JP2014159049A - サファイアウェーハの研削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のサファイアウェーハ(SW)の研削方法は、研削砥石(43)をサファイアウェーハに対して所定速度で下降させながらチャックテーブル(12)を正方向に移動させて、サファイアウェーハの裏面(65)を研削する第1の工程と、研削砥石をサファイアウェーハに対して所定速度で下降させながらチャックテーブルを逆方向に移動させて、サファイアウェーハの裏面を研削する第2の工程とを交互に繰り返して、サファイアウェーハを所定厚みまで研削する構成とした。
【選択図】図3
Description
12 チャックテーブル
13 ターンテーブル
14、15 研削手段
43、53 研削砥石
44、54 研削ホイール
61 加工点
65 裏面
66 一端
67 他端
Claims (1)
- チャックテーブル上に保持されたサファイアウェーハを研削砥石により仕上げ厚みまで研削するサファイアウェーハの研削方法であって、
サファイアウェーハに対して回転する該研削砥石を所定速度で下降させながら、サファイアウェーハの結晶方位に対して所定の向きを維持しつつ該研削砥石がサファイアウェーハの一端から他端に移動するように該研削砥石と該チャックテーブルとを相対的に水平方向に移動させてサファイアウェーハの裏面を研削する第1の研削工程と、
サファイアウェーハに対して回転する該研削砥石を所定速度で下降させながら、サファイアウェーハの結晶方位に対して該所定の向きを維持しつつ該研削砥石がサファイアウェーハの該他端から該一端に移動するように該研削砥石と該チャックテーブルとを相対的に水平方向に移動させてサファイアウェーハの裏面を研削する第2の研削工程と、を含み、
該第1の研削工程と該第2の研削工程とを交互に繰り返して仕上げ厚みまで研削することを特徴とするサファイアウェーハの研削方法。
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