CN108687650B - 两面研磨装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种两面研磨装置，其能够抑制修整上定盘时的作业性的下降，并且维持上定盘在修正中的水平状态。利用下定盘(2)和上定盘(3)研磨工件两面的两面研磨装置(1)的构成具备：驱动件(10)，其穿插所述下定盘(2)，并围绕轴旋转；支持机构(升降用致动器9，对位轴承9b)，其将所述上定盘(3)能够摆动且能够旋转地吊挂支持；挂钩(20)，其设置在所述上定盘(3)的中心开口(3b)的周缘；槽部(11)，其形成在所述驱动件(10)的圆周表面并且在所述上定盘(3)与所述驱动件(10)的圆周方向的相对旋转角度是预定角度的时候能够插入所述挂钩(20)；接触区域(12)，其形成在所述驱动件(10)的上表面(10c)；突起部(13)，其设置在所述接触区域(12)并与所述挂钩(20)接触。

Description

两面研磨装置

技术领域

本发明涉及一种两面研磨装置，其对配置在上定盘和下定盘之间的工件的两面进行研磨。

背景技术

以往，已知的有：在装置上部设置的气缸轴上通过万能接头或者调芯轴承连接上定盘，并且在中心鼓的外周面形成有沿轴方向形成的第1槽和与第1槽长度不同的第2槽，并将设定在上定盘上的挂钩接合在第1槽或者第2槽，使中心鼓的旋转力传送至上定盘的两面研磨装置(例如，参见专利文献1)。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2017-1151号公报

发明内容

(发明所要解决的问题)

以往的两面研磨装置中，在研磨工件时为了使上定盘下降至工件研磨位置而在第1槽插入形成在上定盘的挂钩。另一方面，清洗或者修整(dressing)(以下简称修整)粘贴在上定盘的研磨垫时，向第2槽插入挂钩。而且，挂钩由从下方支持形成在该第2槽上的挂钩的支持面来支持，并将上定盘停止在相比工件研磨位置上方的位置，从而维持修整中的上定盘的水平状态。

但是，该以往的两面研磨装置中，在研磨工件时和研磨面修整时的任何一个中，需要将挂钩插入槽中。也就是说，在上定盘的修整时，使挂钩能够插入预定的槽中的方式而需要调整上定盘与中心鼓的相对旋转角度，从而产生修整时的作业性降低的问题。

进一步，以往的两面研磨装置中，虽然形成有2个第2槽，但是在该一对第2槽的槽深度，由于机械加工精度的问题而产生差异的情况时，在修整时上定盘有倾斜的担忧。

本发明着眼于上述问题而做出，因此，本发明的目的是，提供一种能够抑制修整上定盘时的作业性的下降，并且维持上定盘在修正中的水平状态的两面研磨装置。

(用于解决问题的手段)

为了实现上述目的，本发明是一种利用上定盘和下定盘研磨工件两面的两面研磨装置，其具备：驱动件、支持机构、挂钩、槽部、接触区域、突起部。

上述驱动件穿插下定盘，并且能够围绕轴旋转。

上述支持机构将上定盘能够摆动且能够旋转地吊挂支持。

上述挂钩从上定盘的内周缘朝向中心方向延伸。

上述槽部形成在所述驱动件的圆周表面并朝向驱动件的轴向延伸，并且在上定盘与驱动件的圆周方向的相对旋转角度是预定角度的时候能够插入挂钩。

上述接触区域形成在驱动件的上表面。

上述突起部设置在接触区域并且在挂钩与接触区域接触的状态下与挂钩接触。(发明的效果)

其结果是，能够抑制修整上定盘时的作业性的下降，并且能够维持上定盘在修正中的水平状态。

附图说明

图1是表示实施例1的两面研磨装置的整体结构的概略示意截面图。

图2是表示实施例1的两面研磨装置的主要部分的立体图。

图3是表示实施例1的两面研磨装置的驱动件的俯视图。

图4是表示实施例1的两面研磨装置的上定盘的主要部分的俯视图。

图5是实施例1的两面研磨装置的修整时的俯视图。

图6是图5的A-A截面图。

图7是实施例1的两面研磨装置的研磨工件时的俯视图。

图8是图7的B-B截面图。

图9是表示其他例的两面研磨装置的主要部分的立体图。

图10A是其他例的两面研磨装置的修整时的俯视图。

图10B是图10A的C-C截面图。

图11A是其他例的两面研磨装置的研磨工件时的俯视图。

图11B是图11A的D-D截面图。

图12是表示挂钩和突起部变形例的说明图。

图13是表示驱动件的变形例的说明图。

具体实施方式

以下，结合附图中示出的实施例1对用于实施本发明的两面研磨装置的实施方式进行说明。

(实施例1)

首先对结构进行说明。

在实施例1中的两面研磨装置1是研磨加工如半导体晶片、水晶晶片、蓝宝石晶片、玻璃晶片或者陶瓷晶片的薄板状的晶片WR的正反两面的两面研磨装置。以下，将实施例1的两面研磨装置1的结构分为“整体结构”、“驱动件的详细结构”、“挂钩的详细结构”进行说明。

(整体结构)

图1是表示实施例1的两面研磨装置的整体结构的概略示意截面图。以下，结合图1对实施例1的两面研磨装置的整体结构进行说明。

如图1所示，实施例1的两面研磨装置1具有：以轴心L1为中心的同心上设置的下定盘2和上定盘3；在下定盘2的中央设置有太阳齿轮4；以包围下定盘2的外周的方式设置的内齿轮5。

太阳齿轮4、下定盘2、内齿轮5分别通过驱动轴6、7、8与未图示的驱动电源连接，并被旋转驱动。

另一方面，上定盘3通过安装在上定盘3的上表面的定盘吊架9a被吊挂支持在升降用致动器9的杆9c上。在此，在杆9c的前端部上插入有球面轴承等的对位轴承9b。据此，上定盘3通过升降用致动器9能够摆动且能够旋转地被吊挂支持。也就是说，通过升降用致动器9及对位轴承9b构成吊挂支持上定盘3的支持机构。

另外，在上定盘3的下方设定有穿插下定盘2的驱动件10。该驱动件10具有：沿轴线L1延伸的驱动轴10a；在驱动轴10a的前端形成的驱动件主体10b。

而且，该驱动件10的驱动轴10a与未图示的驱动源连接，并围绕轴线L1能够旋转。进一步，在驱动件主体10b的圆周表面上形成有多个(在此是4个)槽部11。另一方面，上定盘3的中心开口3b的周缘(内周缘)上安装有多个(在此为4个)朝向上定盘3的中心O延伸的挂钩20。

而且，在研磨工件WR时，杆9c从升降用致动器9突出而上定盘3下降的同时，挂钩20逐个地插入在相应的各槽部11中。而且，槽部11与挂钩20在圆周方向上进行干涉，从而驱动件10的旋转力被传送到上定盘3，而该上定盘3旋转驱动。

在下定盘2和上定盘3相互面对的面上各自粘贴有研磨垫2a、3a。

而且，在该两面研磨装置1中在下定盘2和上定盘3之间配置有保持在游星轮板CA上的工件WR。在此，如图1所示，游星轮板CA与太阳齿轮4及内齿轮5齿合，并由太阳齿轮4及内齿轮5的旋转而自转和公转。而且，利用该游星轮板CA的自转和公转，保持在游星轮板CA上的工件WR在下定盘2和上定盘3之间移动而两面被研磨。

(驱动件的详细结构)

图2是表示实施例1的两面研磨装置的主要部分的立体图，图3是实施例1的驱动件的俯视图。以下，结合图2及图3对实施例1的驱动件的详细结构进行说明。

驱动件10通过如上述所示的未图示的驱动源来旋转驱动，并且将旋转力传送至上定盘3而使该上定盘3旋转驱动。如图2所示，该驱动件10具有：连接驱动源的同时沿轴线L1配设的驱动轴10a；形成在驱动轴10a的前端的驱动件主体10b。

驱动轴10a穿过下定盘2的中心开口2b，将驱动件主体10b支持在从下定盘2向上方突出的位置(参见图1)。

驱动件主体10b的圆周表面上形成多个(在此为4个)槽部11，在面向上定盘3的上表面10c上形成接触区域12，在该接触区域12上形成多个(在此为2个)突起部13。

如图2所示，槽部11沿轴线L1即驱动件10的轴向延伸，并且在驱动件主体10b的径向及上下方向上敞开。另外，4个槽部11的各自的槽宽度G1以能够插入挂钩20的同样的尺寸而被设定(参见图3)。此外，“槽宽度G1”是驱动件主体10b的内侧面11a的圆周方向的间隔尺寸。

进一步，本实施例1中，4个槽部11沿驱动件主体10b的圆周方向间隔90°而形成，并且这些槽部11配置在以上定盘3的中心O(轴线L1经过的点)为对称点的点对称的位置。

接触区域12是挂钩20的前端部22的接触面22a能够接触的区域，并且相比该接触面22a具有足够的宽的面积。在此，如图3所示，接触区域12是沿驱动件主体10b的周缘部的区域。另外，该接触区域12上重复形成有槽部11，并且槽部11的上端在该接触区域12内敞开。

突起部13从接触区域12沿驱动件10的轴向(轴线L1)向上方突出，并且与在接触区域12接触状态的挂钩20的前端部22的侧面22b能够接触。在此，如图3所示，虽然突起部13沿驱动件主体10b的圆周方向弯曲，但是其圆周方向尺寸G2以充分小于槽部11之间的距离的尺寸而设定。即，虽然槽部11的上端在接触区域12内敞开，并且突起部13形成在接触区域12上，但是该接触区域12充分确保有与挂钩20的前端部22的接触面22a接触的面积。

此外，突起部13可以与驱动件主体10b分开形成，并通过未图示的螺钉或者焊接等固定在驱动件主体10b上，也可以与驱动件主体10b一体地形成。

(挂钩的详细结构)

图4是表示实施例1的上定盘的中央部分的俯视图。以下，结合图2和图4，对实施例1的设置在上定盘的挂钩的详细结构进行说明。

挂钩20固定在上定盘3的中心开口3b的周缘部(内周缘)上，并朝向上定盘3的中心O延伸。如图4所示，该挂钩20具有：固定部21，其一端固定在上定盘3的上表面并且前端朝向上定盘3的中心开口3b的内侧突出；前端部22，其形成在固定部21的前端上并朝向下定盘2延长。在此，如图1及图4所示，固定部21以前端部22延长至驱动件主体10b的上表面10c的上方的位置，在俯视时，前端部22相对驱动件主体10b的上表面10c重复。

另外，该挂钩20具有：第1挂钩20A，其前端部22的挂钩宽度W1略小于槽部11的槽宽度G1，并且插入在槽部11上时前端部22的侧面22b接触槽部11的内侧面11a；第2挂钩20B，其前端部22的挂钩宽度W2足够小于槽部11的槽宽度G1，并且插入在槽部11上时前端部22的侧面22b与槽部11的内侧面11a不接触。此外，“挂钩宽度”是上定盘3的圆周方向上的挂钩前端部尺寸。

而且，第1挂钩20A和第2挂钩20B各自分别设定有2个，在此，沿上定盘3的圆周方向上每90°交叉配置。也就是说，如图4所示，4个挂钩20以上定盘3的中心O(轴线L1经过的点)为对称点配置在点对称的位置上，并且配置在第1挂钩20A之间相对，第2挂钩20B之间相对的位置上。

下面，对实施例1的两面研磨装置的作用分为“修整时的上定盘支持作用”和“工件研磨时的上定盘的支持作用”进行说明。

(修整时的上定盘支持作用)

图5及图6表示使用实施例1的两面研磨装置对上定盘进行修整时的主要部分。以下，结合图5和图6，对实施例1的两面研磨装置中的修整时的上定盘支持作用进行说明。

实施例1的两面研磨装置1中，研磨工件时，降下上定盘3，并对载置在下定盘2上的工件WR使用上定盘3和下定盘2进行夹持。

在此，即使在工件WR或保持工件WR的游星轮板CA的厚度上产生差异，为了平衡作用于工件WR的推压力，或，为了使上定盘3追从于伴随下定盘2的旋转而下定盘2的微小上下振动(振)，上定盘3由对位轴承9b吊挂支持在升降用致动器9上，从而能够容许相对水平方向上的偏转角。

另一方面，下定盘2及上定盘3上各自安装有研磨垫2a、3a，工件WR通过下定盘2、上定盘3及游星轮板CA的旋转、以及研磨垫2a、3a或未图示的供应机构供应的浆料进行研磨。但是，当长时间使用两面研磨装置1时，浆料或碎片等进入研磨垫2a、3a，造成研磨垫2a、3a的堵塞或研磨垫2a、3a的表面变形。因此，由于研磨速率的显著降低而实施研磨垫2a、3a的修整。

在此，研磨垫2a、3a的修整，例如，在下定盘2和上定盘3之间插入修整部件，并分别旋转下定盘2及上定盘3的同时进一步将该修整部件朝向研磨垫2a、3a的研磨面按压，并在下定盘2和上定盘3的外周部与内周部之间往返移动的方式进行。

此时，由于需要将修整部件插入在下定盘2和上定盘3之间，所以上定盘3相对下定盘2以留有间隙的状态被保持。但是，如上所述，由于该上定盘3由对位轴承9b吊挂支持，所以将修整部件按压在上定盘3的研磨垫3a上时，上定盘3的倾斜度发生变化而使修正部件针对上定盘3的研磨垫3a不能够适当地接触。

另一方面，如图5及图6所示，在实施例1的两面研磨装置1中上定盘3通过升降用致动器9下降时，上定盘3上设置的挂钩20的前端部22的接触面22a与形成在驱动件主体10b的上表面10c的接触区域12相接触。据此，上定盘3通过挂钩20由驱动件10的上表面10c支持。

其结果，在修整上定盘3时，即使将修整部件按压在上定盘3的研磨垫3a上，由于挂钩20干涉驱动件10的上表面10c而防止上定盘3的晃动。因此，在修整中能够维持上定盘3的水平状态。

另外，如图5所示，挂钩20的前端部22的接触面22a接触的接触区域12是沿驱动件主体10b的周缘部的区域。另外，虽然槽部11的上端在该接触区域12上敞开并形成有突起部13，但是充分确保有与挂钩20的前端部22的接触面22a所接触的面积。因此，无需严密调整上定盘3与驱动件10的圆周方向的相对旋转角度，使上定盘3下降而挂钩20与形成在驱动件主体10b的上表面10c的接触区域12相接触。据此，能够抑制修整时的作业性的下降。

而且，实施例1中，驱动件主体10b的上表面10c上形成的接触区域12上，形成有沿驱动件10的轴向(轴线L1)向上方突出的突起部13，该突起部13能够与接触区域12接触的挂钩20的前端部22的侧面22b接触。

因此，当驱动件10的驱动轴10a旋转时，如图5所示，突起部13与挂钩20的前端部22的侧面22b接触。据此，驱动件10的旋转力向挂钩20传送而上定盘3旋转。

也就是说，通过该突起部13能够使驱动件10的旋转力向上定盘3传送，使上定盘3旋转，从而能够实施修整。其结果，能够适当地实施修整作业。

另外，该实施例1中，相对于设定的4个挂钩20，而设定有2个突起部13。即，突起部13的数量(2个)比挂钩20的数量(4个)少。因此，如图5所示，并不是所有的挂钩20与突起部13接触，从而产生了与突起部13接触并从驱动件10传送旋转力的挂钩20(图5中的第2挂钩20B)和与突起部13不接触并不传送旋转力的挂钩20(图5中的第1挂钩20A)。

据此，在修整时并没有向所有的挂钩20施加旋转力，而根据上定盘3与驱动件10在圆周方向上的相对旋转的角度，而能够使在每次实施修整时的施加旋转力的挂钩20不同。因此，能够分散作用于各挂钩20的负担。据此，能够抑制挂钩20的破损或不良状态的产生。

特别是，如图5所示，前端部22的挂钩宽度W1略小于槽部11的槽宽度G1，侧面22b与槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A与突起部13不接触，前端部22的挂钩宽度W2足够小于槽部11的槽宽度G1，侧面22b与槽部11的内侧面11a不接触的第2挂钩20B接触突起部13的情况时，如后述那样，驱动件10的旋转力在研磨工件时，仅向第1挂钩20A传递，在修整时，仅向第2挂钩20B传递。

因此，在研磨工件时和修整时，能够使传递旋转力的挂钩20不同，从而能够进一步分散作用于各挂钩20的负担。据此，能够抑制挂钩20的破损或不良状态的产生。

另外，也能够将第1挂钩20A的挂钩宽度W1和第2挂钩20B的挂钩宽度W2设为相同的挂钩宽度。

(研磨工件时的上定盘支持作用)

图7和图8示出了使用实施例1的两面研磨装置对工件进行研磨时的主要部分。以下，结合图7和图8，对实施例1的两面研磨装置中的研磨工件时的上定盘支持作用进行说明。

如上所述，实施例1的两面研磨装置1中，降下上定盘3并在下定盘2上载置上定盘3而对工件WR进行研磨。也就是说，在研磨工件WR时，首先，上定盘3和驱动件10的圆周方向的相对旋转角度构成预定的角度的方式，对上定盘3的旋转方向的角度或者驱动件10的旋转方向的角度进行调整。另外，该“预定的角度”是设定在上定盘3的挂钩20与形成在驱动件10的槽部11在上下方向上相对的角度。

而且，上定盘3和驱动件10的圆周方向的相对旋转角度构成预定的角度，当挂钩20和槽部11在上下方向上相对时，杆9c从升降用致动器9突出，而降下上定盘3。而且，如图7和图8所示，由于伴随上定盘3的降下使4个挂钩20各自插入在4个槽部11，所以挂钩20不被驱动件主体10b干涉，并能够将上定盘3载置在下定盘2上。

而且，通过这样将挂钩20插入在槽部11内，当驱动件10的驱动轴10a进行旋转时，如图7所示，槽部11的内侧面11a与第1挂钩20A的侧面22b接触。据此，驱动件10的旋转力被传送至第1挂钩20A而上定盘3旋转。

也就是说，通过该槽部11能够使驱动件10的旋转力传送至上定盘3，使上定盘3旋转，从而能够进行工件WR的研磨。其结果是，能够适当地实施工件研磨作业。

另外，从图7可以看出，该实施例1中，挂钩20当中，前端部22的挂钩宽度W1略小于槽部11的槽宽度G1的第1挂钩20A的侧面22b接触槽部11的内侧面11a，前端部22的挂钩宽度W2足够小于槽部11的槽宽度G1的第2挂钩20B的侧面22b与槽部11的内侧面11a不接触。因此，从驱动件10的旋转力仅朝向第1挂钩20A传递，旋转力并不作用于第2挂钩20B。研磨工件时，虽然需要将4个挂钩20各自插入在槽部11，但是，就第2挂钩20B而言，能够缓解与槽部11之间的所要求的尺寸精度，从而能够使4个挂钩20容易地插入在槽部11中。

此外，如上所述，研磨工件时与槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A在修整时至少在接触区域12上与前端部22的接触面22a接触，并能够支持上定盘3。也就是说，该第1挂钩20A是研磨工件时的传送旋转力和修整时的支持上定盘的兼用并实施的挂钩。

而且，在实施例1中，4个挂钩20和4个槽部11各自沿圆周方向以90°间隔形成，并且全都配置在以上定盘3的中心O(轴线L1经过的点)为对称点的点对称位置。

因此，在修整时将上定盘3能够通过4个挂钩20均衡地支持，并且不管在修整中朝向上定盘3的力的作用方向如何，能够抑制上定盘3的摆动并维持水平状态。另一方面，在研磨工件时能够将各挂钩20插入在槽部11中，并且驱动件10不阻碍上定盘3的降下，而能够适当地实施工件的研磨作业。

接下来，对效果进行说明。

在实施例1的两面研磨装置1中能够得到以下列举的效果。

(1)利用下定盘2和上定盘3研磨工件WR两面的两面研磨装置1的构成为如下，具备：

驱动件10，其穿插上述下定盘2，并围绕轴旋转；

支持机构(升降用致动器9，对位轴承9b)，其将上定盘3能够摇摆且能够旋转地吊挂支持；

挂钩20，其从上述上定盘3的中心开口3b的周缘朝向中心O延伸；

槽部11，其形成在上述驱动件10的圆周表面并朝向上述驱动件10的轴向延伸，并在上述上定盘3与上述驱动件10的圆周方向的相对旋转角度是预定角度的时候能够插入上述挂钩20；

接触区域12，其形成在上述驱动件10的上表面10c；

突起部13，其设置在上述接触区域12上，并且在上述挂钩20与上述接触区域12接触的状态下与上述挂钩20接触。

据此，能够抑制修整上定盘3时的作业性的下降的同时，维持上定盘3在修整中的水平状态。

(2)在上述驱动件10的圆周表面形成有多个(4个)上述槽部11，

上述挂钩20的构成为如下，具有：在插入上述槽部11时，与该槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A；在插入上述槽部11时，不与该槽部11的内侧面11a接触的第2挂钩20B。

据此，除了(1)的效果，通过缓解第2挂钩20B与槽部11之间的所要求的尺寸精度，能够使多个挂钩20容易地插入在槽部11中。

(3)上述挂钩20及上述槽部11是都以上定盘3的中心O(轴线L1经过的点)为对称点的点对称位置上被设置多个的构成。

据此，除了(1)或者(2)的效果，能够在修整时朝向圆周方向均衡的支持上定盘3。

(4)上述突起部13的数量(2个)设为比上述挂钩20的数量(4个)少的构成。

据此，除了(1)至(3)的效果，能够使每次实施修整时的传送旋转力的挂钩20不同，并分散作用于各挂钩20的负担，而能够抑制挂钩20的破损或不良状态的产生。

以上，虽然结合实施例1对本发明的两面研磨装置进行了说明，但是，具体的结构，并不限于该实施例，只要不脱离本发明的精神和附属权利要求保护范围的情况下，允许设计的变更、补充等情况。

在实施例1中示出了在驱动件主体10b形成有4个槽部11和2个突起部13，在上定盘3设置有4个挂钩20的例子。但是，槽部、突起部、挂钩的数量并不限于此，各自设定1个以上即可。也就是说，例如，如图9所示，驱动件主体10b形成有3个槽部11和3个突起部13，在上定盘3设置有3个挂钩20也可。

即使在此情况时，如图10A和图10B所示，在修整时3个挂钩20各自与形成在驱动件主体10b的上表面10c的接触区域12相接触，并能够在圆周方向均衡的支持上定盘3。

另外，此时，3个挂钩20的前端部22的挂钩宽度设定为全都略小于槽宽度G1并相同的尺寸。因此，如图11A和图11B所示，在研磨工件时挂钩20插入槽部11的时候，所有的挂钩20的侧面22b与槽部11的内侧面11a接触。另一方面，由于突起部13的数量(3个)与挂钩20的数量(3个)相同，所以在修整时全部的挂钩20与突起部13接触。

因此，在修整时或研磨工件时的任何情况时，从驱动件10施加的旋转力能够通过所有的挂钩20来接受，从而分散旋转力并施加。据此，作用于挂钩20的旋转力不会集中，并能够防止挂钩20的破损等的发生。

在实施例1中，虽然挂钩20构成为如下，即具有在研磨工件时与槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A和在研磨工件时与槽部11的内侧面11a不接触的第2挂钩20B，但是并不限于此。例如，也可以将多个(4个)挂钩20的挂钩宽度全都设为相同的尺寸。

在此情况下，研磨工件时从驱动件10施加的旋转力能够通过所有的挂钩20来接受，从而分散旋转力而施加。据此，作用于挂钩20的力不会集中，并能够防止挂钩20的破损等的发生。

在实施例1中，第1挂钩20A的挂钩宽度W1设为略小于槽部11的槽宽度G1，第2挂钩20B的挂钩宽度W2设为足够小于槽部11的槽宽度G1，因此形成了侧面22b与槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A和侧面22b与槽部11的内侧面11a不接触的第2挂钩20B，但是并不限于此。例如，也可以将多个挂钩20的挂钩宽度设定为相同的尺寸，并适宜地变更槽部11的槽宽度，从而形成侧面22b与槽部11的内侧面11a接触的第1挂钩20A和侧面22b与槽部11的内侧面11a不接触的第2挂钩20B。

在实施例1中，虽然示出了在驱动件主体10b的圆周表面上形成的槽部11朝向驱动件主体10b的径向方向及上下方向敞开的例子，但是并不限于此。该槽部11只少向上方敞开并能够插入挂钩20，并且在下定盘2上载置上定盘3为止具有能够降下上定盘3的槽长度即可，所以下方未敞开也可。

在实施例1中，虽然示出了将接触区域12设为沿驱动件主体10b的周缘部的区域的例子，但是并不限于此。该接触区域12只少形成在驱动件主体10b的上表面10c，并与挂钩20的前端部22的接触面22a接触即可。也就是说，例如挂钩20的固定部21长的情况时，也可以在驱动件主体10b的中心部分设定接触区域。

在实施例1中，虽然示出了从接触区域12朝向上定盘3突出的突起部13与挂钩20的前端部22的侧面22b接触的例子，但是并不限于此。例如，如图12所示，挂钩20的前端部22上形成有向下方敞开的凹部23。而且，挂钩20与接触区域12接触时，在该凹部23上嵌入突起部13而使挂钩20接触突起部13也可。

在实施例1中，虽然驱动件主体10b的上表面10c以平担的表面形成，但是不限于此。例如，如图13所示的驱动件10那样，驱动件主体10b的上表面10c上形成沿周缘并下降一段的段差表面10d，在该段差表面10d上形成接触区域12和突起部13，并且将槽部11的上端敞开也可。

进一步，在上定盘设置的挂钩具有驱动用挂钩和到驱动件主体的轴向距离比该驱动用挂钩长的接触用挂钩，并在驱动件主体上形成的槽部具有驱动用槽和收缩用槽也可。

在此情况下，在修整时，接触用挂钩与形成在驱动件主体的上表面的接触区域相接触，并且上定盘通过驱动件主体的上表面被支持。另一方面，驱动用挂钩插入驱动用槽，并通过该驱动用挂钩与驱动用槽之间的干涉而驱动件主体的旋转驱动力传送到上定盘。

在研磨工件时，驱动用挂钩与修整时相同地插入在驱动用槽中，并通过该驱动用挂钩和驱动用槽之间的干涉而驱动件主体的旋转驱动力传送到上定盘。此时，接触用挂钩插入在收缩用槽。据此，上定盘的下降变为可能，并将上定盘载置在下定盘并能够实施工件的研磨。

(符号的说明)

1 两面研磨装置

2 下定盘

2a 研磨垫

2b 中心开口

3 上定盘

3a 研磨垫

3b 中心开口

9 升降用致动器

9b 对位轴承

10 驱动件

10a 驱动轴

10b 驱动件主体

10c 上表面

11 槽部

11a 内侧面

12 接触区域

13 突起部20挂钩20A第1挂钩20B第2挂钩21固定部22前端部

Claims (3)

1.一种两面研磨装置，利用上定盘和下定盘研磨工件两面的两面研磨装置，该两面研磨装置的特征在于：

具备：

驱动件，其具有穿插所述下定盘的中心开口并沿轴线配设的驱动轴以及形成在所述驱动轴的前端、能够插入到所述上定盘的中心开口的驱动件主体，并且所述驱动件围绕所述轴线旋转；

支持机构，其将所述上定盘能够摆动且能够围绕所述轴线旋转地吊挂支持，使所述上定盘升降；

挂钩，其从所述上定盘的中心开口的周缘部朝向所述上定盘的中心延伸；

槽部，其形成在所述驱动件主体的圆周表面并朝向所述驱动件的轴向延伸，且向所述驱动件主体的至少上方敞开；

接触区域，其形成在所述驱动件主体的面向所述上定盘的上表面，所述槽部的上端在所述接触区域内敞开；以及

突起部，其从所述接触区域朝向上方突出，

在利用所述支持机构降下所述上定盘时，所述挂钩在相对于所述槽部在上下方向不面对时与所述接触区域接触，并且伴随着所述驱动轴的旋转，与所述突起部接触而从所述驱动件被传送旋转力，所述挂钩在相对于所述槽部在上下方向面对时插入到所述槽部，并且伴随着所述驱动轴的旋转，与所述槽部的内侧面接触而从所述驱动件被传送所述旋转力，

所述驱动件的圆周表面形成有多个所述槽部，

所述挂钩具有：在插入所述槽部时，与该槽部的内侧面接触的第1挂钩；以及在插入所述槽部时，与该槽部的内侧面不接触的第2挂钩，所述第1挂钩的挂钩宽度大于所述第2挂钩的挂钩宽度。

2.根据权利要求1所述的两面研磨装置，其特征在于：

所述挂钩和所述槽部都在以所述上定盘的中心为对称点的点对称位置上被设置多个。

3.根据权利要求1或2所述的两面研磨装置，其特征在于：

所述突起部的数量少于所述挂钩的数量。

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