材については同一の符号を付して詳細
な説明は省略した。すなわち、第１実施形態のミラーブ
ロック１６は検査装置本体に対して着脱可能であるが、
第２実施形態のミラーブロック３０は検査装置本体に対
して固定されているものである。
【００３３】図７は図６におけるミラーブロックの内部
構成を示す説明図であり、３０ａはハーフミラー１５か
らのレーザ光の光路を９０°変更するハーフミラーから
なる第１ミラー、３０ｂは第１ミラー３０ａからのレー
ザ光の光路を９０°変更して下方に導く第２ミラー、３
０ｃは第２ミラー３０ｂからのレーザ光の光路を９０°
変更して側方に導く第３ミラー、３０ｄは第３ミラー３
０ｃからのレーザ光の光路を９０°変更してＬＤＨＵ型
治具１７に導くハーフミラーからなる第４ミラーを示
す。３１は第１ミラー３０ａの近傍に回動可能に設けら
れ、第１ミラー３０ａと第２ミラー３０ｂとの間の光路
または第１ミラー３０ａと第４ミラー３０ｄとの間の光
路を遮蔽する遮蔽板を示す。
構成を示す説明図であり、３０ａはハーフミラー１５か
らのレーザ光の光路を９０°変更するハーフミラーから
なる第１ミラー、３０ｂは第１ミラー３０ａからのレー
ザ光の光路を９０°変更して下方に導く第２ミラー、３
０ｃは第２ミラー３０ｂからのレーザ光の光路を９０°
変更して側方に導く第３ミラー、３０ｄは第３ミラー３
０ｃからのレーザ光の光路を９０°変更してＬＤＨＵ型
治具１７に導くハーフミラーからなる第４ミラーを示
す。３１は第１ミラー３０ａの近傍に回動可能に設けら
れ、第１ミラー３０ａと第２ミラー３０ｂとの間の光路
または第１ミラー３０ａと第４ミラー３０ｄとの間の光
路を遮蔽する遮蔽板を示す。
【００３４】次に、レーザダイオード検査装置の光軸調
整方法について説明する。
整方法について説明する。
【００３５】まず、ＬＤＨＵ型治具１７を支持台９に取
り付けて規正チャック１０によってチャッキングし、遮
蔽板３１をＳ２側に回動させて、第１ミラー３０ａと第
４ミラー３０ｄとの間の光路を遮蔽する。次に、基準レ
ーザ１１を発光させる。この時、基準レーザ１１からレ
ーザ光はハーフミラー１２、光学手段１４、ハーフミラ
ー１５を通過して第１ミラー３０ａに入射される。ここ
で第１ミラー３０ａはハーフミラーであるためレーザ光
はそのまま通過して第４ミラー３０ｄに向かう光と、第
２ミラー３０ｂに向かう光に分かれるが、第４ミラー３
０ｄに向かう光は遮蔽板３１によって遮蔽されるため、
第２ミラー３０ｂに向かう光が第２、第３、第４ミラー
３０ｂ、３０ｃ、３０ｄを介してＬＤＨＵ型治具１７に
入射される。そして、ＬＤＨＵ型治具１７からの反射光
は逆の経路を通って基準レーザ１１に戻る。なお、この
時、第４ミラー３０ｄを通過した光は遮蔽板３１によっ
て遮蔽されるため、基準レーザ１１に到達することはな
い。そして、第１実施形態と同様に、基準レーザ１１の
出射光のスポットと反射光のスポットとが一致するよう
にハーフミラー１２やハーフミラー１５の位置を調整す
る。
り付けて規正チャック１０によってチャッキングし、遮
蔽板３１をＳ２側に回動させて、第１ミラー３０ａと第
４ミラー３０ｄとの間の光路を遮蔽する。次に、基準レ
ーザ１１を発光させる。この時、基準レーザ１１からレ
ーザ光はハーフミラー１２、光学手段１４、ハーフミラ
ー１５を通過して第１ミラー３０ａに入射される。ここ
で第１ミラー３０ａはハーフミラーであるためレーザ光
はそのまま通過して第４ミラー３０ｄに向かう光と、第
２ミラー３０ｂに向かう光に分かれるが、第４ミラー３
０ｄに向かう光は遮蔽板３１によって遮蔽されるため、
第２ミラー３０ｂに向かう光が第２、第３、第４ミラー
３０ｂ、３０ｃ、３０ｄを介してＬＤＨＵ型治具１７に
入射される。そして、ＬＤＨＵ型治具１７からの反射光
は逆の経路を通って基準レーザ１１に戻る。なお、この
時、第４ミラー３０ｄを通過した光は遮蔽板３１によっ
て遮蔽されるため、基準レーザ１１に到達することはな
い。そして、第１実施形態と同様に、基準レーザ１１の
出射光のスポットと反射光のスポットとが一致するよう
にハーフミラー１２やハーフミラー１５の位置を調整す
る。
【００３６】次に、遮蔽板３１をＳ１側に回動させて、
第１ミラー３０ａと第２ミラー３０ｂとの間の光路を遮
蔽してから、基準レーザ１１を発光させる。この時、ハ
ーフミラー１５からレーザ光は第１ミラー３０ａ、コリ
メートレンズ３および第４ミラー３０ｄを通過してＬＤ
ＨＵ型治具１７に入射される。そして、ＬＤＨＵ型治具
１７からの反射光は逆の経路を通って基準レーザ１１に
戻る。なお、この時、第４ミラー３０ｄを反射した光は
遮蔽板３１によって遮蔽されるため、基準レーザ１１に
到達することはない。そして、第１実施形態と同様に、
基準レーザ１１の出射光のスポットと反射光のスポット
とが一致するようにコリメートレンズ３の位置や角度を
調整する。
第１ミラー３０ａと第２ミラー３０ｂとの間の光路を遮
蔽してから、基準レーザ１１を発光させる。この時、ハ
ーフミラー１５からレーザ光は第１ミラー３０ａ、コリ
メートレンズ３および第４ミラー３０ｄを通過してＬＤ
ＨＵ型治具１７に入射される。そして、ＬＤＨＵ型治具
１７からの反射光は逆の経路を通って基準レーザ１１に
戻る。なお、この時、第４ミラー３０ｄを反射した光は
遮蔽板３１によって遮蔽されるため、基準レーザ１１に
到達することはない。そして、第１実施形態と同様に、
基準レーザ１１の出射光のスポットと反射光のスポット
とが一致するようにコリメートレンズ３の位置や角度を
調整する。
【００３７】このように構成したことにより、第１実施
形態のようにミラーブロックを取り外す必要がなくな
り、容易に繰り返し調整確認を行える。
形態のようにミラーブロックを取り外す必要がなくな
り、容易に繰り返し調整確認を行える。
【００３８】以上、実施形態について説明したが、本発
明の実施形態は上述の構成に限るものではない。例え
ば、ＬＤＨＵ１に金蒸着を施してなるＬＤＨＵ型治具２
３をＬＤＨＵ型治具１７の代わりに使用しても良い。ま
た、チャッキング精度を求める場合に上述の構成によれ
ば、コリメートレンズ３の調整を行った後にＬＤＨＵ型
治具２３を繰り返しチャッキングしているが、基準光軸
を設定した後にミラーブロック１６を取り付けた状態で
ＬＤＨＵ型治具２３を繰り返しチャッキングしてチャッ
キング精度を求めてもよい。
明の実施形態は上述の構成に限るものではない。例え
ば、ＬＤＨＵ１に金蒸着を施してなるＬＤＨＵ型治具２
３をＬＤＨＵ型治具１７の代わりに使用しても良い。ま
た、チャッキング精度を求める場合に上述の構成によれ
ば、コリメートレンズ３の調整を行った後にＬＤＨＵ型
治具２３を繰り返しチャッキングしているが、基準光軸
を設定した後にミラーブロック１６を取り付けた状態で
ＬＤＨＵ型治具２３を繰り返しチャッキングしてチャッ
キング精度を求めてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上、説明したように構成された本発明
によれば、光路設定手段を第１光路に設定することでコ
リメートレンズをコリメートレンズ支持手段に載置した
状態で基準光軸の調整を行うことができ、さらに光路設
定手段を第２光路に設定することで基準光軸の調整を行
った状態でコリメートレンズの光軸を調整することがで
きる。その結果、省スペースで容易かつ高精度のコリメ
ートレンズの光軸を調整するとともに、光検出ユニット
検査装置における光検出ユニットの支持精度を定量的に
把握することができる。
によれば、光路設定手段を第１光路に設定することでコ
リメートレンズをコリメートレンズ支持手段に載置した
状態で基準光軸の調整を行うことができ、さらに光路設
定手段を第２光路に設定することで基準光軸の調整を行
った状態でコリメートレンズの光軸を調整することがで
きる。その結果、省スペースで容易かつ高精度のコリメ
ートレンズの光軸を調整するとともに、光検出ユニット
検査装置における光検出ユニットの支持精度を定量的に
把握することができる。
【図１】本発明の第１実施形態におけるレーザダイオー
ド検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す説明図
ド検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す説明図
【図２】コリメートレンズの支持装置の構成を示す説明
図
図
【図３】基準レーザによる光スポットと反射光による光
スポットの検出例を示す説明図
スポットの検出例を示す説明図
【図４】図１の装置におけるコリメートレンズの光軸調
整時の使用状態を示す説明図
整時の使用状態を示す説明図
【図５】ＬＤＨＵ検査装置におけるＬＤＨＵの支持機構
のチャッキング精度を検出時の使用状態を示す説明図
のチャッキング精度を検出時の使用状態を示す説明図
【図６】本発明の第２実施形態におけるレーザダイオー
ド検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す説明図
ド検査装置の光軸調整装置の概略構成を示す説明図
【図７】図６におけるミラーブロックの内部構成を示す
説明図
説明図
【図８】一般的な光ディスクシステムの構成を示す説明
図
図
【図９】ＬＤＨＵの概略構成を示す説明図
【図１０】ＬＤＨＵの検査装置の概略構成を示す説明図
１ ＬＤＨＵ ２ 光ディスク ３ コリメートレンズ ４ 対物レンズ ５ レーザダイオード ６ フォトダイオード ７ 電流／電圧変換回路 ８ ホログラム ９ 支持台 １０ 規正チャック １１ 基準レーザ １２，１５ ハーフミラー １３ ＣＣＤカメラ １４ 光学手段 １６，３０ ミラーブロック １７，２３ ＬＤＨＵ型治具 １８ レンズ支持装置 １９ レンズ受け部 ２０ 第１支持部 ２１ 第２支持部 ２２ 第３支持部 ３０ａ 第１ミラー ３０ｂ 第２ミラー ３０ｃ 第３ミラー ３０ｄ 第４ミラー ３１ 遮蔽板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/22 Ｇ１１Ｂ 7/22 ５Ｄ１１９ Ｈ０１Ｓ 5/022 Ｈ０１Ｓ 5/022 ５Ｆ０７３ (72)発明者 和田 直之 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 (72)発明者 山田 清彦 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA19 AA31 CC22 EE00 FF42 FF43 FF61 GG04 GG06 HH03 HH13 JJ03 JJ09 JJ18 JJ26 LL00 LL04 LL12 LL18 PP11 PP12 PP13 QQ28 2G065 AA04 AA11 AB04 AB09 AB18 AB24 AB28 BA05 BA09 BB06 BB14 BB17 BB44 DA01 2G086 EE02 EE12 FF04 2H043 AD07 AD13 AD16 AD17 AD23 2H044 AC02 5D119 AA36 FA02 JA02 PA04 5F073 AB21 AB25 AB27 BA05 FA02
Claims (8)
- 【請求項１】 基準レーザを発光する基準レーザ発光手
段と、光ピックアップ用のレーザ発光手段および光記録
媒体からの反射光を受光する受光手段とを有する光検出
ユニットを支持する検査用支持治具に装着可能に構成さ
れ、レーザ光を反射させるミラー面を有する調整治具
と、前記基準レーザ発光手段からの基準レーザを前記調
整治具のミラー面に導く光学手段と、この光学手段と前
記ミラー面との間に前記コリメートレンズを配置するコ
リメートレンズ支持手段と、前記光学手段と前記ミラー
面との間に、前記光学手段を通過した基準レーザの光路
を変更させて前記コリメートレンズを避けるように前記
ミラー面に導く第１光路または前記光学手段を通過した
基準レーザをコリメートレンズに入光させて前記ミラー
面に導く第２光路に設定する光路設定手段と、前記ミラ
ー面からの反射光を検出して基準レーザ光路と反射光光
路とのずれを検出する検出手段とを備え、 前記光路設定手段を第１光路に設定して、前記検出手段
の測定結果を基に前記光学手段を調整して基準レーザ光
路と反射光光路とを一致させ、さらに前記光路設定手段
を第２光路に設定して、前記コリメートレンズに基準レ
ーザを通過させて前記検出手段の検出結果を基に基準レ
ーザ光路と反射光光路とが一致するように、前記コリメ
ートレンズの位置を調整可能に前記コリメートレンズ支
持手段を構成したことを特徴とする光軸調整装置。 - 【請求項２】 前記光路設定手段を、複数の光路変更手
段を有し、かつレーザダイオード検査装置本体に着脱可
能なユニット体として構成し、さらに第１光路に設定す
る場合に前記ユニット体を取り付けて、レーザ光を複数
の光路変更手段によって前記コリメートレンズを避ける
ように光路を変更させ、第２光路に設定する場合に前記
ユニット体を取り外して、レーザ光を前記コリメートレ
ンズに入射させるように構成したことを特徴とする請求
項１記載の光軸調整装置。 - 【請求項３】 前記光路設定手段を、前記光学手段と前
記コリメートレンズとの間に配置され、レーザ光の一部
の光路を変更する第１分離光路変更手段と、前記コリメ
ートレンズと前記調整治具との間に配置され、レーザ光
を通過または光路変更して前記調整治具にレーザ光を導
く第２分離光路変更手段と、前記第１分離光路変更手段
によって光路変更されたレーザ光を前記第２分離光路変
更手段に導く複数の光路変更手段と、前記第１分離光路
変更手段と前記光路変更手段との間の光路または前記第
１分離光路変更手段と前記コリメートレンズとの間の光
路を遮蔽する遮蔽手段とから構成し、第１光路に設定す
る場合に第１分離光路変更手段と前記コリメートレンズ
との間の光路を前記遮蔽手段によって遮蔽し、レーザ光
の光路を前記複数の光路変更手段によって前記コリメー
トレンズを避けるように光路を変更させ、第２光路に設
定する場合に前記第１分離光路変更手段と前記光路変更
手段との間の光路を前記遮蔽手段によって遮蔽し、レー
ザ光が前記第１分離光路変更手段，前記コリメートレン
ズおよび前記第２分離光路変更手段を通過するように構
成したことを特徴とする請求項１記載の光軸調整装置。 - 【請求項４】 前記調整治具が、検査対象となる光検出
ユニットの受光面に反射膜を形成したものであることを
特徴とする請求項１，２または３記載の光軸調整装置。 - 【請求項５】 前記コリメートレンズ支持手段が、前記
コリメートレンズを載置する受け部と、この受け部をレ
ーザ光の光軸に対して垂直方向に前後または左右に移動
させる調整部とを有することを特徴とする請求項１，２
または３記載の光軸調整装置。 - 【請求項６】 請求項１，２または３記載の光軸調整装
置を具備し、検査用支持治具に装着された光検出ユニッ
トから出射されてコリメートレンズを通過したレーザ光
を集光する対物レンズと、この対物レンズを通過したレ
ーザ光を反射させる光記録媒体とを有することを特徴と
する光検出ユニット検査装置。 - 【請求項７】 基準レーザを発光する基準レーザ発光手
段と、光ピックアップ用のレーザ発光手段および光記録
媒体からの反射光を受光する受光手段とを有する光検出
ユニットを支持する検査用支持治具に装着可能に構成さ
れ、レーザ光を反射させるミラー面を有する調整治具
と、前記基準レーザ発光手段からの基準レーザを前記調
整治具のミラー面に導く光学手段と、この光学手段と前
記ミラー面との間に前記コリメートレンズを配置するコ
リメートレンズ支持手段と、前記光学手段と前記ミラー
面との間に、前記光学手段を通過した基準レーザの光路
を変更させて前記コリメートレンズを避けるように前記
ミラー面に導く第１光路または前記光学手段を通過した
基準レーザをコリメートレンズに入光させて前記ミラー
面に導く第２光路に設定する光路設定手段と、前記ミラ
ー面からの反射光を検出して基準レーザ光路と反射光光
路とのずれを検出する検出手段とを備えた光軸調整装置
による光軸調整方法であって、 前記コリメートレンズを前記コリメートレンズ支持手段
に載置し、前記光路設定手段を第１光路に設定して、前
記検出手段の測定結果を基に前記光学手段を調整して基
準レーザ光路と反射光光路とを一致させて基準光軸を設
定し、さらに前記光路設定手段を第２光路に設定して、
前記コリメートレンズに基準レーザを通過させて前記検
出手段の検出結果を基に基準レーザ光路と反射光光路と
が一致するように前記コリメートレンズ支持治具を調整
して、前記コリメートレンズの光軸を設定することを特
徴とする光軸調整方法。 - 【請求項８】 請求項７の光軸調整方法における検出手
段によって検出される基準レーザ光路と反射光光路との
ずれ量を検出し、検査用支持治具に対する調整治具の着
脱を複数回行って基準レーザ発光手段から前記調整治具
までの光路長を基に前記調整治具の傾きを着脱毎に算出
することを特徴とする光検出ユニット検査装置の精度確
認方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11131943A JP2000321165A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11131943A JP2000321165A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法 |
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ID=15069847
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| JP11131943A Pending JP2000321165A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 光軸調整装置および光軸調整方法ならびに光検出ユニット検査装置および光検出ユニット検査装置の精度確認方法 |
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| JP (1) | JP2000321165A (ja) |
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1999
- 1999-05-12 JP JP11131943A patent/JP2000321165A/ja active Pending
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