TW201516580A - 具有主動對準之卷對卷無光罩微影 - Google Patents

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Abstract

本發明的實施例係關於利用主動對準而在撓性基板上進行無光罩微影的設備與方法。在一實施例中，一種微影設備包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上轉移一撓性基板。複數個印刷單元的每一者包括一影像感測裝置與一影像印刷裝置，複數個印刷單元可定位成面向該基板支撐表面。當該撓性基板正被連續地轉移時，該複數個印刷單元可擷取該撓性基板上的標記及/或預先存在的圖案的影像，且根據該擷取的影像，可「即時(on-the-fly)」調整用於每一印刷單元的曝光圖案，因此達成主動對準。

Description

具有主動對準之卷對卷無光罩微影
本發明的實施例一般係關於用於微影圖案化的設備與方法。更具體地，本發明的實施例係關於用於撓性基板上的微影圖案化之設備與方法。
撓性基板(例如，聚合體/塑膠基板、金屬箔基板)係用以製造各種應用的撓性電路，例如顯示器、有機發光二極體(OLED)、與太陽能電池。但是，在產生準確定位的圖案影像於已存在的圖案層的頂部上時會有問題，其中撓性基板上所形成的預先存在的圖案中會有無法避免且無法預測的歪斜。已存在的圖案中的歪斜是因為撓性基板材料中固有的非均質性與不穩定性。此種材料在沉積、曝光/圖案化與蝕刻的期間以不可重複的、不均勻的方式伸長與收縮。因此，使用習知的微影來維持層對層的覆蓋準確性係困難的，且細微的幾何形狀控制幾乎不可能。
目前，已經有在塑膠基板上圖案化的數種方法，達成了或多或少的成就，但是往往受制於某種妥協性能。在塑 膠卷材料基板上圖案化多個層的一種方法係使用自對準壓印蝕刻("SAIL",Self-Aligned Imprint Lithography)技術。SAIL不僅某種程度妥協了設計規則，而且，可產生的圖案也受到限制，且逼迫使用者限制終端產品的設計。另一種方法係將卷切割成個別的塑膠片並且層疊這些塑膠片來穩定基板材料(例如，玻璃或金屬)；然後當處理完全完成時，處理層疊的材料並將它們除去層疊。但是，切割、層疊、處理與除去層疊會增高成本、多餘步驟的無效率、以及與除去層疊相關的良率損失。另一種方法係僅妥協了設計規則，且接受有大覆蓋邊際的較低階顯示品質。然而，妥協了設計規則並無法滿足對於高解析度的增高需求。
因此，用於撓性基板上的微影圖案化之改良設備與方法係需要的。
本發明的實施例係關於利用主動對準而在撓性基板上進行無光罩微影的設備與方法。
本發明的一實施例提供一種微影設備。該微影設備包括：一基板轉移組件，該基板轉移組件包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上轉移一撓性基板；以及一影像印刷組件，該影像印刷組件包括複數個印刷單元。該複數個印刷單元的每一者係定位成面向該基板支撐表面，且該複數個印刷單元形成一弧形係相對於該基板支撐表面成共中心。
本發明的另一實施例提供一種用於微影圖案化的設 備。該設備包括：一基板轉移組件，該基板轉移組件用於連續地在一基板支撐表面上移動一撓性基板；一影像印刷組件，該影像印刷組件包括複數個印刷單元係設置於該印刷區域之上；以及一控制器，該控制器連接於該影像印刷組件。該複數個印刷單元的每一者包括一影像感測裝置，以及一影像印刷裝置。該控制器係配置來針對該複數個印刷單元的每一者而執行：接收且分析該影像感測裝置所擷取之一即將到來的印刷區域的一影像；決定該即將到來的印刷區域的一或更多個特性；從該即將到來的印刷區域的該一或更多個特性與一目標圖案而產生一曝光圖案；以及傳送該曝光圖案至該印刷單元的該影像印刷裝置。
本發明的又另一實施例提供一種用於執行無光罩微影的方法。該方法包括：相對於複數個印刷單元而在一圓柱形基板支撐表面上連續地移動一撓性基板，該複數個印刷單元設置於該圓柱形基板支撐表面之上；針對該複數個印刷單元的每一者，擷取該撓性基板上的一即將到來的印刷區域的一影像；從該擷取的影像決定該即將到來的印刷區域的一或更多個特性；從該即將到來的印刷區域的該一或更多個特性與一目標圖案而產生一曝光圖案；使用該對應的印刷單元來印刷該曝光圖案於該即將到來的印刷區域上。
100‧‧‧微影設備
102‧‧‧撓性基板
110‧‧‧基板轉移組件
112‧‧‧圓柱形滾軸
114‧‧‧驅動單元
116‧‧‧中心軸
118‧‧‧基板支撐表面
120‧‧‧影像印刷組件
122‧‧‧印刷單元
1241-124n‧‧‧列
126‧‧‧距離
130‧‧‧導引桿
132‧‧‧框體
140‧‧‧系統控制器
142‧‧‧印刷區域
144‧‧‧佔地面積
146‧‧‧基板寬度
148‧‧‧總印刷寬度
150‧‧‧印刷寬度
152‧‧‧印刷長度
154、154’、154”‧‧‧帶
156‧‧‧列間距
158‧‧‧單元間距
202‧‧‧標記
204‧‧‧第一區域
206‧‧‧第二區域
207‧‧‧接合區域
208‧‧‧重疊條
210‧‧‧接合區域
212‧‧‧最後區域
301‧‧‧基板
302‧‧‧影像感測裝置
303‧‧‧影像印刷裝置
304‧‧‧印刷影像控制器
306‧‧‧DMD
308‧‧‧光源
310‧‧‧光學系統
312‧‧‧印刷平面
400‧‧‧方法
410、420、430、440‧‧‧方塊
500‧‧‧微影設備
520‧‧‧影像印刷組件
524、5241、5242、5243‧‧‧列
530‧‧‧導引桿
532‧‧‧框體
534‧‧‧移動致動器
540‧‧‧系統控制器
因此，藉由參照實施例，可更詳細瞭解本發明之上述特徵，且對簡短總結於上的本發明有更具體的敘述，某些實施例是例示於所附圖式中。但是，注意到，所附圖式只例 示本發明之一般實施例且因此不視為限制其範圍，因為本發明可容許其他等效實施例。
第1A圖根據本發明的一實施例，為微影設備的示意剖面視圖。
第1B圖為第1A圖的微影設備的示意前視圖。
第1C圖為第1A圖的微影設備的部分扁平側視圖。
第1D圖為第1C圖的放大部分。
第2A圖為第1A圖的微影設備的示意部分透視圖，繪示第一列的印刷單元的操作。
第2B圖為第1A圖的微影設備的示意部分透視圖，繪示第二列的印刷單元的操作。
第2C圖為第1A圖的微影設備的示意部分透視圖，繪示最後列的印刷單元的操作。
第3圖根據本發明的一實施例，為印刷單元的示意視圖。
第4圖為流程圖，繪示根據本發明的一實施例的方法。
第5A圖根據本發明的一實施例，為微影設備的示意剖面視圖。
第5B圖為第5A圖的微影設備的示意前視圖。
為了促進瞭解，已經在任何可能的地方使用相同的元件符號來表示圖式中共同的相同元件。可瞭解到，一實施例中揭示的元件可有利地使用在其他實施例中，而不用具體詳述。
本發明的實施例係關於利用主動對準而在撓性基板上進行無光罩微影的設備與方法。根據本發明的實施例的微影設備允許圖案化的非常局部(數毫米內或更小)調整，補償基板上的預先存在的圖案中的改變/歪斜。
在一實施例中，一種微影設備包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上轉移一撓性基板。複數個印刷單元的每一者包括一影像感測裝置與一影像印刷裝置，複數個印刷單元可定位成面向該基板支撐表面。當該撓性基板正被連續地轉移時，該複數個印刷單元可擷取該撓性基板上的標記及/或預先存在的圖案的影像，且根據該擷取的影像，可「即時(on-the-fly)」調整用於每一印刷單元的曝光圖案，因此達成主動對準。
第1A圖根據本發明的一實施例，為微影設備100的示意剖面視圖。第1B圖為微影設備100的示意前視圖。微影設備100施加光罩資料圖案於用以形成撓性電路的撓性基板，撓性電路例如為顯示器、有機發光二極體(OLED)、太陽能電池、與類似者。微影設備100包括基板轉移組件110與影像印刷組件120。基板轉移組件110相對於影像印刷組件120移動撓性基板102，同時影像印刷組件120印刷圖案於撓性基板102上。系統控制器140可連接於影像印刷組件120與基板轉移組件110，以促成印刷一或更多層的圖案於基板102上。
基板轉移組件110可包括圓柱形滾軸112與驅動單元114，驅動單元114係配置來使圓柱形滾軸112繞著中心軸116旋轉。圓柱形滾軸112的外部表面形成基板支撐表面118。在操作期間，撓性基板102接觸於基板支撐表面118並且由基板支撐表面118支撐。具體地，撓性基板102被影像印刷組件110印刷的部分係由基板支撐表面118支撐。
影像印刷組件120包括複數個印刷單元122，每一印刷單元122係定位成面向基板支撐表面118。複數個印刷單元122的每一者係配置來偵測基板支撐表面118上所支撐的撓性基板102的對應區域的影像，並且將根據偵測的影像所產生圖案印刷於撓性基板102上。複數個印刷單元122的每一者係定位於相對於基板支撐表面118的固定距離126處。因為撓性基板102被印刷時接觸於基板支撐表面118，撓性基板102的任何歪斜將不會導致撓性基板102與複數個印刷單元122的每一者之間的距離的歪斜，因此，藉由減少深度方面的誤差而改良了印刷影像的品質。
在一實施例中，至基板支撐表面118上的對應區域之固定距離126對於複數個印刷單元122來說實質上為相同，使得複數個印刷單元122係配置在圓柱形的平面中、相對於基板支撐表面118為共中心的。
在一實施例中，複數個印刷單元122形成複數個列1241-124n。每一列1241-124n包括多個印刷單元122係沿著平行於圓柱形滾軸112的中心軸116之方向而線性地對準。複數個列1241-124n係設置成平行於彼此。每一列1241-124n中 的多個印刷單元122可定位成等距。每一列1241-124n中的成像單元122的數量可為相同。複數個列1241-124n之中的印刷單元122可沿著平行於中心軸116的軸向方向而以交錯的方式對準。複數個列1241-124n的交錯對準可允許每一印刷單元122印刷於撓性基板102上的不同區域上，且複數個列1241-124n的印刷單元122覆蓋橫越撓性基板102的整個片。
在一實施例中，複數個印刷單元122可安裝於附接至框體132的導引桿130上。每一導引桿130可平行於中心軸116並且支撐一列的印刷單元122。沿著每一導引桿130的印刷單元122的位置可一起或個別地調整，以達到成像單元122的所欲對準。
複數個印刷單元122的每一者連接至系統控制器122。在操作期間，圓柱形滾軸112以實質上恆定的速率旋轉，以相對於印刷組件120來轉移撓性基板102。每一印刷單元122可週期性地擷取正被圓柱形滾軸112轉移的撓性基板102的對應表面區域的影像。擷取的影像(包括標記、圖案、或其他表面特徵)可轉移至系統控制器140。系統控制器140分析擷取的影像，以決定特定印刷單元122的即將到來的印刷區域的特性。例如，系統控制器140可決定座標、歪斜量、移位量、或即將到來的印刷區域的其他特性。根據所決定的特性，系統控制器140產生用於印刷單元122的曝光圖案，且傳送曝光圖案至印刷單元122。當接收曝光圖案時，印刷單元122印刷該印刷圖案。
第1C圖為微影設備100的部分扁平側視圖，繪示複 數個印刷單元122的配置以及複數個印刷單元122與基板支撐表面118的相對位置。第1D圖為第1C圖的放大部分。在第1C圖中，為了清楚起見，圓柱形基板支撐表面118在x-y平面上扁平化。x軸平行於圓柱形滾軸112的中心軸116。y軸橫越x軸並且代表在操作期間撓性基板102被圓柱形滾軸112轉移的方向。
複數個印刷單元122的每一者具有佔地面積144與印刷區域142。為了例示的清楚起見，第1C圖示意繪示出印刷區域142係位於佔地面積144的一個角落中。印刷區域142可位於其他位置中。因為印刷單元122通常將印刷影像縮小，以達到高解析度，印刷區域142通常小於每一印刷單元122的佔地面積144。每一印刷區域142可具有沿著x方向的印刷寬度150以及沿著y方向的印刷長度152。針對具有基板寬度146的基板，當撓性基板102沿著y方向單方向移動時，至少數個(N)印刷單元122可用於印刷一個帶254(具有橫越撓性基板102的印刷長度152)，其中N可計算為：
因為印刷單元122的佔地面積144大於印刷區域142，至少N個印刷單元122可配置在複數個平行的列1241-124n中，用於印刷於帶254中的整個區域上。每一列1241-124n可包括多個印刷單元122沿著x方向分布。每一列124中的多個印刷單元122的印刷區域142可具有x-y平面中相同的y座標與不同的x座標。不同列1241-124n中的印刷單元122係交錯，使得當撓性基板102通過時，不同列124中 的印刷單元122不印刷在相同的區域上。複數個印刷單元122的每一者可具有印刷區域142係開始於獨特的x座標處。
在一實施例中，一個印刷單元122的印刷區域142可重疊於指定來印刷相鄰區域之印刷單元122的印刷區域142，以確保撓性基板102的全部寬度被印刷單元122覆蓋。在一實施例中，複數個印刷單元122可配置成使得相鄰的印刷區域142重疊於彼此大約印刷寬度150的＿%至＿%之間。
在一實施例中，複數個印刷單元122所覆蓋的總印刷寬度148可大於基板寬度146，以容忍在操作期間撓性基板102的任何移位。移位指的是：當撓性基板102正被圓柱形滾軸112轉移時，撓性基板102在x方向中的橫向移動。
如同第1C圖所示，每一列1241-124n中的多個印刷單元122係配置成相等單元間距158，且複數個列1241-124n係定位成相等列間距156。複數個列1241-124n的每一者相較於上游的列1241-124n朝向右邊移動。相鄰的列之間的移動量可大約為印刷寬度150減去重疊寬度。每一列124中的印刷單元122的數量m可決定為：
列124的數量n可決定為： 因此，總共n乘m個印刷單元122可用於影像印刷組件120中。
列間距156的數量可配置成影像印刷組件120的每 一印刷單元122的印刷長度152的多倍，以有效地覆蓋撓性基板102的整個長度(沿著y方向)。
在操作期間，圓柱形滾軸112用實質上恆定的角速度旋轉，以用實質上恆定的線性速度相對於影像印刷組件120轉移撓性基板102。微影設備100的影像印刷組件120在操作期間可維持固定。撓性基板102相對於影像印刷組件120的線性速度可根據印刷單元122與系統控制器140的處理速度來選擇，使得撓性基板102相對於影像印刷組件120以恆定的線性速度移動時可以被印刷。在一實施例中，撓性基板102可相對於影像印刷組件120以大約200-300mm/分鐘的速度行進。當撓性基板102被轉移時，撓性基板102上的帶154沿著y方向行進、相繼對準於每一列1241-124n。當對準於一列124的印刷單元122時，帶154的部分由印刷單元122的列124印刷。當帶154行進通過最後的列124n時，印刷橫越整個基板寬度146的帶154。當撓性基板102通過時，影像印刷組件120逐帶地印刷圖案於撓性基板102上。在一實施例中，影像印刷組件120可配置成以稍微重疊的方式逐帶地印刷，以確保撓性基板102接收連續的覆蓋長度方式。
第2A圖至第2C圖示意例示被第1A圖至第1C圖的微影設備100印刷的撓性基板帶154的順序。第2A圖為微影設備100的示意部分透視圖，繪示被第一列1241的印刷單元122印刷之撓性基板帶154。為了清楚起見，僅在第2A圖中繪示第一列1241的印刷單元122。當帶154對準於第一列1241的印刷單元122時，第一列1241中的每一印刷單元122印刷 帶154中的第一區域204。由第一列1241中的印刷單元122的單元間距158來分隔多個第一區域204。
在一實施例中，撓性基板102可包括選擇性的標記202。標記202可由微影設備100用於決定撓性基板102的特性。例如，微影設備100可從標記202的擷取影像來決定帶154附近的撓性基板102的位置、歪斜、及/或移位。或者，微影設備100可從撓性基板102上存在的影像/圖案之擷取影像來決定帶154附近的撓性基板102的特性。
第2B圖為微影設備100的示意部分透視圖，繪示被第二列1242的印刷單元122印刷之撓性基板102帶154。為了清楚起見，僅在第2B圖中繪示第二列1242的印刷單元122。當帶154對準於第二列1242的印刷單元122時，第二列1242中的每一印刷單元122印刷帶154中的第二區域206。由第二列1242中的印刷單元122的單元間距158來分隔多個第二區域206。藉由重疊條208，每一第二區域206可重疊於對應的第一區域204。每一第二區域206接合於對應的第一區域204，以形成接合區域207。在第二列1242完成印刷之後，帶154具有多個接合區域207係已印刷並且以單元間距158分隔。
當帶154從對準於第一列1241的位置行進至對準於第二列1242的位置時，當列間距156大於每一印刷單元122的印刷寬度150時，額外的帶154’、154”可相繼對準於第一列1241並且由第一列1241印刷。第2B圖例示帶154、154’、154”為分隔的。或者，帶154、154’、154”可利用重疊區域 接合在一起，以滿足處理要求，例如用於印刷大於一個印刷單元122的印刷長度152之圖案。
第2C圖為微影設備100的示意部分透視圖，繪示被第n列且最後列124n的印刷單元122印刷之撓性基板102帶154。為了清楚起見，僅在第2C圖中繪示最後列124n的印刷單元122。在到達對準於最後列124n的位置之前，帶154已經由先前的n-1個列1241、1242...124n-1印刷，其中多個接合區域210以相等的距離分隔。當帶154對準於最後列124n的印刷單元122時，最後列124n中的每一印刷單元122印刷帶154中的最後區域212。每一最後區域210重疊於相鄰的接合區域210，接合區域210封閉帶154中的任何未印刷的縫隙。在最後列124n完成印刷之後，撓性基板102上的整個帶154已經印刷完。
微影設備100中的每一印刷單元122係配置來擷取印刷區域的影像或印刷區域附近的影像，且未使用光罩而印刷產生的圖案。第3圖根據本發明的一實施例，為印刷單元122的示意視圖。
印刷單元122包括影像感測裝置302與影像印刷裝置303。影像感測裝置被導引朝向印刷區域，以擷取印刷平面312的部分的影像。影像印刷裝置303係定位成印刷該印刷平面312的部分上的圖案。影像感測裝置302可為CCD(電荷耦合元件)攝影機。影像感測裝置302連接至印刷影像控制器304。印刷影像控制器304接收且分析來自影像感測裝置302的擷取的影像。印刷影像控制器304可連接至複數個印刷 單元122並且提供複數個印刷單元的控制。在一實施例中，印刷影像控制器304可為微影設備的系統控制器的部分，例如系統控制器140。
影像印刷裝置包括數位微鏡元件(DMD,digital mirror device)306，以及導引至DMD 306的一或更多個光源308。DMD 306可包括微反射鏡陣列。每一微反射鏡可於開啟(ON)位置與關閉(OFF)位置之間切換。在ON位置時，微反射鏡反射來自光源308的光，而在OFF位置時，微反射鏡不反射來自光源308的光。每一微反射鏡可代表二元影像中的一個像素。藉由切換個別的微反射鏡於ON與OFF位置之間，DMD 306可投射二元影像的圖案朝向印刷平面312，使得該圖案可印刷於位於印刷平面313上的基板301。在一實施例中，光學系統310可定位於DMD 306與印刷平面312之間，以減小二元影像的大小並且增加印刷圖案的解析度。
第4圖根據本發明的一實施例，為流程圖，繪示用於使用印刷單元122來印刷無光罩圖案於基板上的方法400。
在方塊410中，印刷單元122的攝影機304可擷取基板上要印刷的即將到來的印刷區域的影像，且傳送擷取的影像至印刷影像控制器304。即將到來的印刷區域可具有一或更多個特徵，例如標記與預先存在的圖案。
在方塊420中，藉由印刷影像控制器304，可分析擷取的影像，以決定基板上的即將到來的印刷區域的一或更多個特性。在一實施例中，分析擷取的影像可包括：相對於要由印刷單元122印刷的目標圖案而識別基板上的即將到來 的印刷區域的位置。該相對位置可由影像中擷取的即將到來的印刷區域的一或更多個標記及/或預先存在的圖案來決定。在一實施例中，額外的特徵特性(例如，沿著不同方向的移位量、歪曲程度)可從擷取的影像來決定。
在方塊430中，曝光圖案可從即將到來的印刷區域的已決定的一或更多個特性與目標圖案產生。方塊430可由印刷影像控制器304執行。在一實施例中，產生曝光圖案可包括：根據決定的相對位置，切割會適於即將到來的印刷區域之目標圖案的部分。在另一實施例中，產生曝光圖案可另包括：根據移位及/或歪曲的量來修改目標圖案。
在方塊440中，曝光圖案傳送至DMD 306來印刷。DMD 306中的微反射鏡陣列可根據曝光圖案而切換至ON或OFF位置。可開啟光源308，且DMD 306反射的光投射至印刷區域，以印刷曝光圖案於其上。
當基板301連續地相對於印刷單元122移動時，可重複方塊410至方塊440。例如，在微影設備100中，複數個印刷單元122的每一者可重複執行方塊410至方塊440，以印刷圖案於撓性基板102上，撓性基板102相對於印刷單元122連續地移動。
第5A圖根據本發明的另一實施例，為微影設備500的示意剖面視圖。第5B圖為微影設備500的示意前視圖。微影設備500類似於微影設備100，除了微影設備100包括足夠數量的印刷單元來允許完全的連續操作，而微影設備500包括移動機構與反向的基板移動，以允許使用較少的印刷單元 之逐步操作。
微影設備500包括基板轉移組件110，如同相關於第1A圖至第1B圖所述。系統控制器540可傳送控制信號至驅動單元114，以前後旋轉圓柱形滾軸112，使得撓性基板102可向前與向後轉移。
微影設備500包括影像印刷組件520，影像印刷組件520具有複數個印刷單元122係各自定位成面向基板支撐表面118。複數個印刷單元122可配置於沿著圓柱形滾軸112的中心軸116的方向之至少一列524中。在影像印刷組件520中，印刷單元122的總數、印刷單元122的總列、及/或每一列中的印刷單元122數量可小於根據方程式1-3所計算的最小數量。受限於最小數量的印刷單元可用的空間(因為例如圓柱形滾軸的較小直徑或較高的解析度要求之因素)，可選擇減少的數量來減少大數量的印刷單元的成本。在第5A圖至第5B圖的範例中繪示三個列5241、5242、5243的印刷單元122。但是，列的數量可改變，取決於一或更多個因素，例如成本、可用的空間、圓柱形滾軸的尺寸、或解析度要求。
每一列5241、5242、5243係類似於上述的微影設備100的該等列124的印刷單元122，除了每一列5241、5242、5243中的印刷單元122可在操作期間沿著平行於中心軸116的方向移動之外。在一實施例中，每一列5241、5242、5243中的印刷單元122可配置成等間距並且一致地移動，以維持等間距。或者，每一列5241、5242、5243中的相鄰印刷單元122之間的間距可根據處理要求而變化配置，且每一印刷單元 122可個別地移動。
每一列5241、5242、5243的印刷單元122可安裝於個別的導引桿530上，導引桿530附接於框體532。導引桿530係定位成實質上平行於中心軸116。在一實施例中，每一印刷單元122可藉由線性軸承而附接於導引桿530。移動致動器534可附接於每一導引桿530，以沿著導引桿530移動複數個印刷單元122，來移動複數個印刷單元122的位置。在第5B圖的實施例中，移動致動器534係配置來一致地移動印刷單元122。或者，每一印刷單元122可附接於一個移動致動器且被個別地移動。
除了如同系統控制器140一般分析來自印刷單元122之撓性基板102的擷取影像並且根據擷取影像而產生曝光圖案之外，系統控制器540也控制且同步圓柱形滾軸122的速度及/或旋轉方向以及複數個列5241、5242、5243的移動。
在操作期間，圓柱形滾軸112先以實質上恆定的速率向前旋轉，以相對於影像印刷組件520轉移撓性基板102，使得撓性基板102上的帶可由所有列5241、5242、5243的印刷單元122印刷。在被印刷的帶第一次通過所有列5241、5242、5243之後，帶僅部分印刷，因為影像印刷組件520中的印刷單元122的數量小於需要來覆蓋撓性基板102的全部寬度之印刷單元122的數量。
圓柱形滾軸112之後向後旋轉，以轉移該帶至上游，再次到第一列5241。列5241、5242、5243的印刷單元122可移動，使得每一印刷單元122對準於先前未印刷的該帶中 的區域。
之後，圓柱形滾軸112再次向前旋轉，以用實質上恆定的線性速度轉移撓性基板102的該帶，使得該帶可通過列5241、5242、5243並且再次被印刷。
撓性基板102可來回轉移多次，直到該帶的全部寬度被印刷。圓柱形滾軸112之後可再次向前旋轉，以針對撓性基板102的下個帶開始相同的印刷處理。
雖然在上面的範例中討論用於無光罩微影的設備與方法，本發明的實施例可用於需要類似的「即時(on-the-fly)」曝光控制之任何應用中。
雖然前述是關於本發明之實施例，本發明之其他與進一步實施例可被設想出而無偏離其基本範圍，且其範圍是由下面的申請專利範圍來決定。
100‧‧‧微影設備
102‧‧‧撓性基板
110‧‧‧基板轉移組件
112‧‧‧圓柱形滾軸
114‧‧‧驅動單元
116‧‧‧中心軸
118‧‧‧基板支撐表面
120‧‧‧影像印刷組件
122‧‧‧印刷單元
1241-124n‧‧‧列
126‧‧‧距離
130‧‧‧導引桿
132‧‧‧框體
140‧‧‧系統控制器

Claims (20)

  1. 一種微影設備，包括：一基板轉移組件，該基板轉移組件包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上轉移一撓性基板；及一影像印刷組件，該影像印刷組件包括複數個印刷單元，其中該複數個印刷單元的每一者係定位成面向該基板支撐表面，且該複數個印刷單元形成一弧形係相對於該基板支撐表面成共中心。
  2. 如請求項1所述之設備，其中該複數個印刷單元形成一或更多個列，該一或更多個列實質上平行於該圓柱形滾軸的該中心軸。
  3. 如請求項2所述之設備，其中該複數個印刷單元形成複數個列，該複數個列實質上平行於該圓柱形滾軸的該中心軸，每一列包括多個印刷單元，且該複數個列中的該等印刷單元係以交錯的方式配置。
  4. 如請求項3所述之設備，其中該影像印刷組件進一步包括：一框體；及複數個導引桿，該複數個導引桿安裝於該框體上並且實質上平行於該圓柱形滾軸的該中心軸，其中每一導引桿支撐 一列的印刷單元。
  5. 如請求項4所述之設備，其中每一列中的該等多個印刷單元係定位成等間距。
  6. 如請求項2所述之設備，其中該影像印刷組件進一步包括：一框體；及一或更多個導引桿，該一或更多個導引桿安裝於該框體上並且實質上平行於該圓柱形滾軸的該中心軸，其中該複數個印刷單元係可移動地耦接於該一或更多個導引桿。
  7. 如請求項4所述之設備，其中該複數個印刷單元係配置成使得該複數個印刷單元的印刷區域涵蓋該撓性基板的一全部寬度。
  8. 一種用於微影圖案化的設備，包括：一基板轉移組件，該基板轉移組件用於連續地在一基板支撐表面上移動一撓性基板；一影像印刷組件，該影像印刷組件包括複數個印刷單元係設置於該印刷區域之上，其中該複數個影像單元的每一者包括：一影像感測裝置；及一影像印刷裝置；及 一控制器，該控制器連接於該影像印刷組件，其中該控制器係配置來針對該複數個印刷單元的每一者而執行：接收且分析該影像感測裝置所擷取之一即將到來的印刷區域的一影像；決定該即將到來的印刷區域的一或更多個特性；從該即將到來的印刷區域的該一或更多個特性與一目標圖案而產生一曝光圖案；及傳送該曝光圖案至該印刷單元的該影像印刷裝置。
  9. 如請求項8所述之設備，其中該基板轉移組件包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上轉移一撓性基板，且該複數個印刷單元形成一弧形係徑向地在該基板支撐表面之外。
  10. 如請求項9所述之設備，其中該複數個印刷單元係配置成使得該複數個印刷單元的印刷區域覆蓋該撓性基板的一全部寬度。
  11. 如請求項10所述之設備，其中該複數個印刷單元係配置成複數個列，該複數個列平行於該中心軸，且每一列包括多個印刷單元。
  12. 如請求項11所述之設備，其中每一列中的該等多個印刷單元係配置成等間距，且該等印刷單元係以列的方式交錯配 置。
  13. 如請求項8所述之設備，其中該基板轉移組件包括一圓柱形滾軸，該圓柱形滾軸可繞著一中心軸旋轉並且配置來在一圓柱形基板支撐表面上來回轉移一撓性基板，且該複數個印刷單元係配置成一或更多個列，該一或更多個列平行於該中心軸，且每一列包括多個印刷單元。
  14. 如請求項13所述之設備，其中每一列中的該等多個印刷單元可沿著平行於該中心軸的該方向移動。
  15. 一種用於執行無光罩微影的方法，包括：相對於複數個印刷單元而在一圓柱形基板支撐表面上連續地移動一撓性基板，該複數個印刷單元設置於該圓柱形基板支撐表面之上；針對該複數個印刷單元的每一者，擷取該撓性基板上的一即將到來的印刷區域的一影像；從該擷取的影像決定該即將到來的印刷區域的一或更多個特性；從該即將到來的印刷區域的該一或更多個特性與一目標圖案而產生一曝光圖案；及使用該對應的印刷單元來印刷該曝光圖案於該即將到來的印刷區域上。
  16. 如請求項15所述之方法，其中決定該一或更多個特性包括：相對於該目標圖案而識別該撓性基板上的該即將到來的印刷區域的一位置。
  17. 如請求項16所述之方法，其中識別該位置包括：根據該擷取的影像中所顯示的一預先存在的圖案而決定該位置。
  18. 如請求項16所述之方法，其中識別該位置包括：根據該擷取的影像中所顯示的標記而決定該位置。
  19. 如請求項15所述之方法，進一步包括：在一帶的該撓性基板通過該複數個印刷單元之後，向後倒轉該撓性基板；沿著該中心軸的該方向調整該複數個印刷單元的位置，以對準該複數個印刷單元於該帶中的未印刷區域；及重複該移動、擷取、決定、產生與印刷。
  20. 如請求項16所述之方法，其中決定一或更多個特性進一步包括：決定該撓性基板的該移位及/或歪曲的量。
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