CN106994645A - 反转机和基板研磨装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。使基板(W)上下反转的反转机(100)具有：用于载置基板(W)的第一机械臂对(21a)；与所述第一机械臂对(21a)彼此相对的第二机械臂对(21b)；开闭机构(23)，对所述第二机械臂对(21b)进行开闭，以把持载置在所述第一机械臂对(21a)上的基板(W)；以及旋转机构(22)，使所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)绕规定的轴线(21)旋转，从而使所述基板(W)上下反转，其中，该规定的轴线(21)设定于它们的内侧且沿着所述第一机械臂对(21a)和所述第二机械臂对(21b)的延伸方向。

Description

反转机和基板研磨装置
技术领域
本发明涉及使基板上下反转的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。
背景技术
在以往的倒角研磨装置中，为了去除附着于倒角部的异物，大多使用研磨台，只对基板的周缘部进行研磨，而不对基板的背面进行研磨。在这种倒角研磨装置中，只对基板的表面进行清洗即可，可以不对背面进行清洗。
与此相对，近年来，开发了一种与基板的倒角部的研磨一同还对基板的背面进行研磨的倒角研磨装置(例如专利文献1)。在这种倒角研磨装置中，为了对基板的背面进行清洗，需要使基板上下反转。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-150178号公报
在此，若在用于使该基板反转的反转机中设置用于将上下反转后的基板交接给基板搬运装置的暂置台、或用于将基板放置于暂置台的升降机构，则存在装置会大型化的问题。
发明内容
本发明是鉴于这种问题而完成的，本发明的课题在于提供一种使基板上下反转的小型的反转机以及具有这种反转机的基板研磨装置。
用于解决课题的手段
根据本发明的一个方式，提供一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。
根据该结构，能够利用位于上侧的机械臂对和下侧的机械臂对来进行基板的交接和基板的反转。即，能够进行如下一系列动作：反转机在接收基板时，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而将基板载置于位于下侧的机械臂对。之后，关闭位于上侧的机械臂对来把持基板，保持将基板载置在位于下侧的机械臂对上的状态，使所述两组机械臂对绕单一的轴线旋转而使基板上下反转，接着，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而能够将载置于位于下侧的机械臂对的基板交接给下个工序，因此不需要暂置台，能够使反转机小型化。
优选所述规定的轴线是所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的对称轴。
根据该结构，由于在上下反转前后，基板的位置一致，因此能够进一步使反转机小型化。
另外，根据本发明的其他方式，提供一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且构成为开闭自如以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述基板上下反转，并使得上下反转前的所述基板的位置与上下反转后的所述基板的位置大致一致。
根据该结构，能够利用位于上侧的机械臂对和下侧的机械臂对来进行基板的交接和基板的反转。即，能够进行如下一系列动作：反转机在接收基板时，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而将基板载置于位于下侧的机械臂对。之后，关闭位于上侧的机械臂对来把持基板，保持将基板载置在位于下侧的机械臂对上的状态，使所述两组机械臂对以在上下反转前后基板的位置一致的方式旋转而使基板上下反转，接着，通过在保持关闭位于下侧的机械臂对的状态下打开位于上侧的机械臂对，而能够将载置于位于下侧的机械臂对的基板交接给下个工序，因此不需要暂置台，能够使反转机小型化。
优选该反转机构成为所述旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述第一机械臂对的机械臂部件与所述第二机械臂对的机械臂部件的位置关系分别互换。
根据该结构，能够使反转机的结构简化。
优选该反转机具有：第一冲洗喷嘴,该第一冲洗喷嘴对被把持的所述基板的上表面供给冲洗水；以及第二冲洗喷嘴，该第二冲洗喷嘴对被把持的所述基板的下表面供给冲洗水。
第一冲洗喷嘴,该第一冲洗喷嘴对所述被把持的基板的上表面供给冲洗水；以及第二冲洗喷嘴，该第二冲洗喷嘴对所述被把持的基板的下表面供给冲洗水。
根据该结构，能够防止使基板反转时的基板的干燥。
优选该反转机具有清洗槽，该清洗槽收纳所述第一机械臂对、所述第二机械臂对、所述第一冲洗喷嘴以及所述第二冲洗喷嘴。
根据该结构，能够防止冲洗液飞散到反转机的周围。
优选在所述清洗槽，在与所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对对应的位置设置有能够使所述基板进出的开口，该反转机具有设置于所述开口的闸门。
根据该结构，能够将基板交接给设置于清洗槽内的位于下侧的机械臂对。
优选构成所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的机械臂部件具有至少三个用于把持所述基板的挡块。
根据该结构，能够稳定地把持基板。
该反转机也可以进一步具有槽口校准器，该槽口校准器将设置于所述基板的槽口校正到规定位置。
根据该结构，能够准确地将基板配置到规定位置。
所述开闭机构也可以具有：第一弹性部件和第二弹性部件，该第一弹性部件和第二弹性部件向打开所述第一机械臂对的方向施力；第一导向从动件，该第一导向从动件安装于所述第一弹性部件；第二导向从动件，该第二导向从动件安装于所述第二弹性部件；第三弹性部件和第四弹性部件，该第三弹性部件和第四弹性部件向打开所述第二机械臂对的方向施力；第三导向从动件，该第三导向从动件安装于所述第三弹性部件；第四导向从动件，该第四导向从动件安装于所述第四弹性部件；固定保持架，该固定保持架以所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对不打开的方式，对第一至第四导向从动件中的位于下侧的导向从动件进行固定；以及可动保持架，该可动保持架以所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于上侧的机械臂对进行开闭的方式，使第一至第四导向从动件中的位于上侧的导向从动件在该机械臂对打开的位置与该机械臂对关闭的位置之间移动。
根据该结构，能够通过使可动保持架移动的一台促动器而使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对始终为关闭状态，使位于上侧的机械臂对能够开闭，能够使反转机的开闭机构小型化。
也可以在所述第一机械臂对和所述第二机械臂对关闭的状态下，由所述固定保持架和所述可动保持架形成大致圆形的开口，所述第一导向从动件、所述第二导向从动件、所述第三导向从动件以及所述第四导向从动件沿着该开口旋转，从而所述第一机械臂对和所述第二机械臂对以保持关闭的状态进行旋转。
根据本发明的其他方式，提供一种基板研磨装置，其具有：研磨单元，该研磨单元对所述基板进行研磨；上述反转机；清洗单元，该清洗单元对基板进行清洗；以及搬运装置，该搬运装置能够访问所述研磨单元、所述反转机以及所述清洗单元，且在各单元间或在各单元与所述反转机之间搬运所述基板。
通过使用小型的反转机，而能够抑制基板研磨装置的大型化。
优选所述搬运装置将所述基板从对所述基板的第一面进行了清洗的清洗单元搬运至所述反转机，在通过所述反转机将所述基板上下反转后，将所述基板从所述反转机搬运至对所述基板的第二面进行清洗的清洗单元。
根据该结构，能够对基板的上表面和下表面双方进行清洗。
优选该基板研磨装置具有多个清洗单元，与对所述基板的第一面进行清洗的清洗单元不同的清洗单元对所述基板的第二面进行清洗。
根据该结构，能够提高基板处理的能力。
发明效果
根据本发明，在接收基板时，在位于下侧的机械臂对上载置基板，之后，通过关闭位于上侧的机械臂对来把持基板，通过使两组机械臂对旋转而使基板上下反转，接着将通过反转动作而从下侧移动到上侧的机械臂对打开，从而能够将基板交接给下个工序，因此不需要暂置台，能够使反转机小型化。与此相伴，还能够使基板处理装置小型化。
附图说明
图1是一实施方式的反转机100的立体图。
图2是表示反转机100的内侧的立体图。
图3是基板反转机构2的前方立体图。
图4是基板反转机构2的后方立体图。
图5是基板反转机构2的侧视图。
图6是基板反转机构2的主视图。
图7是开闭机构23的前方立体图。
图8是开闭机构23的后方立体图。
图9是开闭机构23的后方立体图。
图10是示意性地说明开闭机构23的动作的图。
图11是示意性地表示通过旋转机构22使开闭机构23旋转时的情况的图。
图12是表示反转机100进行自动运转时的步骤的流程图。
图13是示意性地表示基板研磨装置30的结构的图。
图14是对基板W的移动路线进行说明的图。
图15是示意性地表示其他基板研磨装置30的结构的图。
符号说明
1 清洗槽
11 顶罩
11a 顶罩检测用传感器
12 背面罩
12a 背面罩检测用传感器
13、14 开口
2 基板反转机构
21 轴线
21a、21b 机械臂对
21a1、21a2、21b1、21b2 机械臂部件
21a3、21b3 挡块
22 旋转机构
221 固定板
221a 开口
222 罩
222a 圆盘部
223 旋转促动器
223a 速度控制器
224 旋转轴
225 机械臂对状态检测用传感器
226 罩
23 开闭机构
231a～231d 机械臂安装部件
232a～232d 折皱
233a1、233a2、233b1、233b2 弹簧
234a1、234a2、234b1、234b2 导向从动件
235 固定保持架
236 可动保持架
237 导轨滑块
238a、238b 机械臂对开闭检测用传感器
3 闸门
3a 闸门开闭用气筒
3b 闸门开闭检测用传感器
4 基板检测传感器
5、6 冲洗喷嘴
30 基板研磨装置
31 研磨单元
32a～32d 清洗单元
33a、33b 基板搬运机械手
34a、34b 干燥单元
100、100a、100b 反转机
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行具体地说明。
图1是一实施方式的反转机100的立体图。反转机100具有清洗槽1，该清洗槽1具有可以拆卸的顶罩11和背面罩12，在清洗槽1的内侧设置有基板反转机构2的机械臂对(未图示)等。另外，反转机100具有：检测是否安装有顶罩11的顶罩检测用传感器11a；以及检测是否安装有背面罩12的背面罩检测用传感器12a。
图2是表示反转机100的内侧的立体图。反转机100具有基板反转机构2、闸门3、基板检测传感器4以及冲洗喷嘴5、6。
在清洗槽1的一个面中，在基板反转机构2的前方形成有开口13，在该开口13中设置有闸门3。闸门3向上侧移动来打开开口13，从而能够通过开口13在反转机100与基板搬运机械手(未图示)之间进行基板W的交接、接收。当基板W的交接、接收结束时，闸门3向下侧移动来关闭开口13。
闸门3通过闸门开闭用气筒3a而上下运动。闸门开闭用气筒3a的空气供给、排出的切换是通过未图示的电磁阀进行的。另外，设置有检测闸门3的开闭状态的闸门开闭检测用传感器3b。
基板检测传感器4检测基板反转机构2是否把持基板W。作为具体例，基板检测传感器4具有配置于把持基板W的位置的上方的发光部以及配置于下方的受光部，根据受光部变得无法接受来自发光部的光，而检测出基板反转机构2把持基板W。
冲洗喷嘴5设置于把持基板W的位置的上方，对基板W的上表面(正面)供给DIW等冲洗液。冲洗喷嘴6设置于把持基板W的位置的下方，对基板W的下表面(背面)供给DIW等冲洗液。来自冲洗喷嘴5、6的冲洗液的供给、停止是通过未图示的空气操作阀进行的。
通过对基板W的上表面和下表面供给冲洗液，而能够防止在使基板W反转时的基板W的干燥。另外，通过在清洗槽1内收纳基板W、冲洗喷嘴5、6，而能够防止冲洗液飞散到反转机100的周围。使用后的冲洗液通过形成于清洗槽1的底面的开口14而排出到清洗槽1的外部。
接着，对于在基板反转机构2中使基板W上下反转的结构进行详细说明。
图3是基板反转机构2的前方立体图。基板反转机构2具有设置于清洗槽1内的两个机械臂对21a、21b以及使机械臂对21a、21b旋转的旋转机构22。在该基板反转机构2中，不使用暂置台，在机械臂对21a、21b上在与基板搬运机械手(未图示)之间进行基板W的交接和接收。另外，在基板搬运机械手访问基板反转机构2时，机械臂对21a、21b中的位于上侧的机械臂对(图3中为机械臂对21b)打开。并且，通过使该机械臂对关闭而把持基板W，两机械臂对21a、21b通过单轴旋转而使基板W上下反转。以下，对此进行说明。
机械臂对21a相对于轴线21呈大致对称的形状，具体而言，可以由位于距轴线21等距离两个机械臂部件21a1、21a2构成。机械臂对21b也同样地可以由两个机械臂部件21b1、21b2构成。轴线21设定于机械臂对21a、21b的内侧，是沿着它们的延伸方向的对称轴，也可以说是通过被把持的基板W的中心的线。机械臂对21a、21b彼此相对，在它们之间把持基板W。
图3还示出了机械臂对21a、21b的局部放大图。如放大图所示，在下侧的机械臂对21a上设置有向上突出的挡块21a3。另外，在上侧的机械臂对21b上，在从挡块21a3偏离的位置上设置有向下突出的挡块21b3。挡块21a3、21b3的前端部与基板W接触，从而使基板W稳定地在机械臂对21a、21b间被把持。为了可靠地把持基板W，优选在各机械臂对21a、21b上设置多个、更优选为三个以上的挡块。
另外，为了使基板W的结晶方向的识别和排列变得容易，在基板W的倒角部设置有缺口(槽口)。并且，还可以使基板反转机构2具有槽口校准器(未图示)，该槽口校准器检测槽口，并将其校正到机械臂对21a、21b间的规定位置。
机械臂对21a、21b安装于旋转机构22，向前方(图2中的开口13侧)延伸。旋转机构22具有设置有圆形的开口221a的固定板221和局部被嵌入开口221a的机械臂保持部件(位于罩222内)。在机械臂保持部件中(直接地或间接地)固定有机械臂对21a、21b。轴线21通过开口221a的大致中心和被把持的基板W的大致中心。
图4是基板反转机构2的后方立体图。另外，图5是基板反转机构2的侧视图。旋转机构22具有：设置于固定板221的里侧的空气驱动的旋转促动器223(驱动部)；以及通过开口221a的大致中心且连结旋转促动器223与机械臂保持部件的旋转轴224(图5)。为了使旋转机构22成为后述两个状态之一，向旋转促动器223的空气供给是通过两个位置双电磁阀(未图示)进行切换的。旋转促动器223的转速是通过速度控制器223a进行调整的。
在此，旋转机构22采用第一状态或第二状态。第一状态是指机械臂对21a、21b大致水平地延伸且机械臂对21b位于机械臂对21a的上方的状态。第二状态是指机械臂对21a、21b大致水平地延伸且机械臂对21a位于机械臂对21b的上方的状态。旋转机构22的状态是通过安装于旋转促动器223的机械臂对状态检测用传感器225进行检测的。
在处于第一(第二)状态的旋转机构22中，旋转促动器223使旋转轴224旋转180度，从而机械臂对21a、21b绕轴线21回旋，由此替换机械臂对21a、21b的位置关系而成为第二(第一)状态，且使基板W上下反转。
在此，通过与具有一对机械臂、暂置台以及升降机构的反转机的对比来进一步说明本发明。在具有一对机械臂、暂置台以及升降机构这样的反转机的情况下，需要如下一系列动作：以保持在一对机械臂之间把持了基板的状态使基板上下反转，在反转后，通过升降机构使一对机械臂升降后，将基板放置在暂置台，基板搬运装置从暂置台接收基板，将基板交付到下个工序。因此，设想若从这样的反转机中单纯地移除暂置台、升降机构，则在一系列的基板的反转、交接动作中会产生障碍。
对此，在本发明的实施方式中，如上所述，由于能够上下运动的机械臂对21a、21b能够旋转，因此在接收基板时在位于下侧的机械臂对上载置基板，之后，通过关闭位于上侧的机械臂对来把持基板，通过使两组机械臂对旋转而使基板上下反转，接着打开通过反转动作而从下侧移动到上侧的机械臂对，从而能够将基板交接到下个工序。
因此，能够在不需要暂置台的情况下使基板W上下反转，且在上下反转前后使基板W的位置一致，因此能够使反转机100小型化。
接着，对于在基板反转机构2中把持基板W的结构进行详细说明。基板反转机构2具有对机械臂对21a、21b中的位于上侧的机械臂对进行开闭的开闭机构。该开闭机构的具体的方式没有特别制限，但在以下对使用了弹性部件的开闭机构进行说明。
图6是基板反转机构2的主视图。其中，绘出了将图3中的罩226取下后的结构。基板反转机构2具有开闭机构23，该开闭机构23具有四个机械臂安装部件231a～231d和四个折皱232a～232d。
机械臂安装部件231a～231d从内侧贯通罩222的侧面到外侧，通过螺纹等分别安装于机械臂部件21a1、21a2、21b1、21b2。另外，折皱232a～232d设置于罩222的侧面与机械臂部件21a1、21a2、21b1、21b2之间，在内部插通有机械臂安装部件231a～231d。
图7是开闭机构23的前方立体图。另外，图8是开闭机构23的后方立体图。开闭机构23具有：对机械臂安装部件231a、231b向外侧施力的弹簧233a1、233a2(弹性部件)；以及对机械臂安装部件231c、231d向外侧施力的弹簧233b1、233b2(弹性部件)。弹簧233a1、233a2位于机械臂对21a的内侧，弹簧233b1、233b2位于机械臂对21b的内侧。在没有任何锁定的状态下，通过弹簧233a1、233a2、233b1、233b2使机械臂对21a、21b成为打开的状态。
如图8所示，开闭机构23具有：两个分别(直接地或间接地)安装于弹簧233a1、233a2的导向从动件234a1、234a2；以及两个分别(直接地或间接地)安装于弹簧233b1、233b2的导向从动件234b1、234b2。导向从动件234a1、234a2、234b1、234b2向机械臂对21a、21b的相反侧突出。
图9是开闭机构23的前方立体图。开闭机构23具有固定于固定板221的固定保持架235、设置于其上侧的可动保持架236以及使可动保持架236上下运动的空气驱动的导轨滑块237。为了使位于上侧的机械臂对成为两个状态(打开状态和关闭状态)之一，通过两个位置的双电磁阀(未图示)来切换向导轨滑块237的空气供给。另外，通过速度控制器(未图示)来调整导轨滑块237的移动速度。
图10是示意性地说明开闭机构23的动作的图。如图所示，通过固定保持架235的内周面对配置于下侧的导向从动件234a1、234a2进行固定。由此，弹簧233a1、233a2无法向外侧延伸，下侧的机械臂对21a始终以关闭的状态被固定。
另一方面，如图9和图10(b)所示，可动保持架236的两前端呈锥形，且越靠近前端部则内径越宽。如图10(a)所示，若通过导轨滑块237使可动保持架236下降，由于导向从动件234b1、234b2位于内径较窄的部分，因此上侧的机械臂对21b成为关闭的状态。另外，此时，通过固定保持架235和可动保持架236的内周面而形成大致圆形的开口。
如图10(b)所示，若通过导轨滑块237使可动保持架236上升，由于导向从动件234b1、234b2位于内径较宽的部分，因此通过弹簧233b1、233b2的力使上侧的机械臂对21b向外侧移动而成为打开的状态。
像以上所说明的那样，无论机械臂对21a、21b中的哪个位于上侧，位于下侧的机械臂对始终处于关闭状态，位于上侧的机械臂对可以处于关闭状态和打开状态。位于上侧的机械臂对的开闭状态是通过分别安装于导轨滑块237和机械臂安装部件231a、231b的机械臂对开闭检测用传感器238a、238b(参照图5和图6)进行检测的。
图11是示意性地表示通过旋转机构22使开闭机构23旋转时的情况的图。如图所示，在旋转时可动保持架236下降。由此，导向从动件234a1、234a2、234b1、234b2能够沿着由固定保持架235和可动保持架236的内周面形成的圆形的开口平滑地旋转。通过该旋转，替换除了固定保持架235和可动保持架236之外的各部件的上下关系，也替换位于上侧的部件和位于下侧的部件的作用。
例如，若通过旋转使机械臂对21a位于上侧，则机械臂对21a能够开闭，位于下侧的机械臂对21b无法开闭。
对以上说明的反转机100的动作进行说明。
图12是表示反转机100进行自动运转时的步骤的流程图。初期状态是指位于上侧的机械臂对打开。首先，从基板搬运机械手接收基板W(步骤S91)。接着，关闭位于上侧的机械臂对(步骤S92)。并且，使机械臂对21a、21b旋转(步骤S93)。由此，基板W上下反转。
接着，打开位于上侧的机械臂对(步骤S94)。之后，将基板W交接到基板搬运机械手(步骤S95)。并且，再次关闭位于上侧的机械臂对(步骤S96)。进一步使机械臂对21a、21b旋转(步骤S97)。接着，打开位于上侧的机械臂对(步骤S98)。
对使用了以上说明的反转机100的基板研磨装置进行说明。
图13是示意性地表示基板研磨装置30的结构的图。基板研磨装置30具有研磨单元31、一个或多个清洗单元32a～32d、一个或多个反转机100a、100b、基板搬运机械手33a、33b以及一个或多个干燥单元34a、34b。
基板搬运机械手33a配置于均能够访问反转机100a和清洗单元32a～32d的位置。清洗单元32a～32d中的至少一个对基板W的正面进行清洗，其他中的至少一个对基板W的背面进行清洗。清洗单元32a～32d可以全部相同，也可以是不同的，一部分为笔型海绵而其他为辊型海绵等。
另外，基板搬运机械手33b配置于均能够访问清洗单元32c、32d和干燥单元34a、34b的位置，在设置有反转机100b的情况下也能够访问该反转机100b。
图14是对基板W的移动路线进行说明的图。图14(a)表示某基板W的移动路线。首先，通过研磨单元31研磨该基板W的表面。接着，基板搬运机械手33a从研磨单元31接收基板W并交接给清洗单元32a。清洗单元32a对基板W的正面进行清洗。接着，基板搬运机械手33a从清洗单元32a接收基板W并交接给清洗单元32b。清洗单元32b对基板W的正面进行清洗。
之后，基板搬运机械手33a从清洗单元32b接收基板W并交接给反转机100a。反转机100a将基板W上下反转。并且，基板搬运机械手33a从反转机100a接收基板W并交接给清洗单元32c。反转机100a在将基板W上下反转时无需将基板W载置到暂置台，因此能够迅速地进行从基板W的上下反转向清洗单元32c的交接。
清洗单元32c对基板W的背面、即与清洗单元32a、32b所清洗的面不同的面进行清洗。接着，基板搬运机械手33b从清洗单元32c接收基板W并交接给干燥单元34b。干燥单元34b使基板W干燥。
图14(b)表示其他的基板W的移动路线。该基板W在被反转机100a上下反转后，被搬运至清洗单元32d，接着被搬运至干燥单元34a。这样，能够根据基板W而采用不同的移动路线。
设置多个清洗单元、干燥单元，根据清洗单元的清洗处理的情况而适当选择基板W的移动路线，从而使基板处理的能力提高。
图15是示意性地表示其他的基板研磨装置30的结构的图。该基板研磨装置30具有两个清洗单元32a、32c和一个干燥单元34a。这样，通过使清洗单元32a、32c成为一排而能够使基板研磨装置30小型化。
像以上所说明的那样，本实施方式的反转机100构成为能够进行如下一系列动作：在接收基板时，保持关闭位于下侧的机械臂对而打开位于上侧的机械臂对，从而将基板载置到位于下侧的机械臂对，接着，关闭上侧的机械臂对来把持基板而通过机械臂对21a、21b夹住基板W，使它们旋转，接着，将通过反转动作而从下侧移动到上侧的机械臂对打开，从而进行基板的交接和反转，因此不需要暂置台而能够使反转机100小型化，并且能够迅速地使基板W上下反转。另外，通过在基板研磨装置30中设置这样的反转机100，而能够不使基板研磨装置30那么大型化，还效率良好地去除基板W的背面的污渍。
这样一来，本实施方式的反转机100能够由把持基板W的机械臂对21a、21b来进行基板的交接和反转的一系列动作，因此能够在不使用暂置台的情况下使基板W上下反转，能够使反转机100小型化。
上述的实施方式是以本领域的技术人员能够实施本发明为目的而记载的。只要是本领域技术人员，就自然能够想到上述实施方式的各种变形例，本发明的技术思想也可以应用于其他的实施方式。因此，本发明不限于所记载的实施方式，应该是依照依照权利要求所定义的技术思想的最广的范围。

Claims (15)

1.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：
第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；
第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对；
开闭机构，该开闭机构对所述第二机械臂对进行开闭以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及
旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对绕规定的轴线旋转，从而使所述基板上下反转，所述规定的轴线设定于所述第一机械臂对和所述第二机械臂的内侧且沿着所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的延伸方向。
2.根据权利要求1所述的反转机，其特征在于，
所述规定的轴线是所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的对称轴。
3.一种反转机，使基板上下反转，其特征在于，具有：
第一机械臂对，该第一机械臂对用于载置基板；
第二机械臂对，该第二机械臂对与所述第一机械臂对彼此相对，且构成为开闭自如以把持载置在所述第一机械臂对上的基板；以及
旋转机构，该旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述基板上下反转，并使得上下反转前的所述基板的位置与上下反转后的所述基板的位置大致一致。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的反转机，其特征在于，
该反转机构成为所述旋转机构使所述第一机械臂对和所述第二机械臂对旋转，从而使所述第一机械臂对的机械臂部件与所述第二机械臂对的机械臂部件的位置关系分别互换。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的反转机，其特征在于，具有：
第一冲洗喷嘴,该第一冲洗喷嘴对被把持的所述基板的上表面供给冲洗水；以及
第二冲洗喷嘴，该第二冲洗喷嘴对被把持的所述基板的下表面供给冲洗水。
6.根据权利要求5所述的反转机，其特征在于，
具有清洗槽，该清洗槽收纳所述第一机械臂对、所述第二机械臂对、所述第一冲洗喷嘴以及所述第二冲洗喷嘴。
7.根据权利要求6所述的反转机，其特征在于，
在所述清洗槽，在与所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对对应的位置设置有能够使所述基板进出的开口，
该反转机具有设置于所述开口的闸门。
8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的反转机，其特征在于，
构成所述第一机械臂对和所述第二机械臂对的机械臂部件具有至少三个用于把持所述基板的挡块。
9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的反转机，其特征在于，
还具有槽口校准器，该槽口校准器将设置于所述基板的槽口校正到规定位置。
10.根据权利要求3所述的反转机，其特征在于，
具有对所述第一机械臂对和所述第二机械臂对进行开闭的开闭机构。
11.根据权利要求10所述的反转机，其特征在于，
所述开闭机构具有：
第一弹性部件和第二弹性部件，该第一弹性部件和第二弹性部件向打开所述第一机械臂对的方向施力；
第一导向从动件，该第一导向从动件安装于所述第一弹性部件；
第二导向从动件，该第二导向从动件安装于所述第二弹性部件；
第三弹性部件和第四弹性部件，该第三弹性部件和第四弹性部件向打开所述第二机械臂对的方向施力；
第三导向从动件，该第三导向从动件安装于所述第三弹性部件；
第四导向从动件，该第四导向从动件安装于所述第四弹性部件；
固定保持架，该固定保持架以所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于下侧的机械臂对不打开的方式，对所述第一导向从动件、所述第二导向从动件、所述第三导向从动件以及所述第四导向从动件中的位于下侧的导向从动件进行固定；以及
可动保持架，该可动保持架以所述第一机械臂对和所述第二机械臂对中的位于上侧的机械臂对进行开闭的方式，使所述第一导向从动件、所述第二导向从动件、所述第三导向从动件以及所述第四导向从动件中的位于上侧的导向从动件在该机械臂对打开的位置与该机械臂对关闭的位置之间移动。
12.根据权利要求11所述的反转机，其特征在于，
在所述第一机械臂对和所述第二机械臂对关闭的状态下，由所述固定保持架和所述可动保持架形成圆形的开口，所述第一导向从动件、所述第二导向从动件、所述第三导向从动件以及所述第四导向从动件沿着该开口旋转，从而所述第一机械臂对和所述第二机械臂对以保持关闭的状态进行旋转。
13.一种基板研磨装置，其特征在于，具有：
研磨单元，该研磨单元对基板进行研磨；
权利要求1至12中的任意一项所述的反转机；
清洗单元，该清洗单元对基板进行清洗；以及
搬运装置，该搬运装置能够访问所述研磨单元、所述反转机以及所述清洗单元，且在各单元间或在各单元与所述反转机之间搬运所述基板。
14.根据权利要求13所述的反转机，其特征在于，
所述搬运装置将所述基板从对所述基板的第一面进行了清洗的清洗单元搬运至所述反转机，在通过所述反转机将所述基板上下反转后，将所述基板从所述反转机搬运至对所述基板的第二面进行清洗的清洗单元。
15.根据权利要求13或14所述的反转机，其特征在于，
该基板研磨装置具有多个清洗单元，
与对所述基板的第一面进行清洗的清洗单元不同的清洗单元对所述基板的第二面进行清洗。
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