JP3506011B2 - 配線パターン欠陥確認装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、配線パターンが形
成された長尺の基材の配線パターンの欠陥を確認する配
線パターン欠陥確認装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】画像処理等により配線パターンの検査を
行う配線パターン検査装置等を用いて、配線パターンが
形成された基材の配線パターンの欠陥検査を行い、その
後、検出された欠陥を確認するにあたり、従来は、図６
に示すように、上方に画像検出器６が水平方向にスライ
ド自在に配設された評価テーブル５の上に、欠陥が検出
された基材１を人力で一枚ずつ載置し、画像検出器６
を、配線パターンの欠陥部分の上方にスライド移動さ
せ、この画像検出器６にて検出された画像をモニター等
に出力し、このモニター画像等を目視にて観察すること
により、配線パターンの欠陥を確認していた。

【０００３】一方プリント配線板を製造する方法とし
て、長尺の基材に複数の配線パターンを一列に形成した
後、この基材を切断する方法がある。このようにして形
成されるプリント配線板の配線パターンの欠陥を配線パ
ターン検査装置にて検査した後、検出された欠陥を確認
する場合、従来は長尺の基材から切断された配線板を一
枚づつ上記のような配線パターン欠陥確認装置にて確認
しなければならないものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
長尺の基材に形成された配線パターンの欠陥を確認する
にあたり、基材を切断せずに長尺の基材の状態のままと
し、この基材を配線パターン欠陥確認装置に送りながら
欠陥を確認することができれば、プリント配線板を一枚
づつ配線パターン欠陥確認装置にセットする場合と比べ
て作業効率を著しく向上することができるものである。

【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、長尺の基材に一列に複数個形成された配線パター
ンの欠陥確認を、この基材を送りながら行うことができ
る配線パターン欠陥確認装置を提供することを目的とす
るものである。

【０００６】

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の配線パターン欠陥確認装置は、評価テーブル５と、評
価テーブル５の一側方に配設され、配線パターン２が形
成された長尺の基材１を評価テーブル５に向けて巻出す
巻出し機３と、評価テーブル５の他側方に配設され、評
価テーブル５から基材１を巻取る巻取り機４と、評価テ
ーブル５の上方に、基材１上の配線パターン２の予め欠
陥が検出されている部分の上方に移動するように水平方
向にスライド移動自在に配設され、評価テーブル５上の
基材１の画像を検出する画像検出器６と、基材１上に形
成した位置補正用マーク１８の画像を検出する補正用画
像検出器７と、補正用画像検出器７にて検出された画像
を基にして巻出し機３及び巻取り機４による基材１送り
の長さを制御する制御部とを具備して成ることを特徴と
するものである。

【０００８】

【０００９】 また本発明の請求項１に記載の配線パタ
ーン欠陥確認装置は、上記の構成に加えて、巻出し機３
及び巻取り機４を、それぞれ基材１の送り方向と垂直な
水平方向にスライド移動自在に配設して成ることを特徴
とするものである。

【００１０】

【００１１】 また本発明の請求項２に記載の配線パタ
ーン欠陥確認装置は、請求項１の構成に加えて、巻出し
機３と評価テーブル５の間の基材１の配路に、基材１に
形成された配線パターン２の欠陥検査を行う配線パター
ン検査装置１９を配設して成ることを特徴とするもので
ある。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００１３】本発明において、配線パターン２の欠陥確
認の対象となるのは、配線パターン２を形成した長尺の
基材１である。この基材１は、樹脂層の表面に銅箔等の
金属箔を貼着するなどして形成したものを用いることが
でき、この基材１の金属箔に光硬化性のレジストインク
を塗布し、更にその上に配線パターン２のマスクパター
ンを形成したフィルムを載せた状態でレジストインクを
露光硬化させ、非露光部分を除去して金属箔上にレジス
トパターンを形成したものを用いることができる。また
更にこのレジストパターンを形成した基材１をエッチン
グ処理した後、レジストパターンを除去したものを用い
ることもできる。

【００１４】ここで上記の配線パターン２は、図４
（ａ）に示すように、同一のパターンを、基材１の長尺
方向に所定の隙間をあけて一列に複数個形成するもので
ある。そして基材１上の隣合う各配線パターン２間の所
定の位置には、一対の位置補正用マーク１８を、この一
対の位置補正用マーク１８の中心を結ぶ線が、基材１の
長尺方向と垂直になるように、所定の間隔をあけて配列
して捺印するものである。この位置補正用マーク１８
は、上記のレジストパターンやエッチングパターンによ
り形成することができる。

【００１５】また基材１としては、画像処理等により配
線パターン２の検査を行う配線パターン検査装置等を用
いて、予め配線パターン２が形成された基材１の配線パ
ターン２の欠陥検査がなされたものを用いるものであ
る。

【００１６】 図１は、本発明の配線パターン欠陥確認
装置の参考例を示すものである。

【００１７】巻出し機３は、評価テーブル５の側方に配
設されるものである。この巻出し機３は、基材１が合紙
１５と重ね合わされた状態で巻き回されるものであり、
またサーボモータ等のモータ動力にて駆動して、合紙１
５を重ね合わされている基材１を巻出し、評価テーブル
５へ送るものである。この巻出し機３は、制御用コンピ
ュータ１０にて制御されるものである。また合紙１５を
巻き取る合紙巻取りロール１３を設け、合紙１５が重ね
られた基材１が巻出し機３から巻出される際、基材１が
評価テーブル５に達する前に合紙を合紙巻取りロール１
３にて巻き取り、基材１から合紙１５を引き剥がすよう
にするものである。

【００１８】またこの巻出し機３から評価テーブル５ま
での間の基材１の配路には、一対のピンチロール２２、
２２を設け、配路上の基材１をこのピンチロール２２、
２２間に挟持させるものである。このピンチロール２
２、２２は、サーボモータ等のモータ制御により回転駆
動して、配路上の基材１を評価テーブル５へ送るもので
ある。ここでこのピンチロール２２、２２は制御用コン
ピュータ１０に接続され、この制御用コンピュータ１０
にてピンチロールの回転量が制御され、このピンチロー
ル２２、２２による基材１の送り量が制御されるもので
ある。

【００１９】評価テーブル５には、巻出し機３が配設さ
れている側の側面に引き入れスリット孔２０を開口して
設け、巻出し機３から巻出された基材１をこの引き入れ
スリット孔２０から評価テーブル５内部に引き込むこと
ができるようにする。評価テーブル５内部には、評価テ
ーブル５内部に引き込まれた基材１を掛け支えるガイド
ロール１１を設け、基材１をこのガイドロール１１に掛
け支えて上方に引き上げることができるようにする。ま
た評価テーブル５の上面には、引き出しスリット孔２１
を開口して設け、評価テーブル５内に引き込まれた基材
１を、この引出しスリット孔２１から引き出すことがで
きるようにする。また評価テーブル５の内部には、上記
のガイドロール１１の上方に、他のガイドロール１１を
設ける。ここでこの他のガイドロール１１は、その上端
が引き出しスリット孔から外部に露出すると共に、この
他のガイドロール１１の上端が、評価テーブル５の上面
と略同一高さになるように設けるものである。そして引
き出しスリット孔２１から引き出された基材１は、この
他のガイドロール１１に掛け支えて、評価テーブル５の
上面に沿って、巻出しロールが配設されている側に引き
出すものである。

【００２０】また巻取り機４は、評価テーブル５の、巻
出し機３が配設されている側の側方に配設し、サーボモ
ータ等のモータ動力により評価テーブル５から引き出さ
れる基材１を巻き取るものである。この巻取り機４は制
御用コンピュータ１０にて制御されるものである。また
巻取り機４へ合紙１５を巻出す合紙巻出しロール１４を
配設し、巻取り機４にて基材１を巻き取る際に、合紙巻
出しロール１４から巻出された合紙１５を基材１に重ね
て巻取り機４にて巻き取ることができるようにするもの
である。

【００２１】また基材１が評価テーブル５から引き出さ
れて、巻取り機４に巻き取られるまでの基材１の配路
に、シリンダー制御にて昇降自在な昇降ロール１２を設
けるものである。この昇降ロール１２は、基材１の配路
の下方に、その上端が評価テーブル５の上面と略同一高
さになるように配置し、シリンダー制御にてこの昇降ロ
ール１２を上昇させた際に、配路上の基材１を上方に押
し上げることができるように形成するものである。この
昇降ロール１２は、巻出し機３及び巻取り機４を駆動さ
せて基材１を送る際に上昇させて、評価テーブル５上を
送られる基材１を、評価テーブル５の上面と離間させる
ものであり、このようにすることによって、基材１を送
る際に基材１と評価テーブル５の上面との間の摩擦によ
り基材１が破損することを防ぐものである。そして、評
価テーブル５上の基材１の配線パターン２の欠陥確認を
行う際は、昇降ロール１２を下降させて、評価テーブル
５の上面に基材１を配置するようにするものである。

【００２２】また昇降ロールと巻取り機４の間の基材１
の配路には、一対のピンチロール２２を設け、このピン
チロール２２、２２の間に配路上の基材１を挟持させる
ものである。このピンチロール２２、２２は、サーボモ
ータ等のモータ制御により回転駆動して、配路上の基材
１を評価テーブル５から巻取り機４へ向けて送るもので
ある。ここでこのピンチロール２２、２２は制御用コン
ピュータ１０に接続され、この制御用コンピュータ１０
にてピンチロールの回転量が制御され、このピンチロー
ル２２、２２による基材１の送り量が制御されるもので
ある。

【００２３】また評価テーブル５には、制御用コンピュ
ータ１０によって制御され、評価テーブル５を鉛直軸を
中心にして回転させる、サーボモータ等のモータ８を設
けている。また評価テーブル５の上方には、基材１の画
像を検出する画像検出器６を、水平方向にスライド移動
自在に配設するものである。この画像検出器６として
は、検出対象である基材１の画像を、例えば２５６階調
の濃淡度で検出することができるＣＣＤカメラ等を用い
ることができる。

【００２４】また評価テーブル５の上方の、画像検出器
６よりも基材１の巻出し側の所定位置に、基材１上に形
成した位置補正用マーク１８の画像を検出する補正用画
像検出器７を配設するものである。ここでこの補正用画
像検出器７は、評価テーブル５上の所定位置に基材１の
配線パターン２が配置されたときに、この配線パターン
２と、この配線パターン２に隣合う基材１の巻出し側の
配線パターン２との間に捺印された、一対の位置補正用
マーク１８が配置される位置の上方に配設されるように
するものである。この補正用画像検出器７は、上記の画
像検出器６と同様に、ＣＣＤカメラ等により形成するこ
とができる。

【００２５】また図１の配線パターン欠陥確認装置に
は、制御部として、画像処理制御装置９及び制御用コン
ピュータ１０を設けるものである。

【００２６】画像処理制御装置９は、画像検出器６及び
補正用画像検出器７に接続され、画像検出器６及び補正
用画像検出器７を制御するものであり、また画像検出器
６及び補正用画像検出器７から例えば２５６階調の濃淡
度で検出された画像を、ある閾値で二値化する画像処理
を行い、このようにして導出される画像データを制御用
コンピュータ１０へ電気信号として送るものである。

【００２７】また制御用コンピュータ１０は、評価テー
ブル５上の所定位置に、欠陥確認の対象である配線パタ
ーン２が配置された際、配線パターン２の欠陥確認を行
う前に、基材１上の一対の位置補正用マーク１８のそれ
ぞれの上方に画像検出器６をスライド移動させるように
画像処理制御装置９に信号を送り、このとき画像検出器
６により検出され、画像処理制御装置９により二値化処
理がなされた画像データを、予め登録されている位置補
正用マーク１８の基準パターンと照合して、この一対の
位置補正用マーク１８のそれぞれの中心位置の座標を導
出し、図４（ｂ）に示すような、この位置補正用マーク
１８の中心同士を結ぶ線と、基材１が正常に配置されて
いる場合の位置補正用マーク１８の中心同士を結ぶ線と
がなす角の角度θを算出する。この角度θは、基材１の
送り方向の、正常な状態からのずれに相当する。そし
て、この算出された角度θに応じた電気信号を、評価テ
ーブル５に送り、評価テーブル５のモータ８を駆動させ
て、評価テーブル５を位置補正用マーク１８のずれと反
対方向に角度θだけ鉛直軸を中心に回転させる。

【００２８】また制御用コンピュータ１０は、評価テー
ブル５上の所定位置に配置された基材１上の配線パター
ン２の、予め欠陥があることが検出されている部分の上
方に画像検出器６をスライド移動させるように画像処理
制御装置９に信号を送り、このとき画像検出器６により
検出され、画像処理制御装置９により二値化処理がなさ
れた画像データを拡大してモニタ画面に出力するもので
ある。ここで配線パターン２の欠陥部分の位置は、配線
パターン検査装置等から予め制御用コンピュータ１０に
伝達して入力しておき、この入力された配線パターン２
の欠陥部分の位置を基にして、欠陥が検出されている部
分の上方に画像検出器６をスライド移動させるように制
御するものである。

【００２９】また評価テーブル５上の基材１の配線パタ
ーン２の欠陥確認が終了した後に、制御用コンピュータ
１０は、補正用画像検出器７により検出され、画像処理
制御装置９により二値化処理がなされた画像データに基
づいて、巻取り機４及び巻出し機３を駆動させる制御信
号を巻き取り機、巻出し機３、及び二対のピンチロール
２２に伝達し、基材１上の次の配線パターン２を評価テ
ーブル５上の所定の位置に繰り出して配置させるように
するものである。具体的には、まず、補正用画像検出器
７により検出され、画像処理制御装置９により二値化処
理がなされた画像データを、予め登録されている位置補
正用マーク１８の基準パターンと照合して、基材１の位
置補正用マーク１８の中心位置の座標を導出し、基材１
上の次の配線パターン２を評価テーブル５の所定位置に
送るための送り距離を導出する。次にこの送り距離に基
づく電気信号を、巻出し機３、巻取り機４、及び二対の
ピンチロール２２に伝達し、巻出し機３、巻取り機４、
及び二対のピンチロール２２を駆動させて、基材１を導
出された送り距離だけ送り、次の配線パターン２を評価
テーブル５上の所定位置に配置して、引き続き配線パタ
ーン２の欠陥確認を行うようにするものである。ここで
巻出し機３及び巻取り機４により基材１を送る場合は、
巻出し機３及び巻取り機４の、基材１が巻き回されてい
るロールの径が、基材１が送られるに従って変化し、同
一のロールの回転量であっても基材１の送り量が変化し
て、基材１の送り量を正確に制御することが困難なもの
であるが、図１のように、制御用コンピュータ１０にて
二対の回転駆動するピンチローラ２２を上記のように制
御することによって、基材１の送り量の微調整を行い、
基材１上の配線パターン２を、評価テーブル５上の所定
の位置に正確に送ることができるものである。

【００３０】そして上記の図１に示すような配線パター
ン欠陥確認装置を用い、巻出し機３から基材１を巻出す
と共に巻取り機４から基材１を巻き取って基材１上の配
線パターン２を評価テーブル５上の所定位置に配置し、
画像検出器６にて、配線パターン２の欠陥が発生してい
る部分の画像を検出し、この欠陥が発生している部分の
画像をモニタ画面に拡大して出力し、このモニタ画面に
出力された画像を目視により観察することにより、配線
パターン２の欠陥を確認し、欠陥の確認後、巻出し機３
から基材１を巻出すと共に巻取り機４から基材１を巻き
取って、次の配線パターン２を評価テーブル５の所定位
置に配置し、続けて順次基材１に形成した配線パターン
２の欠陥の確認をすることができるものである。ここで
確認された欠陥は、その場でカッターナイフ等により修
正できるものは修正し、修正できないものにはマジック
等でチェックを入れて、後工程でラインから取り除くよ
うにすれば良いものである。このようにして構成される
配線パターン欠陥確認装置を用いると、長尺の基材１に
一列に複数個形成された配線パターン２の欠陥確認を、
この基材１を送りながら正確に、かつ作業効率良く行う
ことができるものである。

【００３１】また上記のような図１に示す配線パターン
欠陥確認装置においては、巻出し機３と巻取り機４の設
置位置を交換すると共に、合紙巻取りロール１３と合紙
巻出しロールとの設置位置を交換することもできる。そ
してピンチロール２２による基材１の送り方向を、上記
のものと反対向きにすることにより、上記の場合と同様
にして、長尺の基材１上の配線パターン２の欠陥確認を
行うことができるものである。

【００３２】 図２は、本発明の配線パターン欠陥確認
装置の一例を示すものである。この図２に示すもので
は、巻出し機３を評価テーブル５の一側方に配設すると
共に、巻取り機４を評価テーブル５の他側方に配設する
ものである。そして巻出し機３から巻出された基材１
は、評価テーブル５の上面に送られ、そのまま巻取り機
４にて巻き取られるようにするものである。

【００３３】またシリンダ制御にて昇降自在な昇降ロー
ル１２は、基材１が巻出し機３からまき出されて評価テ
ーブル５まで送られるまでの基材１の配路と、基材１が
評価テーブル５から引き出されて、巻取りロールに巻き
取られるまでの基材１の配路にそれぞれ配設するもので
ある。この昇降ロール１２は、基材１の配路の下方に、
その上端が評価テーブル５の上面と略同一高さになるよ
うに配置し、シリンダ制御にてこの昇降ロール１２を上
昇させた際に、配路上の基材１を上方に押し上げること
ができるように形成するものである。この昇降ロール１
２は、巻出し機３及び巻取り機４を駆動させて基材１を
送る際に上昇させて、評価テーブル５上を送られる基材
１を、評価テーブル５の上面と離間させるものであり、
このようにすることによって、基材１を送る際に基材１
と評価テーブル５との間の摩擦により基材１が破損する
ことを防ぐものである。そして、評価テーブル５上の基
材１の配線パターン２の欠陥確認を行う際は、昇降ロー
ル１２を下降させて、評価テーブル５の上面に基材１を
配置するようにするものである。

【００３４】また評価テーブル５には、図１に示すよう
な、評価テーブル５を鉛直軸を中心にして回転させるサ
ーボモータ等のモータ８は設けずに、代わりに、図５に
示すように、巻出し機３及び巻取り機４を、サーボモー
タ制御等により基材１の送り方向と垂直かつ水平方向に
スライド移動自在に形成するものである。この巻取り機
４及び巻出し機３のスライド移動は、制御用コンピュー
タ１０により制御されるようにするものである。

【００３５】また巻出し機３から、巻出し機３側の昇降
ロール１２までの間の基材１の配路に、一対のピンチロ
ール２２、２２を設け、配路上の基材１をこのピンチロ
ール２２、２２間に挟持させるものであるこの一対のピ
ンチロール２２、２２は、サーボモータ等のモータ制御
により回転駆動して、配路上の基材１を評価テーブル５
へ送るものである。ここでこのピンチロール２２、２２
は制御用コンピュータ１０に接続され、この制御用コン
ピュータ１０にてピンチロールの回転量が制御され、こ
のピンチロール２２、２２による基材１の送り量が制御
されるものである。

【００３６】また巻取り機４から、巻取り機４側の昇降
ロール１２までの間の基材１の配路に、一対のピンチロ
ール２２、２２を設け、配路上の基材１をこのピンチロ
ール２２、２２間に挟持させるものであるこの一対のピ
ンチロール２２、２２は、サーボモータ等のモータ制御
により回転駆動して、配路上の基材１を評価テーブル５
から巻取り機４へ向けて送るものである。ここでこのピ
ンチロール２２、２２は制御用コンピュータ１０に接続
され、この制御用コンピュータ１０にてピンチロールの
回転量が制御され、このピンチロール２２、２２による
基材１の送り量が制御されるものである。

【００３７】また制御用コンピュータ１０は、評価テー
ブル５上の所定位置に、欠陥確認の対象である配線パタ
ーン２が配置された際、配線パターン２の欠陥確認を行
う前に、基材１上の一対の位置補正用マーク１８のそれ
ぞれの上方に画像検出器６をスライド移動させるように
画像処理制御装置９に信号を送り、このとき画像検出器
６により検出され、画像処理制御装置９により二値化処
理がなされた画像データを、予め登録されている位置補
正用マーク１８の基準パターンと照合して、この一対の
位置補正用マーク１８のそれぞれの中心位置の座標を導
出し、図４（ｂ）に示すような、この位置補正用マーク
１８の中心同士を結ぶ線と、基材１が正常に配置されて
いる場合の位置補正用マーク１８の中心同士を結ぶ線と
がなす角θを算出する。この角度θは既に述べたよう
に、基材１の送り方向の、正常な状態からのずれに相当
する。そして、この算出された角度θに応じた電気信号
を、巻出し機３及び巻取り機４に送り、巻出し機３及び
巻取り機４のモータ８を駆動させて、巻出し機３及び巻
取り機４をスライド移動させて基材１の送り方向を位置
補正用マーク１８のずれと反対方向に角度θだけ鉛直軸
を中心に回転させて、基材１の送り方向のずれを矯正す
る。それに伴って基材１上の配線パターン２が、正常な
所定位置に配置されることになり、配線パターン２の欠
陥確認を正確に行うことができるようになるものであ
る。

【００３８】また、他の構成は、図１に示すものと同様
である。

【００３９】そして上記の図２に示すような配線パター
ン欠陥確認装置を用い、図１に示すものと同様に、巻出
し機３から基材１を巻出すと共に巻取り機４から基材１
を巻き取って基材１上の配線パターン２を評価テーブル
５上の所定位置に配置し、画像検出器６にて、配線パタ
ーン２の欠陥が発生している部分の画像を検出し、この
欠陥が発生している部分の画像をモニタ画面に拡大して
出力し、このモニタ画面に出力された画像を目視により
観察することにより、配線パターン２の欠陥を確認し、
欠陥の確認後、巻出し機３から基材１を巻出すと共に巻
取り機４から基材１を巻き取って、次の配線パターン２
を評価テーブル５の所定位置に配置し、続けて順次基材
１に形成した配線パターン２の欠陥の確認をすることが
できるものである。このようにして構成される配線パタ
ーン欠陥確認装置を用いると、長尺の基材１に一列に複
数個形成された配線パターン２の欠陥確認を、この基材
１を送りながら正確に、かつ効率良く行うことができる
ものである。

【００４０】また図３に示す配線パターン欠陥確認装置
は、図２に示すものの構成に加えて、巻出し機３と評価
テーブル５の間の基材１の配路上に、長尺の基材１を送
りながら基材１の配線パターン２の欠陥検査を画像処理
等により行う配線パターン検査装置１９を設けたもので
ある。この配線パターン２にて検出される配線パターン
２の欠陥の情報は、制御用コンピュータ１０に伝達され
るようにするものである。またこの配線パターン検査装
置１９と評価テーブル５の間の配路上には、一対の送り
ロール１６を配設すると共に、この送りロール１６の間
の下方に、ダンサロール１７を、昇降自在に配設し、基
材１をこの送りロール１６の上部で掛け支えると共に、
ダンサロール１７の下部に掛け支えることにより、基材
１を送りロール１６及びダンサロール１７にてＵ字状に
掛け支えるものである。そして配線パターン検査装置１
９による基材１の配線パターン２の検査速度と、配線パ
ターン２の欠陥確認速度の差によって生じる、配線パタ
ーン検査装置１９から送られてくる基材１の送り速度
と、巻取り機４による基材１の巻取り速度の差に応じて
このダンサロール１７が昇降し、配路を送られる基材１
のたるみを吸収することができるものである。

【００４１】そしてこの図３に示すような配線パターン
欠陥確認装置を用い、巻出し機３にて巻出された基材１
をまず配線パターン検査装置１９に送り、配線パターン
２の欠陥検査を行った後、基材１をそのまま評価テーブ
ル５に送って基材１上の配線パターン２を評価テーブル
５の所定位置に配置し、画像検出器６にて、配線パター
ン検査装置１９にて検出された配線パターン２の欠陥が
発生している部分の画像を検出し、この欠陥が発生して
いる部分の画像をモニタ画面に拡大して出力することが
できるものであって、このモニタ画面に出力された画像
を目視により観察することにより、配線パターン２の欠
陥を確認するものである。このようにして構成される配
線パターン欠陥確認装置を用いると、長尺の基材１に一
列に複数個形成された配線パターン２の欠陥確認を、こ
の基材１を送りながらまず欠陥検査を配線パターン検査
装置１９にて行った後、引き続いて基材１を送りなが
ら、配線パターン検査装置１９にて検出された欠陥の確
認を正確に行うことができ、配線パターン２の欠陥の検
査と、検出された欠陥の確認を、一つの連続したライン
で行うことができ、欠陥検査の終了後に基材１を配線パ
ターン欠陥確認装置に運搬したりする時間や手間をかけ
る必要がなくなって、作業効率を向上することができる
ものである。

【００４２】

【００４３】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の配線パターン
欠陥確認装置は、評価テーブルと、評価テーブルの一側
方に配設され、配線パターンが形成された長尺の基材を
評価テーブルに向けて巻出す巻出し機と、評価テーブル
の他側方に配設され、評価テーブルから基材を巻取る巻
取り機と、評価テーブルの上方に、基材上の配線パター
ンの予め欠陥が検出されている部分の上方に移動するよ
うに水平方向にスライド移動自在に配設され、評価テー
ブル上の基材の画像を検出する画像検出器と、基材上に
形成した位置補正用マークの画像を検出する補正用画像
検出器と、補正用画像検出器にて検出された画像を基に
して巻出し機及び巻取り機による基材送りの長さを制御
する制御部とを具備するため、巻出し機から基材を巻出
すと共に巻取り機から基材を巻き取って基材上の配線パ
ターンを評価テーブル上に配置し、画像検出器にて、配
線パターンの欠陥が発生している部分の画像を検出して
配線パターンの欠陥を確認し、欠陥の確認後、巻出し機
から基材を巻出すと共に巻取り機から基材を巻き取っ
て、次の配線パターンを評価テーブルに配置し、続けて
順次基材に形成した配線パターンの欠陥の確認をするこ
とができるものであり、長尺の基材に一列に複数個形成
された配線パターンの欠陥確認を、この基材を送りなが
ら作業効率良く行うことができるものである。また、基
材上の一つの配線パターンの欠陥確認を終了した後、巻
出し機及び巻取り機にて基材上の次の配線パターンが評
価テーブル上の所定位置に配置されるような長さだけ基
材を送ることができ、基材上の配線パターンの欠陥確認
を正確に行うことができるものである。

【００４４】

【００４５】 また、上記の構成に加えて、巻出し機及
び巻取り機を、それぞれ基材の送り方向と垂直な水平方
向にスライド移動自在に配設するため、基材の送り方向
にずれが生じた際に、巻出し機及び巻取り機をスライド
移動させることにより、基材の送り方向のずれを矯正
し、基材に形成された配線パターンの欠陥確認を正確に
行なうようにすることができるものである。

【００４６】

【００４７】 また本発明の請求項２に記載の配線パタ
ーン欠陥確認装置は、請求項１の構成に加えて、巻出し
機と評価テーブルの間の基材の配路に、基材に形成され
た配線パターンの欠陥検査を行う配線パターン検査装置
を配設するため、基材を送りながらまず欠陥検査を配線
パターン検査装置にて行った後、引き続いて基材を送り
ながら、配線パターン検査装置にて検出された欠陥の確
認を正確に行うことができ、配線パターンの欠陥の検査
と、検出された欠陥の確認を、一つの連続したラインで
行うことができ、欠陥検査の終了後に基材を配線パター
ン欠陥確認装置に運搬したりする時間や手間をかける必
要がなくなって、作業効率を向上することができるもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の参考例を示す、概略図である。

【図２】本発明の実施の形態の一例を示す、概略図であ
る。

【図３】本発明の実施の形態の他の例を示す、概略図で
ある。

【図４】（ａ）は基材の一例を示す平面図、（ｂ）は基
材に形成した位置補正用マークのずれを示す一部の平面
図である。

【図５】図２に示す本発明の実施の形態の動作を示す概
略平面図である。

【図６】従来例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 基材 ２ 配線パターン ３ 巻出し機 ４ 巻取り機 ５ 評価テーブル ６ 画像検出器 ７ 補正用画像検出器 １８ 位置補正用マーク １９ 配線パターン検査装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北村 武士 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−48147（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−175302（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−113466（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−145643（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−306160（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−210835（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 評価テーブルと、評価テーブルの一側方
   に配置され、配線パターンが形成された長尺の基材を評
   価テーブルに向けて巻出す巻出し機と、評価テーブルの
   他側方に配設され、評価テーブルから基材を巻取る巻取
   り機と、評価テーブルの上方に、基材上の配線パターン
   の予め欠陥が検出されている部分の上方に移動するよう
   に水平方向にスライド移動自在に配設され、評価テーブ
   ル上の基材の画像を検出する画像検出器と、基材上に形
   成した位置補正用マークの画像を検出する補正用画像検
   出器と、補正用画像検出器にて検出された画像を基にし
   て巻出し機及び巻取り機による基材送りの長さを制御す
   る制御部とを具備し、前記巻出し機及び巻取り機を、そ
   れぞれ基材の送り方向と垂直な水平方向にスライド移動
   自在に配設して成ることを特徴とする配線パターン欠陥
   確認装置。
2. 【請求項２】 巻出し機と評価テーブルの間の基材の配
   路に、基材に形成された配線パターンの欠陥検査を行う
   配線パターン検査装置を配設して成ることを特徴とする
   請求項１に記載の配線パターン欠陥確認装置。