CN1198169C - 彩色薄膜、显示装置及其制造方法和显示装置的制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提出一种在基板上备置有由反射层和色层构成的多个像素的显示装置用彩色薄膜的制造方法，该制造方法备有：形成区分配置像素的各像素区域的隔墙的形成工序，通过把第1液体材料采用液滴排出法排出在各像素区域内而形成反射层的工序，在各像素区域内形成所述色层的工序。据此，可以省去光刻工序等的繁杂工序，而能短时，低能耗，低成本地进行彩色薄膜的制造。

Description

彩色薄膜、显示装置及其制造方法和显示装置的制造装置
技术领域
本发明涉及反射型彩色液晶显示装置等使用的彩色薄膜的制造方法和制造设备，以及装备有上述彩色薄膜的显示装置和电子装置的制造方法及彩色薄膜。
背景技术
近年来，已开发出一种即使没有背光也能够通过有源地利用周围的光进行图像显示的反射型显示装置，它具有薄型、轻量和低电耗的优点。该反射型显示器装备有在基板上依次形成反射层和色层的彩色薄膜。
还有，还开发出一种把反射层作为具有透光性的半透光层而制成的半透射型显示器。根据该半透射型显示器，在明亮的地方能够作为利用周围的光的反射型装置使用，而在暗的地方能够作为利用背光的透射型显示装置使用。
作为形成上述反射层的方法，通过使用以往的喷镀法或真空蒸镀法等可形成铝合金或银合金的镀膜。
特开平7-191211号公报公开了一种在基板上叠层高反射性的导电膜和透明导电膜，利用导电膜和光导电膜，以电子照相方式形成彩色图形，把导电膜作为反射层使用的方案。
特开平10-96811号公报公开了一种在基板上，以把反射层夹在中间的形式形成至少三色的着色层，通过用激光照射，使其上层部蒸发，使下部的着色层露出，而制成反射型彩色薄膜的方案。
关于以往采用的溅射法和真空蒸镀法形成反射层的方法，从基板表面处理到形成着色层至少要四道光刻工序，因此造成耗费工时，合格率低。
再有，上述特开平7-191211号公报所述的方法较比光刻法形成着色层的工时虽少，但着色层和黑色的基体的形成都需要光刻掩模，并且必须另外配置真空蒸镀装置和电晕带电器等。还有，作为色粉只能使用用具有电绝缘性的物质，因此条件受到了制约。
再有，上述特开平10-96811号公报所述的方法，虽然不需要光刻掩模，但上部着色层受到下部着色层的影响。又因使用激光进行蒸发处理，微细的图形加工变得困难。还有，由于在基板处理面上形成约3μm的阶差，所以由于液晶层的厚度差易产生亮度不均。
发明内容
本发明的目的是，提供一种不需要光刻等的烦杂工序，能在短时间，低能耗，低成本地制造反射型彩色薄膜及显示装置的方法。
为解决上述问题，本发明是是备有在基板上由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成多个像素的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：包括：形成分隔所述像素配置的各像素区域的隔墙工序；把第1液体材料根据液滴排出法排出在所述各像素区域内而形成所述反射层的工序；和在所述各像素区域内在所述反射层上面形成所述色层的工序。
在上述制造方法中，形成所述色层工序中最好还应具备根据液滴排出法排出第2液体状材料的排出工序。
在上述的制造方法中，也可以使所述反射层为具有透光性的半透反射层。在上述的制造方法中，也可以在所述第1液体材料中含有光散射材料。在上述的制造方法中，也可以还包括在所述反射层与所述色层之间形成散射层的工序。
在上述的制造方法中，也可以在有源基板上，一体地形成所述隔墙、反射层和色层。
本发明的显示装置的制造方法的特征在于：其中使用按照权利要求1所述的方法制造的彩色薄膜。而且，本发明的显示装置的制造方法，是用于制造在基板上具有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素的显示装置的制造方法，其特征在于：包括：根据液滴排出法形成反射层的工序，在所述反射层上面形成所述色层的工序和在所述反射层上形成电致发光元件的工序。
本发明的电子机器的制造方法的特征在于：其中使用按照权利要求7或权利要求8所述的方法制造的显示装置。
另外本发明的显示装置的制造装置，是用于制造在基板上具有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素的显示装置的制造装置，其特征在于：备有把为形成所述反射层和在所述反射层上面形成所述色层的液体材料根据液滴排出法排出在所述基板上的排出部。
本发明的彩色薄膜，在基板上备有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素，其特征在于：具有区分配置有所述各像素的各像素区域的隔墙，使所述反射层及形成在所述反射层上面的所述色层通过所述隔墙与其它像素的反射层和色层分离。
本发明的显示装置，备有上述彩色薄膜，本发明的电子机器备有该显示装置。
附图说明
图1是本发明实施例的制造装置的简单立体图。
图2是本发明实施例的制造装置和装造方法所制造的彩色薄膜的部分剖面图。
图3是第1实施例说明彩色薄膜制造方法的制造工序剖面图。
图4是使用本发明的制造方法制造的彩色薄膜，制造出的彩色液晶显示装置的剖面图。
图5表示彩色薄膜的变形例的主要部位的剖面图。
图6是本发明的显示装置中电致发光显示装置的主要部位的剖面图。
图7是表示与本发明有关的电子机器例的立体图。
图中符号100表示制造装置，200和500表示彩色薄膜，300表示彩色液晶显示装置(显示装置)。
具体实施方式
以下，关于本发明的实施例参照图示说明。
(1)制造装置的结构
图1是本发明实施例的制造装置的简单立体图。如图所示，制造装置100备有墨水喷射头组1，X方向驱动轴4，Y方向引导轴5，控制装置6，载物台7，清洗机构部8，底盘9。
墨水喷射头组1备有把规定颜色的墨水从喷咀(排出口)排出付与彩色薄膜用基板101的墨水喷射头(下述)。
载物台7因载有根据该装置把墨水付与彩色薄膜用基板101，所以它备有将该基板101固定在基准位置的结构。
在X方向驱动轴4连接有X方向驱动马达2。X方向驱动马达2是步进马达等。在从控制装置6提供X轴方向的驱动信号时，使X方向驱动轴4旋转。X方向驱动轴4旋转时，墨水喷射头组1移动向X轴方向。
Y方向引导轴5相对于底盘不动地被固定。载物台7备有Y方向驱动马达3。Y方向驱动马达3是步进式马达等，从控制装置6在提供Y轴方向的驱动信号时，使载物台7向Y轴方向移动。
控制电路6向墨水喷射头组1的各喷头提供控制墨滴排出用电压。还向X方驱动马达2提供控制墨水喷射头组1的X轴方向移动的驱动脉冲信号，向Y方向驱动马达3提供控制载物台7的Y轴方向移动的驱动脉冲信号。
清洗机构部8，备有洗涤墨水喷射头组1的结构。在清洗机构部8备有没有图示的Y方向的驱动马达。根据该Y方向驱动马达的驱动，洗涤机构8沿Y方向引导轴5移动。洗涤机构8的移动也受控制装置6的控制。
(2)彩色薄膜的构成
图2是本发明实施例的制造装置和装造方法所制造的彩色薄膜的部分剖面图。图2(a)是第1实施例，图2(b)是第2实施例。
彩色薄膜200在基板上备有矩阵状并排的像素，在像素和像素的交界处，根据遮光的隔置层14区隔开。在每一个像素分别导入红(R)、绿(G)、兰(B)中任意的墨水。红、绿、兰的配置可以是嵌镶排列、直列状排列、三角形排列等，也可以采用其它形式的排列。
图2(a)所示的第1实施例，在基板12上的未形成隔墙14(被去除)的部分上，叠层反射层22，分散层21，色层20。反射层22由银、铝或银合金、铝合金等构成，反射层用没有透光性的物质作成也可以，作成有透光性的半透反射层也可以。分散层由涂层有TiO2等金属氧化物的云母等构成，可使光散射，具有提高散射特性的功能。在反射层和分散层的反射性和散射性按R、G、B每种颜色的变化调整颜色平衡也可以。在隔墙14和色层20的上面形成没有图示的综合涂层。
图2(b)所示的第2实施例，在基板12上的未形成隔墙14的部分上，叠层反射层22和色层20。特别是在该实施例反射层22备有由略成球形的氧化铝或TiO2等构成的泡。该泡造成反射层22的表面形状出现凹凸，使光散射，促进反射层22的散射特性提高。泡的粒径最好在超微粒到数微米之间。
(3)彩色薄膜的制造方法
图3是根据第1实施例说明彩色薄膜制造方法制造工序剖面图。
(3)-1隔墙形成工序
在用板厚0.7mm，纵长47mm，横长37cm的无碱玻璃构成的透明基板12的表面，用在热浓硫酸中加入1％重量的过氧化氢水的洗净液洗净，用纯水洗涮后，进行空气干燥而得到洁净的表面。在该表面采用溅射法形成平均膜厚0.2μm的镀铬金属膜。
用热金属板在80℃保持5分钟，使该基板干燥之后，利用旋转涂层法在金属层表面形成光致抗蚀层。使描画有所需要的基体图形的屏蔽薄片与该基板表面紧密贴合，用紫外线进行曝光。接着把它放入含有8％重量比的氢氧化钾显象液中浸渍，除去未曝光部分光致抗蚀层，使保持层图形化。再继续把露出的金属层在以盐酸为主成分的浸蚀液中除去浸蚀层，这样就能够得到具有所需要的基体图形的遮光层(黑色基体)16(图3：S1)。
再有，把阴性型的透明丙烯酸酯系感光性树脂构成物同样用旋转涂层法涂敷在该基板上。把它在100℃保持20分钟烤干后，用描画有所需要的基体图形的屏蔽薄片进行紫外线曝光。把未曝光部分的树脂还是在碱性显象液中显像，在用纯水洗涮后旋转干燥。作为最终干燥的补烤干是在200℃，保持30分钟进行，根据使树脂部分充分硬化后形成组合层17，形成由遮光层16和组合层17构成的隔墙14(图3：S2)。
(3)-2反射层和分散层形成工序
接着，在用隔墙14区隔成的所有像素区域，用液滴排出法把银的胶体弥散液，特别是在此要用墨水喷射式进行涂敷。对墨水喷射头应使用利用压电效果的精密喷头，使微小的液滴例如每10滴地排出在各像素区域。在涂敷后进行烤干干燥而形成反射层22(图3：S3)。
在此，根据第1实施例的彩色薄膜(图2(a))的制造方法，在把银的胶体弥散液进行涂敷、干燥和烤干后，把涂有TiO2和Fe2O3等的金属氧化物的白云母作为弥散质的弥散液使用喷射方法涂敷在所有的像素区域。涂敷后进行烤干干燥形成散射层21(图3：S4)。
还有，在采用第2实施例彩色薄膜(图2(b))的制造方法时，在为形成反射层涂敷银的胶体弥散液之前，要先用墨水喷涂法把氧化铝或氧化钛等的泡导入各像素区域。因此，在以墨水喷射法排出银的胶体弥散液时根据烤干时泡的影响和根据具有凹凸面的产生而形成具有散射作用的反射层22。使银的胶体弥散液预先含有泡，在以墨水喷射法排出也可以。还有，把银的胶体弥散液以墨水喷射法排出之后，在将上述泡加入到各像素区域也可以。采用该第2实施例的方法进行散射层21的生成(S4)。
(3)-3墨水引入工序
接着，把上述第1(红)，第2(绿)，第3(兰)的各种墨水用液滴排出法，特别在此要用墨水喷射方式导入反射层22或散射层21上。红、绿、兰3色的各墨水要按照事先条件设定的程序同时涂敷，形成规定的图形。
作为使用的墨水，例如是把无机颜料在聚氨脂齐聚合物中弥散分布后，加入低沸点溶剂环己树脂和醋酸丁酯，加入高沸点溶剂丁基甲醇乙酸盐，再加入按0.01％重量的非离子界面活性剂作为弥散剂，粘度为6-8厘泊。
接着，使涂敷的墨水干燥。首先在大气气氛中放置3小时，使墨水层凝固后，在80℃的热金属板上加热40分钟，最后在烘箱中200℃加热30分钟，进行墨水的硬化处理而得到色层20(图3：S5)。
(4)显示装置的结构
图4是根据使用本发明的制造方法制造的彩色薄膜，制造出的彩色液晶显示装置的剖面图。该彩色液晶显示装置300因使用上述各实施例的方法制造的彩色薄膜200而制成，所以能省去法的复杂工序，短时间，低能耗，低成本的制出。
该彩色液晶显示装置300与彩色薄膜200相对的基板338相组合，根据在二者间密封入液晶构成物337而构成。在显示装置周围液晶密封材34形成。在彩色薄膜的色层20上面形成外敷层328，在外敷层328上对应彩色薄膜各色层形成有像素电极。再有，在相对于相对基板338的彩色薄膜的面上形成有共通电极，按相应形态形成有TFT等开关元件。
彩色薄膜200和相对基板338相对的各个面上形成有定向膜326，336。该定向膜326，336经磨擦处理能使液晶各分子按一定方向排列。在相对基板338的外侧面与偏振光板相粘接。反射层22在作为具有半透性的半透光层形成的条件下，彩色薄膜的基板12的侧面粘接有偏振光板(无图示)。
这样形成的反射型液晶显示器300把从相对基板338侧射入的光透量通过电压控制施加于液晶337，以显示所希望的图像。反射层22具有透光性的半透射型液晶显示装置在明亮的地方从相对基板338侧利用射入的光，在暗的地方，利用根据设置在彩色薄膜200侧的背投光线，控制由液晶337发的光透量来显示所希望的图像。
再有，本发明的显示装置不仅限定于上述的彩色液晶显示装置，控制光透量的其它元件，例如用在使用光敏元件和电敏元件等的显示装置也可以。
(5)有源基板上的彩色薄膜
图5是显示彩色薄膜的变形例的主要部位的剖面图。该彩色薄膜备有在基板512上以模型状形成的TFT(薄膜三极管)530等有源元件。把这种有源元件以模型状形成的基板叫作有源模型基体基板。在该TFT530的上面形成有绝缘膜540，在绝缘膜540上隔墙514，反射层522和色层520整体形成。把像这样在TFT上形成色层等作为整体的彩色薄膜称作CFonTFT(TFT上的彩色薄膜)。有源元件应用不仅限于TFT，在TFD(薄膜二极管)等也可以应用。
TFT 530备有将信号电压施加于栅绝缘膜532的栅电极，在栅绝缘膜532上形成的硅膜533，根据上述信号电压在硅膜533形成的通路，流通电流的源电极534和漏电电极。这种TFT 530虽然具有反参差型结构，其它结构也可以。
在绝缘膜540上，为区隔像素的隔墙514直接形成。在各像素内绝缘膜540上直接形成反射层522，在反射层522上色层520。像素电极550按顺序层合。像素电极550用ITO等透明材料形成。为导通TFT漏电极535和像素电极550，在绝缘膜540和色层520间形成有贯通孔，在该贯通孔内填充导电性物质551。
接着，以该彩色薄膜500的制造方法为例简单地说明。首先，在玻璃等的基板512上面，把栅电极531和与它连接没有图示的信号线用金属等导电材料形成图形。这些栅电极531等的导电材料形成的基板512的整个上面形成氮化硅等的栅绝缘膜532。然后在栅绝缘膜532上形成非结晶硅层并把它按照规定形状图形化而形成硅膜533。最后，根据在硅膜533和栅绝缘膜532上规定位置形成源电极534和漏电电极535而能制成TFT 530。
接着，以复盖整体TFT 530那样，例如用聚酰亚胺树脂形成绝缘膜540。绝缘膜540的上面，为以后提高形成反射层522的质量，最好是尽可能的平坦。
在绝缘膜540上把区隔像素的隔墙514按规定形状形成。对于隔墙514的材料例如一般使用氟系树脂。再有，在绝缘膜540上通过光刻形成与漏电极535相通的贯通孔。
接着，把含有成为反射层522材料的液体，例如，把银的胶体溶液用液滴排出法，特别是在此应用墨水喷射法排出在用隔墙514区隔开的各像素区域。向各像素区域导入液体，经干燥，烤干而形成反射层522。在该反射层522，也可以使光具有散射性。在反射层522上设置有没有图示的散射层也可以。
接着把含有成为色层520材料的液体，在此是使墨水用液滴排出法，特别是在此应用墨水喷射法排出在各像素区域内。根据再进行干燥烤干形成色层。
再有，与在绝缘膜540设置贯穿孔的同时用蚀刻法进行色层520的蚀刻，与在绝缘膜540设置贯穿孔的相同位置形成色层520的贯穿孔。然后，向这些贯穿孔内填充导电物质551。在色层520和导电物质551形成的像素元件内根据形成由透明材料构成的像素电极550时本实施例的彩色薄膜制造完成。
还有，在色层520，反射层522和绝缘膜540的蚀刻所有用一个工序就可能完成的情况下，与漏电电极相通的贯穿孔一下完成也可以。
在本实施例反射层522是由导电材料银构成。因此，为使漏电电极535和反射层522的导通，以及反射层522和像素电极550导通，在绝缘膜540和色层520形成的贯穿孔不在同一位置也可以。
(6)EL显示装置
图6是本发明的显示装置中电致发光显示装置的主要部位的剖面图。该图6图示有三个像素。显示装置301在基体302上TFT等的电路形成的电路元件部314和功能部410形成的发光元件部311按顺序层合构成。
该显示装置由所谓头部放射型构成。即从功能层410向阴极312侧发的光，透过阴极312在阴极312的上侧射出。再有，从功能层410向基体302侧发的光根据像素电极被反射，透过阴极312，在阴极312的上面射出。
(6)-1电路元件部
电路元件部314在基体302上形成有由氧化硅构成的基底保护膜302c。在该基底保护膜302c上形成有由多晶硅构成的岛状半导体膜441。在半导体膜441利用高浓度P离子注入配合法形成有电源区域441a和漏电区域441b。P没有注入部分就成为电路区域441c。
再有，在电路元件部314形成有复盖基底保护膜302c和半导体膜441的透明的栅绝缘膜442，在栅绝缘膜442上形成有栅电极443(扫描线)。在栅电极443和栅绝缘膜442上形成第1夹层绝缘膜444a和第2夹层绝缘膜444b。栅电极443设置在对应于半导体膜441的电路区域441c的位置。
还有，穿通第1，第2夹层绝缘膜444a、444b而和半导体膜441的电源，漏电区域441a，441b分别连接形成的接触孔445，446。
然后，在第2夹层绝缘膜444b上按所规定的形状图形化而形成由高反射材料构成的像素电极411，在一边的接触孔445与该像素电极411相连。
还有在另一边的接触孔446已知电源线403连接。
这样，在电路元件部314，就形成与各像素电极411连接相同的薄膜三极管。
(6)-2发光元件部
发光元件部311以多个像素电极411上的各个层合的功能层410和为区隔与各像素电极411和功能层410相邻接的像素电极411和功能层410而设的隔墙412，和在功能层410上形成的阴极312为主体而构成。根据这些像素电极(第1电极)411，功能层410和阴极312(对向电极)而构成发光元件。
在此，像素电极411以平面略呈矩形状态形成。该像素电极411的长度最好在50-200nm的范围，特别以150nm为好。像素电极411在此因作为阳极使用，所以一般使用例如像Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Ta、W、Au等工作函数好，反射率高的金属材料。把含有上述反射率高的金属材料的液体。用液滴排出法，在此特别要根据墨水喷射法排出在用隔墙412区隔的各像素区域内，经干燥烤干而能得到各像素电极411。
隔墙412用在位于基体302侧的无机物隔栅层412a(第1隔栅层)和从基体302离开位置的有机物隔栅层412b(第2隔栅层)层合而构成。
无机物隔栅层412a例如，最好由SiO2，TiO2等无机材料构成。该无机物隔栅层412a的膜厚最好在50-200nm范围，特别是150nm为佳。
有机物隔栅层412b由丙烯树脂，聚酰亚胺树脂等有耐热性，耐溶媒性的材料形成。该有机物隔栅层412b的厚度最好在0.1-3.5μm的范围，特别是2μm为佳。
(6)-3功能层
功能层410由在像素电极411上层合的空穴注入/输送层410a和与空穴注入/输送层410a邻接形成的发光层410b构成。
在空穴注入/输送层410a具有把空穴注入发光层410b的功能的同时，还具有在空穴注入/输送层410a内部输送空穴的功能。根据把这种空穴注入/输送层410a设置在像素电极411和发光层410b之间，可提高发光层410a的发光效率，寿命等的元件特性。还有，在发光层410b使从空穴注入/输送层410a注入的穴和从阴极312注入的电子在发光层再结合就能得到发光。再有，空穴注入/输送层410a，在像素电极411上的平坦部410a1以外，还具有沿隔墙412形成的周边部410a2也可以。
发光层410b2具有发红色光的红色发光层410b1，发绿色光的绿色发光层410b2，和发兰色光的兰色发光层410b3三个种类，按着例如彩条式排列。
(6)-4阴极
阴极312具有全面形成发光元件部311，与像素电极相反使电流流向功能层410的作用。该阴极312，例如，用ITO等透明的导电体构成。此时，在距发光层近的一边最好设置有工作函数低的材料。
有阴极312的上方形成有保护膜。保护膜的上面最好能平坦地形成，以确保发光的均匀性。
(7)电子机器的结构
以下就装备有上述显示装置电子机器的具体例进行说明。这些电子机器因使用上述实施例的显示装置作为显示部进行制造，所以不需要工序，就能短时，低能耗，低成本地制造。
图7(a)是表示一种手持电话的立体图。符号600是表示手持电话的本体，符号601是表示使用所述显示装置的显示部。
图7(b)是表示文字处理机、笔记本型电脑等的便携式信息处理装置的一例的立体图。
如图所示，使用上述显示装置的显示部702设置在情报处理装置700上。情报处理装置700还装备有电键盘等的输入部701。
该情报处理装置700装备有显示情报处理电路，同步信号发生电路等种种电路，和包括由向这些电路供电的电源电路等构成的显示信号生成部的情报处理装置本体703。在显示装置例如，基于从输入部701输入的情报等，根据由显示信号生成部供给的生成的显示信号形成显示图像。
图7(c)是表示一种电子手表的立体图。符号800显示手表的本体，符号801是表示使用所述显示装置的显示部。
在制造这些电子机器时，其结构中都有装备IC(驱动电路)的显示装置，如果把该显示装置组装到手持电话，便携式信息处理装置，电子手表是合适的。
作为组装有与本实施例有联系的显示装置的电子机器有很多种，不仅限于个人电子计算机，如手持电话、电子记事本、寻呼机、POS终端、IC卡、微型显示器、液晶投影机、以及工作站(EWS)、文字处理机、电视、放映观察型或监控直视型录象机、台式电子计算机、车辆导航装置、备有触摸屏的装置、钟表、游戏机等的电子机器。
根据本发明，可以提供一种省去光刻工序等繁杂的工序，可短时，低能耗，低成本地制造彩色薄膜的方法。

Claims (13)

1.一种彩色薄膜的制造方法，是备有在基板上由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成多个像素的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：包括：
形成分隔所述像素配置的各像素区域的隔墙工序；
把第1液体材料根据液滴排出法排出在所述各像素区域内而形成所述反射层的工序；和
在所述各像素区域内在所述反射层上面形成所述色层的工序。
2.根据权利要求1所述的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：在所述色层的形成工序中，包括把第2液体材料根据液滴排出法排出的工序。
3.根据权利要求1所述的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：所述反射层为具有透光性的半透反射层。
4.根据权利要求1所述的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：在所述第1液体材料中含有光散射材料。
5.根据权利要求1所述的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：还包括在所述反射层与所述色层之间形成散射层的工序。
6.根据权利要求1所述的彩色薄膜的制造方法，其特征在于：在有源基板上，一体地形成所述隔墙、反射层和色层。
7.一种显示装置的制造方法，其特征在于：其中使用按照下述的方法制造的彩色薄膜，所述彩色薄膜的制造方法，是备有在基板上由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成多个像素的彩色薄膜的制造方法，包括：形成分隔所述像素配置的各像素区域的隔墙工序；把第1液体材料根据液滴排出法排出在所述各像素区域内而形成所述反射层的工序；和在所述各像素区域内在所述反射层上面形成所述色层的工序。
8.一种显示装置的制造方法，是用于制造在基板上具有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素的显示装置的制造方法，其特征在于：包括：根据液滴排出法形成反射层的工序，在所述反射层上面形成所述色层的工序和在所述反射层上形成电致发光元件的工序。
9.一种电子机器的制造方法，其特征在于：其中使用一种显示装置，所述显示装置的制造方法是使用按照下述的方法制造的彩色薄膜，所述彩色薄膜的制造方法，是备有在基板上由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成多个像素的彩色薄膜的制造方法，包括：形成分隔所述像素配置的各像素区域的隔墙工序；把第1液体材料根据液滴排出法排出在所述各像素区域内而形成所述反射层的工序；和在所述各像素区域内在所述反射层上面形成所述色层的工序。
10.一种显示装置的制造装置，是用于制造在基板上具有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素的显示装置的制造装置，其特征在于：备有把为形成所述反射层和在所述反射层上面形成所述色层的液体材料根据液滴排出法排出在所述基板上的排出部。
11.一种彩色薄膜，在基板上备有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素，其特征在于：具有区分配置有所述各像素的各像素区域的隔墙，使所述反射层及形成在所述反射层上面的所述色层通过所述隔墙与其它像素的反射层和色层分离。
12.一种显示装置，其特征在于：具有一种彩色薄膜，在基板上备有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素，具有区分配置有所述各像素的各像素区域的隔墙，使所述反射层及形成在所述反射层上面的所述色层通过所述隔墙与其它像素的反射层和色层分离。
13.一种电子机器，其特征在于：具有一种显示装置，所述显示装置具有一种彩色薄膜，在基板上备有由反射层和设置在所述反射层上面的色层构成的多个像素，具有区分配置有所述各像素的各像素区域的隔墙，使所述反射层及形成在所述反射层上面的所述色层通过所述隔墙与其它像素的反射层和色层分离。
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