CN209242152U - 硅片转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片转运装置，包括硅片入料装置、花篮入料装置和硅片入花篮装置，硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧，硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，花篮升降台与花篮翻转装置沿花篮输送线依次设置，通过硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧的设计，使得原先在硅片入花篮装置一侧执行的操作分化为两侧执行，使得原先只能放置一个硅片入料装置和一个花篮入料装置的位置现在能够放置至少两个硅片入料装置或花篮入料装置，因此大大提升了硅片和花篮的入料速度，进而大大提升了生产效率。

Description

硅片转运装置

技术领域

本实用新型涉及一种硅片运输搬运装置，尤其涉及一种硅片转运装置。

背景技术

现市面上的硅片转运装置的布局方式为在硅片入花篮装置的花篮输送线同侧同时设有花篮入料装置和硅片入料装置，然后将硅片置入花篮内，再将满载硅片的花篮输送出去。

面对日益增长的生产需求，在现有的硅片转运装置的布局方式上很难在进行速度和效率的提升，进而无法满足现阶段对硅片入花篮的生产节拍的需求。

实用新型内容

为了能够提高硅片入花篮的生产效率，本实用新型的技术方案提供了一种硅片转运装置。技术方案如下：

第一方面，本实用新型提供了一种硅片转运装置，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧，硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，花篮升降台与花篮翻转装置沿花篮输送线依次设置。

通过硅片入料装置和花篮入料装置分别设置在硅片入花篮装置的两侧的设计，使得原先在硅片入花篮装置一侧执行的操作分化为两侧执行，使得原先只能放置一个硅片入料装置和一个花篮入料装置的位置现在能够放置至少两个硅片入料装置或花篮入料装置，因此大大提升了硅片和花篮的入料速度，进而大大提升了生产效率。

在第一方面的第一种可能的实现方式中，硅片入料装置包括硅片获取部、硅片输送部和硅片分选部，硅片获取部与硅片分选部沿硅片输送部依次设置。

通过硅片分选部的设置，保证了入花篮的硅片的质量，提高了满载花篮的良品率。

结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，硅片获取部包括硅片顶升装置，硅片分离装置和硅片抓取夹爪，硅片顶升装置设置在硅片分离装置下方，硅片抓取夹爪设置在硅片分离装置的上方，顶升装置被配置于顶起硅片以让硅片抓取夹爪能够获取到硅片。

通过顶升装置的设置，使得硅片抓取夹爪每次只要移动到固定的获取位就能够获取到硅片，减少了抓取夹爪的行程，进而加快了生产效率。

结合第一方面至第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，硅片分离装置为相对设置的一对风刀，风刀通过风力分离粘附在一起的硅片。

通过硅片分离装置的设置，避免了因为硅片的粘附导致硅片抓取夹爪一次获取多个硅片，进而增加了硅片获取部的运行稳定性。

结合第一方面至第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，硅片分选部包括硅片检测装置和硅片筛选装置，硅片检测装置设置在硅片筛选装置前端，硅片检测装置包括硅片检测相机和补光光源，补光光源为检测相机提供更清晰的检测视野，硅片筛选装置包括硅片吸盘，硅片筛选装置根据检测相机提供的分析数据控制硅片吸盘将不合格的硅片搬离硅片输送部。

通过两硅片检测相机和补光光源的设置，提升了检测的精确度，进一步保证了进入花篮的硅片的质量，再一次提高了满载花篮的良品率。

结合第一方面至第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，花篮翻转装置安装在花篮输送线上，花篮翻转装置包括花篮承载台与翻转动力装置，翻转动力装置带动花篮承载台进行翻转动作。

通过花篮翻转装置的设置，使得原本应该以竖直的长方体的状态运送的花篮变为平躺的长方体的运送状态，避免了因高度过高导致的花篮顶部的硅片发生晃动和位移的情况，从而避免了花篮中的硅片发生碎裂，从而提高了满载花篮的良品率。

结合第一方面至第一方面的第五种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，花篮承载台包括输送皮带、带动输送皮带转动的动力电机和带动输送皮带进行升降的升降电机。

通过动力电机和输送皮带的设置，保证花篮能够完全落在输送皮带上。

进一步的，通过升降电机的设置，使得花篮再被翻转的时候能够被夹紧，从而避免花篮在翻转过程中发生位移和摔落，因此大大增强了翻转动作的稳定性。

结合第一方面至第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，硅片转运装置还包括满载花篮出料装置，满载花篮出料装置包括三轴移动动力装置和花篮搬运夹爪，花篮搬运夹爪上设有与花篮外部结构契合的夹紧块。

通过具有夹紧块的花篮搬运夹爪的设置，保证花篮在搬出时会一直处于稳定的状态，提升了花篮在搬运时的稳定性。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理，其中：

图1为本实用新型一种实施方式所示的硅片转运装置的俯视图；

图2为本实用新型一种实施方式中的硅片获取部的立体结构示意图；

图3为本实用新型一种实施方式中的满载花篮出料装置的立体结构示意图；

图4为本实用新型一种实施方式中的花篮翻转装置的立体结构示意图；

图5为本实用新型一种实施方式中的硅片检测装置的立体结构示意图。

具体实施方式

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

现市面上的硅片转运装置的布局方式为在硅片入花篮装置的花篮输送线同侧同时设有花篮入料装置和硅片入料装置，然后将硅片置入花篮内，再将满载硅片的花篮输送出去。

面对日益增长的生产需求，在现有的硅片转运装置的布局方式上很难在进行速度和效率的提升，进而无法满足现阶段对硅片入花篮的生产节拍的需求。

为了能够提高硅片入花篮的生产效率，本实用新型的技术方案提供了一种硅片转运装置，技术方案如下：

下面根据附图1至图5对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，图1为一种实施方式所示的硅片转运装置的俯视图，本实用新型提供了一种硅片转运装置，包括至少一个硅片入料装置1、至少一个花篮入料装置2和硅片入花篮装置3，硅片入料装置1和花篮入料装置2分别设置在硅片入花篮装置3的两侧，硅片入花篮装置3包括花篮升降台31、花篮输送线32和花篮翻转装置33，花篮升降台31与花篮翻转装置33沿花篮输送线32依次设置。

通过硅片入料装置1和花篮入料装置2分别设置在硅片入花篮装置3 的两侧的设计，使得原先在硅片入花篮装置3一侧执行的操作分化为两侧执行，使得原先只能放置一个硅片入料装置1和一个花篮入料装置2的位置现在能够放置至少两个硅片入料装置1或花篮入料装置2，因此大大提升了硅片和花篮的入料速度，进而大大提升了生产效率。

在本实施例中硅片入料装置1和花篮入料装置2均设置有两个。

硅片入料装置1包括硅片获取部11、硅片输送部12和硅片分选部13，硅片获取部11与硅片分选部13沿硅片输送部12依次设置。

通过硅片分选部13的设置，保证了入花篮的硅片的质量，提高了满载花篮的良品率。

如图2所示，硅片获取部11包括硅片顶升装置111，硅片分离装置112 和硅片抓取夹爪113，硅片顶升装置111设置在硅片分离装置112下方，硅片抓取夹爪113设置在硅片分离装置112的上方，顶升装置被配置于顶起硅片以让硅片抓取夹爪113能够获取到硅片。

在本实施例中，顶升装置可以为电缸、伺服电机与丝杠的配合安装，当然在此对顶升装置的选型不加以限制。

通过顶升装置的设置，使得硅片抓取夹爪113每次只要移动到固定的获取位就能够获取到硅片，减少了抓取夹爪的行程，进而加快了生产效率。

硅片分离装置112为相对设置的一对风刀，风刀通过风力分离粘附在一起的硅片。

类似于人类用嘴对着书页吹气的现实情况。通过轻轻吹一口气就能将两个合在一起的书页分开，所以通过硅片分离装置112的设置，避免了因为硅片的粘附导致硅片抓取夹爪113一次获取多个硅片，进而增加了硅片获取部 11的运行稳定性。

结合图1和图5所示，硅片分选部13包括硅片检测装置131和硅片筛选装置132，硅片检测装置131设置在硅片筛选装置132前端，硅片检测装置131包括硅片检测相机133和补光光源134，补光光源134为检测相机提供更清晰的检测视野，硅片筛选装置132包括硅片吸盘135，硅片筛选装置 132根据检测相机提供的分析数据控制硅片吸盘135将不合格的硅片搬离硅片输送部12。

当然为了保证硅片吸盘135能够进行搬离动作，硅片吸盘135上也配置有吸盘动力装置136，吸盘动力装置136可以为二轴机器人，当然也可以为伺服电机和丝杠的组合安装。

通过两硅片检测相机133和补光光源134的设置，提升了检测的精确度，进一步保证了进入花篮的硅片的质量，再一次提高了满载花篮的良品率。

生产操作中，检测相机可以采用线性CCD或者面性CCD，当然也可以为高精度的摄像头，这里对检测相机的种类不加以限制。

如图1和图4所示，花篮翻转装置33安装在花篮输送线32上，花篮翻转装置33包括花篮承载台331与翻转动力装置332，翻转动力装置332带动花篮承载台331进行翻转动作。

通过花篮翻转装置33的设置，使得原本应该以竖直的长方体的状态运送的花篮变为平躺的长方体的运送状态，避免了因高度过高导致的花篮顶部的硅片发生晃动和位移的情况，从而避免了花篮中的硅片发生碎裂，从而提高了满载花篮的良品率。

通常情况下，翻转动力装置332可以设置为翻转气缸，当然在经济条件允许的情况下，翻转动力装置332也可以为旋转电机。

花篮承载台331包括输送皮带333、带动输送皮带333转动的动力电机 334和带动输送皮带333进行升降的升降电机335。

通过动力电机334和输送皮带333的设置，保证花篮能够完全落在输送皮带333上。

通过升降电机335的设置，使得花篮再被翻转的时候能够被夹紧，从而避免花篮在翻转过程中发生位移和摔落，因此大大增强了翻转动作的稳定性。

如图3所示，硅片转运装置还包括满载花篮出料装置4，满载花篮出料装置4包括三轴移动动力装置41和花篮搬运夹爪42，花篮搬运夹爪42上设有与花篮外部结构契合的夹紧块421。

通过具有夹紧块421的花篮搬运夹爪42的设置，保证花篮在搬出时会一直处于稳定的状态，提升了花篮在搬运时的稳定性。

本实施例中，夹紧块421为能插入花篮中的突出的圆柱体。当然，只要能够对花篮进行固定作用，均应在本实用新型的保护范围之内。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语不代表任何顺序，数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“一端”、“另一端”仅表示相对的位置关系，当被描述的对象的绝对位置关系改变后，则该想对应的位置关系也相应的改变。另外文中所讲的“至少一个”包括一个、两个或两个以上。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里实用新型的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (8)

1.一种硅片转运装置，其特征在于，包括至少一个硅片入料装置、至少一个花篮入料装置和硅片入花篮装置，所述硅片入料装置和所述花篮入料装置分别设置在所述硅片入花篮装置的两侧，所述硅片入花篮装置包括花篮升降台、花篮输送线和花篮翻转装置，所述花篮升降台与所述花篮翻转装置沿所述花篮输送线依次设置。

2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，硅片入料装置包括硅片获取部、硅片输送部和硅片分选部，所述硅片获取部与所述硅片分选部沿所述硅片输送部依次设置。

3.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片获取部包括硅片顶升装置，硅片分离装置和硅片抓取夹爪，所述硅片顶升装置设置在所述硅片分离装置下方，所述硅片抓取夹爪设置在所述硅片分离装置的上方，所述顶升装置被配置于顶起所述硅片以让所述硅片抓取夹爪能够获取到硅片。

4.根据权利要求3所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片分离装置为相对设置的一对风刀，所述风刀通过风力分离粘附在一起的硅片。

5.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片分选部包括硅片检测装置和硅片筛选装置，所述硅片检测装置设置在所述硅片筛选装置前端，所述硅片检测装置包括硅片检测相机和补光光源，所述补光光源为所述检测相机提供更清晰的检测视野，所述硅片筛选装置包括硅片吸盘，所述硅片筛选装置根据所述检测相机提供的分析数据控制所述硅片吸盘将不合格的硅片搬离所述硅片输送部。

6.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述花篮翻转装置安装在所述花篮输送线上，所述花篮翻转装置包括花篮承载台与翻转动力装置，所述翻转动力装置带动所述花篮承载台进行翻转动作。

7.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述花篮承载台包括输送皮带、带动所述输送皮带转动的动力电机和带动所述输送皮带进行升降的升降电机。

8.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片转运装置还包括满载花篮出料装置，所述满载花篮出料装置包括三轴移动动力装置和花篮搬运夹爪，所述花篮搬运夹爪上设有与花篮外部结构契合的夹紧块。