JP2000106480A

JP2000106480A - 配線パタ―ン検査装置

Info

Publication number: JP2000106480A
Application number: JP11044050A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Kitamura; 武士北村; Tetsuya Oguchi; 哲哉大口; Hiroyuki Ishiguro; 宏幸石黒; Yoshio Mori; 好男森
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1998-07-28
Filing date: 1999-02-23
Publication date: 2000-04-11

Abstract

(57)【要約】【課題】長尺の基材に一列に複数個形成された配線パ
ターンの欠陥検査を、この基材を送りながら行うことが
できる配線パターンの検査装置を提供する。【解決手段】配線パターン２が形成された長尺の基材
１を送る搬送部と、基材１の配線パターン２を検出する
検出部と、検出部による基材１の配線パターン２の検査
速度を、基材１と検出部との相対速度と同調させる制御
部とを具備して成る。長尺の基材に形成された配線パタ
ーンの検査を、基材を送りながら正確に行うことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基材上に形成され
た配線パターンを検査する配線パターン検査装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板等の配線パターンの欠陥
検査を行う場合、従来は配線板等を一枚づつ、ＣＣＤカ
メラ等の画像検出器にて走査し、画像処理等を用いて検
査を行っていたものである。

【０００３】一方プリント配線板を製造する方法とし
て、長尺の基材に複数の配線パターンを一列に形成した
後、この基材を切断する方法がある。このようにして形
成されるプリント配線板の配線パターンを検査する場
合、従来は長尺の基材から切断された配線板を一枚ずつ
検査しなければならないものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
長尺の基材に形成された配線パターンを検査するにあた
り、基材を切断せずに長尺の基材の状態のままとし、こ
の基材を検査装置に送りながら配線パターンを検査する
ことができれば、プリント配線板を一枚づつ検査装置に
送る場合と比べて作業効率を著しく向上することができ
るものである。

【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、長尺の基材に一列に複数個形成された配線パター
ンの欠陥検査を、この基材を送りながら行うことができ
る配線パターンの検査装置を提供することを目的とする
ものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の配線パターン検査装置は、配線パターン２が形成され
た長尺の基材１を送る搬送部と、基材１の配線パターン
２を検出する検出部と、検出部による基材１の配線パタ
ーン２の検査速度を、基材１と検出部の相対速度に同調
させる制御部とを具備して成ることを特徴とするもので
ある。

【０００７】また本発明の請求項２に記載の配線パター
ン検査装置は、配線パターン２が形成された長尺の基材
１を送る搬送部と、基材１の配線パターン２を検出する
検出部と、基材１と検出部との相対速度を、検出部が基
材１の一定範囲を検査するのに要する時間で示される検
査時間に同調させる制御部とを具備して成ることを特徴
とするものである。

【０００８】また本発明の請求項３に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１の構成に加えて、検出部とし
て、基材１を走査して基材１に形成された配線パターン
２の画像を検出する画像検出器１１を具備すると共に、
画像検出器１１の走査速度を搬送部による基材１の搬送
速度に同調させる制御部を具備して成ることを特徴とす
るものである。

【０００９】また本発明の請求項４に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１又は３の構成に加えて、画像検
出器１１にて得られた配線パターン２の画像を、基材１
と画像検出器１１との相対速度に応じて縮小又は伸張す
る制御部を具備して成ることを特徴とするものである。

【００１０】また本発明の請求項５に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１乃至４のいずれかの構成に加え
て、搬送部として、回転駆動して基材１を送るピンチロ
ール３を具備して成ることを特徴とするものである。

【００１１】また本発明の請求項６に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１乃至５のいずれかの構成に加え
て、搬送部として、基材１の送り方向にスライド移動自
在なバキュームテーブル４を具備して成ることを特徴と
するものである。

【００１２】また本発明の請求項７に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６の構成に加えて、バキュームテ
ーブル４を、基材１が送られる配路の下方に配設すると
共に、配路を介したバキュームテーブル４の上方に、昇
降自在な押圧ロール５を具備して成ることを特徴とする
ものである。

【００１３】また本発明の請求項８に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６の構成に加えて、バキュームテ
ーブル４を昇降自在に形成して成ることを特徴とするも
のである。

【００１４】また本発明の請求項９に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６乃至８のいずれかの構成に加え
て、バキュームテーブル４を、鉛直軸を中心に回転可能
に形成して成ることを特徴とするものである。

【００１５】また本発明の請求項１０に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至９のいずれかの構成に加
えて、基材１の送り入れ側と送り出し側のうちの少なく
とも一方に、ダンサロール６を配設して成ることを特徴
とするものである。

【００１６】また本発明の請求項１１に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１０のいずれかの構成に
加えて、巻出し機１２と巻取り機１３を、それぞれ基材
１の送り方向と垂直な水平方向にスライド移動自在に配
設して成ることを特徴とするものである。

【００１７】また本発明の請求項１２に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１１のいずれかの構成に
加えて、基材１上の配線パターン２を、一方向に走査し
た後、逆方向に走査することにより、基材１上の配線パ
ターン２を検出する検出部を具備して成ることを特徴と
するものである。

【００１８】また本発明の請求項１３に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１２のいずれかの構成に
加えて、基材１上に形成した位置補正用マーク７の位置
を検出する補正用検出部と、補正用検出部にて得られた
信号から搬送部による基材１の搬送長さを制御する制御
部とを具備して成ることを特徴とするものである。

【００１９】また本発明の請求項１４に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１３の構成に加えて、制御部と
して、補正用検出部からの信号から位置補正用マーク７
の位置を導出し、この導出された位置補正用マーク７の
位置から、配線パターン２を所定の検査位置に送るため
に必要な基材１の搬送長さを導出し、この導出された基
材１の搬送長さに応じて搬送部を制御して基材１を搬送
し、配線パターン２の検査後、基材１上の位置補正用マ
ーク７の間隔と、基材１の搬送長さとから、基材１上の
次の位置補正用マーク７を補正用検出部にて検出可能な
位置に配置するための基材１の搬送長さを導出し、この
導出された基材１の搬送長さに応じて搬送部を制御して
基材１を搬送するものを設けて成ることを特徴とするも
のである。

【００２０】また本発明の請求項１５に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１４のいずれかの構成に
加えて、基材１の送り入れ側に前処理装置８を、基材１
の送り出し側に後処理装置９をそれぞれ配設して成るこ
とを特徴とするものである。

【００２１】また本発明の請求項１６に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１５の構成に加えて、前処理装
置８として、長尺の基材１を送りながら、基材１表面の
化学研磨、レジストインクの塗布、レジストインクの露
光によるエッチングレジストの形成、レジストインクの
非露光部分の除去という工程を順次行う装置を配設して
成ることを特徴とするものである。

【００２２】また本発明の請求項１７に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１５の構成に加えて、前処理装
置８として、長尺の基材１を送りながら、基材１表面の
化学研磨、レジストインクの塗布、レジストインクの露
光によるエッチングレジストの形成、レジストインクの
非露光部分の除去、基材１のエッチング処理による回路
形成及びエッチングレジストの除去という工程を順次行
う装置を配設して成ることを特徴とするものである。

【００２３】また本発明の請求項１８に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１７のいずれかの構成に
加えて、検出部として、基材１を走査して基材１に形成
された配線パターン２の画像を検出する画像検出器１１
を具備すると共に、画像検出器１１を、基材１の送り方
向に対して垂直な方向に移動自在に形成して成ることを
特徴とするものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００２５】本発明に係る配線パターン検査装置は、配
線パターンが形成された長尺の基材１を搬送部にて連続
的に送り、この連続的に送られる基材１上の配線パター
ン２を検出部にて検出することにより、配線パターン２
の欠陥検査を行うものである。以下、実施の形態の例を
挙げて具体的に説明する。

【００２６】本発明において、検査の対象となるのは、
配線パターン２を形成した長尺の基材１である。この基
材１は、樹脂層の表面に銅箔等の金属箔を貼着するなど
して形成したものを用いることができ、この基材１の金
属箔に光硬化性のレジストインクを塗布し、更にその上
に配線パターン２のマスクパターンを形成したフィルム
を載せた状態でレジストインクを露光硬化させ、非露光
部分を除去して金属箔上にレジストパターンを形成した
ものを用いることができる。また更にこのレジストパタ
ーンを形成した基材１をエッチング処理した後、レジス
トパターンを除去したものを用いることもできる。

【００２７】ここで上記の配線パターン２は、同一のパ
ターンを、基材１の長尺方向に所定の隙間をあけて一列
に複数個形成するものである。そして基材１上の隣合う
各配線パターン２間の所定の位置には、図５に示すよう
に、一対の位置補正用マーク７を、この一対の位置補正
用マーク７の中心を結ぶ線が、基材１の長尺方向と垂直
になるように、所定の間隔をあけて配列して捺印するも
のである。この位置補正用マーク７は、上記のレジスト
パターンやエッチングパターンにより形成することがで
きる。ここで位置補正用マーク７の捺印位置は、隣り合
う配線パターン２間に限るものではなく、例えば配線パ
ターン２内に捺印しても良いものである。

【００２８】図１及び図１０に示すように、配線パター
ン検査装置の一側に、基材１が巻回され、この巻回され
た基材１を巻き出す巻出し機１２を配設し、他側には、
巻出し機１２にて巻き出された基材１を巻き取る巻き取
り機１３を配設する。ここで上記のように形成された基
材１は、合紙１６と重ね合わされた状態で、巻出し機１
２に巻き回される。巻出し機１２からは、この基材１が
巻き出される。このとき基材１に重ねられている合紙１
６は合紙巻取りロール１４にて巻き取られて基材１から
引き剥がされる。そしてこの基材１は、検査に供された
後、巻取り機１３にて巻き取られるものであり、このと
き巻取り機１３は合紙巻出しロール１５から合紙１６を
同時に巻取って、基材１と合紙１６を重ねた状態で巻き
取るようにしている。

【００２９】上記のようにして送られる基材１の配路に
は、搬送部にて順次送られる基材１上の配線パターン２
の画像を検出する検出部として画像検出器１１を設けて
いる。この画像検出器１１は、基材１の上方に離間させ
て配置するものである。画像検出器１１としては、対象
物の明暗の様子を電気信号に変換してデータ化する装置
を用いることができ、例えばＣＣＤ（電荷結合デバイ
ス）カメラ等の画像入力素子にて構成することができ
る。

【００３０】また基材１の配路の、画像検出器１１より
も基材１の巻出し側において、基材１の配路の上方に、
基材１上に形成した位置補正用マーク７の位置を検出す
る補正用検出部として、補正用画像検出器１８を配設す
るものである。この補正用画像検出器１８としては、上
記の画像検出器１１と同様に、対象物の明暗の様子を電
気信号に変換してデータ化する装置を用いることがで
き、ＣＣＤカメラ等の画像入力素子により形成すること
ができる。そしてこの補正用画像検出器１８にて、上記
の画像検出器１１により一つの配線パターン２の画像の
取り込みが終了した際の、基材１上の位置補正用マーク
７の画像を検出するものである。

【００３１】また基材１の配路上には、搬送部として、
上記の補正用画像検出器１８よりも巻出し機１２側に、
一対のピンチロール３を、基材１を狭持するように配設
すると共に、上記の画像検出器１１よりも巻取り機１３
側にも、一対のピンチロール３を、基材１を狭持するよ
うに配設するものである。このピンチロール３は、サー
ボモータ制御により順方向及び逆方向に回転駆動するよ
うに形成し、基材１をこの二対のピンチロール３の間
で、順方向及び逆方向に送ることができるようにするも
のである。この各ピンチロール３は速度コントローラ２
５に接続されて、ピンチロール３の回転動作が速度コン
トローラ２５によって制御されるようにするものであ
る。またこのピンチロール３は、同一高さに配設して、
基材１を水平に搬送できるようにするものである。

【００３２】また同じく搬送部として、二対のピンチロ
ール３間に、サーボモータ制御等によりガイドレール２
１に沿って基材１の送り方向にスライド移動自在なバキ
ュームテーブル４を配設するものである。このバキュー
ムテーブル４は制御用コンピュータ２７に接続され、制
御用コンピュータ２７により、バキュームテーブル４の
スライド移動動作が制御されるようにするものである。
またこのバキュームテーブル４は、基材１上の配線パタ
ーン２を画像検出器１１にて走査する際に、上面に形成
された細孔から空気を吸引することにより、上面に配路
上の基材１を吸着させて、基材１をバキュームテーブル
４上に固定することができるものである。そして基材１
上の配線パターン２を画像検出器１１にて走査する際
に、基材１を搬送部にて送りながら走査を行う場合は、
走査する対象である基材１の配線パターン２の下方にこ
のバキュームテーブル４を配置すると共に、このバキュ
ームテーブル４に基材１を吸着させ、この状態でピンチ
ロール３による基材１送りに同調させてバキュームテー
ブル４をスライド移動させるものであり、そのため検査
対象である配線パターン２にたるみが生じることを防い
で、正確な検査を行うことができるものである。そし
て、画像検出器１１による配線パターン２の走査が終了
した後、バキュームテーブル４による基材１の吸着を解
除し、この状態で、上記のように、ピンチロール３にて
基材１を送って、次の配線パターン２を画像検出器１１
の下方の所定位置に配置するようにするものである。

【００３３】ここでバキュームテーブル４は、図６
（ａ）に示すように、その上面を配路上の基材１の下方
に離間させて配設すると共に、バキュームテーブル４の
両端付近の、配路上の基材１を介した上方に、シリンダ
制御等により昇降自在な押圧ロール５を設けることがで
きる。そして、バキュームテーブル４に基材１を吸着さ
せる際には、図６（ｂ）に示すように押圧ロール５をシ
リンダー制御にて下降させることにより、基材１をバキ
ュームテーブル４の上面に密着させ、この状態でバキュ
ームテーブル４により基材１を吸着させるようにするも
のである。このようにすると、一つの配線パターン２の
検査を終了した後、基材１をバキュームテーブル４に吸
着させずにピンチロール３等で送って、次の配線パター
ン２を所定の位置まで配置させる等するときには、押圧
ロール５を上昇させてバキュームテーブル４と基材１と
が離間した状態として、基材１とバキュームテーブル４
との間に摩擦が生じて基材１に機械的な破損が生じるこ
とを防ぐことができ、かつ、基材１をバキュームテーブ
ル４に吸着させるときは、押圧ロール５を下降させて基
材１とバキュームテーブル４を密着させた状態とし、バ
キュームテーブル４にて基材１を確実に吸着させること
ができるものである。

【００３４】また図７（ａ）に示すように、バキューム
テーブル４を、その上面を配路上の基材１の下方に離間
させて配設すると共に、バキュームテーブル４に、バキ
ュームテーブル４を昇降させるシリンダ機構２０を設け
ることもできる。そしてバキュームテーブル４に基材１
を吸着させる際は、図７（ｂ）に示すように、シリンダ
機構２０にてバキュームテーブル４を上昇させてバキュ
ームテーブル４の上面を基材１に密着させ、この状態で
バキュームテーブル４に基材１を吸着させるものであ
る。このようにすると、図６（ａ）（ｂ）に示すものと
同様に、一つの配線パターン２の検査を終了した後、基
材１をバキュームテーブル４に吸着させずにピンチロー
ル３等で送って、次の配線パターン２を所定の位置まで
配置させるとき等には、バキュームテーブル４を下降さ
せてバキュームテーブル４と基材１とが離間した状態と
して、基材１とバキュームテーブル４との間に摩擦が生
じて基材１に機械的な破損が生じることを防ぐことがで
き、かつ、基材１をバキュームテーブル４に吸着させる
ときは、バキュームテーブル４を上昇させてバキューム
テーブル４と基材１とを密着させた状態とし、バキュー
ムテーブル４にて基材１を確実に吸着させることができ
るものである。またこの図７（ａ）（ｂ）に示すバキュ
ームテーブル４は、その下部をガイドレール２１上にス
ライド自在に取着するようにして、バキュームテーブル
４をガイドレール２１上でスライドさせることにより、
バキュームテーブル４を基材１の長尺方向にスライド移
動自在としたものである。

【００３５】上記の搬送部としては、ピンチロール３の
みを設けるようにすることもできる。またピンチロール
３を設けずに、その代わりに巻取り機１３及び巻出し機
１２を搬送部として形成し、この巻取り機１３及び巻出
し機１２の動作を、上記のピンチロール３と同様に速度
コントローラ２５にて制御することもできる。このよう
に巻取り機１３及び巻出し機１２を搬送部として形成す
る場合は、下記のダンサロール６は設けなくても良いも
のである。このように巻取り機１３及び巻出し機１２を
搬送部として形成すると、画像検出器１１にて基材１を
走査する際の基材１の送り速度を巻取り機１３及び巻出
し機１２にて制御することとなる。しかし、このとき巻
取り機１３にて基材１を巻取り、また巻出し機１２にて
基材１を巻出しをしていくに従って、巻取り機１３及び
巻出し機１２の、基材１を巻き回しているロールの径が
変化していき、基材１を一定速度で送るためには、この
ロール径の変化に伴ってロールの回転速度を変化させな
ければならなくなるため、基材１の送り速度を正確にコ
ントロールするためには、上記のように回転駆動するピ
ンチロール３にて基材１を走査する際の基材１の送り速
度をコントロールする方が、より好ましい。

【００３６】また巻出し機１２側のピンチロール３と巻
出し機１２との間、及び巻取り機１３側のピンチロール
３と巻取り機１３との間には、それぞれ二つの送りロー
ル２３を配設すると共に、この送りロール２３の間の下
方に上下昇降自在なダンサロール６を配設するものであ
る。そして基材１を、この送りロール２３とダンサロー
ル６にＵ字上に掛け支えさせるものである。このダンサ
ロール６は、巻出し機１２の巻出し速度及び巻取り機１
３の巻き取り速度と、搬送部による基材１の送り速度と
の差に応じて上下昇降し、基材１のたるみを吸収するも
のである。

【００３７】またこの図１、及び図１０に示す配線パタ
ーン検査装置には、制御部として、画像処理制御装置２
４、制御用コンピュータ２７、コンソールユニット２
６、及び速度コントローラ２５を設けるものである。

【００３８】図１に示す実施の形態における、基材１上
の配線パターン２を検出するための構成を具体的に説明
する。

【００３９】上記の画像検出器１１としては、例えば一
定面積の画像検出範囲１７の画像を２５６階調の濃淡度
で順次検出するＣＣＤ（電荷結合デバイス）カメラ等の
画像入力素子を複数個組み合わせて構成し、この画像検
出器１１を、配線パターン２に対して相対的に移動させ
ることにより、配線パターン２を走査して、配線パター
ン２の画像を検出するものである。

【００４０】図１に示すものにおいては、ＣＣＤカメラ
等の画像入力素子を基材１の送り方向に対して垂直な方
向に一列に並べて配置して画像検出器１１を構成し、基
材１上を基材１の送り方向に沿って走査することによっ
て、基材１の配線パターン２の画像を取り込むことがで
きるものを用いることができる。

【００４１】この画像検出器１１による配線パターン２
の走査は、図１に示すものでは、搬送部にて基材１を送
り、それに応じて画像検出器１１により順次基材１上の
配線パターン２の画像を取りこんでいくことにより行う
ものである。

【００４２】ここで図２に示すように、ＣＣＤカメラ等
の画像入力素子を、その各画像入力素子の画像検出範囲
１７が横に隙間なく並ぶと共に、この基材１の送り方向
に並んだ画像検出範囲１７が、配線パターン２の、基材
１の送り方向と垂直な方向に沿った一辺の全長に亘るよ
うに配設して画像検出器１１を構成すると、検査対象で
ある配線パターン２を画像検出器１１の下方に配置した
状態で基材１を搬送部にて基材の送り方向に送ることに
より、画像検出器１１を配線パターン２に対して相対的
に基材１の送り方向と逆方向に移動させ、画像検出器１
１にて基材１上の配線パターン２を１回走査するだけで
配線パターン２の画像を全て取り込むことができる。

【００４３】一方、図３（ａ）（ｂ）に示すように、Ｃ
ＣＤカメラ等の画像入力素子を、その画像入力素子の画
像検出範囲１７間に、画像入力素子一つ分の画像検出範
囲１７と同一の隙間を介して並ぶように配設して画像検
出器１１を構成すると、画像入力素子の個数を半減さ
せ、コストを低減することができる。この図３（ａ）
（ｂ）に示すような画像検出器１１にて配線パターン２
を走査する場合には、まず検査対象である配線パターン
２を画像検出器１１の下方に配置した状態で基材１を搬
送部にて基材１の送り方向に送ることにより、画像検出
器１１を配線パターン２に対して相対的に基材１の送り
方向と逆方向に移動させ、画像検出器１１にて、図３
（ａ）のように配線パターン２上を１回走査した後、画
像検出器１１を画像入力素子一つ分の画像検出範囲１７
だけ基材１の送り方向と垂直な横方向にスライドさせ、
更に、基材１を搬送部にて基材１の送り方向と逆方向に
送ることにより、画像検出器１１を配線パターン２に対
して相対的に基材１の送り方向に移動させ、図３（ｂ）
のように逆向きに配線パターン２を走査することによ
り、配線パターン２の画像を全て取り込むことができる
ものである。また、画像検出器１１を配設するにあたっ
て、画像入力素子の画像検出範囲１７間に、画像入力素
子一つ分の画像検出範囲１７よりもやや狭い隙間を介し
て並ぶように配設し、画像検出器１１を横方向にスライ
ド移動させるにあたっては、画像入力素子一つ分の画像
検出範囲１７よりもやや狭い隙間だけ横方向にスライド
させて、二回目の走査を行う場合の画像検出範囲１７
が、一回目の走査を行った際の画像検出範囲１７と一部
重なるようにすると、画像検出器１１のスライド移動に
多少の誤差が発生しても配線パターン２を全て走査する
ことができ、画像検出器１１のスライド移動制御が容易
となる。

【００４４】ここで、基材１上の配線パターン２を画像
検出器１１にて走査する際、基材１送りを搬送部として
設けたピンチロール３を制御用コンピュータ及び速度コ
ントローラにて制御して行う場合は、サーボモータ制御
によりピンチロール３を一旦順回転させて基材１を二対
のピンチロール３の間で順方向に送ると、基材１上の配
線パターン２が画像検出器１１の下方で順方向に送られ
ることになり、基材１の配線パターン２を画像検出器１
１で１回走査することができる。そしてこの１回目の走
査が終了した後に、画像検出器１１を画像入力素子一つ
分の画像検出範囲１７だけ横方向にスライドさせ、更に
サーボモータ制御によりピンチロール３を逆回転させる
ことにより、基材１を二対のピンチロール３間で逆方向
に送ると、基材１上の配線パターン２が画像検出器１１
の下方で逆方向に送れられることになり、基材１の配線
パターン２のうち、１回目の走査では走査されなかった
部分を走査することができ、配線パターン２を全て走査
することができるものである。そしてその後ピンチロー
ル３を順回転させて基材１を送り、画像検出器１１の下
方の所定位置に次の配線パターン２を配置させ、引き続
きこの配線パターン２の走査を行うようにするものであ
る。このように画像検出器１１にて基材１を走査する際
に、回転駆動するピンチロール３にて基材２を送るよう
にすると、基材１の送り速度を正確に制御して、画像検
出器１１による基材１の走査を正確に行うことができる
ものである。また配線パターン２を走査する際、既に述
べたように基材１をバキュームテーブル４上に吸着さ
せ、基材１をピンチロール３にて送りながらバキューム
テーブル４をピンチロール３による基材１送りに同調さ
せてスライドさせると、基材１のたるみの発生を抑制し
て正確な検査を行うことができる。

【００４５】また上記の例では、画像検出器１１を固定
した状態で基材１を搬送部にて順方向に送りながら画像
検出器１１にて基材１を走査し、そして画像検出器１１
を横方向に、スライドさせてから更に画像検出器１１を
固定した状態で基材１を搬送部にて逆方向に送りながら
画像検出器１１にて基材１を走査するものであるが、画
像検出器１１にて基材１を走査する方法は、この方法に
限られるものではなく、例えば、画像検出器１１を直動
サーボモータ等の動力により基材１の送り方向と平行な
方向にスライド移動自在に形成すると共に、この画像検
出器１１のスライド移動を、制御用コンピュータ２７に
て制御するようにすることができる。このときは、基材
１送りを停止した状態で画像検出器１１を基材１の配線
パターン２上でスライド移動させながら、画像検出器１
１で配線パターン２を走査するものである。またこのと
きは、画像検出器１１を静止させた状態で基材１を搬送
部にて送りながら１回目の走査を行い、その後基材１送
りを停止して、画像検出器１１をスライド移動させ、２
回目の走査を行うようにすることもできる。

【００４６】次に、図１０に示す実施の形態における、
基材１上の配線パターン２を検出するための構成を具体
的に説明する。

【００４７】上記の画像検出器１１としては、図１に示
す場合と同様なＣＣＤカメラ等の画像入力素子を複数個
組み合わせて構成し、この画像検出器１１を、配線パタ
ーン２に対して相対的に移動させることにより、配線パ
ターン２を走査して、配線パターン２の画像を検出する
ものである。

【００４８】図１０に示すものにおいては、図１１、図
１２に示すように、ＣＣＤカメラ等の画像入力素子１１
ａを基材１の送り方向に対して平行な方向に一列に並べ
て配置して画像検出器１１を構成し、基材１上を基材１
の送り方向と垂直な横方向に走査することによって、基
材１の配線パターン２の画像を取り込むことができるも
のを用いることができる。この画像検出器１１は、基材
１の送り方向と垂直な横方向に沿って配設された摺動レ
ール１１ｂに沿って、直動サーボモータ機構等の動力機
構により摺動自在に形成し、画像検出器１１による配線
パターン２の走査は、画像検出器１１を摺動レール１１
ｂに沿って基材１の送り方向と垂直な横方向に移動さ
せ、それに応じて画像検出器１１により順次基材１上の
配線パターン２の画像を取りこんでいくことにより行う
ものである。

【００４９】ここでＣＣＤカメラ等の画像入力素子１１
ａを、その各画像入力素子１１ａの画像検出範囲１７が
基材１の送り方向に隙間なく並ぶと共に、この基材１の
送り方向に並んだ画像検出範囲１７が、配線パターン２
の、基材１の送り方向に沿った一辺の全長に亘るように
配設して画像検出器１１を構成すると、検査対象である
配線パターン２を画像検出器１１の下方に配置した状態
で、画像検出器１１を摺動レール１１ｂに沿って基材１
の送り方向と垂直な横方向に一回移動させ、画像検出器
１１にて基材１上の配線パターン２を１回走査するだけ
で配線パターン２全体を走査することができる。

【００５０】また図１１に示すように、画像入力素子１
１ａを、その各画像入力素子１１ａの画像検出範囲１７
が基材１の送り方向に隙間なく並ぶと共に、基材１の送
り方向に並んだ画像検出範囲１７が、配線パターン２
の、基材１の送り方向に沿った一辺の全長の１／２の長
さに亘るように配設して画像検出器１１を構成すると、
画像入力素子１１ａの個数を半減させ、コストを低減す
ることができる。この場合は、検査対象である配線パタ
ーン２を画像検出器１１の下方に配置した状態で、画像
検出器１１を摺動レール１１ｂに沿って基材１の送り方
向と垂直な横方向に移動させて配線パターンの１／２の
面積を走査した後、基材１を搬送部にて、配線パターン
２の、基材１の送り方向に沿った一辺の全長の１／２の
長さ分だけ送り、画像検出器１１を摺動レール１１ｂに
沿って前回と逆方向に移動させて配線パターンの残りの
１／２の面積を走査することによって、配線パターン２
全体を走査することができる。また、画像検出器１１を
配設するにあたって、画像入力素子１１ａを、基材１の
送り方向に並んだ画像検出範囲１７が、配線パターン２
の、基材１の送り方向に沿った一辺の全長の１／２の長
さよりもやや大きい長さに亘るように配設して、一回目
の走査において、配線パターン２の１／２の面積よりも
やや大きい面積を走査するようにし、配線パターン２を
一回走査した後、基材１を搬送部にて送るにあたって、
二回目の走査を行う場合の画像検出範囲１７が、一回目
の走査を行った際の画像検出範囲１７と一部重なるよう
にすると、基材１送りに多少の誤差が発生しても、配線
パターン２を全て走査することができ、搬送部による基
材１送り制御が容易となる。

【００５１】また、図１２に示すように、ＣＣＤカメラ
等の画像入力素子１１ａを、その各画像入力素子１１ａ
の画像検出範囲１７が基材１の送り方向に並ぶと共に、
その各画像入力素子１１ａの画像検出範囲１７間に、画
像入力素子１１ａ一つ分の画像検出範囲１７と同一の幅
の隙間を介して並ぶように配設して画像検出器１１を構
成すると、画像入力素子１１ａの個数を半減させ、コス
トを低減することができる。この図１２に示すような画
像検出器１１にて配線パターン２を走査する場合には、
まず検査対象である配線パターン２を画像検出器１１の
下方に配置した状態で画像検出器１１を摺動レール１１
ｂに沿って基材１の送り方向と垂直な横方向に一回移動
さることにより、画像検出器１１にて、配線パターン２
上を１回走査した後、基材１を搬送部にて画像入力素子
１１ａ一つ分の画像検出範囲１７だけ基材１の送り方向
に移動させ、更に、画像検出器１１を摺動レール１１ｂ
に沿って基材１の送り方向と垂直な、一回目の走査とは
逆の横方向に一回移動させることにより、逆向きに配線
パターン２を走査することにより、配線パターン２全体
を走査することができる。また、画像検出器１１を配設
するにあたって、画像入力素子１１ａの画像検出範囲１
７間に、画像入力素子１１ａ一つ分の画像検出範囲１７
よりもやや狭い隙間を介して並ぶように配設し、一回目
の走査の後、搬送部にて基材１を送るにあたっては、画
像入力素子１１ａ一つ分の画像検出範囲１７よりもやや
狭い隙間だけ横方向にスライドさせて、二回目の走査を
行う場合の画像検出範囲１７が、一回目の走査を行った
際の画像検出範囲１７と一部重なるようにすると、搬送
部による基材１送りに多少の誤差が発生しても配線パタ
ーン２を全て走査することができ、搬送部２による基材
１送り制御が容易となる。

【００５２】次に画像検出器１１にて検出された画像デ
ータを処理するための構成を説明する。上記のようにし
て構成される画像検出器１１においては、配線パターン
２上を一回走査すると、一つの画像検出素子にて、配線
パターン２の一部の画像が帯状に走査される。以下この
帯状の領域を素子走査検出領域３３という。ここで画像
検出素子として、その画像検出範囲１７を複数の画素に
分割して画素ごとの明暗の様子を、例えば２５６階調で
検出し、この検出結果を電気信号に変換してデータ化し
て画像処理制御装置２４に伝送するものを用いることが
できる。

【００５３】画像処理制御装置２４は、画像検出器１１
及び補正用画像検出器１８にて例えば２５６階調の濃淡
度で順次取り込んだ画像検出範囲１７ごとの画像の電気
信号を、ある一定の閾値で二値化する画像処理を行い、
このようにして導出される画像データを制御用コンピュ
ータ２７へ電気信号として順次送るものである。

【００５４】制御用コンピュータ２７は、画像制御装置
から順次伝達された、配線パターン２の二値化された画
像データから配線パターン２の全体画像を構成し、そし
てこの配線パターン２の全体画像を、予め登録されてい
る基準配線パターンと照合するパターンマッチングを行
い、検出された配線パターン２の画像の、基準配線パタ
ーンとのずれを検知し、その検知結果を出力するもので
ある。ここで、実用上問題とならないずれを許容するた
めに、画像データと基準配線パターンのずれを、±３０
０μｍの範囲で許容するようにすることが好ましい。

【００５５】制御用コンピュータ２７における配線パタ
ーン２の画像を再構成は、検出された各画素の画像デー
タに、画像処理制御装置２４又は制御用コンピュータ２
７において、ｘｙ座標系で示されるアドレスを割り振
り、制御用コンピュータ２７において各画素の画像デー
タをアドレスに基づいて配列することにより、素子走査
検出領域３３の画像を構成し、更に複数の画像検出素子
にて検出された各素子走査検出領域３３の画像をつなぎ
合わせることにより行うことができる。すなわち例えば
図１４（ａ）に示すように、素子走査検出領域３３を、
画像検出装置１１による送り方向に沿ってｊ列、この方
向と垂直な方向に沿ってｍ列の画素３４に分割して検出
するものとし、図中に矢印で示す画像検出素子の走査方
向と垂直な方向に沿って、各画素について検出される画
像データのアドレスに１〜ｍのｘ座標を順番に割り振
り、画像検出素子の走査方向に沿って０〜ｊのｙ座標を
順番に割り振って、各画素にｆ（ｘ、ｙ）のアドレスを
割り振り、このアドレスに基づいて素子走査検出領域３
３の画像を構成する。そしてこの構成された各素子走査
検出領域３３の画像に、配線パターン２上における配置
位置に基づいて端のものから順番にそれぞれＦ（１）か
らＦ（Ｎ）の番号を順に割り振り、Ｆ（１）からＦ
（Ｎ）の各画像を順につなぎ合わせるものである。ここ
でｊ、ｍ、Ｎは任意の自然数を示す。

【００５６】ここで上記のような規則に基づいて各画素
３４にアドレスを割り振ると、配線パターン２を画像検
出器１１にて往復２回走査して画像を検出する場合は、
一回目の走査と二回目の走査では、アドレスのｙ座標の
付け方が逆になる。すなわち例えば図３又は図１２に示
すように各画像検出素子を配列している場合は、図１４
（ａ）に示すように、Ｆ（２ｎ−１）の素子走査検出領
域３３の画像においては、画像の走査は順方向に行われ
るので素子走査検出領域３３の一端から順に０〜ｊとｙ
座標が大きくなるようにアドレスが割り振られるが、図
１４（ｂ）に示すように、Ｆ（２ｎ）の素子走査検出領
域３３の画像においては、画像の走査は逆方向に行われ
るので、素子走査検出領域３３の一端から順にｊ〜０と
ｙ座標が小さくなるようにアドレスが割り振られる。そ
のためこのまま画像を構成すると、Ｆ（２ｎ）はｙ方向
について逆向きに画像が構成され、配線パターンを正し
く再構成することができなくなる。そこで、Ｆ（２ｎ）
の素子走査検出領域３３の画像においては、各画素の画
像データのアドレスのｙ座標を画像処理制御装置２４又
は制御用コンピュータ２７において変換して、Ｆ（２
ｎ）の素子走査検出領域３３の画像を正しく構成できる
ようにするものであり、すなわち、Ｆ（２ｎ）における
アドレスｆ（ｐ、ｑ）を、ｆ（ｐ、ｊ−ｑ）に変換する
ものである。ここでｎは２≦２ｎ≦Ｎの範囲の整数、ｐ
は１≦ｐ≦ｍの範囲の整数、ｑは０≦ｑ≦ｊの範囲の整
数を示す。

【００５７】また、画像検出素子による画像データの検
出を、一定の面積の画像検出範囲１７の画像データを順
次画像処理制御装置に伝送することにより行う場合は、
素子走査検出領域３３の画像データは、画像検出素子の
画像検出範囲１７の画像データを、測定順につなぎ合わ
せたものとして構成される。そのため、画像検出素子に
て順次検出される画像検出範囲１７の画像データにおい
ては、各画素の画像データのアドレズ割り振りは、画像
検出素子の走査方向と垂直な方向に沿って、各画素につ
いて検出される画像データのアドレスに１〜ｍのｘ座標
を順番に割り振る。またアドレスのｙ座標については、
順次検出する画像検出範囲の画像データごとに、画像検
出素子の走査方向に沿って、０〜ｓ−１、ｓ〜２ｓ−
１、２ｓ〜３ｓ−１、・・・・と順番に割り振るもので
ある。ここでｓは画像検出範囲の、走査方向の画素数に
相当する。このような規則に基づいて各画素にアドレス
を割り振ると、配線パターン２を画像検出器１１にて往
復２回走査して画像を検出する場合は、一回目の走査と
二回目の走査では、走査方向が逆になるため、２回目の
走査、すなわち上記のＦ（２ｎ）の走査においては、ア
ドレスのｙ軸の値が・・・、２ｓ、・・・３ｓ−１、３
ｓ、・・・、ｓ、・・・、２ｓ−１、０、・・・、ｓ−
１のように並ぶことになり、画像を制御用コンピュータ
２７にて正しく再構成することができなくなる。そこ
で、往復２回走査する場合は、２回目の走査の場合に、
各画像検出範囲１７ごとの画素のアドレスのｙ座標を画
像処理制御装置２４又は制御用コンピュータ２７におい
て変換して、各画像検出範囲１７ごとにｙ軸の値が逆に
並ぶようにするものであり、例えば、ｙ軸の値の範囲が
０〜ｓ−１の場合は、アドレスｆ（ｐ、ｑ）を、ｆ
（ｐ、ｓ−１−ｑ）に変換するものである。そしてＦ
（２ｎ）の走査においては、このように各画像検出範囲
１７ごとにアドレスのｙ軸の値を変換した後に、素子走
査検出領域３３のアドレスのｙ軸の値を変換することに
より、正しい画像を得ることができるものである。

【００５８】次に、上記のようにして得られる配線パタ
ーン２の画像データを元にして、配線パターン２の画像
を正確に再現するための構成を説明する。

【００５９】この方法の一つとしては、基材１と検出部
との相対速度を、検出部が基材１の一定範囲を検査する
のに要する時間で示される検査時間に同調させることが
挙げられる。ここで検査時間とは、具体的には、画像検
出器１１にて配線パターン２を走査した際に、制御用コ
ンピュータ２７に配線パターン２の全ての画像データが
過不足なく入力され、かつ配線パターン２の全体画像を
制御用コンピュータ２７にて完全に構成することができ
るための、画像検出器１１による配線パターン２の走査
時間であり、制御用コンピュータ２７の処理能力に依存
して限定されるものである。

【００６０】具体的に説明すると、図１に示すものにお
いては、上記の基材１と画像検出器１１との相対速度
は、搬送部による基材１の送り速度に相当することとな
る。この場合は、コンソールユニット２６として、入力
された画像検出器１１が基材１の一定範囲を検査するの
に要する時間で示される検査時間を、制御用コンピュー
タ２７へ伝達するものを設ける。

【００６１】また制御用コンピュータ２７として、コン
ソールユニット２６から画像検出器１１の検査時間が伝
達された場合は、画像検出器１１にて配線パターン２を
走査する際の基材１と画像検出器１１との相対速度を検
査時間に同調させるように、入力された検査時間に応じ
た電気信号を速度コントローラ２５及びバキュームテー
ブル４に送り、搬送部であるピンチロール３の回転及び
バキュームテーブル４のスライド移動による基材送りを
制御するものを設ける。

【００６２】また速度コントローラ２５は、制御用コン
ピュータ２７から伝達される信号に応じてピンチロール
３の回転を制御し、ピンチロール３による基材１の送り
速度を調節するものを設ける。

【００６３】また図１０に示すものにおいては、上記の
基材１と画像検出器１１との相対速度は、画像検出器１
１の、直動サーボモータ機構等の動力機構による基材１
の送り方向と垂直な横方向の移動速度に相当することと
なる。この場合は、コンソールユニット２６として、入
力された画像検出器１１が基材１の一定範囲を検査する
のに要する時間で示される検査時間を、制御用コンピュ
ータ２７へ伝達するものを設ける。

【００６４】また制御用コンピュータ２７として、コン
ソールユニット２６から画像検出器１１の検査時間が伝
達された場合は、画像検出器１１にて配線パターン２を
走査する際の基材１と画像検出器１１との相対速度を検
査時間に同調させるように、入力された検査時間に応じ
た電気信号を画像検出器に送り、直動サーボモータ機構
等の動力機構を制御して画像検出器１１の基材１の送り
方向と垂直な横方向の移動速度を制御するものを設け
る。

【００６５】このようにすると、画像検出器１１にて配
線パターン２を走査した際に、制御用コンピュータ２７
に配線パターン２の全ての画像データが過不足なく入力
され、かつ配線パターン２の全体画像を制御用コンピュ
ータ２７にて完全に構成することができるものである。

【００６６】また、配線パターン２の画像データを元に
して、配線パターン２の画像を正確に再現するための他
の方法としては、検出部による基材１の配線パターン２
の検査速度を、基材１と検出部の相対速度に同調させる
ことを挙げることができる。ここで検査速度とは、画像
検出器１１による配線パターン２の画像データの検出速
度を意味し、画像検出器１１の走査速度、すなわち画像
検出器１１により基材１を走査する際に随時取り込む画
像データの取り込み速度を示すものであるが、この走査
速度の設定可能範囲は、制御用コンピュータ２７の処理
能力に依存して限定されるものである。

【００６７】具体的に説明すると、図１に示すものにお
いては、上記の基材１と画像検出器１１との相対速度
は、搬送部による基材１の送り速度に相当することとな
る。この場合は、コンソールユニット２６として、入力
された、画像検出器１１にて配線パターン２を走査する
際の所望の基材１と画像検出器１１との相対速度を、制
御用コンピュータ２７へ伝達するものを設ける。

【００６８】また制御用コンピュータ２７としては、コ
ンソールユニット２６から画像検出器１１にて配線パタ
ーン２を走査する際の所望の基材１と画像検出器１１と
の相対速度が入力された場合は、画像検出器１１にて配
線パターン２を走査する際の基材１と画像検出器１１と
の相対速度が、入力されたものとなるように、電気信号
を、速度コントローラ２５及びバキュームテーブル４に
送ってピンチロールの回転及びバキュームテーブルのス
ライド移動による基材１の送り速度を制御すると共に、
画像検出器１１を制御して画像検出器１１の走査速度
を、基材１と画像検出器１１との相対速度と同調させる
ものを設ける。

【００６９】また速度コントローラ２５は、制御用コン
ピュータ２７から伝達される信号に応じてピンチロール
３の回転を制御し、ピンチロール３による基材１の送り
速度を調節するものを設ける。

【００７０】また図１０に示すものにおいては、上記の
基材１と画像検出器１１との相対速度は、画像検出器１
１の、直動サーボモータ機構等の動力機構による基材１
の送り方向と垂直な横方向の移動速度に相当することと
なる。この場合は、コンソールユニット２６として、入
力された、画像検出器１１にて配線パターン２を走査す
る際の所望の基材１と画像検出器１１との相対速度を、
制御用コンピュータ２７へ伝達するものを設ける。

【００７１】また制御用コンピュータ２７としては、コ
ンソールユニット２６から画像検出器１１にて配線パタ
ーン２を走査する際の所望の基材１と画像検出器１１と
の相対速度が入力された場合は、画像検出器１１にて配
線パターン２を走査する際の基材１と画像検出器１１と
の相対速度が、入力されたものとなるように、電気信号
を画像検出器１１に送り、直動サーボモータ機構等の動
力機構を制御して画像検出器１１の基材の送り方向と垂
直な横方向の移動速度を制御すると共に、画像検出器１
１を制御して画像検出器１１の走査速度を、基材１と画
像検出器１１との相対速度と同調させるものを設ける。

【００７２】また速度コントローラ２５は、制御用コン
ピュータ２７から伝達される信号に応じてピンチロール
３の回転を制御し、ピンチロール３による基材１の送り
速度を調節するものを設ける。

【００７３】このようにすると、画像検出器１１にて配
線パターン２を走査した際に、制御用コンピュータ２７
に配線パターン２の全ての画像データが過不足なく入力
され、かつ配線パターン２の全体画像を制御用コンピュ
ータ２７にて完全に構成することができるものである。

【００７４】次に、検出部による基材１の配線パターン
２の検査速度を、基材１と検出部の相対速度に同調させ
た場合に検出される画像データを修正して、正確な画像
を検出するための構成を説明する。

【００７５】画像検出器１１にて配線パターン２を走査
する際の所望の基材１と画像検出器１１との相対速度が
入力され、画像検出器１１の走査速度が、基材１と画像
検出器１１との相対速度と同調するように、制御用コン
ピュータ２７にて制御された場合には、基材１と画像検
出器１１との相対速度が遅すぎて、このとき設定される
べき走査速度が、走査速度の設定可能範囲を下回ると、
図４（ａ）に示すようなパターン２８を走査する際、図
４（ｂ）のように、制御用コンピュータ２７に一部重複
した画像データ２９が順次入力されることになり、この
ままパターン２８の画像を構成しようとすると、本来の
画像よりも伸張した画像が得られることになって、正確
な検査を行うことができなくなるものである。また基材
１と画像検出器１１との相対速度が速すぎて、このとき
設定されるべき走査速度が、走査速度の設定可能範囲を
上回ると、図４（ｅ）のようなパターン２８を走査する
際、図４（ｆ）に示すように順次入力される画像データ
３０の間に欠落が生じ、このままパターン２８の画像を
構成しようとすると、本来の画像よりも収縮した画像が
得られることになって、やはり正確な検査を行うことが
できなくなるものである。そこでこのように場合本来の
画像よりも収縮した画像を伸張させ、あるいは本来の画
像よりも伸張した画像を収縮させる処理を行うものであ
る。

【００７６】具体的に説明すると、図１に示すものにお
いては、上記のピンチロール３のうちの一つに、ロータ
リエンコーダ１０を設け、ピンチロール３にて送られる
基材１の送り速度を測定できるようにするものである。
このロータリエンコーダ１０は制御用コンピュータ２７
に接続して、ロータリエンコーダ１０からの出力信号を
制御用コンピュータ２７に入力できるようにするもので
ある。

【００７７】また制御用コンピュータ２７としては、上
記のようにコンソールユニット２６から画像検出器１１
にて配線パターン２を走査する際の所望の基材１と画像
検出器１１との相対速度が制御用コンピュータ２７に入
力される場合は、制御用コンピュータ２７には、搬送部
にて基材１を送りながら画像検出器１１にて配線パター
ン２を走査している際のロータリエンコーダ１０からの
信号が入力され、この入力信号により、基材１と画像検
出器１１との相対速度を導出し、この送り速度を基にし
て、配線パターン２のパターンマッチングを行う前に画
像データを圧縮又は伸張した後、パターンマッチングを
行うものを設けるものである。

【００７８】すなわち、ロータリエンコーダ１０からの
入力信号から導出される基材１と画像検出器１１との相
対速度に応じて画像データの圧縮率又は伸張率を導出
し、基材１と画像検出器１１との相対速度が遅すぎる場
合は図４（ｃ）のように画像データ２９を圧縮した後、
図４（ｄ）のように画像３１を構成し、基材１と画像検
出器１１との相対速度が速すぎる場合は図４（ｇ）のよ
うに画像データ３０を伸張した後、図４（ｈ）のように
画像３２を構成することにより、構成された画像３１、
３２が本来のパターン２８の画像よりも圧縮されたり伸
張されたりしたものになることを防ぎ、正確な検査を行
うようにすることができるものである。ここで、一部重
なった画像データ２９を圧縮した場合に構成される図４
（ｄ）の画像３１、及び一部欠落した画像データ３０を
伸張した場合に構成される図４（ｈ）の画像３２は、本
来のパターン２８の画像からややずれたものとなるが、
上記のようにパターンマッチングの際の±３００μｍの
ずれを許容することにより、このずれが欠陥として検出
されることを防ぐことができるものである。

【００７９】また図１０に示すものにおいては、制御用
コンピュータ２７としては、上記のようにコンソールユ
ニット２６から画像検出器１１にて配線パターン２を走
査する際の所望の基材１と画像検出器１１との相対速度
が制御用コンピュータ２７に入力される場合は、制御用
コンピュータ２７には、配線パターン２の走査時の画像
検出器１１の移動速度に対応する信号が入力され、この
入力信号により、基材１と画像検出器１１との相対速度
を導出し、この送り速度を基にして、配線パターン２の
パターンマッチングを行う前に画像データを圧縮又は伸
張した後、パターンマッチングを行うものを設けるもの
である。

【００８０】すなわち、画像検出器１１からの入力信号
から導出される基材１と画像検出器１１との相対速度に
応じて画像データの圧縮率又は伸張率を導出し、図１に
示すものの場合と同様に、基材１と画像検出器１１との
相対速度が遅すぎる場合は図４（ｃ）のように画像デー
タ２９を圧縮した後、図４（ｄ）のように画像３１を構
成し、基材１と画像検出器１１との相対速度が速すぎる
場合は図４（ｇ）のように画像データ３０を伸張した
後、図４（ｈ）のように画像３２を構成することによ
り、構成された画像３１、３２が本来のパターン２８の
画像よりも圧縮されたり伸張されたりしたものになるこ
とを防ぎ、正確な検査を行うようにすることができるも
のである。

【００８１】また、上記において、配線パターン２を画
像検出器１１にて往復２回走査する場合に、二回目の走
査を行う場合の画像検出範囲１７が、一回目の走査を行
った際の画像検出範囲１７と一部重なるようにする構成
を例示したが、この場合は、配線パターン２上において
素子走査領域３３が重なることになるため、得られる画
像データは、この重なった分だけ伸張したものとなる。
そこでこの場合において、制御用コンピュータ２７に
て、上記の図１４に示す場合と同様にして、画像データ
を収縮することにより、制御用コンピュータ２７におい
て構成される配線パターン２の画像が本来のパターン２
８の画像よりも伸張されたものになることを防ぎ、正確
な検査を行うようにすることができるものである。この
ようにして得られる、収縮された画像にて、正確なパタ
ーンマッチングを行うためには、配線パターンの走査の
際の一回目の走査における素子走査領域３３と二回目に
おける素子走査領域３３の重なりの幅が、４画素分程度
となるようにすることが好ましい。

【００８２】次に、基材１上の配線パターン２を、画像
検出器１１の下方に順次正確に送って欠陥検査に供する
ための構成を説明する。

【００８３】制御用コンピュータ２７としては、一つの
配線パターン２の走査が終了した際に、補正用画像検出
器１８により検出され、画像処理制御装置２４にて二値
化処理された画像データが伝達され、この画像データ
を、予め制御用コンピュータ２７に登録されている位置
補正用マーク７の基準パターンと照合するパターンマッ
チングを行い、位置補正用マーク７を検出し、この位置
補正用マーク７の中心位置の座標を導出し、この位置補
正用マーク７の中心位置の座標から、次の配線パターン
２を画像検出器１１の下方の所定位置に配置させるため
の基材１の送り量を算出し、更にこの基材１の送り量に
応じた信号を速度コントローラ２５に伝達して、ピンチ
ロール３による基材１の送り量を制御し、次の配線パタ
ーン２を画像検出器１１の下方の所定位置に配置させる
ものを設ける。そのため基材１上の一つの配線パターン
２の走査を終了した後、速やかに次の配線パターン２の
走査を行うことができるものである。

【００８４】制御用コンピュータ２７における、位置補
正用マーク７の検出結果に基づく基材送りの制御機構を
更に詳しく例示する。

【００８５】制御用コンピュータ２７には、あらかじ
め、補正用画像検出器１８の画像検出範囲３５内におけ
る位置補正用マーク７の位置検出用の基準線（以下、
「マーク位置検出用基準線３６」という。）の設定位
置、配線パターン２を所定の検査位置に配置した際に位
置補正用マーク７の中心が配置される点を通る基準線
（以下、「パターン配置用基準線３７」という。）の設
定位置、マーク位置検出用基準線３６とパターン配置用
基準線３７の間の距離Ａ（ｍｍ）、及び基材１上に長尺
方向に並んで捺印されている位置補正用マーク７間の距
離Ｂ（ｍｍ）を登録しておく。

【００８６】まず配線パターン２の欠陥検査を開始する
にあたり、図１６（ａ）に示すように、基材１上の位置
補正用マーク７が、補正用画像検出器１８の画像検出範
囲３５内に配置されるように、基材１を配路上に配置す
る。この状態で補正用画像検出器１８にて基材１の画像
を検出する。この検出結果は画像処理制御装置２４にて
二値化処理されて制御用コンピュータ２７に送られる。
制御用コンピュータ２７は、この検出結果と、予め制御
用コンピュータ２７に登録されている位置補正用マーク
７の基準パターンとを照合するパターンマッチングを行
い、位置補正用マーク７を検出し、この位置補正用マー
ク７の中心位置の座標を導出する。この位置補正用マー
ク７の中心位置の座標と、マーク位置検出用基準線３６
との間の画素数Δｘ（ｂｉｔ）を導出する（図１５参
照）。ここでマーク位置検出用基準線３６は、基材１の
送り方向と垂直な横方向に設定するものであり、例えば
この画像検出範囲３５の中心を横切る線を設定すること
ができ、この画像検出範囲３５の、基材１の送り方向の
画素数が５１１（ｂｉｔ）であれば、画像検出範囲３５
の、基材１の送り方向の端部から、画素数に換算して２
５５．５（ｂｉｔ）の位置にマーク位置検出用基準線３
６を設定するものである。ここで本実施形態において
は、Δｘは、基材１の送り方向を正として検出するもの
とする。次にΔｘと、１画素あたりの長さで示される分
解能α（ｍｍ／ｂｉｔ）とから、Δｘ´＝Δｘ×αの式
により、位置補正用マーク７の中心位置の座標の、マー
ク位置検出用基準線３６上からのずれΔｘ´（ｍｍ）を
導出する。

【００８７】次に、Ｌ₁＝Ａ−Δｘ´の式から、搬送部
による基材１の送り距離Ｌ₁（ｍｍ）を算出し、搬送部
を制御して基材１をこの送り距離Ｌ₁（ｍｍ）だけ送
る。このとき図１６（ｂ）に示すように、基材１上の位
置補正用マーク７は、中心がパターン配置用基準線３７
上に配置され、それに伴って配線パターン２が所定の検
査位置に配置される。この状態で配線パターン２の検査
を行う。配線パターン２の検査終了後、Ｌ₂＝Ｂ−Ｌ₁の
式から、搬送部による基材１の送り距離Ｌ₂（ｍｍ）を
算出し、搬送部を制御して基材１をこの送り距離Ｌ
₂（ｍｍ）だけ送る。このとき図１６（ｃ）に示すよう
に、次の位置補正用マーク７が補正用画像検出器１８の
画像検出範囲３５内に配置される。このような制御を繰
り返し行うことにより、基材１上の配線パターン２を順
次所定の検査位置に正確に配置していくことができる。

【００８８】上記のように構成される配線パターン検査
装置を用いると、長尺方向に複数個の配線パターン２を
形成した長尺の基材１を送りながら、配線パターン２の
検査を正確に行うことができるものである。

【００８９】次に配線パターン２の検査を順次行ってい
った際に生じる基材１の送り方向のずれを矯正するため
の構成を説明する。

【００９０】先ず基材１の送り方向のずれを検出するた
めの構成を説明する。

【００９１】制御用コンピュータ２７としては、基材１
上を画像検出器１１にて走査した際に、配線パターン２
と共に検出される基材１上の位置補正用マーク７の配置
関係から、基材１の送り方向のずれを検出し、それに基
づいて基材１の送り方向のずれを矯正するように制御す
るものを用いることができる。すなわち、上記のように
位置補正用マーク７は、配線パターン２の間に一対づつ
捺印され、更にこの一対の位置補正用マーク７同士を結
ぶ線が基材１の長尺方向と垂直になるように捺印されて
いるものであるが、基材１の送り方向が角度θだけずれ
ると、それに応じて、図５（ｂ）に示すように、位置補
正用マーク７同士を結ぶ線が角度θだけずれることにな
る。このような状態では、配線パターン２も正常な状態
から角度θだけずれることになり、配線パターン２の正
確な検査を行うことが困難となる。そこで制御用コンピ
ュータ２７は、画像検出器１１により検出され、画像処
理制御装置２４にて二値化処理された画像データを、予
め登録されている位置補正用マーク７の基準パターンと
照合して、一対の位置補正用マーク７の中心位置の座標
をそれぞれ導出し、位置補正用マーク７同士を結ぶ線の
角度θを算出し、そしてこの角度θに応じた電気信号を
出力するものである。

【００９２】続いて基材１の送り方向のずれが検出され
た際にこの送り方向のずれを矯正するための構成を説明
する。

【００９３】上記の巻出し機１２及び巻取り機１３は、
サーボモータ制御等により、図８に示すうように、基材
１の長尺方向に垂直な方向にスライド移動自在に配設す
ることができる。このスライド移動は、制御用コンピュ
ータ２７からの信号に応じてなされるようにするもので
ある。そして基材１の送り方向がゆがんだ場合には、巻
出し機１２及び巻取り機１３をスライド移動させて基材
１の送り方向を矯正するものである。

【００９４】またバキュームテーブル４には、図７
（ａ）（ｂ）に示すように、制御用コンピュータ２７に
よって制御され、バキュームテーブル４を鉛直軸を中心
にして回転させる、メガトルクモータ等のモータ２２を
設けることができる。そして、基材１の送り方向がゆが
んだ場合に、基材１をバキュームテーブル４に吸着させ
た状態で、バキュームテーブル４をこのモータ２２にて
回転させることにより、基材１の送り方向を矯正するこ
とができるものである。

【００９５】基材１の送り方向を矯正する方法として
は、このように、図８に示すような、巻出し機１２及び
巻取り機１３を、サーボモータ等によりスライド移動さ
せる方法や、図７（ａ）（ｂ）に示すような、バキュー
ムテーブル４を、基材１を吸着させた状態でメガトルク
モータ等のモータ２２にて鉛直軸を中心に回転させる方
法を挙げることができる。そして巻出し機１２及び巻取
り機１３を用いる場合は、巻出し機１２及び巻取り機１
３をスライド移動させるサーボモータ等に制御用コンピ
ュータ２７を接続して、制御用コンピュータ２７から出
力される上記の角度θに応じた電気信号によりこのサー
ボモータ等を制御するものであり、またバキュームテー
ブル４を用いる場合には、バキュームテーブル４を回転
させるメガトルクモータ等のモータ２２に制御用コンピ
ュータ２７を接続して、制御用コンピュータ２７から出
力される上記の角度θに応じた電気信号によりこのモー
タ２２を制御するものであって、これらのような方法に
て、基材１の送り方向を角度θだけ、基材１の送り方向
のずれと反対側にずらして、基材１の送り方向のずれを
矯正することができるものである。

【００９６】上記のようにして構成される配線パターン
検査装置を用いると、長尺の基材１を送りながら、長尺
の基材１に形成された配線パターン２の検査を正確に行
うことができるものである。

【００９７】また本発明の配線パターン検査装置には、
図９に示すように、巻出し側のダンサロール６と巻出し
機１２との間に前処理装置８を設けると共に、巻き取り
側のダンサロール６と巻取り機１３との間に後処理装置
９を設けることもできる。このようにすると前処理装置
８及び後処理装置９として、長尺の基材１からプリント
配線板を製造する工程を行う装置を用い、プリント配線
板の製造工程と配線パターン２の検査工程を連続した一
つのラインで行うようにすることができ、しかもそのと
き各工程の途中で基材１と取り出したり投入したりする
必要をなくして、製造効率を向上することができるもの
である。ここで、前処理装置８は、樹脂層に金属箔を貼
着して形成される長尺の基材１に配線パターン２を形成
する装置であり、具体的には、長尺の基材１を送りなが
ら、基材１表面の化学研磨、レジストインクの塗布、レ
ジストインクの露光によるエッチングレジストの形成、
レジストインクの非露光部分の除去といった工程を順次
行う装置、あるいは更に基材１のエッチング処理による
回路形成及びエッチングレジストの除去を行う装置を挙
げることができる。そして前者の場合は、配線パターン
検査装置にてエッチングレジストのパターンを検査する
こととなり、後者の場合は配線パターン検査装置にて金
属箔の回路パターンを検査することとなる。また後処理
装置９としては、配線パターン検査装置にて検出された
欠陥をモニター等にて確認する確認装置を挙げることが
できる。また前処理装置８としてレジストインクの非露
光部分の除去までを行う装置を用いる場合は、後処理装
置９として、基材１のエッチング処理による回路形成及
びエッチングレジストの除去を行う装置を用いることも
でき、また、更に基材１の切断、積載を行う装置を用い
ると共に、巻取り機１３を設けないようにすることもで
きる。また前処理装置８としてエッチング処理による回
路形成及びエッチングレジストの除去までを行う装置を
用いる場合は、後処理装置９として、基材１の切断、積
載を行う装置を用いると共に、巻取り機１３を設けない
ようにすることができる。このときダンサロール６は、
前処理装置８から送られてくる基材１の送り速度及び後
処理装置９が基材１を引き込む速度と、搬送部による基
材１の送り速度との差に応じて上下昇降し、基材１のた
るみを吸収するものである。

【００９８】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１に記載の
配線パターン検査装置は、配線パターンが形成された長
尺の基材を送る搬送部と、基材の配線パターンを検出す
る検出部と、検出部による基材の配線パターンの検査速
度を、基材と検出部の相対速度に同調させる制御部とを
具備するため、長尺の基材に形成された配線パターンの
検査を、基材を送りながら正確に行うことができるもの
である。

【００９９】また本発明の請求項２に記載の配線パター
ン検査装置は、配線パターンが形成された長尺の基材を
送る搬送部と、基材の配線パターンを検出する検出部
と、基材と検出部との相対速度を、検出部が基材の一定
範囲を検査するのに要する時間で示される検査時間に同
調させる制御部とを具備するため、長尺の基材に形成さ
れた配線パターンの検査を、基材を送りながら正確に行
うことができるものである。

【０１００】また本発明の請求項３に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１の構成に加えて、検出部とし
て、基材を走査して基材に形成された配線パターンの画
像を検出する画像検出器を具備すると共に、画像検出器
の走査速度を、基材と画像検出器との相対速度と同調さ
せる制御部を具備するため、画像検出器にて検出された
画像を用いて配線パターンの検査を行うことができるも
のであり、また画像検出器による長尺の基材に形成され
た配線パターンの検査を、基材を送りながら正確に行う
ことができるものである。

【０１０１】また本発明の請求項４に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１又は３の構成に加えて、画像検
出器にて得られた配線パターンの画像を、基材と画像検
出器との相対速度に応じて縮小又は伸張する制御部を具
備するため、基材と画像検出器との相対速度が遅すぎて
本来の画像よりも伸張した画像が得られることとなる場
合に画像を圧縮し、あるいは基材と画像検出器との相対
速度が速すぎて本来の画像よりも収縮した画像が得られ
ることとなる場合に画像を伸張して、得られる画像が本
来の画像よりも圧縮されたり伸張されたりしたものにな
ることを防ぎ、正確なパターン検査を行うようにするこ
とができるものである。

【０１０２】また本発明の請求項５に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１乃至４のいずれかの構成に加え
て、搬送部として、回転駆動して基材を送るピンチロー
ルを具備するため、基材を検出部にて走査する際の基材
送りを、ピンチロールにて調整することができるもので
ある。

【０１０３】また本発明の請求項６に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項１乃至５のいずれかの構成に加え
て、搬送部として、基材の送り方向にスライド移動自在
なバキュームテーブルを具備するため、基材を検出部に
て走査する際の基材送りを、バキュームテーブルにて調
整することができるものであり、また基材を検出部にて
走査する際に、基材をバキュームテーブルに吸着させ
て、基材にたるみが生じることを防ぎ、正確なパターン
検査を行うことができるものである。

【０１０４】また本発明の請求項７に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６の構成に加えて、バキュームテ
ーブルを、基材が送られる配路の下方に配設すると共
に、配路を介したバキュームテーブルの上方に、昇降自
在な押圧ロールを具備するため、基材をバキュームテー
ブルに吸着させずに送る場合は押圧ロールを上昇させて
バキュームテーブルと基材とが離間した状態として、基
材とバキュームテーブルとの間に摩擦が生じて基材に機
械的な破損が生じることを防ぐことができ、かつ、基材
をバキュームテーブルに吸着させるときは、押圧ロール
を下降させて基材とバキュームテーブルを密着させた状
態とし、バキュームテーブルにて基材を確実に吸着させ
ることができるものである。

【０１０５】また本発明の請求項８に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６の構成に加えて、バキュームテ
ーブルを昇降自在に形成するため、基材をバキュームテ
ーブルに吸着させずに送る場合はバキュームテーブルを
下降させてバキュームテーブルと基材とが離間した状態
として、基材とバキュームテーブルとの間に摩擦が生じ
て基材に機械的な破損が生じることを防ぐことができ、
かつ、基材をバキュームテーブルに吸着させるときは、
バキュームテーブルを上昇させてバキュームテーブルと
基材とを密着させた状態とし、バキュームテーブルにて
基材を確実に吸着させることができるものである。

【０１０６】また本発明の請求項９に記載の配線パター
ン検査装置は、請求項６乃至８のいずれかの構成に加え
て、バキュームテーブルを、鉛直軸を中心に回転可能に
形成するため、基材の送り方向にずれが生じた場合に、
バキュームテーブルにて基材を吸着させると共に、バキ
ュームテーブルを回転させて基材の送り方向のずれを矯
正することができ、配線パターンの検査を正確に行うよ
うにすることができるものである。

【０１０７】また本発明の請求項１０に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至９のいずれかの構成に加
えて、基材の送り入れ側と送り出し側のうちの少なくと
も一方に、ダンサロールを配設するため、基材の搬送部
への送り速度及び搬送部からの引き出し速度と、搬送部
による基材の送り速度との間の差をダンサロールにて吸
収して、基材にたるみが生じることを防ぐことができる
ものである。

【０１０８】また本発明の請求項１１に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１０のいずれかの構成に
加えて、基材を巻出して搬送部に送る巻出し機と搬送部
から送られて来た基材を巻き取る巻取り機を、それぞれ
基材の送り方向と垂直な水平方向にスライド移動自在に
配設するため、基材の送り方向にずれが生じた場合に、
巻取り機と巻出し機をスライド移動させることにより基
材の送り方向のずれを矯正することができ、配線パター
ンの検査を正確に行うようにすることができるものであ
る。

【０１０９】また本発明の請求項１２に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１１のいずれかの構成に
加えて、基材上の配線パターンを、一方向に走査した
後、逆方向に走査することにより、基材上の配線パター
ンを検出する検出部を具備するため、一方向に走査した
際に配線パターンの半分の領域を走査し、逆方向に走査
した際に配線パターンの残りの半分の領域を走査するこ
とができるように検出器を形成すればよく、配線パター
ンを一方向に走査するだけで配線パターンの全ての領域
を走査することができるように検出器を形成する場合と
比べて、検出器を構成するカメラ等の検出素子の数を半
減することができ、コストを低減することができるもの
である。

【０１１０】また本発明の請求項１３に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１２のいずれかの構成に
加えて、基材上に形成した位置補正用マークの位置を検
出する補正用検出部と、補正用検出部にて得られた信号
から搬送部による基材の搬送長さを制御する制御部とを
具備するため、基材上の一つの配線パターンの走査を終
了した後、次の配線パターンを搬送部にて画像検出器の
下方の所定位置に速やかに配置させることができ、次の
配線パターンの走査を速やかに行うことができるもので
ある。

【０１１１】また本発明の請求項１４に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１３の構成に加えて、制御部と
して、補正用検出部からの信号から位置補正用マークの
位置を導出し、この導出された位置補正用マークの位置
から、配線パターンを所定の検査位置に送るために必要
な基材の搬送長さを導出し、この導出された基材の搬送
長さに応じて搬送部を制御して基材を搬送し、配線パタ
ーンの検査後、基材上の位置補正用マークの間隔と、基
材の搬送長さとから、基材上の次の位置補正用マークを
補正用検出部にて検出可能な位置に配置するための基材
の搬送長さを導出し、この導出された基材の搬送長さに
応じて搬送部を制御して基材を搬送するものを設けるた
め、基材上の一つの配線パターンの走査を終了した後、
次の配線パターンを搬送部にて画像検出器の下方の所定
位置に速やかに配置させることができ、次の配線パター
ンの走査を速やかに行うことができるものである。

【０１１２】また本発明の請求項１５に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１４のいずれかの構成に
加えて、基材の送り入れ側に前処理装置を、基材の送り
出し側に後処理装置をそれぞれ配設するため、前処理装
置及び後処理装置として、長尺の基材からプリント配線
板を製造する工程を行う装置を用い、プリント配線板の
製造工程と配線パターンの検査工程を連続した一つのラ
インで行うようにすることができ、しかもそのとき各工
程の途中で基材と取り出したり投入したりする必要をな
くして、製造効率を向上することができるものである。

【０１１３】また本発明の請求項１６に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１５の構成に加えて、前処理装
置として、長尺の基材を送りながら、基材表面の化学研
磨、レジストインクの塗布、レジストインクの露光によ
るエッチングレジストの形成、レジストインクの非露光
部分の除去という工程を順次行う装置を配設するため、
プリント配線板の製造工程と、配線パターン検査装置に
よるエッチングレジストパターンの検査工程を連続した
一つのラインで行うようにすることができ、しかもその
とき各工程の途中で基材と取り出したり投入したりする
必要をなくして、製造効率を向上することができるもの
である。

【０１１４】また本発明の請求項１７に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１５の構成に加えて、前処理装
置として、長尺の基材を送りながら、基材表面の化学研
磨、レジストインクの塗布、レジストインクの露光によ
るエッチングレジストの形成、レジストインクの非露光
部分の除去、基材のエッチング処理による回路形成及び
エッチングレジストの除去という工程を順次行う装置を
配設するため、プリント配線板の製造工程と、配線パタ
ーン検査装置による回路パターンの検査工程を連続した
一つのラインで行うようにすることができ、しかもその
とき各工程の途中で基材と取り出したり投入したりする
必要をなくして、製造効率を向上することができるもの
である。

【０１１５】また本発明の請求項１８に記載の配線パタ
ーン検査装置は、請求項１乃至１７のいずれかの構成に
加えて、検出部として、基材を走査して基材に形成され
た配線パターンの画像を検出する画像検出器を具備する
と共に、画像検出器を、基材の送り方向に対して垂直な
方向に移動自在に形成したため、長尺の基材を順次搬送
部にて搬送し、このとき送られてくる配線パターンを、
検出部を基材の送り方向に対して垂直な方向に移動して
走査して、配線パターンの画像を順次検出することがで
きるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示す概略側面図で
ある。

【図２】画像検出器にて基材上の配線パターンを走査す
る動作の一例を示す平面図である。

【図３】（ａ）（ｂ）は、画像検出器にて基材上の配線
パターンを走査する動作の他の例を示す平面図である。

【図４】（ａ）乃至（ｈ）は、検出器にて検出された画
像の処理過程を示す概念図である。

【図５】（ａ）は基材の一例を示す平面図、（ｂ）は基
材の位置補正用マークのずれの様子を示す一部の平面図
である。

【図６】（ａ）（ｂ）は、バキュームテーブルの一例を
示す概略側面図である。

【図７】（ａ）（ｂ）は、バキュームテーブルの他の例
を示す概略側面図である。

【図８】本発明の実施の形態の他の例を示す概略平面図
である。

【図９】本発明の実施の形態の更に他の例を示す概略側
面図である。

【図１０】本発明の実施の形態の更に他の例を示す概略
側面図である。

【図１１】画像検出器にて基材上の配線パターンを走査
する動作の他例を示す平面図である。

【図１２】画像検出器にて基材上の配線パターンを走査
する動作の更に他例を示す平面図である。

【図１３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図３又は図１３
に示す形態における、画像検出素子による画像検出の動
作を説明する平面図である。

【図１４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、素子走査検出領
域を示す概念図である。

【図１５】補正用画像検出部により位置補正用マークを
検出する様子を説明する概念図である。

【図１６】（ａ）乃至（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施
の形態の動作を示す平面図である。

【符号の説明】

１基材２配線パターン３ピンチロール４バキュームテーブル５押圧ロール６ダンサロール７位置補正用マーク８前処理装置９後処理装置１０ロータリエンコーダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石黒宏幸大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者森好男大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】配線パターンが形成された長尺の基材を
送る搬送部と、基材の配線パターンを検出する検出部
と、検出部による基材の配線パターンの検査速度を、基
材と検出部の相対速度に同調させる制御部とを具備して
成ることを特徴とする配線パターン検査装置。
【請求項２】配線パターンが形成された長尺の基材を
送る搬送部と、基材の配線パターンを検出する検出部
と、基材と検出部との相対速度を、検出部が基材の一定
範囲を検査するのに要する時間で示される検査時間に同
調させる制御部とを具備して成ることを特徴とする配線
パターン検査装置。
【請求項３】検出部として、基材を走査して基材に形
成された配線パターンの画像を検出する画像検出器を具
備すると共に、画像検出器の走査速度を、基材と画像検
出器との相対速度と同調させる制御部を具備して成るこ
とを特徴とする請求項１に記載の配線パターン検査装
置。
【請求項４】画像検出器にて得られた配線パターンの
画像を、基材と画像検出器との相対速度に応じて縮小又
は伸張する制御部を具備して成ることを特徴とする請求
項３に記載の配線パターン検査装置。
【請求項５】搬送部として、回転駆動して基材を送る
ピンチロールを具備して成ることを特徴とする請求項１
乃至４のいずれかに記載の配線パターン検査装置。
【請求項６】搬送部として、基材の送り方向にスライ
ド移動自在なバキュームテーブルを具備して成ることを
特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の配線パタ
ーン検査装置。
【請求項７】バキュームテーブルを、基材が送られる
配路の下方に配設すると共に、配路を介したバキューム
テーブルの上方に、昇降自在な押圧ロールを具備して成
ることを特徴とする請求項６に記載の配線パターン検査
装置。
【請求項８】バキュームテーブルを昇降自在に形成し
て成ることを特徴とする請求項６に記載の配線パターン
検査装置。
【請求項９】バキュームテーブルを、鉛直軸を中心に回
転可能に形成して成ることを特徴とする請求項６乃至８
のいずれかに記載の配線パターン検査装置。
【請求項１０】基材の送り入れ側と送り出し側のうち
の少なくとも一方に、ダンサロールを配設して成ること
を特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の配線パ
ターン検査装置。
【請求項１１】基材を巻出して搬送部に送る巻出し機
と搬送部から送られて来た基材を巻き取る巻取り機を、
それぞれ基材の送り方向と垂直な水平方向にスライド移
動自在に配設して成ることを特徴とする請求項１乃至１
０のいずれかに記載の配線パターン検査装置。
【請求項１２】基材上の配線パターンを、一方向に走
査した後、逆方向に走査することにより、基材上の配線
パターンを検出する検出部を具備して成ることを特徴と
する請求項１乃至１１のいずれかに記載の配線パターン
検査装置。
【請求項１３】基材上に形成した位置補正用マークの
位置を検出する補正用検出部と、補正用検出部にて得ら
れた信号から搬送部による基材の搬送長さを制御する制
御部とを具備して成ることを特徴とする請求項１乃至１
２のいずれかに記載の配線パターン検査装置。
【請求項１４】制御部として、補正用検出部からの信
号から位置補正用マークの位置を導出し、この導出され
た位置補正用マークの位置から、配線パターンを所定の
検査位置に送るために必要な基材の搬送長さを導出し、
この導出された基材の搬送長さに応じて搬送部を制御し
て基材を搬送し、配線パターンの検査後、基材上の位置
補正用マークの間隔と、基材の搬送長さとから、基材上
の次の位置補正用マークを補正用検出部にて検出可能な
位置に配置するための基材の搬送長さを導出し、この導
出された基材の搬送長さに応じて搬送部を制御して基材
を搬送するものを設けて成ることを特徴とする請求項１
３に記載の配線パターン検査装置。
【請求項１５】基材の送り入れ側に前処理装置を、基
材の送り出し側に後処理装置をそれぞれ配設して成るこ
とを特徴とする請求項１乃至１４のいずれかに記載の配
線パターン検査装置。
【請求項１６】前処理装置として、長尺の基材を送り
ながら、基材表面の化学研磨、レジストインクの塗布、
レジストインクの露光によるエッチングレジストの形
成、レジストインクの非露光部分の除去という工程を順
次行う装置を配設して成ることを特徴とする請求項１５
に記載の配線パターン検査装置。
【請求項１７】前処理装置として、長尺の基材を送り
ながら、基材表面の化学研磨、レジストインクの塗布、
レジストインクの露光によるエッチングレジストの形
成、レジストインクの非露光部分の除去、基材のエッチ
ング処理による回路形成及びエッチングレジストの除去
という工程を順次行う装置を配設して成ることを特徴と
する請求項１５に記載の配線パターン検査装置。
【請求項１８】検出部として、基材を走査して基材に
形成された配線パターンの画像を検出する画像検出器を
具備すると共に、画像検出器を、基材の送り方向に対し
て垂直な方向に移動自在に形成して成ることを特徴とす
る請求項１乃至１７のいずれかに記載の配線パターン検
査装置。