CN1543673A - 机械手 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种机械手,其在机械手与外围设备等碰撞时通过检测碰撞而停止机器人,其还能吸收碰撞的冲击从而减少因为碰撞而引起的损坏。该机械手(2)包括安装在机械臂(1)前端上的基座(21),和一对平行地安装于所述基座(21)的支撑构件(22),用于在所述支撑构件(22)上放置和运送大型基板(3)。填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件(41)安装于所述支撑构件的前端(22)。

Description

机械手
技术领域
本发明涉及一种用于运送诸如液晶玻璃基板的大型基板的机械手。
背景技术
图2是现有技术中用于运送大型基板的机械手的俯视图。
在图中,标号1表示机械臂;标号2表示与机械臂1的前端相连的机械手;以及标号3表示放置在机械手上的液晶玻璃基板。
机械手2包括安装在机械臂1上的基座21,以及平行地安装于基座21的一对支撑构件22。基座21和成对的支撑构件22形成C字形的平面形状。这些支撑构件22在它们的上表面上设置有未示出的吸附装置,以便吸附和固定液晶玻璃基板3。
随着近年来液晶玻璃基板的大型化,机械手也大型化。然而,机械手必须在有限的空间内被操纵。结果产生了以下问题:即,机械手会与外围设备等碰撞,然后破坏外围设备或正被运送的液晶基板。
发明内容
因此,本发明的一个目的是提供这样一种机械手,当机械手与外围设备等碰撞时,该机械手能通过检测到碰撞而使机器人停止,还能吸收碰撞的冲击,从而减少因碰撞而造成的损坏的发生。
为了实现上述目的,根据本发明的权利要求1,提供了一种机械臂,其包括安装在机械臂前端上的基座,和平行地安装于基座的一对支撑构件,用于在支撑构件上放置和运送大型基板,其中填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件安装于所述支撑构件的前端。在权利要求2的发明中,机械手还包括用于检测填充在中空构件中的流体的压力的传感器。而且,在权利要求3的发明中,传感器安装在基座中,且中空构件和传感器通过埋设在支撑构件中的管线连接。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施例的机械手的俯视图;图2是表示现有技术的示例的机械手的俯视图。
具体实施方式
以下将参考附图说明本发明的实施例。
图1是示出了本发明的实施例的机械手的俯视图,部分为剖面图。与现有技术共用的部分用相同的标号表示,这样省略了对它们的描述。
在图1中,标号41表示中空构件,它们被安装在支撑构件22的前端。中空构件41由可膨胀/可收缩的盒或袋制成,盒或袋的材料为橡胶、软合成树脂或类似物。中空构件41被流体填充。用于填充中空构件41的该流体最好如清洁空气一样,即使它泄漏到外部也不会污染环境。但是,也可以选择适于该目的的其他气体或液体,例如水或油。
标号42表示管线,标号43表示压力传感器。管线42是设置在支撑构件22内的乙烯基塑料管,用于将在中空构件41中填充的流体的压力传递到压力传感器43。该传感器43安装在基座中,用于检测填充在中空构件41中的流体压力,由此将表示流体压力升高(如果有的话)的信号传递到机器人的控制装置(未示出)。
这里将说明该机械手2的功能。当机械手2的前端与外界物质(例如外围设备)接触时,中空构件41发生变形从而填充在其中的流体的压力升高。压力传感器43检测到压力升高并将信号传送到机器人的控制装置。响应于该信号,机器人的控制装置判断机械手2与外界物质接触并立即停止机器人。而且,机械手2和外界物质之间的接触而产生的冲击被中空构件41的变形吸收了。简而言之,中空构件41作为撞击吸收垫,这样它们可以防止机械手2和外界物质被严重损坏。
在此之前已经说明,本发明具有能用简单机构可靠地检测机械手和外界物质之间的接触的优点。另一个优点是:由于压力传感器和中空构件通过管线连接,因此压力传感器可以放置在远离中空构件的位置。再一优点是:由于放置传感器的位置可以自由选择,所以很容易设计在压力传感器和待传送物体之间没有干涉的机械手。
工业应用性
本发明对用于传送例如液晶玻璃基板的大型基板的机械手来说是有用的。

Claims (3)

1.一种机械手,包括安装在机械臂前端上的基座,和一对平行地安装于所述基座的支撑构件,用于在所述支撑构件上放置和运送大型基板,
其特征在于,填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件安装于所述支撑构件的前端。
2.如权利要求1所述的机械手,其特征在于,还包括用于检测填充在所述中空构件中的流体的压力的传感器。
3.如权利要求2所述的机械手,其特征在于,所述传感器安装在所述基座中,以及所述中空构件和所述传感器通过埋设在所述支撑构件中的管线连接。
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Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101318328A (zh) * 2007-06-06 2008-12-10 株式会社安川电机 液晶搬运机器人及其控制方法
CN1939675B (zh) * 2005-09-29 2010-05-12 日本电产三协株式会社 机器人的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人
CN101422904B (zh) * 2008-12-09 2011-04-13 友达光电股份有限公司 承载构件
CN102112275A (zh) * 2009-10-22 2011-06-29 Abb研究有限公司 机器人部分和保护机器人部分的方法
CN102442550A (zh) * 2010-09-16 2012-05-09 东京毅力科创株式会社 输送装置、处理系统以及输送装置的控制方法
CN101602208B (zh) * 2008-06-11 2012-05-30 松下电器产业株式会社 机械手、机械手的碰撞检测方法以及机械手的控制方法
CN102632188A (zh) * 2012-03-31 2012-08-15 重庆乾合科技有限公司 一种编机机械手抓链失败保护停机装置
CN101987448B (zh) * 2009-08-07 2012-09-05 坤霖精密有限公司 自动送料机的改进型输送臂超负荷机构
CN102985235A (zh) * 2010-07-13 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN103260833A (zh) * 2010-12-16 2013-08-21 罗伯特·博世有限公司 用于在搬运装置、特别是搬运机器人上的握持装置的防护装置
CN1994841B (zh) * 2006-01-06 2014-02-12 东京毅力科创株式会社 基板搬送装置及基板支承体
CN104386489A (zh) * 2014-09-10 2015-03-04 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板传递系统及其机械手
CN104526698A (zh) * 2014-12-04 2015-04-22 北京七星华创电子股份有限公司 一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置
CN104742154A (zh) * 2013-12-25 2015-07-01 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 保护装置及应用该保护装置的机械手
CN105328716A (zh) * 2015-11-30 2016-02-17 马鞍山万普实业发展有限公司 一种保护手部的工业机器人
CN105522591A (zh) * 2014-10-20 2016-04-27 电装波动株式会社 机器人及机器人的形状设计方法
CN106078704A (zh) * 2016-07-14 2016-11-09 青岛德山机械有限公司 一种混凝土预制转运托盘装卸用旋转升降机械手
CN106470806A (zh) * 2014-07-03 2017-03-01 蓝色多瑙河机器人有限公司 用于操纵仪器的保护方法和保护装置
US9589825B2 (en) 2014-09-10 2017-03-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Glass substrate transfer system and robot arm thereof
CN106808493A (zh) * 2016-06-16 2017-06-09 无锡市盛宝嘉科技有限公司 一种用于机械手的手臂自动检错保护技术
CN107942553A (zh) * 2018-01-02 2018-04-20 京东方科技集团股份有限公司 一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备
CN108478100A (zh) * 2018-03-09 2018-09-04 京东方科技集团股份有限公司 一种废玻璃清理装置
CN110385706A (zh) * 2019-06-21 2019-10-29 清华大学 仿生力驱动装置及其控制方法
CN111453424A (zh) * 2020-04-17 2020-07-28 杭州迪肤科技有限公司 一种用于光伏玻璃板摄取的机械臂
CN111941384A (zh) * 2020-08-19 2020-11-17 六安科亚信息科技有限公司 一种防撞型高稳定性搬运机器人

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1810795A1 (en) * 2006-01-19 2007-07-25 Abb Ab Safety device for an industrial robot with elastic sealed bag comprising a fluid or gas
JP4804300B2 (ja) * 2006-10-05 2011-11-02 パナソニック株式会社 ロボットおよびその表面計測方法
NL2000427C2 (nl) * 2007-01-10 2008-07-11 Univ Delft Tech Laparoscopisch grijpinstrument.
JP5059573B2 (ja) * 2007-12-06 2012-10-24 東京エレクトロン株式会社 基板保持具、基板搬送装置および基板処理システム
DE102007062245A1 (de) * 2007-12-21 2009-06-25 Robert Bosch Gmbh Kollisionsdetektionsvorrichtung sowie Handhabungsgerät
KR101246851B1 (ko) * 2009-11-12 2013-03-25 주식회사 신성에프에이 스태커 로봇
JP2011129610A (ja) * 2009-12-16 2011-06-30 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及びこの搬送装置を備えた被処理体処理装置
DE102010018468A1 (de) * 2010-04-27 2011-10-27 Dürr Systems GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung von vorzugsweise zu beschichtenden Bauteilen
US9327411B2 (en) * 2010-12-13 2016-05-03 Brian L. Ganz Robotic gripper
US20160243709A1 (en) * 2010-12-13 2016-08-25 Brian L. Ganz Robotic gripper
JP5161335B2 (ja) * 2011-04-06 2013-03-13 中外炉工業株式会社 基板の搬送装置及びこれを備えた基板の加工装置
US9205567B2 (en) * 2012-03-08 2015-12-08 Quality Manufacturing Inc. Touch sensitive robotic gripper
US9605952B2 (en) 2012-03-08 2017-03-28 Quality Manufacturing Inc. Touch sensitive robotic gripper
CN103273494B (zh) * 2013-05-21 2015-09-09 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示器基板搬运装置及其使用方法
CN106104785B (zh) * 2013-12-26 2018-11-27 川崎重工业株式会社 末端执行器及基板搬送机器人
CN104816310A (zh) * 2014-02-04 2015-08-05 精工爱普生株式会社 机器人手、机器人、以及机器人手的制造方法
CN104444351B (zh) * 2014-11-07 2016-11-02 京东方科技集团股份有限公司 机械手臂及基板拾取装置
JP6514520B2 (ja) * 2015-02-17 2019-05-15 本田技研工業株式会社 ハンド装置、それを備えたロボットアーム及びロボット
US10718359B2 (en) 2015-08-21 2020-07-21 Quality Manufacturing Inc. Devices and systems for producing rotational actuation
JP6493622B2 (ja) 2016-03-11 2019-04-03 株式会社リコー 非常停止用感圧センサ、安全装置及び安全システム
KR102001569B1 (ko) 2019-02-26 2019-07-18 윤양수 기계장치 보호용 에어패드

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3759092A (en) * 1971-06-09 1973-09-18 Us Navy Rce differential pressure transducer and readout for sensing claw grip fo
US3751733A (en) * 1972-02-22 1973-08-14 J Fletcher Tactile sensing means for prosthetic limbs
US4306148A (en) * 1980-01-21 1981-12-15 General Electric Company Tactile sensor
JPS59149009U (ja) * 1983-03-24 1984-10-05 株式会社東芝 接触検知器
JPS6133894A (ja) * 1984-07-25 1986-02-17 神鋼電機株式会社 産業用ロボツトの安全ア−ム及び安全ハンド
JPS63288683A (ja) * 1987-05-21 1988-11-25 株式会社東芝 組立てロボット
US5373747A (en) * 1991-03-30 1994-12-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Robot hand and robot
US5568957A (en) * 1992-02-12 1996-10-29 Haugs; Audun Pressure actuated gripping apparatus and method
JPH05304198A (ja) * 1992-04-27 1993-11-16 Tel Varian Ltd 搬送装置
US5888213A (en) * 1997-06-06 1999-03-30 Motion Control, Inc. Method and apparatus for controlling an externally powered prosthesis
JP4269129B2 (ja) * 1998-10-19 2009-05-27 株式会社安川電機 干渉検出装置を備えたクリーンロボット
AU2041000A (en) * 1998-12-02 2000-06-19 Kensington Laboratories, Inc. Specimen holding robotic arm end effector
DE60120231T2 (de) * 2000-03-28 2006-12-28 Seiko Epson Corp. Flexibler Aktuator mit einer integrierten Pumpe
KR100388653B1 (ko) * 2000-12-18 2003-06-25 삼성전자주식회사 반송로봇과 그 제어방법
US7027031B2 (en) * 2002-02-07 2006-04-11 Gifu University Touch sense interface and method for controlling touch sense interface
US6889818B2 (en) * 2003-04-09 2005-05-10 Lsi Logic Corporation Wafer blade contact monitor

Cited By (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1939675B (zh) * 2005-09-29 2010-05-12 日本电产三协株式会社 机器人的机械手及使用该机械手的工件搬送机器人
CN1994841B (zh) * 2006-01-06 2014-02-12 东京毅力科创株式会社 基板搬送装置及基板支承体
CN101318328A (zh) * 2007-06-06 2008-12-10 株式会社安川电机 液晶搬运机器人及其控制方法
CN101602208B (zh) * 2008-06-11 2012-05-30 松下电器产业株式会社 机械手、机械手的碰撞检测方法以及机械手的控制方法
CN101422904B (zh) * 2008-12-09 2011-04-13 友达光电股份有限公司 承载构件
CN101987448B (zh) * 2009-08-07 2012-09-05 坤霖精密有限公司 自动送料机的改进型输送臂超负荷机构
CN102112275A (zh) * 2009-10-22 2011-06-29 Abb研究有限公司 机器人部分和保护机器人部分的方法
CN102112275B (zh) * 2009-10-22 2016-03-16 Abb研究有限公司 机器人部分和保护机器人部分的方法
CN102985235B (zh) * 2010-07-13 2015-04-22 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102985235A (zh) * 2010-07-13 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102442550A (zh) * 2010-09-16 2012-05-09 东京毅力科创株式会社 输送装置、处理系统以及输送装置的控制方法
CN103260833B (zh) * 2010-12-16 2016-04-27 罗伯特·博世有限公司 用于在搬运装置、特别是搬运机器人上的握持装置的防护装置
CN103260833A (zh) * 2010-12-16 2013-08-21 罗伯特·博世有限公司 用于在搬运装置、特别是搬运机器人上的握持装置的防护装置
US8991888B2 (en) 2010-12-16 2015-03-31 Robert Bosch Gmbh Protective device for a gripping device on a handling apparatus, especially a handling robot
CN102632188A (zh) * 2012-03-31 2012-08-15 重庆乾合科技有限公司 一种编机机械手抓链失败保护停机装置
CN104742154A (zh) * 2013-12-25 2015-07-01 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 保护装置及应用该保护装置的机械手
CN106470806B (zh) * 2014-07-03 2019-11-05 蓝色多瑙河机器人有限公司 用于操纵仪器的保护方法和保护装置
CN106470806A (zh) * 2014-07-03 2017-03-01 蓝色多瑙河机器人有限公司 用于操纵仪器的保护方法和保护装置
CN104386489B (zh) * 2014-09-10 2016-06-08 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板传递系统及其机械手
US9589825B2 (en) 2014-09-10 2017-03-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Glass substrate transfer system and robot arm thereof
CN104386489A (zh) * 2014-09-10 2015-03-04 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板传递系统及其机械手
CN105522591B (zh) * 2014-10-20 2018-06-26 电装波动株式会社 机器人及机器人的形状设计方法
CN105522591A (zh) * 2014-10-20 2016-04-27 电装波动株式会社 机器人及机器人的形状设计方法
CN104526698A (zh) * 2014-12-04 2015-04-22 北京七星华创电子股份有限公司 一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置
CN105328716A (zh) * 2015-11-30 2016-02-17 马鞍山万普实业发展有限公司 一种保护手部的工业机器人
CN106808493A (zh) * 2016-06-16 2017-06-09 无锡市盛宝嘉科技有限公司 一种用于机械手的手臂自动检错保护技术
CN106808493B (zh) * 2016-06-16 2019-04-30 无锡市盛宝嘉科技有限公司 一种用于机械手的手臂自动检错保护装置
CN106078704B (zh) * 2016-07-14 2019-03-05 青岛德山机械有限公司 一种混凝土预制转运托盘装卸用旋转升降机械手
CN106078704A (zh) * 2016-07-14 2016-11-09 青岛德山机械有限公司 一种混凝土预制转运托盘装卸用旋转升降机械手
CN107942553A (zh) * 2018-01-02 2018-04-20 京东方科技集团股份有限公司 一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备
CN107942553B (zh) * 2018-01-02 2020-05-22 京东方科技集团股份有限公司 一种稳定装置及其工作方法、机械臂、显示面板生产设备
CN108478100A (zh) * 2018-03-09 2018-09-04 京东方科技集团股份有限公司 一种废玻璃清理装置
CN108478100B (zh) * 2018-03-09 2020-12-18 京东方科技集团股份有限公司 一种废玻璃清理装置
CN110385706A (zh) * 2019-06-21 2019-10-29 清华大学 仿生力驱动装置及其控制方法
CN110385706B (zh) * 2019-06-21 2021-10-19 清华大学 仿生力驱动装置及其控制方法
CN111453424A (zh) * 2020-04-17 2020-07-28 杭州迪肤科技有限公司 一种用于光伏玻璃板摄取的机械臂
CN111941384A (zh) * 2020-08-19 2020-11-17 六安科亚信息科技有限公司 一种防撞型高稳定性搬运机器人

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