JP2007073788A - ウエハのダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に矩形状の半導体素子2となる回路パターンがマトリックス状に形成され、裏面に粘着シート6が貼着された円盤状のウエハ1の半導体素子2の個片とならない周縁部分を、半導体素子領域5の角部7を結ぶ仮想円弧8に沿って切削する切断工程と、ウエハ1をスクライブライン4に沿って分割して半導体素子2の個片とする分割工程とを備えた。仮想円弧8に沿って切削するときには、ブレードを固定し、ウエハ1を回転させて行う。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の形態に係るウエハのダイシング方法について説明する。まずはダイシングするウエハについて図1に基づいて説明する。図1は、本発明の実施の形態に係るウエハのダイシング方法を説明するウエハの平面図である。
2 半導体素子
3 周縁部
4 スクライブライン
5 半導体素子領域
6 粘着シート
7 角部
8 仮想円弧
9 略三角形状のウエハ片
10 略台形状のウエハ片
15 チャックテーブル
16 ブレード
Claims (4)
- 表面に矩形状の半導体素子となる回路パターンがマトリックス状に形成され、裏面に粘着シートが貼着された円盤状ウエハの前記半導体素子の個片とならない周縁部分を切断する切断工程と、
前記ウエハをスクライブラインに沿って分割して前記半導体素子の個片とする分割工程とを備えたことを特徴とするウエハのダイシング方法。 - 前記切断工程は、前記半導体素子となる領域の角部を結ぶ仮想円弧に沿って、前記周縁部分を切断することを特徴とする請求項1記載のウエハのダイシング方法。
- 前記切断工程は、前記仮想円弧に沿って切削することを特徴とする請求項2記載のウエハのダイシング方法。
- 前記切断工程は、前記周縁部分を切断するブレードを固定し、前記ウエハを回転させて行うことを特徴とする請求項2または3記載のウエハのダイシング方法。
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JP2010225976A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 積層ウェーハの分割方法 |
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