CN204453675U - 基板加工设备及其基板感测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种基板加工设备及其基板感测装置，基板感测装置包括：多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：传感器；连接部，连接至所述传感器；以及导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住通过所述基板，使所述基板沿预定路线传送。本实用新型提供的基板加工设备及其基板感测装置能够有效地防止基板破裂。

Description

基板加工设备及其基板感测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备，尤其涉及基板加工设备及其基板感测装置。

背景技术

在显示面板及各类半导体器件的制造过程中，需要通过基板传送设备传送基板，例如在光刻制程过程中使基板陆续经过刻蚀机台、清洗机台、除湿机台等。在机台间传送过程中，基板可能发生歪斜，进而导致基板破裂的情况。对于倾斜设计的传送带，在传送过程中尤其容易发生基板歪斜的情况。例如，基板通过倾斜的传送带从第一机台向第二机台传送，当基板完全停留在第二机台时，传送带会上升与第三机台水平衔接，当基板进一步传送并停留至第三机台时，传送带会下降至与第一机台衔接在这种情况下，时常会发生基板从第二机台传送到第三机台时，由于基板发生歪斜，并未完全离开第二机台，而基板加工设备认为基板已完成传送动作并离开第二机台，传送带此时会降下与第一机台衔接，就容易导致基板破裂的情况。

如图1A以及图1B所示，现有的基板感测装置在仅其机台的传送带11的一侧设有一传感器12，用于侦测是否有基板通过。当基板从传送带11上通过时，传感器12向基板加工设备发送信号，指示有基板通过传送带11。这样的基板感测装置并不能识别基板传送过程中的歪斜，因此，仍然会导致误判，进而出现基板破裂的情况。

实用新型内容

本实用新型为了克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种防止基板破裂的基板加工设备及其基板感测装置。

本实用新型提供一种基板感测装置，包括：多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：传感器；连接部，连接至所述传感器；以及导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住所述基板，使所述基板沿预定路线传送。

优选地，基板感测装置感测由一传送带传送的基板。

优选地，还包括导正控制模块，所述导正控制模块与所述传感器和所述连接部电性连接，并通过所述连接部控制所述导杆的转动。

优选地，分别位于所述基板一侧的所述传感导正组件的数量为两个。

优选地，多个所述传感导正组件位于所述传送带的传入端的两侧，所述导杆可转动的一端背向所述传入端；或者多个所述传感导正组件位于所述传送带的传出端的两侧，所述导杆可转动的一端朝向所述传出端。

优选地，所述传感器为摇摆式传感器，包括：支架，固定于所述连接部上；以及传感器振子，可摆动地安装于所述支架上，并朝向所述传送带传送基板的一面，所述传感器振子垂直于所述传送带时，其与所述传送带之间的距离小于所述基板的厚度。

优选地，所述传感器位于所述传送带的传送区域内，所述导杆位于所述传送带的传送区域外。

优选地，所述传感器为红外线传感器，所述红外线传感器位于所述传送带传送区域内或传送区域外。

优选地，还包括预警模块，所述预警模块与所述传感器电性连接，并根据所述传感器的信号控制所述传送带停止传送所述基板。

本实用新型还提供一种基板加工设备，包括依次布置的多个机台，所述多个机台包括依次连接第一机台和第二机台，其中，所述第一机台可升降地与所述第二机台水平衔接，所述第一机台和/或所述第二机台包括如上所述的基板感测装置。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1)能够通过位于传送带两侧的传感器检测传送的基板是否歪斜；

2)能够通过位于传送带两侧的导杆对传送的基板进行导正，使传送 时发生歪斜的基板能够回到正常的传送位置；

3)能够通过传感器的检测进一步控制导杆的转动，以对传送的基板进行更为精确的导正；以及

4)能够通过预警模块，当基板歪斜时发出停机信号，进而防止基板破裂。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本实用新型的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1A示出了现有技术的基板感测装置的俯视图。

图1B示出了现有技术的基板感测装置的右视图。

图2示出了本实用新型第一实施例的基板感测装置的俯视图。

图3示出了本实用新型第一实施例的基板感测装置的后视图。

图4示出了本实用新型第二实施例的基板感测装置的俯视图。

图5示出了本实用新型第三实施例的基板感测装置的俯视图。

图6示出了本实用新型第四实施例的基板感测装置的示意图。

其中，附图标记说明如下：

11 传送带

12 传感器

20 传送带

30 传感导正组件 

31 传感器

311 支架

312 传感器振子 

32 连接部

33 导杆

34 连接杆

40 导正控制模块 

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构。

参见图2及图3，其示出了本实用新型第一实施例的基板感测装置。该基板感测装置包括多个传感导正组件30。基板感测装置感测由传送带20传送的基板。在一些变化例中，基板还可通过其他方式，例如机械手进行传送。多个传感导正组件30位于传送带20的两侧。优选地，分别位于基板一侧的传感导正组件30的数量为两个，基板通过传送带20从两个传感导正组件30之间通过。各传感导正组件30包括传感器31、连接部32以及导杆33。传感器31与导杆33通过连接部32连接。

传感器32可以是摇摆式传感器，具有支架311，以及可绕支架312摆动的传感器振子312。优选地，传感器振子312通过一销轴固定于支架312上，并可绕销轴摆动。传感器振子312与传送带20传送基板的一面相对。当传送带20传送基板时，基板推动传感器振子312，使传感器振子312绕销轴摆动一定角度，并向基板加工设备发送一信号，指示有基板通过该传送带20。传感器32也可以红外线传感器、压力传感器等其他类型的传感器。传感器32的支架312可以通过连接杆34与连接部32连接，也可以与连接部32一体成型。

连接部32可以是一轴承。连接部32可通过外设的支架固定于传送带20传送基板的一面的上方悬空。在一些实施例中，连接部32也可以通过其他方式固定于传送带20的侧面。

导杆33一端固定于连接部32，另一端可绕连接部32转动。其中，位于传送带20两侧的导杆33抵住通过传送带20传送的基板，对基板进行导正，使基板沿预定路线传送，例如，使基板的侧边平行于传送带20的侧边。在一些变化例中，连接部32处设置有回复力机构，例如弹簧，使得导杆33由于歪斜的基板通过而微动后仍能回复初始状态，使期间通过的基板能够沿预定路线传送。优选地，导杆33可采用聚四氯乙烯(teflon)材料制成，聚四氯乙烯(teflon)材料具有极低的摩擦系数和良好的耐磨 性、滑动性，进而能有效减少、防止基板直接接触导杆33所产生的破片、崩边、缺角等异常。另外，导杆33可根据使用需求进行更换。

在本实施例中，两个传感导正组件30位于传送带20传入端的两侧，导杆33可转动的一端背向传送带20的传入端，以对从传送带20传入的基板进行导正。

图4示出了本实用新型第二实施例的基板感测装置。与第一实施例不同的是，两个传感导正组件30位于传送带20传出端的两侧，导杆33可转动的一端朝向传送带20的传出端，以对从传送带20传出的基板进行导正。

图5示出了本实用新型第三实施例的基板感测装置。与第一实施例不同的是，两个传感器31为红外线传感器，其能够对由传送带20传送的基板进行感测。例如，两个传感器31位于传送带20传送区域外的两侧，以对通过其间的基板进行感测。在另一些实施例中，两个传感器31位于传送带20传送区域内的两侧，以对通过其间的基板进行感测。

图6示出了本实用新型第四实施例的基板感测装置。与第一实施例不同的是，基板感测装置还包括一导正控制模块40。导正控制模块40接收传感器31传来的信号，进而通过连接部32控制导杆33的转动。

在上述实施例的一个变化例中，基板感测装置还包括一预警模块，预警模块与传感器电性连接。当传感器检测通过传送带传送的基板发生歪斜时，向预警模块发送一信号，指示预警模块控制传送带停止传送基板。进一步地，当传感器检测通过传送带传送的基板发生歪斜时，并不能由导杆进行导正时，向预警模块发送一信号，指示预警模块控制传送带停止传送基板。

可见，基板感测装置主要感测基板通过与否、歪斜与否、是否需要进行预警等，但并不以此为限。

本实用新型还提供一种基板加工设备。优选地，本实用新型提供的基板加工设备用于OLED面板制程，但并不以此为限。基板加工设备包括多个用于刻蚀、清洗和/或除湿的机台。多个机台根据所述基板加工步骤依次连接。例如基板加工设备包括三个用于刻蚀的机台、六个用于清洗的机台以及一个用于除湿的机台，上述多个机台根据基板的加工步骤(如，刻蚀、清洗 以及除湿)依次连接。基板加工设备中至少一个机台中包括基板感测装置。

具体地，多个机台包括依次连接第一机台和第二机台。第一机台可升降地与第二机台水平衔接，第一机台和/或第二机台包括基板感测装置。其中，第一机台和第二机台可以是用于刻蚀的机台、用于清洗的机台或者用于除湿的机台。第一机台和第二机台可以是同类型的基板加工步骤使用的机台，也可以是不同类型的基板加工步骤使用的机台。

例如，第一机台具有倾斜的传送带，当基板从前一机台传送至完全停留在第一机台时，传送带会上升与第二机台水平衔接，当基板进一步传送并停留至第二机台时，传送带会下降至与上述前一机台衔接。在第一机台的传出端设置基板感测装置和/或在第二机台的传入端设置基板感测装置。具体而言，设置在第一机台传出端的基板感测装置可对第一机台的传送带上传出的基板进行侦测和导正，设置在第二机台传入端的基板感测装置可对第二机台的传送带上传入的基板进行侦测和导正，进而防止第一机台传送带升降所造成的基板破裂。

本领域技术人员可以理解，当多个机台都包括基板感测装置时，可共用一个导正控制模块和/或预警模块。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1)能够通过位于传送带两侧的传感器检测传送的基板是否歪斜；

2)能够通过位于传送带两侧的导杆对传送的基板进行导正，使传送时发生歪斜的基板能够回到正常的传送位置；

3)能够通过传感器的检测进一步控制导杆的转动，以对传送的基板进行更为精确的导正；以及

4)能够通过预警模块，当基板歪斜时发出停机信号，进而防止基板破裂。

以上具体地示出和描述了本实用新型的示例性实施方式。应该理解，本实用新型不限于所公开的实施方式，相反，本实用新型意图涵盖包含在所附权利要求范围内的各种修改和等效置换。

Claims (10)

1.一种基板感测装置，其特征在于，包括：

多个传感导正组件，位于基板两侧，各所述传感导正组件包括：

传感器；

连接部，连接至所述传感器；以及

导杆，所述导杆的一端固定于所述连接部，另一端可绕所述连接部转动，其中，位于所述基板两侧的导杆可转动的一端抵住所述基板，使所述基板沿预定路线传送。

2.如权利要求1所述的基板感测装置，其特征在于，所述基板感测装置感测由一传送带传送的基板。

3.如权利要求1或2所述的基板感测装置，其特征在于，还包括导正控制模块，所述导正控制模块与所述传感器和所述连接部电性连接，并通过所述连接部控制所述导杆的转动。

4.如权利要求1或2所述的基板感测装置，其特征在于，分别位于所述基板一侧的所述传感导正组件的数量为两个。

5.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，

多个所述传感导正组件位于所述传送带的传入端的两侧，所述导杆可转动的一端背向所述传入端；或者

多个所述传感导正组件位于所述传送带的传出端的两侧，所述导杆可转动的一端朝向所述传出端。

6.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器为摇摆式传感器，包括：

支架，固定于所述连接部上；以及

传感器振子，可摆动地安装于所述支架上，并朝向所述传送带传送基板的一面，所述传感器振子垂直于所述传送带时，其与所述传送带之间的距离小于所述基板的厚度。

7.如权利要求6所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器位于所述传送带的传送区域内，所述导杆位于所述传送带的传送区域外。

8.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，所述传感器为红外线传感器，所述红外线传感器位于所述传送带传送区域内或传送区域外。

9.如权利要求2所述的基板感测装置，其特征在于，还包括预警模块，所述预警模块与所述传感器电性连接，并根据所述传感器的信号控制所述传送带停止传送所述基板。

10.一种基板加工设备，其特征在于，所述基板加工设备包括依次布置的多个机台，所述多个机台包括依次连接第一机台和第二机台，所述第一机台可升降地与所述第二机台水平衔接，所述第一机台和/或所述第二机台包括如权利要求1至9所述的基板感测装置。