JP2010052064A - 両面ラップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】定盤の修正作業性を向上させることが可能な両面ラップ装置を提供する。
【解決手段】この両面ラップ装置1は、中心軸部材6のギヤ部6aと、このギヤ部6aと同心の円筒部材7のギヤ部7aと、それらのギヤ部6a,7a間に設けられる下定盤4と、この下定盤4の上に載せられるとともに両ギヤ部6a,7aに噛合し、かつワーク12を保持するワーク保持部材11と、下定盤4に対向する上定盤3とを備えており、上下定盤3,4にワーク12を接触させ、ギヤ部6aとギヤ部7aとの相対回転でワーク保持部材11を転動させることで、ワーク12の両面を上下定盤3,4でラップするものである。そして、両面ラップ装置1は、ワーク保持部材11と同一外形状で、少なくとも一方面に砥石23を有し、定盤3,4の修正作業時に、ワーク保持部材11に代えて下定盤4の上に載せられる修正リング20をさらに備えている。
【選択図】図11
【解決手段】この両面ラップ装置1は、中心軸部材6のギヤ部6aと、このギヤ部6aと同心の円筒部材7のギヤ部7aと、それらのギヤ部6a,7a間に設けられる下定盤4と、この下定盤4の上に載せられるとともに両ギヤ部6a,7aに噛合し、かつワーク12を保持するワーク保持部材11と、下定盤4に対向する上定盤3とを備えており、上下定盤3,4にワーク12を接触させ、ギヤ部6aとギヤ部7aとの相対回転でワーク保持部材11を転動させることで、ワーク12の両面を上下定盤3,4でラップするものである。そして、両面ラップ装置1は、ワーク保持部材11と同一外形状で、少なくとも一方面に砥石23を有し、定盤3,4の修正作業時に、ワーク保持部材11に代えて下定盤4の上に載せられる修正リング20をさらに備えている。
【選択図】図11
Description
本発明は、両面ラップ装置に関する。
従来から、ワークの両面を同時にラップ(研磨)することが可能な両面ラップ装置が知られている(特許文献1)。
このような両面ラップ装置として、例えば、中心の外歯ギヤと、この外歯ギヤと同心の内歯ギヤと、それらのギヤ間に設けられる下定盤と、この下定盤の上に載せられるとともに両ギヤに噛合し、かつワークを保持する転動ギヤと、下定盤に対向する上定盤とを備え、上下定盤にワークを接触させ、外歯ギヤと内歯ギヤとの相対回転で転動ギヤを転動させることで、ワークの両面を上下定盤で研磨するように構成されたものがある。
前記構成の両面ラップ装置では、上下定盤の平面度を定期的に修正する修正作業を行う必要があり、従来では、定盤を装置から取り外して、それぞれを研削装置等で研削する作業方法が一般的に用いられている。
特開平10−80861号公報
しかし、前記のような定盤の修正作業では、定盤の装置に対する取り外しや取り付け作業が煩わしい。そのため、従来から、定盤の修正作業性を向上させたいという要望がある。
本発明は、前記のような要望に応えるためになされたものであり、定盤の修正作業性を向上させることが可能な両面ラップ装置を提供することを目的とする。
請求項1の発明は、中心の外歯ギヤと、この外歯ギヤと同心の内歯ギヤと、それらのギヤ間に設けられる下定盤と、この下定盤の上に載せられるとともに両ギヤに噛合し、かつワークを保持する転動ギヤと、下定盤に対向する上定盤とを備え、上下定盤にワークを接触させ、外歯ギヤと内歯ギヤとの相対回転で転動ギヤを転動させることで、ワークの両面を上下定盤でラップする両面ラップ装置において、前記転動ギヤと同一外形状で、少なくとも一方面に研磨部を有し、定盤の修正作業時に、転動ギヤに代えて下定盤の上に載せられる修正ギヤをさらに備えることを特徴とするものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の両面ラップ装置において、前記修正ギヤを複数配設したことを特徴とするものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載の両面ラップ装置において、前記修正ギヤの上定盤側の面に前記研磨部としての砥石が設けられ、下定盤側の面にセラミック材が設けられていることを特徴とするものである。
請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の両面ラップ装置において、前記研磨部の一部が、当該研磨部と対向する定盤の外周よりも外方に位置することを特徴とするものである。
請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の両面ラップ装置において、定盤の平面度を計測する平面度計測装置を備えることを特徴とするものである。
請求項6の発明は、請求項1〜5のいずれか一項に記載の両面ラップ装置において、下定盤の上面を研削する研削装置を備えることを特徴とするものである。
請求項1の発明によれば、転動ギヤに代えて、少なくとも一方面に研磨部を有する同一外形状の修正ギヤをセットするようにしたので、定盤を装置に対して脱着させることなく当該定盤を研磨し、その平面度を修正することができる。その結果、定盤の修正作業性が向上する。
また、修正ギヤの外形状を転動ギヤと同一にしたので、転動ギヤの駆動機構を利用して修正作業を行うことができる。これにより、装置構成が複雑化するのを防ぐことができる。
請求項2の発明によれば、複数の修正ギヤにより定盤の修正作業を効率良く行うことができるようになる。
請求項3の発明によれば、下定盤の研磨量を抑えながら上定盤を砥石により十分に研磨することができるので、上定盤の平面度を下定盤の平面度に合わせて修正することができる。これにより、下定盤の平面度が十分に高い場合に、上定盤の平面度を精度良く修正することができる。
なお、両面に研磨部を有する修正ギヤを用いれば、上下定盤の平面度を同時に修正することができる。
請求項4の発明によれば、定盤の外周縁まで十分に研磨することができるので、定盤の外周近傍に未研磨部分が生じるのを防ぐことができる。これにより、定盤の平面度を確実に修正することができる。
請求項5の発明では、修正後に定盤の平面度を平面度計測装置によって計測するようにすれば、定盤の平面度を正確に修正することができるようになる。また、修正前に定盤の平面度を計測するようにすれば、当該定盤の平面度がどの程度低下しているかを正確に把握することができるので、修正作業を適切に行うことができるようになる。
請求項6の発明によれば、下定盤の平面度が大きく低下している場合には、まず、下定盤の平面度を研削装置によって高精度に修正し、その後に、修正済の下定盤を基準に上定盤の平面度を高精度に修正することができるようになる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1および図2は、本発明の一実施形態による両面ラップ装置の全体構成を示した正面図および平面図である。図3は、上定盤の斜視図であり、図4は、下定盤周辺の斜視図である。図5は、下定盤にワーク保持部材を載置した状態を示した斜視図である。図6は、ワークの斜視図である。図7は、下定盤にワーク保持部材を載置した状態を示した平面図であり、図8は、ワーク保持部材を上下定盤で挟んだ状態を示した断面図である。また、図9および図10は、修正リングの構成を示した平面図および断面図であり、図11〜図13は、下定盤に修正リングを載置した状態を示した図である。まず、本発明の一実施形態の両面ラップ装置1の構成について説明する。
本実施形態の両面ラップ装置1は、ワーク12(図6参照)の両面を同時にラップ(研磨)するためのものである。ワーク12は、例えばエコキュートポンプの軸受けとして使用されるセラミック製のワッシャであり、図6に示すように、軸に係合するためのD字孔12aを有している。
両面ラップ装置1は、図1および図2に示すように、台座2と、中心軸部材6と、円筒部材7と、下定盤4と、5つのワーク保持部材11(図5参照)と、上定盤3と、上定盤昇降部5と、天板8と、側板9と、操作部10とを備えている。なお、中心軸部材6は、本発明の「外歯ギヤ」の一例であり、円筒部材7は、本発明の「内歯ギヤ」の一例であり、ワーク保持部材11は、本発明の「転動ギヤ」の一例である。
台座2には、各部材を駆動するためのモータや駆動伝達ギヤ等からなる図略の駆動部が収容されている。
中心軸部材6は、図4に示すように、その外周にギヤ部6aを有しており、前記駆動部によって当該中心軸部材6の軸心を中心に例えば平面視で時計回り方向(図7の矢印a参照)に回転するようになっている。
中心軸部材6の上部には、駆動力を上定盤3に伝達する駆動伝達部材6bが設けられている。駆動伝達部材6bの外周には、図4に示すように、縦方向に延びる複数(本例では6つ)の溝状係止部6cが周方向等角度間隔で形成されている。この溝状係止部6cは、上定盤3の後述する係止部3c(図5参照)と係合可能に構成されている。
円筒部材7は、中心軸部材6の径方向外側に設けられている。この円筒部材7は、その上部の内周にギヤ部7aを有しており、前記駆動部によって中心軸部材6の軸心を中心に例えば平面視で反時計回り方向(図7の矢印b参照)に回転するようになっている。ギヤ部7aは、図7に示すように、中心軸部材6のギヤ部6aと同心でかつ当該ギヤ部6aに対向するように設けられている。
下定盤4は、円盤状の銅製部材であり、図4に示すように、中心軸部材6と円筒部材7との間に設けられている。下定盤4は、その中心に孔4aを有している。この孔4aには、中心軸部材6が非接触で挿入される。
下定盤4は、その上面4bが研磨剤等を介してワーク12の下面に接触する研磨面として機能するようになっている。また、下定盤4は、前記駆動部によって中心軸部材6の軸心を中心に例えば平面視で反時計回り方向(図7の矢印g参照)に回転するようになっている。
各ワーク保持部材11は、円盤状に形成されており、その外周にギヤ部11aを有している。また、各ワーク保持部材11には、当該ワーク保持部材11を厚み方向に貫通する複数のワーク保持部11bが設けられている。前記ワーク12は、このワーク保持部11bに嵌まり込むことによって保持されるようになっている。
これらのワーク保持部材11は、図7に示すように、下定盤4の上面4bに互いに周方向に隙間を有する状態で等角度間隔で載置され、それぞれ、中心軸部材6のギヤ部6aと円筒部材7のギヤ部7aとの両方に噛合するように構成されている。
従って、5つのワーク保持部材11は、中心軸部材6および円筒部材7が互いに逆方向に回転(相対回転)することによって、互いの相対位置関係を維持したまま、それぞれの軸心を中心に自転(図7の矢印c参照)しながら中心軸部材6の軸心を中心に公転(図7の矢印d参照)する、すなわち転動(遊星運動)するようになる。
上定盤3は、図3および図5に示すように、下定盤4と略同一の円盤状の銅製部材であり、下定盤4の上方に当該下定盤4と対向するように設けられている。
上定盤3は、その下面3bが研磨剤等を介してワーク12の上面に接触する研磨面として機能するようになっている。また、上定盤3は、ワーク12に接触可能な下降位置と、この下降位置の上方の退避位置とに移動可能に構成されている。
また、上定盤3は、その中心に孔3aを有している。この孔3aには、駆動伝達部材6bが挿入される。そして、図5に示すように、上定盤3の上面の前記孔3aの近傍位置には、駆動伝達部材6bの溝状係止部6cと係合する係止部3cが設けられている。
このような構成の上定盤3は、中心軸部材6と同方向に回転するようになっている。
すなわち、本実施形態の両面ラップ装置1では、例えば、中心軸部材6および上定盤3が平面視で時計回り方向に回転するとともに、円筒部材7および下定盤4が平面視で反時計回り方向に回転するようになっている。
上定盤昇降部5は、上定盤3を前記下降位置と退避位置との間で昇降させるための機能を有している。この上定盤昇降部5は、図1および図2に示すように、台座2の上面に取り付けられた支柱5aと、この支柱5aの上端に取り付けられた水平アーム5bと、この水平アーム5bの先端付近に支持されたシリンダ5cと、このシリンダ5cに昇降可能に取り付けられるとともに上定盤3を回転可能に保持するシリンダロッド5dとで構成されている。
天板8および側板9は、当該装置1のラップ作業のための空間を形成するものである。天板8は、円板状に形成されており、水平アーム5bの下面に保持されている。側板9は、円筒状に形成されており、天板8の外周縁と台座2の上面とを連結するように上下に延びている。
操作部10は、当該装置1の動作制御等を行うためのものであり、台座2内の前記駆動部に電気的に接続されている。
次に、本実施形態の両面ラップ装置1によるワーク12の研磨動作について説明する。
まず、複数のワーク12を保持する5つのワーク保持部材11を、図5に示すように、下定盤4の上面4bに互いに周方向に隙間を有する状態で等角度間隔で載置する。この時、ワーク保持部材11のギヤ部11aは、中心軸部材6のギヤ部6aと円筒部材7のギヤ部7aとの両方に噛合している。その後、上定盤3を上定盤昇降部5によって下降位置に移動させる。これにより、図8に示すように、ワーク12の上面に上定盤3の下面3bが接触するとともに、ワーク12の下面に下定盤4の上面4bが接触する状態となる。
そして、図略の駆動部を駆動させて、中心軸部材6および上定盤3を平面視で時計回り方向に一体回転させるとともに、円筒部材7および下定盤4を平面視で反時計回り方向に回転させる。これにより、5つのワーク保持部材11を、互いの相対位置関係を維持させたまま中心軸部材6の周りを転動させて、ワーク12の両面を上下定盤3,4で研磨する。
ところで、両面ラップ装置1では、前記研磨動作によって上下定盤3,4が磨耗する。この磨耗が進行すれば、ワーク12の研磨処理を正常に行えなくなる。
そこで、前記不都合を未然に防止するために、両面ラップ装置1では、定期的に、上下定盤3,4の平面度を修正する修正作業が行われる。
ここで、本実施形態では、図9および図10に示す修正リング20を用いて前記修正作業を行う。なお、修正リング20は、本発明の「修正ギヤ」の一例である。
以下、前記修正リング20の構成について説明する。
この修正リング20は、前述のワーク保持部材11と同一外形状を有しており、定盤3,4の修正作業を行う際には、ワーク保持部材11に代えて下定盤4の上面4bに載置されるようになっている。
修正リング20は、リング状部材21と、複数(本例では12個)のピン状の位置決め部材22とを有している。
リング状部材21の外周には、ギヤ部21aが形成されている。このギヤ部21aは、修正リング20を下定盤4の上面4bに載置したときには、中心軸部材6のギヤ部6aと円筒部材7のギヤ部7aとの両方に噛合するようになっている。
また、リング状部材21には、当該リング状部材21をその厚み方向に貫通する複数(12個)の貫通孔21bが周方向等角度間隔で円環上に並ぶように設けられている。この貫通孔21bには、それぞれ、前記位置決め部材22が嵌入されている。
そして、砥石23,24が前記位置決め部材22の両端部によってそれぞれ位置決めされ、その状態でリング状部材21に接着固定されている。
従って、修正リング20の上定盤3側の面には、上定盤3の下面3bを研磨するための複数(12個)の砥石23が当該下面3bに臨むように配設されている。一方、修正リング20の下定盤4側の面には、下定盤4の上面4bを研磨するための複数(12個)の砥石24が当該上面4bに臨むように配設されている。なお、複数の砥石23および複数の砥石24は、それぞれ、本発明の「研磨部」に相当する。
本実施形態では、修正リング20は、図11および図12に示すように、下定盤4の上面4bに互いに周方向に隙間を有する状態で等角度(90度)間隔で4つ載置されている。このように修正リング20を配置することで、修正作業時に上定盤3が傾斜するのを防ぐことができる。
そして、4つの修正リング20は、中心軸部材6および円筒部材7が互いに逆方向に回転(相対回転)することによって、互いの相対位置関係を維持したまま、それぞれの軸心を中心に自転(図12の矢印e参照)しながら中心軸部材6の軸心を中心に公転(図12の矢印f参照)する、すなわち転動(遊星運動)するようになる。
次に、これらの修正リング20を用いた修正作業について説明する。
まず、5つのワーク保持部材11を下定盤4から取り外し、代わりに4つの修正リング20を下定盤4の上面4bに載置する。そして、図略の駆動部を駆動させて、中心軸部材6および上定盤3を平面視で時計回り方向に一体回転させるとともに、円筒部材7および下定盤4を平面視で反時計回り方向に回転させる。これにより、4つの修正リング20が、互いの相対位置関係を維持したまま中心軸部材6の周りを転動し、当該修正リング20の砥石23,24により上下定盤3,4がそれぞれ研磨され、その平面度が修正される。
なお、修正リング20は、図13に示すように、複数の砥石23,24の一部が転動の際に上下定盤3,4の外周よりも外方に位置するように構成されている。これによって、定盤3,4の外周縁まで十分に研磨することができるので、定盤3,4の外周近傍に未研磨部分が生じるのが防がれる。これにより、定盤3,4の平面度を確実に修正することができる。
また、両面ラップ装置1は、図14に示すように、定盤3,4の平面度を測定するための平面度計測装置30を備えている。この平面度計測装置30は、水平板31と、この水平板31に支持される5つのダイヤルゲージ32とにより構成されている。なお、後述の研削装置40のスライダ43を利用して水平板31を水平状態で保持するようにしてもよい。
このような平面度計測装置30を用いて修正前に定盤3,4の平面度を計測するようにすれば、当該定盤3,4の平面度がどの程度低下しているかを正確に把握することができるので、修正作業を適切に行うことができるようになる。また、平面度計測装置30を用いて修正後に定盤3,4の平面度を計測するようにすれば、定盤3,4の平面度を正確に修正することができるようになる。
また、両面ラップ装置1は、図2および図15に示すように、前述のワーク12に対する研磨動作によって下定盤4の平面度が大きく低下している場合に、当該下定盤4の平面度を修正する研削装置40を備えている。
この研削装置40は、図15に示すように、台座41と、この台座41に支持されるモータ42と、このモータ42の駆動力で図15の左右方向にスライドするスライダ43と、このスライダ43の先端に設けられたバイトホルダ44と、このバイトホルダ44に保持されて下定盤4の上面4bに接するバイト45とで構成されている。
この研削装置40は、スライダ43を左右方向にゆっくりと移動させつつバイト45で下定盤4の上面4bを研削することで、下定盤4の上面4bの平面度を正確に修正するようになっている。
このような研削装置40を用いて下定盤4の平面度を修正した場合には、前記修正リング20とは異なる構成の修正リングが使用される。
すなわち、この修正リングの下定盤4側の面には、砥石24に代えてセラミック材が配設されている。セラミック材は、銅より硬くその表面の摩擦係数が適度に低いため、銅製の定盤に対して食い付きが発生し難いとともに研磨量も少ないという特性があり、好ましい。なお、前記特性を有する材料であれば、セラミック以外の材料からなる部材を設けることも使用可能である。
これにより、下定盤4の研磨量を抑えながら上定盤3を砥石23により十分に研磨することができるので、研削装置40によって十分に高い平面度に修正された下定盤4の平面度に合わせて上定盤3の平面度を精度良く修正することができる。
本実施形態の両面ラップ装置1によれば、ワーク保持部材11に代えて、複数の砥石23,24を有する同一外形状の修正リング20をセットするようにしたので、定盤3,4を装置1に対して脱着させることなく当該定盤3,4を研磨し、その平面度を修正することができる。その結果、定盤3,4の修正作業性が向上する。
また、本実施形態の両面ラップ装置1によれば、修正リング20の外形状をワーク保持部材11と同一にしたので、ワーク保持部材11の駆動機構を利用して修正作業を行うことができる。これにより、装置構成が複雑化するのを防ぐことができる。
また、本実施形態の両面ラップ装置1によれば、一方の面に複数の砥石23を有するとともに、他方の面に複数の砥石24を有する修正リング20を用いたので、上下定盤3,4の平面度を同時に修正することができる。
また、本実施形態の両面ラップ装置1によれば、4つの修正リング20を下定盤4の上面4bに互いに周方向に隙間を有するように等角度間隔で載置したので、定盤3,4の修正作業を効率良く行うことができるようになる。
また、本実施形態の両面ラップ装置1によれば、修正リング20の複数の砥石23,24の一部が、転動の際に上下定盤3,4の外周よりも外方に位置するように構成したので、定盤3,4の外周縁まで十分に研磨することができる。これにより、定盤3,4の外周近傍に未研磨部分が生じるのを防ぐことができるので、定盤3,4の平面度を確実に修正することができる。
また、本実施形態の両面ラップ装置1によれば、下定盤4の平面度が大きく低下している場合には、研削装置40によって下定盤4の平面度を高精度に修正し、その後に、修正済の下定盤4を基準に上定盤3の平面度を高精度に修正することができるようになる。
なお、本実施形態では、4つの修正リング20を下定盤4の上面4bに互いに周方向に隙間を有するように等角度間隔で配設する例について示したが、修正リング20の数はこれに限らない。ただし、上定盤3の傾斜を抑制するためには、3つ以上が好ましく、4つまたは5つがより好ましい。
また、本実施形態では、中心軸部材6と円筒部材7とが互いに逆方向に回転する構成について示したが、これに限らず、両者が相対回転するのであれば同方向に回転する構成であってもよい。
また、本実施形態では、本発明の「研磨部」として複数の砥石23(24)を用いたが、これに限らず、リング状部材21よりも幅の狭い円環状の一枚物の砥石を「研磨部」として用いることも可能である。
また、本実施形態では、ワーク保持部材11と外形状が同一の修正リング20を用いたが、例えば、ワーク12に代えて砥石を保持したワーク保持部材を修正リングとして使用することも可能である。
1 両面ラップ装置
3 上定盤
4 下定盤
4b 上面
6 中心軸部材(外歯ギヤ)
7 円筒部材(内歯ギヤ)
11 ワーク保持部材(転動ギヤ)
12 ワーク
20 修正リング(修正ギヤ)
23,24 砥石(研磨部)
30 平面度計測装置
40 研削装置
3 上定盤
4 下定盤
4b 上面
6 中心軸部材(外歯ギヤ)
7 円筒部材(内歯ギヤ)
11 ワーク保持部材(転動ギヤ)
12 ワーク
20 修正リング(修正ギヤ)
23,24 砥石(研磨部)
30 平面度計測装置
40 研削装置
Claims (6)
- 中心の外歯ギヤと、この外歯ギヤと同心の内歯ギヤと、それらのギヤ間に設けられる下定盤と、この下定盤の上に載せられるとともに両ギヤに噛合し、かつワークを保持する転動ギヤと、下定盤に対向する上定盤とを備え、上下定盤にワークを接触させ、外歯ギヤと内歯ギヤとの相対回転で転動ギヤを転動させることで、ワークの両面を上下定盤でラップする両面ラップ装置において、
前記転動ギヤと同一外形状で、少なくとも一方面に研磨部を有し、定盤の修正作業時に、転動ギヤに代えて下定盤の上に載せられる修正ギヤをさらに備えることを特徴とする両面ラップ装置。 - 前記修正ギヤを複数配設したことを特徴とする請求項1に記載の両面ラップ装置。
- 前記修正ギヤの上定盤側の面に前記研磨部としての砥石が設けられ、下定盤側の面にセラミック材が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の両面ラップ装置。
- 前記研磨部の一部が、当該研磨部と対向する定盤の外周よりも外方に位置することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の両面ラップ装置。
- 定盤の平面度を計測する平面度計測装置を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の両面ラップ装置。
- 下定盤の上面を研削する研削装置を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の両面ラップ装置。
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