JP2018182129A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Landscapes
- Milling, Broaching, Filing, Reaming, And Others (AREA)
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Abstract
Description
1a 表面
1b 裏面
3 分割予定ライン
5 デバイス
7 電極バンプ
9 保護テープ
9a 基材
9b 接着材層
11 切削痕
2 バイト切削装置
4,14 チャックテーブル
4a,14a 保持面
6 バイト切削ホイール
8,18 スピンドル
10 バイト工具
12 研削装置
16 研削ホイール
20 研削砥石
Claims (3)
- 表面に格子状に複数の分割予定ラインが設定され、該複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着ステップと、
該保護テープ貼着ステップの後、該ウェーハの表面に貼着された保護テープの露出面をバイト工具によって切削して平坦化する平坦化ステップと、
該平坦化ステップの後、該ウェーハの表面側を研削装置のチャックテーブルに向け、該保護テープを介して該チャックテーブルに該ウェーハを保持させ、該ウェーハの裏面側を研削して該ウェーハを所定の厚さにする研削ステップと、を備え、
該平坦化ステップは、該バイト工具と、該ウェーハと、を該露出面に平行な面内の方向に直線的に相対的に移動させて該露出面をバイト工具によって切削する第1のバイト切削ステップと、該第1のバイト切削ステップの後、該ウェーハを該露出面に垂直な軸の周りに所定角度回転させて、該バイト工具と、該ウェーハと、を該露出面に平行な面内の方向に直線的に相対的に移動させて該露出面をバイト工具によって切削する第2のバイト切削ステップと、
を備えることを特徴とするウェーハの加工方法。 - 前記第2のバイト切削ステップにおいて該ウェーハを回転させる所定角度は、30°〜330°であることを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
- 前記ウェーハは、マイクロバッテリーウェーハであることを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
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