CN1212523C - 用于检测柔性材料连续基片上分离布线图形的检测系统 - Google Patents

Abstract

一种通过利用基片作为进料输送器检测柔性材料连续基片上形成的分离布线图形的检测系统。该检测系统包括一个设置有摄像装置(51、54)的检测区(30)，用于检测各个布线图形(14)，并且探测基片上的所述布线图形的位置。设置一个引入辊(31、32)，把基片引入检测区中。与该引入辊相连的是引出辊(32、33)，该引出辊把基片从检测区中拉出。设置一个控制器(60)，基于摄像装置探测的位置信号控制通过检测区的基片的位置，该位置信号指示在检测区中基片上的各个布线图形的位置。

Description

用于检测柔性材料连续基片上分离布线图形的检测系统

本发明涉及一种用于检测柔性材料连续基片上形成的分离布线图形的检测系统，更具体地说，是涉及这样一种检测系统，即可以通过使用基片作为进料输送器或运输机输送用于检测的布线图形。

在制造印刷电路板时，通常在相对柔性材料连续基片上形成很多相同的布线图形，然后把该基片切割成分离的电路板，每个电路板具有最终使用的布线图形。为了检测电路板的布线图形，需要把分离分电路板一个接一个地放在合适的输送机上，来把电路板输送到检测区中，在该检测区中，连续地扫描检测布线图形。但是，这种检测系统有一个问题，即电路板必须精确地定位在输送机上，以便与检测区中的摄像机正确地对准，而且该系统还需要输送机。

本发明针对上述的问题，提供了一种较好的系统，通过使用基片作为进料输送器，来检测柔性材料连续基片上的分离的布线图形。因此，本发明的一个主要的目的是提供一种检测系统，其可以使用基片作为进料输送器，并且即使在使用柔性基片材料作为进料输送器时也可以确保布线图形的精确定位，以便进行可靠地检测。根据本发明的检测系统包括一个设置有摄像装置的检测区，用于检测各个布线图形，并且探测基片上的所述布线图形的位置。设置一个引入辊，把基片引入检测区中。与该引入辊相连的是引出辊，该引出辊把基片从检测区中拉出并进行定位，以便把检测区限定在引入辊和引出辊之间，并且向基片施加一个张力，用于把基片拉直通过该检测区。设置一个控制装置，基于摄像装置探测的位置信号控制通过检测区的基片的位置，该位置信号指示在检测区中基片上的各个布线图形的位置。因此，该布线图形可在检测区中相对于摄像装置精确地定位，从而可靠地检测。

由于该布线图形能以规则的精确间隔形成在基片上，布线图形在检测区中的精确定位可补偿输送基片的可能的横向偏移及该基片与预定输送方向的可能的角度方向偏差。为了补偿基片在输送时的这种有害的误差运动，本发明考虑使用一个把基片输送到检测区的进料器和一个收集基片的收集器构成一个精确定位机构。该机构允许引入辊和引出辊在相对于输送方向的横向方向上偏移。该控制装置响应位置信号，至少偏移引入辊和引出辊之一，用于布线图形在检测区中的正确定位。

本发明公开了各种输送基片可靠检测布线图形的模式以及与各个模式相关的具体特征。对于所有的模式，该摄像装置包括检测摄像装置和位置摄像装置。该检测摄像装置把扫描的布线图形的图像提供给图像检测器，在该图像检测器中，把扫描的图像与参考图像进行比较，以确定该布线图形的缺陷。该位置摄像装置探测基片上的标记，以确认正好在由检测摄像装置检测之前的布线图形的预检测位置，并且提供指示预检测位置的位置信号。

在第一个模式中，以均匀的速度输送基片，检测摄像装置包括一个矩阵检测摄像装置，其设置在相对于基片的输送方向的横向方向上，覆盖布线图形的整个宽度。设置一个速度传感器以提供指示输送速度的速度信号。该控制装置响应该速度信号以便以均匀的速度输送基片。此外，基于该位置信号和速度信号，该控制装置启动检测摄像装置，用于扫描与该布线图形的位置同步的布线图形的图像。

在第二个模式中，检测摄像装置包括一个矩阵检测摄像装置，其设置在相对于基片的输送方向的横向矩阵方向上，以便在该矩阵在矩阵方向的第一位置和第二位置之间偏移时覆盖布线图形的整个宽度。该控制装置启动，通过一个正向步骤沿输送方向向前输送基片，在该正向步骤中，该检测摄像装置在第一位置完成一部分布线图形的扫描，并且接着通过一个反向步骤反向输送基片，在该反向步骤中，该检测摄像装置在第二位置完成其余部分的布线图形的扫描。

在第三个模式中，该控制装置启动，间歇地输送基片，使得该布线图形在检测区中保持静止预定的时间，在该预定的时间内，控制检测摄像装置相对于布线图形移动，以检测布线图形。

在第四个模式中，检测摄像装置包括一个矩阵检测摄像装置，其设置在平行于基片的输送方向的方向上，以便在该矩阵沿垂直于输送方向的横向方向上往复一个循环时覆盖布线图形的整个宽度。该控制装置启动，使基片保持在第一位置，在此处，该检测摄像装置在横向方向上移动半个循环，以便扫描一部分布线图形，并且接着通过一个步骤输送基片到第二检测位置，在此处，该检测摄像装置在横向方向上移动余下的半个循环，以便扫描其余部分的布线图形。以此方式，该控制装置启动，使得该布线图形保持静止在第一和第二检测位置，在此处，控制检测摄像装置相对于布线图形移动，以检测布线图形。

对于第二、第三和第四个模式，在由检测摄像装置进行布线图形的检测期间，使基片保持静止或逐步输送，最好在基片后面设置一个吸台，以便使基片平展地保持在吸台上，有利于检测。该吸台可在检测时与逐步输送的基片同步移动。此外，该吸台可被用来基于来自位置摄像装置的位置信号进行布线图形相对于检测摄像装置的正确定位。为此，该吸台被设置成可使其输送轴沿基片的输送方向延伸，并且可以围绕垂直于基片平面的竖直轴摆动，以便调整输送轴与输送方向的角度，从而补偿基片与预定输送方向的偏差。

本发明的这些和其它目的和特征在下面结合附图对最佳实施例的描述中将变得更加清楚。

图1是根据本发明第一实施例的检测系统的透视图；

图2是上述检测系统的方框图；

图3是其上形成有多个布线图形的基片的截面图；

图4是具有将被检测的布线图形的基片的平面图；

图5是上述系统的俯视图；

图6是用于说明修正布线图形位置的操作的基片的局部视图；

图7A-7E是用于说明根据本发明的第二实施例的检测系统的操作的视图；

图8A和8B是用于说明应用在上述实施例中的吸台的操作的示意图；

图9A和9B是用于说明应用在上述实施例中的另一个吸台的操作的示意图；

图10是根据本发明的第三实施例的检测系统的示意图；

图11A-11E是用于说明根据本发明的第四实施例的检测系统的操作的视图；

图12是第四实施例的变型的示意图；

图13是根据本发明的第五实施例的检测系统的示意图。

第一实施例(图1-图6)

参照图1，示出了一个根据本发明的第一实施例的检测系统。该系统用于检测柔性材料连续基片上形成的分离布线图形。例如，如图3中所示，基片10是一种包括0.04-0.2毫米厚的注入树脂玻璃片11和两外层35微米厚的铜层12。该布线图形14通过蚀刻形成在上部铜层12的上面。将被本系统检测的布线图形可以是其它的淀积在该铜层上的保护性材料的图形。该基片10在邻近各个布线图形14处形成有多套位置标记16，每套位置标记16具有两个横过该基片10的长度方向的圆点标记，如图4中所示。该标记16与布线图形14一起以精确的位置印制在基片10上，从而可用来校准基片。

该系统包括一个进料器20、一个收集器40和一个设置在它们之间的检测区30。该进料器20包括一个把一卷基片10拆卷的开卷机21，进料辊22、23、24，以及一个跳动辊25。邻近开卷机21设置一个回收辊26，以便回收基片10下侧的保护膜18。通过由传动辊31和压紧辊32组成的引入辊，把来自进料器20的基片10引入检测区30，并且通过由传动辊33和压紧辊34组成的引出辊把它导入收集器40中。该收集器40包括一个卷取基片的卷取机41，进料辊42、43、44，以及一个跳动辊45。邻近卷取机41设置一个供料辊46，以便提供将卷绕在卷取机41上的基片的下侧的相同的保护膜。该引入辊和引出辊被这样定位，以在其间限定检测区30，并且向基片10施加一个张力，以便在检测区30中水平延伸基片10。一个导向台36并列设置在检测区中的基片10的下面，用于把基片平展地引导在台35上。进料器20和收集器40都可在横过基片的输送方向的方向上移动，以便对基片的横向位置及输送方向进行微细的调整。为此，该进料器20可由框架28承载，该框架28可移动地支撑在一个固定底座29上，以允许进料器20的横向移动。同样，该收集器40可由框架48承载，该框架48可移动地支撑在一个固定底座49上，以允许收集器40的横向移动。

该检测区30上设置有一对用于监视位置标记16的位置摄像机51和一个用于扫描布线图形14的检测摄像机54。该检测摄像机54包括一个矩阵摄像装置55，其以这样的方式紧紧地设置在垂直于基片10的输送方向的横向阵列上，当该摄像装置保持静止，基片10在正向方向上输送时，可以扫描整个布线图形。该摄像机51和54与控制器60相连，用于控制探测该布线图形的位置及扫描该布线图形的操作。除了包括横向移动的进料器20和收集器40的操作外，该控制器60也控制基片10的输送速度，即传动辊31和33的转速。在该实施例中，控制器60用于以均匀的速度输送基片10通过检测区30。一个转动编码器35设置在压紧辊32的轴上，以便探测由控制器60确认的速度，用于保持输送速度恒定的反馈控制。为此，如图2中所示，控制器60包括：与位置摄像机51相连以接收其监视的数据的位置探测器61、与检测摄像机54相连以接收其扫描的布线图形14的图像的图形检测器64、用于探测输送速度的速度探测器62。速度探测器62的输出馈送到处理器63，该处理器63依次启动用于控制开卷机21、传动辊31和33及卷取机41的速度，以便保持速度恒定。该图形检测器64把扫描的布线图形的图像与代表正确的布线图形的参考图像进行比较，以确定该扫描的布线图形是否具有缺陷。如果确定该布线图形具有缺陷，则该图形检测器64把分配给该特定的布线图形的识别码存储进存储器66中，以便其后参考该识别码进行重新审查或确定为不合格品。该识别码可印制在基片上，以便由图像检测器确认或通过计数各个被检测的布线图形确认。

该位置摄像机51探测正好在由检测摄像机检测之前的布线图形14的预检测位置，并且把指示预检测位置的位置信号提供给位置探测器61，在此处进行分析以给出相对于一个正确的输送轴的误差。该误差包括该布线图形的预检测位置相对于正确的输送轴的横向位移误差和角度偏差误差。这种误差在处理器63中受到评估，以便把一个补偿信号提供给位置控制器67，该位置控制器67响应使进料器20和/或收集器40以消除误差的方式横向运动，从而把布线图形放在由矩阵检测摄像机54检测的正确位置上。将参照图6详细的描述该操作。每个位置摄像机51有一个具有中心X轴和Y轴的视场52。当在预检测位置的布线图形14相对于正确的输送轴倾斜时，如图所示，或者横向偏移时，分别进入各个位置摄像机51的视场52中的相应的标记16示出了相对于中心X轴和Y轴的偏差ΔX和/或ΔY。这样的偏差代表了布线图形的角度偏差误差或横向位移误差。图6示出了布线图形相对于输送轴FX的不想要的角度偏差θ。基于获得的ΔX和ΔY，在布线图形14进入检测摄像机54的检测位置之前，该处理器63产生用于消除该误差的补偿信号。

第二实施例(图7A-图7E)

图7A-图7E示出了一个根据本发明的第二实施例的检测系统，其类似于第一实施例的结构，不同之处在于检测摄像机54A包括沿基片10的横向方向隔开的分开摄像装置55A，并且其可在横向方向上在图7A-图7C的第一位置和图7D与图7E的第二位置之间移动。相同的部件由相同的带有后缀“A”的标号表示。该摄像装置55A隔开固定的间距，这样，在该装置移动第一和第二位置之间距离时，可覆盖布线图形14的整个宽度。使用这种结构的检测摄像机54A，可在正向和反向方向上控制输送基片10。现在将讨论该系统的操作。如图7A中所示，当布线图形14进入由位置摄像机51A捕获相应的部件标记16的预检测位置时，控制器启动，以较高的速度把基片10输送到图7B的第一检测位置，在此处，该布线图形14的前边缘与检测摄像机54A对准。然后，控制器通过一个正向步骤以较低的速度把基片10输送到图7C的第二检测位置，该检测摄像机54A保持在第一位置，在此期间，布线图形14的一半区域(如阴影线所示)被扫描。然后，该检测摄像机54A在横向方向上移动到第二位置，如图7D中所示。接着，通过一个反向步骤把基片10以较低的速度输送到图7E的位置，在此期间，该布线图形14的其余一半被扫描。因此，通过同样的步骤先正向再反向输送基片10可扫描布线图形的整个区域。其后，把基片10以高速正向输送到图7A的位置，用于下一个布线图形的检测。

应当注意，该实施例中，位置摄像机51A也可以使用位置标记16探测布线图形14的预检测位置，以便以与第一实施例同样的方式实现图7B的第一检测位置处的布线图形的正确定位。此外，在各连接中应当注意，当位置标记16来到相应的位置摄像机51A的视场时，即使各个标记16没有严格地与该摄像机的视场的纵向中心(即图6中所示的Y轴)相重合，控制器也可确认布线图形14的预检测位置。然后，控制器启动，以很快的速度把基片10输送固定的距离，并且以低速输送适当的距离，以便针对偏差ΔX对布线图形进行相对于图7B的正确位置的微细调整。以此方式，可以可靠地检测各个布线图形，同时减少连续检测各个布线图形的运行时间。

如图8A和8B所示，在该实施例中，最好在检测区中的基片10的后面设置一个吸台70，靠抽吸力保持基片。同时由检测摄像机54A扫描该布线图形。为了有助于使基片10平展地保持在吸台70上，可以利用压辊71，当布线图形来到被扫描的位置时，其受到控制把基片挤压在吸台70上，其后该基片靠抽吸力保持在台上，以便可靠地扫描布线图形。该吸台70支撑在底架72上，可沿输送方向移动限制的长度，使得该基片10可由检测摄像机移动检测，即在图7B-7E的位置之间，同时该基片保持在吸台70上。此外，如图9A和9B所示，可利用一个竖直移动的吸台70A，在该布线图形处于被扫描的位置时把基片保持在其上，并且在该基片从预检测位置输送到检测位置时松脱该基片。该吸台70A通过一个圆柱73可转动地支撑在底架72A上，以便围绕该圆柱的竖直轴转动。用这种转动结构，吸台70A可以补偿由位置摄像机探测的角度偏差误差，用于相对于检测摄像机正确地定位布线图形。该吸台70A也可沿基片的输送方向随着可移动地支撑在导轨74上的底架72A移动，以便在检测布线图形期间跟随着该基片的运动。在该连接中，吸台70A及图8A的吸台70可以在横向方向上移动，以便基于来自位置摄像机的位置信号补偿横向位移误差，如参照第一实施例所讨论的。

第三实施例(图10)

参照图10，示出了一个根据本发明的第三实施例的检测系统，其类似于第一实施例，不同之处在于检测摄像机54B沿基片10的输送方向延伸，并且其可在横向方向上移动。相同的部件由相同的带有后缀“B”的标号表示。该摄像装置54B包括一个矩阵摄像装置，其以这样的方式紧紧地沿输送方向设置，当该基片保持静止，检测摄像机在横向方向上移动时，可以扫描布线图形的整个区域。使用这种结构的检测摄像机54B，控制器60B启动，间歇地输送基片10，提供一个静止的期间，在该期间，布线图形被扫描检测。在该实施例中，相同的位置摄像机51B提供一个指示在预检测位置处的布线图形的上述种类的误差的位置信号，这样，在该布线图形输送到由检测摄像机扫描的检测位置时，通过移动进料器20A和/或收集器40A，控制器响应补偿误差。使用与第二实施例相同的吸台70B，用于稳定地保持基片，同时扫描该布线图形，并且相对于检测摄像机54B正确地定位该布线图形。

第四实施例(图11A-图11E)

图11A-图11E示出了一个根据本发明的第四实施例的检测系统，其类似于第三实施例，不同之处在于检测摄像机54C包括沿基片10的输送方向隔开的分开摄像装置55C，并且其可在横向方向上在图11A的第一位置和图11C的第二位置之间移动。相同的部件由相同的带有后缀“C”的标号表示。该摄像装置55C隔开固定的间距，这样，在该布线图形14在正向方向上移动上述距离时，可覆盖布线图形14的整个长度。使用这种结构的检测摄像机54C，一个控制器通过一个正向步骤输送基片10，同时沿横向方向在第一和第二位置之间往复该检测摄像机54C一个循环。现在将讨论该系统的操作。如图11A中所示，当布线图形14进入由位置摄像机51A捕获相应的部件标记16的预检测位置时，控制器启动，以较高的速度把基片10输送到图11B的第一检测位置，在此处，该布线图形14的前边缘与最前面的检测装置55C对准。然后，该检测摄像机54C在横向方向上移动半个循环，到达图11C的位置，该基片10保持静止，扫描布线图形的一半区域(如阴影线所示)。然后，该基片10正向输送一个相应于邻近的检测装置55C之间的间距的短距离，使布线图形14来到图11D的第二检测位置处。接着，该检测摄像机54C在横向方向上移动余下的半个循环，到达图11E的位置，从而完成扫描布线图形14的整个区域。应当注意，该基片以较高的速度使布线图形14从图11A的预检测位置输送到图11B的第一检测位置，同时，以较低的速度使布线图形从图11C的第一检测位置输送到图11D的第二检测位置，以便减少连续检测各个布线图形的整个检测时间，同时确保可靠地检测各个布线图形。在该实施例中，当布线图形14来到第一检测位置时，如第一实施例中所讨论的，通过在横向方向上控制移动进料器和/或收集器，位置摄像机51C用来实现布线图形14的正确定位。参照图8A和9A讨论的吸台可应用在本系统中，用于同样的确保可靠地检测的目的。

图12示出了第三实施例的一个变型，其中检测摄像机54D包括一个靠近布置的矩阵摄像装置55D，以覆盖布线图形14的一半长度。布线图形14的扫描可用与第三实施例的参照图11A-11E讨论的相同的顺序进行。

第五实施例(图13)

参照图13，示出了一个根据本发明的第五实施例的检测系统。该检测系统包括一个显示器80，用于人眼对布线图形重新检测，该布线图形已经通过如前面的实施例所解释的图像处理确定为有缺陷。该系统还包括一个经过基片10上面的备用台90，当需要人员在由显示器监视的布线图形上施加一个力以便比如用手动工具修补缺陷部分时，其作为一个支撑台。该系统的基本结构包括一个进料器20E，用于把基片10从一个开卷机21E输送到检测区30，以及一个收集器40E，用于把基片收集在一个卷取机41E上。并且向引入辊装置和引出辊装置之间的基片10施加一个张力，以便在检测区30E中水平延伸基片10。该引入辊装置由传动辊31E和压紧辊32E组成，而引出辊装置相似的由传动辊33E和压紧辊34E组成。设置在引入辊装置和引出辊装置之间的是一对竖直隔开的导向辊27，通过该导向辊，输送方向被反向。导向辊27支撑在备用台90上，并且被这样定位，可通过该台底部附近的入口91引入基片10，并且通过在该台的一个纵向端处的出口92使基片出现在该台90的顶部。设置在该台90和引出辊装置33E和34E之间的是一个升高辊93，其可竖直移动，以便在输送基片时从台90向上升起基片10。当基片10停止以检测布线图形时，该升高辊93下降把基片放在台90上，用于可靠地识别有缺陷图形，并且在必要时有利于人工处理布线图形。

一个控制器60E包括一个取回部分，其源自图像处理的输出，该图像处理如在前面的实施例中进行的，一个或多个布线图形被确定为有缺陷。也就是说，分配给有缺陷的布线图形的识别码被传送给控制器60E，其响应把该布线图形输送到台90上，同时通过没有缺陷的布线图形。在布线图形的区域中发现的特定的缺陷的位置的位置信息也可在图像处理中获得，并与识别码一起输送到控制器60E，使得电视摄像机54E受到控制，移动到特定的位置，以把放大的缺陷的图像送到显示器80，以便由人工很容易地识别。如果判断该缺陷可被容易地修补，人员可利用台90作为修补台来用合适的手动工具修补缺陷。

安装了与在前面的实施例中利用的相同的位置摄像机51E，用来观察基片10上的位置标记，并在由摄像机54E检测之前探测布线图形的预检测位置。基于关于预检测位置的信息，控制器60E指令把布线图形输送到一个正确的检测位置，同时通过以与参照前面的实施例讨论的相同的方式在横向方向上移动进料器20E、收集器40E和台90中的至少一个可对横向位移、方向偏差的可能的误差进行修正。在这种连接中，台90安装在一个底座94上，可围绕圆柱95的竖直轴转动，使得台90可调整其方向，以便补偿基片与预定的输送方向的角度方向偏差。

尽管在前面的实施例中，位置标记与布线图形分开印制，但它们也可印制在布线图形的区域中。此外，可考虑检测摄像机的特定布置和本系统的其它结构，适当地选择分开印制的标记与布线图形的相对位置。

Claims (11)

1、一种用于检测整体形成在柔性材料连续基片(10)上的分离布线图形(14)的检测系统，其特征在于，所述系统包括：

一个设置有摄像装置(51、54)的检测区(30)，用于检测各个布线图形，并且探测所述基片上的所述布线图形的位置；

引入辊装置(31、32)，用于把基片引入所述检测区中；

引出辊装置(33、34)，用于把所述基片从所述检测区中拉出，所述引出辊装置被定位，以便把所述检测区限定在所述引入辊装置和所述引出辊装置之间，并且向所述基片施加一个张力，用于把在所述检测区中的所述基片拉直；

控制装置(60)，其基于所述摄像装置探测的位置信号控制通过所述检测区的所述基片的位置，该位置信号指示在所述检测区中所述基片上的所述各个布线图形的所述位置；

一个进料器(20)，用于把所述基片从所述基片的第一存储处(21)输送到所述引入辊装置；

一个收集器(40)，用于把通过所述引出辊装置的所述基片收集在所述基片的第二存储处(41)；以及

一个跳动辊(35、45)，其设置在两个位置中的至少一个位置上，一个位置在所述进料器和所述引入辊装置之间，另一个位置在所述引出辊装置和所述收集器之间。

2、如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

一个进料器(20)，用于把所述基片通过所述引入辊装置输送到所述检测区中；

一个收集器(40)，用于通过所述引出辊装置从所述检测区收集所述基片，

所述进料器和所述收集器可在与通过所述检测区的所述基片的输送方向相垂直的横向方向上移动，

所述控制装置(60)包括一个机构，所述机构可响应所述位置信号而至少在横向方向上偏移所述进料器和所述收集器之一，从而用于使所述布线图形在所述检测区中正确定位。

3、如权利要求1所述的系统，其特征在于，每个所述引入辊和引出辊装置包括一个传动辊(31、33)和一个压紧辊(32、34)，所述传动辊由所述控制装置控制进行转动，所述压紧辊把所述基片挤压在所述传动辊上以输送输送基片。

4、如权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述检测摄像装置(54)包括一个检测摄像装置(54)和一个位置摄像装置(51)，

所述检测摄像装置(54)把一个所述布线图形的图像提供给一个图像检测器(64)，在此处，所述图像与参考图像进行比较，用于确定在所述布线图形中的缺陷，

所述检测摄像装置(54)包括一个矩阵摄像装置，所述矩阵摄像装置以能够覆盖所述布线图形的整个宽度的方式设置在横过所述基片的输送方向的方向上，

所述位置摄像装置(51)探测在所述基片上的标记(16)，以确认就在被所述检测摄像机检测之前的所述布线图形的预检测位置，并提供指示所述预检测位置的所述位置信号，

一个速度传感器(35)探测所述基片的输送速度，并提供指示输送速度的速度信号，

所述控制装置响应所述位置信号和所述速度信号，以便启动所述检测摄像装置(54)，用于扫描与该布线图形的位置同步的所述布线图形的图像。

5、如权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述摄像装置包括一个检测摄像装置(54A)和一个位置摄像装置(51A)，

所述检测摄像装置(54A)把一个所述布线图形的图像提供给一个图像检测器(64)，在此处，所述图像与参考图像进行比较，用于确定在所述布线图形中的缺陷，

所述位置摄像装置(51A)探测在所述基片(10)上的标记(16)，以确认正好在由所述检测摄像机检测之前的所述布线图形的预检测位置，并提供指示所述预检测位置的所述位置信号，

所述检测摄像装置(54A)包括一个矩阵摄像装置(55A)，其设置在横过所述基片的输送方向的阵列方向上，以便当所述矩阵在所述阵列方向的第一位置和第二位置之间移动时可覆盖所述布线图形的整个宽度，

所述控制装置启动，通过一个正向步骤沿所述输送方向向前输送所述基片，在该正向步骤中，所述检测摄像装置在所述第一位置完成一部分所述布线图形的扫描，并且接着通过一个反向步骤反向输送所述基片，在该反向步骤中，所述检测摄像装置在所述第二位置完成其余部分的所述布线图形的扫描。

6、如权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述摄像装置包括一个检测摄像装置(54B)和一个位置摄像装置(51B)，

所述检测摄像装置(54B)把一个所述布线图形的图像提供给一个图像检测器，在此处，所述图像与参考图像进行比较，用于确定在所述布线图形中的缺陷，

所述位置摄像装置(51B)探测在所述基片上的标记(16)，以确认正好在由所述检测摄像机检测之前的所述布线图形的预检测位置，并提供指示所述预检测位置的所述位置信号，

所述控制装置启动，间歇地输送所述基片，使得所述布线图形在检测位置保持静止预定的时间，在该预定的时间内，控制所述检测摄像装置相对于所述布线图形移动，以检测布线图形。

7、如权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述摄像装置包括一个检测摄像装置(54C)和一个位置摄像装置(51C)，

所述检测摄像装置把一个所述布线图形的图像提供给一个图像检测器，在此处，所述图像与参考图像进行比较，用于确定在所述布线图形中的缺陷，

所述位置摄像装置探测在所述基片上的标记(16)，以确认就在被所述检测摄像机检测之前的所述布线图形的预检测位置，并提供指示所述预检测位置的所述位置信号，

所述检测摄像装置(54C)包括一个矩阵摄像装置(55C)，其设置在平行于所述基片的输送方向的方向上，以便在所述矩阵沿垂直于所述输送方向的横向方向上往复一个循环时覆盖所述布线图形的整个宽度，

所述控制装置启动，使所述基片保持在第一位置，在此处，所述检测摄像装置在所述横向方向上移动半个所述循环，以便扫描一部分所述布线图形，并且接着通过一个步骤输送所述基片到第二检测位置，在此处，所述检测摄像装置在所述横向方向上移动余下的半个所述循环，以便扫描其余部分的所述布线图形，

所述控制装置启动，间歇地输送所述基片，使得所述布线图形在所述第一和第二检测位置保持静止，其中控制所述检测摄像装置相对于所述布线图形移动，以检测布线图形。

8、如权利要求4至7中任何一项所述的系统，其特征在于，所述检测区设置有一个吸台(70)，其定位在所述基片的后面，以便靠吸力把所述基片平展地保持在所述吸台上，所述吸台由所述控制装置控制以保持所述基片，同时所述布线图形由所述检测摄像装置扫描，并在检测所述布线图形后松脱所述基片。

9、如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述吸台(70A)具有一个可沿所述基片的输送方向延伸的输送轴，并且可以围绕垂直于所述基片平面的竖直轴摆动，以便调整所述输送轴与输送方向的角度，用于所述布线图形相对于所述检测摄像装置的正确定位。

10、如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述吸台(70)可随着所述基片通过所述检测区的输送同步移动。

11、如权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述摄像装置包括一个观测摄像机(54E)，其在显示器(80)上给出所述布线图形的一个选择的区域，用于由人眼进行检测，

所述检测区设置有一个备用台(90)，所述基片可输送到其上。

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