TWI728241B - 雙面研磨裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種雙面研磨裝置，其能夠抑制修整上定盤時的作業性降低，並且在修整過程中能夠將上定盤維持在水平。藉由下定盤（2）與上定盤（3）研磨工件雙面之雙面研磨裝置（1）具有如下構成，其包括：驅動件（10），貫穿上述下定盤（2），並圍繞軸旋轉；支撐機構（升降用致動器9，對位軸承9b），能夠擺動且能夠旋轉地吊掛支撐上述上定盤（3）；掛鉤（20），設置於上述上定盤（3）之中心開口（3b）之周緣；槽部（11），形成於上述驅動件（10）之圓周表面並且在上述上定盤（3）與上述驅動件（10）之圓周方向之相對旋轉角度為既定角度時能夠插入上述掛鉤（20）；接觸區域（12），形成於上述驅動件（10）之上表面（10c）；突起部（13），設置於上述接觸區域（12）並與上述掛鉤（20）接觸。

Description

雙面研磨裝置

本發明係有關一種對設置於上定盤與下定盤之間的工件之雙面進行研磨之雙面研磨裝置之發明。

以往，已知的有：藉由萬能接頭及對位軸承將上定盤連接到設置於裝置上部之氣缸軸上，並且在中心鼓之外周面上形成沿軸向形成之第一槽以及長度不同於第一槽之第二槽，使設置於上定盤之掛鉤與第一槽或第二槽卡合，以便將中心鼓之旋轉力傳遞到上定盤之雙面研磨裝置（例如，參照專利文獻1）。

[現有技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1：日本特開第2017-1151號公報

[發明要解決之課題] 在習知的雙面研磨裝置中，在研磨工件時為了使上定盤下降到工件研磨位置，將形成於上定盤之掛鉤插入到第一槽中。另一方面，在清洗或修整（dressing）（以下，簡稱為「修整」）貼在上定盤之研磨墊時，將掛鉤插入到第二槽中。再者 ，掛鉤由從下方支撐形成於該第二槽之掛鉤之支撐面來支撐，使上定盤停在工件研磨位置之上方位置，從而維持修整期間之上定盤之水平狀態。

但是，該以往的雙面研磨裝置中，無論研磨工件時與修整研磨面時的哪一個，都需要將掛鉤插入槽中。也就是說，即使在修整上定盤時，亦需要調整上定盤與中心鼓之相對旋轉角度，以便掛鉤能夠插入所需之槽中，從而產生修整時之作業性降低之問題。

進一步，以往的雙面研磨裝置中，雖然形成有一對第二槽，但是由於機械加工精度的問題導致該一對第二槽之槽深度產生差異的情況下，會有上定盤在修整時傾斜的顧慮。

本發明著眼於上述問題而做出，因此，本發明之目的在於提供一種雙面研磨裝置，能夠抑制修整上定盤時之作業性降低，並且在修整過程中能夠將上定盤維持在水平。

為了實現上述目的，本發明提供一種利用下定盤與上定盤研磨工件之雙面之雙面研磨裝置，其包括：驅動件、支撐機構、掛鉤、槽部、接觸區域、及突起部。

上述驅動件貫穿下定盤，並且能夠圍繞軸旋轉。

上述支撐機構能夠擺動且能夠旋轉地吊掛支撐上定盤。

上述掛鉤從上定盤之內周緣朝著中心方向延伸。

上述槽部形成於驅動件之圓周表面並且朝著驅動件之軸向延伸，當上定盤與驅動件之圓周方向之相對旋轉角度為既定角度時，能夠插入掛鉤。

上述接觸區域形成於驅動件之上表面。

上述突起部設置於接觸區域，並且在掛鉤接觸到接觸區域之狀態下與掛鉤接觸。

[發明效果]其結果，能夠抑制修整上定盤之研磨面時的作業性降低，並且在修整過程中能夠將上定盤維持在水平。

[實施形態]以下，基於附圖所示的實施例1對本發明之雙面研磨裝置之實施形態進行說明。

（實施例1）

首先，對結構進行說明。

實施例1之雙面研磨裝置1係對半導體晶片、水晶晶片、藍寶石晶片、玻璃晶片或者陶瓷晶片等薄板狀之工件WR之正反兩面進行研磨加工之裝置。以下，將實施例1之雙面研磨裝置1之結構分為「整體結構」、「驅動件之詳細結構」、「掛鉤之詳細結構」來進行說明。

[整體結構]

圖1係表示實施例1之雙面研磨裝置之整體結構之概略示意截面圖。以下，基於圖1對實施例1之雙面研磨裝置之整體結構進行說明。

如圖1所示，實施例1之雙面研磨裝置1具有以軸線L1為中心同心設置之下定盤2、上定盤3、設置於下定盤2中央之太陽齒輪4、及以包圍下定盤2之外周之方式佈置的內齒輪5。

太陽齒輪4、下定盤2、內齒輪5分別藉由驅動軸6、7、8連接到圖未示之驅動源，並被旋轉驅動。

另一方面，上定盤3藉由安裝於上定盤3之上表面之定盤吊架9a被吊掛支撐於升降用致動器9之桿9c上。在此，桿9c之前端部插裝球面軸承等對位軸承9b。因此，上定盤3藉由升降用致動器9能夠擺動且能夠旋轉地被吊掛支撐。也就是說，藉由升降用致動器9及對位軸承9b構成吊掛支撐上定盤3之支撐機構。

另外，在上定盤3之下方設有貫穿下定盤2之驅動件10。該驅動件10具有沿軸線L1延伸之驅動軸10a、及形成於驅動軸10a之前端之驅動件主體10b。

再者 ，在該驅動件10中，驅動軸10a連接到圖未示之驅動源，並且可以圍繞軸線L1旋轉。進一步，在驅動件主體10b之圓周表面上形成有多個（在此是4個）槽部11。另一方面，在上定盤3之中心開口3b之周緣（內周緣）安裝有多個（在此為4個）朝向上定盤3之中心O延伸之掛鉤20。

再者 ，在研磨工件WR時，桿9c從升降用致動器9突出，並且在上定盤3下降的同時，掛鉤20逐個分別插入到各槽部11。於是，槽部11與掛鉤20在圓周方向上進行干涉，從而驅動件10之旋轉力被傳遞到上定盤3，該上定盤3旋轉驅動。

在下定盤2及上定盤3彼此相對之面上各自黏貼有研磨墊2a、3a。

再者，在該雙面研磨裝置1中，在下定盤2與上定盤3之間設置由遊星輪板CA保持之工件WR。在此，如圖1所示，遊星輪板CA與太陽齒輪4及內齒輪5嚙合，並藉由該太陽齒輪4及內齒輪5之旋轉而自轉及公轉。於是，藉由該遊星輪板CA之自轉及公轉，由遊星輪板CA保持之工件WR在下定盤2與上定盤3之間移動，從而雙面被研磨。

（驅動件之詳細結構）

圖2係表示實施例1之雙面研磨裝置之主要部分之斜視圖，圖3係表示實施例1之驅動件之俯視圖。以下，基於圖2及圖3，對實施例1之驅動件之詳細結構進行說明。

如上所述，驅動件10藉由圖未示之驅動源來旋轉驅動，並且將旋轉力傳遞到上定盤3，使得該上定盤3旋轉驅動。如圖2所示，該驅動件10具有連接到驅動源並沿著軸線L1配設之驅動軸10a、及形成於驅動軸10a之前端之驅動件主體10b。

驅動軸10a貫穿下定盤2之中心開口2b，將驅動件主體10b支撐在從下定盤2向上方突出之位置（參見圖1）。

驅動件主體10b之圓周表面形成有多個（在此為4個）槽部11，面向上定盤3之上表面10c形成有接觸區域12，該接觸區域12上形成有多個（在此為2個）突起部13。

如圖2所示，槽部11沿軸線L1即驅動件10之軸向延伸，並且在驅動件主體10b之徑向及上下方向上敞開。另外，4個槽部11之各自之槽寬度G1被設定為能夠插入掛鉤20之相同尺寸（參見圖3）。此外，「槽寬度G1」係驅動件主體10b之內側面11a之圓周方向之間隔尺寸。

進一步，在該實施例1中，4個槽部11沿驅動件主體10b之圓周方向間隔90°來形成，並且這些槽部11設置於以上定盤3之中心O（軸線L1經過的點）為對稱點之點對稱位置上。

接觸區域12係掛鉤20之前端部22之接觸面22a能夠接觸之區域，並且具有相比該接觸面22a足夠寬之面積。在此，如圖3所示，接觸區域12是沿著驅動件主體10b之周緣部之區域。另外，該接觸區域12上重複形成有槽部11，並且槽部11之上端在該接觸區域12內敞開。

突起部13從接觸區域12沿著驅動件10之軸向（軸線L1）向上方突出，並且能夠接觸到掛鉤20之前端部22之側面22b，而掛鉤20處於與接觸區域12接觸之狀態。在此，如圖3所示，雖然突起部13沿著驅動件主體10b之圓周方向彎曲，但是其圓周方向尺寸G2被設定為充分小於槽部11之間的間隔尺寸。也就是說，雖然槽部11之上端在接觸區域12內敞開，並且突起部13形成於接觸區域12上，但是該接觸區域12充分確保掛鉤20之前端部22之接觸面22a所接觸之面積。

此外，突起部13可以與驅動件主體10b分開形成，並藉由圖未示之螺釘或者焊接等固定在驅動件主體10b上，也可以與驅動件主體10b一體地形成。

（掛鉤之詳細結構）

圖4係表示實施例1之上定盤之中央部分之俯視圖。以下，基於圖2及圖4，對設置於實施例1之上定盤之掛鉤之詳細結構進行說明。

掛鉤20被固定於上定盤3之中心開口3b之周緣部（內周緣），並朝向上定盤3之中心O延伸。如圖4所示，該掛鉤20具有：固定部21，其一端固定於上定盤3之上表面，並且前端朝著上定盤3之中心開口3b之內側突出；前端部22，其形成於固定部21之前端，並朝著下定盤2延伸。在此，如圖1及圖4所示，固定部21延伸到前端部22位於驅動件主體10b之上表面10c之上方為止，在俯視時，前端部22相對於驅動件主體10b之上表面10c重複。

另外，該掛鉤20具有：第一掛鉤20A，其前端部22之掛鉤寬度W1略小於槽部11之槽寬度G1，並且插入到槽部11時前端部22之側面22b接觸槽部11之內側面11a；及第二掛鉤20B，其前端部22之掛鉤寬度W2足夠小於槽部11之槽寬度G1，並且插入到槽部11時前端部22之側面22b並不接觸槽部11之內側面11a。此外，「掛鉤寬度」係上定盤3之圓周方向上之掛鉤前端部尺寸。

再者，第一掛鉤20A與第二掛鉤20B分別設有2個，在此，沿著上定盤3之圓周方向每隔90°交替佈置。也就是說，如圖4所示，4個掛鉤20設置於以上定盤3之中心O（軸線L1經過的點）為對稱點之點對稱位置上，並且設置於第一掛鉤20A之間相對、第二掛鉤20B之間相對的位置上。

接著，將實施例1之雙面研磨裝置之作用分為「修整時的上定盤支撐作用」和「工件研磨時的上定盤支撐作用」進行說明。

[修整時的上定盤支撐作用]

圖5及圖6表示使用實施例1之雙面研磨裝置修整上定盤時的主要部分。以下，基於圖5及圖6，對實施例1之雙面研磨裝置在修整時的上定盤支撐作用進行說明。

在實施例1之雙面研磨裝置1中，研磨工件時，使上定盤3下降， 用上定盤3與下定盤2夾持載置於下定盤2上之工件WR。

在此，即便工件WR或保持工件WR之遊星輪板CA之厚度發生變化，為了均衡作用於工件WR上之按壓力，另外，為了使上定盤3追蹤伴隨下定盤2之旋轉之下定盤2之微小之上下振動（搖擺），上定盤3藉由對位軸承9b吊掛支撐在升降用致動器9上，從而能夠容許相對於水平方向上的偏轉角。

另一方面，下定盤2及上定盤3上各自黏貼有研磨墊2a、3a，工件WR藉由下定盤2、上定盤3及遊星輪板CA之旋轉、以及研磨墊2a、3a或圖未示之供應機構所供應之漿料進行研磨。但是，當長時間使用雙面研磨裝置1時，漿料或切屑粉等進入研磨墊2a、3a，造成研磨墊2a、3a之堵塞或研磨墊2a、3a之表面變形。因此，由於研磨速率之顯著降低而進行研磨墊2a、3a之修整。

在此，藉由如下方式進行研磨墊2a、3a之修整，例如，在下定盤2與上定盤3之間插入修整部件，並分別旋轉下定盤2及上定盤3的同時進一步將該修整部件向研磨墊2a、3a之研磨面按壓，使其在下定盤2與上定盤3之外周部與內周部之間往返移動。

此時，由於需要將修整部件插入下定盤2與上定盤3之間，所以上定盤3相對於下定盤2以留有間隙的方式被保持。但是，如上所述，由於該上定盤3係藉由對位軸承9b吊掛支撐，所以將修整部件按壓在上定盤3之研磨墊3a上時，上定盤3之傾斜度發生變化，無法使修整部件適當接觸上定盤3之研磨墊3a。

對此，如圖5及圖6所示，在實施例1之雙面研磨裝置1中，當上定盤3藉由升降用致動器9下降時，設置於上定盤3之掛鉤20之前端部22之接觸面22a與形成於驅動件主體10b之上表面10c之接觸區域12相接觸。因此，上定盤3藉由掛鉤20由驅動件10之上表面10c支撐。

其結果，修整上定盤3時，即便將修整部件按壓在上定盤3之研磨墊3a上，由於驅動件10之上表面10c干涉到掛鉤20，從而防止上定盤3之晃動。因此，在修整過程中能夠將上定盤3維持在水平。

另外，如圖5所示，掛鉤20之前端部22之接觸面22a所接觸之接觸區域12係沿驅動件主體10b之周緣部之區域。另外，雖然槽部11之上端在該接觸區域12上敞開並形成有突起部13，但是充分確保了掛鉤20之前端部22之接觸面22a所接觸之面積。因此，無需嚴密調整上定盤3與驅動件10之圓周方向之相對旋轉角度，使上定盤3下降而掛鉤20與形成在驅動件主體10b之上表面10c之接觸區域12相接觸。因此，能夠抑制修整時作業性降低。

再者，在實施例1中，形成於驅動件主體10b之上表面10c之接觸區域12上形成有沿驅動件10之軸向（軸線L1）向上方突出之突起部13，該突起部13能夠與接觸到接觸區域12之掛鉤20之前端部22之側面22b接觸。

因此，當驅動件10之驅動軸10a旋轉時，如圖5所示，突起部13與掛鉤20之前端部22之側面22b接觸。因此，驅動件10之旋轉力被傳遞至掛鉤20，上定盤3旋轉。

也就是說，藉由該突起部13，能夠將驅動件10之旋轉力傳遞至上定盤3，使上定盤3旋轉，從而能夠進行修整。其結果，能夠適當進行修整作業。

另外，在該實施例1中，相對於所設置的4個掛鉤20，設置2個突起部13。也就是說，突起部13之數量（2個）比掛鉤20之數量（4個）少。因此，如圖5所示，並不是所有的掛鉤20與突起部13接觸，從而產生了與突起部13接觸並從驅動件10傳遞旋轉力之掛鉤20（圖5中之第二掛鉤20B）、並不與突起部13接觸並不傳遞旋轉力之掛鉤20（圖5中之第一掛鉤20A）。

因此，在修整時旋轉力並沒有輸入到所有的掛鉤20，根據上定盤3與驅動件10之圓周方向上之相對旋轉角度，可以使每次進行修整時輸入旋轉力之掛鉤20不同。因此，能夠分散作用於各掛鉤20之負擔。因此，能夠抑制掛鉤20之破損或不良狀態之產生。

特別是，如圖5所示，前端部22之掛鉤寬度W1略小於槽部11之槽寬度G1，側面22b與槽部11之內側面11a接觸之第一掛鉤20A並不接觸突起部13，前端部22之掛鉤寬度W2足夠小於槽部11之槽寬度G1，側面22b並不與槽部11之內側面11a接觸之第二掛鉤20B接觸突起部13時，如後所述，在研磨工件時，來自驅動件10之旋轉力只傳遞至第一掛鉤20A，在修整時，只傳遞至第二掛鉤20B。

因此，在研磨工件時以及修整時，傳遞旋轉力之掛鉤20可以不同，從而能夠進一步分散作用於各掛鉤20之負擔。因此，能夠抑制掛鉤20的破損或不良狀態之產生。

另外，亦可以將第一掛鉤20A之掛鉤寬度W1與第二掛鉤20B之掛鉤寬度W2設為相同之掛鉤寬度。

[研磨工件時的上定盤支撐作用]

圖7及圖8示出了使用實施例1之雙面研磨裝置對工件進行研磨時之主要部分。以下，基於圖7及圖8，對實施例1之雙面研磨裝置在研磨工件時的上定盤支撐作用進行說明。

如上所述，在實施例1之雙面研磨裝置1中，降下上定盤3並在下定盤2上載置上定盤3而對工件WR進行研磨。也就是說，在研磨工件WR時，首先，調整上定盤3之旋轉方向之角度或者驅動件10之旋轉方向之角度，以便上定盤3與驅動件10之圓周方向上之相對旋轉角度成既定角度。另外，該「既定角度」係設置於上定盤3之掛鉤20與形成於驅動件10之槽部11在上下方向上相對之角度。

再者，上定盤3與驅動件10之圓周方向上之相對旋轉角度成為既定角度，並且掛鉤20與槽部11在上下方向上相對時，使桿9c從升降用致動器9突出，降下上定盤3。再者，如圖7及圖8所示，由於4個掛鉤20伴隨上定盤3之下降各自插入到4個槽部11，所以掛鉤20不被驅動件主體10b所干涉，可將上定盤3載置於下定盤2之上。

再者，由於掛鉤20像這樣插入到槽部11內，當驅動件10之驅動軸10a旋轉時，如圖7所示，槽部11之內側面11a與第一掛鉤20A之側面22b接觸。因此，驅動件10之旋轉力被傳遞至第一掛鉤20A，上定盤3旋轉。

也就是說，可以藉由該槽部11將驅動件10之旋轉力傳遞至上定盤3，使上定盤3旋轉，從而能夠進行工件WR之研磨。其結果是，能夠適當地進行工件研磨作業。

另外，從圖7可以看出，在該實施例1中，掛鉤20當中，前端部22之掛鉤寬度W1略小於槽部11之槽寬度G1之第一掛鉤20A之側面22b接觸槽部11之內側面11a，前端部22之掛鉤寬度W2足夠小於槽部11之槽寬度G1之第二掛鉤20B之側面22b並不接觸槽部11之內側面11a。因此，來自驅動件10之旋轉力只傳遞至第一掛鉤20A，旋轉力並不作用於第二掛鉤20B。研磨工件時，雖然需要將4個掛鉤20各自插入到4個槽部11，但是，就第二掛鉤20B而言，能夠緩解槽部11之間所要求之尺寸精度，從而可以使4個掛鉤20很容易插入到槽部11中。

此外，如上所述，研磨工件時與槽部11之內側面11a接觸之第一掛鉤20A，在修整時至少前端部22之接觸面22a接觸到接觸區域12，並能夠支撐上定盤3。也就是說，該第一掛鉤20A係兼而發揮如下作用之掛鉤，在研磨工件時傳遞旋轉力以及在修整時支撐上定盤。

再者，在實施例1中，4個掛鉤20與4個槽部11各自沿著圓周方向以90°間隔來形成，兩者全都設置於以上定盤3之中心O（軸線L1經過之點）為對稱點之點對稱位置上。

因此，在修整時，能夠藉由4個掛鉤20均衡地支撐上定盤3，並且不管在修整過程中施加到上定盤3之力之作用方向如何，可以抑制上定盤3之擺動並保持水平狀態。另一方面，在研磨工件時，能夠將各掛鉤20各自插入到槽部11內，驅動件10並不阻礙上定盤3之下降，能夠適當進行工件WR之研磨作業。

接下來，對效果進行說明。

在實施例1的雙面研磨裝置1中，能夠得到以下列舉的效果。

（1）利用下定盤2與上定盤3研磨工件WR雙面之雙面研磨裝置1構成為如下，包括： 驅動件10，貫穿上述下定盤2，並圍繞軸旋轉； 支撐機構（升降用致動器9，對位軸承9b），能夠擺動且能夠旋轉地吊掛支撐上述上定盤3； 掛鉤20，從上述上定盤3之中心開口3b之周緣朝向中心O延伸； 槽部11，形成於上述驅動件10之圓周表面並且朝著上述驅動件10之軸向延伸，當上述上定盤3與上述驅動件10之圓周方向之相對旋轉角度為既定角度時，能夠插入上述掛鉤20； 接觸區域12，形成於上述驅動件10之上表面10c； 突起部13，設置於上述接觸區域12，在上述掛鉤20接觸到上述接觸區域12之狀態下與上述掛鉤20接觸。

因此，能夠抑制修整上定盤3時的作業性降低，並且在修整過程中能夠將上定盤3維持在水平。

（2）在上述驅動件10之圓周表面上形成有多個（4個）上述槽部11， 上述掛鉤20構成為如下，具有：插入到上述槽部11時接觸該槽部11之內側面11a之第一掛鉤20A；及插入到上述槽部11時並不接觸該槽部11之內側面11a之第二掛鉤20B。

因此，除了（1）的效果，還可以放寬第二掛鉤20B與槽部11之間所要求之尺寸精度，從而能夠使多個掛鉤20很容易地插入到槽部11中。

（3）構成為如下，上述掛鉤20及上述槽部11都在以上述上定盤3之中心O（軸線L1經過的點）為對稱點之點對稱位置上被設置多個。

因此，除了（1）或者（2）的效果，在修整時還可以在圓周方向均衡地支撐上定盤3。

（4）構成為如下，上述突起部13之數量（2個）少於上述掛鉤20之數量（4個）。

因此，除了（1）～（3）之任何一個效果，每次進行修整時，還可以使被傳遞旋轉力之掛鉤20不同，並分散作用於各掛鉤20之負擔，從而能夠抑制掛鉤20之破損或不良狀態之產生。

以上，雖然基於實施例1對本發明之雙面研磨裝置進行了說明，但是，關於具體的結構，並不限於該實施例，只要不脫離申請專利範圍之各權利項之發明主旨，就允許設計之變更、補充等。

在實施例1中，示出了驅動件主體10b形成有4個槽部11、2個突起部13，上定盤3上設有4個掛鉤20之例子。但是，槽部、突起部、掛鉤之數量並不限於此，各自設定1個以上即可。也就是說，例如，如圖9所示，驅動件主體10b形成有3個槽部11與3個突起部13，且上定盤3上設有3個掛鉤20也可以。

即使在這種情況下，如圖10A及圖10B所示，在修整時3個掛鉤20各自接觸形成於驅動件主體10b之上表面10c之接觸區域12，並能夠在圓周方向上均衡地支撐上定盤3。

另外，此時，3個掛鉤20之前端部22之掛鉤寬度全都設定為略小於槽寬度G1之相同尺寸。因此，如圖11A及圖11B所示，在研磨工件時將掛鉤20插入到槽部11時，所有掛鉤20之側面22b將接觸槽部11之內側面11a。另一方面，由於突起部13之數量（3個）與掛鉤20之數量（3個）相同，所以在修整時所有掛鉤20接觸突起部13。

因此，無論修整時及研磨工件時之哪一種情況，可以藉由所有掛鉤20來接受從驅動件10輸入之旋轉力，從而分散輸入旋轉力。因此，作用於掛鉤20之旋轉力不會集中，可以防止發生掛鉤20之破損等。

在實施例1中，雖然掛鉤20構成為如下，即具有在研磨工件時接觸槽部11之內側面11a之第一掛鉤20A、及在研磨工件時不接觸槽部11之內側面11a之第二掛鉤20B，但是並不限於此。例如，多個（4個）掛鉤20之掛鉤寬度亦可以是全都相同的尺寸。

在這種情況下，研磨工件時從驅動件10輸入之旋轉力可以藉由所有掛鉤20來接受，從而分散輸入旋轉力。因此，作用於掛鉤20之力不會集中，可以防止發生掛鉤20之破損等。

在實施例1中，將第一掛鉤20A之掛鉤寬度W1設為略小於槽部11之槽寬度G1，將第二掛鉤20B之掛鉤寬度W2設為足夠小於槽部11之槽寬度G1，因此形成了側面22b接觸槽部11之內側面11a之第一掛鉤20A與側面22b並不接觸槽部11之內側面11a之第二掛鉤20B，但是並不限於此。例如，亦可以將多個掛鉤20之掛鉤寬度設定為全部相同之尺寸，並適宜地變更槽部11之槽寬度，從而形成側面22b接觸槽部11之內側面11a之第一掛鉤20A與側面22b並不接觸槽部11之內側面11a之第二掛鉤20B。

在實施例1中，雖然示出了形成於驅動件主體10b之圓周表面之槽部11向驅動件主體10b之徑向及上下方向敞開的例子，但是並不限於此。該槽部11至少向上方敞開以便能夠插入掛鉤20，並且所具有的槽長度能夠使上定盤3下降至下定盤2上載置上定盤3為止即可，下方無需敞開。

在實施例1中，雖然示出了將接觸區域12設定為沿驅動件主體10b之周緣部之區域之例子，但是並不限於此。只要該接觸區域12至少形成於驅動件主體10b之上表面10c且掛鉤20之前端部22之接觸面22a能夠接觸就可以。也就是說，例如，當掛鉤20之固定部21較長時，亦可以在驅動件主體10b之中心部分設置接觸區域。

在實施例1中，雖然示出了從接觸區域12向上定盤3突出之突起部13與掛鉤20之前端部22之側面22b接觸之例子，但是並不限於此。例如，如圖12所示，在掛鉤20之前端部22形成向下敞開之凹部23。於是，當掛鉤20與接觸區域12接觸時，亦可以將突起部13嵌入該凹部23，從而使掛鉤20接觸突起部13。

在實施例1中，雖然驅動件主體10b之上表面10c形成為平坦表面，但是並不限於此。例如，如圖13所示之驅動件10那樣，亦可以在驅動件主體10b之上表面10c形成沿周緣下降一段之段差表面10d，在該段差表面10d上形成接觸區域12及突起部13，並且將槽部11之上端敞開。

進一步，亦可以是設置於上定盤之掛鉤具有驅動用掛鉤、到驅動件主體之軸向距離比該驅動用掛鉤長之接觸用掛鉤，形成於驅動件主體之槽部具有驅動用槽與收縮用槽。

這種情況下，在修整時，接觸用掛鉤與形成於驅動件主體之上表面之接觸區域相接觸，上定盤藉由驅動件主體之上表面支撐。另一方面，驅動用掛鉤插入到驅動用槽，並藉由該驅動用掛鉤與驅動用槽之間的干涉，驅動件主體之旋轉驅動力傳遞至上定盤。

在研磨工件時，與修整時相同，驅動用掛鉤插入到驅動用槽，並藉由該驅動用掛鉤與驅動用槽之間的干涉，驅動件主體的之旋轉驅動力傳遞至上定盤。此時，接觸用掛鉤插入到收縮用槽中。因此，上定盤之下降變為可能，將上定盤載置於下定盤並能夠實施工件之研磨。

1‧‧‧雙面研磨裝置2‧‧‧下定盤2a‧‧‧研磨墊2b‧‧‧中心開口3‧‧‧上定盤3a‧‧‧研磨墊3b‧‧‧中心開口4‧‧‧太陽齒輪5‧‧‧內齒輪6‧‧‧驅動軸7‧‧‧驅動軸8‧‧‧驅動軸9‧‧‧升降用致動器（支撐機構）9a‧‧‧定盤吊架9b‧‧‧對位軸承（支撐機構）9c‧‧‧桿10‧‧‧驅動件10a‧‧‧驅動軸10b‧‧‧驅動件主體10c‧‧‧上表面10d‧‧‧段差表面11‧‧‧槽部11a‧‧‧內側面12‧‧‧接觸區域13‧‧‧突起部20‧‧‧掛鉤20A‧‧‧第一掛鉤20B‧‧‧第二掛鉤21‧‧‧固定部22‧‧‧前端部22a‧‧‧接觸面22b‧‧‧（掛鉤前端部之）側面23‧‧‧凹部CA‧‧‧遊星輪板CAG1‧‧‧槽部之槽寬度G2‧‧‧突起部之圓周方向尺寸L1‧‧‧軸線O‧‧‧上定盤之中心WR‧‧‧工件W1‧‧‧第一掛鉤前端部之掛鉤寬度W2‧‧‧第二掛鉤前端部之掛鉤寬度

圖1係表示實施例1之雙面研磨裝置之整體結構之概略示意截面圖； 圖2係表示實施例1之雙面研磨裝置之主要部分之斜視圖； 圖3係表示實施例1之雙面研磨裝置之驅動件之俯視圖； 圖4係表示實施例1之雙面研磨裝置之上定盤之主要部分之俯視圖； 圖5係實施例1之雙面研磨裝置在修整時之俯視圖； 圖6係圖5之A-A截面圖； 圖7係實施例1之雙面研磨裝置在研磨工件時之俯視圖； 圖8係圖7之B-B截面圖； 圖9係表示其他例之雙面研磨裝置之主要部分之斜視圖； 圖10A係其他例之雙面研磨裝置在修整時之俯視圖； 圖10B係圖10A之C-C截面圖； 圖11A係其他例之雙面研磨裝置在研磨工件時之俯視圖； 圖11B係圖11A之D-D截面圖； 圖12係表示掛鉤及突起部之變形例之說明圖；以及 圖13係表示驅動件之變形例之說明圖。

2‧‧‧下定盤

2b‧‧‧中心開口

3‧‧‧上定盤

3b‧‧‧中心開口

10‧‧‧驅動件

10a‧‧‧驅動軸

10b‧‧‧驅動件主體

10c‧‧‧上表面

11‧‧‧槽部

12‧‧‧接觸區域

13‧‧‧突起部

20‧‧‧掛鉤

21‧‧‧固定部

22‧‧‧前端部

22b‧‧‧側面

O‧‧‧上定盤之中心

L1‧‧‧軸線

Claims (5)

1. 一種雙面研磨裝置，係利用下定盤與上定盤研磨工件之雙面，上述雙面研磨裝置包括：驅動件，圍繞軸線旋轉且包含：驅動軸，貫穿上述下定盤之中心開口，沿著上述軸線被配置；以及驅動件主體，形成於上述驅動軸之前端並能夠插入上述上定盤之中心開口；支撐機構，能夠擺動且圍繞上述軸線旋轉地吊掛支撐上述上定盤並升降上述上定盤；掛鉤，從上述上定盤之中心開口的周緣部朝向上述上定盤之中心延伸；槽部，形成於上述驅動件主體之圓周表面並朝著上述驅動件之軸向延伸，並且在上述驅動件主體的至少上方敞開；接觸區域，形成於上述驅動件主體之面向上述上定盤的上表面，並且上述槽部之上端在上述接觸區域內敞開；以及突起部，從上述接觸區域向上方突出，當上述上定盤被上述支撐機構降下時，當上述掛勾相對於上述槽部的上下方向為不相對時，上述掛鉤接觸上述接觸區域，且上述掛勾隨著上述驅動軸之旋轉與上述突起部接觸，而上述驅動件之旋轉驅動力被傳遞至上述掛勾，當上述掛勾相對於上述槽部的上下方向為相對時，上述掛勾插入上述槽部內，且隨著上述驅動軸之旋轉，上述掛勾與上述槽部的內側面接觸，而上述驅動件之旋轉驅動力被傳遞至上述掛勾。
2. 如申請專利範圍第1項所述之雙面研磨裝置，其中， 上述槽部在上述驅動件之圓周表面形成有多個，上述掛鉤具有：插入到上述槽部時，接觸該槽部之內側面之第一掛鉤；及插入到上述槽部時，並不接觸該槽部之內側面之第二掛鉤。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之雙面研磨裝置，其中，上述掛鉤及上述槽部都在以上述上定盤之中心為對稱點之點對稱位置上設有多個。
4. 如申請專利範圍第1或2項所述之雙面研磨裝置，其中，上述突起部之數量少於上述掛鉤之數量。
5. 如申請專利範圍第3項所述之雙面研磨裝置，其中，上述突起部之數量少於上述掛鉤之數量。

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