CN1394296A - 感光性树脂组合物 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂与含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，光敏剂包含具有不同平均酯化率的两种或多种酯的混合物，所述酯为由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的酯化产物。作为光敏剂，优选光敏剂A与光敏剂B的混合物，光敏剂A包含由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为X％(50≤X≤100)的酯化产物，光敏剂B包含由四羟基二苯甲酮与1，2－萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为Y％(25≤Y≤(X－10))的酯化产物，混合比例A∶B为10－90∶90－10。

Description

感光性树脂组合物
技术领域
本发明涉及一种感光性树脂组合物，更具体地，本发明涉及一种适用于生产半导体装置或平面平板显示器(FPD)的感光性树脂组合物。
背景技术
在生产半导体集成电路如LSI、FPD显示平板以及、生产用于热位差等的电路衬底等用途的广泛领域中，照相平版印刷术一直被用来形成微型元件或进行精细加工。在照相平版印刷术中，采用正型或负型感光性树脂组合物形成抗蚀剂图案。这些感光性树脂组合物中，含有碱溶性树脂和醌二叠氮化合物的光敏剂的那些组合物是最常规采用的正型感光性树脂组合物。作为此类组合物，在许多文献中描述了具有不同配方的组合物，例如“酚醛清漆树脂/醌二叠氮化合物”，所述文献例如为：日本第23570/1979号(相应于美国第3,666,473号专利)和第30850/1981号(相应于美国第4,115,128号专利)已审专利公开，日本第73045/1980号、第205933/1986号等未审专利公开。从同时考虑酚醛清漆树脂和光敏剂的观点出发，目前已深入研究了含酚醛清漆树脂及醌二叠氮化合物的那些组合物。考虑到酚醛清漆树脂，通过改善常规已知树脂的物理性质和其它性质以及开发新的树脂，获得了具有优异性能的感光性树脂。例如，日本第140235/1985号和第105243/1989号未审专利公开描述了具有优异性能的感光性树脂组合物，这些组合物采用了具有特定分子量分布的酚醛清漆树脂。日本第97347/1985号和第189739/1985号未审专利公开以及日本第2590342号专利公开描述了使用从中除去树脂的低分子量组份的酚醛清漆树脂提供具有优异性能的感光性树脂组合物的技术。
但是，半导体元件集成电路的集成程度逐年增加，在半导体元件生产过程中，已要求线宽度低于亚微米级的图案加工技术。目前上述公知的技术还不能充分满足这些要求。进而，在液晶显示器(LCD)等显示面板的生产过程中，由于母玻璃板尺寸变得更大，因而要求改善生产能力(单体时间的产量)以增加所生产的玻璃平板的数量。为了满足这些要求，就需要增加感光性树脂组合物的敏感性，此外，还需要感光性树脂组合物显示出高的膜剩余特性和较小的烘烤或显影过程中的加工依赖性。
为了增强感光性树脂组合物的敏感性，通常采用低分子量树脂或降低感光剂的用量。但是，这种技术也会引起其它一些问题，如抗蚀剂的耐热性降低，从而在生产半导体装置的过程中耐蚀刻性降低，使得显影能力变差，以至于会形成浮渣(未显影部分)，或者膜剩余率降低。为解决上述问题，已提出了如下的一些技术，其中，由具有特定分子量范围的特定酚化合物的混合物为原料，采用由其得到的酚醛清漆树脂混合物的树脂(日本第271024/1995号未审专利公开)；采用由特定酚化合物得到的并具有特定分子量范围的、以及在碱中具有特定分散程度和特定溶解率的酚醛清漆树脂，并使用具有酚性羟基基团的多羟基化合物(日本第184963/1996号未审专利公开)；采用三羟基二苯甲酮与萘醌二叠氮基磺酸的酯与三羟基二苯甲酮以一定比例的混合物作为感光性组份(日本第82926/1996号未审专利公开)；采用2，3，4-三羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酸以特定酯化率形成的酯和2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酸以特定酯化率形成的酯的混合物作为光敏剂(日本第109051/1990号未审专利公开)；采用特定多羟基化合物与1，2-萘醌二叠氮化物-5-和/或-4-磺酸的酯。作为光敏剂其具有一定量的特定四酯组份(日本第15853/1997号未审专利公开)；以及采用特定比例的2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酸的酯和2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-4-磺酸的酯的混合物作为光敏剂(日本第15853/1997号未审专利公开)。但是，这些技术还不能满足以上的所有要求。因此，仍希望开发出具有满意的高敏感性、满意的高膜剩余特性、满意的低加工依赖性和满意的优异图案形成特性的感光性树脂组合物。
考虑到如上所述的情况，本发明提供了实际上同时达到高膜剩余特性和高敏感性的感光性树脂组合物，并且，该组合物还具有低的加工依赖性和优异的图案形成特性。
发明描述
经过深入研究，本发明的发明人发现，在包含碱溶性树脂和含醌二叠氮化物基团的光敏剂的感光性树脂组合物中，采用两种或多种具有不同平均酯化率的光敏剂作为光敏剂组份，可实现上述目的，基于此发现，完成了本发明。
也就是说，本发明是一种感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂与含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，光敏剂包含由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的具有不同酯化率的酯化产物。
通过采用本发明的感光性树脂组合物可以实现上述本发明目的，其原因可能是基于以下的分析，但它们无论如何并非对本发明的限制。
也就是说，在本发明中，采用具有相对较高酯化率的光敏剂与具有相对较低酯化率的光敏剂的混合物，据认为，具有相对较高酯化率的光敏剂显示出改善膜剩余率的效果，而具有相对较低酯化率的光敏剂则显示出形成厚的、轻微可溶性表面层的效果。具有相对较高酯化率的光敏剂具有相比较而言较少的自由羟基，因此，显示出在碱性显影剂中相对较低的溶解性，因此，显示出高膜剩余率，但是，于感光性树脂层的表面上由碱性显影剂经显影形成的轻微可溶性层会在厚度上变薄。另一方面，具有相对较低酯化率的光敏剂则具有相比较而言较多的自由羟基，当使用时，其显示出膜剩余率降低，但形成较厚的轻微可溶性表面层。因此，可以认为，当通过采用具有相对较低的酯化率的光敏剂组合形成较厚的轻微可溶性表面层时，厚的轻微可溶性层在显影时会起到防止溶解层的作用，即使溶剂从感光性树脂完全除去之前进行感光性树脂组合物的曝光和显影也是如此，其用于防止感光性树脂组合物从其内部溶出并形成光滑的表面层。当采用玻璃衬底为衬底时，在玻璃衬底上的感光性树脂组合物在与硅片在相同条件下进行预烘烤时的温度也低于硅片的相应温度，这是因为玻璃衬底比起硅片具有更低的传热性和更高的厚度，因此，玻璃板上的感光性树脂组合物就会在溶剂未完全除去的状态下进行曝光和显影。因此，似乎采用本发明的感光性树脂组合物在生产以玻璃衬底为衬底的FPD等时更易于获得更优选的结果。
以下更详细地描述本发明。
用作制备本发明感光性酚醛清漆树脂的碱溶性树脂可为任一种在本领域中公知的用于常规感光性组合物中的碱溶性树脂，所述组合物包含碱溶性树脂和含醌二叠氮化物基团的光敏剂。碱溶性树脂中，优选采用酚醛清漆树脂。优选用于本发明中的碱溶性酚醛清漆树脂是通过一种酚类或其混合物与至少一种醛类如福尔马林进行缩聚生产的。
作为用来生产上述酚醛清漆树脂的酚类，可以采用：苯酚、对甲酚、间甲酚、邻甲酚、2，3-二甲基苯酚、2，4-二甲基苯酚、2，5-二甲基苯酚、2，6-二甲基苯酚、3，4-二甲基苯酚、3，5-二甲基苯酚、2，3，4-三甲基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、2，4，5-三甲基苯酚、亚甲基-双酚、亚甲基-双对甲酚、间苯二酚、邻苯二酚、2-甲基间苯二酚、4-甲基间苯二酚、邻氯苯酚、间氯苯酚、对氯苯酚、2，3-二氯苯酚、间甲氧基苯酚、对甲氧基苯酚、对叔丁氧基苯酚、邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚、2，3-二乙基苯酚、2，5-二乙基苯酚、对异丙基苯酚、α-萘酚、β-萘酚等。它们可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。
作为醛类，可以使用：低聚甲醛、乙醛、苯甲醛、羟基苯甲醛、氯乙醛等以及福尔马林。它们可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。
用于本发明感光性树脂组合物中的酚醛清漆树脂的重均分子量，采用聚苯乙烯测量法测得，优选为2,000-50,000，更优选3,000-40,000，首选4,000-30,000。
用于本发明感光性树脂组合物中的含醌二叠氮化物基团的光敏剂，可采用四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的酯化产物。该酯化产物优选是使醌二叠氮化物磺酰卤如萘醌二叠氮化物磺酰氯与四羟基二苯甲酮反应获得的。作为四羟基二苯甲酮，可采用2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羟基二苯甲酮等。作为醌二叠氮化物磺酰卤，可采用1，2-萘醌二叠氮化物-4-、-5-或-6-磺酰卤，特别优选1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰卤。
在本发明中，采用由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的具有不同平均酯化率的两种或多种酯化产物的混合物作为光敏剂。作为两种或多种光敏剂的混合物，优选以下光敏剂A与光敏剂B的混合物，光敏剂A包含由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为X％(50≤X≤100)的酯化产物，光敏剂B包含由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为Y％(25≤Y≤(X-10))的酯化产物，混合比例A∶B为10-90∶90-10。更优选混合比例为30-70∶70-30的混合物。
在本发明中，术语“平均酯化率”是指由包含于光敏剂中的单酯化产物至四酯化产物的构成比例。通常，在通过使四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸反应生产酯化产物时，获得的酯化产物为两种或多种酯的混合物。在本发明中，光敏剂A或B可为通过合成反应获得的酯化产物的混合物，可以为通过合成反应获得的酯化产物从中除去部分酯后的混合物，或者可为由混合物分离出来的单酯、二酯、三酯或四酯。当光敏剂包含分离的酯时，对包含单酯的光敏剂，在本发明中述的平均酯化率为25％，或者分别对包含二酯、三酯和四酯的光敏剂，为50％、75％和100％。
在本发明中，由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的具有不同平均酯化率的两种或多种酯化产物的混合物的光敏剂的含量优选为10-30重量份，更优选15-25重量份，以感光性树脂组合物中100重量份碱溶性树脂组份为基准。如果该含量低于10重量份，则会导致膜剩余率下降，而如果超过30重量份时，则会使敏感性太低，从而该含量实际中会产生问题。
此外，在本发明的感光性树脂组合物中，可采用具有酚性羟基的低分子化合物作为溶解加速剂以调节感光性树脂组合物的溶解速率或用于改善或调节感光性树脂组合物的敏感性。
作为具有酚性羟基的低分子化合物，例如可采用邻甲酚、间甲酚、对甲酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、双酚A、B、C、E、F或G、4，4′，4″-次甲基三苯酚、2，6-双[(2-羟基-5-甲基苯基)甲基]-4-甲基苯酚、4，4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚、4，4′，4″-次乙基三苯酚、4-[双(4-羟基苯基)甲基]-2-乙氧基苯酚、4，4′-[(2-羟基苯基)亚甲基]双[2，3-二甲基苯酚]、4，4′-[(3-羟基苯基)亚甲基]双[2，6-二甲基苯酚]、4，4′-[(4-羟基苯基)亚甲基]双[2，6-二甲基苯酚]、2，2′-[(2-羟基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、2，2′-[(4-羟基苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基苯酚]、4，4′-[(3，4-二羟基苯基)亚甲基]双[2，3，6-三甲基苯酚]、4-[双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)甲基]-1，2-苯二醇、4，6-双[(3，5-二甲基-4-羟基苯基)甲基]-1，2，3-苯三醇、4，4′-[(2-羟基苯基)亚甲基]双[3-甲基苯酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-亚丙-3-基)三苯酚、4，4′，4″，4-(1，4-亚苯基二次甲基)四苯酚、2，4，6-三[(3，5-二甲基-4-羟基苯基)甲基]-1，3-苯二醇、2，4，6-三[(3，5-二甲基-2-羟基苯基)甲基]-1，3-苯二醇、4，4′-[1-[4-[1-[4-羟基-3，5-双[(羟基-3-甲基苯基)甲基]苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双[2，6-双(羟基-3-甲基苯基)甲基]苯酚等。如果使用这些具有酚性羟基基团的低分子化合物，则它们的用量通常为1-20重量份，优选3-15重量份，以100重量份碱溶性树脂为基准。
进而，在本发明的感光性树脂组合物中，还优选采用树脂添加剂，如聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚苯乙烯衍生物或由选自丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯和苯乙烯衍生物中至少两种单体获得的共聚物，将其作为溶解抑制剂来调节感光性树脂组合物的溶解速度，或者用于改善或调节感光性树脂组合物的敏感性。
用于溶解本发明中碱性可溶性树脂、光敏剂、具有酚性羟基的低分子化合物和树脂添加剂的溶剂实例包括：乙二醇单烷基醚，如，乙二醇单甲基醚和乙二醇单乙基醚；乙二醇单烷基醚乙酸酯，如乙二醇单甲基醚乙酸酯和乙二醇单乙基醚乙酸酯；丙二醇单烷基醚，如丙二醇单甲基醚和丙二醇单乙基醚；丙二醇单烷基醚乙酸酯，如丙二醇单甲基醚乙酸酯和丙二醇单乙基醚乙酸酯；乳酸酯，如乳酸甲酯和乳酸乙酯；芳族烃，如甲苯和二甲苯；酮如甲乙酮、2-庚酮和环己酮；酰胺如N，N-二甲基乙酰胺和N-甲基吡咯烷酮；内酯如γ-丁内酯；等等。这些溶剂可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。
进而，在本发明的感光性树脂组合物中必要时还可掺入染料、粘合助剂、表面活性剂等。染料的实例包括：甲基紫、结晶紫、孔雀石绿等；粘合助剂的实例包括：烷基咪唑啉、丁酸、烷基酸(alkylacid)、多羟基苯乙烯、聚乙烯基甲基醚、叔丁基酚醛清漆、环氧硅烷、环氧聚合物、硅烷等；表面活性剂的实例包括：非离子表面活性剂，如聚乙二醇和其衍生物，如聚丙二醇、聚氧乙烯月桂基醚等，含氟表面活性剂，如Fluorad(商品名；由Sumitomo 3M Ltd.生产)、Megafac(商品名；由Dainippon Ink & Chemicals，Inc.生产)、Sulflon(商品名；由Asahi Glass Co.，Ltd.生产)或有机硅氧烷表面活性剂如KP341(商品名；由Shin-Etsu Chemical Co.，Ltd.生产)。
实施例
通过下述实施例进一步说明本发明，但是，所述实施例并非对本发明保护范围的限制。
实施例1
将100重量份重均分子量为8,000(经聚苯乙烯标准测量)的酚醛清漆树脂、25重量份的酯化产物的混合物(即平均酯化率87.5％由2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰氯的酯化产物(光敏剂a)与平均酯化率75.0％由2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰氯的酯化产物(光敏剂b)的混合物，其混合比为a∶b＝50∶50)和5重量份的4，4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]-双酚溶解于390重量份的丙二醇单甲基醚乙酸酯中，进而，向其中加入以总固体含量计300ppm含氟表面活性剂Megafac(由Dainippon Ink & Chemicals，Inc.生产)，搅拌并通过0.2μm的过滤器过滤，制备本发明的感光性树脂组合物。将该组合物旋涂至4英寸的硅片和4英寸的玻璃板上，在100℃下于加热板上烘烤90秒，获得1.5μm厚度的抗蚀刻膜。将每种抗蚀刻膜用g+h线步进装置(FX-604F，Nikon Co.，Ltd.制造)进行曝光，再在23℃下用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液显影60秒。测量显影前后的膜厚度获得的膜厚度计算膜剩余率。此外，需要完全溶解解析框架(open frame)所需的曝光量取为敏感度(Eth)，观察5μm图案表面的状态。从而，获得表1所示的结果。
实施例2-5和比较例1和2
进行与实施例1所述相同的过程，只是如表1所示改变光敏剂a和b的比例，并适当地改变光敏剂的用量，以调节敏感性至与实施例1中的感光性树脂组合物大体相同的程度。因此，获得表1所示的结果。
比较例3和4
进行与实施例1所述相同的过程，只是如表1所示改变光敏剂a和b的比例，但不改变用于调节敏感性的光敏剂的用量，获得表1所示的结果。
                                               表1
        光敏剂          Si衬底结果             玻璃衬底结果
    a(重量％)     b(重量％)     Eth(mJ/cm2)   膜剩余率(％)     Eth(mJ/cm2)  膜剩余率(％)  图案表面状态
实施例1     50     50     12.2     97.9     11.1     88.3     ◎
实施例2     90     10     12.2     98.2     11.1     86.1     ○
实施例3     67     33     12.2     98.0     11.1     87.4     ○
实施例4     33     67     12.2     97.7     11.1     88.2     ◎
实施例5     10     90     12.2     97.0     11.1     87.8     ○
比较例1     100     0     12.2     98.3     11.1     85.5     ×
比较例2     0     100     12.2     96.0     11.1     87.0     △
比较例3     100     0     17.0     99.4     15.2     90.2     ×
比较例4     0     100     10.6     90.5     9.8     82.3     ×
◎：图案形式良好，无表面粗糙
○：图案形式良好，轻微表面粗糙
×：图案形式差，轻微表面粗糙
△：图案形式差，严重表面粗糙
从表1可以看出，除比较例3和4外，在实施例和比较例中的敏感性和在硅片上的膜剩余率基本相同，对图案表面的状态未观察到差异。但是，对于在用于实际生产FPD等的玻璃衬底上形成的每种膜的图案表面状态来说，在实施例与比较例之间观察到很大的差异。即使当在相同的预烘烤条件下处理时，涂敷于硅片上的感光性树脂组合物和涂敷于玻璃衬底的感光性树脂组合物显示出在预烘烤时巨大的温度分布差异，这是因为在硅片与玻璃衬底间厚度上存在差异，在硅与玻璃的导热性方面存在差异，于玻璃衬底上的组合物比起硅片上的组合物处于相对较低的温度。表1的结果还表明，即使当在感光性树脂组合物中在预烘烤时实质温度分布不同，本发明的感光性树脂组合物形成的图案表面无粗糙性，而这种粗糙性会对蚀刻有不利的影响，并显示出与比较例中显示的由单一的光敏剂组成的感光性组合物相比高的膜剩余率，并可形成优良的图案，从而提供了具有良好平衡性能的组合物。
实施例6
将100重量份重均分子量为8,000(经聚苯乙烯标准测量)的酚醛清漆树脂、25重量份的酯化产物的混合物(即平均酯化率87.5％由2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰氯的酯化产物(光敏剂a)与平均酯化率62.5％由2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物-5-磺酰氯的酯化产物(光敏剂c)的混合物，其混合比为a∶c＝50∶50)和5重量份的4，4′-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]-双酚溶解于390重量份的丙二醇单甲基醚乙酸酯中，进而，向其中加入以总固体含量计300ppm含氟表面活性剂Megafac(由Dainippon Ink & Chemicals，Inc.生产)，搅拌并通过0.2μm的过滤器过滤，制备本发明的感光性树脂组合物。将该组合物旋涂至4英寸的硅片和4英寸的玻璃板上，在100℃下于加热板上烘烤90秒，获得1.5μm厚度的树脂膜。将每种树脂膜用g+h线步进装置(FX-604F，Nikon Co.，Ltd.制造)进行曝光，再在23℃下用2.38重量％的四甲基氢氧化铵水溶液显影60秒。测量显影前后的膜厚度获得的膜厚度计算膜剩余率。此外，需要完全溶解解析框架所需的曝光量取为敏感度(Eth)，观察5μm图案表面的状态。从而，获得表2所示的结果。
实施例7-10和比较例5
进行与实施例6所述相同的过程，只是如表2所示改变光敏剂a和c的比例，并适当地改变光敏剂的用量，以调节敏感性至与实施例6中的感光性树脂组合物大体相同的程度。因此，获得表2所示的结果。
比较例6
进行与实施例6所述相同的过程，只是如表2所示改变光敏剂a和c的比例(但不改变用于调节敏感性的光敏剂的用量)，获得表2所示的结果。
                                      表2
         光敏剂        Si衬底结果              玻璃衬底结果
    a(重量％)     c(重量％)     Eth(mJ/cm2)   膜剩余率(％)     Eth(mJ/cm2)   膜剩余率(％) 图案表面状态
实施例6     50     50     12.2     97.0     11.1     87.8     ◎
实施例7     90     10     12.2     98.0     11.1     86.3     ○
实施例8     67     33     12.2     97.7     11.1     88.5     ◎
实施例9     33     67     12.2     95.5     11.1     87.5     ○
实施例10     10     90     12.2     93.0     11.1     87.0     ○
比较例1     100     0     12.2     98.3     11.1     85.5     ×
比较例3     100     0     17.0     99.4     15.2     90.2     ×
比较例5     0     100     12.2     90.0     11.1     85.0     ×
比较例6     0     100     8.4     82.3     7.6     78.5     ×
◎：图案形式良好，无表面粗糙
○：图案形式良好，轻微表面粗糙
×：图案形式差，严重表面粗糙
从表2的结果看出，只要采用两种或多种具有不同平均酯化率的光敏剂的混合物，即可获得如表1所示相同的效果，即使所采用的两种光敏剂的酯化率与实施例1-5中的光敏剂不同。比较表2中实施例6的结果与表1中比较例2和4的结果，可以看出，虽然在这些实施例和比较例中感光性树脂组合物的总光敏剂的平均酯化率同为75％，但是，使用具有不同平均酯化率的光敏剂的混合物(实施例6)与使用单一光敏剂的情形(比较例2和4)相比，提供了显示出更少粗糙图案表面的组合物。
此外，在实施例中获得的所有抗蚀剂图案均未形成浮渣，并显示出良好的形状。另外，在实施例中所有的感光性树脂组合物均显示出低加工依赖性。由这些结果看出，通过使用具有不同平均酯化率的光敏剂的混合物，本发明的感光性树脂组合物提供了显示出良好平衡性能的感光性树脂组合物，如具有优良的敏感性、优良的膜剩余率和优良的图案表面状态。
本发明的优点
由以上描述可以看出，本发明提供了一种能够获得同时实现高膜剩余率和高敏感性的感光性树脂组合物，该组合物具有低加工依赖性，并可形成良好的图案。

Claims (2)

1.一种感光性树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂与一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，所述光敏剂包含具有不同平均酯化率的两种或多种酯的混合物，所述酯为由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的酯化产物。
2.根据权利要求1的感光性树脂组合物，其中，所述光敏剂是光敏剂A与光敏剂B的混合物，所述光敏剂A包含由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为X％的酯化产物，其中，50≤X≤100，光敏剂B包含由四羟基二苯甲酮与1，2-萘醌二叠氮化物磺酸形成的平均酯化率为Y％的酯化产物，其中，25≤Y≤(X-10)，混合比例A∶B为10-90∶90-10。
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