CN217457889U - 取放片执行机构及太阳电池加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种取放片执行机构及太阳电池加工设备。取放片执行机构包括至少一个取放片执行模组，包括：吸附组件用于对硅片执行取放作业；连接架设置于吸附组件上；以及距离检测组件设置于连接架上，距离检测组件用于检测其与载盘之间的距离。每次吸附组件从载盘上的不同位置吸取不同硅片，通过距离检测组件与载盘感测配合，都能够保证吸附组件与硅片的间距满足吸附要求，避免出现间距过大导致漏吸，或者避免因间距过小造成吸附组件与硅片接触，致使硅片受压损伤而出现吸盘印的不良问题，保证产品良率。并且距离检测组件能够实现吸附组件与硅片间距的自适应调节，不需要人力干预，效率高且精度高，有助于节省人力成本，并提高生产效率。

Description

取放片执行机构及太阳电池加工设备

技术领域

本实用新型涉及太阳电池加工技术领域，特别是涉及一种取放片执行机构及太阳电池加工设备。

背景技术

当前，在太阳电池生产过程中，其中一项比较重要的工序便是通过板式真空镀膜设备对硅片片表面进行镀膜处理，加工时需要利用横移机械臂上的吸盘将硅片放置于载板上或从载板上取下硅片。吸盘通常通过管路于真空设备相连，首先将吸盘与硅片接触，起动真空设备抽吸，使吸盘内产生负气压，从而将硅片吸牢，即可开始搬送硅片。当硅片搬送到目的地时，平稳地充气进吸盘内，使吸盘内由负气压变成零气压或稍为正的气压，吸盘便可脱离硅片，从而完成了提升搬送硅片的任务。而为了防止吸盘过度挤压硅片，导致硅片表面被划伤而出现吸盘印，行业中更多的是采用隔空吸硅片的方式(也即吸盘会与硅片之间间隔几毫米的间距)。

目前，为了保证吸附效果，吸盘与硅片之间的间距需要通过人工手动调试获得较佳值，但人工调节容易存在误差，间距精度不易把控，当吸盘距离硅片的间距过大时会出现漏吸(即吸盘无法吸住硅片)，当吸盘接触到硅片时又容易造成硅片表面损伤，出现吸盘印不良。针对于此，行业中逐渐开始采用机械手来实现吸盘位置的自动调节，即对机械手设定一个取放片高度，使吸盘与硅片之间的间距满足吸附要求，但由于不同硅片处于载板上的位置不同，此时针对于每个硅片，都需要单独为机械手调试设定相应的取放片高度，整个调试过程繁琐不便，费时耗力，极大地的影响到了生产效率。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种取放片执行机构及太阳电池加工设备，旨在解决现有技术调试操作繁琐不便，费时耗力，影响生产效率的问题。

一方面，本申请提供一种取放片执行机构，包括至少一个取放片执行模组，其特征在于，所述取放片执行模组包括：

吸附组件，所述吸附组件用于对硅片执行取放作业；

连接架，所述连接架设置于所述吸附组件上；以及

距离检测组件，所述距离检测组件设置于所述连接架上，所述距离检测组件用于测量其与载盘之间的距离。

上述方案的取放片执行机构应用装备于太阳电池加工设备中，具体用在镀膜加工时对硅片进行取放作业的场合中。工作时，首先通过取放片执行模组的吸附组件从载盘中将硅片吸附固定，然后再转移并释放至镀膜设备中，待镀膜加工结束后，再从镀膜设备中将硅片吸附固定并取出。在从载盘上吸附硅片之前，首先设定好距离检测组件与载盘的预设距离值，该预设距离值满足吸附组件与硅片采用非接触吸附时的间距要求，如此一来，每次吸附组件从载盘上的不同位置吸取不同硅片，通过距离检测组件检测其与载盘之间的实时距离等于预设距离值时，都能够保证吸附组件与硅片的间距满足吸附要求，避免出现间距过大导致漏吸，或者避免因间距过小造成吸附组件与硅片接触，致使硅片受压损伤而出现吸盘印的不良问题，保证产品良率。并且距离检测组件能够实现吸附组件与硅片间距的自适应调节，不需要人力干预，效率高且精度高，有助于节省人力成本，并提高生产效率。

下面对本申请的技术方案作进一步的说明：

在其中一个实施例中，所述距离检测组件包括安装座和距离传感器，所述距离传感器通过所述安装座设置于所述连接架上。

在其中一个实施例中，所述距离检测组件还包括安装杆，安装杆可升降运动的设置于所述连接架上，所述安装座设置于所述安装杆上。

在其中一个实施例中，所述距离检测组件还包括调节螺母，所述安装杆设置为螺杆，所述螺杆穿设于所述连接架上，所述调节螺母螺接于所述螺杆上且抵压设置于所述连接架的上方。

在其中一个实施例中，所述调节螺母设置为两个，其中一个所述调节螺母抵压设置于所述连接架的上方，另一个所述调节螺母抵接于所述连接架的下方。

在其中一个实施例中，所述连接架包括第一架体、第二架体和连接组件，所述吸附组件包括吸附管道，所述第一架体和所述第二架体可拆卸的抱箍于所述吸附管道的外部，所述连接组件分别与所述第一架体和所述第二架体可拆卸连接。

在其中一个实施例中，所述吸附组件还包括吸盘，所述吸盘与所述吸附管道接通，所述吸盘用于对所述硅片执行取放作业；

所述吸盘采用波纹管结构设计。

在其中一个实施例中，所述取放片执行机构还包括机械手和控制器，所述机械手和所述距离检测组件分别与所述控制器电性连接，所述机械手与所述吸附组件连接。

在其中一个实施例中，所述取放片执行模组设置为多个，多个所述取放片执行模组均与所述机械手直接或间接连接。

另一方面，本申请还提供一种太阳电池加工设备，其包括如上所述的取放片执行机构。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例所述的取放片执行机构的结构示意图。

附图标记说明：

100、取放片执行机构；10、取放片执行模组；11、吸附组件；111、吸附管道；112、吸盘；20、连接架；21、第一架体；22、连接组件；30、距离检测组件；31、安装座；32、距离传感器；33、安装杆；34、调节螺母；200、载盘；300、硅片。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，为本申请一实施例展示的一种取放片执行机构100，其包括至少一个取放片执行模组10。可以理解的，当硅片300的尺寸较小，仅采用一个取放片执行模组10就能够满足取放硅片300要求时，此时取放片执行机构100的最小组成单位即为一个取放片执行模组10。

示例性地，所述取放片执行模组10包括：吸附组件11、连接架20以及距离检测组件30。所述吸附组件11用于对硅片300执行取放作业；所述连接架20设置于所述吸附组件11上；所述距离检测组件30设置于所述连接架20上，所述距离检测组件30用于测量其与载盘200之间的距离。

此外，所述取放片执行机构100还包括机械手和控制器，所述机械手和所述距离检测组件30分别与所述控制器电性连接，所述机械手与所述吸附组件11连接。机械手提供吸附组件11移动所需的动力，使硅片300能够在载盘200和镀膜设备之间转移。控制器根据距离检测组件30反馈的信号，向机械手输出指令，控制机械手准确止停在当前位置，保证吸附组件11与硅片300的间距符合吸附要求。

可选地，机械手可以是二轴机械手、三轴机械手、五轴机械手等其中的任意一种。控制器可以是PLC装置、微控计算机等其中的任意一种。这些都可以根据实际需要进行灵活选择。

综上，实施本实施例技术方案将具有如下有益效果：上述方案的取放片执行机构100应用装备于太阳电池加工设备中，具体用在镀膜加工时对硅片300进行取放作业的场合中。工作时，首先通过取放片执行模组10的吸附组件11从载盘200中将硅片300吸附固定，然后再转移并释放至镀膜设备中，待镀膜加工结束后，再从镀膜设备中将硅片300吸附固定并取出。在从载盘200上吸附硅片300之前，首先设定好距离检测组件30与载盘200的预设距离值，该预设距离值满足吸附组件11与硅片300采用非接触吸附时的间距要求。

如此一来，每次吸附组件11从载盘200上的不同位置吸取不同硅片300，通过距离检测组件30检测其与载盘200之间的实时距离等于预设距离值时，都能够保证吸附组件11与硅片300的间距满足吸附要求，避免出现间距过大导致漏吸，或者避免因间距过小造成吸附组件11与硅片300接触，致使硅片300受压损伤而出现吸盘112印的不良问题，保证产品良率。并且距离检测组件30能够实现吸附组件11与硅片300间距的自适应调节，不需要人力干预，效率高且精度高，有助于节省人力成本，并提高生产效率。

此外，在上述实施例的基础上，所述取放片执行模组10设置为多个，多个所述取放片执行模组10均与所述机械手直接或间接连接。例如，本实施例中取放片执行机构100还包括衔接架，多个取放片执行模组10安装在衔接架上并且阵列结构排布，衔接架与机械手相连，此时多个取放片执行模组10与机械手间接相连。

如此一来，机械手通过衔接架可同步带动多个取放片执行模组10移动至尺寸较大的硅片300上方，多个取放片执行模组10便可同时吸附固定硅片300，保证吸取硅片300稳固可靠，避免转移过程中出现掉片问题。

需要说明的是，仅出于取放硅片300的需求考虑，上述的吸附组件11在其它实施例中也可以采用柔性夹爪、具有粘接功能的夹具等进行替换，也都在本申请的保护范围内。

请继续参阅图1，在一些实施例中，所述吸附组件11包括吸附管道111，所述距离检测组件30包括安装座31和距离传感器32，所述距离传感器32通过所述安装座31设置于所述连接架20上。连接架20垂直于吸附管道111的径向延伸至一侧，安装座31与连接架20远离吸附管道111的一端相连并与吸附管道111并排设置，由此形成足够的安全间距。距离传感器32安装在安装座31的底面，能够与载盘200直接正面相对，便可检测与载盘200之间的距离，当某一时刻检测到的实时距离值等于控制器内存储的设定距离值时，距离传感器32便会反馈信号给控制器，控制器随即控制机械手停止下降，使吸附组件11稳固停止在硅片300上方合适高度。

可选地，距离传感器32可以是红外传感器、激光传感器等其中的任意一种，具体可根据实际需要进行选择。

此外，在上述实施例的基础上，所述距离检测组件30还包括安装杆33，安装杆33可升降运动的设置于所述连接架20上，所述安装座31设置于所述安装杆33上。通过安装杆33在连接架20上升降运动，可灵活调节距离传感器32与载盘200的距离，满足不同设定距离时，对于吸附不同尺寸硅片300的工作需要。

请继续参阅图1，进一步地，所述距离检测组件30还包括调节螺母34，所述安装杆33设置为螺杆，所述螺杆穿设于所述连接架20上，所述调节螺母34螺接于所述螺杆上且抵压设置于所述连接架20的上方。需要升降调节距离传感器32与载盘200的距离时，拧动调节螺母34，螺杆便可在螺纹副传动下升降移动，调节方式简单，且螺纹调节精度高，利于精准控制距离传感器32与载盘200的距离值。

更进一步地，所述调节螺母34设置为两个，其中一个所述调节螺母34抵压设置于所述连接架20的上方，另一个所述调节螺母34抵接于所述连接架20的下方。采用双调节螺栓与螺杆锁接配合，可保证螺杆安装更加稳固。

此外，在一些实施例中，所述连接架20包括第一架体21、第二架体和连接组件22，所述第一架体21和所述第二架体可拆卸的抱箍于所述吸附管道111的外部，所述连接组件22分别与所述第一架体21和所述第二架体可拆卸连接。因而连接架20方便拆装更换，且安装结构简单，连接可靠性高。可以理解的，连接组件22为螺栓组，螺栓组与第一架体21以及第二架体配合构成抱箍机构。

请继续参阅图1，在上述任一实施例的基础上，所述吸附组件11还包括吸盘112，所述吸盘112与所述吸附管道111接通，所述吸盘112用于对所述硅片300执行取放作业。所述吸盘112采用波纹管结构设计。因而吸盘112具有一定的伸缩弹性，可起到良好的缓冲作用，避免划伤吸盘112表面。

当然了，其它实施例中吸盘112也可以通过装备弹簧、弹性柱等具备弹性缓冲性能的部件来替代上述波纹管结构。

综上之外，本申请还提供一种太阳电池加工设备，其包括如上任一实施例所述的取放片执行机构100。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (10)

1.一种取放片执行机构，包括至少一个取放片执行模组，其特征在于，所述取放片执行模组包括：

吸附组件，所述吸附组件用于对硅片执行取放作业；

连接架，所述连接架设置于所述吸附组件上；以及

距离检测组件，所述距离检测组件设置于所述连接架上，所述距离检测组件用于测量其与载盘之间的距离。

2.根据权利要求1所述的取放片执行机构，其特征在于，所述距离检测组件包括安装座和距离传感器，所述距离传感器通过所述安装座设置于所述连接架上。

3.根据权利要求2所述的取放片执行机构，其特征在于，所述距离检测组件还包括安装杆，安装杆可升降运动的设置于所述连接架上，所述安装座设置于所述安装杆上。

4.根据权利要求3所述的取放片执行机构，其特征在于，所述距离检测组件还包括调节螺母，所述安装杆设置为螺杆，所述螺杆穿设于所述连接架上，所述调节螺母螺接于所述螺杆上且抵压设置于所述连接架的上方。

5.根据权利要求4所述的取放片执行机构，其特征在于，所述调节螺母设置为两个，其中一个所述调节螺母抵压设置于所述连接架的上方，另一个所述调节螺母抵接于所述连接架的下方。

6.根据权利要求1所述的取放片执行机构，其特征在于，所述连接架包括第一架体、第二架体和连接组件，所述吸附组件包括吸附管道，所述第一架体和所述第二架体可拆卸的抱箍于所述吸附管道的外部，所述连接组件分别与所述第一架体和所述第二架体可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的取放片执行机构，其特征在于，所述吸附组件还包括吸盘，所述吸盘与所述吸附管道接通，所述吸盘用于对所述硅片执行取放作业；

所述吸盘采用波纹管结构设计。

8.根据权利要求1至7任一项所述的取放片执行机构，其特征在于，所述取放片执行机构还包括机械手和控制器，所述机械手和所述距离检测组件分别与所述控制器电性连接，所述机械手与所述吸附组件连接。

9.根据权利要求8所述的取放片执行机构，其特征在于，所述取放片执行模组设置为多个，多个所述取放片执行模组均与所述机械手直接或间接连接。

10.一种太阳电池加工设备，其特征在于，包括如上述权利要求1至9任一项所述的取放片执行机构。

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