538308 五、 發明說明（ 1 ) 發 明所 屬之技 術領域 本發 明係關 於適用於感光性組成物，更詳，細 而 言 爲 半 導 體 裝置 、平面 面板顯示器（FPD )之製造等之 感 光 性 樹 脂 組 成物 〇 習 知技 術 在初 建立LSI等之半導體積體迴路、或FPD 顯 示 面 板 之 製 造、 熱頭端 (t h e r m a I h e a d )等之迴路基板製 造 等 的 寬 廣 領 域中 ，爲了 進行細微元件之形成或細微加工 ， 使 用 以 往 微 影技 術。於 微影技術中，爲了形成阻劑圖案 而 使 用 正 型 或 負型 的感光 性樹脂組成物。該等感光性樹脂 組 成 物 之 中 正型 感光性 樹脂組成物，係廣泛使用鹼性可 溶 性 樹 脂 與 含有苯 醌二疊 氮化合物爲感光劑的組成物。該 組 成 物 ， 例 如 「酚 醛淸漆 樹脂/苯醌二疊氮化合物」方面 5 記 載 各 種 組 成者 於特公 昭54 - 23 5 70號公報（美國專利第 ί 3 ,666 ，473 號 說明 書） 、特公昭 5 6 - 3 08 50號公報（美國： 專 利 第 4, 115, 128號說明書）、特開昭55-73 045號.公 報 特 開 昭 61-205933 號 公報等許多文獻中。該等包含酚 醛 淸 漆 樹 脂 與 苯醌 二疊氮 化合物之組成物，迄今正由酚醛 淸 漆 樹 脂 及 感 光劑 兩方面 來進行硏究開發。由酚醛淸漆樹 脂 之 觀 點 當 然是 新樹脂 之開發，但亦爲以改善習知之樹 脂 物 性 等 得 到 里有 〆、1 j 優異特 :性之感光性樹脂組成物。例如 ? 於 特 開 昭 60 -1 4023 5 號〔 公報、特開平1 - 1 〇 5 2 4 3號公報中 維 持 酚 醛 淸 漆樹 脂所有 之特有分子量分布，又於特開昭 -3- 60 '> 97347 538308 五、發明說明（2) 號公報、特開昭60 - 1 89739號公報、專利第25 903 42號公 報中，使用已個別除去低分子量成分之酚醛淸漆樹脂，提 供具有優異特性之感光性樹脂組成物的技術。 然而，半導體元件之積體迴路之積體度係已年年提高， 於半導體元件等之製造中，要求亞微細粒（subnn cron)以 下線寬之圖案加工，於前述習知技術中則不能充分地應付 。又，於液晶顯示器（LCD )等之顯示面板的製造中，由 於母玻璃之大型化同時生產片數之增加而要求生產量（每 單位時間之產量）之提昇，針對於此要求感光性樹脂組成 物之高感度化，更期望與其共同之感光性組成物中，爲高 殘膜性者及使烘焙、顯像等之製程依賴性變小。 一般地，爲了感光性樹脂組成物之高感度化，進行一邊 使用低分子量之樹脂，一邊減少感光劑之添加量之操作。 然而，以如此之方法，則阻劑之耐熱性會降低，一方面於 半導體裝置等之製造步驟中之耐蝕刻性降低，一方面顯像 性惡化並產生浮渣（顯像殘渣），因而產生殘膜率降低等 之問題。爲了解決如此之問題，迄今，提案使用特定由特 定苯酚化合物之混合物所衍生之酚醛淸漆樹脂混合物之分 子量範圍之樹脂的技術（特開平7 - 27 1 024號公報），使 用特定由特定之苯酚化合物所衍生之酚醛淸漆樹脂之分子 量範圍、分散度、鹼溶解速度之樹脂，與具有苯酚性羥基 之聚羥基化合物之技術（特開平8 - 1 8496 3號公報），使 用含有以特定比例之三羥基二苯甲酮之萘醌二疊氮磺酸酯 -4- 538308 五、發明說明（3) 與三羥基二苯甲酮之感光成分的技術（特開平8 - 8 2 9 2 6號 公報）、使用特定酯化率之2，3，4 -三羥基二苯甲酮之 1，2 -萘醌二疊氮-5 -磺酸酯與2，3 , 4 , 4，-四羥基二苯甲酮之 1，2 -萘醌二疊氮-5 -磺酸酯之混合物作爲感光劑之技術（ 特開平2 - 1 () 9 0 5 1號公報）、使用以特定聚羥基化合物之 1 , 2 -萘醌二疊氮-5 -及/或-4 -磺酸酯來規定四酯成份量之 感光劑的技術（特開平9 - 1 585 3號公報）、使用以特定之 混合比混合2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮之1,2-萘醌二疊氮 -5 -磺酸酯及1，2 -萘醌二疊氮-4 -磺酸酯者作爲感光劑之技 術（特開平9 - 1 5 8 5 3號公報）等。然而不能充分滿足前述 全部要件，因此希望有能滿足該等要件，即高感度、高殘 膜性、低製程依賴性、良好圖案形成性之感光性樹脂組成 物。 【發明所欲解決之課題】 鑑於如上述之狀況，本發明係提供實用上可並存筒殘膜 性及高感度化，更可製程依賴性低且形成良好圖案之感光 性樹脂組成物爲目的者。 【用於解決課題之手段】 本發明者等進行專心一意之硏究、調查之結果爲於含有 鹼性可溶性樹脂及包含苯醌二疊氮基之感光劑的感光性樹 脂組成物中，以使用平均酯化率不同之2種以上的感光劑 混合物作爲感光劑，發現可達成上述目的，而完成本發明 538308 五、發明說明（4 ) 即，本發明係關於以於含有鹼性可溶性樹脂及包含苯醌 二疊氮基之感光劑的感光性樹脂組成物中，感光劑由平均 酯化率不同之2種以上的四羥基二苯甲酮與1 , 2 -萘醌二疊 氮磺酸之酯化物混合物所構成爲特徵的感光性樹脂組成物 〇 以使用上述本發明之感光性樹脂組成物來達成前述本發 明之目的的理由，如以下所述’但是本發明不受該等任何 限制。 即，於本發明中，係使用相對上酯化率高之感光劑與相 對上酯化率低之感光劑的混合物，由此認爲是產生由相對 上酯化率高之感光劑導致的殘膜率提昇效果與由相對上酯 化率低之感光劑導致之厚的表面難融化層的形成效果。相 對上酯化率高之感光劑係由於自由的羥基相對上少，而顯 示對於鹼性顯像劑之溶解性相對上爲低之高殘膜率，但有 顯像時鹼性顯像劑形成於感光性樹脂膜表面之難溶化層變 薄之傾向。針對於此而使用相對上低酯化率之酯化合物則 由於自由的羥基相對上多，殘膜率雖降低但表面難溶化層 變厚。因此以組合使用相對上低酯化率之醋化合物形成較 厚之表面難溶化層，即使以未從感光性樹脂組成物中充分 地除去溶劑狀態來進行曝光、顯像，亦可使厚的難溶化層 產生作爲顯像時溶解保護層之作用，防止從內部溶出之感 光性樹脂組成物同時得到平滑之表面層。於使用玻璃基板 作爲基板的情況下，由於玻璃基板較於矽晶圓之熱傳導率 538308 五、發明說明（5) 爲低，且厚度亦厚，即使以相同於該等之條件來預烘焙’ 玻璃基板上之感光性樹脂組成物中的加熱溫度係較於矽晶 圓爲低，而有以未充分地除去溶劑之狀態下曝光、顯像之 傾向。因此，在特別使用玻璃基板作爲FPD之製造等基板 中，使用本發明之感光性樹脂組成物的情況下，認爲得到 較佳之結果。 以下，更詳細地說明本發明。 於本發明之感光性樹脂組成物中所用之鹼性可溶性樹脂 ，雖然亦可爲任一種含有鹼性可溶性樹脂與包含苯醌二疊 氮基之感光劑的習知公認的感光性樹脂組成物中所用之鹼 性可溶性樹脂，但以酚醛淸漆樹脂爲佳。本發明中可較佳 地使用之酚醛淸漆樹脂係以各種苯酚類單獨或以甲醛等之 醛類來共聚合該等之多種的混合物而得。 構成該酚醛淸漆樹脂之苯酚方面，舉例有酚、對甲酚、 間甲酚、鄰甲酚、2，3 -二甲基酚、2 , 4 -二甲基酚、2，5 -二 甲基酚、2,6 -二甲基酚、3,4-二甲基酚、3,5-二甲基酚、 2，3，4 -三甲基酚、2，3 , 5 -三甲基酚、3,4,5 -三甲基酚、 2 , 4，5 -三甲基酚、亞甲基雙酚、亞甲基雙對甲酚、間苯二 酚、鄰苯二酚、2 -甲基間苯二酚、4 -甲基間苯二酚、鄰氯 酚、間氯酚、對氯酚、2 , 3 -二氯酚、間甲氧基酚、對甲氧 基酚、對丁氧基酚、2，3 -二乙基酚、2，5 -二乙基酚、對異 丙基酚、α -萘酚、^ -萘酚等。該等係可單獨或形成複數 個混合物來使用。 538308 五、發明說明（6) 又，醛類方面，除了福馬林之外，舉出有仲甲醛、乙醛 、苯甲醛、羥基苯甲醛、氯化乙醛等，該等係可單獨或爲 數個混合物來使用。 然後，本發明之感光性樹脂組成物中所使用之酚醛淸漆 樹脂之重量平均分子量係以聚苯乙烯換算爲2,000〜50,000 ，以3,000〜40,000爲較佳，而以4,000〜30,000爲更佳。 於本發明之感光性樹脂組成物中所使用之包含苯醌二疊 氮基之感光劑方面，雖然以使用四羥基二苯甲酮與1，2 -萘 醌二疊氮-5 -磺酸之酯化物爲佳，該等酯化物亦可由如氯 化萘醌二疊氮磺酸之鹵化萘醌二疊氮磺酸與四羥基二苯甲 酮反應而得。四羥基二苯甲酮方面，舉出有2, 3, 4,4’·四 羥基二苯甲酮、2，2’，4，4’-四羥基二苯甲酮等。又，鹵化 萘醌二疊氮磺酸方面舉出有鹵化1，2 -萘醌二疊氮-4 -或-5 -或-6 -磺酸，特別以鹵化1，2 -萘醌二疊氮-5 -磺酸爲佳。 又，於本發明中，使用平均酯化率不同之2種以上的四 羥基苯酮與1，2 -萘醌二疊氮磺酸之酯化物混合物作爲感光 劑，.該2種以上之感光劑混合物方面，係包含平均酯化率 爲X% (50$X$100)之四羥基二苯甲酮與1，2-萘醌二疊 氮磺酸之酯化物的感光劑A，與平均酯化率爲Y% ( 25 $ Y S ( X - 1 0 ))之感光劑B的混合物，同時，A : B混合比以 10〜90 : 90〜10者爲佳，而以30〜70 : 70〜30者爲更佳。 本發明中之「平均酯化率」係表示由包含於感光劑中之 單酯化物至四酯化物之構成比例所算出之平均値。通常’ 538308 五、發明說明（7) 以使四羥基二苯甲酮與1,2-萘醌二疊氮磺酸反應來製造酯 化物，雖可得到2種以上之酯化物混合物之酯化物，但本 發明中，感光劑A或B係亦可爲以該等合成所得之酯化合 物之混合物，亦可爲由此合成所得之酯化物混合物除去其 中一部份的成分，從該等混合物所分離之單酯化物、二酯 化物、三酯化物或四酯化物亦可。感光劑由該分離之酯化 物所構成的情況下，感光劑由單酯化物所構成時，本發明 所謂之感光劑的平均酯化率爲25% ，於以下二酯化物、三 酯化物、四酯化物時，該感光劑之平均酯化率個別爲50% 、75% 、 100% ° 由該等平均酯化率不同之2種以上的四羥基二苯甲酮與 1 , 2 -萘醌二疊氮磺酸之酯化物混合物所構成之感光劑含有 量，於本發明中，相對於丨00重量份感光性樹脂組成物中 之鹼性可溶性樹脂成分，係以10〜30重量份爲佳，較佳爲 15〜25重量份。於未滿10重量份的情況下，有殘膜率降低 之傾向，又於超過30重量份的情況下，由於過於低感度 而有實用上之問題。 又於本發明之感光性樹脂組成物中，係爲了以具有苯酚 性羥基之低分子化合物作爲溶解促進劑來調整感光性樹脂 組成物之溶解速度，或者，爲了感光性樹脂組成物之感度 的提昇或感度的調整而可適當地使用。 具有該等苯酚性羥基之低分子化合物方面，可舉出有鄰 甲酚、間甲酚、對甲酚、2，4 -二甲苯酚、2，5 -二甲苯酚、 538308 五、發明說明（8) 2 , 6 -二甲苯酚、雙酚 A、B、C、E、F 或 G、4，4 ’，4” -次甲 基三苯酚、2 , 6 -二[(2 -羥基-5 -甲苯基）甲基]-4 -甲酚、 4,4’-[1-[4-[1-(4-羥苯基）-1-甲基乙基]苯基]次乙基] 雙酚、4 ,4’，4” -次乙基三苯酚、4 -[二（4 -羥苯基）甲基 ]-2 -乙氧基苯酚、4，4 ’ - [( 2 -羥苯基）亞甲基]二[2，3 -二 甲酚]、4,4’- [ (3 -羥苯基）亞甲基]二[2,6 -二甲酚]、 4,4’-[(4-羥苯基）亞甲基]二[2,6-二甲酚]、2,2’-[(2-羥 苯基）亞甲基]二[3,5-二甲酚]、2,2’-[(4-羥苯基）亞 甲基]二[3,5 -二甲酚]、4,4’-[ (3,4 -二羥苯基）亞甲基] 二[2，3,6 -三甲酚]、4-[二（3 -環己基-4-羥基-6-甲苯基 )甲基卜1,2 -苯二醇、4,6-二[(3,5 -二甲基-4-羥苯基） 甲基]-1,2,3 -苯三醇、4,4’- [ (2 -羥苯基）亞甲基]二[3-甲苯酚]、4,4,，4，’- ( 3 -甲基-1-丙基-3 -銥）三酚、 4,4’，4”，4’”- (1，4 -伸苯基二次甲基）四酚、2,4,6-三[( 3 , 5 -二甲基-4 -羥苯基）甲基]-1 , 3 -苯二醇、2 , 4 , 6 -三[( 3 , 5 -二甲基-2 -羥苯基）甲基]-1 , 3 -苯二醇、4,4’-[1-[4-[1 _[ 4 -羥基-3 , 5 -二[(羥基-3 -甲苯基）甲基]苯基]-1 -甲 基乙基]苯基]次乙基]二[2,6-二（羥基-3-甲苯基）甲基] 酚等。具有該等苯酚性羥基之低分子化合物，相對於1 00 重量份鹼性可溶性樹脂，通常以1〜20重量份，較佳爲 3〜1 5重量份來使用。 又於本發明之感光性樹脂組成物中，樹脂添加劑方面， 爲了以聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚苯乙烯衍生物、 -10- 538308 五、發明說明（9) 或選自丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯衍生物至少2種 之單體所得之共聚物等作爲溶解抑制劑來調整感光性樹脂 組成物之溶解速度，或者，爲了感光性樹脂組成物之感度 提昇或感度之調整而適當地使用。 本發明中，溶解鹼性可溶性樹脂、感光劑、具有苯酚性 羥基之低分子化合物及樹脂添加劑之感光性樹脂組成物的 溶劑方面，可舉出乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚等之 乙二醇單烷基醚類；乙二醇單甲基醚醋酸乙酯、乙二醇單 乙基醋酸乙酯等之乙二醇單烷基醋酸乙酯類；丙二醇單甲 基醚、丙二醇單乙基醚等之丙二醇單烷基醚類；丙二醇單 甲基醚醋酸乙酯、丙二醇單乙基醋酸乙酯等之丙二醇單烷 基醋酸乙酯類；乳酸甲酯、乳酸乙酯等.之乳酸酯類；甲苯 、二甲苯等之芳香族碳氫化合物類；甲基乙基酮、2 -庚酮 、環己酮等之酮類；N，N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯酮等 之醯胺類；r - 丁內酯等之內酯類等。該等之溶劑係可單 獨或混合2種以上來使用。 於本發明之感光性樹脂組成物中，必要時可配合染料、 接著助劑及界面活性劑。染料之範例方面，舉出有甲基紫 、結晶紫、孔雀綠等；接著助劑之範例方面有咪唑啉、丁 酸、烷基酸、聚羥基苯乙烯、聚乙烯基甲基醚、第三丁基酚 醛淸漆樹脂、環氧矽烷、環氧聚合物矽烷等；界面活性劑之 範例方面有非離子系界面活性劑，例如聚醇類及其衍生物， 即聚丙二醇或聚環氧乙烷十二烷基醚；含氟界面活性劑，例 -11- 538308 五、發明說明（1〇) 如氟洛拉德（商品名，住友3M公司製）、美佳伐克（商 品名，大日本油墨化學工業公司製）、斯爾氟龍（商品名 ，旭硝子公司製）；或有機矽氧烷界面活性劑，例如 KP341 (商品名，信越化學工業公司製）。 【實施例】 以下，雖然以實施例來更具體地說明本發明，但是本發 明之狀態並不受限於該等實施例。 實施例1 溶解相對於1 00重量份之重量平均分子量以聚苯乙烯換 算爲8,000之酚醛淸漆樹脂、25重量份之平均酯化率爲 87.5%之2,3,4,4’-四羥基二苯甲酮與氯化1，2-萘醌二疊 氮-5 -磺酸之酯化物（感光劑a )及平均酯化率爲7 5 . 0% 之2,3, 4, 4’ -四羥基二苯甲酮與氯化l，2 -萘醌二疊氮- 5-.磺酸之酯化物的混合物（感光劑b)(混合比5 0 : 5 0 )、 5重量份之4,4’-[1-[4-[1- (4-羥苯基）-1-甲基乙基]苯 基]次乙基]雙酚於3 90重量份之丙二醇單甲基醚醋酸酯中 ，進一步相對於全部固體物成分添加氟系界面活性劑、美 佳伐克（大日本油墨化學工業公司製）300ppm並攪拌後， 以0 . 2 # it]過濾器過濾，調製本發明之感光性樹脂組成物 。將該組成物旋轉塗佈於4吋矽晶圓及4吋玻璃晶圓上， 以1 00°C、於加熱板上烘焙90秒鐘後，得到1 . 5 μ m厚之 阻劑膜◦於該組劑膜上以尼康公司製之g + h射線分檔曝光 器（FX- 6 04F )曝光，以2 . 38重量％氫氧化四甲基銨水溶 -12- 538308 五、發明說明（11) 液於2 3 °C，顯像60秒鐘。由顯像前後之膜厚測定來計算 殘膜率，再者以開放圖框能完全地解析之曝光能量爲感度 (Eth)，並觀察5// m之圖案表面狀態，得到表1之結果。 實例2〜5、比較例1、2 如表1之感光劑a、b之混合比，除了適宜地變更用於 與實施例1之感光性樹脂組成物相同程度地調節感度之感 光劑的添加量以外，與實施例1相同地進行，得到表1之 結果。 比較例3、4 除了感光劑a、b之混合比如表1以外，與實施例1相 同地進行（無用於感度調節之添加量的變更），得到表1 之結果。
【表1】 感光劑 Si基板之結果 玻璃基板之結果 a b Eth 殘膜率 Eth 殘膜率 圖案 (重量％ ) (重量％ ) (mJ/cm2) (% ) (mJ/cm2) (% ) 表面 實施例1 50 50 12.2 97.9 11.1 88.3 ◎ 實施例2 90 10 12.2 98.2 11.1 86.1 〇 實施例3 67 33 12.2 98.0 11.1 87.4 〇 實施例4 33 67 12.2 97.7 11.1 88.2 ◎ 實施例5 10 90 12.2 97.0 11.1 87.8 〇 比較例1 100 0 12.2 98.3 Ιί·1 85.5 X 比較例2 〇 100 12.2 96.0 11.1 87.0 Δ 比較例3 100 0 17.0 99.4 15.2 90.2 X 比較例4 〇 100 10.6 90.5 9.8 82.3 X -13- 538308 五、發明說明（12) ◎圖案形狀良好•表面無粗糙 〇圖案形創良好•表面有少許粗糙 X圖案形狀不良•表面粗糙 由表1得知，除了比較例3及4外，矽晶圓上之感度、 殘膜率的結果各實施例、比較例約略相同’並無發現圖案 表面之結果上有任何之差別。然而，於實際之FPD之製造 等中所使用之玻璃基板上，以實施例與比較例則件圖案表 面狀態有很大之差別。於矽晶圓上與玻璃基板上’即使在 以相同之預烘焙條件來處理之情況下，由於矽晶圓與玻璃 基板之厚度及矽與玻璃之熱傳導率不同’所塗布之感光性 樹脂組成物中之實質的溫度分布係預烘焙時有意地改變’ 於玻璃基板上比較於矽晶圓上爲相對上低溫狀態。上述表 1之結果，本發明之感光性樹脂組成物即使於預烘焙時使 感光性樹脂組成物中之實質的溫度分布不同’與比較例所 示之單獨的感光劑相比，並無對於蝕刻造成不良影響之圖 案表面之粗糙，顯示可提供高殘膜率且具有良好圖案形成 能力等特性之平衡的良好組成物。 實施例6 溶解1 0 0重量份之重量平均分子量以聚本乙烯換算爲 8,000之酚醛淸漆樹脂，25重量份之平均酯化率爲87 . 5 %之2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮與氯化1，2_萘醌二疊氮-5 -磺酸之酯化物（感光劑a)及平均酯化率爲6 2 · 5 %之 2 , 3，4，4、四羥基二苯甲酮與氯化1 , 2 -萘醌二疊氮-5 -磺酸 -14- 538308 五、發明說明（13) 之酯化物地混合物（感光劑C)(混合比5 0 : 5 0 )、5重 量份之4,4，-[1-[4-[1-(4-羥苯基）-1-甲基乙基]苯基] 次乙基]雙酚於3 9 0重量份之丙二醇單甲基醚醋酸酯中’ 進一步相對於全部固體物成分添加氟系界面活性劑、美佳 伐克（大日本油墨化學工業公司製）3 00ppm並攪拌後’以 〇.2 μ m過濾器過濾，調製本發明之感光性樹脂組成物。將 該組成物旋轉塗佈於4吋矽晶圓及4吋玻璃晶圓上，以 1 00°C、於加熱板上烘焙90秒鐘後，得到1 . 5 v m厚之阻 劑膜。於該組劑膜上以尼康公司製之g + h射線分檔曝光器 (FX- 604F)曝光，以2.38重量％氫氧化四甲基銨水溶液 於2 3 °C、顯像60秒鐘。由顯像前後之膜厚測定來計算殘 膜率，再者以開放圖框能完全地解析之曝光能量爲感度（ E t h ) ’並觀察5 // m之圖案表面狀態，得到表2之結果。 實施例7〜1 0、比較例5 如表2之感光劑a、c之混合比，除了適宜地變更用於 與實施例6之感光性樹脂組成物相同程度地調節感度之感 光劑的添加量以外’與實例6相同地進行，得到表2之結 果。 比較例6 除了混合比如表2以外，與實施例6相同地進行（變更 感度調節之添加量），得到表2之結果。 >15- 538308 五、發明說明（μ)
【表2】 感光劑 Si基板之結果 玻璃基板之結果 a (重量％ ) C (重量％ ) Eth (mJ/ cm2) 殘膜率 (°/〇 ) Eth (mJ/cm2) 殘膜率 (% ) 圖案 表面 實施例6 50 50 12.2 97.0 11.1 87.8 ◎ 實施例7 90 10 12.2 98.0 11.1 86.3 〇 實施例8 67 33 12.2 97.7 11.1 88.5 ◎ 實施例9 33 67 12.2 95.5 11.1 87.5 〇 實施例10 10 90 12.2 93.0 11.1 87.0 〇 比較例1 100 〇 12.2 98.3 11.1 85.5 X 比較例3 100 0 17.0 99.4 15.2 90.2 X 比較例5 0 100 12.2 90.0 11.1 85.0 X 比較例6 0 100 8.4 82.3 7.6 78.5 X ◎圖案形狀良好•表面無粗糙 〇圖案形創良好•表面有少許粗糙 X圖案形狀不良•表面粗糙 由表2得知，使用2種平均酯化率不同之感光劑之混合 物之限制中，即使所使用之2種感光劑之平均酯化率與實 施例1〜5不同，亦得到與表1所示結果相同之效果。又， 在比較表2之實施例6與表1之比較例2、4的情況下， 儘管全部感光劑之平均酯化率均相同爲75% ，混合使用平 均酯化率不同之感光劑的方面（實施例6)，與使用單獨 之感光劑的情況比較’亦可提供圖案表面無粗糙之組成物 -16- 538308 五、發明說明（15) 還有’於各實例中所得之阻劑圖案上，不認爲有任何之 浮' 渣’阻劑圖案之形狀亦良好。又，實例之感光性樹脂組 成物皆爲製程依賴性低者。因而，本發明之感光性樹脂組 成物係以使用不同之酯化率的感光劑，而得到感度、殘膜 率及圖案表面良好等特性之平衡優異的感光性樹脂組成物 0 【發明之效果】 如上所述，以本發明可獲得，實用上可並存高殘膜性及 高感度化’製程依賴性低且可形成良好之圖案的感光性樹 脂組成物。 -17-