CN105987688B - 角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体 - Google Patents

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6477100B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP6477101B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP6582501B2 (ja) * 2015-04-02 2019-10-02 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子機器および移動体
US11656078B2 (en) * 2017-08-29 2023-05-23 Kyocera Corporation Sensor element and angular velocity sensor

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08128833A (ja) * 1994-10-28 1996-05-21 Yoshiro Tomikawa 振動型ジャイロスコープ
JP2000002541A (ja) * 1998-04-16 2000-01-07 Murata Mfg Co Ltd 振動ジャイロ
JP2001208545A (ja) * 2000-01-28 2001-08-03 Nec Corp 圧電振動ジャイロスコープ
JP2001255152A (ja) * 2000-03-07 2001-09-21 Nec Corp 圧電振動ジャイロスコープおよびその周波数調整方法
JP2002243451A (ja) 2001-02-19 2002-08-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサおよびその特性調整方法
WO2004079296A1 (ja) * 2003-03-06 2004-09-16 Nec Corporation 六脚型圧電振動ジャイロスコープ
JP4415382B2 (ja) * 2005-01-20 2010-02-17 セイコーエプソン株式会社 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ
JP2008096138A (ja) * 2006-10-06 2008-04-24 Sony Corp 角速度センサの製造方法および角速度センサ
JP2008157748A (ja) * 2006-12-22 2008-07-10 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
US20100116052A1 (en) * 2007-03-20 2010-05-13 Citizen Holdings Co., Ltd. Piezoelectric vibrator, and vibration gyro
JP5786303B2 (ja) * 2009-12-10 2015-09-30 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器
JP5652155B2 (ja) 2010-11-24 2015-01-14 セイコーエプソン株式会社 振動片、センサーユニット、電子機器、振動片の製造方法、および、センサーユニットの製造方法
JP2013024721A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Seiko Epson Corp 振動ジャイロ素子、ジャイロセンサー及び電子機器
JP2013178179A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Seiko Epson Corp センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器
JP2013192013A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Seiko Epson Corp 振動素子、振動デバイスおよび電子機器
JP6078968B2 (ja) 2012-03-29 2017-02-15 セイコーエプソン株式会社 振動片の製造方法
JP2014021038A (ja) * 2012-07-23 2014-02-03 Seiko Epson Corp 振動片、振動片の製造方法、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6074967B2 (ja) * 2012-09-20 2017-02-08 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6171475B2 (ja) * 2013-03-28 2017-08-02 セイコーエプソン株式会社 振動片の製造方法
JP2015087262A (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子機器および移動体
JP6399283B2 (ja) * 2014-03-24 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP2015184157A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 セイコーエプソン株式会社 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP2016085190A (ja) * 2014-10-29 2016-05-19 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動素子の製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP2016085192A (ja) * 2014-10-29 2016-05-19 セイコーエプソン株式会社 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体
JP2016086383A (ja) * 2014-10-29 2016-05-19 セイコーエプソン株式会社 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体
JP2016090254A (ja) * 2014-10-30 2016-05-23 セイコーエプソン株式会社 振動素子、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6477101B2 (ja) * 2015-03-23 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体
JP6582501B2 (ja) * 2015-04-02 2019-10-02 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子機器および移動体
US20170059393A1 (en) * 2015-08-26 2017-03-02 Seiko Epson Corporation Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object

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