CN1160189C - 防湿薄膜及其制造方法以及场致发光元件及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种防湿薄膜、其制造方法、用该防湿薄膜密封的EL元件以及该EL元件的制造方法。所说的防湿薄膜是由透明的多层薄膜构成，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)；该防湿薄膜在温度60℃，相对湿度90%下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且在温度40℃，相对湿度100%下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。

Description

防湿薄膜及其制造方法以及场致发光元件及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种具有高度防湿性能的防湿薄膜，更详细地说，涉及一种适合作为用来密封场致发光元件的包装薄膜的防湿薄膜及其制造方法。另外，本发明还涉及一种用该防湿薄膜密封的场致发光元件及其制造方法。
背景技术
对荧光化合物的固体(荧光体)施加电场，把电能转变成荧光的发光能，这种作用被称为场致发光(EL)。从EL的基本元件结构可以将其分成薄膜型和分散型。薄膜型EL元件具有由荧光体薄膜构成的发光层。分散型EL元件具有将粉末荧光体分散于有机或无机粘合剂中而形成的发光层。EL元件具有直接或插入绝缘层地用一对电极夹持发光层的元件主体，一对电极的至少一方使用具有透明性的电极。EL元件的驱动电压随直流或交流而分为直流驱动型(DC型)和交流驱动型(AC型)。
EL元件有效地利用薄膜、轻量的特征，例如液晶显示元件用背照光、常明灯、路面标线、夜间广告、装饰等的面发光光源，或者作为计算机或文字处理机的终端显示器、电视图象显示器等的平面显示器的用途正在扩大。
一旦构成发光层的荧光体吸湿，则其发光亮度受到显著损害。因此，EL元件的结构一般是用透明的防湿体把在一对电极之间配置发光层的EL元件主体密封起来。过去，作为EL元件的防湿体，使用以聚氯三氟乙烯(PCTFE)薄膜为主体的防湿薄膜或玻璃基板。它们当中，玻璃基板在薄膜化和轻量化方面受到限制，还存在着缺乏柔软性的问题。另一方面，由于PCTFE是氟树脂，价格很高，而且一旦环境温度超过50℃，PCTFE薄膜的防湿性能就显著降低，因此存在着高温下的EL元件寿命极短的问题。此外，据预测将来难以获得氟树脂原料，开始寻求代替PCTFE的其他树脂材料。
过去，作为这种其他的树脂材料，曾研究了聚偏氯乙烯和聚乙烯醇等，还研究了形成硅氧化物蒸镀膜的树脂薄膜。但是，与使用PCTFE薄膜的场合相比，任一种材料的防湿性能都不充分，不能延长EL元件的寿命，因此至今尚未实用化。
                       发明的公开
本发明的目的在于提供这样一种非常适合于用作EL元件密封的防湿薄膜，它具有与以聚氯三氟乙烯薄膜为主体的过去的防湿薄膜同等程度或超过该程度的高度防湿性能，且对环境温度或湿度的变化显示出稳定的防湿性能，而且可以薄膜化和轻量化。
另外，本发明的目的还在于提供一种具有如此高的防湿性能的防湿薄膜的制造方法。
再有，本发明的目的还在于提供一种用具有如果高的防湿性能的防湿薄膜密封的EL元件及其制造方法。
本发明者们为了克服上述现有技术的问题，在进行专心研究的过程中，着眼于以硅氧化物薄膜为代表的由金属或非金属的氧化物形成蒸镀膜的聚乙烯醇薄膜(以下简称为PVA薄膜)。这种形成蒸镀膜的PVA薄膜(以下简称为蒸镀PVA薄膜)是透明的，作为水蒸气阻隔性标准的透湿度极小。但是，蒸镀PVA薄膜实用上的防湿性能差，因此不能象PCTFE薄膜那样有效地用作为EL元件的包装用防湿薄膜。
实际上，本发明者们将含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜用作为防湿薄膜来进行EL元件的密封，判明如果暴露于高湿度条件下，EL元件的发光亮度显著降低。尽管含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜本身的透湿度极小，可是只能获得实用性能差的防湿薄膜，进一步对其理由进行了研究。结果推断，蒸镀PVA薄膜或含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜，在通常的制造条件下不能避免吸湿性树脂PVA的吸湿，PVA薄膜含有一定程度的水分，这也许对实用性能没有不利影响。
于是，使用一种在PVA薄膜的两面上直接或通过粘合剂层来配置硅氧化物薄膜的结构的多层薄膜，且将所使用的PVA薄膜或蒸镀PVA薄膜，或者多层薄膜彻底干燥至实际上绝对干燥的状态，出乎意料地发现获得这样一种新型的防湿薄膜，该薄膜在实用性能上与以PCTFE薄膜为主体的防湿薄膜相匹敌，或是具有更高的防湿性能。
本发明者们发现，不能仅仅根据透湿度来评价蒸镀PVA薄膜或含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜的防湿性能，还应增加透湿量(测定法在下文记述)进行评价。实际上，对于具有在PVA薄膜的两面上直接或通过粘合剂层来配置硅氧化物这种结构的多层薄膜，分别将通常制造条件下制作的薄膜和按照本发明制造方法彻底干燥的薄膜用作为防湿薄膜，测定用其制成的EL元件的透湿量，判明二者之间的透湿量有着极大的差异。由于使用在通常的制造条件下制作的多层薄膜，如果使其暴露于高湿度环境下，则EL元件的发光亮度保持率大幅度降低，在苛刻的场合下丧失了发挥亮度。与此相反，如果使用由彻底干燥处理的多层薄膜形成的本发明防湿薄膜，即使是暴露于高湿度环境下的场合，经过长时间也能获得显示出高度的发光亮度保持率的EL元件。
本发明的防湿薄膜显示出如此高的防湿性能，其理由或机理在现阶段不一定完全明确，本发明者们认为是这样的：过去的蒸镀PVA薄膜由于在通常的制造条件下吸湿，含有一定程度的水分。将其称为初期吸水量。蒸镀PVA薄膜或含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜的透湿度不怎么受该初期吸水量的影响，但对于透湿量而言，受到很大的影响。该透湿量大，则只能获得实用的防湿性能差的防湿薄膜。另一方面，如果将蒸镀PVA薄膜或者含有蒸镀PVA薄膜的多层薄膜彻底干燥，则初期吸水量降低，除此之外，由于老化效果等使PVA薄膜本身的耐透湿性显著提高，进一步推测，如下文所述，蒸镀膜和粘合剂层也有助于提高耐透湿性。这种干燥处理显著提高防湿性能的效果，是现有技术无法预期的。
具有在PVA薄膜的两面上直接或通过粘合剂层来配置金属或非金属的氧化物薄膜这种结构的多层薄膜，显示出特别小的透湿度，但受到两侧存在的氧化物薄膜所具有的水蒸气阻隔性能的妨碍，在中间存在的PVA薄膜(代表性的吸湿性树脂层)、进而多层薄膜不能简单地获得所希望的干燥状态。但是，在高温下进行10小时以上、根据场合而进行100小时以上的彻底的干燥处理，一旦获得所希望的干燥状态，与其低透湿度结合起来，就可以获得能够稳定地保持特别小的透湿量的防湿薄膜。
本发明的防湿薄膜即使环境温度或湿度发生变化，对其防湿性能也没有不利影响。而且，通过适宜地选择层的结构，可以具有柔软性。基于这些知识，至此完成本发明。
因此，本发明提供这样一种防湿薄膜，其特征在于，它是由透明的多层薄膜构成，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)；该防湿薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
另外，本发明还提供一种防湿薄膜的制造方法，该防湿薄膜是由透明的多层薄膜构成，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)；其特征在于，采用将该多层薄膜或构成该多层薄膜的吸湿性树脂层(A)干燥的工序，形成这样一种多层薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
进一步地，本发明提供一种场致发光元件，它是将一对电极之间配置发光层的场致发光元件主体的至少一部分，用作为防湿薄膜的防湿体密封而成；其特征在于，场致发光元件中的防湿薄膜是由透明的多层薄膜构成，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)；该防湿薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
更进一步地，本发明还提供一种场致发光元件的制造方法，该场致发光元件是将一对电极之间配置发光层的场致发光元件主体的至少一部分，用作为防湿薄膜的防湿体密封而成；其特征在于，作为场致发光元件中的防湿薄膜，使用这样一种透明的多层薄膜，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)；且
设置将该多层薄膜或构成该多层薄膜的吸湿性树脂层(A)干燥的工序，以使该多层薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
                  对附图的简单说明
图1为示出用防湿薄膜密封的EL元件的层结构之一例的截面模式图。
图2为示出用防湿薄膜密封的EL元件的层结构之其他例的截面模式图。
图3～图8为示出含有本发明防湿薄膜的层结构的具体例的截面模式图。
图9为本发明实施例中使用的EL元件的截面模式图。
图10为本发明实施例1中制作的防湿薄膜的截面模式图。
图11为本发明实施例2中制作的防湿薄膜的截面模式图。
                    实施发明的最佳方案
图1为示出以本发明为对象的EL元件之一例的截面模式图。图1所示的EL元件具有这样一种结构：由设置电极2的基板3和设置电极4的基板5夹持发光层1，将由此形成的EL元件主体密封在一对防湿体6和7之间。其构成为：分别将铅电极连接到一对电极2和4上，由外部电源供电，由此对发光层1施加电场。
发光层1可以是将粉末荧光体分散于有机或无机的粘合剂中而形成的分散型，也可以是由荧光体的薄膜形成的薄膜型。荧光体可以是无机荧光体，也可以是有机荧光体。而且，发光层也可以是如特开平7-135080号公报中所公开的将荧光体分散于有机-无机复合基质中而形成的混合型发光层。基板3和5由例如塑料薄膜、玻璃板、金属板等构成，使其至少一方透明，以使发光层发出的光透射到外部。应予说明，本说明书中，“透明”是指能透过发光层发出的光的程度。
各基板上设置的电极2和4由金属或ITO(铟-锡复合氧化物)等的金属氧化物等形成，使其至少一方透明，以使发光层发出的光透射到外部。因此，基板-电极复合体的一方可以是不透明的，该场合下，一方的基板-电极复合体(例如基板5与电极4的复合体)用1张铝箔等的金属板构成，也可以作为基板兼电极。
这种由发光层1、基板3和5、以及电极2和4构成的EL元件主体不限于一个，也可以将复数个EL元件平面排列，或是任意层合，将这些复数个EL元件主体集中起来密封到一对防湿体6和7之间。
一对防湿体6和7的至少一方由本发明的防湿薄膜构成，也可以根据需要，使另一方为玻璃基板或金属板。这样，例如，一方的防湿体7为玻璃基板的场合下，可以省略其上的基板5，将电极4直接设置在玻璃基板上。另外，一对防湿体6和7任一方皆为本发明防湿薄膜的场合下，它们也可以是由1张防湿薄膜折叠而成。如上所述，防湿体的一部分可以是玻璃基板或金属板。因此，本发明的EL元件包含将EL元件主体用至少一部分为防湿薄膜的防湿体密封而形成的EL元件。
图2为示出以本发明为对象的EL元件另一实例的截面模式图。图2所示的EL元件具有这样一种结构：在透明导电薄膜(ITO)23和背面电极(A1箔)26之间，夹持着由用有机粘合剂粘合的粉末荧光体构成的发光层24和在其一侧的用于防止绝缘破坏的电介体层25。进一步地，在图2的EL元件中插入用于除湿的吸湿薄膜22和27，用防湿薄膜21和28密封，从而使其具有柔软性。
本发明中，作为防湿薄膜，使用由透明的多层薄膜构成的、具有特定的透湿度和透湿量的薄膜，其层结构为，在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置金属或非金属的氧化物薄膜(C)。
氧化物薄膜(C)可以在吸湿性树脂层(A)的一面或两面上形成，也可以在其它的透明树脂层(D)之上形成。但是，要在蒸镀形成氧化物薄膜(C)的那一面的背面上配置粘合剂层(B)，由此，在与其它层粘合的同时，又达到保护氧化物薄膜(C)、防止裂纹发生、进一步提高防湿性能的效果。
本发明的防湿薄膜，代表性的是含有如图3～图8所示的基本的层结构，可以根据需要再层合上另外的相同种类或不同种类的附加层。
图3中示出这样一种层结构：使用吸湿性树脂层(A)33的两面上形成氧化物薄膜(C)32和34的复合薄膜X，在其两面上分别通过粘合剂层a，使透明树脂层(D)31和35层合而成的结构。
图4中示出这样一种层结构：吸湿性树脂层(A)43的一面上形成氧化物薄膜(C)42的复合薄膜X，在其一面上，通过粘合剂层a使透明树脂层(D)41层合，在另一面上，通过粘合剂a，使透明树脂层(D)45的一个面上形成氧化物薄膜(C)44的复合薄膜Y层合而成的结构。
图5中示出这样一种层结构：将透明树脂层(D)51的一面上形成氧化物薄膜(C)52的复合薄膜X，以及透明树脂层(D)55的一面上形成氧化物薄膜(C)54的复合薄膜Y，分别通过粘合剂层a层合到吸湿性树脂层(A)53的两面上而成的结构。
图6中示出这样一种层结构：将透明树脂层(D)61的一面上形成氧化物薄膜(C)62的复合薄膜X，以及透明树脂层(D)66的一面上形成氧化物薄膜(C)65的复合薄膜Z，分别通过粘合剂层a层合到吸湿性树脂层(A)64的一面上形成氧化物薄膜(C)63的复合薄膜Y的两面上而成的结构。
图7中示出这样一种层结构：将透明树脂层(D)71的一面上形成氧化物薄膜(C)72的复合薄膜X以及透明树脂层(D)76，分别通过粘合剂层a层合到吸湿性树脂层(A)74的两面上形成氧化物薄膜(C)73和75的复合薄膜Y的两面上而成的结构。
图8中示出这样一种层结构：将透明树脂层(D)81的一面上形成氧化物薄膜(C)82的复合薄膜X、以及透明树脂层(D)87的一面上形成氧化物薄膜(C)86的复合薄膜Z，分别通过粘合剂层a层合到吸湿性树脂层(A)84的两面上形成氧化物薄膜(C)83和85的复合薄膜Y的两面上而成的结构。
因此，本发明的防湿薄膜优选含有以下层结构的多层薄膜：
(i)在吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置氧化物薄膜(C)，进一步地，
(ii)在各氧化物薄膜(C)上直接或通过粘合剂层(B)来配置透明树脂层(D)或形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(D)，作为其基本构成的代表性例子，可以举出如下的层结构。
(1)透明树脂层(D1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C1)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C2)/粘合剂层(B2)/透明树脂层(D2)、
(2)透明树脂层(D1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C1)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C2)/透明树脂层(D2)、
(3)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C2)/透明树脂层(D2)、
(4)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C3)/透明树脂层(D2)、
(5)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C3)/粘合剂层(B2)/透明树脂层(D2)、以及
(6)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C3)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C4)/透明树脂层(D2)。
本发明的多层薄膜还可以在具有如上所述基本结构的多层薄膜的至少一面上，直接或通过粘合剂层(B)来进一步配置另外选自透明树脂层(D)和形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(D)中的至少一层。
吸湿性树脂层(A)，即使其本身使用吸湿性的树脂，也可以由将吸湿性或非吸湿性的树脂与氯化钙等吸湿性化合物混合而获得的吸湿性的树脂组合物来构成。作为吸湿性树脂，可以举出例如为聚醋酸乙烯(部分)皂化物的聚乙烯醇(PVA)、乙烯-醋酸乙烯共聚物皂化物(EVOH)、聚酰胺等。其中优选PVA。作为PVA，皂化度通常为90％以上，优选为95％以上，更优选为99％以上。使用PVA薄膜，如果干燥处理进行得越彻底地，越能够降低初期水分量，同时可以减少透湿量，其结果，可以得到实用的具有高度防湿性能的防湿薄膜，即使环境温度或湿度发生变化，其防湿性能也不会受损害。
作为非吸湿性树脂的实例，可以举出聚烯烃、聚酯、聚氯乙烯、偏氯乙烯共聚物等。氯化钙等吸湿性化合物的添加会损害一些吸湿性树脂层(A)的透明性，但能够充分维持仅仅能使发光层发出的光透出的透明性。吸湿性树脂层(A)的厚度通常为5～400μm，优选为10～200μm。本发明的多层薄膜中，可以根据需要通过粘合剂层来层复数层吸湿性树脂层。总之，作为透明树脂层(D)，也可以配置一层以上的吸湿性树脂层。
作为构成金属或非金属氧化物薄膜(C)的氧化物，如果它能提供具有透明性、具有适度弯曲性的薄膜，就没有特别的限定。作为金属氧化物，可以举出例如Al、Zn、Sn、In、Ti或它们当中任意两种以上的金属的氧化物。作为非金属的无机氧化物，有代表性的是SiO、SiO2、或其混合物等的硅氧化物，本发明中特别优选使用。硅氧化物薄膜中，也可以混入10重量％以下少量的杂质钙、镁或其氧化物等。
氧化物薄膜(C)的厚度，通常为10～500nm，优选为20～200nm。如果该厚度过薄，则防湿性能不足，如果过厚，则薄膜发生卷缩，容易使氧化物膜本身发生龟裂或剥离。
氧化物薄膜通常采用蒸镀法形成于吸湿性树脂层(A)或透明树脂层(D)之上，在其形成面的背面上设置粘合剂层。通过设置粘合剂层，可以进一步提高防湿性能。作为构成粘合剂层的粘合剂，可以是热固性粘合剂、热塑性粘合剂、弹性体粘合剂的任一种，优选使用热固性粘合剂。任何场合下都希望进行热处理。热处理限于不使以粘合剂为主构成各层的树脂成分分解，优选在高温下长时间地进行。热处理时间，处理稳定越高，完成时间越短，从生产性的观点看是优选的。当然，热处理时间依存于层结构。
本发明的多层薄膜，可以适宜地另外配置透明树脂层(D)等的附加层。因此，以下说明附加配置的层。例如，如图3所示，如果在一枚吸湿性树脂层(A)的两面上形成氧化物薄膜(C)，则由于一般来说，含有这种复合薄膜的多层薄膜的柔软性降低，有些场合下，在要求特别高柔软性的领域中难以使用。而且，如果将含有这种复合薄膜的多层薄膜作为防湿薄膜使用，则在弯曲时，特别是位于外侧的氧化物薄膜(C)发生龟裂，损害防湿性能。因此，一般优选采用蒸镀等方法只在一张薄膜的一面上形成氧化物薄膜(C)，通过粘合剂层将2张在一面上形成氧化物薄膜(C)的复合薄膜接合起来。总之，从柔软性的观点看，优选采用图4～图6所示的层结构，由一对氧化物薄膜(C)夹持吸湿性树脂层(A)的结构。
但是，在不那么要求柔软性的用途领域中，可以使用含有图3、图7和图8的层结构的多层薄膜。这些场合下，在吸湿性树脂层(A)的两面上形成氧化物薄膜(C)的复合薄膜的两面上，将其它的透明树脂层(D)或者一面上形成氧化物薄膜(C)的复合薄膜，通过粘合剂层(B)接合在一起，由此可以保护氧化物薄膜(C)。作为粘合剂层，可以使用由例如厚度为1～50μm左右的聚氨酯系、丙烯酸系、聚酯系等的粘合剂构成的层。
作为附加的层，代表性的是透明树脂层(D)或形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(复合薄膜)。形成透明树脂层的树脂，可以是吸湿性树脂或非吸湿性树脂。作为优选的由非吸湿性树脂构成的透明树脂层(D)，可以举出在80℃以下的尺寸稳定性高、防湿性能高的聚酯系、聚烯烃系、聚偏氯乙烯系等的拉伸或未拉伸薄膜。作为形成透明性树脂层的树脂材料，此外还可以举出例如聚苯硫醚、聚砜、聚亚芳基酯(ポリアリ-レ-ト)、聚酰亚胺等的耐热性树脂。也可以这些树脂中混合入紫外线吸收剂或用于改变EL元件颜色的颜料等。
另外，作为附加的层，可以使用例如由PVA与聚(甲基)丙烯酸或其部分中和物的混合物形成的热处理薄膜(特开平6-220221号公报)、糖类与聚(甲基)丙烯酸或其部分中和物的混合物形成的热处理薄膜(特开平7-165942号公报)等的气体阻隔性薄膜、将这些气体阻隔性薄膜形成于热塑性树脂层的至少一面上的复合薄膜等。
可以采用真空蒸镀法、离子电镀法、喷镀法、反应蒸镀法等方法，在由吸湿性树脂或非吸湿性树脂构成的基材薄膜上形成氧化物薄膜(C)。其中反应蒸镀法是将金属、金属氧化物或它们的混合物作为蒸镀原料，一边供给氧气，一边进行蒸镀的方法。这种方法使用硅、硅氧化物或其混合物也可以进行。
在形成氧化物薄膜(C)之前，为了提高氧化物薄膜与基材薄膜之间的粘合强度，可以使用结合剂(anchor coat)。作为优选的结合剂，可以举出异氰酸酯系、聚乙烯亚胺系、有机钛系等的粘合促进剂、以及聚氨酯、聚酯系等的粘合剂。进一步地，作为结合剂，也可以使用聚乙烯系、聚酯系、聚酰胺系等无溶剂型的粘合剂。因此，本发明中包括使用通过这些结合剂在基材薄膜表面上形成氧化物薄膜的复合薄膜的场合。
而且，作为透明树脂层(D)，还优选不单独形成氧化物薄膜(C)地，将吸湿性树脂或非吸湿性树脂的薄膜通过粘合剂层或采用热融合的方法接合起来，使其形成附加层。由于仅仅层合形成氧化物薄膜(C)的复合薄膜，获得的多层薄膜的耐折曲性降低，因此，为了提高柔软性，或者为了提高外表面的强度，这个措施是有效的。
除上述吸湿性树脂层(A)以外的各层薄膜(透明树脂层)的厚度，通常为5～400μm，优选为10～200μm左右。
作为附加层的一部分，为了提高多层薄膜整体的水蒸气阻隔性，可以将吸湿性树脂层或非吸湿性树脂层的至少一面上形成氧化物薄膜(C)的复合薄膜层合一层以上。该场合下，可以将各复合薄膜的氧化物薄膜通过粘合剂层来层合，也可以将氧化物薄膜面与其它的透明树脂层的面进行层合。
作为构成本发明多层薄膜最内层的附加层，可以举出可热封的透明树脂层。为了与其它的防湿体接合，还优选设置一层例如厚度为10～300μm的聚烯烃系、环氧系等的热熔融型密封层。由于这种密封层是透明的，因此可以说是一种透明树脂层。这种热熔融型密封层也可以只设置在这样一个部位上：在用本发明防湿薄膜封装EL元件主体的过程中，包围EL元件主体的一方或两方防湿薄膜的部位上。
作为形成本发明最外层的附加层，优选具有耐热性的透明树脂层。将最外层为耐热性透明树脂层，不仅可以提高EL元件的耐热性，而且在热封的场合下，可以提高热封性。作为这种耐热性透明树脂层，可以举出熔点或维卡软化点在100℃以上、优选在120℃以上、更优选在150℃以上的热塑性树脂薄膜。更具体地说，可以举出拉伸或未拉伸的聚丙烯薄膜、拉伸或未拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜等。
包括上述那样附加的内层和外层的多层薄膜的总厚度，如果在不损害透明性的限度内，就没有限制，多数场合下，为30～1000μm，优选为50～500μm。
构成本发明防湿薄膜的透明多层薄膜，(1)在温度60℃、相对湿度(RH)90％的条件下，透湿度(水蒸气阻隔性的一个评价标准)为0.05g/m2·24hr以下，优选为0.04g/m2·24hr以下，更优选为0.03g/m2·24hr以下，且(2)在温度40℃、100％RH的条件下，50小时的透湿量(多层薄膜受初期吸水量影响的水蒸气阻隔性的评价标准)为0.15g/m2以下，优选为0.13g/m2以下，更优选为0.10g/m2以下。透湿量最优选为0.05g/m2以下。
根据本发明者们的研究结果判明，在通常的薄膜的场合下，透湿度与透湿量，如果使以测定温度和时间为主的各条件相同，虽然测定方法和单位不同，但显示出大约1∶1的对应关系。但是，含有在两面上邻接氧化物薄膜(C)那样的低透湿性层的吸湿性树脂层(A)的多层薄膜中，在形成低透湿性层之前，在通常的制造条件下，吸湿性树脂层(A)通过吸湿而含有一定程度的水分。该吸湿造成的水分量(初期吸水量)本质上对透湿度没有影响，但使透湿量增大，影响作为EL元件包装薄膜的实用的防湿性能。即，如果吸湿性树脂层(A)的初期吸水量大，受其影响，透湿量显示出增大的倾向。
规定本发明多层薄膜(防湿薄膜)的透湿度，是采用下文所述的滤纸封入法测定的，透湿量是用现代控制(モダンコントロ-ル)公司生产的水蒸气透过试验机(PERMATRAN-W3/31SW)、采用ASTM F1249(与JIS K7129B法相对应)测出的累计透湿量。透湿度与透湿量的测定方法不同，在适合于与EL元件长期亮度试验相当的过于苛刻的试验条件下，即，将EL元件在60℃、90％RH的环境气氛中放置750小时的条件下，有必要寻求一种能够测定透湿度的测定方法，但是，在这种条件下，还没有能够同时测定透湿度和透湿量的装置。
本发明中，采用以下方法测定透湿量。使用以ASTM F1249(JIS K7129B法)为基准的现代控制公司生产的水蒸气透过试验机PERMATRAN-W3/31SW来测定透湿量。具体地说，将为测定对象的平的多层薄膜(试验片)固定于扩散池中，试验片将扩散池分隔成干燥室和调湿室。将扩散池整体放置于40℃下，经过一段时间，试验片的温度也达到40℃。在用试验片分隔之前，先使干燥室暴露于干燥氮气流中，用含有蒸馏水的海绵使另一方的调湿室暴露于100％RH中，同时使其处于氮气流下。在没有用试验片分隔时，两个室处于干燥氮气流和100％RH的混杂状态。用试验片将两室分隔之后不久，干燥室和调湿室都没有达到各自原有的湿度0％RH和100％RH，但如果用试验片分隔并经过1小时左右，则达到各自原有的湿度，因此，从此时开始测定透湿度。透过试验片而渗透到干燥室中的水蒸气夹杂在干燥氮气流中，被送到红外传感器上。用该红外传感器测定水蒸气所吸收的红外能的比例，作为电信号取出，由此计算出水蒸气透过度。水蒸气透过度通常每隔1小时测定1次。将该水蒸气透过度的50小时积分值(累计水蒸气透过量)作为透湿量。该测定方法是在40℃、100％RH的条件下测定透湿量，但一般有时要求在40℃、90％RH的条件下测定，因此将上述方法中获得的透湿量乘以0.9，由此就可以使其为在40℃、90％RH条件下的透湿量。干燥的多层薄膜中的PVA，很难直接测定其水分量，但可以通过测定透湿量来作为其防湿性能的基准。
本发明中，采用滤纸封入法测定透湿度。具体地说，在2张多层薄膜之间插入EL元件代替物滤纸，密封。密封是采用与密封EL元件主体相同的方法。即，将用热熔融型密封剂密封的那一面作为内侧，使其面对面，或者分别将热封性树脂密封剂层作为内侧，使其相对。作为EL元件代替物，使用3张100mm×100mm的Whatman滤纸No.2，在150℃下干燥2小时之后，将其重叠来使用。热封是在可以密封的温度下，从2根加热的橡胶辊之间通过，对多层薄膜的四条边进行热封，形成15mm宽(密封宽度)的密封部位。将上述获得的封入滤纸的样品各5个在60℃、90％RH的环境气氛下放置750小时。将该方法中获得的重量增加的部分表示为W0。W0为直到测定时从多层薄膜面和密封部位透过的水分合计量。
在滤纸与多层薄膜之间，分别在滤纸的上下各插入1张大小为100mm×100mm、实际上透湿度为0的50μm厚的铝箔，除此之外，采用与上述方法相同的方法进行测定，将重量增加的部分表示为W1。W1也是直到测定时从多层薄膜面和密封部位透过的水分合计量。密封部位的水分透过量，W0和W1之间没有差异。而且，W1是用铝箔防止水分浸透而测定的值。因此，两者之差(W0-W1)为从多层薄膜的薄膜面透过的水分量。也就是说，求出的该差值是垂直透过多层薄膜的薄膜面100mm×100mm面积部分而被滤纸吸收的水分量，换言之，透湿量可作为在多层薄膜标准化面积上沿厚度方向透湿能力的评价标准。因此，按照常规方法求出的每24小时的透湿度，就是本发明中所说的透湿度。
理论上，不能说上述透湿度没有受到多层薄膜初期吸水量的影响。但是，由于作为整体测定的吸湿量是在60℃、90％RH、750小时那样过于苛刻的条件下测定的，与在此之间透过薄膜的水分量相比，初期吸水量可以忽略不计。因此，上述透湿度能够成为消除初期吸水量(最初吸湿水分量)影响的水蒸气阻隔性的重要评价标准。
为了形成满足上述透湿度和透湿量必要条件的透明多层薄膜(防湿薄膜)，必须注意干燥条件。即，在吸湿性树脂层(A)的两侧邻接有透湿度低的氧化物薄膜(C)的本发明防湿薄膜，其制造过程中按照通常的制造条件，不对吸湿性树脂层(A)的吸湿水分量进行特别的控制，在吸湿性树脂层(A)制成之后，不能通过短时间的干燥，使其中已经存在的吸湿水分量透过透湿度低的氧化物薄膜(C)而减少到规定的吸湿水分量的水平。因此，在防湿薄膜的制造过程中，在向吸湿性树脂层(A)上直接或通过粘合剂层而在其两侧配置氧化物薄膜(C)之前，预先使吸湿性树脂层(A)充分干燥，或者使用在绝对干燥或接近绝对干燥的状态下制膜的吸湿性树脂层(A)来形成防湿薄膜也是有效的。但是，如果含有在氧化物薄膜(C)之间夹持的吸湿性树脂层(A)的多层薄膜，一旦在形成之后，就需要很长时间的干燥工序。这种干燥时间，根据已经吸湿的水分量的多少、层合树脂的种类、特别是吸湿性树脂的吸湿能力、以及气体阻隔层的阻隔程度、各层的厚度、层构成(特别是层合多少张)、氧化物薄膜(C)有几层等，还根据干燥条件等而不同。
作为干燥条件，优选将多层薄膜或构成多层薄膜的吸湿性树脂(A)在常压下或在减压下、在35～150℃的温度下干燥至少10小时的方法。特别地，在制成多层薄膜之后进行干燥的场合下，在35～150℃、优选40～120℃的温度下、在常压下干燥10小时以上、优选30小时以上、更优选50小时以上、特别优选100小时以上。在减压下、在1 Torr以下的减压下，在35～150℃、优选40～70℃下，干燥10小时以上、优选30小时以上、更优选50小时以上。干燥温度低的场合下，优选尽可能长时间地，例如在100小时以上，根据不同场合而在150小时以上进行干燥。再有，还优选将常压下干燥和减压下干燥组合起来的方法。这样，通过彻底的干燥，将多层薄膜，特别是吸湿性树脂层(A)干燥到实际上绝对干燥的状态。由此，特别是吸湿性树脂层为PVA的场合下，可以达到过去从不知道的那样显著的防湿性能。该防湿性能可以通过测定上述透湿量来定量。
使用由上述获得的多层薄膜制成的防湿薄膜，将EL元件主体密封，由此获得本发明的EL元件。为了使用防湿薄膜密封EL元件主体，可以采用使防湿薄膜本身具有密封性能的方法和使用其它密封体的方法的任一种，或者将两种方法合并使用。
具体地说，可以采用这样一些方法：(1)在防湿薄膜的一面上设置或者不设置热熔融型密封层，在2张防湿薄膜或者1张防湿薄膜与作为另一个防湿体的玻璃基板(或金属板等)之间放置EL元件主体，用热熔融型密封剂将其周围密封；(2)在防湿薄膜的一面上设置聚乙烯等的具有热封性的透明树脂层作为密封层，在2张防湿薄膜之间放置EL元件主体，通过热压将其周围密封。作为热熔融型密封剂，代表例是环氧树脂。
                         实施例
以下通过实施例、比较例和参考例来更具体地说明本发明。物性的测定方法如下。
(1)透湿量：如前所述。
(2)透湿度：如前所述。
(3)EL元件的发光亮度保持率：
将EL元件样品在相对湿度90％的条件下放置500小时，然后在室温下接通工作电压100V、工作频率400Hz的电源，测定初期发光亮度L0，接着，仍然外加电压，在室温下测定750小时后的发光亮度L1，按照下式计算出发光亮度保持率。
         发光亮度保持率＝(L1/L0)×100(％)
参考例1
使用蒸镀了硅氧化物薄膜的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(蒸镀PET薄膜，厚度12μm，三菱化学兴人帕库斯(株)制“テックバリア-T(商品名)”)，不进行干燥处理(热处理)测定透湿度。结果示于表1中。
参考例2
将与参考例1中所用相同的蒸镀PET薄膜在100℃下热处理100小时之后，测定透湿度。结果示于表1中。
参考例3
在与参考例1中所用相同的蒸镀PET薄膜的硅氧化物薄膜面上，层合聚氨酯系粘合剂(厚度3.5μm，东洋莫顿(株)制“AD-502/CAT-10”)，再在其上层合双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜(PET薄膜，厚度16μm，尤尼契卡(株)制“EMBLET-S”)，制成多层薄膜。使用该多层薄膜，不进行热处理测定透湿度。结果示于表1中。
参考例4
将与参考例3中所用相同的多层薄膜在100℃下热处理100小时之后，测定透湿度。结果示于表1中。
                            表1
层结构 干燥条件 透湿度(g/m2·24h)60℃、90％RH
参考例1  PET/SiO     无     0.5
参考例2  PET/SiO  100℃、100小时     0.3
参考例3  PET/SiO/AD/PET     无     0.3
参考例4  PET/SiO/AD/PET  100℃、100小时     0.2
(脚注)
(1)PET/SiO：蒸镀硅氧化物薄膜的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜
(2)AD：聚氨酯系粘合剂层
(3)PET：双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜
从表1的结果看出，热处理(长时间干燥)可以改善透湿度，特别是对硅氧化物薄膜上设置粘合剂层的多层薄膜进行热处理，可以大幅度改善透湿度。但是，基材薄膜为非吸湿性树脂层的PET薄膜，且两侧没有设置硅氧化物薄膜和粘合剂层，因此本身的透湿度就很高。
实施例1
如下制作图9所示结构的EL元件。
<EL元件主体的制作>
将氰乙基聚乙烯醇、钛酸钡粉末、以及N，N′-二甲基甲酰胺均匀混合，配制成绝缘用膏料。将氰乙基聚乙烯醇、ZnS中加入活性剂Cu的粉末荧光体、以及N，N′-二甲基甲酰胺均匀混合，配制成发光层用膏料。
在由铝箔形成的背面电极97(厚70μm)上，丝网印刷上绝缘用膏料，形成绝缘层96(厚30μm)，在其上丝网印刷上发光层用膏料，形成发光层95(厚40μm)。
在聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜93上，将形成ITO(铟·锡复合氧化物)的透明蒸镀层94的透明导电性薄膜(厚75μm)重叠到上述发光层95上，用辊压层合机进行加热压合。从背面电极97和透明导电性薄膜上的ITO层94引出电极铅丝。分别在这样制成的EL元件主体的两面上通过由乙烯-醋酸乙烯共聚物制成的粘合剂层(厚度30μm)a，被覆上由尼龙制成的吸湿薄膜(厚度75μm)92和98。以下，将其作为EL元件主体使用。
<防湿薄膜的制作>
由图10所示层结构的多层薄膜制作防湿薄膜。该多层薄膜的层结构从外层到内层如下。
未拉伸聚丙烯薄膜101(厚度50μm，东赛路(株)制“RXC-18”)、
聚氨酯系粘合剂层a1(厚度3.5μm，东洋莫顿(株)制“AD-502/CAT-10”)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜103(厚度127nm)的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜102(厚度12μm，三菱化学兴人帕库斯(株)制“テックバリ ア-T(商品名)”)、
聚氨酯系粘合剂层a2(厚度3.5μm，同上)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜104(厚度51nm)的双向拉伸聚乙烯醇薄膜105(厚度12μm，三菱化学兴人帕库斯(株)制“テックバリ ア-S(商品名)”)、
聚氨酯系粘合剂层a3(厚度3.5μm，同上)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜106(厚度51nm)的双向拉伸聚乙烯醇薄膜107(厚度12μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a4(厚度3.5μm，同上)、
未拉伸聚丙烯薄膜108(厚度50μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a4(厚度3.5μm，同上)、
未拉伸聚丙烯薄膜108(厚度50μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a5(厚度3.5μm，同上)、
未拉伸聚丙烯薄膜109(厚度50μm，同上)、
聚烯烃系热熔融型密封层110(厚度70μm，三井杜邦(株)制的EEA系热熔融粘合剂“A710”)。
上述层结构的透明多层薄膜，是采用干式层合法，在65℃下，通过上述各聚氨酯系粘合剂层将各层层合而制成的。图10中，X、Y和Z表示各蒸镀薄膜。
将这样制成的多层薄膜在1 Torr以下的减压下，在45℃下真空干燥150小时，接着，放入装有硅胶干燥剂的密闭罐中保存。对于由这样干燥处理获得的多层薄膜制成的防湿薄膜，测定其透湿度和透湿量。结果示于表2中。
<EL元件的制作>
使2张上述制作的防湿薄膜的各聚烯烃系热熔融型密封层110那一面相对，在其间放置上述配制的EL元件主体，在140℃下加热压合，将四周密封，由此制成用防湿薄膜91、99密封EL元件主体的电解发光型EL元件。使用该EL元件，测定发光亮度保持率。结果示于表2中。
比较例1
使用与实施例1相同层结构的多层薄膜，除了不进行干燥处理以外，与实施例1同样地进行，测定透湿度、透湿量以及EL元件的发光亮度保持率。结果示于表2中。
实施例2
<防湿薄膜的制作>
由图11中所示层结构的多层薄膜制作防湿薄膜。该多层薄膜的层结构从外层到内层如下。
双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜层111(厚度16μm，尤尼契卡(株)制“ EMBLET-S”)、
聚氨酯系粘合剂层a1(厚度3.5μm，东洋莫顿(株)制“AD-502/CAT-10”)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜113(厚度45nm)的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜112(厚度12μm，三菱化学兴人帕库斯(株)制“テックバリア-H(商品名)”)、
聚氨酯系粘合剂层a2(厚度3.5μm，同上)、
双向拉伸聚乙烯醇薄膜114(厚度25μm，日本合成化学工业(株)制“ボブロン”(商品名))、
聚氨酯系粘合剂层a3(厚度3.5μm，同上)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜116(厚度45nm)的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜115(厚度12μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a4(厚度3.5μm，同上)、
双向拉伸聚乙烯醇薄膜117(厚度25μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a5(厚度3.5μm，同上)、
透明的蒸镀了硅氧化物薄膜层118(厚度45nm)的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜119(厚度12μm，同上)、
聚氨酯系粘合剂层a6(厚度3.5μm，同上)、
双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜120(厚度16μm，同上)、
聚烯烃系热熔融型密封层121(厚度50μm，希罗达因工业(株)制“ヒロダイン 7589”(商品名))。
除了上述的聚氨酯系粘合剂层a6、双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜120、以及聚烯烃系热熔融型密封层121以外，对于其它各层，采用干式层合法，在65℃下，通过各聚氨酯系粘合剂层层合到一起，制作多层薄膜，然后，在常压和100℃下干燥100小时。
接着，在该多层薄膜的双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜119那一面上，通过聚氨酯系粘合剂层a6将双向拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜120与聚烯烃系热熔融型密封层121一起，在65℃下进行干式层合，制成透明的多层薄膜。将该多层薄膜在1 Torr以下的减压下，在50℃下真空干燥50小时。对于如此干燥处理获得的多层薄膜制成的防湿薄膜，测定其透湿度和透湿量。另外，除了使用该防湿薄膜以外，与实施例1同样地制作EL元件，测定发光亮度保持率。结果示于表2中。
比较例2
使用与实施例2相同层结构的多层薄膜，除了不进行干燥处理之外，与实施例2同样地进行，测定透湿度、透湿量以及EL元件的发光亮度保持率。结果示于表2中。
比较例3
不使用实施例1的防湿薄膜，代之以在一面上具有聚烯烃系热熔融型密封层(厚度50μm)的聚氯三氟乙烯薄膜(厚度200μm)，除此之外，与实施例1同样地进行，测定透湿度、透湿量以及EL元件的发光亮度保持率。结果示于表2中。
                            表2
层结构 干燥处理   透湿度(g/m2·24h)60℃，90％RH   透湿量(g/m2)40℃，50h  EL元件的发光亮度保持率(％)
100％RH 90％RH
实施例1 图10 45℃、150h真空干燥 0.02  0.09  0.08  87
实施例2 图11 100℃、100h常压干燥/50℃、50小时真空干燥 ＜0.01  0.04  0.04  88
比较例1 图10 无 0.02  0.29  0.26  0
比较例2 图11 无 0.02  0.20  0.18  45
比较例3 PCTFE/PO 无 0.05  0.08  0.07  65
(脚注)
(1)PCTFE/PO：在一面上具有聚烯烃系热熔融型密封层的聚氯三氟乙烯薄膜
(2)90％RH下的透湿量：100％RH下的透湿量乘以0.9的换算值。
产业上的利用可能性
本发明提供这样一种防湿薄膜，该防湿薄膜显示出与以聚氯三氟乙烯薄膜为主体的过去的防湿薄膜同等或更低的透湿度，且显示出与以聚氯三氟乙烯薄膜为主体的过去的防湿薄膜同等或更高的防湿性能。本发明的防湿薄膜可以显示出对环境温度或湿度的变化稳定的防湿性能。因此，本发明的防湿薄膜特别适合作为EL元件的防湿用包装薄膜。而且，本发明还提供一种用具有这种优良防湿性能的防湿薄膜密封的EL元件。

Claims (16)

1.一种防湿薄膜，其特征在于，它是由透明的多层薄膜构成，其层结构含有：在选自聚乙烯醇、乙烯-醋酸乙烯共聚物皂化物以及聚酰胺的吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置选自Al、Zn、Sn、In、Ti、Si或它们当中两种以上的金属或非金属的氧化物薄膜(C)；该防湿薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
2.权利要求1中所述的防湿薄膜，其中，多层薄膜还含有以下层结构：
在吸湿性树脂层(A)的两面上配置的氧化物薄膜(C)上直接或通过粘合剂层(B)来配置透明树脂层(D)或形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(D)。
3.权利要求2中所述的防湿薄膜，其中，多层薄膜含有如下层结构：
(1)透明树脂层(D1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C1)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C2)/粘合剂层(B2)/透明树脂层(D2)、
(2)透明树脂层(D1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C1)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C2)/透明树脂层(D2)、
(3)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C2)/透明树脂层(D2)、
(4)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C3)/透明树脂层(D2)、
(5)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C3)/粘合剂层(B2)/透明树脂层(D2)、或者
(6)透明树脂层(D1)/氧化物薄膜(C1)/粘合剂层(B1)/氧化物薄膜(C2)/吸湿性树脂层(A)/氧化物薄膜(C3)/粘合剂层(B2)/氧化物薄膜(C4)/透明树脂层(D2)。
4.权利要求2中所述的防湿薄膜，其中，在多层薄膜的至少一个面上，直接或通过粘合剂层(B)进一步配置选自透明树脂层(D)和形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(D)中的至少一层附加层。
5.权利要求3中所述的防湿薄膜，其中，在多层薄膜的至少一个面上，直接或通过粘合剂层(B)进一步配置选自透明树脂层(D)和形成氧化物薄膜(C)的透明树脂层(D)中的至少一层附加层。
6.权利要求2～5任一项中所述的防湿薄膜，其中，在多层薄膜的最外层上配置耐热性的透明树脂层(D)。
7.权利要求2～5任一项中所述的防湿薄膜，其中，在多层薄膜的最内层上配置可热封的透明树脂层(D)。
8.权利要求1中所述的防湿薄膜，其中，金属或非金属的氧化物薄膜(C)为硅氧化物薄膜。
9.权利要求1中所述的防湿薄膜，其中，吸湿性树脂层(A)为聚乙烯醇层。
10.权利要求1中所述的防湿薄膜，其中，防湿薄膜为场致发光元件用防湿薄膜。
11.一种防湿薄膜的制造方法，该防湿薄膜是由透明的多层薄膜构成，其层结构为选自聚乙烯醇、乙烯-醋酸乙烯共聚物皂化物以及聚酰胺的吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置选自Al、Zn、Sn、In、Ti、Si或它们当中两种以上的金属或非金属的氧化物薄膜(C)；其特征在于，采用将该多层薄膜或构成该多层薄膜的吸湿性树脂层(A)在常压或减压下35～150℃的温度至少干燥10小时的工序，形成这样一种多层薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
12.权利要求11中所述的制造方法，其中，吸湿性树脂层(A)为聚乙烯醇层。
13.一种场致发光元件，它是将一对电极之间配置发光层的场致发光元件主体的至少一部分，用作为防湿薄膜的防湿体密封而成；其特征在于，场致发光元件中的防湿薄膜是由透明的多层薄膜构成，其层结构为，在选自聚乙烯醇、乙烯-醋酸乙烯共聚物皂化物以及聚酰胺的吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置选自Al、Zn、Sn、In、Ti、Si或它们当中两种以上的金属或非金属的氧化物薄膜(C)；该防湿薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
14.权利要求13中所述的场致发光元件，其中，吸湿性树脂层(A)为聚乙烯醇层。
15.一种场致发光元件的制造方法，该场致发光元件是将一对电极之间配置发光层的场致发光元件主体的至少一部分，用作为防湿薄膜的防湿体密封而成；其特征在于，作为场致发光元件中的防湿薄膜，使用这样一种透明的多层薄膜，其层结构为，在选自聚乙烯醇、乙烯-醋酸乙烯共聚物皂化物以及聚酰胺的吸湿性树脂层(A)的两面上直接或通过粘合剂层(B)来配置选自Al、Zn、Sn、In、Ti、Si或它们当中两种以上的金属或非金属的氧化物薄膜(C)；且
设置将该多层薄膜或构成该多层薄膜的吸湿性树脂层(A)在常压或减压下35～150℃的温度至少干燥10小时的工序，以使该多层薄膜：
(1)在温度60℃，相对湿度90％下测定的透湿度在0.05g/m2·24hr以下，且
(2)在温度40℃，相对湿度100％下测定的50小时的透湿量在0.15g/m2以下。
16.权利要求15中所述的场致发光元件的制造方法，其中，吸湿性树脂层(A)为聚乙烯醇层。
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