CN105874342A - 电子零件搬送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电子零件搬送装置，其在夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置中，不会丧失高速搬送的优点，而能够使载台与结构物夹着搬送路径而相向配置。电子零件搬送装置包括：旋转平台21，具有遍及整周而具备相同半径的圆形状；以及进退驱动部25，被固定设置在旋转平台21的最外径部所通过的轨迹的上方，使夹盘22朝载台兼下侧触点412下降。在载台兼下侧触点412的上方，空开供夹盘22进入的余地而设置相向的上侧触点411。夹盘22是在旋转平台21的外缘以平台的一间距的旋转角的二倍角的间距而设，且朝向平台外侧水平延伸。在停止位置24中的、载台兼下侧触点412与上侧触点411的相邻处设定夹盘22的退避位置41a。

Description

电子零件搬送装置

技术领域

本发明涉及一种搬送电子零件的电子零件搬送装置。

背景技术

电子零件在制造过程中要对各种检查项目进行检查，筛选(screening)出合格品后，将多个汇总捆包以便出货。对于检查项目，具代表性的是电气特性的测定。电气特性是电子零件的电压、电流、电阻、频率或针对逻辑(logic)信号的响应。在电气特性的测定时，将被称作触点(contact)的通电接触件抵住电子零件的电极，以进行电流注入、电压施加或逻辑信号的输入。然后，对输出进行分析以进行合格品判定。

有一种在表背两面具备外部连接用电极的电子零件。例如是作为对高电压或大电流进行开关的功率(power)半导体元件而使用的绝缘栅极(gate)型双极晶体管(bipolar transistor)、SiC双极晶体管等。针对具有两面电极的电子零件的电气特性测定单元是使载台兼下侧触点与上侧触点隔开间隔而相向配置，且使上侧触点可下降。载台兼下侧触点载置电子零件，而且电性接触于下表面电极(例如参照专利文献1)。

而且，为了对各种检查项目进行检查，须从托盘(tray)或晶片(wafer)取出电子零件并予以搬送，而作为该搬送的用途，具代表性的有旋转搬送方式的电子零件搬送装置。其中，有夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置，其在旋转平台(turret table)的外周将吸附夹盘(chuck)等配置于圆周等配位置处，通过旋转平台的间歇性的旋转来排列搬送电子零件(例如参照专利文献2)。该夹盘外周设置型旋转搬送方式具有下述优点，即，既能达成旋转搬送方式的高速搬送，又能通过夹盘来自行进行电子零件相对于搬送路径的接纳及排出。

该电子零件搬送装置沿着旋转平台所构成的搬送路径来配置各检查项目的单元，从而电子零件搬送装置一边搬送电子零件，一边对各检查项目进行检查。各单元被配置在基于旋转平台的间歇旋转的夹盘停止位置正下方，夹盘通过下降而将电子零件载置于各单元，使电子零件接受检查项目的检查。即，在各停止位置的正上方，换言之，在单元的载台正上方，固定设置有下按夹盘的进退驱动部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2010-276621号公报

专利文献2：日本专利特开2010-135398号公报

发明内容

发明所要解决的问题

夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置通过高速搬送与相对于搬送路径的自行供给及排出，而带来电子零件生产效率的飞跃性的提高。然而，以往，在该电子零件搬送装置所形成的搬送路径中，无法纳入对两面电极的电子零件的电气特性进行测定的电气特性测定单元。

即，旋转平台具有圆盘形状，且在外缘具备夹盘。若要在夹盘的停止位置的正下方配置电气特性测定单元的载台，则旋转平台的外缘会始终位于上侧触点与载台兼下侧触点之间。因此，上侧触点无法朝向被载置于载台兼下侧触点的电子零件下降。

而且，在夹盘的停止位置，除了旋转平台的外缘以外，还固定地设置有进退驱动部。从夹盘下端直至进退驱动部上端为止的高度超过上侧触点与载台兼下侧触点之间的空间的高度。因此，将使上侧触点与载台兼下侧触点相向配置的电气特性测定单元配置到搬送路径中，在物理上是不可能的。即使将上侧触点与载台兼下侧触点之间扩大，但只要进退驱动部与旋转平台始终存在，便无法使上侧触点下降。

可考虑从夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置所构成的搬送路径暂时卸载(unload)电子零件，利用往复移动装置(shuttle)等来使电子零件在该搬送路径与电气特性测定单元之间往复。但是，难以使往复移动装置的往复与旋转平台的高速的搬送速度一致，若采用该方式，则电子零件搬送装置的动作将全部受限于往复移动装置的搬送速度。即，夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置所具备的高速搬送这一优点将丧失。

本发明是为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于，在夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置中，不会丧失高速搬送的优点，而能够测定两面电极的电子零件的电气特性。

而且，除了电气特性测定单元以外，在必须使载台与结构物夹着搬送路径而相向配置的情况下，也同样难以纳入夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置中。因此，本发明的目的在于进一步提供一种电子零件搬送装置，其在夹盘外周设置型旋转搬送方式的电子零件搬送装置中，不会丧失高速搬送的优点，而能够使载台与结构物夹着搬送路径而相向配置。

解决问题的技术手段

本发明的电子零件搬送装置的第一形态是一种搬送电子零件的电子零件搬送装置，其特征在于包括：旋转平台，具有遍及整周而具备相同半径的圆形状，在圆周方向上间歇性地逐次旋转规定旋转角；夹盘，在所述旋转平台的外缘以所述旋转角的二倍角的间距而设，呈放射状地朝向平台外侧水平延伸，且保持电子零件；各停止位置，在将中心设为与所述旋转平台相同的圆周上，设定在以所述旋转平台的所述旋转角分割而成的各点，供所述夹盘停止；载台，配置在所述夹盘的各停止位置的至少一处，通过所述夹盘来载置电子零件；结构体，在所述载台的上方空开供所述夹盘进入的余地而相向配置；以及退避位置，设定在所述夹盘的停止位置中的、所述载台及所述结构体的相邻处，在利用所述载台来处理电子零件的期间，供所述夹盘从所述载台与所述结构体退避。

而且，本发明的电子零件搬送装置的第二形态是一种搬送电子零件的电子零件搬送装置，其特征在于包括：旋转平台，在圆周方向上间歇性地逐次旋转规定旋转角；夹盘，在所述旋转平台的外缘以所述旋转角的二倍角的间距而设，呈放射状地朝向平台外侧水平延伸，且保持电子零件；各停止位置，在将中心设为与所述旋转平台相同的圆周上，设定在以所述旋转平台的所述旋转角分割而成的各点，供所述夹盘停止；载台，配置在所述夹盘的各停止位置的至少一处，通过所述夹盘来载置电子零件；进退驱动部，被固定设置在所述旋转平台的最外径部所通过的轨迹的上方，使所述夹盘朝向所述载台下降；结构体，在所述载台的上方空开供所述夹盘进入的余地而相向配置；以及退避位置，设定在所述夹盘的停止位置中的、所述载台及所述结构体的相邻处，在利用所述载台来处理电子零件的期间，供所述夹盘从所述载台与所述结构体退避。

也可更包括：处理单元，配置在从所述退避位置数起隔一个的所述停止位置的至少一处，进行与所述载台上的处理不同的处理。

所述各停止位置也可包含：第一种停止位置，为从所述载台及所述结构体的设置位置数起隔一个的至少一处，仅供所述夹盘拾取电子零件或使电子零件脱离而不进行所述不同的处理；以及第二种停止位置，为从所述退避位置数起隔一个的至少一处，进行所述第一种停止位置处的拾取或脱离所需的时间以上、且小于所述载台上的处理时间的所述不同的处理。

也可包括多组所述载台与所述结构体，各组被设置在从一组数起隔一个的所述停止位置中的任一处，在所述各组的各自相邻处具有所述退避位置。

也可包括电气特性测定单元，所述电气特性测定单元对具有两面电极的电子零件的电气特性进行测定，所述电气特性测定单元包括：所述载台，载置电子零件，并且具有与电子零件的下表面电极接触的通电接触件；以及作为通电接触件的所述结构体，与被载置于所述载台的电子零件的上表面电极接触。

所述结构体也可朝向所述载台的电子零件下降，并且在从下降的返回位置，空开供所述夹盘进入的余地而静止。

所述不同的处理的处理单元也可以是对电子零件的外观进行检查的外观检查单元、对电子零件的姿势进行修正的检查辅助单元、或收容电子零件并且判定收容妥当的收容单元。

所述夹盘也可具有从所述旋转平台朝下方延伸并在中途朝水平方向弯曲的L字形状，所述弯曲位置被设为所述结构体与所述载台之间的高度。

发明效果

根据本发明，能够使载台与结构物夹着电子零件的搬送路径而相向配置，因此不会丧失电子零件的高速搬送性，而能够实现借助该载台与结构物对电子零件的处理。

附图说明

图1是本实施方式的电气特性测定单元的侧面图。

图2是表示本实施方式的电子零件搬送装置的整体结构的图。

图3是从侧面观察本实施方式的电子零件搬送装置的局部放大图。

图4是表示本实施方式的电子零件的电气特性的测定例程(routine)前半部分的迁移图。

图5是表示本实施方式的电子零件的电气特性的测定例程后半部分的迁移图。

图6表示本实施方式的其他夹盘的状态与各停止时间，(a)是表示第1状态的状态图，(b)是表示第1状态的停止时间的时间图。

图7表示本实施方式的其他夹盘的状态与各停止时间，(a)是表示第2状态的状态图，(b)是表示第2状态的停止时间的时间图。

图8表示本实施方式的其他夹盘的状态与各停止时间，(a)是表示第3状态的状态图，(b)是表示第3状态的停止时间的时间图。

图9表示本实施方式的其他夹盘的状态与各停止时间，(a)是表示第4状态的状态图，(b)是表示第4状态的停止时间的时间图。

图10表示本实施方式的其他夹盘的状态与各停止时间，(a)是表示第5状态的状态图，(b)是表示第5状态的停止时间的时间图。

具体实施方式

(电气特性测定单元)

首先，参照图1来详细说明本实施方式的电子零件搬送装置所具备的电气特性测定单元。如图1所示，电气特性测定单元41测定电子零件W的电气特性。该电气特性测定单元41电性接触于电子零件W的电极，对电子零件W进行电压施加或电流注入，以检查电气特性。电气特性是相对于对电子零件W的电流注入或电压施加的、电子零件W的电压、电流、电阻、频率或相对于逻辑信号的输出信号等。

电子零件W是被用于电气制品的零件，是将半导体元件等封装(packaging)而成。作为半导体元件，可列举晶体管(transistor)、二极管(diode)、电容器或电阻等离散半导体或集成电路等。该电子零件W具有在表背两面具备外部连接用电极的两面电极封装。

针对具有两面电极的电子零件W的电气特性测定单元41具备载台兼下侧触点412与上侧触点411。载台兼下侧触点412载置电子零件W，而且作为通电接触件而与电子零件W的底面电极电性接触。载台兼下侧触点412也有时分离地具有载置电子零件W的载台和接触至下表面电极的下侧触点，从载台的背面插入下侧触点。

上侧触点411是与电子零件W的上表面电极接触的通电接触件。上侧触点411是由高度比载台兼下侧触点412高的上侧基座(base)413予以支撑。上侧触点411从上侧基座413朝电子零件W的搬送路径2(参照图2)侧伸出而受到支撑，并延伸至载台兼下侧触点412的正上方为止。

该上侧触点411可升降。上侧触点411通过升降来相对于载台兼下侧触点412而接近及远离。即，电气特性测定单元41具备使上侧触点411升降的升降驱动部414。升降驱动部414是将旋转运动转换为上侧触点411的直线运动的驱动源及传动机构的模块(module)。

该升降驱动部414包含拉伸弹簧415、马达(motor)416及凸轮(cam)417和凸轮从动件(cam follower)418。拉伸弹簧415对上侧基座413进行施力，以使上侧触点411朝向载台兼下侧触点412。马达416具有水平延伸的旋转轴。水平是与上侧触点411和载台兼下侧触点412的排列正交的方向。凸轮417被支撑于马达416的旋转轴，具有扁平形状，在周面构成凸轮面。凸轮从动件418被固定于上侧基座413的底面，从上侧抵接于凸轮417，从动于凸轮面。

当凸轮从动件418朝向凸轮417的短径部位从动时，拉伸弹簧415的朝向下方的施加力发挥作用，上侧触点411朝向载台兼下侧触点412下降。当凸轮从动件418朝向凸轮417的长径部位从动时，上侧触点411克服拉伸弹簧415而被上抬至上方，以保持固定距离的方式离开载台兼下侧触点412。

该电气特性测定单元41在载台兼下侧触点412上载置电子零件W时，使上侧触点411下降。然后，使载台兼下侧触点412接触至下表面电极，使上侧触点411接触至上表面电极，进行电流注入、电压施加或逻辑信号的输入，并对输出信号进行分析。

(电子零件搬送装置的结构)

图2是具备该电气特性测定单元的电子零件搬送装置的整体结构图。图3是从侧面观察电子零件搬送装置的局部放大图。图2及3所示的电子零件搬送装置1搬送电子零件W，以便进行包含电气特性的测定的各种检查项目的测定。该电子零件搬送装置1构成电子零件W的搬送路径2，沿着搬送路径2而配置有各种单元。各种单元是供给单元3、包含电气特性测定单元41的各种检查单元、检查辅助单元5、排出容器6及收容单元7。本实施方式中，作为检查单元，进而具备外观检查单元42。

搬送路径2包含旋转平台21与夹盘22。旋转平台21是沿水平方向展开，且遍及整周而具有相同半径的圆形状的圆盘。旋转平台21的驱动源是直驱马达(direct drive motor)23。直驱马达23连接于旋转平台21的底面，支撑旋转平台21，并且使旋转平台21在圆周方向上间歇性地逐次旋转规定角度。

夹盘22被安装在旋转平台21的外缘。因此，夹盘22通过旋转平台21的间歇旋转而依序停止于各停止位置24。换言之，停止位置24是在将中心设为与旋转平台21相同的圆周上，设置在以旋转平台21的一间距的旋转角分割而成的各点。该夹盘22从旋转平台21的外缘水平延伸。该夹盘22在远离旋转平台21的前端保持电子零件W。即，搬送路径2是夹盘22的前端所通过的轨迹，形成在旋转平台21的外侧一圈。夹盘22的种类并无特别限定，夹盘22例如为吸附夹盘。

作为吸附夹盘的夹盘22在内部具有中空管。在夹盘22的前端，具有朝向下方的开口22a，开口22a连接于中空管。中空管在开口22a的相反侧，与真空泵(bump)或喷射器(ejector)等负压产生装置的空气压回路连通。该夹盘22通过在空气压回路中产生负压，从而利用开口22a来吸附电子零件W，当进行真空破坏或大气释放时，失去抽吸力而使电子零件从开口22a脱离。

夹盘22经由轴承或滑块(slider)而安装于旋转平台21的外缘，从而可升降。夹盘22通过升降而从供给单元3接受电子零件W，并与检查辅助单元5、电气特性测定单元41或外观检查单元42交接电子零件W。尤其，夹盘22在电气特性测定单元41的载台兼下侧触点412上载置未测定电气特性的电子零件W，而且，从载台兼下侧触点412回收电气特性测定已结束的电子零件W。

夹盘22通过被进退驱动部25下按而下降。进退驱动部25被设置在旋转平台21的外缘正上方。夹盘22的底端位于从进退驱动部25延伸的铅垂线上。进退驱动部25与旋转平台21无固定关系，进退驱动部25的位置固定。该进退驱动部25具有马达、凸轮机构及杆(rod)，利用凸轮机构将马达的旋转力转换为直线运动并传递给杆。杆朝向夹盘22的停止位置24延伸，从上方抵接至位于停止位置24的夹盘22的底端，进一步将夹盘22下按至下方。

对各单元3、41、42、5、6、7、夹盘22、进退驱动部25及旋转平台21的配置关系进行说明。如图3所示，夹盘22维持进入电气特性测定单元41的上侧触点411与载台兼下侧触点412之间的高度而延伸。换言之，上侧触点411与载台兼下侧触点412较旋转平台21的外缘及进退驱动部25而设置在平台半径方向外方，在上侧触点411与载台兼下侧触点412之间无旋转平台21的外缘与进退驱动部25。

另外，在上侧触点411和载台兼下侧触点412之间的空间与旋转平台21的高度不一致的情况下，通过将夹盘2设为从底端朝下侧延伸并在中途朝外侧弯曲的L字形状，而能够延伸为该空间的高度。

而且，如图2所示，夹盘22的停止位置24的数量为夹盘22的配置数的二倍。即，夹盘22在旋转平台21的周围配置在圆周等配位置处，若将该配置间隔设为角度2a，则直驱马达23使旋转平台21逐一间距地逐次旋转角度a。例如，对16台夹盘22设定有32处停止位置24。

各单元3、41、42、5、6、7被设置在夹盘22的停止位置24中的任一处。电子零件搬送装置1使电子零件W沿着搬送路径2而搬送，并至少在各单元3、41、42、5、6、7处停止，在停止过程中，使各单元3、41、42、5、6、7处理电子零件W。

电气特性测定单元41设置有两台，空开一个停止位置24而分别配置于停止位置24。两台电气特性测定单元41各自相邻的停止位置24是电气特性测定时段内的夹盘22的退避位置41a，为未配置单元的空位。例如，退避位置41a被设定在电气特性测定单元41的搬送方向下游侧。

外观检查单元42、检查辅助单元5及收容单元7被配置在从退避位置41a数起隔一个的停止位置24中的任一处。供给单元3及排出容器6被配置在从电气特性测定单元41的配置位置数起隔一个的停止位置24中的任一处。即，在设有偶数处停止位置24的情况下，外观检查单元42、检查辅助单元5及收容单元7被配置在从电气特性测定单元41数起的第奇数个停止位置24，供给单元3及排出容器6被配置在第偶数个停止位置24。

此处，供给单元3将电子零件W供给至搬送路径2。供给单元3例如是滑移装置、托盘移动装置或晶片支架(wafer holder)装置等不进行针对电子零件W的处理的单元。滑移装置通过振动来排列搬送大量收容在研钵状容器中的电子零件W，使它们移动到搬送路径2的入口。托盘移动装置使托盘沿正交二轴方向移动。托盘被分隔成格子状，在各格子内收容电子零件W。通过使托盘在沿着托盘的展开平面的正交二轴方向上移动，而使各格子内的电子零件W移动到搬送路径2的入口。晶片支架装置使晶片环(wafer ring)沿正交二轴方向移动。晶片环使电子零件W排列成阵列状。通过使晶片环在沿着晶片环的展开平面的正交二轴方向上移动，而使各电子零件W移动到搬送路径2的入口。在供给单元3与搬送路径W之间，也有时会设置对电子零件W进行中继的旋转式拾取器(rotary pickup)。

排出容器6是仅接受检查结果并非良好的电子零件W，而不进行针对电子零件W的处理的单元。而且，收容单元7收容检查结果为良好的电子零件W。该收容单元7例如为卷带(taping)装置、管(tube)装置、托盘移动装置或晶片支架装置等，是包含收容是否妥当的判定处理的单元。卷带装置是使收纳袋(pocket)沿着带长边方向排列的载带(tape)移行的装置，使各收纳袋移动到搬送路径2的出口。管装置使收容电子零件W的管移动。

检查辅助单元5进行预先修正要接受检查的电子零件W的姿势的处理，以提高检查精度。检查辅助单元5具有载置电子零件W的XYθ载台。XYθ载台在沿着载台平面的正交二轴方向上移动，而且以与载台平面垂直的轴来旋转。检查辅助单元5将从搬送路径2交付的电子零件W载置于XYθ载台，使XYθ载台移动及旋转，从而修正电子零件W的朝向及位置。该检查辅助单元5具备对电子零件W进行拍摄的照像机(camera)，对图像内的电子零件W的朝向及位置进行分析，以控制XYθ载台的移动量及旋转量。

外观检查单元42利用照像机来拍摄电子零件W，对电子零件W进行图像分析，以检测表面有无划痕或污垢。

这些各单元3、41、42、5、6、7中，若将电气特性测定单元41的测定时间设为A，外观检查单元42、检查辅助单元5及收容单元7的处理的最长时间设为B，供给单元3及排出容器6的处理的最长时间设为C，则A≥B＞C。即，一般而言，电气特性测定单元41的测定时间达到长时间。电子零件W相对于搬送路径2的供给及排出则在相对短时间内完成。电子零件W的外观检查、电子零件W的姿势修正及电子零件W的收容比相对于搬送路径2的供给及排出耗费时间，但达不到电气特性测定单元41的测定时间。

即，该电子零件搬送装置1中，以此种中等程度的时间B完成处理的单元42、5、7是配置在从退避位置41a数起隔一个的停止位置24。以短时间C完成处理的单元3、6是配置在从电气特性测定单元41的配置位置数起隔一个的停止位置24。但是，若停止位置24存在余裕，则以短时间C完成处理的单元也可配置在从退避位置41a数起隔一个的停止位置24。

(电气特性测定控制)

对此种电子零件搬送装置1的控制形态进行说明。如图4及5所示，电子零件搬送装置1在为两台电气特性测定单元41准备电气特性未测定的电子零件W的阶段(图中为从阶段(a)向阶段(d)依序迁移)，将电子零件W载置于载台兼下侧载台412(图中为阶段(e))。此时，在各电气特性测定单元41的上侧触点411与载台兼下侧触点412之间，介隔有夹盘22(图中，阶段(e))。

接下来，载置有电子零件W的两夹盘22移动一间距而移动到退避位置41a(图中为阶段(f))。此时，夹盘22从各电气特性测定单元41的上侧触点411与载台兼下侧触点412之间离开，在此期间，结构物除了电子零件W以外不介隔(图中为阶段(f))。因而，电气特性测定单元41在两夹盘22移动到退避位置41a的阶段，开始电气特性的测定(图中为阶段(g))。即，电气特性测定单元41使上侧触点411接近载台兼下侧触点412，利用上侧触点411接触至上表面电极，并且利用载台兼下侧触点412接触至下表面电极，开始电流注入或电压施加，对来自电子零件W的输出信号进行分析。

当电气特性的测定结束时，使上侧触点411上升，载置有电子零件W的两夹盘22返回一间距而从退避位置41a移动到电气特性测定单元41(图中为阶段(h))，接受电气特性测定已结束的电子零件W(图中为阶段(i))。然后，保持有电气特性测定已结束的电子零件W的夹盘22朝向远离电气特性测定单元41的方向移动(图中为阶段(j))。

保持有未测定电气特性的电子零件W的下对(pair)夹盘22在前对经过阶段(g)之后，依序重复该阶段(a)至阶段(j)，以对排列搬送的电子零件W的电气特性进行测定。即，旋转平台21反复进行使夹盘22前进3间距，继而后退一间距的旋转例程。另外，若设置N台电气特性单元41，则一次旋转例程由2N+1次前进与一次后退构成。

(整体控制)

进而，该旋转例程中所含的各停止时间不同。首先，如图6所示，保持有未测定电气特性的电子零件W的先头的夹盘22A到达最初的电气特性测定单元41时的第一种停止时间，是可进行电子零件W相对于搬送路径2的供给或排出的最短时间C。

当先头的夹盘22A到达最初的电气特性测定单元41时，该先头的夹盘22A在保持有电子零件W的状态下持续静止。另一方面，另一夹盘22B到达供给单元3，而且，其他夹盘22F、夹盘22G到达排出容器6，分别进行电子零件W的拾取与电子零件W的排出。即，最短的停止时间是夹盘22B的下降、电子零件的保持及夹盘22B的上升这一连串的工序，或者夹盘22F、夹盘22G对电子零件W的脱离中的任一较慢者。一般而言，夹盘22B的一连串工序较慢。

搬送路径2上的检查辅助单元5、外观检查单元42及收容单元7被设置在从电气特性测定单元41相邻的退避位置41a数起隔一个的停止位置24，由于夹盘22未到达，因此这些单元5、42、7不工作，该第一种停止时间并不限制于这些单元5、42、7的处理时间。

第一种停止时间经过后，如图7所示，所有的夹盘22移动一间距。然后，保持有未测定电气特性的电子零件W的先头的夹盘22A到达位于最初的电气特性测定单元41的相邻处的退避位置41a。此时刻(timing)的第二种停止时间为检查辅助单元5、外观检查单元42或收容单元7中的最长时间，是比电气特性的测定时间短的时间B。

即，在此时刻，其他夹盘22B、夹盘22G、夹盘22F在保持有电子零件W的状态下，到达检查辅助单元5、外观检查单元52及收容单元7。然后，在检查辅助单元5中，执行夹盘22B的下降、电子零件W朝XYθ载台的脱离、夹盘22B的上升、XYθ载台的变化、夹盘22B的再下降、电子零件W从XYθ载台的拾取、及夹盘22B的再上升这一连串的工序。在外观检查单元42中，进行电子零件W的拍摄。在收容单元7中，执行夹盘22F的下降、电子零件W朝收容部位的脱离、妥当收容与否的检查、夹盘22F的上升这一连串的工序。所述各一连串的处理需要比最短时间C长的时间，停止时间B为所述各一连串处理的最长时间。

第二种停止时间经过后，如图8所示，夹盘22再次移动一间距。然后，保持有未测定电气特性的电子零件W的一对夹盘22A、夹盘22B到达各电气特性测定单元41。此时刻的停止时间可与第一种停止时间相同。在此时刻，这一对夹盘22A、夹盘22B仅向电气特性测定单元41上载置电子零件W，不进行电气特性测定单元41的处理。而且，任何夹盘22均未到达检查辅助单元5、外观检查单元42及收容单元7。仅有夹盘22A、夹盘22B、夹盘22C、夹盘22G、夹盘22H位于供给单元3、排出容器6及电气特性测定单元41。因而，在电气特性搬送装置1中，仅进行电子零件W的拾取、向载台兼下侧触点412的载置及排出。

另外，在此时刻，也可不执行电子零件W从供给单元3的拾取。因为在2次前的停止时刻会发生相同状况。比起在此时刻拾取电子零件W，在二次前的停止时刻拾取电子零件W的做法可使电子零件W的搬送路径2中的间歇移动的次数变少，受到因急停止及急加速造成的惯性力的次数减少，因此电子零件W发生偏离的可能性下降。

如图9所示，夹盘22进一步移动一间距，向电气特性测定单元41载置电子零件W的夹盘22A、夹盘22B移动到退避位置41a时的第三种停止时间是可进行电气特性测定的最长时间A。在此时刻，对于电子零件W，向载台兼下侧触点412载置电子零件W的夹盘22A、夹盘22B位于退避位置41a，因此上侧触点411与载台兼下侧触点412之间不存在结构体，使上侧触点411下降便可与上侧电极接触。

因此，在此时刻进行电气特性的测定。另一方面，在此时刻，夹盘22C、夹盘22H、夹盘22G在保持有电子零件W的状态下，到达检查辅助单元5、外观检查单元42及收容单元7。因此，在此时刻，也进行检查辅助、外观检查及收容。但是，这些检查辅助、外观检查及收容的时间短于电气特性的测定，因此在此时刻成为最长时间A的停止时间。

伴随电气特性测定的第三种停止时间经过后，如图10所示，夹盘22A、夹盘22B再次后退至电气特性测定单元41。然后，夹盘22A、夹盘22B再次保持电气特性测定已结束的电子零件W。此时刻的停止时间可与第一种停止时间相同。在此时刻，这一对夹盘仅从电气特性测定单元41拾取电子零件W。而且，仅有检查辅助及外观检查已结束的电子零件W返回检查辅助单元5、外观检查单元42及收容单元7。

另外，在为电气特性测定单元41准备电子零件W的时刻，若夹盘22C尚未从供给单元拾取电子零件W，则只要在此时刻拾取即可。

(作用效果)

如上所述，对于电子零件搬送装置1，有时采用构成搬送路径2的旋转平台21遍及整周而具有相同半径的夹盘外周设置型旋转搬送形式。在该电子零件搬送装置1中，使保持电子零件W的夹盘22呈放射状地朝向平台外侧水平延伸。由此，即使在通过夹盘22来载置电子零件W的载台兼下侧触点412的上方配置上侧触点411，也仅有夹盘22进入载台兼下侧触点412与上侧触点411之间，上侧触点411与旋转平台21不会发生接触，因此可在载台兼下侧触点412上载置电子零件W。

而且，将夹盘22以旋转平台21的间歇旋转角的二倍角的间距而设置于旋转平台21的外缘，并在载台兼下侧触点412及上侧触点411的相邻处设定供夹盘22退避的退避位置41a。由此，载台兼下侧触点412与上侧触点411对电子零件W的处理不会被夹盘22妨碍。尤其，上侧触点411不会被夹盘22妨碍，而能够下降以接触至电子零件W的上表面电极。

因而，根据该电子零件搬送装置1，即使采用构成搬送路径2的旋转平台21遍及整周而具有相同半径的夹盘外周设置型旋转搬送形式，也能够将电气特性测定单元41设置于旋转平台21所构成的搬送路径2上，从而能够在该搬送路径2上对具有两面电极的电子零件W的电气特性进行测定。即，能够在仅由夹盘外周设置型旋转搬送形式所构成的搬送路径2上，对具有两面电极的电子零件W的电气特性进行测定。因而，能够利用旋转搬送形式的优点即高速搬送来处理具有两面电极的电子零件W，从而生产效率提高。

若将旋转平台21设为臂(arm)呈放射状延伸的星形，则在臂间，旋转平台21可能不位于载台兼下侧触点412与上侧触点411之间。然而，在电子零件搬送装置1中，为了将电子零件W载置于载台兼下侧触点412，有时将使夹盘22朝向载台兼下侧触点412下降的进退驱动部25固定设置在旋转平台21的最外径部所通过的轨迹的上方。在此情况(case)下，通过使夹盘22呈放射状地朝向平台外侧水平延伸，从而上侧触点411与进退驱动部25也不会接触，而能够将电子零件W载置于载台兼下侧触点412。

因而，在具有该进退驱动部25的电子零件搬送装置1中，也能够在仅由旋转搬送形式构成的搬送路径2上对具有两面电极的电子零件W的电气特性进行测定。因而，能够利用旋转搬送形式的优点即高速搬送来处理具有两面电极的电子零件W，从而生产效率提高。

另外，除了电气特性测定单元41以外，还有在下侧设置载台，并与该载台相向地配置结构体的示例。例如，有时也想要从载台的正上方利用照像机来拍摄电子零件。即，也有时除了上侧触点411以外，还有激光打标(lasermarking)装置或照像机等其他结构体也位于载台的上方。该电子零件搬送装置1即使在必须将此类上侧触点411以外的结构体配置于载台上方的情况下，也无须从包含旋转平台21的搬送路径2暂时脱离，能够在包含旋转平台21的搬送路径2上将结构体的作用赋予电子零件W，发挥旋转搬送形式的优点即高速搬送，从而能够提高生产效率。

而且，退避位置41a既可配置在从电气特性测定单元41观察时的搬送方向下游侧的相邻处，也可配置在搬送方向上游侧的相邻处。夹盘22除了吸附夹盘以外，也可配设静电夹盘、伯努利吸盘(Bernoulli chuck)、或具有夹具来机械夹持的夹盘。

进而，相对于旋转平台21的间歇旋转角的间距而将夹盘22的配置设为二倍角的间距，因此存在从电气特性测定单元41数起隔一个的停止位置24的群、与从退避位置41a数起隔一个的停止位置24的群。该电子零件搬送装置1中，在其中的从退避位置41a数起隔一个的停止位置24处，配置进行与电气特性测定单元41不同的处理的处理单元5、42、7。

向电气特性测定单元41载置电子零件W的夹盘22位于退避位置41a时的停止时间受到电气特性测定限制而为长时间C。根据该电子零件搬送装置1，在伴随该电气特性测定的长时间C的停止时，能够在其他夹盘22已停止的处理单元5、42、7中进行其他处理。换言之，在仅向电气特性测定单元41载置电子零件W的时刻，不进行其他处理，从而能够缩短此时刻的停止时间。即使在电气特性测定包含在检查项目中的情况下，也能够使电子零件搬送装置一对电子零件W的搬送进一步高速化，从而能够进一步提高生产效率。

作为不同的处理的处理单元，可列举对电子零件W的外观进行检查的外观检查单元42、对电子零件W的姿势进行修正的检查辅助单元5、及收容电子零件W并且判定收容妥当的收容单元7。除此以外，如果是进行要耗费的时间为电子零件W的拾取及排出以上的处理的处理单元，则只要放置在从退避位置41a数起隔一个的停止位置24处即可。

另一方面，在从电气特性测定单元41的设置位置数起隔一个的停止位置24处，也可不进行处理，而是设置供给单元3或排出容器6，仅供夹盘22拾取电子零件W或使电子零件W脱离。这样，由于在电气特性测定单元41处进行电子零件W的载置，因此夹盘22对电子零件W的拾取或脱离不会对停止时间造成影响。另一方面，通过灵活运用该停止位置，也能够避免旋转平台21的大型化。

进而，具备两台电气特性测定单元41，各电气特性测定单元41是设置在从一个电气特性测定单元41数起隔一个的停止位置24的任一处，且在各电气特性测定单元41的各相邻处具有退避位置41a。在此形态中，为所有电气特性测定单元41准备好电子零件W后，便能同时测定电气特性。

由此，在1次电气特性的测定中，2个电子零件W便测定结束，因此在电子零件W被供给至搬送路径2直至排出为止的期间内，电气特性测定的发生次数变少，电子零件搬送装置1的搬送速度提高。

另外，电气特性测定单元41并不限于两台，可设置多台，电气特性的测定发生次数是与设置台数成反比地变少，从而能够提高电子零件W的搬送速度。而且，即使是电气特性测定单元41以外的处理单元，也可将同一种设置多台，对所有处理单元准备好电子零件W后进行处理。

(其他实施方式)

如上所述，对本发明的各实施方式进行了说明，但可在不脱离发明主旨的范围内进行各种省略、置换、变更。并且，这些实施方式及其变形包含在发明的范围或主旨内，并且包含在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

[符号的说明]

1：电子零件搬送装置

2：搬送路径

21：旋转平台

22：夹盘

22a：开口

23：直驱马达

24：停止位置

25：进退驱动部

3：供给单元

41：电气特性测定单元

41a：退避位置

411：上侧触点

412：载台兼下侧触点

413：上侧基座

414：升降驱动部

415：拉伸弹簧

416：马达

417：凸轮

418：凸轮从动件

42：外观检查单元

5：检查辅助单元

6：排除容器

7：收容单元

W：电子零件

Claims (9)

1.一种电子零件搬送装置，其搬送电子零件，所述电子零件搬送装置的特征在于包括：

旋转平台，具有遍及整周而具备相同半径的圆形状，在圆周方向上间歇性地逐次旋转规定旋转角；

夹盘，在所述旋转平台的外缘以所述旋转角的二倍角的间距而设，呈放射状地朝向平台外侧水平延伸，且保持电子零件；

各停止位置，在将中心设为与所述旋转平台相同的圆周上，设定在以所述旋转平台的所述旋转角分割而成的各点，供所述夹盘停止；

载台，配置在所述夹盘的各停止位置的至少一处，通过所述夹盘来载置电子零件；

结构体，在所述载台的上方空开供所述夹盘进入的余地而相向配置；以及

退避位置，设定在所述夹盘的停止位置中的、所述载台及所述结构体的相邻处，在利用所述载台来处理电子零件的期间，供所述夹盘从所述载台与所述结构体退避。

2.一种电子零件搬送装置，其搬送电子零件，所述电子零件搬送装置的特征在于包括：

旋转平台，在圆周方向上间歇性地逐次旋转规定旋转角；

夹盘，在所述旋转平台的外缘以所述旋转角的二倍角的间距而设，呈放射状地朝向平台外侧水平延伸，且保持电子零件；

各停止位置，在将中心设为与所述旋转平台相同的圆周上，设定在以所述旋转平台的所述旋转角分割而成的各点，供所述夹盘停止；

载台，配置在所述夹盘的各停止位置的至少一处，通过所述夹盘来载置电子零件；

进退驱动部，被固定设置在所述旋转平台的最外径部所通过的轨迹的上方，使所述夹盘朝向所述载台下降；

结构体，在所述载台的上方空开供所述夹盘进入的余地而相向配置；以及

退避位置，设定在所述夹盘的停止位置中的、所述载台及所述结构体的相邻处，在利用所述载台来处理电子零件的期间，供所述夹盘从所述载台与所述结构体退避。

3.根据权利要求1或2所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

还包括处理单元，所述处理单元配置在从所述退避位置数起隔一个的所述停止位置的至少一处，进行与所述载台上的处理不同的处理。

4.根据权利要求3所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

所述各停止位置包含：

第一种停止位置，为从所述载台及所述结构体的设置位置数起隔一个的至少一处，仅供所述夹盘拾取电子零件或使电子零件脱离而不进行所述不同的处理；以及

第二种停止位置，为从所述退避位置数起隔一个的至少一处，进行所述第一种停止位置处的拾取或脱离所需的时间以上、且小于所述载台上的处理时间的所述不同的处理。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

包括多组所述载台与所述结构体，

各组被设置在从一组数起隔一个的所述停止位置中的任一处，

在所述各组的各自相邻处具有所述退避位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

包括电气特性测定单元，所述电气特性测定单元对具有两面电极的电子零件的电气特性进行测定，

所述电气特性测定单元包括：

所述载台，载置电子零件，并且具有与电子零件的下表面电极接触的通电接触件；以及

作为通电接触件的所述结构体，与被载置于所述载台的电子零件的上表面电极接触。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

所述结构体朝向所述载台的电子零件下降，并且在从下降的返回位置，空开供所述夹盘进入的余地而静止。

8.根据权利要求3或4所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

所述不同的处理的处理单元是对电子零件的外观进行检查的外观检查单元、对电子零件的姿势进行修正的检查辅助单元、或收容电子零件并且判定收容妥当的收容单元。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的电子零件搬送装置，其特征在于，

所述夹盘具有从所述旋转平台朝下方延伸并在中途朝水平方向弯曲的L字形状，

所述弯曲位置被设为所述结构体与所述载台之间的高度。